TW574270B

TW574270B - Method for producing recycled fluororesin and recycled fluororesin article

Info

Publication number: TW574270B
Application number: TW90117939A
Authority: TW
Inventors: Masaji Komori; Takuya Arase
Original assignee: Daikin Ind Ltd
Priority date: 2000-07-24
Filing date: 2001-07-23
Publication date: 2004-02-01
Also published as: KR100816224B1; JP2002036237A; US7223800B2; WO2002008325A1; US20030125400A1; KR20030020399A; JP5054256B2

Description

574270 A7 ___B7 五、發明説明（1 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明係有關去除含於使用過氟樹脂成型品之藥液、無機物、有機物後，於可再利用狀態下進行處理再製氟樹脂之製造方法以及以該方法進行再製處理之氟樹脂再製品者。先行技術中，氟樹脂係具有良好耐熱性、耐藥性，更具高純度者，因此，於半導體領域中之載體、接頭、內胎、角槽等周邊零件材料甚至藥液製造、藥液供給領域均被廣泛使用之。特別針對載體，近來半導體製造過程技術之高純度化要求下，被進行各種討論。滲透於氟樹脂之藥品，氣體污染其他藥品槽、氣體之產生而污染晶圓之化學載體過剩現象。做爲防止此現象發生之洗淨法者，公知者有如於 1 5 0 t下進行3 0分鐘之熱處理、純水煮沸，藉由硝酸之加熱處理等方法。其洗淨效果達界限時，呈使用極限之載體被丟棄之。又’與載體本身所產生之晶圓相互磨擦後，造成耗損之原因呈使用極限者。經濟部智慧財產局員工消費合作社印奴通常做爲呈使用極限之無用樹脂成型品之處理方法者 ’被提出極多方案，如：聚乙烯等廣泛使用樹脂之領域中 ’將此進行再製後使用之方法者，雖具實用性，惟，做爲本發明對象之氟樹脂領域中，進行再製後使用之方法截至目前却未被獲悉。本發明者所知有特開平 1 1 一 3 0 0 7 4 1號公報所載之方法。亦即，做爲農業用房子被覆資料所使用之四氟乙烯/乙烯系共聚物所成之本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -4- 574270 A7 B7 五、發明説明（2 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 氟樹脂薄膜藉由洗淨液洗淨後，乾燥之，必要時，加以撞擊壓縮磨碎力使氟樹脂以外之表面被覆物進行分離去除後，再藉由擠壓機進行熔融擠壓後，製造顆粒之方法者。如此，再製氟樹脂成型品後，使用之方法並未被充分討論係由於先行中，其廢棄量少故以掩埋方式被廢棄之。惟，近來，伴隨氟樹脂使用量之增加，廢棄量亦隨之增大，並且，由回收社會之適應點觀之，氟樹脂成型品之再製技術亦被重視要求之。本發明係以提供一種與使用前之氟樹脂相同爲止去除藥液等不純物、藥品後之再製氟樹脂之製造方法爲目的者〔發明開示〕經濟部智慧財產笱員工消費合作钍印製於該狀況下，本發明者針對再製使用過氟樹脂成型品之方法進行各種討論結果發現，如載於該特開平 1 1 - 3 0 0 7 41號公報之水洗及熔融擠壓之方法中去除無法被去除之成型品內部無機物、有機物後，可取得良好之再製樹脂者。亦即，本發明者於室溫以上融點以下之條件下將使用過之氟樹脂藉由熱處理後，發現可去除有機及無機之不純物’進而可再製氟樹脂。本發明係有關以下之再製氟樹脂的製造方法及氟樹脂再製品者。