JP2002082215A

JP2002082215A - カラーフィルタの製造方法及び製造装置、表示装置の製造方法、表示装置を備えた装置の製造方法、表示装置用パネルの製造方法及び製造装置

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Publication number: JP2002082215A
Application number: JP2000225896A
Authority: JP
Inventors: Hiromitsu Yamaguchi; 裕充山口; Makoto Akahira; 誠赤平
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1999-08-03
Filing date: 2000-07-26
Publication date: 2002-03-22
Anticipated expiration: 2020-07-26
Also published as: JP4438039B2

Abstract

(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドのノズル面のワイピング
を繰り返しても、歩留まりを低下させること無くカラー
フィルターを製造することができるカラーフィルターの
製造方法を提供する。【解決手段】インクを吐出するための吐出口が開口した
吐出口面を有し、少なくとも吐出口の開口の周辺部分が
撥水部材で被覆されたインクジェットヘッド５５ｂ，５
５ｃ，５５ｄからカラーフィルタ基板上にインクを吐出
して、所定の方向に延びる着色領域を色毎に形成するこ
とによりカラーフィルタを製造する方法であって、吐出
口面をワイピングするためのワイピング部材２３２ａ，
２３２ｂ，２３２ｃを用意する工程と、ワイピング部材
により吐出口面をワイピングする工程とを備え、ワイピ
ング部材のワイピングの方向は前記所定の方向と同一で
ある。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ヘッドにより基板
上の画素を着色することにより表示装置用のパネル（表
示用素子）を製造するための、表示装置用のパネルの製
造方法及び製造装置に関し、例えばカラーテレビ、パー
ソナルコンピュータ等に使用されるカラーフィルタの製
造方法及び製造装置、表示装置の製造方法、表示装置を
備えた装置の製造方法等に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年携帯用パーソナルコンピュータの急
速な発達に伴い、液晶デイスプレイ、特にカラー液晶デ
イスプレイの需要は増加する傾向にある。同時に、装置
のコストダウンも要求されるようになり、特に比較的コ
スト比率の高いカラーフィルタのコストダウンに対する
要求が高まっている。カラーフィルタの要求特性を満足
し、上記の要求も満たすため様々な方法が試されている
が、いまだ不十分である。以下にそれぞれの方法につい
て説明する。

【０００３】最も多く使われている第１の方法が顔料分
散法である。この方法は、まず基板上に顔料を分散した
感光性樹脂層を形成し、これをパターンニングすること
により単色のパターンを得る。さらにこの工程を３回繰
り返すことによりＲ，Ｇ，Ｂのカラーフィルター層を得
る。

【０００４】第２の方法は、染色法である。この方法は
ガラス基板上に染色用の材料である水溶性の高分子材料
を形成し、フォトリソグラフィー工程によりある形状に
パターンニングして、できあがったパターンを染色浴に
浸漬して着色されたパターンを得る。これを３回繰り返
すことにより、Ｒ，Ｇ，Ｂのカラーフィルタを形成す
る。

【０００５】第３の方法として電着法がある。この方法
は、まず基板上に透明基板をパターニングする。つぎに
顔料、樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬し第１
の色を電着する。この工程を３回繰り返してＲ，Ｇ，Ｂ
の着色層を形成し、最後に焼成する。

【０００６】第４の方法として、印刷法がある。この方
法は、熱硬化性樹脂に顔料を分散させ、印刷を３回繰り
返すことによりＲ，Ｇ，Ｂを塗り分けた後、樹脂を熱硬
化させることにより着色層を形成するものである。ま
た、いずれの方法においても着色層上に保護層を形成す
るのが一般的である。

【０００７】従来の方法に共通している点は、Ｒ，Ｇ，
Ｂの３色を着色するために同一の工程を３回繰り返す必
要があり、コスト高になることである。また、工程が多
いほど歩留まりが低下するという問題を有している。さ
らに、電着法においては、形成可能なパターン形状が限
定されるため、現状の技術では、ＴＦＴ用には適用困難
である。また、印刷法は、解像度が悪いためファインピ
ッチのパターンの形成には不向きである。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】これらの欠点を補うべ
く、インクジェットを用いたカラーフィルターの製造方
法として、特開昭５９−７５２０５号、特開昭６３−２
３５９０１号、特開平１−２１７３２０号、特開平４−
１２３００５号、特開平９−１３８３０６号等の提案が
ある。これらは、前記従来の方法とは異なりＲ（赤），
Ｇ（緑），Ｂ（青）の各色のインクを光透過性の基板上
の所定の位置にインクジェットヘッドより噴射し、イン
クを基板上で乾燥させて着色層を形成させるものであ
る、この方法によればＲ，Ｇ，Ｂの各色層の形成を一度
に行うことができ、さらにインクの使用量にも無駄が生
じないため大幅な生産性の向上、コストダウン等の効果
を得ることができる。

【０００９】このようなインクジェット方式を用いてカ
ラーフィルタを製造する場合、インクジェットヘッドは
インクの吐出を繰り返すうちにそのノズル面（吐出口
面）がインクで汚れてくるため、定期的にノズル面の清
掃を行う必要がある。

【００１０】従来、このノズル面の清掃は、弾性を有す
るスポンジ状のワイピング部材でインクジェットヘッド
のノズル面をワイピングすることにより行われていた。

【００１１】この際に、インクジェットヘッドのノズル
が並ぶ方向、あるいはノズル列に対して直角な方向にワ
イピング部材を動かすことにより清掃をすることが一般
的であった。

【００１２】通常は、インクジェットヘッドのノズル面
のワイピングを繰り返すことにより、徐々にノズル面の
ノズル穴付近に細かな傷が生じたり、撥水部分の撥水効
果が低下することによりインクジェットへッドから吐出
されるインク滴の飛翔方向が微妙に変化し、着弾位置の
ずれが発生する。

【００１３】このような着弾位置のずれは、一般のイン
クジェットプリンタでは問題にならないレベルである
が、カラーフィルター等の高精細なパターンの着色にお
いては、隣接する着色領域との混色を引き起こすため歩
留まりを下げる大きな問題となっていた。

【００１４】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、インクジェットヘッド
のノズル面（吐出口面）のワイピングを繰り返しても、
歩留まりを低下させること無くカラーフィルターを製造
することができるカラーフィルターの製造方法および製
造装置、その製造方法により製造されたカラーフィル
タ、該カラーフィルタを備えた表示装置の製造方法、該
表示装置を備えた装置の製造方法、表示装置用パネルの
製造方法および製造装置を提供することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるカラーフィルタ
の製造方法は、インクを吐出するための吐出口が開口し
た吐出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺
部分が撥水部材で被覆されたインクジェットヘッドから
カラーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方向
に延びる着色領域を色毎に形成することによりカラーフ
ィルタを製造する方法であって、前記吐出口面をワイピ
ングするためのワイピング部材を用意する工程と、前記
ワイピング部材により前記吐出口面をワイピングする工
程とを備え、前記吐出口面のワイピングに伴い前記撥水
部材に欠損部が発生するとともに、前記欠損部は前記ワ
イピング方向に発生し、前記ワイピング部材のワイピン
グの方向は前記所定の方向に沿った方向と同一であるこ
とを特徴としている。

【００１６】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、インクを吐出するための吐出口が開口した吐
出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺部分
が撥水部材で被覆されたインクジェットヘッドからカラ
ーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方向に延
びる着色領域を色毎に形成することによりカラーフィル
タを製造する装置であって、前記吐出口面をワイピング
するためのワイピング部材と、前記ワイピング部材によ
るワイピング動作を制御するためのワイピング手段とを
備え、前記吐出口面のワイピングに伴い前記撥水部材に
欠損部が発生するとともに、前記欠損部は、前記ワイピ
ング方向に発生し、前記ワイピング手段による前記ワイ
ピング部材のワイピングの方向は、前記所定の方向に沿
った方向と同一であることを特徴としている。

【００１７】また、本発明に係わる表示装置の製造方法
は、インクを吐出するための吐出口が開口した吐出口面
を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺部分が撥水
部材で被覆されたインクジェットヘッドからカラーフィ
ルタ基板上にインクを吐出して、所定の方向に延びる着
色領域を色毎に形成することにより製造されるカラーフ
ィルタを用いた表示装置の製造方法であって、上記の製
造方法によりカラーフィルタを製造する工程と、前記カ
ラーフィルタと、光量を可変とする光量可変手段と、を
一体化する工程とを具備することを特徴としている。

【００１８】また、本発明に係わる表示装置を備えた装
置の製造方法は、インクを吐出するための吐出口が開口
した吐出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周
辺部分が撥水部材で被覆されたインクジェットヘッドか
らカラーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方
向に延びる着色領域を色毎に形成することにより製造さ
れるカラーフィルタを用いた、表示装置を備えた装置の
製造方法であって、上記の製造方法によりカラーフィル
タを製造する工程と、前記カラーフィルタと、光量を可
変とする光量可変手段とを一体化して表示装置を製造す
る工程と、該表示装置に画像信号を供給する画像信号供
給手段を設ける工程と、を具備することを特徴としてい
る。

【００１９】また、本発明に係わる表示装置用パネルの
製造方法は、液体を吐出するための吐出口が開口した吐
出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺部分
が撥水部材で被覆された液体付与ヘッドから基板上に液
体を付与して、所定の方向に延び且つ表示に用いられる
表示部を形成することにより、表示装置用パネルを製造
する方法であって、前記吐出口面をワイピングするため
のワイピング部材を用意する工程と、前記ワイピング部
材により前記吐出口面をワイピングする工程とを備え、
前記吐出口面のワイピングに伴い前記撥水部材に欠損部
が発生するとともに、前記欠損部は、前記ワイピング方
向に発生し、前記ワイピング部材のワイピングの方向は
前記所定の方向に沿った方向と同一であることを特徴と
している。

【００２０】また、本発明に係わる表示装置用パネルの
製造装置は、液体を吐出するための吐出口が開口した吐
出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺部分
が撥水部材で被覆された液体付与ヘッドから基板上に液
体を付与して、所定の方向に延び且つ表示に用いられる
表示部を形成することにより、表示装置用パネルを製造
する装置であって、前記吐出口面をワイピングするため
のワイピング部材と、前記ワイピング部材によるワイピ
ング動作を制御するためのワイピング手段とを備え、前
記吐出口面のワイピングに伴い前記撥水部材に欠損部が
発生するとともに、前記欠損部は、前記ワイピング方向
に発生し、前記ワイピング手段による前記ワイピング部
材のワイピングの方向は、前記所定の方向に沿った方向
と同一であることを特徴としている。

【００２１】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、インクを吐出するための吐出口が開口した吐
出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺部分
が保護部材で被覆されたインクジェットヘッドからカラ
ーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方向に延
びる着色領域を色毎に形成することによりカラーフィル
タを製造する方法であって、前記吐出口面をワイピング
するためのワイピング部材を用意する工程と、前記ワイ
ピング部材により前記吐出口面をワイピングする工程と
を備え、前記吐出口面のワイピングに伴い前記保護部材
に欠損部が発生するとともに、前記欠損部は、前記ワイ
ピング方向に発生し、前記ワイピング部材のワイピング
の方向は前記所定の方向に沿った方向と同一であること
を特徴としている。

【００２２】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、インクを吐出するための吐出口が開口した吐
出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺部分
が保護部材で被覆されたインクジェットヘッドからカラ
ーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方向に延
びる着色領域を色毎に形成することによりカラーフィル
タを製造する装置であって、前記吐出口面をワイピング
するためのワイピング部材と、前記ワイピング部材によ
るワイピング動作を制御するためのワイピング手段とを
備え、前記吐出口面のワイピングに伴い前記保護部材に
欠損部が発生するとともに、前記欠損部は、前記ワイピ
ング方向に発生し、前記ワイピング手段による前記ワイ
ピング部材のワイピングの方向は、前記所定の方向に沿
った方向と同一であることを特徴としている。

【００２３】また、本発明に係わる表示装置用パネルの
製造方法は、液体を吐出するための吐出口が開口した吐
出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺部分
が所定の材料で被覆された液体付与ヘッドから基板上に
前記液体を付与し、所定の方向に延び且つ表示に用いら
れる表示部を形成することにより、表示装置用パネルを
製造する方法であって、前記吐出口面をワイピングする
ためのワイピング部材を用意する工程と、前記ワイピン
グ部材により前記吐出口面をワイピングする工程とを備
え、前記ワイピング部材のワイピングの方向は前記所定
の方向に沿った方向と同一であることを特徴としてい
る。

【００２４】また、本発明に係わる表示装置用パネルの
製造装置は、液体を吐出するための吐出口が開口した吐
出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺部分
が所定の材料で被覆された液体付与ヘッドから基板上に
前記液体を付与し、所定の方向に延び且つ表示に用いら
れる表示部を形成することにより、表示装置用パネルを
製造する装置であって、前記吐出口面をワイピングする
ためのワイピング部材と、前記ワイピング部材によるワ
イピング動作を制御するためのワイピング手段とを備
え、前記ワイピング手段による前記ワイピング部材のワ
イピングの方向は前記所定の方向に沿った方向と同一で
あることを特徴としている。

【００２５】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造方法は、インクを吐出するための吐出口が開口した吐
出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺部分
が撥水部材で被覆されたインクジェットヘッドからカラ
ーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方向に延
びる着色領域を色毎に形成することによりカラーフィル
タを製造する方法であって、同じ色に着色される２つの
前記着色領域の間隔と、前記インクジェットヘッドの複
数の吐出口のうち使用する２つの吐出口の、前記所定の
方向と直交する方向における間隔とが一致するように、
前記インクジェットヘッドの前記所定の方向に対する角
度を調整する工程と、前記吐出口面をワイピングするた
めのワイピング部材を用意する工程と、前記調整された
角度のままの状態で前記吐出口面を前記ワイピング部材
によりワイピングする工程とを具備し、前記吐出口面の
複数回のワイピングに伴い前記撥水部材に欠損部が発生
するとともに、前記欠損部は前記ワイピング方向に発生
し、前記ワイピング部材のワイピングの方向は前記所定
の方向に沿った方向と同一であることを特徴としてい
る。

