JP2567065B2 - 半導体封止樹脂中の水溶性不純物の抽出方法 - Google Patents
半導体封止樹脂中の水溶性不純物の抽出方法Info
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- JP2567065B2 JP2567065B2 JP63253745A JP25374588A JP2567065B2 JP 2567065 B2 JP2567065 B2 JP 2567065B2 JP 63253745 A JP63253745 A JP 63253745A JP 25374588 A JP25374588 A JP 25374588A JP 2567065 B2 JP2567065 B2 JP 2567065B2
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- Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） この発明は半導体封止樹脂の評価方法、さらに詳しく
は、半導体封止樹脂の水溶性不純物の抽出方法に関す
る。
は、半導体封止樹脂の水溶性不純物の抽出方法に関す
る。
（従来の技術） エポキシ系樹脂、シリコーン系樹脂等の半導体封止樹
脂は含有する不純物によって、半導体素子特性を左右す
る。半導体素子の表面状態はこの素子の電気特性に直接
影響を及ぼし、特に表面不純物による汚染に敏感であ
る。例えば封止樹脂は、直接素子と接触しており、樹脂
は湿気を透過し、吸収する性質を有してる。このため、
侵入した水分及び水に溶解した不純物イオン、特にハロ
ゲンイオンと半導体素子電極及び配線に使用されている
アルミニウムとの化学反応により、絶縁性が低下する。
また、これらによって配線や電極が腐食し、断線する。
したがって樹脂自体に水溶性不純物ができるだけ少ない
ことが望まれる。
脂は含有する不純物によって、半導体素子特性を左右す
る。半導体素子の表面状態はこの素子の電気特性に直接
影響を及ぼし、特に表面不純物による汚染に敏感であ
る。例えば封止樹脂は、直接素子と接触しており、樹脂
は湿気を透過し、吸収する性質を有してる。このため、
侵入した水分及び水に溶解した不純物イオン、特にハロ
ゲンイオンと半導体素子電極及び配線に使用されている
アルミニウムとの化学反応により、絶縁性が低下する。
また、これらによって配線や電極が腐食し、断線する。
したがって樹脂自体に水溶性不純物ができるだけ少ない
ことが望まれる。
このような要請に対してとられている封止樹脂の評価
方法は、従来、未硬化樹脂粉末を加熱処理し硬化させた
後、粉砕した効果樹脂粉体戸水を密閉容器に収納し、容
器全体を加熱し抽出して、抽出水の塩素、ナトリウム、
カリウム、カルシウム、マグネシウム等の水溶性不純物
濃度を測定する方法であった。しかし、この方法では抽
出に２〜３時間の長時間を要し、また、所要時間が長い
ため抽出中に不純物汚染がさけられず、分析精度が悪い
という問題点があった。
方法は、従来、未硬化樹脂粉末を加熱処理し硬化させた
後、粉砕した効果樹脂粉体戸水を密閉容器に収納し、容
器全体を加熱し抽出して、抽出水の塩素、ナトリウム、
カリウム、カルシウム、マグネシウム等の水溶性不純物
濃度を測定する方法であった。しかし、この方法では抽
出に２〜３時間の長時間を要し、また、所要時間が長い
ため抽出中に不純物汚染がさけられず、分析精度が悪い
という問題点があった。
（発明が解決しようとする課題） 本発明は、上記従来の問題点を解決するためになされ
たもので、半導体封止樹脂中の水溶性不純物を迅速かつ
高精度に抽出可能とした抽出方法を提供しようとするも
のである。
たもので、半導体封止樹脂中の水溶性不純物を迅速かつ
高精度に抽出可能とした抽出方法を提供しようとするも
のである。
［発明の構成］ （課題を解決するための手段及び作用） 本発明は半導体封止樹脂粉体を少なくとも内面をフッ
素樹脂で構成する密閉容器内に水とともに収納し、加熱
して水溶性不純物を抽出する方法において、マイクロ波
加熱を用いたことを特徴とする半導体封止樹脂中の水溶