項1 ，於室溫至融點之條件下使熔融成型之使用過氟本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21〇X297公釐） -5- 574270 A7 B7 五、發明説明（3 ) 樹脂成型品藉由熱處理爲其特徵之再製氟樹脂的製造方法〇 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 項2 ，於2 0 0 °C至融點之條件下，使熔融成型之使用過氟樹脂成型品藉由熱處理爲其特徵之如項1所載再製氟樹脂的製造方法法。項3 ，於2 3 0 C至融點之條件下，使熔融成型之使用過氟樹脂成型品藉由熱處理爲其特徵之如項1所載再製氟樹脂的製造方法者。項4，於2 6 0 °C至融點之條件下，使熔融成型之使用過氟樹脂成型品藉由熱處理爲其特徵之如項1所載再製氟樹脂的製造方法者。項5 ，於水蒸氣中進行熔融成型之使用過氟樹脂成型品熱處理之如項1所載再製氟樹脂的製造方法者。項6 ，進行熱處理熔融成型之使用過氟樹脂成型品步驟之同時，或熱處理步驟之後，尙含有氟化處理步驟之項 1至項5中任一項所載之再製氟樹脂的製造方法者。經濟部智慧財1局員工消費合作社印製項7，氟化處理步驟係於1 5 0〜2 5 Ot下與氟氣接觸之步驟者之如項6所載再製氟樹脂的製造方法者。項8，於室溫至融點之條件下使熔融成型之使用過氟樹脂成型品藉由超臨界洗淨處理爲其特徵之再製氟樹脂的製造方法者。項9，於熱處理或超臨界洗淨處理熔融成型之使用過氟樹脂成型品步驟之前含有粉碎成屑狀步驟之如項1至項 8中任一項所載再製氟樹脂之製造方法者。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6 - 574270 A7 ________ B7_ 五、發明説明（4 ) 項1 0，粉碎成粒徑〇 . 5〜1 0 m m之屑狀之項9 所載再製氟樹脂的製造方法者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 項1 1 ，熔融成型之使用過氟樹脂係具有四氟乙烯與全氟（烷基乙烯醚）所衍生之重覆單位的共聚物或具有四氟乙烯與六氟丙烯所衍生之重覆單位的共聚物之項丄至項 1 0中任一項所載再製氟樹脂製造方法者。項1 2，更含有混合未使用氟樹脂步驟之項1至項 11中任一項所載再製氟樹脂製造方法者。項1 3，於項1至項1 2中任一項之方法可取得實質上不含不純物之氟樹脂再製品者。經濟.部智慧財產局員工消費合作社印製做爲再製處理之氟樹脂例者如：具有聚四氟乙烯（融點3 2 7°C) '四氟乙烯與全氟（烷基乙烯醚）所衍生之重覆單位之共聚物（以下稱P F A、融點3 1 〇 °c )，具有由四戴乙儲與六氧丙儲所衍生之重覆單位之共聚物（以下稱FEP、融點275 °C)，具有四氟乙烯與乙烯所衍生之重覆單位之共聚物（以下稱ETF E、融點2 7 0 ^ )，具有聚氯三氟乙烯（以下稱PCTFE、融點22〇 °C )、氯三氟乙烯與乙烯所衍生之重覆單位之共聚物（點 220〜245 °C)，具有聚亞乙烯氟化物（以下，稱 P v d、融點1 5 6〜1 7 8 t )、亞乙烯氟化物與其他氟化烯烴所衍生之重覆單位之共聚物，於主鏈具有環結_ 之含氟聚合物（如：具有全氟一 2，2 -二甲基二噁茂所衍生之重覆單位之共聚物，具有全氟烯丙基乙烯醚、全^ 丁烯乙烯醚所衍生之重覆單位之共聚物等）等例，理想；^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） 574270 A7 B7 五、發明説明（5 ) 氟樹脂例如：特別以多用於不純物被排斥之成型品之 PFA、FEP之例者。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 再製處理之熱處理條件爲室溫以上至氟樹脂之融點以下者宜，較佳者爲2 0 〇 °C以上至氟樹脂融點以下，更佳者爲2 3 0 °C以上至氟樹脂融點以下，特別理想者爲 2 6 0 °C以上至氟樹脂融點以下進行者。例如：融點爲 3 1 0 °C之P F A時，則於2 3 0 t以上，較佳者爲 2 6 0 °C以上，融點以下進行者宜，熱處理時間爲1分鐘至4 8小時，較佳者爲1 0分鐘以上，8小時以下者宜。