【００２６】また、本発明に係わるカラーフィルタの製
造装置は、インクを吐出するための吐出口が開口した吐
出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺部分
が撥水部材で被覆されたインクジェットヘッドからカラ
ーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方向に延
びる着色領域を色毎に形成することによりカラーフィル
タを製造する装置であって、同じ色に着色される２つの
前記着色領域の間隔と、前記インクジェットヘッドの複
数の吐出口のうち使用する２つの吐出口の、前記所定の
方向と直交する方向における間隔とが一致するように、
前記インクジェットヘッドの前記所定の方向に対する角
度を調整する調整手段と、前記吐出口面をワイピングす
るためのワイピング部材と、前記調整手段により調整さ
れた角度のままの状態で前記吐出口面を前記ワイピング
部材によりワイピングするように制御するためのワイピ
ング手段とを具備し、前記吐出口面の複数回のワイピン
グに伴い前記撥水部材に欠損部が発生するとともに、前
記欠損部は前記ワイピング方向に発生し、前記ワイピン
グ部材のワイピングの方向は前記所定の方向に沿った方
向と同一であることを特徴としている。

【００２７】また、本発明に係わる表示装置用パネルの
製造方法は、表示に用いられるための材料を吐出するた
めの吐出口が開口した吐出口面を有し、少なくとも前記
吐出口の開口の周辺部分が所定の材料で被覆されたヘッ
ドから基体上に前記表示に用いられるための材料を吐出
して、所定の方向に延び且つ表示に用いられる表示部を
形成することにより表示装置用のパネルを製造する方法
であって、同じ材料で形成される２つの前記表示部の間
隔と、前記ヘッドの複数の吐出口のうち使用する２つの
吐出口の、前記所定の方向と直交する方向における間隔
とが一致するように、前記ヘッドの前記所定の方向に対
する角度を調整する工程と、前記吐出口面をワイピング
するためのワイピング部材を用意する工程と、前記調整
された角度のままの状態で前記吐出口面を前記ワイピン
グ部材によりワイピングする工程とを具備し、前記吐出
口面の複数回のワイピングに伴い前記撥水部材に欠損部
が発生するとともに、前記欠損部は前記ワイピング方向
に発生し、前記ワイピング部材のワイピングの方向は前
記所定の方向に沿った方向と同一であることを特徴とし
ている。

【００２８】また、本発明に係わる表示装置用パネルの
製造装置は、表示に用いられるための材料を吐出するた
めの吐出口が開口した吐出口面を有し、少なくとも前記
吐出口の開口の周辺部分が所定の材料で被覆されたヘッ
ドから基体上に前記表示に用いられるための材料を吐出
して、所定の方向に延び且つ表示に用いられる表示部を
形成することにより表示装置用のパネルを製造する装置
であって、同じ材料で形成される２つの前記表示部の間
隔と、前記ヘッドの複数の吐出口のうち使用する２つの
吐出口の、前記所定の方向と直交する方向における間隔
とが一致するように、前記ヘッドの前記所定の方向に対
する角度を調整する調整手段と、前記吐出口面をワイピ
ングするためのワイピング部材と、前記調整手段により
調整された角度のままの状態で前記吐出口面を前記ワイ
ピング部材によりワイピングするように制御するための
ワイピング手段とを具備し、前記吐出口面の複数回のワ
イピングに伴い前記撥水部材に欠損部が発生するととも
に、前記欠損部は前記ワイピング方向に発生し、前記ワ
イピング部材のワイピングの方向は前記所定の方向に沿
った方向と同一であることを特徴としている。

【００２９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について、添付図面を参照して詳細に説明する。

【００３０】なお、本発明において定義する表示装置用
パネル（表示用素子）とは、表示に用いられる表示部を
有するものである。より具体的には、表示装置用パネル
とは、例えば着色部を備えるカラーフィルタあるいは自
己発光する材料により形成された発光部を備えるＥＬ素
子等を含む、表示装置に使用されるパネルのことであ
る。尚、カラーフィルタであれば着色部が上記表示部に
相当し、ＥＬ素子であれば発光部が上記表示部に相当す
る。また、本発明において定義するカラーフィルタと
は、着色部と基体とを備えるものであり、入力光に対
し、特性を変えた出力光を得ることができるものであ
る。なお、基体とは、ガラスやプラスチック等の基板を
含むものであり、また板状以外の形状も含むものであ
る。なお、カラーフィルタにおいて所定の方向に延びる
着色領域という表現は、図３８の（ａ）に示すように、
画素が一列に長い場合、あるいは（ｂ）、（ｃ）、
（ｄ）に示すように一列内が複数の画素に区切られてい
る場合等を含むものである。また、カラーフィルタの着
色領域は、視覚的に色を認識するための領域ということ
もできる。さらに、本実施形態で着色に使用されるイン
クジェットヘッドは、インク吐出口が開口した吐出口面
を有し、少なくともこの吐出口の開口の周辺部分が所定
の材料で被覆されているものである。また、インクジェ
ットヘッドは、カラーフィルタ基板に着色された液体で
あるインクを付与するものであるので、液体付与ヘッド
と呼ぶこともできる。

【００３１】図１はインクジェット法によるカラーフィ
ルタの製造装置の構成を示す概略図であり、着色工程の
作業中の状態を示している。

【００３２】図１において、５１は装置架台、５２は架
台５１上に配置されたＸＹＺθステージ、５３はＸＹＺ
θステージ５２上にセットされたカラーフィルタ基板、
５４はカラーフィルタ基板５３上に形成されるカラーフ
ィルタ、５５はカラーフィルタ５４の着色を行う赤色、
緑色、青色の各インクジェットヘッドとそれらを支持す
るヘッドマウント５５ａとからなるヘッドユニット、５
８はカラーフィルタ製造装置９０の全体動作を制御する
コントローラ、５９はコントローラの表示部、６０はコ
ントローラの操作部であるキーボードを示している。

【００３３】ヘッドユニット５５はカラーフィルター製
造装置の支持部９０ａに対して着脱自在に、かつ水平面
内で回動角度を調整可能に装着されている。

【００３４】図２はカラーフィルタ製造装置９０の制御
コントローラの構成図である。５９は制御コントローラ
５８の入出力手段であるティーチングペンダント、６２
は製造の進行状況及びヘッドの異常の有無等の情報を表
示する表示部、６０はカラーフィルタ製造装置９０の動
作等を指示する操作部（キーボード）である。

【００３５】５８はカラーフィルタ製造装置９０の全体
動作を制御するところのコントローラ、６５はティーチ
ングペンダント５９とのデータの受け渡しを行うインタ
フェース、６６はカラーフィルタ製造装置９０の制御を
行うＣＰＵ、６７はＣＰＵ６６を動作させるための制御
プログラムを記憶しているＲＯＭ、６８は異常情報等を
記憶するＲＡＭ、７０はカラーフィルタの各画素内への
インクの吐出を制御する吐出制御部、７１はカラーフィ
ルタ製造装置９０のＸＹＺθステージ５２の動作を制御
するステージ制御部、９０はコントローラ５８に接続さ
れ、その指示に従って動作するカラーフィルタ製造装置
を示している。

【００３６】次に、図３は、上記のカラーフィルタ製造
装置９０に使用されるインクジェットヘッドＩＪＨの構
造を示す図である。図１の装置においては、インクジェ
ットヘッドはＲ,Ｇ,Ｂの３色に対応して３個設けられて
いるが、これらの３個のヘッドは夫々同一の構造である
ので、図３にはこれらの３個のヘッドのうちの１つの構
造を代表して示している。

【００３７】図３において、インクジェットヘッドＩＪ
Ｈは、インクを加熱するための複数のヒータ１０２が形
成された基板であるヒータボード１０４と、このヒータ
ボード１０４の上にかぶせられる天板１０６とから概略
構成されている。天板１０６には、複数の吐出口１０８
が形成されており、吐出口１０８の後方には、この吐出
口１０８に連通するトンネル状の液路１１０が形成され
ている。各液路１１０は、隔壁１１２により隣の液路と
隔絶されている。各液路１１０は、その後方において１
つのインク液室１１４に共通に接続されており、インク
液室１１４には、インク供給口１１６を介してインクが
供給され、このインクはインク液室１１４から夫々の液
路１１０に供給される。

【００３８】ヒータボード１０４と、天板１０６とは、
各液路１１０に対応した位置に各ヒータ１０２が来る様
に位置合わせされて図３の様な状態に組み立てられる。
図３においては、２つのヒータ１０２しか示されていな
いが、ヒータ１０２は、夫々の液路１１０に対応して１
つずつ配置されている。そして、図３の様に組み立てら
れた状態で、ヒータ１０２に所定の駆動パルスを供給す
ると、ヒータ１０２上のインクが沸騰して気泡を形成
し、この気泡の体積膨張によりインクが吐出口１０８か
ら押し出されて吐出される。従って、ヒータ１０２に加
える駆動パルスを制御、例えば電力の大きさを制御する
ことにより気泡の大きさを調整することが可能であり、
吐出口から吐出されるインクの体積を自在にコントロー
ルすることができる。尚、カラーフィルタを製造する場
合、各吐出口から吐出される各々のインク体積（インク
吐出量）を略同一に揃えることが好ましい。各吐出イン
クの量が同一である場合、同一でない場合に比べ画素間
のムラをより低減できるからである。

【００３９】図４は、インクジェットヘッドによりカラ
ーフィルタを製造する例を示した図である。

【００４０】本発明のカラーフィルタにおいては、基板
１として透光性の基板が好ましく、一般にガラス基板が
用いられるが、液晶用カラーフィルタとしての透明性、
機械的強度等の必要特性を有するものであればガラス基
板に限定されるものではない。

【００４１】基板１上には、カラーフィルタを構成する
各画素３を仕切るための仕切り部材（例えばブラックマ
トリクス）２が形成されている。このブラックマトリク
ス２により仕切られた開口部である画素３ａに、インク
ジェットヘッド５５ｂ，５５ｃ，５５ｄにより、赤
（Ｒ）、緑（Ｇ）、あるいは青（Ｂ）のいずれかに着色
された色インクを吐出し、画素３ａを着色する。なお、
インクジェットヘッド５５ｂ，５５ｃ，５５ｄは、基板
１に対して、図中矢印Ａで示される方向に走査されなが
ら基板１に向けてインクを吐出し、各画素３ａを着色す
る。

【００４２】また、本発明で使用するインクジェット方
式としては、エネルギー発生素子として電気熱変換体を
用いたバブルジェット（登録商標）タイプ、あるいは圧
電素子を用いたピエゾジェットタイプ等が使用可能であ
り、着色面積及び着色パターンは任意に設定することが
できる。

【００４３】図５はカラーフィルタの製造工程を示す図
である。

【００４４】カラーフィルタ形成面として光透過性の基
板１上に遮光部としてのブラックマトリクス２を形成す
る（工程（ａ））。

【００４５】基板１としては、一般にガラスが用いられ
るが、カラーフィルタとしての透明性を損なわず、機械
的強度等カラーフィルタの用途に応じた必要特性を有す
るものであればプラスチックなどの樹脂でも使用可能で
ある。

【００４６】またブラックマトリクス２は、基板上にス
パッタもしくは真空蒸着などの成膜法によりクロム等の
金属膜を形成し、フォトリソ法により開口部などをパタ
ーニングして形成する。ブラックマトリクス２としては
この他に感光性の黒色樹脂を塗布後フォトリソ法により
パターニングして形成したものや、印刷法により形成し
たものなどが使用可能である。

【００４７】次に、基板上にインク受容層３を形成する
（工程（ｂ））。

【００４８】インク受容層３はそれ自身ではインク受容
性を持たないが、ある条件下においてインク受容性を示
すポジ型、あるいはそれ自身はインク受容性を持つが、
ある条件下でインク受容性を失うネガ型、いずれかの性
質を有し、且つある条件下で硬化する特性を有する樹脂
組成物をカラーフィルタ形成面に塗布し、必要に応じて
プリベークを行って形成する。上記のある条件下とは、
たとえば光照射、又は光照射及び熱照射などである。上
記樹脂組成物の塗布には、スピンコート、ロールコー
ト、バーコート、スプレーコート、ディップコート等の
塗布方法を用いることができる。本発明においては光照
射により硬化しその部分がインクを吸収しなくなるネガ
型の感光性樹脂組成物を用いるのが望ましい。

【００４９】またインク受容層３の厚さは、本実施形態
のカラーフィルタを液晶素子に用いる場合で０．３〜
３．０μｍ程度である。

【００５０】フォトマスク４を用いてインク受容層３を
パターン露光し、その一部を硬化してインク受容性を失
った撥インク部５を形成する（工程（ｃ））。

【００５１】この場合の図に示したフォトマスク４は、
インク受容層３をネガ型の感光性樹脂組成物を用いて形
成する場合である。インク受容層３としてポジ型の感光
性樹脂組成物を用いて形成する場合は図に示したフォト
マスク４とは逆のフォトマスクを用い撥インク部をマス
クしてパターン露光すれば良い。

【００５２】図に示したように撥インク部５は、ブラッ
クマトリクス２に重なる位置に形成される。該撥インク
部５の幅はブラックマトリクスの幅より狭くなるように
形成することが好ましく、液晶素子に用いる場合で１．
０〜３０．０μｍ程度である。これにより後述の着色部
９ａ〜９ｃがブラックマトリクス２と重なる位置にまで
延出して形成され、白抜けが防止できる。

【００５３】インクジェットヘッド５５からＲ，Ｇ，Ｂ
の各色のインク１０をインク受容層３の未露光部６の所
定の位置に付与する（工程（ｄ）、工程（ｅ））。

【００５４】各未露光部は撥インク層５により周囲を囲
まれている。

【００５５】本発明においてインクジェット方式として
はエネルギー発生素子として電気熱変換体を用いたバブ
ルジェットタイプ、あるいは圧電素子を用いたピエゾジ
ェットタイプ等が使用可能であり、着色面積及び着色パ
ターンは任意に設定することができる。

【００５６】また本発明において、着色用のインクとし
ては染料系、顔料系共に用いることが可能である。ま
た、常温で液体のものに限らず、室温やそれ以下で固化
するインクであって、室温で軟化するもの、もしくは液
体であるもの、あるいは上述のインクジェット方式では
インク自体を３０℃以上７０℃以下の範囲内で温度調整
をおこなってインクの粘性を安定吐出範囲にあるように
温度制御するものが一般的であるから、使用記録信号付
与時にインクが液状をなすものが好適に用いられる。

