JP2003109754A - 有機ｅｌ素子とその製造方法、及びｅｌディスプレイ、電子機器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 インクジェットヘッドのノズル間での吐出量
のバラツキに起因して起こる、表示品質の低下を軽減し
た有機ＥＬ素子とその製造方法、及びＥＬディスプレ
イ、電子機器を提供する。 【解決手段】 インクジェットヘッド１０のノズル（ノ
ズル孔）１８から基板１２１上に発光材料を吐出して複
数色の発光層を形成し、これら発光層にそれぞれ対応さ
せて多数の画素１Ａを縦横に形成する有機ＥＬ素子の製
造方法である。発光層のうちの少なくとも一つの色の発
光層を形成する発光材料を、ノズル１８から第１の方向
に断続的に吐出して複数の発光層からなる発光層の列を
形成し、発光層のうちの他の色の発光層を形成する発光
材料を、ノズル１８から第１の方向と略直交する第２の
方向に断続的に吐出して複数の発光層からなる発光層の
列を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ディスプレイ、表
示光源などに用いられる電気的発光素子である有機ＥＬ
素子とその製造方法、及びＥＬディスプレイ、電子機器
に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶ディスプレイに替わる自発発
光型ディスプレイとして、発光層に有機物を用いた有機
ＥＬ（エレクトロルミネセンス）素子の開発が加速して
いる。有機ＥＬ素子における有機物からなる発光層の形
成プロセスとしては、Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．
５１（１２）、２１ Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ １９８７の９
１３ページに示されているように低分子材料を蒸着法で
成膜する方法と、 Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．７
１（１）、７ Ｊｕｌｙ １９９７の３４ページから示さ
れているように高分子材料を塗布する方法が主に開発さ
れている。

【０００３】カラー化の手段としては、低分子系材料を
用いる場合、所定パターンのマスク越しに異なる発光色
の発光材料を所望の画素対応部分に蒸着し形成する方法
が行われている。一方、高分子系材料を用いる場合に
は、微細かつ容易にパターニングができることから、イ
ンクジェット法を用いたカラー化が注目されている。イ
ンクジェット法による有機ＥＬ素子の作製については、
例えば、特開平７−２３５３７８、特開平１０−１２３
７７、特開平１１−４０３５８、特開平１１−５４２７
０に開示されている。また、有機ＥＬ素子では、発光効
率、耐久性を向上させるために、正孔注入層または正孔
輸送層を陽極と発光層との間に形成することが提示され
ている（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．５１、２１
Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ １９８７の９１３ページ）。

【０００４】ところで、インクジェット法によって正孔
注入層や発光層が形成される有機ＥＬ素子では、通常、
各画素はそれぞれインクジェットヘッドの１つのノズル
より吐出される１ドット分の幅を有したものとなってい
る。そして、このような画素として例えば図１２に示す
ように発光色が赤となる画素Ｒと緑となる画素Ｇと、青
となる画素Ｂとが、それぞれ同じ方向に配列するととも
にそれぞれの列が規則的に多数配置されることにより、
有機ＥＬ素子が形成される。

【０００５】このような画素Ｒ、Ｇ、Ｂの発光層をイン
クジェット法で形成するには、基板あるいはインクジェ
ットヘッドを移動させることにより、図１２に示したよ
うにインクジェットヘッドＨの一つのノズル孔Ｎから、
ＲＧＢのうちの一つの画素一列分を吐出するようにす
る。また、全体としては、複数のノズルＮから、同一色
の画素複数列分を一度の走査で形成し、以下、同様にし
て他の色の画素についても形成するようにしている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、インク
ジェットヘッドＨに設けられた複数のノズルＮには、そ
の位置などによってインクの供給経路が異なることなど
により吐出量にバラツキが生じることがある。例えば、
図１２中の画素Ｒ１の列に吐出を行うノズルＮ１と、画
素Ｒ２の列に吐出を行うノズルＮ２との間で、吐出量に
差が生じてしまうことがあるのである。

【０００７】しかし、その場合には、当然形成される発
光層間で吐出量の差に応じて層厚に差が生じてしまい、
これにより画素Ｒ１の列とＲ２の列とで発光の度合いに
むらが生じてしまい、結果として表示品質が損なわれる
ことになってしまう。また、このような傾向は他の色で
も当然起こることから、このような方法で形成された有
機ＥＬ素子では、全ての色が図１２に示した基板の横方
向（Ｘ方向）で、すなわち各列間でそれぞれ発光度にむ
らを生じてしまい、表示品質が低下したものとなってし
まう。

【０００８】本発明は前記事情に鑑みてなされたもの
で、その目的とするところは、インクジェットヘッドの
ノズル間での吐出量のバラツキに起因して起こる、表示
品質の低下を軽減した有機ＥＬ素子とその製造方法、及
びＥＬディスプレイ、電子機器を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
本発明の有機ＥＬ素子の製造方法は、インクジェットヘ
ッドのノズルから基板上に発光材料を吐出して複数色の
発光層を形成し、これら発光層にそれぞれ対応させて多
数の画素を縦横に形成する有機ＥＬ素子の製造方法であ
って、前記発光層のうちの少なくとも一つの色の発光層
を形成する発光材料を、前記ノズルから第１の方向に断
続的に吐出して複数の発光層からなる発光層の列を形成
し、前記発光層のうちの他の色の発光層を形成する発光
材料を、前記ノズルから第１の方向と略直交する第２の
方向に断続的に吐出して複数の発光層からなる発光層の
列を形成することを特徴としている。

【００１０】この有機ＥＬ素子の製造方法によれば、発
光層のうちの少なくとも一つの色の発光層を形成する発
光材料を、ノズルから第１の方向に断続的に吐出して複
数の発光層からなる発光層の列を形成し、発光層のうち
の他の色の発光層を形成する発光材料を、ノズルから第
１の方向と略直交する第２の方向に断続的に吐出して複
数の発光層からなる発光層の列を形成するので、インク
ジェットヘッドのノズル間での吐出量のバラツキに起因
して吐出方向に形成される発光層の列間での発光むら
を、発光層のうちの少なくとも一つの色と他の色とで略
直交する方向に生じさせることができ、したがって発光
むらの方向を一方向に偏らせないことにより全体として
の表示品質の低下を軽減し、これの向上を図ることがで
きる。

【００１１】また、前記有機ＥＬ素子の製造方法におい
ては、前記発光層を赤、緑、青の三色に形成するととも
に、これら発光層を形成する画素にそれぞれ正孔注入層
または正孔輸送層を、これらの形成材料をインクジェッ
トヘッドのノズルから吐出することによって形成するに
際して、前記発光層のうちの一つの色と正孔注入層また
は正孔輸送層とを、それぞれの材料を第１の方向に吐出
することによってそれぞれの列を形成し、前記発光層の
うちの他の二つの色を、それぞれの材料を第２の方向に
吐出することによってそれぞれの列を形成するのが好ま
しい。このようにすれば、発光層のうちの一つの色の列
と正孔注入層または正孔輸送層の列とが第１の方向に、
また発光層のうちの他の二つの色の列が第２の方向に形
成されるので、第１の方向の列間で生じる発光むらと第
２の方向の列間で生じる発光むらとが確率的に言って共
に同程度に起こると考えられ、したがって発光むらの方
向の偏りを一層少なくして全体としての表示品質の低下
を軽減し、これの向上を図ることができる。