氟化處理係使熱處理後之氟樹脂更進行氟化處理者，亦可於氟氣體之存在下進行熱處理者。氟化處理係可針對未含於 FEP、PFA、PTFE、PCTFE、主鏈上具有環結構所含氟聚合物等之氫原子樹脂適當進行之，而亦可針對含有ETFE、Pvd等氫原子之樹脂藉由氟化處理後，樹脂中氫原子被氟原子取代亦可時進行之。經濟部智慧財產局員工消費合作社印製氟化處理係使成型體表面於室溫至3 0 0 °C之處理溫度下與氟氣體接觸後進行者。處理溫度爲提高處理（氟化 )速度而愈高愈好，較佳者爲1 5 0〜2 5 0 °C，特別以 2 0 0〜2 5 0 °C爲最佳。供於反應之氟氣體可以氮、氨氣等不活性氣體進行稀釋後使用者宜，一般以5〜3 0容量％，較佳以1 0〜3 0容量％之濃度下與成型體表面進行接觸。處理所需時間依反應溫度、氟濃度而異，通常爲 4〜1 6小時。本發明中氟化處理後，取得表面氟化成型體藉由熱處本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -8- 574270 A7 B7 經濟部智慧时— Mrs工消費合作社印製五、發明説明（6 ) 理（退火處理）後，以去除殘留之氟氣及副產物之氟酸者宜。熱處理溫度由去除殘留氟氣及副產物氟酸之面觀之，以200〜250 °C者宜，較佳者230〜250 °C者。熱處理氣氛以空氣中者宜，較佳者於氮氣中者，係由防止熱氧惡化之面觀之爲較佳者。熱處理時間爲2〜1 〇小時，一般爲4〜8小時者宜。使用過之氟樹脂成型品亦可於未粉碎狀態下進行熱處理而通常以粉碎機粉碎呈粒徑爲1 0 m m以下，較佳者爲 0 · 5〜5mm之屑片後，再進行再製處理者宜。本發明藉由熱處理或超臨界洗淨處理後，可去除氯離子、硫酸離子、磷酸離子等無機離子、低分子量之有機物者。無機離子量如：於熱水中（121 °C、1小時）下萃取氟樹脂後，可藉由離子層析法進行定量之。又，螢光X 線測定亦可藉由元素分析進行測定之。熱水中（1 2 1 °C ，1小時）萃取氟樹脂後，藉由測定萃取液之C〇D後可確定有機物是否存在之。上述無機離子通常以鹽酸、硫酸、磷酸等酸之形態存在之。做爲超臨界洗淨處理使用過氟樹脂成型品之方法者如 :洗淨劑維持於臨界狀態之溫度、壓力條件下以一定時間洗淨被洗淨品之方法者。例如：於耐壓容器內置入被洗淨品及洗淨劑後，每耐壓容器藉由熱處理後，使洗淨劑呈臨界狀態，5分鐘至5小時維持該狀態即可。做爲洗淨劑之例者如：二氧化碳之外，乙烷、丙烷、丁烷、氨、低氧化氮等例。洗淨劑爲二氧化碳時加熱溫度爲3 1 t以上者宜 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -9- 574270 A7 B7 五、發明説明（7 ) 、.乙烷以3 2 °C以上、丙烷爲9 7 °C以上、丁烷爲1 5 2 °C以上、氨爲1 3 2 °C以上、低氧化氮爲3 6 t：以上者宜〇 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} 於水蒸氣中熱處理使用過之氟樹脂成型品時，可於i 分鐘至4 8小時之條件下進行之。此等熱處理可單獨或倂用均無妨。藉由本發明其氟樹脂之熔融流動指數（M F R )、耐彎曲性、壓縮成型性可取得與使用前之氟樹脂呈幾乎相同之再製品者。另外，針對著色之程度於2 3 0 t以下進行熱處理時，亦幾乎未被著色，特別是藉由氟化處理後，可去除與未使用品相同程度之著色成份。〔發明實施之最佳形態〕以下，利用實施例進行本發明更詳細之說明。經濟部智慧財1局員工消費合作社印製又，以下實施例中，採樣1、2、3均爲P F A所成之使用過載體者，採樣1係含有硫酸、磷酸及氯離子之任一者，採樣2、3係幾乎未含有磷酸離子、氯離子、大半含硫酸離子者。〔實施例1及比較例1〕利用P F A (大金工業股份公司製neoflone PFA AP-215 SH )使P F A成型品（以住友重機械製5 0噸注模成型機所成型之尺寸（單位m m ) (3.2x12.7x127) 之試驗片）於濃硫酸中浸漬2 0天，其間分1 〇次，總計本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） -10- 574270 A7 B7 五、發明説明（8 ) 7. 