【００５７】さらに必要に応じてインクの乾燥を行い、
熱処理を行いインク受容層３全体を完全に硬化させイン
クを定着させ、各色の着色部９ａ〜９ｃを形成する。こ
れによりカラーフィルター５４が形成される。この後必
要に応じて、カラーフィルター５４上に保護層８を形成
するのが一般的である（工程（ｆ））。

【００５８】保護層８としては、光硬化型、熱硬化型、
あるいは光、熱併用型の樹脂膜、蒸着やスパッタ等によ
り形成される無機膜などを用いることができ、カラーフ
ィルタとしての透明性を有し、その後のＩＴＯ形成工
程、配向膜形成工程等に耐えられるものであれば使用す
ることができる。

【００５９】（第２の方法）図２５は第２の方法の工程
図であり、図５と同じ部材には同じ符号を付した。ま
た、図２５の（ａ）〜（ｄ）は下記工程（ａ）〜（ｄ）
に対応する模式図である。

【００６０】工程（ａ）まず、透明基板１上に隔壁部（仕切り部材）を形成す
る。隔壁部は後述するインクを付与した際に隣接する異
なる色のインクとの混色を避けるための部材であり、本
例では遮光層を兼ねたブラックマトリクス３４２とし
た。当該ブラックマトリクス３４２としては、好ましく
は黒色顔料含有レジストを用い、一般的なフォトリソグ
ラフィ法によりパターニングする。該ブラックマトリク
ス３４２は後述するインクを付与した際に、隣接する異
なるインク同士が混じり合うのを防止するために、好ま
しくは撥インク性を付与しておく。本発明においてブラ
ックマトリクス３４２の厚さは上記隔壁作用及び遮光作
用を考慮すると０．５μｍ以上が好ましい。また、該ブ
ラックマトリクス３４２の開口部が本発明にかかる被着
色部である。

【００６１】工程（ｂ）インクジェットヘッド３７より、Ｒ、Ｇ、Ｂの各色のイ
ンク３４３をブラックマトリクス３４２の開口部を埋め
るように所定の着色パターンにしたがって付与する。本
発明においては、当該工程において、前記実施形態で説
明したように、各非着色部に複数のノズルからインクを
付与する。

【００６２】本発明で用いられるインクは、エネルギー
付与により硬化し、通常着色剤を含有する樹脂組成物か
らなる。上記着色剤としては一般の染料や顔料を用いる
ことができ、例えば染料としては、アントラキノン染
料、アゾ染料、トリフェニルメタン染料、ポリメチン染
料などを用いることができる。

【００６３】またインクに用いる樹脂としては、熱処理
や光照射等のエネルギー付与によって硬化する樹脂を用
いる。具体的には、熱硬化型樹脂として、公知の樹脂と
架橋剤との組み合わせが使用できる。例えば、アクリル
樹脂、メラミン樹脂、水酸基あるいはカルボキシル基含
有ポリマーとメラミン、水酸基あるいはカルボキシル基
含有ポリマーと多官能エポキシ化合物、水酸基あるいは
カルボキシル基含有ポリマーと繊維素反応型化合物、エ
ポキシ樹脂とレゾール型樹脂、エポキシ樹脂とアミン
類、エポキシ樹脂とカルボン酸又は酸無水物、エポキシ
化合物などが挙げられる。また、光硬化型樹脂として
は、公知のもの、例えば市販のネガ型レジストが好適に
用いられる。

【００６４】上記インクには、種々の溶媒を加えること
もできる。特に、インクジェット方式での吐出性の面か
ら、水及び水溶性有機溶剤の混合溶媒が好ましく用いら
れる。

【００６５】さらに、上記成分の他に必要に応じて所望
の特性を持たせるために、界面活性剤、消泡剤、防腐剤
等を添加することができ、さらに、市販の水溶性染料な
ども添加することができる。

【００６６】また、上記した光或いは熱硬化型樹脂のう
ち、水あるいは水溶性有機溶剤に溶解しないものでも安
定に吐出可能なものであれば、水や水溶性有機溶剤以外
の溶媒を用いてもかまわない。また、特に光により重合
するタイプのモノマーを用いる場合には、染料をモノマ
ーに溶解した無溶剤タイプとすることもできる。

【００６７】工程（ｃ）樹脂ブラックマトリクス３４２の開口部に付与したイン
ク３４３を熱処理あるいは光照射、あるいはその両者に
よって硬化させ、着色部３４４を形成する。

【００６８】工程（ｄ）必要に応じて保護層８を形成する。

【００６９】図６乃至図８は、本発明により製造された
カラーフィルタを組み込んだカラー液晶表示装置３０の
基本構成を示す断面図である。

【００７０】本発明におけるカラー液晶表示装置（カラ
ー液晶ディスプレイ）は、本発明に係るカラーフィルタ
の製造方法を用いて製造されたカラーフィルタ基板１と
対向基板２１を合わせこみ、液晶化合物１８を封入する
ことにより形成される。液晶表示装置の一方の基板２１
の内側に、ＴＦＴ(Thin Film Transistor)（不図示）と
透明な画素電極２０がマトリクス状に形成される。ま
た、もう一方の基板１の内側には、画素電極に対向する
位置にＲＧＢの色材が配列するようカラーフィルタ５４
が設置され、その上に透明な対向電極（共通電極）１６
が一面に形成される。ブラックマトリクス２は、通常カ
ラーフィルター基板１側に形成されるが（図６参照）、
ＢＭ（ブラックマトリクス）オンアレイタイプの液晶パ
ネルにおいては対向するＴＦＴ基板側に形成される（図
７参照）。さらに、両基板の面内には配向膜１９が形成
されており、これをラビング処理することにより液晶分
子を一定方向に配列させることができる。また、それぞ
れのガラス基板の外側には偏光板１１,２２が接着され
ており、液晶化合物１８は、これらのガラス基板の間隙
（２〜５μｍ程度）に充填される。また、バックライト
としては蛍光灯（不図示）と散乱板（不図示）の組み合
わせが一般的に用いられており、液晶化合物をバックラ
イト光の透過率を変化させる光シャッターとして機能さ
せることにより表示を行う。尚、液晶化合物は、カラー
フィルタに照射される光量を可変する機能を有している
ため、光量可変手段ともいえる。

【００７１】また、図８に示すように、画素電極２０上
に着色部を形成し、カラーフィルタとして機能させるよ
うにしても良い。すなわち、カラーフィルタを構成する
着色部は、ガラス基板上に形成されることに限定される
ものではない。

【００７２】このような液晶表示装置を情報処理装置に
適用した場合の例を図９乃至図１１を参照して説明す
る。尚、この情報処理装置は、本発明に係る製造方法を
用いて製造されたカラーフィルタを有する液晶表示装置
に画像信号を供給する画像信号供給手段を接続すること
により製造されるものである。

【００７３】図９は上記の液晶表示装置をワードプロセ
ッサ、パーソナルコンピュータ、ファクシミリ装置、複
写装置としての機能を有する情報処理装置に適用した場
合の概略構成を示すブロック図である。

【００７４】図中、１８０１は装置全体の制御を行う制
御部（画像信号供給手段）で、マイクロプロセッサ等の
ＣＰＵや各種Ｉ／Ｏポートを備え、各部に制御信号やデ
ータ信号等を出力したり、各部よりの制御信号やデータ
信号を入力して制御を行っている。１８０２はディスプ
レイ部で、この表示画面には各種メニューや文書情報及
びイメージリーダ１８０７で読み取ったイメージデータ
等が表示される。１８０３はディスプレイ部１８０２上
に設けられた透明な感圧式のタッチパネルで、指等によ
りその表面を押圧することにより、ディスプレイ部１８
０２上での項目入力や座標位置入力等を行うことができ
る。

【００７５】１８０４はＦＭ(Frequency Modulation)音
源部で、音楽エディタ等で作成された音楽情報をメモリ
部１８１０や外部記憶装置１８１２にデジタルデータと
して記憶しておき、それらメモリ等から読み出してＦＭ
変調を行うものである。ＦＭ音源部１８０４からの電気
信号はスピーカ部１８０５により可聴音に変換される。
プリンタ部１８０６はワードプロセッサ、パーソナルコ
ンピュータ、ファクシミリ装置、複写装置の出力端末と
して用いられる。

【００７６】１８０７は原稿データを光電的に読取って
入力するイメージリーダ部で、原稿の搬送経路中に設け
られており、ファクシミリ原稿や複写原稿の他各種原稿
の読取りを行う。

【００７７】１８０８はイメージリーダ部１８０７で読
取った原稿データのファクシミリ送信や、送られてきた
ファクシミリ信号を受信して復号するファクシミリ（Ｆ
ＡＸ）の送受信部であり、外部とのインタフェース機能
を有する。１８０９は通常の電話機能や留守番電話機能
等の各種電話機能を有する電話部である。

【００７８】１８１０はシステムプログラムやマネージ
ャープログラム及びその他のアプリケーションプログラ
ム等や文字フォント及び辞書等を記憶するＲＯＭや、外
部記憶装置１８１２からロードされたアプリケーション
プログラムや文書情報、さらにはビデオＲＡＭ等を含む
メモリ部である。

【００７９】１８１１は文書情報や各種コマンド等を入
力するキーボード部である。

【００８０】１８１２はフロッピー（登録商標）ディス
クやハードディスク等を記憶媒体とする外部記憶装置
で、この外部記憶装置１８１２には文書情報や音楽ある
いは音声情報、ユーザのアプリケーションプログラム等
が格納される。

【００８１】図１０は図９に示す情報処理装置の模式的
概観図である。

【００８２】図中、１９０１は上記の液晶表示装置を利
用したフラットパネルディスプレイで、各種メニューや
図形情報及び文書情報等を表示する。このディスプレイ
１９０１上ではタッチパネル１８０３の表面は指等で押
圧することにより座標入力や項目指定入力を行うことが
できる。１９０２は装置が電話機として機能するときに
使用されているハンドセットである。キーボード１９０
３は本体と着脱可能にコードを介して接続されており、
各種文書機能や各種データ入力を行うことができる。ま
た、このキーボード１９０３には各種機能キー１９０４
等が設けられている。１９０５は外部記憶装置１８１２
へのフロッピーディスクの挿入口である。

【００８３】１９０６はイメージリーダ部１８０７で読
取られる原稿を載置する用紙載置部で、読取られた原稿
は装置後部より排出される。またファクシミリ受信等に
おいては、インクジェットプリンタ１９０７よりプリン
トされる。

【００８４】上記情報処理装置をパーソナルコンピュー
タやワードプロセッサとして機能する場合、キーボード
部１８１１から入力された各種情報が制御部１８０１に
より所定のプログラムに従って処理され、プリンタ部１
８０６に画像として出力される。

【００８５】ファクシミリ装置の受信機として機能する
場合、通信回線を介してＦＡＸ送受信部１８０８から入
力したファクシミリ情報が制御部１８０１により所定の
プログラムに従って受信処理され、プリンタ部１８０６
に受信画像として出力される。

【００８６】また、複写装置として機能する場合、イメ
ージリーダ部１８０７によって原稿を読取り、読取られ
た原稿データが制御部１８０１を介してプリンタ部１８
０６に複写画像として出力される。なお、ファクシミリ
装置の受信機として機能する場合、イメージリーダ部１
８０７によって読取られた原稿データは、制御部１８０
１により所定のプログラムに従って送信処理された後、
ＦＡＸ送受信部１８０８を介して通信回線に送信され
る。

【００８７】なお、上述した情報処理装置は図１１に示
すようにインクジェットプリンタを本体に内蔵した一体
型としてもよく、この場合は、よりポータブル性を高め
ることが可能となる。同図において、図１０と同一機能
を有する部分には、対応する符号を付す。このように表
示装置を備えた装置は、まず、本発明に係る製造方法
によりカラーフィルタを製造し、次に、そのカラーフ
ィルタと対向基板との間に液晶化合物を充填して表示装
置を製造し、最後に、その表示装置に、画像信号供給
手段を接続することにより、製造されるものである。

【００８８】次に、図１２は複数のノズルを備えたイン
クジェットヘッドのノズル面を示す図である。

【００８９】本実施形態において、図１２に示すように
ノズル列方向と、ノズル列直角方向を定義することにす
る。

【００９０】図１３は回復ユニット２３０を示す構成図
である。

【００９１】図１３において、２３１ａ，２３１ｂ，２
３１ｃはインクジェットヘッドの、赤色ヘッド５５ｂ、
緑色ヘッド５５ｃ、青色ヘッド５５ｃにそれぞれ対応し
たキャップである。キャップ２３１ａ，２３１ｂ，２３
１ｃは、インクジェットヘッド５５ｂ，５５ｃ，５５ｄ
が、ガラス基板１にカラーフィルタの着色動作を行わな
い時に、それぞれ対応するインクジェットヘッド５５
ｂ，５５ｃ，５５ｄのノズル面をカバーすることによっ
て、インクが吐出不能になることを防止する。

【００９２】２３２ａ，２３２ｂ，２３２ｃはノズル面
のワイピング動作を行うブレード（ワイピング部材）で
あり、例えばスポンジなどのように吸水性のあるものが
好ましい。

【００９３】ブレード２３２ａ，２３２ｂ，２３２ｃ
は、図１３に示すように、回復系ユニット２３０のＸＹ
方向の動作により、それぞれインクジェットヘッド５５
ｂ，５５ｃ，５５ｄのノズル面についたインク滴や、イ
ンクを吐出した際に発生するインクミストがノズル面に
付着したものを拭き取るためのものである。

【００９４】本実施形態においては、回復系ユニット２
３０の動作方向であるＸＹ方向は、Ｘ方向が図１２で示
したノズル列方向、Ｙ方向が図１２で示したノズル列直
角方向と同一方向であるものとする。

【００９５】図１４及び図１５は、図１３に示した回復
ユニット２３０をＹ方向（ノズル列直角方向）に動作さ
せ、ワイピング動作を繰り返した場合の着弾位置のずれ
を測定した結果を示すグラフである。

【００９６】図１４はノズル列直角方向（ワイピング動
作方向）の着弾位置のずれを測定した結果を示すグラフ
であり、図１５はノズル列方向の着弾位置のずれを測定
した結果を示すグラフである。

