KR20020090791A - 액정표시장치용 어레이 기판 및 그의 제조방법 - Google Patents
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- G02F1/136213—Storage capacitors associated with the pixel electrode
Abstract
Description
Claims (28)
- 투명기판과;상기 투명기판 상부에 제 1 방향으로 형성된, 게이트 전극을 포함하는 다수 개의 게이트 배선과;상기 게이트 배선들 간에 위치하며, 상기 게이트 배선과 평행한 방향으로 일정간격 이격되어 형성되며, 상기 게이트 배선과 동일물질로 이루어진 다수 개의 캐패시터 전극과;상기 게이트 배선 및 캐패시터 전극의 상부에 위치하여, 기판 전면에 걸쳐 형성된 게이트 절연막과;상기 게이트 절연막 상부의 상기 게이트 전극을 덮는 위치에 형성된 반도체층과,상기 반도체층 상부에 투명도전성 물질로 이루어지며, 상기 반도체층과 일부 오버랩되어 형성된 드레인 전극을 포함하는 화소 전극 및 상기 드레인 전극과 이격되어 형성된 소스 전극과;상기 소스 전극을 일부 노출시키는 소스 콘택홀 및 상기 화소 전극과 대응하는 면적을 가지며, 상기 화소 전극을 노출시키는 오목부를 가지는 보호층과;상기 소스 콘택홀을 통해 상기 소스 전극과 연결되며, 상기 게이트 배선과 교차하는 제 2 방향으로 형성된 다수 개의 데이터 배선을 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 투명기판과;상기 투명기판 상부에 화소(pixel) 단위로, 화소영역에 준하는 면적으로 형성된 다수 개의 제 1 캐패시터 전극과;상기 제 1 캐패시터 전극이 형성된 기판 상에 제 1 방향으로 형성된, 게이트 전극을 포함하는 다수 개의 게이트 배선과;상기 게이트 배선들 간에 위치하며, 상기 게이트 배선과 평행한 방향으로 일정간격 이격되어 형성되며, 상기 게이트 배선과 동일물질로 이루어지고, 상기 제 1 캐패시터 전극과 연접되는 다수 개의 제 2 캐패시터 전극과;상기 게이트 배선 및 제 2 캐패시터 전극의 상부에 위치하여, 기판 전면에 걸쳐 형성된 게이트 절연막과;상기 게이트 절연막 상부의 상기 게이트 전극을 덮는 위치에 형성된 반도체층과,상기 반도체층 상부에 투명도전성 물질로 이루어지며, 상기 반도체층과 일부 오버랩되어 형성된 드레인 전극을 포함하는 화소 전극 및 상기 드레인 전극과 이격되어 형성된 소스 전극과;상기 소스 전극을 일부 노출시키는 소스 콘택홀 및 상기 화소 전극과 대응하는 면적을 가지며, 상기 화소 전극을 노출시키는 오목부를 가지는 보호층과;상기 소스 콘택홀을 통해 상기 소스 전극과 연결되며, 상기 게이트 배선과 교차하는 제 2 방향으로 형성된 다수 개의 데이터 배선을 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 투명기판과;상기 투명기판 상부에 제 1 방향으로 형성된, 게이트 전극 및 상기 게이트 전극과 다른 변에서 연장형성된 캐패시터 전극을 포함하는 다수 개의 게이트 배선과;상기 게이트 배선 상부에 위치하여, 기판 전면에 걸쳐 형성된 게이트 절연막과;상기 게이트 절연막 상부의 상기 게이트 전극을 덮는 위치에 형성된 반도체층과,상기 반도체층 상부에 투명도전성 물질로 이루어지며, 상기 반도체층과 일부 오버랩되어 형성된 드레인 전극을 포함하는 화소 전극 및 상기 드레인 전극과 이격되어 형성된 소스 전극과;상기 소스 전극을 일부 노출시키는 소스 콘택홀 및 상기 화소 전극과 대응하는 면적을 가지며, 상기 화소 전극을 노출시키는 오목부를 가지는 보호층과;상기 소스 콘택홀을 통해 상기 소스 전극과 연결되며, 상기 게이트 배선과 교차하는 제 2 방향으로 형성된 다수 개의 데이터 배선을 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 반도체층은 비정질 실리콘으로 이루어진 액티브층과, 불순물 비정질 실리콘으로 이루어진 오믹콘택층과, 티탄(Ti), 크롬(Cr) 중 어느 하나의 금속물질이 차례대로 적층된 구조로 이루어지며, 상기 소스 및 드레인 전극 사이 구간에는 상기 액티브층이 노출되어 이루어진 채널을 더욱 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 게이트 배선의 끝단에는 상기 화소 전극과 동일물질로 이루어진 게이트 패드가 형성되며, 상기 게이트 배선과 게이트 패드는 상기 데이터 배선과 동일물질로 이루어진 게이트 링크와 일정간격 오버랩되어 연결된 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 5 항에 있어서,상기 게이트 배선 및 게이트 패드와 게이트 링크 사이에는 상기 보호층이 위치하며, 상기 보호층에는 상기 게이트 배선과 게이트 링크를 연결하는 게이트 배선 콘택홀과, 상기 게이트 링크와 게이트 패드 및 상기 게이트 패드와 외부회로를 연결하는 게이트 패드 콘택홀을 더욱 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 데이터 배선의 끝단부에서는, 상기 화소 전극과 동일물질로 이루어진 데이터 패드와 일정간격 오버랩되어 연결되는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 7 항에 있어서,상기 데이터 배선과 데이터 패드 사이에는 보호층이 위치하며, 상기 보호층에는 상기 데이터 배선과 데이터 패드의 연결 및 상기 데이터 패드를 외부회로와 연결하는 데이터 패드 콘택홀이 형성되어 있는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 7 항에 있어서,상기 데이터 패드와 연결되는 데이터 배선의 끝단은, 상기 데이터 패드보다 넓은 폭을 가지는 것을 특징으로 하는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 5 항에 있어서,상기 게이트 패드는 게이트 절연막 상부에 형성되는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 7 항에 있어서,상기 데이터 패드는 게이트 절연막 상부에 형성되는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 투명도전성 물질은 ITO(Indium Tin Oxide)인 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 화소 전극은 전단(previous) 게이트와 일정간격 오버랩되는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 소스 콘택홀은 상기 데이터 배선 상부에 위치하는 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항 내지는 제 3 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 보호층은 아크릴 수지(acrylate resin)인 액정표시장치용 어레이 기판.
- 투명기판을 준비하는 단계와;상기 투명기판 상에, 제 1 방향으로 게이트 전극을 포함하는 다수 개의 게이트 배선과, 상기 게이트 배선들 간에 일정간격 이격되게 위치하는 다수 개의 캐패시터 전극을 형성하는 단계와;상기 게이트 배선 및 캐패시터 전극이 형성된 기판 전면에 걸쳐 게이트 절연막을 형성하는 단계와;상기 게이트 절연막이 형성된 기판 상에, 반도체층을 형성하는 단계와;상기 반도체층이 형성된 기판 상에, 투명도전성 물질을 이용하여 상기 반도체층과 일부 오버랩되는 드레인 전극을 포함하는 화소 전극 및 상기 드레인 전극과 일정간격 이격되는 소스 전극을 형성하는 단계와;상기 화소 전극 및 소스 전극이 형성된 기판 상에, 상기 소스 전극을 일부 노출시키는 소스 콘택홀 및 상기 화소 전극과 대응하는 면적을 가지며, 상기 화소전극을 노출시키는 오목부를 가지는 보호층을 형성하는 단계와;상기 보호층이 형성된 기판 상에, 상기 게이트 배선과 교차하는 제 2 방향으로, 상기 소스 콘택홀을 통해 소스 전극과 연결되는 다수 개의 데이터 배선을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.
- 투명기판을 준비하는 단계와;상기 투명기판 상에, 화소 단위로 상기 화소 영역에 준하며, 투명도전성 물질을 이용하여 다수 개의 제 1 캐패시터 전극을 형성하는 단계와;상기 제 1 캐패시터 전극이 형성된 기판 상에, 제 1 방향으로 게이트 전극을 포함하는 다수 개의 게이트 배선과, 상기 게이트 배선들 간에 일정간격 이격되게 위치하며, 상기 제 1 캐패시터 전극과 연접하는 다수 개의 제 2 캐패시터 전극을 형성하는 단계와;상기 게이트 배선 및 캐패시터 전극이 형성된 기판 전면에 걸쳐 게이트 절연막을 형성하는 단계와;상기 게이트 절연막이 형성된 기판에 반도체층을 형성하는 단계와;상기 반도체층이 형성된 기판 상에, 상기 제 1 캐패시터 전극과 동일한 물질을 이용하여, 상기 반도체층과 일부 오버랩되는 드레인 전극을 포함하는 화소 전극 및 상기 드레인 전극과 일정간격 이격되는 소스 전극을 형성하는 단계와;상기 화소 전극 및 소스 전극이 형성된 기판 상에, 상기 소스 전극을 일부 노출시키는 소스 콘택홀 및 상기 화소 전극과 대응하는 면적을 가지며, 상기 화소 전극을 노출시키는 오목부를 가지는 보호층을 형성하는 단계와;상기 보호층이 형성된 기판 상에, 상기 게이트 배선과 교차하는 제 2 방향으로, 상기 소스 콘택홀을 통해 소스 전극과 연결되는 다수 개의 데이터 배선을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.
- 투명기판을 준비하는 단계와;상기 투명기판 상에, 제 1 방향으로 게이트 전극 및 상기 게이트 전극과 다른 변에서 연장형성된 캐패시터 전극을 포함하는 다수 개의 게이트 배선을 형성하는 단계와;상기 게이트 배선이 형성된 기판전면에 걸쳐 게이트 절연막을 형성하는 단계와;상기 게이트 절연막이 형성된 기판 상에 반도체층을 형성하는 단계와;상기 반도체층이 형성된 기판 상에, 투명도전성 물질을 이용하여 상기 반도체층과 일부 오버랩되는 드레인 전극을 포함하는 화소 전극 및 상기 드레인 전극과 일정간격 이격되는 소스 전극을 형성하는 단계와;상기 화소 전극 및 소스 전극이 형성된 기판 상에, 상기 소스 전극을 일부노출시키는 소스 콘택홀 및 상기 화소 전극과 대응하는 면적을 가지며, 상기 화소 전극을 노출시키는 오목부를 가지는 보호층을 형성하는 단계와;상기 보호층이 형성된 기판 상에, 상기 게이트 배선과 교차하는 제 2 방향으로, 상기 소스 콘택홀을 통해 소스 전극과 연결되는 다수 개의 데이터 배선을 형성하는 단계를 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.
- 제 16 항 내지 제 18 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 반도체층을 형성하는 단계는, 비정질 실리콘(a-Si) 및 불순물 비정질 실리콘(n+ a-Si) 그리고, 티탄(Ti) 또는 크롬(Cr) 중 어느 한 금속물질을 차례대로 증착한 후, 상기 비정질 실리콘층을 일부 노출시켜 채널을 형성하는 단계를 더욱 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.
- 제 16 항 내지 제 18 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 화소 전극 및 소스 전극을 형성하는 단계에서는 투명도전성 물질을 이용하여, 상기 게이트 배선의 끝단부에서, 상기 게이트 배선과 일정간격 이격되어 게이트 패드를 형성하는 단계를 더욱 포함하고, 상기 데이터 배선을 형성하는 단계에서는 상기 게이트 배선과 게이트 패드를 연결하는 게이트 링크를 형성하는 단계를 더욱 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.
- 제 20 항에 있어서,상기 보호층을 형성하는 단계에서는, 상기 게이트 배선 상의 보호층에 상기 게이트 링크와 게이트 배선의 연결을 위한 게이트 배선 콘택홀과, 상기 게이트 패드 상의 보호층에 게이트 링크 및 외부회로와 게이트 패드의 연결을 위한 게이트 패드 콘택홀을 각각 형성하는 단계를 더욱 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.
- 제 16 항 내지 제 18 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 화소 전극 및 소스 전극을 형성하는 단계에서는, 상기 데이터 배선의 끝단부와 일정간격 오버랩되는 투명도전성 물질로 이루어진 데이터 패드를 형성하는 단계를 더욱 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.
- 제 22 항에 있어서,상기 보호층을 형성하는 단계에서는, 상기 데이터 패드 상의 보호층에 상기 데이터 배선 및 외부회로와 데이터 패드의 연결을 위한 데이터 패드 콘택홀을 형성하는 단계를 더욱 포함하는 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.
- 제 22 항에 있어서,상기 데이터 패드와 오버랩되는 데이터 배선의 끝단부는 상기 데이터 패드보다 일정간격 넓은 폭을 가지는 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.
- 제 16 항 내지 제 18 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 투명도전성 물질은 ITO(Indium Tin Oxide)인 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.
- 제 16 항 내지 제 18 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 화소 전극은 전단(前端) 게이트와 일정간격 오버랩되는 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.
- 제 16 항 내지 제 18 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 소스 콘택홀은 상기 데이터 배선 상부에 위치하는 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.
- 제 16 항 내지 제 18 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 보호층은 아크릴 수지(acrylate resin)인 액정표시장치용 어레이 기판의 제조방법.
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