KR20020045578A

KR20020045578A - 전기 광학 장치의 검사 방법, 전기 광학 장치의 검사용회로, 전기 광학 장치 및 전자기기

Info

Publication number: KR20020045578A
Application number: KR1020010077288A
Authority: KR
Inventors: 후지타신
Original assignee: 구사마 사부로; 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2000-12-07
Filing date: 2001-12-07
Publication date: 2002-06-19
Also published as: TW543025B; CN1177309C; JP2002174655A; US6703856B2; SG96662A1; JP4276373B2; KR100471512B1; CN1357871A; US20020070750A1

Abstract

본 발명은 배선이나 전극 등의 결함 유무에 대하여 정확한 검사를 행하는 것으로, 주사선(4-i)과 데이터선(5-j)의 교차에 대응하여 마련된 용량(62)을 구비하는 전기 광학 장치(100)를 검사하는 방법을 제공하는 것이다. 용량(62)에 데이터 신호에 따른 전하를 축적시킨 후, 데이터선(5-j)과 판독 신호선(35) 사이에 마련된 검사 스위칭 소자(34-j)를 온 상태로 되게 함으로써, 상기 용량(62)에 축적된 전하에 따른 전압을 판독 신호선(35)으로 출력한다. 검사 스위칭 소자(34-j)를 온 상태로 되게 하는 타이밍은 검사용 회로(3)의 동작을 규정하는 검사용 클럭 신호 TCK의 레벨 변화 타이밍과는 다르게 되어 있다.

Description

전기 광학 장치의 검사 방법, 전기 광학 장치의 검사용 회로, 전기 광학 장치 및 전자기기{TEST METHOD OF ELECTRO-OPTICAL DEVICE, TEST CIRCUIT OF ELECTRO-OPTICAL DEVICE, ELECTRO-OPTICAL DEVICE, AND ELECTRONIC EQUIPMENT}

본 발명은 전기 광학 장치의 검사 방법, 전기 광학 장치의 검사용 회로, 전기 광학 장치 및 전자기기에 관한 것이다.

최근, 각종의 전자기기의 표시 장치로서, 액정 장치에 대표되는 전기 광학 장치가 널리 보급되고 있다. 이러한 종류의 전기 광학 장치는, 예컨대, 복수의 주사선 및 데이터선이 형성된 소자 기판과, 이것에 대향하여 전기 광학 물질을 사이에 유지하는 대향 기판과, 주사선 및 데이터선의 각 교차에 대응하여 배치된 화소를 갖는 구성이 일반적이다.

이러한 전기 광학 장치의 제조 공정에서, 상기 주사선이나 데이터선과 같은배선의 단선 또는 단락, 혹은 화소에 포함되는 스위칭 소자 등의 결함(이하, 이들을 총칭하여 단지「결함」이라 함)의 발생을 완전히 배제하는 것은 지극히 곤란하여, 어느 정도의 확률로 결함이 발생해 버리는 것은 피할 수 없다. 이 때문에, 제조된 전기 광학 장치에 대하여 상기 결함 유무를 검사해야 한다. 종래부터, 이러한 검사의 방법으로서, 예컨대, 검사 대상이 되는 전기 광학 장치에 소정의 테스트 패턴을 표시시킴과 동시에, 표시된 테스트 패턴을 육안으로 또는 CCD 카메라 등으로 관찰함으로써, 각 화소가 정상적으로 점등하고 있는지 여부를 판정하는 것과 같은 방법이 알려져 있다.

그러나, 예컨대, 표시의 고세밀화에 따라 각 화소의 면적이 지극히 작게 된 경우, 육안 또는 CCD 카메라로 이들의 화소 각각을 정확히 인식하는 것은 곤란하다. 또한, 화소의 결함에 기인하여, 화소에 실제로 인가된 전압이 소기의 전압과 다른 경우, 이 결과 발생하는 표시 농도의 차이까지도 인식하는 것은 곤란하기 때문에, 이러한 화소의 결함을 발견하기는 어렵다. 이와 같이, 종래의 검사 방법을 이용한 경우, 그 검사의 정확함을 충분히 확보하는 데에는 한계가 있는 것이 현 상태였다.