【００１２】また、前記有機ＥＬ素子の製造方法におい
ては、各画素に対応する単一の発光層を、形成する発光
層の列方向に対して略直交して配列された複数のノズル
から略同時に発光材料を吐出することにより、形成する
のが好ましい。このようにすれば、単一の発光層を複数
のノズルから吐出することによって形成するので、単一
の発光層を形成するノズルのグループ毎で比較した場合
に、ノズル間での吐出量のバラツキがノズルのグループ
間ではその吐出量のバラツキが平均化されることによ
り、発光層の列間での発光むらが少なくなり、したがっ
て全体としての表示品質の向上を図ることができる。

【００１３】また、前記有機ＥＬ素子の製造方法におい
ては、各画素に対応する単一の正孔注入層または正孔輸
送層を、形成する正孔注入層または正孔輸送層の列方向
に対して略直交して配列された複数のノズルから略同時
にその材料を吐出することにより、形成するのが好まし
い。このようにすれば、単一の正孔注入層または正孔輸
送層を複数のノズルから吐出することによって形成する
ので、単一の正孔注入層または正孔輸送層を形成するノ
ズルのグループ毎で比較した場合に、ノズル間での吐出
量のバラツキがノズルのグループ間ではその吐出量のバ
ラツキが平均化されることにより、正孔注入層または正
孔輸送層の列間での層厚のむらが少なくなり、したがっ
てこの層厚のむらに起因する表示品質の低下を軽減する
ことができる。

【００１４】また、前記有機ＥＬ素子の製造方法におい
ては、インクジェトヘッドのノズルの列を、形成する発
光層の列方向に対して所定量傾けた状態で吐出するのが
好ましい。このようにすれば、ノズル間の見かけ上の間
隔を狭くすることにより、単一の発光層に対して吐出す
るノズルの数を増やすことができ、したがって前述した
ようにノズルのグループ間での吐出量のバラツキをより
平均化して発光むらを少なくすることができる。

【００１５】また、前記有機ＥＬ素子の製造方法におい
ては、インクジェトヘッドのノズルの列を、形成する正
孔注入層または正孔輸送層の列方向に対して所定量傾け
た状態で吐出するのが好ましい。このようにすれば、ノ
ズル間の見かけ上の間隔を狭くすることにより、単一の
正孔注入層または正孔輸送層に対して吐出するノズルの
数を増やすことができ、したがって前述したようにノズ
ルのグループ間での吐出量のバラツキをより平均化して
得られる正孔注入層または正孔輸送層の層厚のむらを少
なくすることができる。

【００１６】また、前記有機ＥＬ素子の製造方法におい
ては、前記基板上に予め画素間を隔てる隔壁を形成して
おき、該隔壁内に前記発光材料を吐出して発光層を形成
するのが好ましい。このようにすれば、吐出した際、各
材料の着弾位置に少々バラツキがあっても、隔壁内に着
弾すれば所望の位置に発光層等を形成することができ、
したがって発光層等からなる画素をそれぞれ所望位置に
形成することにより、表示品質を高めることができる。
なお、この隔壁の少なくとも頂面については、インクジ
ェットヘッドから吐出される液体材料に対して３０°以
上の接触角を持つのが好ましい。このようにすれば、発
光層等が隔壁を越えて隣の画素に流れ出てしまうのを防
ぐことができる。

【００１７】本発明の有機ＥＬ素子は、前記の製造方法
によって得られてなることを特徴としている。この有機
ＥＬ素子によれば、前記の製造方法によって得られてな
ることにより、表示品質の高いものとなる。

【００１８】本発明のＥＬディスプレイは、前記有機Ｅ
Ｌ素子を用いてなることを特徴としている。このＥＬデ
ィスプレイによれば、前記有機ＥＬ素子を用いてなるこ
とにより高い表示品質を有するものとなる。

【００１９】本発明の電子機器は、前記ＥＬディスプレ
イを表示手段として備えてなることを特徴としている。
この電子機器によれば、前記ＥＬディスプレイを用いて
なることにより高い表示品質を有するものとなる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳しく説明する。
まず、本発明の製造方法が適用されることによって得ら
れる本発明の有機ＥＬ素子を備えたＥＬディスプレイに
ついて、その概略構成を説明する。図１、図２は本発明
のＥＬディスプレイをアクティブマトリクス型のディス
プレイに適用した場合の一例を示すもので、これらの図
において符号１はＥＬディスプレイである。

【００２１】このＥＬディスプレイ１は、回路図である
図１に示すように透明の表示基板上に、複数の走査線１
３１と、これら走査線１３１に対して交差する方向に延
びる複数の信号線１３２と、これら信号線１３２に並列
に延びる複数の共通給電線１３３とがそれぞれ配線され
たもので、走査線１３１及び信号線１３２の各交点毎
に、画素（画素領域素）１Ａが設けられて構成されたも
のである。

【００２２】信号線１３２に対しては、シフトレジス
タ、レベルシフタ、ビデオライン、アナログスイッチを
備えるデータ側駆動回路３が設けられている。一方、走
査線１３１に対しては、シフトレジスタ及びレベルシフ
タを備える走査側駆動回路４が設けられている。また、
画素領域１Ａの各々には、走査線１３１を介して走査信
号がゲート電極に供給されるスイッチング薄膜トランジ
スタ１４２と、このスイッチング薄膜トランジスタ１４
２を介して信号線１３２から供給される画像信号を保持
する保持容量ｃａｐと、保持容量ｃａｐによって保持さ
れた画像信号がゲート電極に供給されるカレント薄膜ト
ランジスタ１４３と、このカレント薄膜トランジスタ１
４３を介して共通給電線１３３に電気的に接続したとき
に共通給電線１３３から駆動電流が流れ込む画素電極１
４１と、この画素電極１４１と反射電極１５４との間に
挟み込まれる発光部１４０と、が設けられている。

【００２３】このような構成のもとに、走査線１３１が
駆動されてスイッチング薄膜トランジスタ１４２がオン
となると、そのときの信号線１３２の電位が保持容量ｃ
ａｐに保持され、該保持容量ｃａｐの状態に応じて、カ
レント薄膜トランジスタ１４３のオン・オフ状態が決ま
る。そして、カレント薄膜トランジスタ１４３のチャネ
ルを介して共通給電線１３３から画素電極１４１に電流
が流れ、さらに発光部１４０を通じて反射電極１５４に
電流が流れることにより、発光部１４０は、これを流れ
る電流量に応じて発光するようになる。

【００２４】ここで、各画素１Ａの平面構造は、反射電
極や有機ＥＬ素子を取り除いた状態での拡大平面図であ
る図２に示すように、平面形状が長方形の画素電極１４
１の四辺が、信号線１３２、共通給電線１３３、走査線
１３１及び図示しない他の画素電極用の走査線によって
囲まれた配置となっている。