【００９７】図１４、図１５からわかるように、ワイピ
ング動作方向であるノズル列直角方向に関してはワイピ
ング回数増加に伴い、着弾位置のずれが徐々に大きくな
っている。一方で、ノズル列方向に開しては、ワイピン
グ回数が増加しても着弾位置のずれはほとんど変化が無
い。

【００９８】このことから、ワイピングの方向と着弾位
置のずれの方向が関係していることは明らかであり、ワ
イピングの方向を制御することにより着弾位置のずれが
発生する方向も制御できることが分かる。

【００９９】図１６は、インクジェツトヘッドの複数の
ノズルを用いて、ＲＧＢストライプ配列のカラーフィル
タの着色を行なう場合について、カラーフィルタの着色
領域の一部と、それに対するインクジェットヘッドの状
態を模式的に示した図である。

【０１００】通常カラーフィルタの同一色同士の画素ピ
ッチと、一般のプリンタ等に使用されているインクジェ
ットヘッドのノズルピッチは異なっているため、画素ピ
ッチとノズルピッチとを一致させるようにする必要があ
る。

【０１０１】本実施形態のインクジェットヘッドの場
合、ノズルピッチが同一色同士の画素ピッチより小さい
ため、何本かおきのノズルからインクを吐出させて着色
を行なうことになる。

【０１０２】このとき、画素のピッチとノズルピッチの
倍数が合わない場合ヘッドを傾けて配置する方法を用い
ることが一般的に知られている。

【０１０３】図１６のようにカラーフィルタの着色領域
に対しインクジェットヘッド５５ｂ，５５ｃ，５５ｄを
斜めに傾けて配置し、さらに４ノズルおきにインクを吐
出させるように設定している。

【０１０４】このとき、インクジェットヘッド５５ｂ，
５５ｃ，５５ｄは、ぞれぞれ、Ｒ，Ｇ，Ｂを着色するイ
ンクジェットヘッドを示し、各色の画素を着色可能なよ
うに相対的に配置されている。

【０１０５】図１７乃至図２１は、このインクジェット
ヘッドに対し、回復ユニット２３０によりワイピング方
向を変えてワイピングを繰り返した際の着弾位置のずれ
を比較して模式的に示す図である。

【０１０６】着弾位置を示す模式図に関しては、説明を
容易にするため、赤色インクジェットヘッド５５ｂによ
り着色を行なった場合について示してあるが、他の色に
関しても同様のことが言える。

【０１０７】図１７は初期の着弾位置（着弾点）を模式
的に示す図である。図中のラインＭは、インクの着弾目
標の線であり、ここではインクが目標着弾線（目標位
置）に着弾しているため着弾位置のズレは発生していな
い。

【０１０８】図１７の場合、インクジェットヘッド５５
ｂにより吐出されたインクは着色画素内の所定の位置に
着弾し、カラーフィルターが不良となることはない。

【０１０９】次に、図１８に示すようにインクジェット
ヘッド５５に対し、回復ユニット２３０のブレードをＡ
方向に動かし、ワイピングを繰り返した場合、着弾位置
のずれは、図１９のよう発生する。即ち、インクの着弾
点のズレが、ワイピング方向と同じ方向に発生するので
ある。この場合、インクジェットヘッド５５ｂにより吐
出されたインクは画素をはみ出して着弾する。このため
隣接する他色の画素に接触してしまい混色を引き起こし
出来上がったカラーフィルターは不良となってしまう。
尚、図１９のラインＮはインクの着弾目標の線であり、
ここではインクドットＡ・インクドットＢ・インクドッ
トＣ・インクドットＤ・インクドットＥ・インクドット
Ｆのうち、インクドットＦ以外のインクドットの着弾位
置が目標着弾線に着弾しておらず着弾位置のズレが発生
している。そして、そのズレ方向は同一色の画素が並ぶ
方向とは異なっているため、隣接する異なる色の画素に
インクが入り込んでしまい、混色が発生してしまう。

【０１１０】一方、図２０のように、インクジェットヘ
ッドに対し回復ユニット２３０をＢ方向、すなわち同一
色の画素の並び方向に沿った方向にブレードを動かした
場合、着弾位置のずれは図２１のように発生する。即
ち、インクの着弾点のズレが、ワイピング方向と同じ方
向に発生するのである。この場合、同一色の画素が並ぶ
方向に沿った方向とワイピング方向とが一致しているの
で、ワイピング方向にインクの着弾点がずれたとして
も、ずれたインクが隣接画素と接触することはなく、そ
の結果、他色との混色の発生を低減させることができ
る。尚、図２１のラインＬはインクの着弾目標の線であ
り、ここではインクドットＨ・インクドットＩ・インク
ドットＪ・インクドットＫ・インクドットＬ・インクド
ットＭのうち、インクドットＭ以外のインクドットの着
弾位置が目標着弾線に着弾しておらず着弾位置のズレが
発生している。しかしながら、そのズレ方向は同一色の
画素が並ぶ方向とは同じであるため、ズレが発生したと
しても同じ色の画素にインク入り込むだけであるので混
色が発生することはない。

【０１１１】さらに、図２６のように回復ユニット２３
０を配置（インクジェットヘッド５５に対してブレード
２３２が斜めになるように配置）し、同様にＢ方向、同
一色の画素の並び方向にブレードを動作させた場合もイ
ンクの着弾位置のずれは、図２１のように発生する。

【０１１２】このように、回復ユニット２３０内のブレ
ード２３２の配置と、インクジェットヘッド５５の配置
との相対的な位置関係は特に限定されるものではない。
ブレードの動作方向（ワイピング方向）が同一色の画素
が並ぶ方向と同一であり、インクジェットヘッドのノズ
ル面を拭き取ることが可能であれば問題はない。

【０１１３】さらにインクジェットヘッドのノズル面を
きれいに拭くことができ、かつ、他の色のインクがワイ
ピングによりインクジェットヘッドのノズル面に付着す
ることがなければ、図２７のようにブレードを１つだけ
配置する回復ユニット２３０を用いた構成にすることも
可能である。

【０１１４】次に、インクジェットヘッドの吐出口面の
状態の変化について、模式図を用いて詳細に説明する。
図２８は、インクジェットヘッドの吐出口付近を拡大し
た模式図である。

【０１１５】図２８（ａ）は吐出口付近の初期の状態を
示した図である。図２８（ａ）から分かるように初期の
状態において、インク吐出口の周辺部を含む吐出口面は
完全に保護膜（保護部材）で覆われており、傷や膜剥れ
等３００は発生していない。

【０１１６】尚、ヘッドの吐出口面を被複する保護膜と
しては、撥水性を有していることが好ましい。即ち、撥
水膜（撥水部材）６００により吐出口面を覆うことが好
ましいのである。そこで本実施形態では、吐出口面が撥
水膜で覆われているヘッドを用いている。また、初期の
状態とは、ワイピング動作を１回も行っていないときの
状態、もしくは傷や膜剥れ等が発生しない程度の回数し
かワイピング動作を実行していないときの状態のことを
さす。

【０１１７】尚、傷部分や膜剥れ部分は、撥水部材の撥
水性機能（撥水効果）が低下した部分であるので、撥水
性低下部ということができる。また、保護部材の保護機
能が低下した部分でもあるので、保護機能低下部という
こともできる。また、傷部分や膜剥れ部分は、撥水部材
あるいは保護部材に欠損が生じた部分でもあるため欠損
部ということもでき、さらに撥水部材あるいは保護部材
の磨耗した部分であるため磨耗部ということもできる。
また、この撥水部材あるいは保護部材は、少なくとも吐
出口の周辺（周囲）部分を被覆していれば良く、必ずし
も吐出口面の全域を被覆している必要はないが、吐出口
面全部を被覆していることが好ましい。

【０１１８】図２８（ｂ）は、ｘ方向にワイピング動作
を繰り返した後の、インク吐出口周辺部を含む吐出口面
の状態を示した図である。ワイピング動作を繰り返すこ
とにより、インク吐出口の周辺部の撥水膜６００に傷や
膜剥れ部分３００が発生する。

【０１１９】図２８（ｃ）は、さらにｘ方向にワイピン
グ動作を繰り返した後の、インク吐出口の周辺部を含む
吐出口面の状態を示した図である。さらにワイピング動
作を繰り返したことにより、吐出口面を覆っている撥水
膜６００の傷や膜剥れは、図２８（ｂ）の状態に比べて
さらに大きくなっている。また、傷や膜剥れは単に大き
くなるのではなく、規則性をもって大きくなっている。
つまり、撥水膜の傷や膜剥れは、ワイピング方向（ｘ方
向）と同一方向に大きくなっていくのである。

【０１２０】このように撥水膜に発生する傷や膜剥れ
は、ワイピングの回数の増加に伴ってワイピング方向に
大きくなっていくのである。即ち、ワイピング動作を繰
り返していくうちに、撥水膜の傷や膜剥れはワイピング
方向と同一方向に長く伸びていくのである。また、撥水
膜の傷や膜剥れは吐出口面全域で均一に発生するのでは
なく、特にインク吐出口の周辺部分において発生しやす
い傾向が見られる。

【０１２１】上記のような傷や膜剥れが発生した場合、
インク吐出口の周辺部では、ワイピング動作時もしくは
動作後においてインクの拭き残しが発生しやすくなる。
すると、インク吐出口から吐出されるインク滴はこの拭
き残しインクの影響を受け、拭き残しインクの方に引き
ずられてしまう。拭き残しインクの方に引きずられると
いうことは、拭き残しインクが存在する部分、すなわち
傷部分や膜剥れ部分が存在する部分の方へ引きずられる
ということである。傷部分や膜剥れ部分はワイピング方
向と同一方向に存在しているため、吐出インクもこの方
向（ワイピング方向と同一方向）へ引きずられ、インク
滴の飛翔方向もワイピング方向と同一方向によれる。こ
の結果、インク滴の着弾位置がワイピング方向と同一方
向にずれるのである。また、吐出口周辺部の傷や膜剥れ
が大きければ大きいほど、インクの拭き残し量も多くな
り、それに伴ってインク着弾位置のズレ量も大きくな
る。すなわち、ワイピング動作を繰り返すことにより、
ワイピング方向と同一方向に傷や膜剥れが徐々に発生
し、その傷や膜剥れが大きくなるに従い、インクの着弾
位置もワイピング方向と同一方向にずれていくのであ
る。

【０１２２】次に、ワイピング動作を繰り返すことでイ
ンクの着弾位置にズレが発生するメカニズムについて、
図２９〜図３４を用いて詳細に説明する。

【０１２３】図２９は、インクジェットヘッドの吐出口
面の初期状態を示す図である。図３０は初期状態におけ
るインク吐出口からのインク滴吐出時の状態を模式的に
示す図であり、図３１は図３０で示すような吐出状態の
インク滴の着弾位置を模式的に示した図である。

【０１２４】図２９（a）のように初期状態における吐
出口面はインク吐出口の周辺部まで完全に撥水膜（撥水
部材）６００で覆われており、吐出口面に対するＸ方向
のワイピング動作時もしくは動作後において、図２９
（ｂ）に示されるようにインク吐出口周辺部での拭き残
しインクは全く存在しない、もしくはほとんど存在しな
い。

【０１２５】インク吐出口の周辺部の状態が図２９
（ｂ）の状態にある任意のインク吐出口から吐出される
インク滴は、図３０のようにインク吐出口の中心で切り
離され吐出方向が変化することなく安定して吐出されて
いく。つまり、吐出口面に対し垂直方向にインクが吐出
されていくのである。この場合、インク滴の着弾位置は
図３１のようになり、画素内の所定の位置に正確に着弾
する。尚、図３１のラインＡはインクの着弾目標の線で
あり、ここではインクが目標着弾線（目標位置）に着弾
しているため着弾位置のズレは発生していない。

【０１２６】図３２は、ヘッドの吐出口面に対しｘ方向
にワイピング動作を繰り返したときの吐出口面の状態を
示す図である。図３２（a）のようにワイピング動作を
繰り返すことにより、吐出口面を覆っている撥水膜(撥
水部材)６００にはワイピング方向と同一方向に傷や膜
剥れ３００が発生する。実際にワイピング動作を行なっ
た後の吐出口面の状態は、図３２（ｂ）に示されるよう
にインク吐出口周辺部に発生した傷部分や膜剥れ部分に
インクの拭き残りが生じることが多い。インク吐出口周
辺の状態が図３２（ｂ）の状態にある任意のインク吐出
口から吐出されるインク滴は、図３３のようにインク吐
出口より切り離される直前に拭き残しのインク（インク
残り）５００に引きずられ、インクの吐出方向が変化し
てしまう。即ち、吐出口面に対して垂直な方向とは異な
る方向にインクが吐出されていくのである。この場合、
インク滴の着弾位置は図３４のようになり、ワイピング
方向と同一方向、すなわちヘッドの吐出口面に生じた傷
部分や膜剥れ部分と同一方向に着弾位置のズレが発生し
ている。尚、図３４のラインＢはインクの着弾目標の線
であり、ここではインクドットＲ・インクドットＳ・イ
ンクドットＴ・インクドットＵのうち、インクドットＲ
とインクドットＵの着弾位置が目標着弾線に着弾してお
らず着弾位置のズレが発生している。しかしながら、ｘ
方向に着弾位置がずれるだけなので、画素からインクが
はみ出して混色が発生することはない。尚、上記では、
図２８のＸ１方向（往方向）とＸ２方向（復方向）の両
方向にワイピング部材を往復移動させることによりワイ
ピング動作を行っている。このようにＸ１、Ｘ２の両方
向にワイピングすることで、図２８（ｃ）に示されるよ
うに吐出口付近の両側（Ｘ１方向側とＸ２方向側）に欠
損部３００が生じることとなる。仮に、片方向のみにワ
イピング部材を移動させてワイピング動作を行うことと
すると、吐出口付近の片側にのみ欠損部が発生しやすく
なる。具体的には、Ｘ２からＸ１へ向けてワイピング部
材を移動させてワイピング動作を行う場合、即ちワイピ
ング方向をＸ１方向とする場合、図２８（ｃ）のＶ１部
分（Ｘ１側の部分）に欠損部が発生しやすく、一方、Ｘ
１からＸ２へ向けてワイピング部材を移動させてワイピ
ング動作を行う場合、即ちワイピング方向をＸ２方向と
する場合、図２８（ｃ）のＶ２部分（Ｘ２側の部分）に
欠損部が発生しやすい。このように片方向のみでワイピ
ング動作を行うと欠損部が片側にのみ発生しやすく、そ
れに起因してヘッドの寿命が短くなってしまう。そこ
で、本実施形態では、ヘッドの寿命をより長くするため
に、両方向でワイピング動作を行っている。

