KR20030022279A - 정밀기판 수납용기 및 그 누름부재 - Google Patents

Abstract

본 발명의 누름부재는 정밀기판을 가압 유지하는 접촉부와, 이 접촉부 이외의 부분을 다른 재질로 형성하고 있다. 누름부재는 사각형의 프레임체부와, 한 세트의 대향되는 2 변의 각각으로부터 안쪽으로 돌출하도록 형성된 한 쌍의 가설부에 형성된 접촉부와, 지주부를 통하여 더욱 돌출된 돌출 변가장자리부에 형성된 제 2 접촉부를 열가소성 엘라스토머로 형성하고, 그 이외의 부분을 열가소성 수지로 형성한다. 상기 접촉부에는 정밀기판의 둘레가장자리부를 수용하는 경사가 도중에 다른 V 자형상 단면으로 홈이 형성되고, 제 2 접촉부를 형성하는 빗살형상으로 분리 돌출된 탄성편에는 정밀기판의 둘레가장자리부를 가압하는 V 홈이 형성되어 있다.

Description

정밀기판 수납용기 및 그 누름부재 {PRECISION SUBSTRATE STORAGE CONTAINER AND RETAINING MEMBER THEREFOR}

규소웨이퍼나 포토마스크용 유리판 등의 정밀기판은 미소한 입자에 의한 오염을 극히 피해야 한다. 이들 정밀기판을 수송ㆍ보관하는 경우에는 매우 청정한 환경에서 작업하는 것이 요구되고, 기판재료는 작업자의 신체, 의복으로부터의 먼지의 발생, 오염을 피하기 위해 자동화된 기계에 의해 취급된다.

정밀기판은 정밀기판 수납용기 (이하, 수납용기라고 함) 에 수납된 상태라도 수납용기의 내벽과의 접촉에 의한 스침이나, 수납용기를 구성하는 수지재료로부터의 미량의 방출가스에 의해서도 오염될 가능성이 있다.

그로 인해, 수납용기의 재료 선정에 있어서는 최대한 정밀기판을 오염시키지 않는 재질을 선택할 필요가 있고, 특히 정밀기판과 직접 접촉하는 누름부재의 재질 선정은 중요한 요구사항이다. 누름부재를 구성하는 재료로는 예컨대 일본 공개특허공보 평11-163115호에 기재되어 있는 바와 같은 오염가스의 발생방출을 저감시키기 위한 처리를 실시한 재료가 제안되어 있다.

상기한 바와 같이 정밀기판은 미소한 입자에 의한 오염을 극히 피해야 하므로 수납용기를 사용하거나 보관하는 외부의 환경 및 수납용기 내부의 환경도 최대한 청정한 상태로 하는 것이 요구되고 있다.

또한, 최근 반도체산업에서의 정밀기판의 대구경화와 반도체디바이스의 점진적인 고밀도화, 고집적화에 따라 수납용기의 내외부의 환경을 보다 청정도가 높은 상태로 유지하는 것이 요구되고 있다.

한편, 정밀기판의 대형화, 대구경화의 경향에 대응하여 대용량의 수납용기가 사용되게 되었고, 그에 수반하여 누름부재의 표면적이나 두께도 커져 정밀기판을 오염시키는 방출가스의 양도 증가하기 때문에 그 절대량의 저하가 필요시 되고 있다.

일반적으로 수지재료에 비해 누름부재를 형성하는 열가소성 엘라스토머재료는 저분자량 성분이나 첨가제의 함유량이 비교적 많아, 방출가스량이 많은 것이 당연한 것으로 생각되었다.

최근 분석방법의 진보에 의해, 성형품으로부터의 방출가스 종류 및 양을, 대상물을 밀봉용기에 봉입한 상태에서 소정 온도, 예컨대 60℃ 에서 일정 시간, 예컨대 1 시간 가열한 후, 밀봉용기내의 가스를 포집하여, 가스크로마토그래피, 질량분석 등에 의해 정성적 및 정량적으로 분석하는 방법 (소위 헤드스페이스법) 에 의해 고정밀도로 분석할 수 있게 되었다.