0小時昇溫至1 8 0 °C。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 將該採樣置入熱風循環式電氣氣爐內，處理溫度變更爲1 8 0 °C、2 3 0 C、2 6 0 °C，分別進行熱處理5小時。之後，於股份公司Lygac製螢光X線分析裝置進行元素分析後，確定硫黃成份。藉由熱處理進洗淨時，於2 3 0 t處理後確定可去除硫酸（圖1 )。又，於純水中將硫酸浸漬之採樣進行煮沸後，處理 1 0小時之後，藉由純水煮沸洗淨後，淸楚呈現採樣中之硫酸離子幾乎未被去除（圖1 )。〔實施例2〕利用股份公司Kawata製氣動連送粉碎機進行粉碎使用過之P F A載體（採樣1〜3 )後，將取得粉碎物置入熱風循環式電氣爐內，以2 6 0 °C進行熱處理5小時。經濟部智慈財產局員工消費合作社印製將取得5 g粉碎品及1 0 c c純水置入螺旋管中，脫取軟墊蓋子呈微開狀態下關之。之後，利用滅菌器，於 1 2 1 °C下進行萃取1小時後，藉由離子層析法算出純水中之C 1 —、p〇43-、s〇42_之離子濃度，藉由塗層試驗測定C〇D濃度。結果示於表1。另外，將粉碎使用過之P F A載體取得之粉碎品置入設置熱風式烤箱之蒙乃爾製箱型容器後，容器內充份以氮氣取代之。再於烤箱內昇溫至2 3 0 °C後，以0 · 6 1 / 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -11 - 574270 A 7 B7 五、發明説明（9 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 分鐘之流速導入氟氣（以氮氣稀釋成2 〇容量％)於箱型容器後，開始進行氟處理。於此條件下進行氟化處理5小時後，放冷，使箱型容器內以氮氣取代後進行氟化處理後取得P F A粉碎品。針對所取得粉碎品與上述相同，測定 C 1 —、P〇4 3 —、S〇4 2 —之離子濃度、C〇D濃度。結果示於表1。由表1證明，陰離子濃度於2 6 0 °C下熱處理5小時後，大幅降低，此更藉由氟化處理後，減至與使用前氟樹脂相同程度者。又，有機物仍藉由氟化處理後，完全消失未被檢出。又，針對分別氟樹脂，依以下所示方法，進行測定熔融流動指數（M F R )、耐彎曲性（Μ I Τ )、最大點強度（TS)、切斷點延伸（EL)。其結果合倂示於表1 〇由表1證明，藉由再製處理（熱處理、氟化處理）後，並未特別出現物性之降低。經濟部智慧財產局員工消費合作'社印製 • M F R測定利用塑模擠壓模（直徑2 m m、長8 m m )進行測定熔融指數。圓筒溫度3 7 2 t下安定後，投入6 g粉碎品或顆粒，以加壓圓筒輕輕擠壓，熔融5分鐘。之後加入5 k g荷重後，一定時間下進行採樣、測定重量。將此換算 10分鐘後做成MFR(g/l〇min)。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -12- 574270 A7 B7 經濟部智慧財1^員工消費合作社印製五、發明説明（10) •. Μ I T測定以壓縮成型作成厚度爲〇·20〜〇·23mm之薄片。製作寬1 2 · 7mm、長9 0mm之細長狀試驗片’ 以安田精機製Μ I T試驗機於荷重1 · 2 5 k g、振幅角度1 3 5度，每分鐘1 7 5轉之條件下進行測定切斷之次數。 • T S / E L測定以壓縮成型作成厚度爲2·〇mm之薄片。以 A S T Μ - V號啞鈴進行穿孔，作成試驗片。以A & D製張力器進行張力試驗後，進行測定最大點強度與切斷點延伸度。又，表1及表2中，「〇」代表透明者，「△」代表稍有變色，「X」代表變色。另外，表1之「處理」欄中，「一」代表處理前，「260*5」代表260 °C下熱處理5小時、F化代表於2 3 0 °C下以〇 . 6 1 /每分之^ 速導入氟氣體（以氮氣稀釋成2 0容量％)之箱型容器後，進行氟化處理5小時者。