【０１２７】ここで、本実施形態のワイピング動作につ
いてより詳しく説明する。本実施形態では、２０枚毎に
ワイピング動作を行っており、まず、２０枚目のカラー
フィルタを製造した後に、ワイピング部材をＸ１方向へ
移動させてワイピング動作（第１のワイピング動作）を
行う。次に、４０枚目のカラーフィルタを製造した後
に、ワイピング部材をＸ２方向へ移動させてワイピング
動作（第２のワイピング動作）を行う。その後は上記動
作を繰り返していき、６０、１００、１４０、…枚目の
製造後にはＸ１方向へワイピングし（第１のワイピング
動作を行い）、８０、１２０、１６０、…枚目の製造後
にはＸ２方向へワイピングする（第２のワイピング動作
を行う）。尚、上記説明では２０枚毎にワイピング動作
を行っているが、ワイピング動作の頻度はこれに限定さ
れるものではなく、例えばカラーフィルタを１枚製造す
る度にワイピング動作を行ってもよいし、１００枚製造
する毎に行ってもよい。このように本実施形態では、カ
ラーフィルタをＮ枚製造する毎にワイピング動作を行え
ばよく、Ｎ枚製造する毎にワイピング方向を往方向と復
方向とに交互に切り換えればよいのである。また、本実
施形態ではワイピング方向を交互に切り換えることには
限定されず、例えば、２０、４０枚目の製造後にはＸ１
方向へワイピングし、６０、８０枚目の製造後にはＸ２
方向へワイピングし、１００、１２０枚目の製造後には
Ｘ１方向へワイピングし、１４０、１６０枚目の製造後
にはＸ２方向へワイピングするようにしてよい。つま
り、本実形態では、往方向にワイピングする回数と復方
向にワイピングする回数とが略均等になるようにすれば
よく、複数回のワイピング動作を行う度にワイピング方
向を切り換えてもよいのである。

【０１２８】以上のように、本実施形態では、Ｎ枚製造
する毎にワイピング方向を切り換え、往方向にワイピン
グする回数と復方向にワイピングする回数とを略等しく
することで、ヘッドの寿命が長くなるようにしている。
尚、ヘッドの寿命を長くする観点から両方向でワイピン
グ動作を行うことが好ましいが、本実施形態では片方向
のみでワイピング動作を行ってもよい。

【０１２９】また、本実施形態では、図１６及び図２０
に示すように、同一色に着色される画素ピッチ（画像間
隔）と、走査方向と略直交する方向における、使用する
ノズルのピッチ（使用ノズルの間隔）とが一致するよう
に、インクジェットヘッドを走査方向に対してある角度
だけ傾け、ヘッドを傾けたままの状態で着色を行ってい
る。そして、ヘッドをある角度だけ傾けたまま状態で、
同一色の画素が並ぶ方向に沿った方向（図２０のＢ方
向）にワイピング動作を行っている。ここで、仮に、傾
いているヘッドを元の状態を戻してしからワイピング動
作を行うこととすると、再びヘッドを傾けたときに欠損
部の発生する方向と同一色に着色される画素が並ぶ方向
とが一致せず、そのために混色を発生させてしまう。こ
れに対し、本実施形態では、ヘッドを傾けたままの状態
でワイピングを行っているので、欠損部の発生する方向
と同一色に着色される画素が並ぶ方向とが一致するた
め、インクの着弾位置のズレ方向をＢ方向とすることが
でき、混色の低減を図ることができる。

【０１３０】このように、インクジェットヘッドからカ
ラーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方向に
延びる着色領域を形成してカラーフィルタを形成するに
際し、ワイピング部材のワイピングの方向を上記所定の
方向に沿った方向と同一にすることで、欠損部が発生す
る方向と所定の方向とが一致し、混色の低減を図ること
ができる。

【０１３１】以上のように、ワイピング動作により吐出
口面の撥水膜に傷や膜剥れが発生し、その傷や膜剥れに
起因してインクの着弾位置がワイピング方向と同じ方向
にずれるけれども、同一色の画素が並ぶ方向に沿った方
向とワイピング方向とが一致しているため、インクの着
弾位置がずれたとしても混色の原因となることはない。

【０１３２】以下、本実施形態の具体的な実施例につい
て説明する。

【０１３３】（実施例１）本実施例で使用するインクジ
ェットヘッドは、図２２に示すように、一般のプリンタ
用のヘッドで、隣接するノズルの間隔は７０．５μｍ
（３６０ｄｐｉ）である。

【０１３４】このインクジェットヘッドで１２．１イン
チサイズＳＶＧＡのカラーフィルタ（縦６００画素、横
８００画素を形成したＲＧＢストライプ配列）の着色を
行なう場合について説明する。

【０１３５】まず、同一色同士の画素ピッチと、ｘ方向
のノズルピッチとを一致させるため、ヘッドを傾けて４
ノズルおき（図２２参照）に使用するように設定する。
この例では、インクジェットヘッドのノズルの並び方向
を、カラーフィルタの同一色画素の並び方向（Ｙ方向）
と略直交する方向（Ｘ方向）から少しすれた方向とし、
図中Ｙ方向にインクジェットヘッドを走査させながら着
色を行う。即ち、この実施例１では、Ｘ方向に対して少
し傾いた方向に吐出口が配列するようにしたヘッドを用
い、そのヘッドを基板に対して相対的にＹ方向に走査さ
せながら、同一色の複数の画素（同一色の画素列）がＹ
方向に形成されるようにインクを吐出していくのであ
る。

【０１３６】このヘッドに対しワイピングブレードをヘ
ッドと平行になるように配置した。

【０１３７】次に、カラーフィルタを形成する。

【０１３８】まず、所定の開口部を有するクロム（Ｃ
ｒ）からなる１２．１インチサイズＳＶＧＡタイプのブ
ラックマトリクスを形成したガラス基板上に水性インク
吸収性を有し、光照射あるいは、光照射と熱処理により
光照射部分のインク吸収性が低下し、かつ、インクに対
し撥水性を示す組成物材料（Ｎ−メチロールアクリルア
ミドとメタクリル酸メチルとヒドロキシエチルメタクリ
レートの３元共重合体１０重量部とトリフェニルスルホ
ニウムトリフラート０．４重量部からなる）をスピンコ
ートで膜厚１．０μｍとなるように塗布し、６０℃で１
０分間のプリベークを行って樹脂組成物層を形成した。

【０１３９】次いで、ブラックマトリクスより細いパタ
ーン形状のフォトマスクを介してＵＶ（紫外線）ランプ
にて露光した。露光終了後、ホットプレートで１１０℃
９０秒間加熱して着色予定領域と混色防止領域（インク
撥水性部分）となるインク撥水部を形成した。

【０１４０】このようにして形成したガラス基板を図２
３に示すカラーフィルタ製造装置９０のＸＹＺθステー
ジ５２上にセットする。

【０１４１】ＸＹＺθステージ５２を走査させインクジ
ェットヘッド５５ｂ，５５ｃ，５５ｄにより着色を行な
う。

【０１４２】さらにインクミスト等がインクジェットヘ
ッドのノズル面に付着してきた場合に、回復ユニット２
３０を動作させワイピングを行なう。この時ブレード
は、同一色の画素並び方向と同じ方向（すなわち図２３
上でＸ方向）に動作させる。

【０１４３】上記の方法で着色を行なった基板を、９０
℃で１０分間インク乾燥を行い、さらに２３０℃３０分
間の加熱処理により樹脂組成物層を完全に硬化させてカ
ラーフィルタを作成した。

【０１４４】このようにしてカラーフィルタの製造を繰
り返し行なった。このとき、インクジェットヘッドから
吐出されたインクの着弾位置のずれを測定したところ、
初期の状態に対し異なる色の画素が並ぶ方向（図２３の
Ｙ方向）でのインク着弾のズレは、５μｍ以内であっ
た。一方、カラーフィルタの同一色の画素が並ぶ方向
（図２３のＸ方向）でのインク着弾点のズレは１０〜３
０μｍであった。

【０１４５】しかしながら、混色が発生することはな
く、安定してカラーフィルタを作成することが可能であ
った。

【０１４６】（実施例２）実施例１と同様に、使用する
インクジェットヘッドは、図２４に示すように一般のプ
リンタ用のヘッドで、隣接するノズルの間隔は７０．５
μｍ（３６０ｄｐｉ）である。

【０１４７】このインクジェットヘッドで１２．１イン
チサイズＳＶＧＡのカラーフィルタ（縦６００画素、横
８００画素を形成したＲＧＢストライプ配列）の着色を
行なう場合について説明する。

【０１４８】図２４は、本実施例におけるカラーフィル
タの着色領域の一部と、それに対するインクジェットヘ
ッドの配置状態を模式的に示した図である。この例で
は、インクジェットヘッドのノズルの並び方向を、カラ
ーフィルタの同一色画素の並び方向と一致させ、図中ｙ
方向にインクジェットヘッドを走査させながら着色を行
う。即ち、この実施例２では、吐出口がｘ方向に配列し
たヘッドを用い、そのヘッドを基板に対して相対的にＹ
方向に走査させながら、同一色の複数の画素（同一色の
画素列）がｘ方向に形成されるようにインクを吐出して
いくのである。

【０１４９】また、インクジェットヘッドに対しワイピ
ングブレードをヘッドと直角になるように配置した。

【０１５０】次に、カラーフィルタを形成する。

【０１５１】まず、インクジェットヘッドを図中ｙ方向
に走査して、着色部を形成したガラス基板にインクジェ
ットヘッド５５ｂ，５５ｃ，５５ｄにより着色を行な
う。

【０１５２】着色を繰り返し、インクミスト等がインク
ジェットヘッドのノズル面に付着してきた場合に、回復
ユニット２３０を動作させワイピングを行なう。この時
ブレードは、同一色の画素が並ぶ方向と同じ方向（すな
わち図２４上でｘ方向）に動作させる。

【０１５３】上記の方法で着色を行なった基板を、実施
例１と同様の手順により樹脂組成物層を完全に硬化させ
てカラーフィルタを作成した。

【０１５４】このようにしてカラーフィルタの製造を繰
り返し行なった。このとき、インクジェットヘッドから
吐出されたインクの着弾位置のずれを測定したところ、
初期の状態に対し異なる色の画素が並ぶ方向（図２４上
のｙ方向）での着弾点のズレは５μｍ以内であった。ま
た、カラーフィルターにおける同一色の画素が並ぶ方向
（図２４上でｘ方向）でのインク着弾点のズレは１０〜
３０μｍであった。

【０１５５】しかしながら、混色が発生することはな
く、安定してカラーフィルタを作成することが可能であ
った。

【０１５６】（実施例３）実施例１および実施例２と同
様に、使用するインクジェットヘッドは図３５に示すよ
うな一般のプリンタ用のヘッドで、隣接する吐出口の間
隔は７０．５μm（３６０dpi）である。

【０１５７】このインクジェットヘッドを用いて、１
２．１インチサイズSVGAのカラーフィルタ（縦６００画
素、横８００画素のRGBストライプタイプ配列）の着色
を実施例１および実施例２とは異なる製造方法により行
なう場合について説明する。

【０１５８】図３５は、本実施例におけるカラーフィル
タの着色領域の一部と、それに対するインクジェットヘ
ッドの配置状態を模式的にあらわした一例を示す図であ
る。本実施例では、インクジェットヘッドの吐出口の並
び方向を、カラーフィルタの同一色の画素の並び方向と
一致させ、図のｙ方向にインクジェットと基板とを相対
的に走査させながら着色を行なう。即ち、この実施例３
では、吐出口がｘ方向に配列したヘッドを用い、そのヘ
ッドを基板に対して相対的にｙ方向に走査させながら、
同一色の複数の画素（同一色の画素列）がｘ方向に形成
されるようにインクを吐出していくのである。

【０１５９】また、インクジェットヘッドに対しワイピ
ングブレードをヘッドと直角となるように配置した。

【０１６０】次に、実際にカラーフィルタを形成してい
く場合について説明する。

【０１６１】まず、ガラス基板に黒色顔料レジスト＜新
日鐵化学（株）製ＢＫ−739Ｐ＞をスピンコート法によ
り塗布した。次いで、インクを着色する部分を遮光する
フォトマスク（不図示）を用いて、このフォトマスクを
介してパターン露光し、エッチング処理によりレジスト
の一部を除去し着色部を形成した。さらに、９０℃１０
分間のプリベークを行い、厚さ１．０μｍのブラックマ
トリクス基板（ＢＭ基板）を形成した。なお、ブラック
マトリクス間に形成された凹部のサイズは、２９０μm
×９０μmであった。

【０１６２】このようにして形成したＢＭ基板（ガラス
基板）に対し、水、有機溶剤、メラミン樹脂及び顔料を
含む熱硬化型の顔料インクをインクジェットヘッド５５
ｂ、５５c、５５dから吐出して、基板上にR、G、Bのパ
ターンを着色した。

【０１６３】着色動作を繰り返していくうちに、インク
ミスト等がインクジェットヘッドの吐出口面に付着して
きた場合に、回復ユニット２３０を動作させて吐出口面
のワイピングを行った。このときブレードは、同一色の
画素並び方向と同方向(すなわち図３５のｘ方向)に動作
させる。

【０１６４】上記の方法で着色を行なった基板を、９０
℃１０分間、さらに２３０℃３０分間の熱処理によりイ
ンクを完全に硬化させた。さらに保護層を形成してカラ
ーフィルタを作成した。

【０１６５】このようにしてカラーフィルタの製造を繰
り返し行なった。このとき、インクジェットヘッドから
吐出されたインクの着弾位置のズレを測定したところ、
初期の状態に対し異なる色の画素が並ぶ方向（ｙ方向)
でのインク着弾点のズレは５μm以内であった。また、
カラーフィルタにおける同一色の画素が並ぶ方向(Ｘ方
向)でのインク着弾点のズレは１０〜３０μmであった。