그 결과, 수납용기를 형성하는 통상적인 재료인 폴리프로필렌이나 폴리카보네이트나, 폴리부틸렌테레프탈레이트 등의 열가소성 수지에 비해, 폴리올레핀계 또는 폴리에스테르계 열가소성 엘라스토머로부터의 가스방출량은 10 배 내지 50 배 정도나 많은 것, 또한 테트라히드로푸란과 같이 정밀기판에 일단 부착되면 완전히 제거하기가 곤란한 휘발성 성분이 이들 재료의 열분해에 의해 발생하는 것으로 판명되었다.

그로 인해, 오염원이 되는 가스의 발생량이 많은 열가소성 엘라스토머재료로 이루어지는 누름부재로부터의 방출가스에 대한 대책이 중요한 과제로 되어 왔다.

또, 열가소성 엘라스토머만으로 이루어지는 누름부재는 크리프변형량이 크서, 장기간 보관중에 유지력이 저하되게 되는 것이 결점이며, 1 회라도 사용한 부재는 정밀기판의 누름위치나, 유지력이 변화되게 되어 기판의 유지상태에 재현성이 없는 원인이 되기 때문에, 재사용이 불가능하여 신품과 교환해야 했다.

본 발명은 상기 문제점을 감안하여 완성된 것으로, 수납용기에 정밀기판을 수납할 때 악영향을 미치는 누름부재로부터의 방출가스량을 저감시키는 데에 바람직하며, 정밀기판을 원활하게 또한 최적의 가압상태로 수납할 수 있는 수납용기 및 그 누름부재를 제공하는 것이다.

본 발명은 규소웨이퍼나 포토마스크용 유리판 등의 정밀기판의 수납, 저장, 보관, 수송, 공정내 반송 등에 사용되는 정밀기판 수납용기 및 그 정밀기판 누름부재에 관한 것이다.

도 1 은 덮개체의 내측면에 장착되고 정밀기판을 가압 유지하는 누름부재를 나타내는 평면도이다.

도 2 는 도 1 의 I-I 선을 따른 확대 단면도로 누름부재에 형성되는 정밀기판과의 접촉부를 나타내고 있다.

도 3 은 도 1 의 원으로 둘러싸인 A 부의 부분확대 평면도이다,

도 4 는 도 3 의 Ⅱ-Ⅱ 선을 따른 확대 단면도이다.

도 5 은 본 발명의 누름부재가 장착되는 수납용기의 사시도이다.

도 6 은 금형에 본 발명의 누름부재의 비접촉부를 인서트한 상태를 나타내는 개략 단면도이다.

도 7 은 금형에 본 발명의 누름부재의 접촉부를 형성하는 상태를 나타내는 개략 단면도이다.

발명의 개시

본 발명에서는 상기 과제를 해결하기 위해 정밀기판 수납용기의 누름부재를 형성함에 있어서, 정밀기판을 가압 유지하는 접촉부와, 그 접촉부 이외의 부분을 다른 재질로 형성하고 있다.

누름부재는 덮개체의 내측면에 장착되도록 형성된 사각형의 프레임체부와, 이 프레임체부의 한 세트의 대향되는 각각의 2 변으로부터 안쪽으로 돌출하도록 형성된 한 쌍의 가설부를 갖고, 각각의 가설부에는 정밀기판을 가압 유지하는 접촉부가 형성되고, 이 접촉부에는 정밀기판의 둘레가장자리부를 수용하는 V 자형상 단면의 홈이 형성되어 있다. 이 V 자형상 단면의 홈은 홈 안쪽의 제 1 경사면과 이 제 1 경사면보다 개구측으로 넓힌 제 2 경사면을 갖고 있다.

상기 누름부재의 접촉부는 열가소성 엘라스토머로 형성되어 있다.

또한, 본 발명의 정밀기판 수납용기는 정밀기판과의 접촉부가 열가소성 엘라스토머로 형성되고, 상기 접촉부 이외의 부분에 열가소성 수지로 형성된 누름부재가 장착되어 있다.