性不純物の抽出方法である。
素樹脂で構成する密閉容器内に水とともに収納し、加熱
して水溶性不純物を抽出する方法において、マイクロ波
加熱を用いたことを特徴とする半導体封止樹脂中の水溶
性不純物の抽出方法である。
密閉容器の構造は封止樹脂粉体と水を容易に出し入れ
でき、かつマイクロ波を利用して加熱した時に、封止樹
脂粉体および水が漏れない構造であれば、いかなるもの
でもよいが、ねじ嵌合できる蓋付きの密閉容器のものが
よい。また、密閉容器は１つだけでなく、二重あるいは
三重の密閉構造になっている方が、加熱時に封止樹脂試
料や水の漏れおよび不純物汚染を防止するうえで望まし
い。
でき、かつマイクロ波を利用して加熱した時に、封止樹
脂粉体および水が漏れない構造であれば、いかなるもの
でもよいが、ねじ嵌合できる蓋付きの密閉容器のものが
よい。また、密閉容器は１つだけでなく、二重あるいは
三重の密閉構造になっている方が、加熱時に封止樹脂試
料や水の漏れおよび不純物汚染を防止するうえで望まし
い。
密閉容器の材質には、それが測定を目的とする封止樹
脂中の不純物の正確な測定を直接的にも間接的にも妨害
するものでないかぎり、いかなるものでもあってもよい
が、全てフッ素樹脂、特にテフロンを用いることが望ま
しい。テフロンは耐熱性、耐圧性及び耐酸性にすぐれて
いるうえに、弗酸、硝酸などの紺産による洗浄によっ
て、不純物を容易に除去することができ、かかる洗浄を
終えたものからの不純物の溶出が極めて少なく、本発明
の目的にかなった材質である。また、密閉容器内の封止
樹脂中不純物の溶出状態が外側から簡便に目視でわかる
ように透明なものが望ましい。
脂中の不純物の正確な測定を直接的にも間接的にも妨害
するものでないかぎり、いかなるものでもあってもよい
が、全てフッ素樹脂、特にテフロンを用いることが望ま
しい。テフロンは耐熱性、耐圧性及び耐酸性にすぐれて
いるうえに、弗酸、硝酸などの紺産による洗浄によっ
て、不純物を容易に除去することができ、かかる洗浄を
終えたものからの不純物の溶出が極めて少なく、本発明
の目的にかなった材質である。また、密閉容器内の封止
樹脂中不純物の溶出状態が外側から簡便に目視でわかる
ように透明なものが望ましい。
マイクロ波の発生手段は封止樹脂粉体や水を効率よく
簡便に加熱できるものであればいかなるものでもよく、
家庭用電子レンジでもよい。
簡便に加熱できるものであればいかなるものでもよく、
家庭用電子レンジでもよい。
本発明では、原因は必ずしも明らかではないがマイク
ロ波を利用することによって、水および封止樹脂粉体を
効率よく加熱することができる、封止樹脂中の水溶性不
純物を迅速かつ高精度に抽出することができる。
ロ波を利用することによって、水および封止樹脂粉体を
効率よく加熱することができる、封止樹脂中の水溶性不
純物を迅速かつ高精度に抽出することができる。
（実施例） 以下、本発明の実施例について述べる。
＜実施例１＞ 封止樹脂粉体2gを純水10mlと回転子１個とともに、第
１図に示した厚さ3mm,容量30mlテフロン製密閉容器に入
れ、テフロン製蓋でねじ嵌合した。さらに、この容器を
厚さ3mm,容量約60mlのテフロン製密閉容器内に収納し、
テフロン製蓋でねじ嵌合した。その後、攪拌した後、家
庭用電子レンジに入れ、周波数2450MHz、出力1000Wの条
件でマイクロ波による加熱を約10分間行なった。放冷
後、抽出される水溶性不純物を原子吸光法やイオンクロ
マトグラフ法で測定した。
１図に示した厚さ3mm,容量30mlテフロン製密閉容器に入
れ、テフロン製蓋でねじ嵌合した。さらに、この容器を
厚さ3mm,容量約60mlのテフロン製密閉容器内に収納し、
テフロン製蓋でねじ嵌合した。その後、攪拌した後、家
庭用電子レンジに入れ、周波数2450MHz、出力1000Wの条
件でマイクロ波による加熱を約10分間行なった。放冷
後、抽出される水溶性不純物を原子吸光法やイオンクロ
マトグラフ法で測定した。
＜比較例１＞ 封止樹脂粉体2gを厚さ3mm、容量30mlのテフロン製密
閉容器に入れ、ふたをし、さらに、この容器を厚さ5mm
容量約60mlのステンレス製密閉容器に収納し、ステンレ