【０１６６】しかしながら、混色が発生することはな
く、安定してカラーフィルタを作成することが可能であ
った。

【０１６７】（比較例１）実施例１〜３と同様に、使用
するインクジェットヘッドは図３６に示すように一般の
プリンタ用ヘッドで、隣接する吐出口の間隔は７０．５
μm（３６０dpi）である。このインクジェットヘッドを
用い、１２．１インチサイズSVGAのカラーフィルタ（縦
600画素、横800画素のRGBストライプタイプ配列）の着
色を行なう場合について説明する。

【０１６８】図３６は、本比較例におけるカラーフィル
タの着色領域の一部と、それに対するインクジェットヘ
ッドの配置状態を模式的にあらわした一例を示す図であ
る。

【０１６９】本比較例では、インクジェットヘッドの吐
出口の並び方向をカラーフィルタの同一色の画素の並び
方向と一致させ、図中ｙ方向にインクジェットを相対的
に走査させながら着色を行なう。即ち、この比較例で
は、吐出口がｘ方向に配列したヘッドを用い、そのヘッ
ドを基板に対して相対的にｙ方向に走査させながら、同
一色の複数の画素（同一色の画素列）がｘ方向に形成さ
れるようにインクを吐出していくのである。

【０１７０】また、インクジェットヘッドに対しワイピ
ングブレードをヘッドと平行となるように配置した。

【０１７１】次に、実際にカラーフィルタを形成してい
く場合について説明する。実施例３と同様の方法により
ブラックマトリクスを形成したＢＭ基板（ガラス基板）
に対し、水、有機溶剤、メラミン樹脂及び顔料を含む熱
硬化型の顔料インクをインクジェットヘッド５５ｂ、５
５c、５５dから吐出して、基板上にR、G、Bのパターン
を着色した。

【０１７２】この着色動作を繰り返していくうちに、イ
ンクミスト等がインクジェットヘッドの吐出口面に付着
してきた場合に、回復ユニット２３０を動作させて吐出
口面のワイピングを行なう。このときブレードは、同一
色の画素並び方向と直角方向(すなわち図３６のｙ方向)
に動作させる。

【０１７３】上記の方法により着色を行なった基板を、
実施例３と同様の手順によりインクを完全に硬化させカ
ラーフィルタを形成した。

【０１７４】このようにしてカラーフィルタの製造を繰
り返し行なった。このとき、インクジェットヘッドから
吐出されたインクの着弾位置のズレを測定したところ、
初期の状態に対し同一色の画素が並ぶ方向(図３６のｘ
方向)でのインク着弾点のズレは５μm以内であった。ま
た、異なる色の画素が並ぶ方向(図３６のｙ方向)でのイ
ンク着弾点のズレは１０〜３０μmであった。

【０１７５】隣接する異なる色の画素間の幅は約１５μ
mであるため、着弾位置が約１５μm以上ずれた部分では
混色が発生しカラーフィルタは不良となってしまった。

【０１７６】以上説明したように、上記の実施形態によ
れば、回復ユニットによるヘッドのワイピング方向を、
同一色の画素の並び方向と一致させることにより、ワイ
ピングを繰り返しても異なる色の画素間での混色を起き
にくくすることができる。

【０１７７】なお、本発明は、その主旨を逸脱しない範
囲で、上記実施形態を修正又は変形したものに適用可能
である。

【０１７８】例えば、近年ＴＦＴアレイ側にカラーフィ
ルタを設けたパネルも存在するが、本明細書で定義して
いるカラーフィルタは、色材により着色された被着色体
であり、ＴＦＴアレイ側にあるか否かにかかわらず、ど
ちらも包含する。

【０１７９】本発明は、上記実施形態に限定されるもの
ではなく、本発明の趣旨の範囲で種々に変更して適用す
ることが可能である。

【０１８０】本発明は、たとえば、ＥＬ（エレクトロル
ミネッセンス、electroluminesence表示素子の製造方法
や製造装置等にも適用可能である。ＥＬ表示素子は、蛍
光性の無機および有機化合物を含む薄膜を、陰極と陽極
とで挟んだ構成を有し、前記薄膜に電子および正孔（ホ
ール）を注入して再結合させることにより励起子を生成
させ、この励起子が失活する際の蛍光或いは燐光の放出
を利用して発光させる素子である。こうしたＥＬ表示素
子に用いられる蛍光性材料のうち、赤、緑および青色の
発光色を呈する材料を本発明の製造装置を用いて、ＴＦ
Ｔ等の素子基板上にインクジェット法によりパターニン
グすることで、自発光フルカラーＥＬ表示素子を製造す
ることができる。本発明の範囲にはこのようなＥＬ表示
素子、該表示素子の製造方法及びその製造装置等をも含
むものである。

【０１８１】本発明の製造装置は、ＥＬ材料が付着しや
すいように、樹脂レジスト、画素電極および下層となる
層の表面に対し、プラズマ処理、ＵＶ処理、カップリン
グ処理等の表面処理工程を実行するための手段を有する
ものであってもよい。本発明の製造方法を用いて製造し
たＥＬ表示素子は、セグメント表示や全面同時発光の静
止画表示等のローインフォメーション分野にも利用でき
るし、点・線・面形状をもった光源としても利用するこ
とができる。さらに、パッシブ駆動の表示素子をはじ
め、ＴＦＴ等のアクティブ素子を駆動に用いることで、
高輝度で応答性の優れたフルカラー表示素子を得ること
が可能である。

【０１８２】以下に、本発明により製造される有機ＥＬ
素子の一例を示す。図３７は有機ＥＬ素子の積層構造断
面図である。図３７に示す有機ＥＬ素子は、透明基板３
００１、隔壁（仕切り部材）３００２、発光層３００
３、透明電極３００４および金属層３００６を備えてい
る。また、３００７は、透明基板３００１と透明電極３
００４とから構成される部分を示しており、これを駆動
基板と呼ぶ。

【０１８３】透明基板３００１としては、ＥＬ表示素子
としての透明性や機械的強度等の必要特性を有していれ
ば特に限定されるものではなく、例えば、ガラス基板や
プラスチック基板等の光透過性の基板が適用可能であ
る。

【０１８４】隔壁（仕切り部材）３００２は、液体付与
ヘッドから発光層３００３となる材料を付与するに際し
隣接する画素間で該材料が混合しないように画素と画素
の間を隔離するための機能を有するものである。すなわ
ち、隔壁３００２は混色防止壁として機能するのであ
る。また、この隔壁３００２を透明基板３００１上に設
けることにより、基板上には複数の凹部（画素領域）が
形成される。尚、隔壁３００２は、該材料に対して親和
性の異なる多層構造であっても問題無い。

【０１８５】発光層３００３は、電流を流すことにより
発光する材料、例えばポリフェニレンビニレン（ＰＰ
Ｖ）等公知の有機半導体材料を使用して、十分な光量が
得られる厚み、例えば０．０５μｍ〜０．２μｍ程度積
層して構成される。発光層３００３はインクジェット方
式などの方法によって薄膜材料液（自発光材料）を隔壁
３００２で囲まれる凹部に充填し加熱処理することで形
成される。カラー有機ＥＬ素子を形成する場合には、
赤、緑または青などの異なる発光色を有する発光層を形
成する必要がある。したがって、隣接する領域に異なる
発光層を形成することが好ましく、任意の位置に異なる
薄膜材料液を吐出できるインクジェット方式で発光層を
形成する方法は非常に有効な方法である。

【０１８６】透明電極３００４は、導電性がありかつ光
透過性のある材料、例えばＩＴＯ等により構成されてい
る。透明電極３００４は、画素単位で発光させるため
に、画素領域ごとに独立して設けられている。

【０１８７】金属層３００６は、導電性のある金属材
料、例えばアルミニウムリチウム（Ａｌ−Ｌｉ）を０．
１μｍ〜１．０μｍ程度積層して構成される。金属層３
００６は、透明電極３００４に対向する共通電極として
作用するように形成されている。

【０１８８】駆動基板３００７は、図示しない薄膜トラ
ンジスタ（ＴＦＴ）、配線膜および絶縁膜等が多層に積
層されており、金属層３００６および各透明電極３００
４間に画素単位で電圧を印加可能に構成されている。駆
動基板３００７は公知の薄膜プロセスによって製造され
る。

【０１８９】上記のような層構造を有する有機ＥＬ素子
において、透明電極３００４と金属層３００６との間に
電圧が印加された画素領域では、発光層３００３に電流
が流れ、エレクトロルミネッセンス現象を生じ、透明電
極３００４および駆動基板３００１を通して光が射出さ
れるようになっている。本例の方法によれば、簡便な工
程でフルカラーＥＬ素子を形成することが可能となる。

【０１９０】尚、本発明では、画素部領域に、表示に用
いられるための材料を付与することで表示部を形成して
おり、カラーフィルタであれば着色部が上記表示部に相
当し、ＥＬ素子であれば発光部が上記表示部に相当す
る。上記着色部や発光部を含む表示部は、情報の表示の
ために用いられる部分であり、視覚的に色を認識するた
めの部分でもある。

【０１９１】また、カラーフィルタの着色部やＥＬ素子
の発光部は、色を生じさせる（色が発さられる）部分で
もあるため発色部というもできる。例えば、カラーフィ
ルタの場合、バックライトによる光が着色部を通過して
ＲＧＢの光が発せられ、また、ＥＬ素子の場合、発光部
が自発光することによりＲＧＢの光が発せられる。ま
た、インクや自発光材料は、上記発色部を形成するため
の材料であるので、発色を生じさせる材料ということも
できる。またインクや自発光材料は、液体であるので、
総称して液体材料ということもできる。また、インクや
自発光材料は、表示に用いられる表示部を形成するため
の材料でもある。

【０１９２】また、上記では、カラーフィルタを製造す
るに際し、画素領域において混色が発生することを起こ
りにくくすることができると説明した。一方、ＥＬ素子
の製造の場合、画素領域において複数の自発光材料が混
ざり合うことを起こりにくすることができる。

【０１９３】以上のように本発明は、隔壁により囲まれ
る複数の凹部に材料を充填して複数の表示部が形成され
たパネル、例えばカラーフィルタ・ＥＬ素子等を含むカ
ラー表示装置に使用されるパネル（表示用素子）の製造
に適用可能である。尚、この表示装置用のパネルは、上
記カラーフィルタ及びＥＬ表示素子に限定されるもので
なく、基板上の画素領域に液体材料を充填していくこと
により形成されたパネルであって、表示装置に利用でき
るパネル全般を含むものである。

【０１９４】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、インク吐出を行わせるために利用されるエネル
ギーとして熱エネルギーを発生する手段（例えば電気熱
変換体やレーザ光等）を備え、前記熱エネルギーにより
インクの状態変化を生起させる方式のプリント装置につ
いて説明したが、かかる方式によれば記録の高密度化、
高精細化が達成できる。

【０１９５】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第４７２３１２９号明細書、同第４７４０
７９６号明細書に開示されている基本的な原理を用いて
行うものが好ましい。この方式はいわゆるオンデマンド
型、コンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特に、オンデマンド型の場合には、液体（インク）
が保持されているシートや液路に対応して配置されてい
る電気熱変換体に、記録情報に対応していて膜沸騰を越
える急速な温度上昇を与える少なくとも１つの駆動信号
を印加することによって、電気熱変換体に熱エネルギー
を発生せしめ、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさ
せて、結果的にこの駆動信号に１対１で対応した液体
（インク）内の気泡を形成できるので有効である。この
気泡の成長、収縮により吐出用開口を介して液体（イン
ク）を吐出させて、少なくとも１つの滴を形成する。こ
の駆動信号をパルス形状をすると、即時適切に気泡の成
長収縮が行われるので、特に応答性に優れた液体（イン
ク）の吐出が達成でき、より好ましい。

【０１９６】このパルス形状の駆動信号としては、米国
特許第４４６３３５９号明細書、同第４３４５２６２号
明細書に記載されているようなものが適している。な
お、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国特許
第４３１３１２４号明細書に記載されている条件を採用
すると、さらに優れた記録を行うことができる。

【０１９７】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出口、液路、電気熱変換体
の組み合わせ構成（直線状液流路または直角液流路）の
他に熱作用面が屈曲する領域に配置されている構成を開
示する米国特許第４５５８３３３号明細書、米国特許第
４４５９６００号明細書を用いた構成も本発明に含まれ
るものである。加えて、複数の電気熱変換体に対して、
共通するスロットを電気熱変換体の吐出部とする構成を
開示する特開昭５９−１２３６７０号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開口を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭５９−１３８４６１号公報に基づいた構
成としても良い。

【０１９８】さらに、記録装置が記録できる最大記録媒
体の幅に対応した長さを有するフルラインタイプの記録
ヘッドとしては、上述した明細書に開示されているよう
な複数記録ヘッドの組み合わせによってその長さを満た
す構成や、一体的に形成された１個の記録ヘッドとして
の構成のいずれでもよい。

【０１９９】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設けら
れたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよい。

【０２００】また、本発明の記録装置の構成として設け
られる、記録ヘッドに対しての回復手段、予備的な補助
手段等を付加することは本発明の効果を一層安定にでき
るので好ましいものである。これらを具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対しての加圧あるいは吸引手段、電気
熱変換体あるいはこれとは別の加熱素子あるいはこれら
の組み合わせによる予備加熱手段、記録とは別の吐出を
行う予備吐出モードを行うことも安定した記録を行うた
めに有効である。

【０２０１】以上説明した本発明実施形態においては、
インクを液体として説明しているが、室温やそれ以下で
固化するインクであっても、室温で軟化もしくは液化す
るものを用いても良く、使用記録信号付与時にインクが
液状をなすものであればよい。

【０２０２】加えて、積極的に熱エネルギーによる昇温
をインクの固形状態から液体状態への状態変化のエネル
ギーとして使用せしめることで積極的に防止するため、
またはインクの蒸発を防止するため、放置状態で固化し
加熱によって液化するインクを用いても良い。いずれに
しても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイ
ンクが液化し、液状インクが吐出されるものや、記録媒
体に到達する時点では既に固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質の
インクを使用する場合も本発明は適用可能である。この
ような場合インクは、特開昭５４−５６８４７号公報あ
るいは特開昭６０−７１２６０号公報に記載されるよう
な、多孔質シート凹部または貫通孔に液状または固形物
として保持された状態で、電気熱変換体に対して対向す
るような形態としてもよい。本発明においては、上述し
た各インクに対して最も有効なものは、上述した膜沸騰
方式を実行するものである。