본 발명의 누름부재에 의하면 수납용기에 정밀기판을 수납할 때 악영향을 미치는 누름부재에서 발생하는 방출가스량을 큰 폭으로 저감시킬 수 있고, 또 수납용기에 수납된 정밀기판을 최적의 가압상태로 확실하게 유지할 수 있어, 수납용기에 가해지는 진동, 충격 등으로부터 정밀기판을 유효하게 보호할 수 있다.

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

본 발명의 하나의 실시형태를 첨부 도면에 기초하여 상세하게 설명하지만, 본 발명은 이하의 실시형태에 한정되는 것은 아니다.

우선, 본 발명의 누름부재가 장착되는 수납용기의 일례를 도 5 에 나타내는 사시도에 기초하여 설명한다.

도 5 에 나타내는 수납용기는 정밀기판을 수납하는 용기 본체 (30) 와, 덮개체 (31) 로 구성되어 있고, 용기 본체 (30) 내의 대향되는 내벽면에는 각각 정밀기판을 수평상태로 정렬수납할 수 있도록 정밀기판의 단가장자리부를 수용 유지하는 단면이 각을 이룬 U 자형상의 지지부 (32) 가 일정 간격으로 형성되어 있다.

용기 본체 (30) 의 개구부 둘레가장자기에는 덮개체 (31) 를 용기 본체 (30) 에 걸기 위한 덮개체 걸이부 (33) 가 적어도 한 쌍 형성되고, 용기 본체 (30) 의 외측벽면에는 자동반송용 자동화에 대응한 그립 또는 수동반송용 그립부 (34) 가 필요에 따라 장착되어 있다.

덮개체 (31) 의 측벽에는 상기한 용기 본체 (30) 의 덮개체 걸이부 (33) 와 걸어맞추는 걸이부분을 갖는 한 쌍의 걸이수단 (35) 이 축지지되어 덮개체 (31) 가 용기 본체 (30) 에 걸릴 때, 용기 본체 (30) 의 내측가장자리에 형성된 단차부와 상대하는 부분에는 이 단차부에 끼워지는 볼록부 (36) 가 형성되어 있다. 이 볼록부 (36) 의 주위에는 수납용기의 밀봉성을 유지시키는 엔드리스형상의 시일부재 (37) 가 장착되어 있다.

덮개체 (31) 의 내측면에는 정밀기판과 맞닿아 이것을 가압 유지하기 위한 누름부재 (38) 가 장착되어 있고, 이 누름부재에는 정밀기판을 바른 위치에 고정유지하기 위한 받이홈이 형성되어 있다.

용기 본체 (30) 와 덮개체 (31) 는 성형성이 양호하여 기계적 특성이 우수하며, 오염성이 적은 폴리카보네이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리에테르술폰, 폴리프로필렌 등의 열가소성 수지로 형성되지만, 특히 수납용기의 내부를 들여다 볼 필요가 있는 경우에는 투명성이 양호한 폴리카보네이트, 노르보르넨계 수지, 아크릴 수지 등의 열가소성 수지가 사용된다. 필요에 따라 대전방지기능이나 도전성을 부여하기 위한 대전방지제나 도전재료 등의 첨가제를 상기한 수지에 첨가한 대전방지성 수지조성물도 사용할 수 있다.

도 1 및 도 2 에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 누름부재 (1) 에는 사각형의 프레임체부 (2) 와, 이 프레임체부 (2) 의 한 세트의 대향되는 2 변 (3,3) 의 각각으로부터 안쪽으로 돌출한 한 쌍의 가설부 (4,4) 가 형성되어 있다. 이 가설부 (4,4) 는 상부의 머리부분을 경사평면으로 자른 삼각기둥형상으로 형성되고,이 상면에는 정밀기판을 가압 유지하는 접촉부 (5,5) 가 형성되고, 이 접촉부 (5,5) 의 경사진 상면에는 정밀기판의 둘레가장자리부를 수용하는 V 자형상 단면의 홈 (6,6) 이 형성되어 있다. 이 V 자형상 홈 (6) 의 측벽은 단일한 경사면의 조합이어도 되지만, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 홈 안쪽의 제 1 경사면 (7) 과, 이 제 1 경사면 (7) 보다 대각도로 개구측으로 넓힌 제 2 경사면 (8) 을 갖도록 형성해도 된다.

도 4 에 나타내는 V 자형상 홈 (6) 의 제 1 경사면 (7) 은 수납용기내에서 지지된 정밀기판 면의 수평면과 이루는 각도가 1°∼5°의 경사각도에 형성되고, V 자형상 홈 (6) 안쪽부에 정밀기판 (15) 의 둘레가장자리부를 끼워넣어 홈 안쪽부의 측벽면 사이에 끼워 유지한다. 마찬가지로, 제 2 경사면 (8) 은 정밀기판이 수납용기내에서 지지될 때의 수평면과 이루는 각도가 6°∼70°의 경사각도에 형성되고, 정밀기판 (15) 을 V 자형상 홈 (6) 안쪽부로 원활하게 유도하기 위한 가이드 역할을 한다.

제 2 경사면 (8) 은 도 3 에 나타내는 바와 같이 상하방향으로 비대칭형이 되는 경사면을 서로 다르게 돌출시켜 형성하고, 원활하게 또한 확실하게 V 자형상 홈 (6) 안쪽부내로 정밀기판 (14) 의 변가장자리부를 유도하도록 형성되어 있다.

V 자형상 홈 (6) 은 단면형상을 제 1 경사면 (7) 으로부터 제 2 경사면 (8) 으로 넓힌 2 단에 앞을 좁아지게 함으로써, 누름부재를 장착한 덮개체를 용기 본체에 장착하여 닫을 때, 내부에 수납된 정밀기판 (15) 의 단가장자리에 제 2 경사면 (8) 이 맞닿고, 이어서 정밀기판 (15) 의 단가장자리부는 그대로 제 2 경사면 (8)을 미끄러져 제 1 경사면 (7) 사이로 들어가 원활하게 V 자형상 홈 (6) 안쪽부로 확실하게 유도되는데, 홈의 측벽이 경사면으로 되어 있어 정밀기판의 경면(鏡面) 연마된 면이 V 자형상 홈의 측벽면과 접촉하지 않는다.

V 자형상 홈 (6) 은 그 폭을 정밀기판 (15) 의 두께와 거의 동일하게 함으로써 V 자형상 홈 (6) 내에 정밀기판 (15) 을 확실하게 유지할 수 있기 때문에, 수납용기의 수송 중에 생기는 진동이나 회전에 의한 마찰 등에 기인하는 입자의 발생을 방지할 수 있다. 또한, 낙하 등의 충격이 수납용기에 가해져도 V 자형상 홈 (6) 으로부터 탈락되지 않고 정밀기판 (15) 을 확실하게 유지할 수 있어 정밀기판의 파손을 방지할 수 있다.

누름부재 각각의 접촉부 (5) 는 각 정밀기판을 탄성접촉상태로 유지할 수 있도록, 인접하는 접촉부 사이에는 슬릿 (16) 이 형성되어 있어 각각의 접촉부가 독립적으로 정밀기판과 접촉하도록 되어 있다.

접촉부 (5) 는 수납용기를 수송할 때의 진동에 의한 회전에 의해 정밀기판에 마찰이나 파손이 생기지 않도록 정밀기판과 접촉하는 좌우 양측의 각 위치와 정밀기판의 중심을 연결하는 선으로 형성되는 내각이 60°∼150°, 바람직하게는 90°∼120°의 범위가 되도록 설정하면 된다.

또, 상기 프레임체부 (2) 의 한 세트의 대향되는 2 변 (3,3) 의 각각으로부터 안쪽으로 돌출하도록 형성된 한 쌍의 가설부 (4,4) 의 안쪽측에, 프레임체부 (2) 의 타방의 대향되는 2 변 (9,9) 에 연결되는 지주부 (10,10) 가 일체로 형성되고, 이들 지주부 (10,10) 각각의 측벽으로부터 연장되는 돌출 변가장자리부에는 정밀기판의 둘레가장자리부와 접촉하는 제 2 접촉부 (11,11) 가 형성되어 있다.