본 발명은 이상 설명한 사정에 감안하여 된 것으로, 배선이나 전극 등의 결함 유무에 대하여 정확히 검사할 수 있는 전기 광학 장치의 검사 방법, 검사용 회로, 전기 광학 장치 및 전자기기를 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 전기 광학 장치의 구성을 나타내는 평면도,

도 2는 도 1에서의 A-A'선 단면도,

도 3은 동 전기 광학 장치의 전기적인 구성을 나타내는 블럭도,

도 4는 동 전기 광학 장치에 있어서 각 화소의 용량에 전하를 축적할 때의 동작을 나타내는 타이밍차트,

도 5는 동 전기 광학 장치에 있어서 각 화소의 용량에 축적된 전하에 따른 전압을 검출할 때의 동작을 나타내는 타이밍차트,

도 6은 동 전기 광학 장치와는 별도의 구성을 채용하는 다른 액정 장치의 구성을 나타내는 블럭도,

도 7은 상기 다른 전기 광학 장치에 있어서 검출되는 각 화소의 용량에 축적된 전하에 따른 전압의 파형을 설명하기 위한 타이밍차트,

도 8은 본 발명의 변형예에 따른 전기 광학 장치의 전기적인 구성을 나타내는 블럭도,

도 9는 본 발명의 변형예에 따른 전기 광학 장치의 검사용 회로의 구성을 나타내는 블럭도,

도 10은 본 발명의 변형예에 따른 전기 광학 장치의 전기적인 구성을 나타내는 블럭도,

도 11은 본 발명에 따른 전기 광학 장치를 적용한 전자기기의 일례인 퍼스널 컴퓨터의 구성을 나타내는 사시도,

도 12는 동 전기 광학 장치를 적용한 전자기기의 일례인 휴대 전화기의 구성을 나타내는 사시도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 주사선 구동 회로2 : 데이터선 구동 회로

21 : 시프트 레지스터22 : 제 1 래치 회로

23 : 제 2 래치 회로3 : 검사용 회로

31 : 입력 단자32 : 시프트 레지스터(출력 수단)

321 : 클럭 공급선

33-j(1≤j≤n) : 지연 회로(타이밍 변경 수단)

34-j(1≤j≤n) : 검사 스위칭 소자

35 : 판독 신호선351 : 출력 단자

4-i(1≤i≤m) : 주사선5-j(1≤j≤n) : 데이터선

6 : 화소61 : 화소 스위칭 소자

62 : 용량621 : 액정 용량

622 : 축적 용량7 : 검사 장치

71 : 본체72 : 프로브

100 : 전기 광학 장치101 : 소자 기판

102 : 대향 기판103 : 스페이서

104 : 밀봉재105 : 액정(전기 광학 물질)

106 : 화소 전극107 : 대향 전극

108 : 용량선

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 주사선과 데이터선의 교차에 대응해서 마련되어 용량의 일단을 이루는 화소 전극과, 상기 화소 전극과 상기 데이터선 사이에 연결된 화소 스위칭 소자를 구비하는 전기 광학 장치를, 레벨 변화를 반복하는 동작 지시 신호에 근거해서 동작하는 검사용 회로를 이용하여 검사하는 방법으로서, 상기 화소 스위칭 소자를 온 상태로 되게 함으로써 상기 화소 전극에 데이터 신호를 인가하는 제 1 과정과, 상기 화소 전극에 인가된 전압을 상기 검사용 회로에 의해서 판독 신호선에 출력시키는 과정으로서, 상기 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍보다도 지연된 타이밍으로, 상기 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 제 2 과정과, 상기 판독 신호선에 출력된 전압이, 해당 화소 전극에 인가된 데이터 신호에 따른 전압에 대응하는 것인지 여부를 판정하는 제 3 과정을 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.