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -13- 574270 A7 B7 五、發明説明（n) 經濟部智慧財產^員工消費合作社印製表_ 1 採樣名處理 121°C 1小時浸漬水中時之萃取濃度(ppm) 萃取液 COD (ppm) MFR (g/lOmm) MIT (回）壓縮成型變色度合 1 cr P〇43· S〇43' TS (MPa) EL (%) 1 一 4.58 0.13 0.47 8 17.5 7595 28.2 322 X 260*5 0.08 0.06 0.45 一 17.2 6546 29.7 339 〇 0.01 0·00 0.03 0 17.4 10318 30.4 348 〇 2 _ 0.02 0.00 0.52 5 16.3 10770 30.7 337 X 260*5 0.02 0.00 0.10 2 16.2 7124 29.5 334 Δ F化 0.00 0.00 0.04 0 16.4 8414 31.4 354 〇 3 — 0.02 0.00 3.16 5 15.1 6147 30.1 347 1 X 260*5 0.02 0.11 0.07 0 15.8 6432 29.7 348 Δ Ft 0.00 0.00 0.03 0 15.5 6746 28.5 333 〇使用前 PFA(成型->粉碎後） _ 0.12 0.00 0.02 2 14.6 16004 34.6 365 一 260*5 0.03 0.00 0.02 0 14.4 19066 35.1 360 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） -14- 574270 A7 B7 五、發明説明（12) 〔.實施例3〕 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 利用股份公司Kawata製快速粉碎機進行粉碎使用過之 P F A載體後’取得之粉碎品置入熱風循環式電氣爐後，於2 6 0 °C下進行熱處理5小時。以安田精機製熱流動性測定機於3 7 2 °C下進行擠壓粉碎品後，取得導線束。針對3種使用過之P F A成型品，將熱處理條件變更爲表1所示之條件後，同法進行處理後，進行觀察導線束之變色情況。結果示於表2。表2 處理溫未 150 200 230 260 290 260 260 260 度時間 — 5 5 5 5 5 0.16 1 24 1 X X Δ 〇〇〇 Δ Δ 〇 2 X X Δ Δ 〇〇 Δ 〇〇 3 X X Δ Δ 〇〇 △ △ 〇i 經濟部智慧时4苟資工消費合itri印製如表2所示’於2 0 0 °C以上幾乎可防止變色’ 2 3 0 °C以上藉由採樣可取得透明之再製品，2 6 0 °C以上所有採樣均可取得透明之製品。又，熱處理時間以1小時以上者宜。本紙張尺度適财關家麟（CNS ) A4· ( 210 x297公董） -15- 574270

五、發明説明（13) 〔·實施例4〕（水蒸氣中之熱處理） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 於1 0 0 c c之耐壓容器內置入1 〇 g使用過pfA 載體（採樣1 )粉碎品及2 0 c c純水後，閉密之。各容器附與熱風循環式電氣爐，於2 6 0 °C下進行熱處理5小時，與實施例2同法測定C 1 _、P〇4 3 —、S〇4 2 _之離子濃度、COD濃度。結果示於表3。由表3證明無機物及有機物被實質去除，取得具有與使用前氟樹脂同等物性之再製氟樹脂者。表3