【００２５】次に、このようなＥＬディスプレイ１に備
えられる有機ＥＬ素子の製造方法について、図３〜図５
を用いて説明する。なお、図３〜図５では、説明を簡略
化するべく、単一の画素１Ａについてのみ図示する。ま
ず、基板を用意する。ここで、有機ＥＬ素子では後述す
る発光層による発光光を基板側から取り出すことも可能
であり、また基板と反対側から取り出す構成とすること
も可能である。発光光を基板側から取り出す構成とする
場合、基板材料としてはガラスや石英、樹脂等の透明な
いし半透明なものが用いられるが、特に安価なソーダガ
ラスが好適に用いられる。ソーダガラスを用いた場合、
これにシリカコートを施すのが、酸アルカリに弱いソー
ダガラスを保護する効果を有し、さらに基板の平坦性を
よくする効果も有するため好ましい。また、基板に色フ
ィルター膜や蛍光性物質を含む色変換膜、あるいは誘電
体反射膜を配置して、発光色を制御するようにしてもよ
い。また、基板と反対側から発光光を取り出す構成の場
合、基板は不透明であってもよく、その場合、アルミナ
等のセラミックス、ステンレス等の金属シートに表面酸
化などの絶縁処理を施したもの、熱硬化性樹脂、熱可塑
性樹脂などを用いることができる。

【００２６】本例では、基板として図３（ａ）に示すよ
うにソーダガラス等からなる透明基板１２１を用意す
る。そして、これに対し、必要に応じてＴＥＯＳ（テト
ラエトキシシラン）や酸素ガスなどを原料としてプラズ
マＣＶＤ法により厚さ約２００〜５００ｎｍのシリコン
酸化膜からなる下地保護膜（図示せず）を形成する。

【００２７】次に、透明基板１２１の温度を約３５０℃
に設定して、下地保護膜の表面にプラズマＣＶＤ法によ
り厚さ約３０〜７０ｎｍのアモルファスシリコン膜から
なる半導体膜２００を形成する。次いで、この半導体膜
２００に対してレーザアニールまたは固相成長法などの
結晶化工程を行い、半導体膜２００をポリシリコン膜に
結晶化する。レーザアニール法では、例えばエキシマレ
ーザでビームの長寸が４００ｍｍのラインビームを用
い、その出力強度は例えば２００ｍＪ／ｃｍ² とする。
ラインビームについては、その短寸方向におけるレーザ
強度のピーク値の９０％に相当する部分が各領域毎に重
なるようにラインビームを走査する。

【００２８】次いで、図３（ｂ）に示すように、半導体
膜（ポリシリコン膜）２００をパターニングして島状の
半導体膜２１０とし、その表面に対して、ＴＥＯＳや酸
素ガスなどを原料としてプラズマＣＶＤ法により厚さ約
６０〜１５０ｎｍのシリコン酸化膜または窒化膜からな
るゲート絶縁膜２２０を形成する。なお、半導体膜２１
０は、図２に示したカレント薄膜トランジスタ１４３の
チャネル領域及びソース・ドレイン領域となるものであ
るが、異なる断面位置においてはスイッチング薄膜トラ
ンジスタ１４２のチャネル領域及びソース・ドレイン領
域となる半導体膜も形成されている。つまり、図３〜図
５に示す製造工程では二種類のトランジスタ１４２、１
４３が同時に作られるのであるが、同じ手順で作られる
ため、以下の説明ではトランジスタに関しては、カレン
ト薄膜トランジスタ１４３についてのみ説明し、スイッ
チング薄膜トランジスタ１４２についてはその説明を省
略する。

【００２９】次いで、図３（ｃ）に示すように、アルミ
ニウム、タンタル、モリブデン、チタン、タングステン
などの金属膜からなる導電膜をスパッタ法により形成し
た後、これをパターニングし、ゲート電極１４３Ａを形
成する。次いで、この状態で高濃度のリンイオンを打ち
込み、半導体膜２１０に、ゲート電極１４３Ａに対して
自己整合的にソース・ドレイン領域１４３ａ、１４３ｂ
を形成する。なお、不純物が導入されなかった部分がチ
ャネル領域１４３ｃとなる。

【００３０】次いで、図３（ｄ）に示すように、層間絶
縁膜２３０を形成した後、コンタクトホール２３２、２
３４を形成し、これらコンタクトホール２３２、２３４
内に中継電極２３６、２３８を埋め込む。次いで、図３
（ｅ）に示すように、層間絶縁膜２３０上に、信号線１
３２、共通給電線１３３及び走査線（図３に示さず）を
形成する。ここで、中継電極２３８と各配線とは、同一
工程で形成されていてもよい。このとき、中継電極２３
６は、後述するＩＴＯ膜により形成されることになる。

【００３１】そして、各配線の上面をも覆うように層間
絶縁膜２４０を形成し、中継電極２３６に対応する位置
にコンタクトホール（図示せず）を形成し、そのコンタ
クトホール内にも埋め込まれるようにＩＴＯ膜を形成
し、さらにそのＩＴＯ膜をパターニングして、信号線１
３２、共通給電線１３３及び走査線（図示せず）に囲ま
れた所定位置に、ソース・ドレイン領域１４３ａに電気
的に接続する画素電極１４１を形成する。ここで、信号
線１３２及び共通給電線１３３、さらには走査線（図示
せず）に挟まれた部分が、後述するように正孔注入層や
発光層の形成場所となっている。

【００３２】次いで、図４（ａ）に示すように、前記の
形成場所を囲むように隔壁１５０を形成する。この隔壁
１５０は仕切部材として機能するものであり、例えばポ
リイミド等の絶縁性有機材料で形成するのが好ましい。
隔壁１５０の膜厚については、例えば１〜２μｍの高さ
となるように形成する。また、隔壁１５０は、インクジ
ェットヘッド１０から吐出される液体に対して撥インク
性を示すものが好ましく、具体的には、インク（インク
ジェットヘッド１０から吐出される液体）の該隔壁１５
０に対する接触角が３０°以上となるものであるのが好
ましい。隔壁１５０に撥インク性を発現させるために
は、例えば隔壁１５０の表面をフッ素系化合物などで表
面処理するといった方法が採用される。フッ素化合物と
しては、例えばＣＦ₄ 、ＳＦ₅ 、ＣＨＦ₃ などがあり、
表面処理としては、例えばプラズマ処理、ＵＶ照射処理
などが挙げられる。そして、このような構成のもとに、
正孔注入層や発光層の形成場所、すなわちこれらの形成
材料の塗布位置とその周囲の隔壁１５０との間には、十
分な高さの段差１１１が形成されているのである。

【００３３】次いで、図４（ｂ）に示すように、表示基
板１２１の上面を上に向けた状態で、インクジェットヘ
ッド法によって正孔注入層の形成材料をインクジェット
ヘッド１０より、前記隔壁１５０に囲まれた塗布位置に
選択的に塗布する。ここで、インクジェットヘッド１０
は、図６（ａ）に示すように例えばステンレス製のノズ
ルプレート１２と振動板１３とを備え、両者を仕切部材
（リザーバプレート）１４を介して接合したものであ
る。ノズルプレート１２と振動板１３との間には、仕切
部材１４によって複数の空間１５と液溜まり１６とが形
成されている。各空間１５と液溜まり１６の内部はイン
クで満たされており、各空間１５と液溜まり１６とは供
給口１７を介して連通したものとなっている。また、ノ
ズルプレート１２には、空間１５からインクを噴射する
ためのノズル孔１８が一列に配列された状態で複数形成
されている。一方、振動板１３には、液溜まり１６にイ
ンクを供給するための孔１９が形成されている。