이러한 검사 방법에 따르면, 화소 전극에 인가된 전압을 판독 신호선에 공급시켜, 이 공급된 전압이 해당 화소 전극에 인가된 데이터 신호에 따른 전압인지 여부를 판정하도록 되어 있기 때문에, 전기 광학 장치에 있어서의 화소 전극이나 화소 스위칭 소자, 주사선, 데이터선 등에 대하여, 그 결함 유무를 정확히 검사할 수 있다. 또한, 판독 신호선에 공급된 전압에 대하여, 동작 지시 신호의 레벨 변화에 따라 발생하는 노이즈가 중첩된 경우에도, 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 타이밍과, 해당 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍이 다르기 때문에, 화소 전극에 실제로 인가된 전압을 정확히 검지할 수 있다. 따라서, 이러한 노이즈의 영향을 받지 않고 정확히 검사할 수 있다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 주사선과 데이터선의 교차에 대응해서 마련되어 용량의 일단을 이루는 화소 전극과, 상기 화소 전극과 상기 데이터선 사이에 연결된 화소 스위칭 소자를 구비하는 전기 광학 장치에 대하여, 상기 화소 스위칭 소자를 온 상태로 되게 함으로, 상기 화소 전극에 데이터 신호를 인가한 후, 해당 화소 전극에 인가된 전압이 해당 데이터 신호에 따른 전압에 대응하는지 여부를 판정하기 위해서, 상기 화소 전극에 인가된 전압을 판독 신호선에 출력시키는 회로에 있어서, 상기 데이터선과 상기 판독 신호선 사이에 연결된 검사 스위칭 소자와, 레벨 변화를 반복하는 동작 지시 신호에 근거해서 동작하는 제어 회로로서, 해당 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍보다도 지연된 타이밍으로, 상기 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 제어 회로를 마련한 것을 특징으로 하고 있다.

이러한 검사용 회로를 이용하면, 상기 검사 방법에 대하여 나타낸 것과 마찬가지로, 판독 신호선에 공급된 전압이 화소 전극에 인가된 데이터 신호에 따른 전압인지 여부를 판정함으로써, 전기 광학 장치의 결함 유무에 대하여 정확히 검사할 수 있다. 또한, 이 검사용 회로에 따르면, 화소 전극에 인가된 전압을 판독 신호선에 출력시키는 타이밍과, 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍이 다르므로, 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍에서 노이즈가 발생한 경우에도, 화소 전극에 인가된 전압을 정확히 검지할 수 있다. 따라서, 이 검사용 회로를 이용하면, 노이즈 발생의 영향을 받는 일없이 정확한 검사를 할 수 있다. 또, 이 검사용 회로는 전기 광학 장치를 구성하는 기판 상에 해당 전기 광학 장치의 일부로서 형성되는 것이어도 좋고, 전기 광학 장치와는 별개의 검사 장치로서 이용되어도 좋다.

이 검사용 회로에 있어서는, 상기 제어 회로가 상기 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍보다도, 해당 동작 지시 신호의 주기의 8분의 1 내지 4분의 1에 상당하는 시간만큼 지연된 타이밍에서, 상기 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 구성이 바람직하다. 즉, 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 타이밍을, 동작 지시 신호의 주기의 2분의 1에 상당하는 시간만큼 지연시킨 경우에는, 판독 신호선에 공급된 전압과 노이즈가 중복해 버려, 화소 전극에 인가된 전압을 정확히 검지할 수가 없다. 또한, 상기 노이즈는 시간축 상에 소정의 폭을 갖고 발생한다. 이들의 사정을 고려하면, 노이즈의 영향을 배제하여, 화소 전극에 인가된 전압을 정확히 검지하기 위해서는, 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 타이밍을 상기의 범위 내로 하는 것이 바람직한 것이다.

또한, 상기 검사용 회로에 있어서는, 상기 제어 회로에 대하여 상기 동작 지시 신호를 입력하기 위한 입력 단자와, 상기 판독 신호선의 출력 단자가, 해당 제어 회로를 사이에 두어 반대의 위치에 마련된 구성이 바람직하다. 이렇게 하면, 판독 신호선 중 상기 입력 단자 측으로 인출되는 부분을 짧게 할 수 있기 때문에, 해당 판독 신호선과 동작 지시 신호를 공급하기 위한 배선 사이에 발생하는 용량 결합에 기인하여 발생하는 노이즈를 감소시킬 수 있다고 하는 이점이 있다.