이 제 2 접촉부 (11,11) 는 빗살형상으로 분리 돌출된 다수의 탄성편 (12) 에 형성되어 있고, 이 탄성편 (12) 의 선단 돌기부에는 용기 본체에 수납된 정밀기판의 둘레가장자리부를 수용하여 거는 V 홈 (13) 이 형성되어 있다.

이 V 홈 (13) 의 측벽에는 단일 경사면의 조합이어도 되지만, 도 4 에 나타낸 접촉부의 V 자형상 홈 (6) 과 마찬가지로, 안쪽에 비해 개구측을 대각도로 넓힌 두개의 경사면을 갖도록 형성해도 된다.

V 자형상 홈 (6) 과 V 홈 (13) 은 모두 도 4 에 나타낸 V 자형상 홈 (6) 과 동일 단면형상으로 할 수도 있고, 어느 한쪽만을 도 4 에 나타낸 단면형상으로 할 수도 있다.

제 2 접촉부 (11) 에 형성되는 탄성편 (12) 은 탄성을 가지고 있기 때문에 수납용기의 낙하 등에 의해 가해지는 강한 충격으로부터 정밀기판을 보호하여 보다 안전한 수송을 실현하기 위한 중요한 역할을 하고 있다.

제 2 접촉부 (11) 는 도 1 과 같이 상하방향에 일정한 피치로 마주 향하도록 형성하는 것이 바람직하지만, 대향되는 2 열 중 어느 한쪽에만 제 2 접촉부 (11) 를 형성하여 (일측에 대해서는 일단을 걸러) 전체적으로 서로 다른 배치가 되도록 형성해도 된다. 이 경우 정밀기판 (15) 과의 접촉상태는 3점 접촉이 된다.

프레임체부 (2) 의 둘레가장자리부에는 복수의 홈 또는 돌기로 이루어지는 걸이수단 (14) 이 형성되고, 이들이 덮개체의 내측면에 형성된 걸이수단과 걸어맞춰짐으로써 누름부재 (1) 는 덮개체의 내측면에 자유롭게 착탈할 수 있도록 되어있다.

본 발명의 누름부재 (1) 에서는 상기한 접촉부 (5) 및 제 2 접촉부 (11) 만큼은 누름부재 (1) 의 상기 접촉부 (5,11) 이외의 부분 (이하, 비접촉부라고 함) 과는 다른 성형재료로 형성하고, 또한 이들이 일체화되어 있는 것이 바람직하다.

여기에서, 열가소성 엘라스토머로 형성되는 접촉부에는 실제로 정밀기판과 접촉하는 V 자형상 홈 (6) 이나 V 홈 (13) 에 한정되지 않고, 누름부재가 상대하는 정밀기판의 각각에 대해 1 장마다 탄성적으로 접촉하도록 판스프링형상으로 분할된 탄성부분을 포함하는 것도 가능하다.

상기 접촉부 (5,11) 는 정밀기판을 수납한 수납용기가 충격을 받았을 때에 그것들에 가해지는 충격을 흡수 완화하는 것을 고려하여, 굽힘탄성강도가 양호한 폴리에스테르계 열가소성 엘라스토머 또는 폴리올레핀계 열가소성 엘라스토머로 형성하는 것이 바람직하다.

이에 대해 누름부재의 비접촉부는 강성율이 높고, 또한 상기 접촉부 (5,11) 의 성형재료와의 상용성(相溶性)이 좋은 재료로 형성하는 것이 좋다.

예컨대, 누름부재의 접촉부에 폴리에스테르계 열가소성 엘라스토머를 선택한 경우에는 비접촉부는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리카보네이트 또는 이들의 수지 알로이가 바람직하며, 누름부재의 접촉부 (5,11) 에 폴리올레핀계 열가소성 엘라스토머를 선택한 경우에는 비접촉부는 폴리프로필렌 또는 폴리에틸렌을 선택하는 것이 바람직하다.