Cl'(ppm) P〇43'(ppm) S〇42(ppm) COD(ppm) 實施例4 0.03 0.01 0.10 0 實施例5 0.10 0.08 0.27 0 使用前之 0.12 0.00 0.02 2 PFA 經濟部智慧时4¾員工消費合作杜印製〔實施例5〕（超臨界洗淨處理）於1 0 0 c c之耐壓容器中置入1 〇 g之使用過 P F A載體（採樣1 )粉碎品及8 0 g乾冰後，密閉之。各容器附與熱風循環式電爐，於1 0 0°C下進行熱處理5 小時，與實施例2同法測定C 1 _、p 〇 4 3 -、S〇4 2 —之離子濃度、C〇D濃度。結果如表3所示。由表3證明，無機物及有機物被實質去除，取得具有本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -16- 574270 A7 B7 五、發明説明（14) 與.使用前羸樹脂同等物性之再製氟樹脂者° 〔圖面之簡單說明〕圖1係代表將浸漬於實施例1之硫酸之採樣進行熱處理後之採樣中硫酸離子濃度與浸漬於比較例1之硫酸之採樣進行純水煮沸洗淨處理後之採樣中硫酸離子濃度。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧时4笱員工消費会作ti印製本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -17-

Claims

574270 π 公經濟部智慧財產局員工消費合作社印製六、申請專利範圍第901 17939號專利申請案中文申請專利範圍修正本民國92年1月30日修正 1 · 一種再製氟樹脂之製造方法，其特徵爲將熔融成型之使用過氟樹脂成型品於 (1) 200°C以上融點以下的條件下之熱處理，或 (2) 室溫以上融點以下的條件下水蒸氣中的熱處理之條件下進行熱處理者。 2 ·如申請專利範圍第1項之再製氟樹脂之製造方法 ’其中該方法係於2 3 0 t以上融點以下條件下進行熔融成型之使用過氟樹脂成型品的熱處理者。 3 ·如申請專利範圍第1項之再製氟樹脂之製造方法，其中該方法係於2 6 0 °C以上融點以下條件下進行熔融成型之使用過氟樹脂成型品的熱處理者。 4 ·如申請專利範圍第1項至第3項中任一項之再製氟樹脂之製造方法，其中含有於200°C以上融點以下條件進行熔融成型之使用過氟樹脂成型品之熱處理同時，進行氟化處理之步驟者。 5 ·如申請專利範圍第1項至第3項中任一項之再製氟樹脂之製造方法，其中含有將熔融成型之使用過氟樹脂成型品於 (1) 200°C以上融點以下的條件下之熱處理；或 (2) 室溫以上融點以下的條件下水蒸氣中.的熱處理之條件下進行熱處理後，再進行氟化處理之步驟。本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---------^— (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、11 線 574270 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 6 ·如申請專利範圍第5項之再製氟樹脂之製造方法，其中該氟化處理步驟係於1 5 0〜2 5 0 °C下接觸氟氣體之步驟者。 7 · —種再製氟樹脂之製造方法，其特徵係於室溫以上融點以下之條件下使熔融成型之使用過氟樹脂成型品進行超臨界洗淨處理者。 8 _如申請專利範圍第1項至第3項或第7項中任〜項之再製氟樹脂之製造方法，其中含有使熔融成型使用過之氟樹脂成型品進行熱處理或超臨界洗淨處理步驟之前進行粉碎呈屑狀之步驟者。 9 ·如申請專利範圍第8項之再製氟樹脂之製造方法 ’其中δ亥方法係粉碎粒徑呈Q · 5〜1 〇 m m之屑狀者。 1 0 ·如申請專利範圍第1項至第3項或第7項中任一項之再製氟樹脂之製造方法，其中該熔融成型之使用過氟樹脂係具有四氟乙烯與全氟（烷基乙烯醚）所衍生重覆單位之共聚物或具有四氟乙烯與六氟丙烯所衍生重覆單位之共聚物者。 1 1 ·如申請專利範圍第1項至第3項或第7項中任一項之再製氟樹脂之製造方法，其中該方法更含有混合未使用氟樹脂之步驟者。 1 2 ·如申請專利範圍第1項至第3項或第7項中任一項之方法，其中所得者爲實質上不含雜質之氟樹脂再製品。 . 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) M規格（2i〇X297公釐） ---------'—裝------、耵------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁}