KR20030020399A - 재생 불소 수지의 제조 방법 및 불소 수지 재생품 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 실온 이상 융점 이하의 조건에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 청구항 1에 기재된 재생 불소 수지의 제조 방법; 및 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 실온 이상 융점 이하의 조건에서 초임계 세정 처리하는 것을 특징으로 하는 재생 불소 수지의 제조 방법, 및 이 제조 방법으로 얻을 수 있는 실질적으로 불순물을 함유하지 않는 불소 수지 재생품에 관한 것이다.

Description

재생 불소 수지의 제조 방법 및 불소 수지 재생품 {Method for Producing Regenerated Fluororesin and Regenerated Fluororesin Article}
불소 수지는 그의 우수한 내열성, 내약품성 및 고순도로 인해 반도체 분야에서는 캐리어, 이음매, 튜브, 사각조 등의 주변 부품 재료는 물론, 약액의 제조 및 공급 분야에서도 널리 사용되고 있다.
특히 캐리어에 대해서는 최근 반도체 제조 공정 기술의 고순도화 요구로 인해 여러가지 검토가 이루어져 왔다. 불소 수지에 침투된 약품이나 가스가 다른 약품조를 오염시키거나, 가스 발생으로 웨이퍼를 오염시키는 케미컬 캐리 오버 (chemical carryover)라는 현상이 있다. 이를 방지하기 위한 세정법으로서 150 ℃에서 30분간의 열 처리, 정제수 자비, 질산에 의한 가열 처리 등의 방법이 알려져 있다.
그 세정 효과가 한계에 이르면 캐리어는 사용 한계가 되어 폐기된다. 또한, 캐리어 본체에 생기는 웨이퍼와의 마찰 등에 의한 마모의 원인으로 사용 한계가 되는 경우도 있다.
일반적으로 사용 한계가 되어 불필요해진 수지 성형품을 처리하는 방법으로서는, 폴리에틸렌 등의 범용 수지 분야에 있어서는 이를 재생하여 사용하는 방법이 많이 제안되었으며, 이미 실용화되어 있는 것도 있지만, 본 발명이 대상으로 하는 불소 수지 분야에 있어서는 재생하여 사용하는 방법은 이제까지 거의 알려져 있지 않았다. 본 발명자들이 알고 있는 한, 일본 특허 공개 (평)11-300741호 공보에 기재되어 있는 방법, 즉 농업용 하우스의 피복 자재로서 사용되고 있는 테트라플루오로에틸렌/에틸렌계 공중합체를 포함하는 불소 수지 필름을 세정액에 의해 세정하고 건조시키며, 필요에 따라 충격 압축 마쇄력을 가하여 불소 수지 이외의 표면 피복물을 분리 제거한 후, 압출기에 의해 용융 압출하여 펠릿을 제조하는 방법만이 알려져 있다.
이와 같이, 불소 수지 성형품을 재생하여 사용하는 방법이 그다지 검토되지 않았던 것은, 종래에는 이들의 폐기량이 적었기 때문에 이들을 매립 수단으로 폐기해 왔기 때문이다.
그러나, 최근 불소 수지의 사용량이 증가함에 따라 폐기량도 증가되었으며, 또한 재순환 사회로의 적응이라는 점에서도 불소 수지 성형품의 재생 기술이 요구되게 되었다.
본 발명은 사용 전의 불소 수지와 동등한 정도까지 약액 등의 불순물 및 약품이 제거된 재생 불소 수지를 제조하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 사용을 마친 불소 수지 성형품에 함유되어 있는 약액, 무기물 및 유기물을 제거하여 재이용이 가능한 상태로 처리하는 재생 불소 수지의 제조 방법 및 이 방법으로 재생 처리된 불소 수지 재생품에 관한 것이다.
도 1은 황산에 침지시킨 실시예 1의 샘플을 열처리한 후의 샘플 중의 황산 이온 농도와, 황산에 침지시킨 비교예 1의 샘플을 정제수 자비 세정 처리한 후의 샘플 중의 황산 이온 농도를 나타낸다.
이러한 상황하에서 본 발명자들은 사용을 마친 불소 수지 성형품을 재생하는 방법에 대하여 여러가지 검토한 결과, 상기 일본 특허 공개 (평)11-300741호 공보에 기재된 수세 및 용융 압출과 같은 방법으로는 제거할 수 없었던 성형품 내부의 무기물, 유기물을 제거하여 양호한 재생 불소 수지를 얻을 수 있는 방법을 발견하였다.
즉, 본 발명자들은 사용을 마친 불소 수지를 실온 이상 융점 이하의 조건에서 열처리함으로써 유기 및 무기 불순물을 제거할 수 있고, 불소 수지를 재생할 수 있다는 것을 발견하였다.
본 발명은 이하의 재생 불소 수지의 제조 방법 및 불소 수지 재생품에 관한 것이다.
1. 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 실온 이상 융점 이하의 조건에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
2. 상기 제1항에 있어서, 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 200 ℃ 이상 융점 이하의 조건에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
3. 상기 제1항에 있어서, 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을230 ℃ 이상 융점 이하의 조건에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
4. 상기 제1항에 있어서, 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 260 ℃ 이상 융점 이하의 조건에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
5. 상기 제1항에 있어서, 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품의 열처리를 수증기 중에서 행하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
6. 상기 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 열처리하는 공정과 동시에 또는 열처리하는 공정 후에 불소화 처리하는 공정을 포함하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
7. 상기 제6항에 있어서, 불소화 처리 공정이 150 내지 250 ℃에서 불소 가스와 접촉시키는 공정인 재생 불소 수지의 제조 방법.
8. 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 실온 이상 융점 이하의 조건에서 초임계 세정 처리하는 것을 특징으로 하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
9. 상기 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 열처리 또는 초임계 세정 처리하는 공정 전에 칩상으로 분쇄하는 공정을 포함하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
10. 상기 제9항에 있어서, 입경 0.5 내지 10 mm의 칩상으로 분쇄되는 재생 불소 수지의 제조 방법.
11. 상기 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 용융 성형되어 사용을마친 불소 수지가 테트라플루오로에틸렌과 퍼플루오로(알킬비닐에테르)로부터 유도된 반복 단위를 갖는 공중합체 또는 테트라플루오로에틸렌과 헥사플루오로프로필렌으로부터 유도된 반복 단위를 갖는 공중합체인 재생 불소 수지의 제조 방법.
12. 상기 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 미사용된 불소 수지를 혼합하는 공정을 더 포함하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
13. 상기 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 방법으로 얻을 수 있는 실질적으로 불순물을 함유하지 않는 불소 수지 재생품.
재생 처리되는 불소 수지로서는 폴리테트라플루오로에틸렌(융점 327 ℃), 테트라플루오로에틸렌과 퍼플루오로(알킬비닐에테르)로부터 유도된 반복 단위를 갖는 공중합체(이하, "PFA"라고 함, 융점 310 ℃), 테트라플루오로에틸렌과 헥사플루오로프로필렌으로부터 유도된 반복 단위를 갖는 공중합체(이하, "FEP"라고 함, 융점 275 ℃), 테트라플루오로에틸렌과 에틸렌으로부터 유도된 반복 단위를 갖는 공중합체(이하, "ETFE"라고 함, 융점 270 ℃), 폴리클로로트리플루오로에틸렌(이하, "PCTFE"라고 함, 융점 220 ℃), 클로로트리플루오로에틸렌과 에틸렌으로부터 유도된 반복 단위를 갖는 공중합체(융점 220 내지 245 ℃), 폴리비닐리덴플루오라이드(이하, "PVdF"라고 함, 융점 156 내지 178 ℃), 비닐리덴플루오라이드와 다른 불소화 올레핀으로부터 유도된 반복 단위를 갖는 공중합체, 주쇄에 환 구조를 갖는 불소 함유 중합체(예를 들면, 퍼플루오로-2,2-디메틸디옥솔로부터 유도된 반복 단위를 갖는 공중합체, 퍼플루오로알릴비닐에테르 및 퍼플루오로부테닐비닐에테르로부터 유도된 반복 단위를 갖는 공중합체 등) 등을 들 수 있으며, 바람직한 불소 수지로서는 특히 불순물이 불리한 성형품에 종종 사용되는 PFA, FEP를 들 수 있다.
재생 처리의 열처리 조건은 실온 이상 불소 수지의 융점 이하, 바람직하게는 200 ℃ 이상 불소 수지의 융점 이하, 보다 바람직하게는 230 ℃ 이상 불소 수지의 융점 이하, 특히 바람직하게는 260 ℃ 이상 불소 수지의 융점 이하에서 행할 수 있다. 예를 들면, 융점이 310 ℃의 PFA인 경우, 230 ℃ 이상, 바람직하게는 260 ℃ 이상, 융점 이하에서 행할 수 있다. 열처리 시간은 1분 내지 48시간, 바람직하게는 10분 이상 8시간 이하이다.
불소화 처리는 열처리 후의 불소 수지를 더 불소화 처리할 수도 있고, 열처리를 불소 가스의 존재하에서 행할 수도 있다. 불소화 처리는 FEP, PFA, PTFE, PCTFE, 주쇄에 환 구조를 갖는 불소 함유 중합체 등의 수소 원자를 함유하지 않는 수지에 대하여 바람직하게 실시할 수 있는데, ETFE, PVdF 등의 수소 원자를 함유하는 수지에 대해서도, 불소화 처리에 의해 수지 중의 수소 원자가 불소 원자와 치환될 수도 있는 경우에는 행할 수 있다.
불소화 처리는 성형체의 표면을 실온 내지 300 ℃의 처리 온도에서 불소 가스와 접촉시킴으로써 행해진다. 처리 온도는 처리(불소화) 속도를 높이기 위해서는 높은 것이 좋으며, 바람직하게는 150 내지 250 ℃, 특히 바람직하게는 200 내지 250 ℃이다. 반응에 사용하는 불소 가스는 질소나 헬륨 가스 등의 불활성 가스로 희석하여 사용하는 것이 바람직하며, 통상 5 내지 30 용량%, 바람직하게는 10 내지 30 용량%의 농도로 성형체 표면과 접촉시킨다. 처리에 요하는 시간은 반응 온도, 불소 농도에 따라 상이하지만, 통상 4 내지 16시간이다.
본 발명에 있어서, 불소화 처리로 얻어진 표면 불소화 성형체를 열처리(어닐링 처리)함으로써, 잔류하는 불소 가스 및 부생되는 불화수소산을 제거하게 되어 바람직하다. 열처리 온도는 잔류 불소 가스 및 부생 불화수소산 제거면에서 약 200 내지 250 ℃, 바람직하게는 230 내지 250 ℃이다. 열처리 분위기는 공기 중, 바람직하게는 질소 가스 중에서 행하는 것이 열에 의한 산소의 열화 방지면에서 바람직하다. 열처리 시간은 2 내지 10시간, 통상 4 내지 8시간으로 하는 것이 바람직하다.
사용을 마친 불소 수지 성형품은 분쇄하지 않은 상태에서 열처리할 수도 있지만, 입경 10 mm 정도 이하, 바람직하게는 0.5 내지 5 mm 정도의 칩으로 분쇄기를 이용하여 분쇄한 후, 재생 처리를 행하는 것이 바람직하다.
본 발명의 열처리 또는 초임계 세정 처리에 의해 염소 이온, 황산 이온, 인산 이온 등의 무기 이온, 저분자량 유기물을 제거할 수 있다. 무기 이온량은, 예를 들면 불소 수지를 열수 중(예를 들면 121 ℃, 1시간)에서 추출한 후, 이온 크로마토그래피에 의해 정량할 수 있다. 또한, 형광 X선 측정에 의한 원소 분석에 의해서도 측정할 수 있다. 유기물의 유무는 불소 수지를 열수 중(예를 들면 121 ℃, 1시간)에서 추출한 후, 추출액의 COD를 측정함으로써 확인할 수 있다. 상기한 무기 이온은 염산, 황산, 인산 등의 산 형태로 통상 존재한다.
사용을 마친 불소 수지 성형품을 초임계 세정 처리하는 방법으로서는, 세정제가 임계 상태를 유지하는 온도, 압력 조건하에서 일정 시간 피세정품을 세정하는 방법을 들 수 있다. 예를 들면, 내압 용기 내에 피세정품과 세정제를 넣고, 내압용기별로 열처리함으로써 세정제를 임계 상태로 하고, 5분 내지 5시간 정도 그 상태를 유지하도록 하는 것이 바람직하다. 세정제로서는 이산화탄소 외에 에탄, 프로판, 부탄, 암모니아, 아산화질소 등을 들 수 있다. 세정제가 이산화탄소인 경우에는 31 ℃ 이상, 에탄인 경우에는 32 ℃ 이상, 프로판인 경우에는 97 ℃ 이상, 부탄인 경우에는 152 ℃ 이상, 암모니아인 경우에는 132 ℃ 이상, 아산화질소인 경우에는 36 ℃ 이상의 온도로 가열하는 것이 바람직하다.
사용을 마친 불소 수지 성형품의 수증기 중에서의 열처리는 1분 이상에서 48시간까지의 조건으로 행할 수 있다. 이들 열처리는 모두 단독으로 또는 병용하여 사용할 수 있다.
본 발명에 의해 불소 수지의 멜트 플로우레이트(MFR), 내굴곡성, 압축 성형성이 사용 전의 불소 수지와 거의 동일한 재생품을 얻을 수 있다. 또한, 착색 정도에 대해서도 230 ℃ 이상에서 열처리한 경우에는 착색이 거의 없고, 특히 불소화 처리에 의해 미사용품과 동일한 정도로 착색 성분을 제거할 수 있다.
이하, 본 발명을 실시예를 이용하여 보다 상세하게 설명한다.
또한, 이하의 실시예에 있어서 샘플 1, 2, 3은 모두 PFA를 포함하는 사용을 마친 캐리어이며, 샘플 1은 황산, 인산 및 염소 이온을 모두 함유하는 것, 샘플 2, 3은 인산 이온, 염소 이온은 거의 함유하지 않고 황산 이온은 다량 함유하는 것이다.
<실시예 1 및 비교예 1>
PFA(다이킨 고교 가부시끼 가이샤 제조의 네오프레온 PFA AP-215SH)를 이용하여 제조한 PFA 성형품(스미또모 중기계 제조 50톤 사출 성형기로 성형한 크기(단위 mm) (3.2×12.7×127)의 테스트 피스)을 진한 황산 중에서 20일간 침지시키고, 그 사이 10회로 나누어 총 70시간 동안 180 ℃로 승온시켰다.
이 샘플을 열풍 순환식 전기로에 넣어 처리 온도를 180, 230, 260 ℃로 바꾸고 각각 5시간 열처리하였다.
그 후, 가부시끼 가이샤 리가꾸 제조의 형광 X선 분석 장치로 원소 분석을 행하여 황 성분을 확인하였다.
열처리에 의한 세정에서는 230 ℃의 처리로 황산을 제거할 수 있다는 것이 확인되었다 (도 1).
또한, 황산 침지한 샘플을 정제수 중에서 자비시켜 10시간 처리했더니, 정제수 자비 세정에 의해 샘플 중의 황산 이온은 거의 제거할 수 없다는 것이 밝혀졌다 (도 1).
<실시예 2>
사용을 마친 PFA 캐리어(샘플 1 내지 3)를 가부시끼 가이샤 가와따 제조의 고속 분쇄기를 이용하여 분쇄하고, 얻어진 분쇄물을 열풍 순환식 전기로에 넣어 260 ℃에서 5시간 열처리하였다.
얻어진 분쇄품 5 g과 10 cc의 정제수를 스크류관에 넣고, 캡의 쿠션재를 제거하여 약간 열린 상태에서 밀폐하였다. 그 후, 멸균기를 이용하여 121 ℃에서 1시간 추출하고, 정제수 중의 Cl-, PO4 3-, SO4 2-의 이온 농도를 이온 크로마토그래피법으로 산출하고, COD 농도를 팩 테스트법에 의해 측정하였다. 결과를 표 1에 나타내었다.
또한, 사용을 마친 PFA 캐리어를 분쇄하여 얻어진 분쇄품을 열풍식 오븐 중에 설치된 모넬제의 박스형 용기에 넣고, 용기 안을 충분히 질소 가스로 치환하였다. 이어서, 오븐 안을 230 ℃로 승온한 후, 불소 가스(질소 가스에 의해 20 용량 %로 희석됨)를 0.6 ℓ/분의 유속으로 박스형 용기에 도입하여 불소 처리를 개시하였다. 이 조건으로 5시간 불소화 처리를 행한 후 방냉하고, 박스형 용기 안을 질소로 치환하여 불소화 처리된 PFA 분쇄품을 얻었다. 얻어진 분쇄품에 대하여 상기와 동일하게 하여 Cl-, PO4 3-, SO4 2-의 이온 농도, COD 농도를 측정하였다. 결과를 표 1에 나타내었다.
표 1로부터, 음이온 농도는 260 ℃, 5시간의 열처리에 의해 대폭 감소되었고, 또한 이것을 불소화 처리함으로써 사용 전의 불소 수지와 동일한 정도까지 감소된다는 것을 알 수 있었다. 또한, 유기물에 대해서도, 불소화 처리를 행함으로써 전혀 검출되지 않았다.
또한, 각각의 불소 수지에 대하여 이하에 나타낸 방법으로 멜트 플로우레이트(MFR), 내굴곡성(MIT), 최대점 강도(TS), 파단점 신도(EL)를 측정하였다. 그 결과를 표 1에 함께 나타내었다.
표 1로부터, 재생 처리(열처리, 불소화 처리)에 의한 물성 저하는 특별히 보이지 않았다.
ㆍMFR 측정
다이(직경 2 mm, 길이 8 mm)를 사용하여 멜트 인덱서로 측정하였다. 실린더 내 온도가 372 ℃에서 안정되면, 분쇄품 또는 펠릿 6 g을 투입하여 가압 실린더에서 가볍게 눌러 5분간 용융시켰다. 그 후, 5 kg의 하중을 걸어 일정 시간 샘플링하고 중량을 측정하였다. 이것을 10분 사이클로 환산하여 MFR(g/10 min)을 구하였다.
ㆍMIT 측정
압축 성형으로 두께 0.20 내지 0.23 mm의 시트를 제조하였다. 폭 12.7 mm, 길이 90 mm의 단책상 시험편을 제조하고, 야스다 세끼 제조의 MIT 시험기로 하중 1.25 kg, 진폭 각도 135도, 매분 175 사이클의 조건으로 파단된 횟수를 측정하였다.
ㆍTS/EL 측정
압축 성형으로 두께 2.0 mm의 시트를 제조하였다. ASTM-V호 덤벨로 펀칭을 행하여 시험편을 제조하였다. A&D 제조의 텐실론으로 인장 시험을 행하여 최대점 강도와 파단점 신도를 측정하였다.
또한, 표 1 및 표 2 중 "○"는 투명한 것, "△"는 약간 변색된 것, "×"는 변색된 것을 나타낸다. 또한, 표 1의 "처리"란에서 "-"는 처리 전을 나타내고, "260*5"는 260 ℃에서 5시간 열처리한 것을 나타내며, F화는 230 ℃에서 불소 가스 (질소 가스에 의해 20 용량%로 희석됨)를 0.6 ℓ/분의 유속으로 박스형 용기에 도입하여 5시간 불소화 처리한 것을 나타낸다.
<실시예 3>
사용을 마친 PFA 캐리어를 가부시끼 가이샤 가와따 제조의 고속 분쇄기를 이용하여 분쇄하고, 얻어진 분쇄품을 열풍 순환식 전기로에 넣어 260 ℃에서 5시간 열처리하였다. 분쇄품을 야스다 세끼 제조의 열유동성 측정기로 372 ℃에서 압출하여 스트랜드를 얻었다.
사용을 마친 3종의 PFA 성형품에 대하여 열처리 조건을 표 1에 나타낸 조건으로 바꾸어 동일하게 처리하고, 스트랜드의 변색 정도를 관찰하였다. 결과를 표 2에 나타내었다.
표 2에 나타낸 바와 같이 200 ℃ 이상에서 변색을 거의 방지할 수 있고, 230 ℃ 이상에서는 샘플에 따라 투명한 재생품을 얻을 수 있으며, 260 ℃ 이상에서는 모든 샘플에 대하여 투명한 제품을 얻을 수 있었다. 또한, 열처리 시간은 1시간 이상인 것이 바람직하다.
<실시예 4 (수증기 중에서의 열처리)>
사용을 마친 PFA 캐리어(샘플 1)의 분쇄품 10 g 및 정제수 20 cc를 100 cc의 내압 용기에 넣고 밀폐하였다. 용기별로 열풍 순환식 전기로에 넣어 260 ℃에서 5시간 열처리하고, 실시예 2와 동일하게 하여 Cl-, PO4 3-, SO4 2-의 이온 농도, COD 농도를 측정하였다. 결과를 표 3에 나타내었다.
표 3으로부터, 무기 이온 및 유기물이 실질적으로 제거되어 사용 전의 불소 수지와 동일한 정도의 물성을 갖는 재생 불소 수지를 얻을 수 있다는 것을 알았다.
<실시예 5 (초임계 세정 처리)>
사용을 마친 PFA 캐리어(샘플 1)의 분쇄품 10 g 및 드라이아이스 80 g을 100 cc의 내압 용기에 넣고 밀폐하였다. 용기별로 열풍 순환식 전기로에 넣어 100 ℃에서 5시간 열처리하고, 실시예 2와 동일하게 하여 Cl-, PO4 3-, SO4 2-의 이온 농도, COD 농도를 측정하였다. 결과를 표 3에 나타내었다.
표 3으로부터, 무기 이온 및 유기물이 실질적으로 제거되어 사용 전의 불소 수지와 동일한 정도의 물성을 갖는 재생 불소 수지를 얻을 수 있다는 것을 알았다.

Claims (13)

  1. 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 실온 이상 융점 이하의 조건에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 200 ℃ 이상 융점 이하의 조건에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
  3. 제1항에 있어서, 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 230 ℃ 이상 융점 이하의 조건에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서, 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 260 ℃ 이상 융점 이하의 조건에서 열처리하는 것을 특징으로 하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
  5. 제1항에 있어서, 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품의 열처리를 수증기 중에서 행하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 열처리하는 공정과 동시에 또는 열처리하는 공정 후에 불소화 처리하는 공정을 포함하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
  7. 제6항에 있어서, 불소화 처리 공정이 150 내지 250 ℃에서 불소 가스와 접촉시키는 공정인 재생 불소 수지의 제조 방법.
  8. 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 실온 이상 융점 이하의 조건에서 초임계 세정 처리하는 것을 특징으로 하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지 성형품을 열처리 또는 초임계 세정 처리하는 공정 전에 칩상으로 분쇄하는 공정을 포함하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
  10. 제9항에 있어서, 입경 0.5 내지 10 mm의 칩상으로 분쇄되는 재생 불소 수지의 제조 방법.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 용융 성형되어 사용을 마친 불소 수지가 테트라플루오로에틸렌과 퍼플루오로(알킬비닐에테르)로부터 유도된 반복 단위를 갖는 공중합체 또는 테트라플루오로에틸렌과 헥사플루오로프로필렌으로부터유도된 반복 단위를 갖는 공중합체인 재생 불소 수지의 제조 방법.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 미사용된 불소 수지를 혼합하는 공정을 더 포함하는 재생 불소 수지의 제조 방법.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 기재된 방법으로 얻을 수 있는 실질적으로 불순물을 함유하지 않는 불소 수지 재생품.
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