이어서, 본 발명의 다른 성형재료로 이루어지는 누름부재를 제조하는 방법을도 6, 도 7 에 나타낸 수지성형용 금형의 개략도를 사용하여 설명한다.

이들 도면에서 성형금형은 고정금형 (20) 및 가동금형 (21) 으로 구성된다.

누름부재의 프레임체부 및 가설부의 일부를 형성하는 비접촉부 (22) 는 미리 전용 금형을 사용하여 폴리카보네이트, 폴리부틸렌테레프탈레이트 또는 폴리카보네이트와 폴리부틸렌테레프탈레이트의 수지 알로이로 형성된다.

도 6 은 미리 형성된 누름부재의 비접촉부 (22) 를 접촉부 성형용 금형의 캐비티 (23) 내에 인서트한 상태를 나타내고 있다.

도 7 은 도 6 과 같이 누름부재의 비접촉부 (22) 가 인서트된 금형을 사출성형기 (도시생략) 에 장착하고, 형을 체결하여 접촉부를 형성하는 캐비티 (23) 내에 비접촉부 (22) 와는 다른 수지멜트를 주입구 (24) 로부터 충전하는 상태를 나타내고 있다.

도 6, 도 7 에서는 금형은 3판 구조인 것을 나타내고 있지만, 이것에 한정되지 않고 핫 러너를 사용한 2판 구조도 된다. 또, 접촉부를 먼저 성형하고 비접촉부 (22) 를 나중에 성형하여 일체화시켜도 된다.

이상 설명한 것은 비접촉부 (22) 와 접촉부 중 어느 한 부분을 미리 성형하고 나중에 성형할 또 다른 일방 부분과 일체화시키는 방법이지만, 그것과는 별도로 2색 성형기를 사용하여 하나의 금형으로 연속적으로 다른 성형재료를 성형할 수도 있다.

이 경우는 일방 부분을 위한 성형재료를 금형에 충전한 후, 금형의 코어를 슬라이드시키거나 회전시켜 타방 부분을 위한 새로운 캐비티를 형성하고, 거기에별도의 수지를 충전하여 먼저 성형한 부분과 일체화시킨다.

본 발명의 누름부재 (1) 는 예컨대 도 5 에 나타내는 덮개체 (31) 의 내측면에 형성된 걸이수단에, 도 1 에 나타내는 누름부재 (1) 의 프레임체부의 걸이수단 (14) 을 걸어맞춰 덮개체에 장착한다. 그 때, 두개의 열가소성 수지부분 사이에서 마찰 슬라이딩이 일어나는 것을 피하기 위해, 이 부분도 접촉부와 마찬가지로 열가소성 엘라스토머로 성형하여 프레임체부와 일체화시키는 것이 바람직하다.

본 발명의 누름부재에서는 정밀기판과 접촉하는 부분과 접촉하지 않는 부분이 다른 성형재료로 형성되어 있고, 비접촉부 (22) 는 열가소성 수지로 형성하고 정밀기판과 접촉하는 접촉부 (5) 나 제 2 접촉부 (11) 와 이들 주변부만을 열가소성 엘라스토머로 형성하고 있기 때문에, 종래의 누름부재에 비해 열가소성 엘라스토머의 사용량을 용적비로 1/3∼1/6 으로 감소할 수 있다. 따라서, 수납용기에 정밀기판을 보관하고 있을 때에 발생하는 가스의 방출량도 거의 이에 비례하여 현저하게 저감할 수 있고, 정밀기판을 수납용기내에서 장기간 보관하는 경우에도 오염되지 않아 품질저하의 우려없이 사용할 수 있다.

누름부재의 대부분을 차지하는 비접촉부를 고강성 열가소성 수지로 형성할 수 있기 때문에, 열가소성 엘라스토머만으로 형성된 종래의 누름부재에 비해 크리프변형량을 현격하게 작게 할 수 있고, 수납용기를 장기간 보관하거나 재이용하는 것도 가능해진다.

또한, 누름부재의 접촉부에 형성된 각도가 다른 경사면을 갖는 V 자형상 홈에 의해 정밀기판이 수납된 용기 본체에 덮개체를 걸어 닫을 때, 수납용기 내부의 정밀기판을 V 자형상 홈 및 제 2 접촉부에 형성된 V 홈으로 원활하게 또한 확실하게 유도할 수 있고, 또한 덮개체를 닫은 후에는 상기 홈내로 유도된 정밀기판이 홈내부에 확실하게 유지됨과 동시에, 제 2 접촉부의 탄성편이 정밀기판을 탄력적으로 가압하므로 수납된 정밀기판으로의 최적의 가압 유지를 실현할 수 있다.

상기한 실시형태의 설명에서는 덮개체 내면에 장착되는 프론트 리테이너에 대해 기재하였지만, 본 발명은 이것에만 그치지 않고 상기 프론트 리테이너와 마주 향하도록 수납용기의 개구와 상대하는 측벽에 장착되는 리어 리테이너에 대해서도 마찬가지로, 정밀기판과의 접촉부를 열가소성 엘라스토머로 형성하고, 그 밖의 부분을 이와 다른 열가소성 수지로 형성하여 일체화시킬 수 있다.

Claims (9)

1. 일단에 개구를 갖는 정밀기판을 수납하는 정밀기판 수납용기 본체와 상기 수납용기 본체에 걸 수 있도록 형성된 덮개체로 이루어지는 정밀기판 수납용기에 장착되는 정밀기판의 누름부재로서, 상기 누름부재가 정밀기판을 가압 유지하는 접촉부와 이 접촉부를 제외하는 부분을, 서로 다른 재질로 형성하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 정밀기판 수납용기의 누름부재.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 누름부재가 상기 덮개체의 내측면에 장착되도록 형성되어 있고, 사각형의 프레임체부와, 이 프레임체부의 한 세트의 대향되는 2 변의 각각으로부터 안쪽으로 돌출하도록 형성된 한 쌍의 가설부를 갖고, 각각의 가설부에는 정밀기판을 가압 유지하는 접촉부가 형성되고, 이 접촉부에는 정밀기판의 둘레가장자리부를 수용하는 V 자형상 단면을 갖는 홈이 형성되어 있는 정밀기판 수납용기의 누름부재.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 누름부재가 빗살형상으로 분리 돌출된 복수 탄성편으로 이루어지는 제 2 접촉부을 갖는 정밀기판 수납용기의 누름부재.
4. 제 2 항에 있어서, 상기 접촉부에 형성된 V 자형상 단면을 갖는 홈의 측벽이 홈 안쪽의 제 1 경사면과 이 제 1 경사면보다 개구측으로 대각도로 넓힌 제 2 경사면을 구비하여 이루어지는 정밀기판 수납용기의 누름부재.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 누름부재의 접촉부가 열가소성 엘라스토머로 형성되고, 접촉부 이외의 부분이 열가소성 수지로 형성되어 이루어지는 정밀기판 수납용기의 누름부재.
6. 제 2 항에 있어서, 상기 누름부재의 접촉부가 열가소성 엘라스토머로 형성되고, 접촉부 이외의 부분이 열가소성 수지로 형성되어 이루어지는 정밀기판 수납용기의 누름부재.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 누름부재의 접촉부가 폴리에스테르계 열가소성 엘라스토머로 형성되고, 접촉부 이외의 부분이 폴리카보네이트 수지로 형성되어 이루어지는 정밀기판 수납용기의 누름부재.
8. 제 2 항에 있어서, 상기 누름부재의 접촉부가 폴리에스테르계 열가소성 엘라스토머로 형성되고, 접촉부 이외의 부분이 폴리카보네이트 수지로 형성되어 이루어지는 정밀기판 수납용기의 누름부재.
9. 정밀기판과의 접촉부가 열가소성 엘라스토머로 형성되고, 상기 접촉부 이외의 부분이 열가소성 수지로 형성된 누름부재가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는정밀기판 수납용기.