【００３４】また、振動板１３の空間１５に対向する面
と反対側の面上には、図６（ｂ）に示すように圧電素子
（ピエゾ素子）２０が接合されている。この圧電素子２
０は、一対の電極２１の間に位置し、通電するとこれが
外側に突出するようにして撓曲するよう構成されたもの
である。そして、このような構成のもとに圧電素子２０
が接合されている振動板１３は、圧電素子２０と一体に
なって同時に外側へ撓曲するようになっており、これに
よって空間１５の容積が増大するようになっている。し
たがって、空間１５内に増大した容積分に相当するイン
クが、液溜まり１６から供給口１７を介して流入する。
また、このような状態から圧電素子２０への通電を解除
すると、圧電素子２０と振動板１３はともに元の形状に
戻る。したがって、空間１５も元の容積に戻ることか
ら、空間１５内部のインクの圧力が上昇し、ノズル孔１
８から基板に向けてインクの液滴２２が吐出される。な
お、インクジェットヘッド１０のインクジェット方式と
しては、前記の圧電素子２０を用いたピエゾジェットタ
イプ以外の方式でもよく、例えば、エネルギー発生素子
として電気熱変換体を用いた、熱エネルギーを利用して
インクを吐出するヘッド等の方式を採用してもよい。

【００３５】このような構成のインクジェットヘッド１
０を用いて、本例では図４（ｂ）に示したように隔壁１
５０内に正孔注入層の形成材料をインクとして塗布す
る。正孔注入層の形成材料としては、ポリマー前駆体が
ポリテトラヒドロチオフェニルフェニレンであるポリフ
ェニレンビニレン、１，１−ビス−（４−Ｎ，Ｎ−ジト
リルアミノフェニル）シクロヘキサン、トリス（８−ヒ
ドロキシキノリノール）アルミニウム等が挙げられる。
このとき、液状の形成材料１１４Ａは、流動性が高いた
め水平方向に広がろうとするが、塗布された位置を囲ん
で隔壁１５０が形成されているので、形成材料１１４Ａ
は隔壁１５０を越えてその外側に広がることが防止され
ている。

【００３６】なお、このようなインクジェットヘッド１
０のノズル孔１８からの、形成材料１１４Ａの吐出によ
る正孔注入層の形成は、後述するように透明基板１２１
のＸ方向に沿って、この方向に配列された画素１Ａ毎に
順次なされるようになっている。また、このような正孔
注入層の形成材料の吐出については、基本的に全ての画
素に対して行うことから、インクジェットヘッド１０に
配列された複数のノズル孔１８のうち、各画素１Ａに対
応するノズル孔１８は全て、略同時に吐出をなすように
なっている。

【００３７】次いで、図４（ｃ）に示すように加熱ある
いは光照射により液状の前駆体１１４Ａの溶媒を蒸発さ
せて、画素電極１４１上に、固形の正孔注入層１４０Ａ
を形成する。次いで、図５（ａ）に示すように、表示基
板１２１の上面を上に向けた状態で、インクジェットヘ
ッド１０よりインクとして発光層の形成材料（発光材
料）１１４Ｂを前記隔壁１５０内の正孔注入層１４０Ａ
上に選択的に塗布する。

【００３８】発光層の形成材料としては、例えば共役系
高分子有機化合物の前駆体と、得られる発光層の発光特
性を変化させるための蛍光色素とを含んでなるものが好
適に用いられる。共役系高分子有機化合物の前駆体は、
蛍光色素等とともにインクジェットヘッド１０から吐出
されて薄膜に成形された後、例えば以下の式（Ｉ）に示
すように加熱硬化されることによって共役系高分子有機
ＥＬ層となる発光層を生成し得るものをいい、例えば前
駆体のスルホニウム塩の場合、加熱処理されることによ
りスルホニウム基が脱離し、共役系高分子有機化合物と
なるもの等である。

【００３９】

【化１】

【００４０】このような共役系高分子有機化合物は固体
で強い蛍光を持ち、均質な固体超薄膜を形成することが
できる。しかも形成能に富みＩＴＯ電極との密着性も高
い。さらに、このような化合物の前駆体は、硬化した後
は強固な共役系高分子膜を形成することから、加熱硬化
前においては前駆体溶液を後述するインクジェットパタ
ーニングに適用可能な所望の粘度に調整することがで
き、簡便かつ短時間で最適条件の膜形成を行うことがで
きる。

【００４１】このような前駆体としては、例えばＰＰＶ
（ポリ（パラ−フェニレンビニレン））またはその誘導
体の前駆体が好ましい。ＰＰＶまたはその誘導体の前駆
体は、水あるいは有機溶媒に可溶であり、また、ポリマ
ー化が可能であるため光学的にも高品質の薄膜を得るこ
とができる。さらに、ＰＰＶは強い蛍光を持ち、また二
重結合のπ電子がポリマー鎖上で非極在化している導電
性高分子でもあるため、高性能の有機ＥＬ素子を得るこ
とができる。

【００４２】このようなＰＰＶまたはＰＰＶ誘導体の前
駆体として、例えば化学式（ＩＩ）に示すような、ＰＰ
Ｖ（ポリ（パラ−フェニレンビニレン））前駆体、ＭＯ
−ＰＰＶ（ポリ（２，５−ジメトキシ−１，４−フェニ
レンビニレン））前駆体、ＣＮ−ＰＰＶ（ポリ（２，５
−ビスヘキシルオキシ−１，４−フェニレン−（１−シ
アノビニレン）））前駆体、ＭＥＨ−ＰＰＶ（ポリ［２
−メトキシ−５−（２’−エチルヘキシルオキシ）］−
パラ−フェニレンビニレン）前駆体等が挙げられる。

【００４３】

【化２】

【００４４】ＰＰＶまたはＰＰＶ誘導体の前駆体は、前
述したように水に可溶であり、成膜後の加熱により高分
子化してＰＰＶ層を形成する。前記ＰＰＶ前駆体に代表
される前駆体の含有量は、組成物全体に対して０．０１
〜１０．０ｗｔ％が好ましく、０．１〜５．０ｗｔ％が
さらに好ましい。前駆体の添加量が少な過ぎると共役系
高分子膜を形成するのに不十分であり、多過ぎると組成
物の粘度が高くなり、インクジェット法による精度の高
いパターニングに適さない場合がある。

【００４５】さらに、発光層の形成材料としては、少な
くとも１種の蛍光色素を含むのが好ましい。これによ
り、発光層の発光特性を変化させることができ、例え
ば、発光層の発光効率の向上、または光吸収極大波長
（発光色）を変えるための手段としても有効である。す
なわち、蛍光色素は単に発光層材料としてではなく、発
光機能そのものを担う色素材料として利用することがで
きる。例えば、共役系高分子有機化合物分子上のキャリ
ア再結合で生成したエキシトンのエネルギーをほとんど
蛍光色素分子上に移すことができる。この場合、発光は
蛍光量子効率が高い蛍光色素分子からのみ起こるため、
発光層の電流量子効率も増加する。したがって、発光層
の形成材料中に蛍光色素を加えることにより、同時に発
光層の発光スペクトルも蛍光分子のものとなるので、発
光色を変えるための手段としても有効となる。

【００４６】なお、ここでいう電流量子効率とは、発光
機能に基づいて発光性能を考察するための尺度であっ
て、下記式により定義される。ηE ＝放出されるフォト
ンのエネルギー／入力電気エネルギーそして、蛍光色素
のドープによる光吸収極大波長の変換によって、例えば
赤、青、緑の３原色を発光させることができ、その結果
フルカラー表示体を得ることが可能となる。さらに蛍光
色素をドーピングすることにより、ＥＬ素子の発光効率
を大幅に向上させることができる。

【００４７】蛍光色素としては、赤色の発色光を発光す
る発光層を形成する場合、赤色の発色光を有するローダ
ミンまたはローダミン誘導体を用いるのが好ましい。こ
れらの蛍光色素は、低分子であるため水溶液に可溶であ
り、またＰＰＶと相溶性がよく、均一で安定した発光層
の形成が容易である。このような蛍光色素として具体的
には、ローダミンＢ、ローダミンＢベース、ローダミン
６Ｇ、ローダミン１０１過塩素酸塩等が挙げられ、これ
らを２種以上混合したものであってもよい。

【００４８】また、緑色の発色光を発光する発光層を形
成する場合、緑色の発色光を有するキナクリドンおよび
その誘導体を用いるのが好ましい。これらの蛍光色素は
前記赤色蛍光色素と同様、低分子であるため水溶液に可
溶であり、またＰＰＶと相溶性がよく発光層の形成が容
易である。

【００４９】さらに、青色の発色光を発光する発光層を
形成する場合、青色の発色光を有するジスチリルビフェ
ニルおよびその誘導体を用いるのが好ましい。これらの
蛍光色素は前記赤色蛍光色素と同様、低分子であるため
水・アルコール混合溶液に可溶であり、またＰＰＶと相
溶性がよく発光層の形成が容易である。

【００５０】また、青色の発色光を有する他の蛍光色素
としては、クマリンおよびその誘導体を挙げることがで
きる。これらの蛍光色素は、前記赤色蛍光色素と同様、
低分子であるため水溶液に可溶であり、またＰＰＶと相
溶性がよく発光層の形成が容易である。このような蛍光
色素として具体的には、クマリン、クマリン−１、クマ
リン−６、クマリン−７、クマリン１２０、クマリン１
３８、クマリン１５２、クマリン１５３、クマリン３１
１、クマリン３１４、クマリン３３４、クマリン３３
７、クマリン３４３等が挙げられる。

【００５１】さらに、別の青色の発色光を有する蛍光色
素としては、テトラフェニルブタジエン（ＴＰＢ）また
はＴＰＢ誘導体を挙げることができる。これらの蛍光色
素は、前記赤色蛍光色素等と同様、低分子であるため水
溶液に可溶であり、またＰＰＶと相溶性がよく発光層の
形成が容易である。以上の蛍光色素については、各色と
もに１種のみを用いてもよく、また２種以上を混合して
用いてもよい。

【００５２】これらの蛍光色素については、前記共役系
高分子有機化合物の前駆体固型分に対し、０．５〜１０
ｗｔ％添加するのが好ましく、１．０〜５．０ｗｔ％添
加するのがより好ましい。蛍光色素の添加量が多過ぎる
と発光層の耐候性および耐久性の維持が困難となり、一
方、添加量が少な過ぎると、前述したような蛍光色素を
加えることによる効果が十分に得られないからである。

【００５３】また、前記前駆体および蛍光色素について
は、極性溶媒に溶解または分散させてインクとし、この
インクをインクジェットヘッド１０から吐出するのが好
ましい。極性溶媒は、前記前駆体、蛍光色素等を容易に
溶解または均一に分散させることができるため、インク
ジェットヘッド１０のノズル孔１８での発光層形成材料
中の固型分が付着したり目詰りを起こすのを防止するこ
とができる。

【００５４】このような極性溶媒として具体的には、
水、メタノール、エタノール等の水と相溶性のあるアル
コール、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）、Ｎ
−メチルピロリドン（ＮＭＰ）、ジメチルイミダゾリン
（ＤＭＩ）、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）等の有
機溶媒または無機溶媒が挙げられ、これらの溶媒を２種
以上適宜混合したものであってもよい。

【００５５】さらに、前記形成材料中に湿潤剤を添加し
ておくのが好ましい。これにより、形成材料がインクジ
ェットヘッド１０のノズル孔１８で乾燥・凝固すること
を有効に防止することができる。かかる湿潤剤として
は、例えばグリセリン、ジエチレングリコール等の多価
アルコールが挙げられ、これらを２種以上混合したもの
であってもよい。この湿潤剤の添加量としては、形成材
料の全体量に対し、５〜２０ｗｔ％程度とするのが好ま
しい。なお、その他の添加剤、被膜安定化材料を添加し
てもよく、例えば、安定剤、、粘度調整剤、老化防止
剤、ｐＨ調整剤、防腐剤、樹脂エマルジョン、レベリン
グ剤等を用いることができる。

【００５６】このような発光層の形成材料１１４Ｂをイ
ンクジェットヘッド１０のノズル孔１８から吐出する
と、形成材料１１４Ａは隔壁１５０内の正孔注入層１４
０Ａ上に塗布される。ここで、形成材料１１４Ａの吐出
による発光層の形成は、赤色の発色光を発光する発光層
の形成材料、緑色の発色光を発光する発光層の形成材
料、青色の発色光を発光する発光層の形成材料を、それ
ぞれ対応する画素１Ａに吐出し塗布することによって行
う。なお、各色に対応する画素１Ａは、これらが規則的
な配置となるように予め決められている。

【００５７】各色の発光層形成のための、形成材料の吐
出例について、図７（ａ）〜（ｃ）を参照して説明す
る。この例では、前述したように予め前記の正孔注入層
１４０Ａが、図７（ｂ）に示すように透明基板１２１の
Ｘ方向、すなわち図７（ｂ）中の矢印に示す方向にイン
クジェットヘッド１０と透明基板１２１とが相対的に移
動させられたことにより、全ての画素１Ａに形成されて
いるものとする。なお、インクジェットヘッド１０には
ノズル孔１８が、Ｘ方向と略直交する方向、すなわちＹ
方向に配列されており、したがってＸ方向に並列してい
る各画素列は、それぞれインクジェットヘッド１０のう
ちの対応する同じノズル孔１８から各画素１Ａ毎に断続
的なインクの吐出がなされることにより、正孔注入層１
４０Ａを形成したものとなっている。

【００５８】このようにして正孔注入層１４０Ａが形成
された各画素１Ａに、前述したようにして発光層の形成
材料を吐出し塗布するが、その際、本発明では、前記発
光層形成材料のうちの一つの色（本例では緑色）の発光
層形成材料を、正孔注入層１４０Ａの場合と同様にＸ方
向に断続的に吐出し塗布する。また、残りの赤色及び青
色の発光層形成材料については、Ｘ方向と略直交するＹ
方向に断続的に吐出し塗布する。

【００５９】すなわち、まず図７（ａ）に示すように透
明基板１２１のＹ方向に、赤色の発光層の形成材料を断
続的に吐出し、Ｙ方向に配列された画素１Ａのうち予め
赤色の発光層を形成するように設定されている画素（Ｒ
１、Ｒ２、Ｒ３）に形成材料を塗布する。ここで、イン
クジェットヘッド１０にはノズル孔１８が、Ｙ方向と略
直交する方向、すなわちＸ方向に配列されており、した
がってＹ方向に並列している各画素列は、それぞれイン
クジェットヘッド１０のうちの対応する同じノズル孔１
８から各画素１Ａ毎に断続的なインクの吐出がなされる
ことにより、赤色の発光層の形成材料が塗布されたもの
となっている。なお、Ｙ方向に並列されたこれら画素列
については、その複数の列（図７（ａ）では３列）がイ
ンクジェットヘッド１０による一回の走査により同時に
形成されるようになっている。

【００６０】また、この赤色発光層の形成材料の吐出に
ついては、前述した正孔注入層１４０Ａの形成材料の吐
出（図７（ｂ）参照）に対して９０°傾いた方向で行う
ようにしているが、このような吐出方向の変更について
は、透明基板１２１を載置した基板ステージ（図示せ
ず）を回転させるか、あるいはインクジェットヘッド１
０を９０°回転させることによって行う。すなわち、こ
れによって図７（ｂ）に示した正孔注入層の形成の際の
状態から、図７（ａ）に示した赤色発光層形成の状態に
移行させているのである。

【００６１】このようにして赤色発光層の形成材料を塗
布したら、続いて緑色発光層の形成材料を吐出するべ
く、再度基板ステージあるいはインクジェットヘッド１
０を回転させて、図７（ｂ）に示したようにインクジェ
ットヘッド１０をそのノズル孔１８の列が透明基板１２
１のＹ方向となるように相対的位置関係をセットする。
そして、この状態のもとで緑色の発光層形成材料を透明
基板１２１のＸ方向に断続的に吐出し、Ｘ方向に配列さ
れた画素１Ａのうち予め緑色の発光層を形成するように
設定されている画素（Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４）に形成
材料を塗布する。ここで、Ｘ方向に配列された画素１Ａ
は、図７（ａ）に示したようなＹ方向に形成された画素
列と異なり、列を構成する全ての画素１Ａが同一色の発
光層を形成する画素とはなっておらず、複数個毎、本例
では３個の画素毎に１個の緑色の発光層を形成する画素
（Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４）となっている。したがっ
て、インクジェットヘッド１０からの断続的な吐出を行
う際には、先の赤色発光層形成の場合とは異なり、吐出
間隔をその分長くして行う必要がある。

【００６２】このようにして緑色発光層の形成材料を塗
布したら、続いて青色発光層の形成材料を吐出するべ
く、基板ステージあるいはインクジェットヘッド１０を
再度回転させて、図７（ｃ）に示したようにインクジェ
ットヘッド１０をそのノズル孔１８の列が透明基板１２
１のＸ方向となるようにセットする。そして、この状態
のもとで青色の発光層形成材料を透明基板１２１のＸ方
向に断続的に吐出し、Ｙ方向に配列された画素１Ａのう
ち予め青色の発光層を形成するように設定されている画
素（Ｂ１、Ｂ２、Ｂ３）に形成材料を塗布する。

【００６３】このようにして正孔注入層１４０Ａを形成
し、さらに各色の発光層形成材料を吐出塗布すると、同
じノズル孔１８からの吐出によりその吐出方向に形成さ
れた画素列は、発光層のうちの緑色の画素列と正孔注入
層１４０Ａの画素列とが透明基板１２１のＸ方向に、ま
た発光層のうちの赤色の画素列と青色の画素列とがＹ方
向に形成されることになる。すると、Ｘ方向の列間で生
じる発光むらとＹ方向の列間で生じる発光むらとが確率
的に言って共に同程度に起こると考えられることから、
正孔注入層１４０Ａと赤色、緑色、青色の全て色の発光
層とを同一の吐出方向で形成し、したがって各色の発光
度のむらが同一の方向に生じる場合に比べ、発光むらと
して視認される方向がＸ方向とＹ方向に分散され、これ
により発光むらの偏りが少なくなる。

【００６４】このようにして各色の発光層形成材料を吐
出し塗布したら、発光層形成材料１１４Ｂ中の溶媒を蒸
発させることにより、図５（ｂ）に示すように正孔層注
入層１４０Ａ上に固形の発光層１４０Ｂを形成し、これ
により正孔層注入層１４０Ａと発光層１４０Ｂとからな
る発光部１４０を得る。ここで、発光層形成材料１１４
Ｂ中の溶媒の蒸発については、必要に応じて加熱あるい
は減圧等の処理を行うが、発光層の形成材料は通常乾燥
性が良好で速乾性であることから、特にこのような処理
を行うことなく、したがって各色の発光層形成材料を順
次吐出塗布することにより、その塗布順に各色の発光層
１４０Ｂを形成することができる。その後、図５（ｃ）
に示すように、透明基板１２１の表面全体に、あるいは
ストライプ状に反射電極１５４を形成し、有機ＥＬ素子
を得る。

【００６５】このように、本例の有機ＥＬ素子の製造方
法にあっては、発光層のうちの緑色の画素列と正孔注入
層１４０Ａの画素列とを透明基板１２１のＸ方向に、ま
た発光層のうちの赤色の画素列と青色の画素列とをＹ方
向に形成しているので、正孔注入層１４０Ａと赤色、緑
色、青色の全て色の発光層とを同一の吐出方向で形成
し、したがって各色の発光度のむらが同一の方向に生じ
る場合に比べ、発光むらとして視認される方向をＸ方向
とＹ方向に分散することができ、これにより発光むらの
偏りを少なくして全体としての表示品質の低下を軽減
し、これの向上を図ることができる。

【００６６】また、透明基板１２１上に予め隔壁１５０
を形成しておき、該隔壁１５０内に正孔注入層の形成材
料や発光層の形成材料を吐出し塗布しているので、吐出
した際、各材料の着弾位置に少々バラツキがあっても、
隔壁１５０内に着弾すれば所望の位置に発光層等を形成
することができ、したがって発光層等からなる画素をそ
れぞれ所望位置に形成することにより、表示品質を高め
ることができる。

【００６７】また、このようにして得られた有機ＥＬ素
子にあっては、前記の製造方法によって得られてなるこ
とにより発光むらの偏りが少ないものとなることから、
全体としての表示品質の低下が軽減され、表示品質の向
上されたものとなる。さらに、この有機ＥＬ素子を用い
てなるＥＬディスプレイにあっても、高い表示品質を有
するものとなる。

【００６８】次に、本発明の有機ＥＬ素子の製造方法の
他の例について説明する。この例が先の例と異なるとこ
ろは、インクジェット法で正孔注入層１４０Ａ及び発光
層１４０Ｂを形成する際に、単一の画素に対する各形成
材料の吐出を、単一のノズル孔１８からでなく、複数の
ノズル孔１８から行う点にある。すなわち、本例では、
図８（ａ）〜（ｃ）に示すように、一列に配列されたノ
ズル孔１８間の間隔が図７（ａ）〜（ｃ）に示したもの
に比べ狭いインクジェットヘッド１０Ａを用意し、これ
を用いて正孔注入層１４０Ａ及び発光層１４０Ｂの形成
材料を吐出するようにしている。

【００６９】このインクジェットヘッド１０Ａによって
正孔注入層１４０Ａ及び発光層１４０Ｂを形成するに
は、まず、図８（ｂ）に示すようにインクジェットヘッ
ド１０Ａを、そのノズル孔１８の列が透明基板１２１の
Ｙ方向となるようにセットし、その状態から図８（ｂ）
中の矢印に示す方向にインクジェットヘッド１０Ａと透
明基板１２１とをＸ方向に相対的に移動させ、これによ
って全ての画素１Ａに正孔注入層の形成材料を吐出し塗
布する。このとき、インクジェットヘッド１０Ａは前述
したようにノズル孔１８間の間隔が狭いことにより、単
一の画素１Ａに対する正孔注入層形成材料の吐出が、単
一のノズル孔１８からでなく、複数のノズル孔１８（本
例では二つのノズル孔１８）から同時になされる。そし
て、先の例と同様にして塗布した形成材料から正孔注入
層１４０Ａを形成する。

【００７０】このように、単一のノズル孔１８からでな
く複数のノズル孔１８から単一の画素１Ａに対して同時
に吐出を行うことにより、この画素１Ａに吐出された形
成材料の量は、ここへの吐出を行った複数のノズル孔１
８間のバラツキが平均化された量となる。したがって、
単一の正孔注入層１４０Ａを形成するノズル孔１８のグ
ループ毎で比較した場合に、そのグループ間での吐出量
のバラツキも平均化されることになる。

【００７１】このようにして正孔注入層１４０Ａを形成
したら、先の例と同様にして発光層の形成材料を吐出し
塗布する。すなわち、まず図８（ａ）に示すように透明
基板１２１のＹ方向に、赤色の発光層の形成材料を断続
的に吐出し、Ｙ方向に配列された画素１Ａのうち予め赤
色の発光層を形成するように設定されている画素（Ｒ
１、Ｒ２、Ｒ３）に形成材料を塗布する。この場合に
も、正孔注入層の形成材料の場合と同様に、単一の画素
１Ａに対する赤色発光層形成材料の吐出を、単一のノズ
ル孔１８からでなく複数のノズル孔１８（本例では二つ
のノズル孔１８）から同時に行う。なお、Ｙ方向に並列
されたこれら画素列については、先の例と同様に、その
複数の列（図８（ａ）では３列）がインクジェットヘッ
ド１０Ａによる一回の走査により同時に形成されるよう
になっている。

【００７２】このようにして赤色発光層の形成材料を塗
布したら、続いて緑色発光層の形成材料を吐出するべ
く、図８（ｂ）に示したようにインクジェットヘッド１
０Ａをそのノズル孔１８の列が透明基板１２１のＹ方向
となるようにセットする。そして、この状態のもとで先
の例と同様にして緑色の発光層形成材料を透明基板１２
１のＸ方向に断続的に吐出し、Ｘ方向に配列された画素
１Ａのうち予め緑色の発光層を形成するように設定され
ている画素（Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４）に形成材料を塗
布する。この場合にも、赤色発光層の形成材料の場合と
同様に、単一の画素１Ａに対する緑色発光層形成材料の
吐出を、単一のノズル孔１８からでなく複数のノズル孔
１８（本例では二つのノズル孔１８）から同時に行う。
なお、インクジェットヘッド１０からの断続的な吐出を
行う際には、先の例と同様に、赤色発光層形成の場合よ
りその吐出間隔を長くして行う。

【００７３】このようにして緑色発光層の形成材料を塗
布したら、続いて青色発光層の形成材料を吐出するべ
く、図８（ｃ）に示したようにインクジェットヘッド１
０Ａをそのノズル孔１８の列が透明基板１２１のＸ方向
となるようにセットする。そして、この状態のもとで青
色の発光層形成材料を透明基板１２１のＸ方向に断続的
に吐出し、Ｙ方向に配列された画素１Ａのうち予め青色
の発光層を形成するように設定されている画素（Ｂ１、
Ｂ２、Ｂ３）に形成材料を塗布する。この場合にも、赤
色発光層の形成材料の場合と同様に、単一の画素１Ａに
対する青色発光層形成材料の吐出を、単一のノズル孔１
８からでなく複数のノズル孔１８（本例では二つのノズ
ル孔１８）から同時に行う。

【００７４】このような発光層形成材料の吐出に際して
も、単一のノズル孔１８からでなく複数のノズル孔１８
から単一の画素１Ａに対して同時に吐出を行うことによ
り、この画素１Ａに吐出された形成材料の量を、ここへ
の吐出を行った複数のノズル孔１８間のバラツキが平均
化された量とすることができる。したがって、単一の正
孔注入層１４０Ａを形成するノズル孔１８のグループ毎
で比較した場合に、そのグループ間での吐出量のバラツ
キも平均化されることになる。

【００７５】そして、このように正孔注入層１４０Ａ及
び各色の発光層１４０Ｂについて、いずれも単一の画素
１Ａに対して複数のノズル孔１８から同時に吐出するよ
うにしているので、ノズル孔１８のグループ間での吐出
量のバラツキも平均化されることにより、全体としての
表示品質の向上を図ることができる。また、発光層のう
ちの緑色の画素列と正孔注入層１４０Ａの画素列とを透
明基板１２１のＸ方向に、また発光層のうちの赤色の画
素列と青色の画素列とをＹ方向に形成しているので、正
孔注入層１４０Ａと赤色、緑色、青色の全て色の発光層
とを同一の吐出方向で形成し、したがって各色の発光度
のむらが同一の方向に生じる場合に比べ、発光むらとし
て視認される方向をＸ方向とＹ方向に分散することがで
き、これにより発光むらの偏りを少なくして全体として
の表示品質の低下を軽減し、これの向上を図ることがで
きる。

【００７６】なお、図８（ａ）〜（ｃ）に示した例のご
とく、単一の画素に対して複数のノズル孔１８から吐出
を行う場合、図９に示すようにインクジェットヘッド１
０Ａを、正孔注入層や発光層を形成する画素１Ａの列方
向に対して所定量（例えば図９中の角度θ）傾けた状態
で吐出するようにしてもよい。このようにしてインクジ
ェットヘッド１０Ａを所定量傾け、ノズル孔１８の配列
方向と移動方向（例えばＸ軸方向）との傾きを角度θと
すれば、ノズル孔１８間の実際のピッチＤよりも見かけ
上のピッチＥを狭くすることができ、これにより単一の
画素１Ａに対して複数のノズル孔１８から略同時に吐出
を行わせることができるようになる。このようにしてノ
ズル孔１８間の見かけ上の間隔を狭くするようにすれ
ば、単一の画素１Ａに対して吐出するノズル孔１８の数
を増やすことができ、したがって前述したようにノズル
孔１８のグループ間での吐出量のバラツキをより平均化
して、発光むらを一層少なくすることができる。

【００７７】また、前記例では、画素１Ａ…の配列を図
１０（ａ）に示すようにストライプ状としたが、図１０
（ｂ）に示すようなモザイク状の配列や、図１０（ｃ）
に示すようなデルタ状の配列などにおいても、同様の効
果を得ることができる。また、前記例では発光層１４０
Ｂの下層として正孔注入層１４０Ａを形成したが、本発
明はこれに限定されることなく、例えばこの正孔注入層
に代えて正孔輸送層を形成するようにしてもよい。この
正孔輸送層の形成材料としては特に限定されないもの
の、例えばピラゾリン誘導体、アリールアミン誘導体、
スチルベン誘導体、トリフェニルジアミン誘導体等が用
いられる。

【００７８】また、前記例では画素１Ａ間を隔てる隔壁
１５０を、ポリイミド材料とその表面を撥インク処理す
ることによって形成したが、本発明はこれに限定される
ことなく、例えば樹脂ブラックレジストなどによって隔
壁を形成してもよく、さらには隔壁を設けることなく正
孔注入層や発光層を形成するようにしてもよい。

【００７９】次に、前記例の有機ＥＬ素子を用いたＥＬ
ディスプレイが備えられた電子機器の具体例について説
明する。図１１（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視
図である。図１１（ａ）において、５００は携帯電話本
体を示し、５０１は図１、図２に示したＥＬディスプレ
イを備えたＥＬ表示部（表示手段）を示している。図１
１（ｂ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理
装置の一例を示した斜視図である。図１１（ｂ）におい
て、６００は情報処理装置、６０１はキーボードなどの
入力部、６０３は情報処理本体、６０２は前記の図１、
図２に示したＥＬディスプレイを備えたＥＬ表示部（表
示手段）を示している。図１１（ｃ）は、腕時計型電子
機器の一例を示した斜視図である。図１１（ｃ）におい
て、７００は時計本体を示し、７０１は前記の図１、図
２に示したＥＬディスプレイを備えたＥＬ表示部（表示
手段）を示している。図１１（ａ）〜（ｃ）に示す電子
機器は、前記ＥＬディスプレイが備えられたものである
ので、優れた表示品質が得られる表示手段を備えた電子
機器となる。

【００８０】

【発明の効果】以上説明したように本発明の有機ＥＬ素
子の製造方法によれば、発光層のうちの少なくとも一つ
の色の発光層を形成する発光材料を、ノズルから第１の
方向（例えばＸ方向）に断続的に吐出して複数の発光層
からなる発光層の列を形成し、発光層のうちの他の色の
発光層を形成する発光材料を、ノズルから第１の方向と
略直交する第２の方向（例えばＹ方向）に断続的に吐出
して複数の発光層からなる発光層の列を形成するので、
インクジェットヘッドのノズル間での吐出量のバラツキ
に起因して吐出方向に形成される発光層の列間での発光
むらを、発光層のうちの少なくとも一つの色と他の色と
で略直交する方向に生じさせることができ、したがって
発光むらの方向を一方向に偏らせないことにより全体と
しての表示品質の低下を軽減し、これの向上を図ること
ができる。

【００８１】本発明の有機ＥＬ素子によれば、前記の製
造方法によって得られてなることにより、表示品質の高
いものとなる。本発明のＥＬディスプレイによれば、前
記有機ＥＬ素子を用いてなることにより高い表示品質を
有するものとなる。本発明の電子機器によれば、前記Ｅ
Ｌディスプレイを用いてなることにより高い表示品質を
有するものとなる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のＥＬディスプレイの配置部を示す回
路図である。

【図２】 画素部の平面構造を示す拡大平面図である。

【図３】 （ａ）〜（ｅ）は本発明の有機ＥＬ素子の製
造方法を工程順に説明するための要部側断面図である。

【図４】 （ａ）〜（ｃ）は図３に続く工程を順に説明
するための要部側断面図である。

【図５】 （ａ）〜（ｃ）は図４に続く工程を順に説明
するための要部側断面図である。

【図６】 インクジェットヘッドの概略構成を説明する
ための図であり、（ａ）は要部斜視図、（ｂ）は要部側
断面図である。

【図７】 （ａ）〜（ｃ）はインクジェットヘッドのノ
ズル孔から発光層の形成材料を吐出する工程の一例を順
に説明するための模式図である。

【図８】 （ａ）〜（ｃ）はインクジェットヘッドのノ
ズル孔から発光層の形成材料を吐出する工程の他の例を
順に説明するための模式図である。

【図９】 インクジェットヘッドを所定量傾けた状態で
吐出する例を説明するための模式図である。

【図１０】 画素の配列パターンを説明するための図で
あって、（ａ）はストライプ状のパターン、（ｂ）はモ
ザイク状のパターン、（ｃ）はデルタ状のパターンを示
す図である。

【図１１】 ＥＬディスプレイが備えられた電子機器の
具体例を示す図であり、（ａ）は携帯電話に適用した場
合の一例を示す斜視図、（ｂ）は情報処理装置に適用し
た場合の一例を示す斜視図、（ｃ）は腕時計型電子機器
に適用した場合の一例を示す斜視図である。

【図１２】 インクジェットヘッドのノズル孔から発光
層の形成材料を吐出する工程の従来の例を説明するため
の模式図である。

【符号の説明】

１Ａ…画素、１０、１０Ａ…インクジェットヘッド、１
８…ノズル孔（ノズル）、１２１…透明基板、１４０Ａ
…正孔注入層、１４０Ｂ…発光層、１５０…隔壁

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 インクジェットヘッドのノズルから基板
   上に発光材料を吐出して複数色の発光層を形成し、これ
   ら発光層にそれぞれ対応させて多数の画素を縦横に形成
   する有機ＥＬ素子の製造方法であって、 前記発光層のうちの少なくとも一つの色の発光層を形成
   する発光材料を、前記ノズルから第１の方向に断続的に
   吐出して複数の発光層からなる発光層の列を形成し、 前記発光層のうちの他の色の発光層を形成する発光材料
   を、前記ノズルから第１の方向と略直交する第２の方向
   に断続的に吐出して複数の発光層からなる発光層の列を
   形成することを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の有機ＥＬ素子の製造方法
   において、 前記発光層を赤、緑、青の三色に形成するとともに、こ
   れら発光層を形成する画素にそれぞれ正孔注入層または
   正孔輸送層を、これらの形成材料をインクジェットヘッ
   ドのノズルから吐出することによって形成するに際し
   て、 前記発光層のうちの一つの色と正孔注入層または正孔輸
   送層とを、それぞれの材料を第１の方向に吐出すること
   によってそれぞれの列を形成し、 前記発光層のうちの他の二つの色を、それぞれの材料を
   第２の方向に吐出することによってそれぞれの列を形成
   することを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
3. 【請求項３】 各画素に対応する単一の発光層を、形成
   する発光層の列方向に対して略直交して配列された複数
   のノズルから略同時に発光材料を吐出することにより、
   形成することを特徴とする請求項１又は２記載の有機Ｅ
   Ｌ素子の製造方法。
4. 【請求項４】 各画素に対応する単一の正孔注入層また
   は正孔輸送層を、形成する正孔注入層または正孔輸送層
   の列方向に対して略直交して配列された複数のノズルか
   ら略同時にその材料を吐出することにより、形成するこ
   とを特徴とする請求項２記載の有機ＥＬ素子の製造方
   法。
5. 【請求項５】 インクジェトヘッドのノズルの列を、形
   成する発光層の列方向に対して所定量傾けた状態で吐出
   することを特徴とする請求項３記載の有機ＥＬ素子の製
   造方法。
6. 【請求項６】 インクジェトヘッドのノズルの列を、形
   成する正孔注入層または正孔輸送層の列方向に対して所
   定量傾けた状態で吐出することを特徴とする請求項４記
   載の有機ＥＬ素子の製造方法。
7. 【請求項７】 前記基板上に予め画素間を隔てる隔壁を
   形成しておき、該隔壁内に前記発光材料を吐出して発光
   層を形成することを特徴とする請求項１〜６のいずれか
   に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
8. 【請求項８】 請求項１〜７のいずれかに記載の製造方
   法によって得られてなる有機ＥＬ素子。
9. 【請求項９】 請求項８記載の有機ＥＬ素子を用いてな
   るＥＬディスプレイ。
10. 【請求項１０】 請求項９記載のＥＬディスプレイを表
    示手段として備えてなる電子機器。