【０２０３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
インクジェットヘッドのノズル面（吐出口面）のワイピ
ングを繰り返しても、画素領域において複数の材料が混
ざり合うことを起こりにくくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】カラーフィルタの製造装置の一実施形態の構成
を示す概略図である。

【図２】カラーフィルタの製造装置の動作を制御する制
御部の構成を示す図である。

【図３】カラーフィルタの製造装置に使用されるインク
ジェットヘッドの構造を示す図である。

【図４】カラーフィルタの製造方法を示した図である。

【図５】カラーフィルタの製造工程を示した図である。

【図６】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラ
ー液晶表示装置の基本構成の一例を示す断面図である。

【図７】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラ
ー液晶表示装置の基本構成の他の例を示す断面図であ
る。

【図８】一実施形態のカラーフィルタを組み込んだカラ
ー液晶表示装置の基本構成のさらに他の例を示す断面図
である。

【図９】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示し
た図である。

【図１０】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示
した図である。

【図１１】液晶表示装置が使用される情報処理装置を示
した図である。

【図１２】インクジェットヘッドのノズル面を示す模式
図である。

【図１３】インクジェットヘッドの回復ユニットの構成
を示す模式図である。

【図１４】インクジェットヘッドから吐出されたインク
の着弾位置のずれを示す図である。

【図１５】インクジェットヘッドから吐出されたインク
の着弾位置のずれを示す図である。

【図１６】カラーフィルタの着色画素とインクジェット
ヘッドのノズルの関係を示す図である。

【図１７】インクジェットヘッドから吐出されたインク
の初期状態での着弾位置を示す図である。

【図１８】カラーフィルタの着色画素とインクジェット
ヘッド、回復ユニットの動作方向の関係を示す図であ
る。

【図１９】図１８の構成でワイピングを繰り返した際の
インクジェットヘッドから吐出されたインクの着弾位置
を示す図である。

【図２０】カラーフィルタの着色画素とインクジェット
ヘッド、回復ユニットの動作方向の関係を示す図であ
る。

【図２１】図２０の構成でワイピングを繰り返した際の
インクジェットヘッドから吐出されたインクの着弾位置
を示す図である。

【図２２】カラーフィルタの着色画素とインクジェット
ヘッドのノズルの関係を示す図である。

【図２３】カラーフィルタの製造装置の一部を示す図で
ある。

【図２４】カラーフィルタの着色画素とインクジェット
ヘッド、回復ユニットの動作方向の関係を示す図であ
る。

【図２５】カラーフィルタの製造工程の他の例を示す図
である。

【図２６】インクジェットヘッドとブレードの位置関係
を示す図である。

【図２７】インクジェットヘッドとブレードの位置関係
を示す図である。

【図２８】インクジェットヘッド吐出口面の状態変化を
示す模式図である。

【図２９】インクジェットヘッドヘッドの吐出口面の初
期状態を示す模式図である。

【図３０】初期状態でのインクジェットヘッドのインク
吐出状態を示す模式図である。

【図３１】初期状態におけるインクジェットヘッドから
吐出されたインクの着弾位置を示す模式図である。

【図３２】ワイピングを繰り返したあとのインクジェッ
トヘッドヘッドの吐出口面の状態を示す模式図である。

【図３３】ワイピングを繰り返したあとのインクジェッ
トヘッドのインク吐出状態を示す模式図である。

【図３４】ワイピングを繰り返したあとのインクジェッ
トヘッドから吐出されたインクの着弾位置を示す模式図
である

【図３５】カラーフィルタの着色画素とインクジェット
ヘッド、回復ユニットの動作方向の関係の一例を示す模
式図である。

【図３６】カラーフィルタの着色画素とインクジェット
ヘッド、回復ユニットの動作方向の関係の一例を示す模
式図である。

【図３７】EL素子の構成を示す図である。

【図３８】所定の方向に延びる着色領域を説明するため
の図である。

【符号の説明】

１基板２ブラックマトリクス３樹脂組成物層５５インクジェットヘッドユニット５５ｂ，５５ｃ，５５ｄインクジェットヘッド９０カラーフィルタの製造装置１０８吐出口２３０回復ユニット２３２ブレード３００傷や膜剥れ５００インク残り

フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０９Ｆ 9/30 ３４９Ｂ４１Ｊ 3/04 １０２ＨＦターム(参考） 2C056 EA16 FA15 FB01 FB08 HA24 JB04 JB07 JB08 2H048 BA02 BA11 BA64 BB02 BB14 BB42 2H091 FA02Y FC12 FC22 FD04 LA12 5C094 AA08 BA03 BA43 CA19 CA24 DA14 DA15 EA04 EA07 EB02 ED03 ED14 FB12 FB15 GB10 5G435 AA04 BB12 BB15 CC12 EE25 EE33 FF05 GG12 GG22 KK05 KK07 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インクを吐出するための吐出口が開口し
た吐出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺
部分が撥水部材で被覆されたインクジェットヘッドから
カラーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方向
に延びる着色領域を色毎に形成することによりカラーフ
ィルタを製造する方法であって、前記吐出口面をワイピングするためのワイピング部材を
用意する工程と、前記ワイピング部材により前記吐出口面をワイピングす
る工程とを備え、前記吐出口面のワイピングに伴い前記撥水部材に欠損部
が発生するとともに、前記欠損部は前記ワイピング方向
に発生し、前記ワイピング部材のワイピングの方向は前記所定の方
向に沿った方向と同一であることを特徴とするカラーフ
ィルタの製造方法。
【請求項２】前記欠損部は、前記ワイピング方向に延
びた形状であることを特徴とする請求項１に記載のカラ
ーフィルタの製造方法。
【請求項３】前記欠損部とは、前記撥水部材に発生す
る傷の部分あるいは前記撥水部材が剥離した部分である
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のカラーフィル
タの製造方法。
【請求項４】前記インクジェットヘッドからインクを
吐出するに際し、前記インクの着弾位置が前記所定の方
向にずれることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか
に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】前記撥水部材は、前記吐出口面の全域を
被覆していることを特徴とする請求項１乃至４のいずれ
かに記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】前記インクの吐出は、前記インクジェッ
トヘッドと前記基板とを相対的に走査させながら行い、前記走査の方向は、前記所定の方向と同一の方向である
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のカ
ラーフィルタの製造方法。
【請求項７】前記インクの吐出は、前記インクジェッ
トヘッドと前記基板とを相対的に走査させながら行い、前記走査の方向は、前記所定の方向と直交する方向であ
ることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の
カラーフィルタの製造方法。
【請求項８】前記着色領域は、赤色、緑色、青色である
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれかに記載のカ
ラーフィルタの製造方法。
【請求項９】前記着色領域は、前記所定の方向に複数の
画素を有することを特徴とする請求項１乃至８のいずれ
かに記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】前記着色領域は、前記所定の方向に１つ
の画素を有することを特徴とする請求項１乃至８のいず
れかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１１】前記ワイピング部材は弾性を有する部材
であることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれかに
記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】前記インクジェットヘッドは、熱エネル
ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
発生体を備えることを特徴とする請求項１乃至１１のい
ずれかに記載のカラーフィルタ製造方法。
【請求項１３】前記インクジェットヘッドは、電気エネ
ルギーが与えられることによって変位し前記変位に伴う
圧力変化によってインクを吐出させるピエゾ素子を備え
ることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれかに記載
のカラーフィルタ製造方法。
【請求項１４】インクを吐出するための吐出口が開口
した吐出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周
辺部分が撥水部材で被覆されたインクジェットヘッドか
らカラーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方
向に延びる着色領域を色毎に形成することによりカラー
フィルタを製造する装置であって、前記吐出口面をワイピングするためのワイピング部材
と、前記ワイピング部材によるワイピング動作を制御するた
めのワイピング手段とを備え、前記吐出口面のワイピングに伴い前記撥水部材に欠損部
が発生するとともに、前記欠損部は、前記ワイピング方
向に発生し、前記ワイピング手段による前記ワイピング部材のワイピ
ングの方向は、前記所定の方向に沿った方向と同一であ
ることを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
【請求項１５】前記欠損部は、前記ワイピング方向に
延びた形状であることを特徴とする請求項１４に記載の
カラーフィルタの製造装置。
【請求項１６】前記欠損部とは、前記撥水部材に発生
する傷の部分あるいは前記撥水部材が剥離した部分であ
ることを特徴とする請求項１４又は１５に記載のカラー
フィルタの製造装置。
【請求項１７】前記インクジェットヘッドからインク
を吐出するに際し、前記インクの着弾位置が前記所定の
方向にずれることを特徴とする請求項１４乃至１６のい
ずれかに記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項１８】前記撥水部材は、前記吐出口面の全域
を被覆していることを特徴とする請求項１４乃至１７の
いずれかに記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項１９】前記インクの吐出は、前記インクジェ
ットヘッドと前記基板とを相対的に走査させながら行
い、前記走査の方向は、前記所定の方向と同一の方向である
ことを特徴とする請求項１４乃至１８のいずれかに記載
のカラーフィルタの製造装置。
【請求項２０】前記インクの吐出は、前記インクジェ
ットヘッドと前記基板とを相対的に走査させながら行
い、前記走査の方向は、前記所定の方向と直交する方向であ
ることを特徴とする請求項１４乃１８のいずれかに記載
のカラーフィルタの製造装置。
【請求項２１】前記着色領域は、赤色、緑色、青色であ
ることを特徴とする請求項１４乃至２０のいずれかに記
載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項２２】前記着色領域は、前記所定の方向に複数
の画素を有することを特徴とする請求項１４乃至２１の
いずれかに記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項２３】前記着色領域は、前記所定の方向に１つ
の画素を有することを特徴とする請求項１４乃至２１の
いずれかに記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項２４】前記ワイピング部材は弾性を有する部材
であることを特徴とする請求項１４乃至２３のいずれか
に記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項２５】前記インクジェットヘッドは、熱エネル
ギーを利用してインクを吐出するヘッドであって、イン
クに与える熱エネルギーを発生するための熱エネルギー
発生体を備えることを特徴とする請求項１４乃至２４の
いずれかに記載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項２６】前記インクジェットヘッドは、電気エネ
ルギーが与えられることによって変位し前記変位に伴う
圧力変化によってインクを吐出させるピエゾ素子を備え
ることを特徴とする請求項１４乃至２４のいずれかに記
載のカラーフィルタ製造装置。
【請求項２７】インクを吐出するための吐出口が開口し
た吐出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺
部分が撥水部材で被覆されたインクジェットヘッドから
カラーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方向
に延びる着色領域を色毎に形成することにより製造され
るカラーフィルタを用いた表示装置の製造方法であっ
て、請求項１乃至１３のいずれかの製造方法によりカラーフ
ィルタを製造する工程と、前記カラーフィルタと、光量を可変とする光量可変手段
と、を一体化する工程とを具備することを特徴とする表示装
置の製造方法。
【請求項２８】インクを吐出するための吐出口が開口し
た吐出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺
部分が撥水部材で被覆されたインクジェットヘッドから
カラーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方向
に延びる着色領域を色毎に形成することにより製造され
るカラーフィルタを用いた、表示装置を備えた装置の製
造方法であって、請求項１乃至１３のいずれかの製造方法によりカラーフ
ィルタを製造する工程と、前記カラーフィルタと、光量を可変とする光量可変手段
とを一体化して表示装置を製造する工程と、該表示装置に画像信号を供給する画像信号供給手段を設
ける工程と、を具備することを特徴とする、表示装置を
備えた装置の製造方法。
【請求項２９】液体を吐出するための吐出口が開口し
た吐出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺
部分が撥水部材で被覆された液体付与ヘッドから基板上
に液体を付与して、所定の方向に延び且つ表示に用いら
れる表示部を形成することにより、表示装置用パネルを
製造する方法であって、前記吐出口面をワイピングするためのワイピング部材を
用意する工程と、前記ワイピング部材により前記吐出口面をワイピングす
る工程とを備え、前記吐出口面のワイピングに伴い前記撥水部材に欠損部
が発生するとともに、前記欠損部は、前記ワイピング方
向に発生し、前記ワイピング部材のワイピングの方向は前記所定の方
向に沿った方向と同一であることを特徴とする、表示装
置用パネルの製造方法。
【請求項３０】前記欠損部は、前記ワイピング方向に
延びた形状であることを特徴とする請求項２９に記載の
表示装置用パネルの製造方法。
【請求項３１】前記欠損部とは、前記撥水部材に発生
する傷の部分あるいは前記撥水部材が剥離した部分であ
ることを特徴とする請求項２９又は３０に記載の表示装
置用パネルの製造方法。
【請求項３２】前記液体付与ヘッドから液体を吐出す
るに際し、前記液体の着弾位置が前記所定の方向にずれ
ることを特徴とする請求項２９乃至３１のいずれかに記
載の表示装置用パネルの製造方法。
【請求項３３】前記撥水部材は、前記吐出口面の全域
を被覆していることを特徴とする請求項２９乃至３２の
いずれかに記載の表示装置用パネルの製造方法。
【請求項３４】前記液体は自己発光するＥＬ材料であ
り、前記領域は発光層であることを特徴とする請求項２
９乃至３３のいずれかに記載の表示装置用パネルの製造
方法。
【請求項３５】前記液体はインクであり、前記領域は前
記インクにより形成される着色層であることを特徴とす
る請求項２９乃至３３のいずれかに記載の表示装置用パ
ネルの製造方法。
【請求項３６】液体を吐出するための吐出口が開口し
た吐出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺
部分が撥水部材で被覆された液体付与ヘッドから基板上
に液体を付与して、所定の方向に延び且つ表示に用いら
れる表示部を形成することにより、表示装置用パネルを
製造する装置であって、前記吐出口面をワイピングするためのワイピング部材
と、前記ワイピング部材によるワイピング動作を制御するた
めのワイピング手段とを備え、前記吐出口面のワイピングに伴い前記撥水部材に欠損部
が発生するとともに、前記欠損部は、前記ワイピング方
向に発生し、前記ワイピング手段による前記ワイピング部材のワイピ
ングの方向は、前記所定の方向に沿った方向と同一であ
ることを特徴とする、表示装置用パネルの製造装置。
【請求項３７】前記欠損部は、前記ワイピング方向に
延びた形状であることを特徴とする請求項３６に記載の
表示装置用パネルの製造装置。
【請求項３８】前記欠損部とは、前記撥水部材に発生
する傷の部分あるいは前記撥水部材が剥離した部分であ
ることを特徴とする請求項３６又は３７に記載の表示装
置用パネルの製造装置。
【請求項３９】前記液体付与ヘッドから液体を吐出す
るに際し、前記液体の着弾位置が前記所定の方向にずれ
ることを特徴とする請求項３６乃至３８のいずれかに記
載の表示装置用パネルの製造装置。
【請求項４０】前記撥水部材は、前記吐出口面の全域
を被覆していることを特徴とする請求項３６乃至３９の
いずれかに記載の表示装置用パネルの製造装置。
【請求項４１】前記液体は自己発光するＥＬ材料であ
り、前記領域は発光層であることを特徴とする請求項３
６乃至４０のいずれかに記載の表示装置用パネルの製造
装置。
【請求項４２】前記液体はインクであり、前記領域は前
記インクにより形成される着色層であることを特徴とす
る請求項３６乃至４０のいずれかに記載の表示装置用パ
ネルの製造装置。
【請求項４３】インクを吐出するための吐出口が開口
した吐出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周
辺部分が保護部材で被覆されたインクジェットヘッドか
らカラーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方
向に延びる着色領域を色毎に形成することによりカラー
フィルタを製造する方法であって、前記吐出口面をワイピングするためのワイピング部材を
用意する工程と、前記ワイピング部材により前記吐出口面をワイピングす
る工程とを備え、前記吐出口面のワイピングに伴い前記保護部材に欠損部
が発生するとともに、前記欠損部は、前記ワイピング方
向に発生し、前記ワイピング部材のワイピングの方向は前記所定の方
向に沿った方向と同一であることを特徴とするカラーフ
ィルタの製造方法。
【請求項４４】前記欠損部は、前記ワイピング方向に
延びた形状であることを特徴とする請求項４３に記載の
カラーフィルタの製造方法。
【請求項４５】前記欠損部とは、前記保護部材に発生
する傷の部分あるいは前記保護部材が剥離した部分であ
ることを特徴とする請求項４３又は４４記載のカラーフ
ィルタの製造方法。
【請求項４６】前記インクジェットヘッドからインク
を吐出するに際し、前記インクの着弾位置が前記所定の
方向にずれることを特徴とする請求項４３乃至４５のい
ずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４７】前記保護部材は、前記吐出口面の全域
を被覆していることを特徴とする請求項４３乃至４６の
いずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４８】インクを吐出するための吐出口が開口
した吐出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周
辺部分が保護部材で被覆されたインクジェットヘッドか
らカラーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方
向に延びる着色領域を色毎に形成することによりカラー
フィルタを製造する装置であって、前記吐出口面をワイピングするためのワイピング部材
と、前記ワイピング部材によるワイピング動作を制御するた
めのワイピング手段とを備え、前記吐出口面のワイピングに伴い前記保護部材に欠損部
が発生するとともに、前記欠損部は、前記ワイピング方
向に発生し、前記ワイピング手段による前記ワイピング部材のワイピ
ングの方向は、前記所定の方向に沿った方向と同一であ
ることを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
【請求項４９】前記欠損部は、前記ワイピング方向に
延びた形状であることを特徴とする請求項４８に記載の
カラーフィルタの製造装置。
【請求項５０】前記欠損部とは、前記保護部材に発生
する傷の部分あるいは前記保護部材が剥離した部分であ
ることを特徴とする請求項４８又は４９に記載のカラー
フィルタの製造装置。
【請求項５１】前記インクジェットヘッドからインク
を吐出するに際し、前記インクの着弾位置が前記所定の
方向にずれることを特徴とする請求項４８乃至５０のい
ずれかに記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項５２】前記保護部材は、前記吐出口面の全域
を被覆していることを特徴とする請求項４８乃至５１の
いずれかに記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項５３】液体を吐出するための吐出口が開口し
た吐出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺
部分が所定の材料で被覆された液体付与ヘッドから基板
上に前記液体を付与し、所定の方向に延び且つ表示に用
いられる表示部を形成することにより、表示装置用パネ
ルを製造する方法であって、前記吐出口面をワイピングするためのワイピング部材を
用意する工程と、前記ワイピング部材により前記吐出口面をワイピングす
る工程とを備え、前記ワイピング部材のワイピングの方向は前記所定の方
向と同一であることを特徴とする、表示装置用パネルの
製造方法。
【請求項５４】液体を吐出するための吐出口が開口し
た吐出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周辺
部分が所定の材料で被覆された液体付与ヘッドから基板
上に前記液体を付与し、所定の方向に延び且つ表示に用
いられる表示部を形成することにより、表示装置用パネ
ルを製造する装置であって、前記吐出口面をワイピングするためのワイピング部材
と、前記ワイピング部材によるワイピング動作を制御するた
めのワイピング手段とを備え、前記ワイピング手段による前記ワイピング部材のワイピ
ングの方向は前記所定の方向に沿った方向と同一である
ことを特徴とする、表示装置用パネルの製造装置。
【請求項５５】インクを吐出するための吐出口が開口
した吐出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周
辺部分が撥水部材で被覆されたインクジェットヘッドか
らカラーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方
向に延びる着色領域を色毎に形成することによりカラー
フィルタを製造する方法であって、同じ色に着色される２つの前記着色領域の間隔と、前記
インクジェットヘッドの複数の吐出口のうち使用する２
つの吐出口の、前記所定の方向と直交する方向における
間隔とが一致するように、前記インクジェットヘッドの
前記所定の方向に対する角度を調整する工程と、前記吐出口面をワイピングするためのワイピング部材を
用意する工程と、前記調整された角度のままの状態で前記吐出口面を前記
ワイピング部材によりワイピングする工程とを具備し、前記吐出口面の複数回のワイピングに伴い前記撥水部材
に欠損部が発生するとともに、前記欠損部は前記ワイピ
ング方向に発生し、前記ワイピング部材のワイピングの方向は前記所定の方
向に沿った方向と同一であることを特徴とするカラーフ
ィルタの製造方法。
【請求項５６】前記ワイピング部材によるワイピング
は、前記カラーフィルタをＮ（Ｎは１以上の整数）枚製
造する毎に行うことを特徴とする請求項５５に記載のカ
ラーフィルタの製造方法。
【請求項５７】前記ワイピング部材によるワイピング
は、前記所定の方向及び前記所定の方向とは反対の方向
に前記ワイピング部材を移動させることで行うことを特
徴とする請求項５５に記載のカラーフィルタの製造方
法。
【請求項５８】前記ワイピング部材によるワイピング
は、前記所定の方向に前記ワイピング部材を移動させる
ことで行うことを特徴とする請求項５５に記載のカラー
フィルタの製造方法。
【請求項５９】前記カラーフィルタをＮ枚製造する毎
に、前記所定の方向に前記ワイピング部材を移動させて
ワイピングを行うための第１のワイピング動作と前記所
定の方向とは反対の方向に前記ワイピング部材を移動さ
せてワイピングを行うための第２のワイピング動作とを
切り換えることを特徴とする請求項５６に記載のカラー
フィルタの製造方法。
【請求項６０】前記第１のワイピング動作と前記第２
のワイピング動作を交互に行うように、前記ワイピング
動作の切り換えを実行することを特徴とする請求項５９
に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項６１】前記所定の方向に前記ワイピング部材
を移動させてワイピングを行うための第１のワイピング
動作の回数と前記所定の方向とは反対の方向に前記ワイ
ピング部材を移動させてワイピングを行うための第２の
ワイピング動作の回数とが略等しくなるように、前記ワ
イピング部材のワイピングの方向の切り換えを実行する
ことを特徴とする請求項５５に記載のカラーフィルタの
製造方法。
【請求項６２】インクを吐出するための吐出口が開口
した吐出口面を有し、少なくとも前記吐出口の開口の周
辺部分が撥水部材で被覆されたインクジェットヘッドか
らカラーフィルタ基板上にインクを吐出して、所定の方
向に延びる着色領域を色毎に形成することによりカラー
フィルタを製造する装置であって、同じ色に着色される２つの前記着色領域の間隔と、前記
インクジェットヘッドの複数の吐出口のうち使用する２
つの吐出口の、前記所定の方向と直交する方向における
間隔とが一致するように、前記インクジェットヘッドの
前記所定の方向に対する角度を調整する調整手段と、前記吐出口面をワイピングするためのワイピング部材
と、前記調整手段により調整された角度のままの状態で前記
吐出口面を前記ワイピング部材によりワイピングするよ
うに制御するためのワイピング手段とを具備し、前記吐出口面の複数回のワイピングに伴い前記撥水部材
に欠損部が発生するとともに、前記欠損部は前記ワイピ
ング方向に発生し、前記ワイピング部材のワイピングの方向は前記所定の方
向に沿った方向と同一であることを特徴とするカラーフ
ィルタの製造装置。
【請求項６３】前記ワイピング部材によるワイピング
は、前記カラーフィルタをＮ（Ｎは１以上の整数）枚製
造する毎に行うことを特徴とする請求項６２に記載のカ
ラーフィルタの製造装置。
【請求項６４】前記ワイピング部材によるワイピング
は、前記所定の方向及び前記所定の方向とは反対の方向
に前記ワイピング部材を移動させることで行うことを特
徴とする請求項６２に記載のカラーフィルタの製造装
置。
【請求項６５】前記ワイピング部材によるワイピング
は、前記所定の方向に前記ワイピング部材を移動させる
ことで行うことを特徴とする請求項６２に記載のカラー
フィルタの製造装置。
【請求項６６】前記カラーフィルタをＮ枚製造する毎
に、前記所定の方向に前記ワイピング部材を移動させて
ワイピングを行うための第１のワイピング動作と前記所
定の方向とは反対の方向に前記ワイピング部材を移動さ
せてワイピングを行うための第２のワイピング動作とを
切り換えることを特徴とする請求項６３に記載のカラー
フィルタの製造装置。
【請求項６７】前記第１のワイピング動作と前記第２
のワイピング動作を交互に行うように、前記ワイピング
動作の切り換えを実行することを特徴とする請求項６６
に記載のカラーフィルタの製造装置。
【請求項６８】前記所定の方向に前記ワイピング部材
を移動させてワイピングを行うための第１のワイピング
動作の回数と前記所定の方向とは反対の方向に前記ワイ
ピング部材を移動させてワイピングを行うための第２の
ワイピング動作の回数とが略等しくなるように、前記ワ
イピング部材のワイピングの方向の切り換えを実行する
ことを特徴とする請求項６２に記載のカラーフィルタの
製造装置。
【請求項６９】表示に用いられるための材料を吐出す
るための吐出口が開口した吐出口面を有し、少なくとも
前記吐出口の開口の周辺部分が所定の材料で被覆された
ヘッドから基体上に前記表示に用いられるための材料を
吐出して、所定の方向に延び且つ表示に用いられる表示
部を形成することにより表示装置用のパネルを製造する
方法であって、同じ材料で形成される２つの前記表示部の間隔と、前記
ヘッドの複数の吐出口のうち使用する２つの吐出口の、
前記所定の方向と直交する方向における間隔とが一致す
るように、前記ヘッドの前記所定の方向に対する角度を
調整する工程と、前記吐出口面をワイピングするためのワイピング部材を
用意する工程と、前記調整された角度のままの状態で前記吐出口面を前記
ワイピング部材によりワイピングする工程とを具備し、前記吐出口面の複数回のワイピングに伴い前記撥水部材
に欠損部が発生するとともに、前記欠損部は前記ワイピ
ング方向に発生し、前記ワイピング部材のワイピングの方向は前記所定の方
向に沿った方向と同一であることを特徴とする表示装置
用パネルの製造方法。
【請求項７０】表示に用いられるための材料を吐出す
るための吐出口が開口した吐出口面を有し、少なくとも
前記吐出口の開口の周辺部分が所定の材料で被覆された
ヘッドから基体上に前記表示に用いられるための材料を
吐出して、所定の方向に延び且つ表示に用いられる表示
部を形成することにより表示装置用のパネルを製造する
装置であって、同じ材料で形成される２つの前記表示部の間隔と、前記
ヘッドの複数の吐出口のうち使用する２つの吐出口の、
前記所定の方向と直交する方向における間隔とが一致す
るように、前記ヘッドの前記所定の方向に対する角度を
調整する調整手段と、前記吐出口面をワイピングするためのワイピング部材
と、前記調整手段により調整された角度のままの状態で前記
吐出口面を前記ワイピング部材によりワイピングするよ
うに制御するためのワイピング手段とを具備し、前記吐出口面の複数回のワイピングに伴い前記撥水部材
に欠損部が発生するとともに、前記欠損部は前記ワイピ
ング方向に発生し、前記ワイピング部材のワイピングの方向は前記所定の方
向に沿った方向と同一であることを特徴とする表示装置
用パネルの製造装置。
【請求項７１】前記ワイピング部材によるワイピング
は、前記カラーフィルタをＮ（Ｎは１以上の整数）枚製
造する毎に行うことを特徴とする請求項１に記載のカラ
ーフィルタの製造方法。
【請求項７２】前記ワイピング部材によるワイピング
は、前記所定の方向及び前記所定の方向とは反対の方向
に前記ワイピング部材を移動させることで行うことを特
徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項７３】前記ワイピング部材によるワイピング
は、前記所定の方向に前記ワイピング部材を移動させる
ことで行うことを特徴とする請求項１に記載のカラーフ
ィルタの製造方法。
【請求項７４】前記カラーフィルタをＮ枚製造する毎
に、前記所定の方向に前記ワイピング部材を移動させて
ワイピングを行うための第１のワイピング動作と前記所
定の方向とは反対の方向に前記ワイピング部材を移動さ
せてワイピングを行うための第２のワイピング動作とを
切り換えることを特徴とする請求項７３に記載のカラー
フィルタの製造方法。
【請求項７５】前記第１のワイピング動作と前記第２
のワイピング動作を交互に行うように、前記ワイピング
動作の切り換えを実行することを特徴とする請求項７６
に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項７６】前記所定の方向に前記ワイピング部材
を移動させてワイピングを行うための第１のワイピング
動作の回数と前記所定の方向とは反対の方向に前記ワイ
ピング部材を移動させてワイピングを行うための第２の
ワイピング動作の回数とが略等しくなるように、前記ワ
イピング部材のワイピングの方向の切り換えを実行する
ことを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタの製
造方法。