또한, 상기 제어 회로가 상기 동작 지시 신호에 근거하여 레벨 변화되는 제어 신호를 출력하는 출력 수단과, 상기 제어 신호의 레벨 변화 타이밍을, 상기 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍보다도 지연시키는 타이밍 변경 수단을 구비하는 구성도 바람직하다. 이 경우, 출력 수단으로서는, 예컨대, 동작 지시 신호인 클럭 신호에 근거해서 동작하는 시프트 레지스터나, 동작 지시 신호인 어드레스 신호에 근거해서 동작하는 어드레스 디코더 등을 이용할 수 있다. 한편, 타이밍 변경 수단으로서는, 예컨대, 제어 신호를 지연시키는 지연 수단 등을 이용할 수 있다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 주사선과 데이터선의 교차에 대응해서 마련되어 용량의 일단을 이루는 화소 전극과, 상기 화소 전극과 상기 데이터선 사이에 연결된 화소 스위칭 소자를 구비하는 전기 광학 장치에 대하여, 상기 화소 스위칭 소자를 온 상태로 되게 함으로써 상기 화소 전극에 데이터 신호를 인가한 후, 해당 화소 전극에 인가된 전압이 해당 데이터 신호에 대응하는지 여부를 판정하기 위해서, 상기 화소 전극에 인가된 전압을 판독 신호선에 출력시키는 회로에 있어서, 상기 데이터선과 상기 판독 신호선 사이에 연결된 검사 스위칭 소자와, 레벨 변화를 반복하는 동작 지시 신호에 근거하여, 상기 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 제어 회로와, 상기 제어 회로에 대하여 상기 동작 지시 신호를 입력하기 위한 입력 단자와, 상기 판독 신호선의 전압을 출력하기 위한 출력 단자로서, 상기 제어 회로에 대하여 상기 입력 단자와는 반대측에 마련된 출력 단자를 마련한 것을 특징으로 하고 있다. 이와 같이, 입력 단자와 출력 단자를, 제어 회로를 사이에 두어 반대측에 위치시키는 구성에 따르면, 상기와 마찬가지로, 용량 결합에 기인한 노이즈의 발생을 감소시킬 수 있다.

또, 상기 검사용 회로는 해당 검사용 회로를 구비한 전기 광학 장치로서도실시할 수 있다. 즉, 이 전기 광학 장치에 있어서는, 주사선과 데이터선의 교차에 대응해서 마련되어 용량의 일단을 이루는 화소 전극과, 상기 화소 전극과 상기 데이터선 사이에 연결된 화소 스위칭 소자와, 상기 화소 스위칭 소자를 온 상태로 되게 함으로써 상기 화소 전극에 데이터 신호를 인가한 후, 해당 화소 전극에 인가된 전압이 해당 데이터 신호에 따른 전압에 대응하는지 여부를 판정하기 위해서, 상기 화소 전극에 인가된 전압을 판독 신호선에 출력시키는 검사용 회로를 구비하되, 상기 검사용 회로는 상기 데이터선과 상기 판독 신호선 사이에 연결된 검사 스위칭 소자와, 레벨 변화를 반복하는 동작 지시 신호에 근거해서 동작하는 제어 회로로서, 해당 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍보다도 지연된 타이밍에서, 상기 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 제어 회로를 구비하는 것을 특징으로 한다.

이 전기 광학 장치에 있어서도, 상기 검사용 회로에 대하여 나타낸 것과 마찬가지로, 상기 제어 회로가 상기 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍보다도, 해당 동작 지시 신호의 주기의 8분의 1 내지 4분의 1에 상당하는 시간만큼 지연된 타이밍에서, 상기 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 구성이나, 상기 제어 회로에 대하여 상기 동작 지시 신호를 입력하기 위한 입력 단자와 상기 판독 신호선의 출력 단자를 제어 회로에 대하여 반대측에 마련한 구성 등을 채용함으로써, 보다 정확한 검사를 실현할 수 있다.