ス製蓋でねじ嵌合して、冠着固定した。その後、攪拌し
た後、電気乾燥機にて180℃で２時間加熱した。放冷
後、抽出される水溶性不純物を原子吸光法やイオンクロ
マトグラフ法で測定した。
閉容器に入れ、ふたをし、さらに、この容器を厚さ5mm
容量約60mlのステンレス製密閉容器に収納し、ステンレ
ス製蓋でねじ嵌合して、冠着固定した。その後、攪拌し
た後、電気乾燥機にて180℃で２時間加熱した。放冷
後、抽出される水溶性不純物を原子吸光法やイオンクロ
マトグラフ法で測定した。
しかして、本実施例１および比較例１により得られた
水溶性不純物の繰返し３回ずつの測定結果を第１表に示
す。
水溶性不純物の繰返し３回ずつの測定結果を第１表に示
す。
［発明の効果］ 以上述べたように、本発明によれば、半導体封止樹脂
中の水溶性不純物を迅速かつ精度よく抽出することがで
きる。
中の水溶性不純物を迅速かつ精度よく抽出することがで
きる。
第１図は本発明に用いる密閉容器の一実施例の縦断面図
である。 1,2……密閉容器,3,4……蓋,5,6……ねじ,7……封止樹
脂粉体,8……純水
である。 1,2……密閉容器,3,4……蓋,5,6……ねじ,7……封止樹
脂粉体,8……純水
Claims (1)
- 【請求項１】半導体封止樹脂粉体を少なくとも内面をフ
ッ素樹脂で構成する密閉容器内に水とともに収納し、加
熱して水溶性不純物を抽出する方法において、マイクロ
波加熱を用いたことを特徴とする半導体封止樹脂中の水
溶性不純物の抽出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63253745A JP2567065B2 (ja) | 1988-10-11 | 1988-10-11 | 半導体封止樹脂中の水溶性不純物の抽出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63253745A JP2567065B2 (ja) | 1988-10-11 | 1988-10-11 | 半導体封止樹脂中の水溶性不純物の抽出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02102235A JPH02102235A (ja) | 1990-04-13 |
| JP2567065B2 true JP2567065B2 (ja) | 1996-12-25 |
Family
ID=17255551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63253745A Expired - Lifetime JP2567065B2 (ja) | 1988-10-11 | 1988-10-11 | 半導体封止樹脂中の水溶性不純物の抽出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2567065B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100816224B1 (ko) | 2000-07-24 | 2008-03-21 | 다이킨 고교 가부시키가이샤 | 재생 불소 수지의 제조 방법 및 불소 수지 재생품 |
-
1988
- 1988-10-11 JP JP63253745A patent/JP2567065B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100816224B1 (ko) | 2000-07-24 | 2008-03-21 | 다이킨 고교 가부시키가이샤 | 재생 불소 수지의 제조 방법 및 불소 수지 재생품 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02102235A (ja) | 1990-04-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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