또한, 상기 전기 광학 장치에 있어서의 용량을, 상기 화소 전극을 일단으로 하고, 대향 전극을 타단으로 하여, 전기 광학 물질을 사이에 유지하는 것이 생각된다. 이 경우, 화소 전극과 대향 전극 사이에 전기 광학 물질을 유지하여 전기 광학 용량이 형성된 단계의 전기 광학 장치에 대하여 검사가 이루어지게 된다. 또한, 화소 전극에 인가되는 전압에 따른 전하를 축적하기 위한 용량으로서, 일단이 상기 화소 전극에 접속되고, 타단이 용량선에 접속된 축적 용량을 구비하는 구성으로 하여도 좋다. 이렇게 하면, 전기 광학 용량이 형성되기 전, 즉 화소 전극과 대향 전극 사이에 전기 광학 물질이 유지되는 전 단계의 전기 광학 장치에 대하여도 검사할 수 있다. 다만, 상술한 전기 광학 용량 및 축적 용량이 형성되어 있지 않아도, 데이터 신호에 따른 전압이 화소 전극에 대하여 인가된 결과, 해당 화소 전극을 일단으로 하는 용량에 해당 전압에 따른 전하가 축적되는 것이면, 그 용량의 형태는 어떤 것이어도 무방하다.

또, 상술한 전기 광학 장치는 이것을 구비한 전자기기의 형태로 실시할 수 있다. 상술한 바와 같이, 이러한 전기 광학 장치에 대해서는 정확한 검사를 할 수 있으므로, 이 전기 광학 장치를 구비한 전자기기에 있어서도 높은 신뢰성을 확보할 수 있다.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 전기 광학 장치에 대하여 설명한다. 이러한 실시예는 본 발명의 일 실시예를 나타내는 것으로, 본 발명을 한정하는 것이 아니라, 본 발명의 범위 내에서 임의로 변경할 수 있다. 또, 이하에 나타내는 전기 광학 장치는 전기 광학 물질로서 액정을 이용하여, 그 전기 광학적인 변화에 의해 표시를 행하는 액정 장치이다.

(A : 실시예의 구성)

우선, 도 1은 본 실시예에 따른 전기 광학 장치의 구성을 나타내는 사시도이며, 도 2는 도 1의 A-A'선 단면도이다. 이들 도면에 도시하는 바와 같이, 전기 광학 장치(100)는 소자 기판(101)과 대향 기판(102)이 스페이서(103)를 포함하는 밀봉재(104)를 거쳐서 접합되고, 양 기판 사이에 전기 광학 물질인 액정(105)이 봉입된 구성으로 되어있다. 또, 본 실시예에서는, 소자 기판(101) 및 대향 기판(102)이, 유리나 석영, 반도체 등의 광투과성을 갖는 재료에 의해 구성되는 것으로 한다. 이 경우, 배면 측으로부터의 광을 관찰 측으로 출사시킴으로써, 소위 투과형 표시가 되게 된다. 다만, 이들 기판으로는 불투명한 기판을 이용하여, 관찰 측으로부터의 입사광을 반사시켜 반사형 표시를 행하도록 하여도 좋다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 소자 기판(101)에서의 내측(액정(105)측)의 표면 중 밀봉재(104)의 내측에 상당하는 영역에는, 각종 소자나 화소 전극(106) 등이 형성되어 있다. 또한, 소자 기판(101) 중 대향 기판(102)으로부터 연장된 부분의 표면에는, 후술하는 주사선 구동 회로(1), 데이터선 구동 회로(2) 및 검사용 회로(3)와, 이들의 각 회로에 대하여 외부 장치로부터 각종 신호를 입력하기 위한 단자(도시 생략)가 형성되어 있다. 검사용 회로(3)는 이 전기 광학 장치(100)에 있어서의 화소 등의 결함 유무를 검사할 때에 이용되는 회로이다.

한편, 대향 기판(102)의 내측 표면에는, 그 전면에 걸쳐 대향 전극(107)이 마련되어 있다. 또한, 대향 기판(102)의 내측 표면에는, 화소 전극(106)과 대향하는 착색층(컬러 필터)이나, 각 화소 전극(106)의 간격 부분과 대향하는 차광막 등이 필요에 따라서 마련되지만, 본 발명과는 직접 관계가 없기 때문에 그 도시를 생략하고 있다. 또한, 소자 기판(101) 및 대향 기판(102)의 내측 표면은 액정(105) 분자의 장축 방향이 양 기판 사이에서 연속적으로 비틀어지도록 러빙 처리된 배향막에 의해 덮어지는 한편, 양 기판의 외측 표면에는 러빙 처리에 따른 편광자가 각각 마련된다(모두 도시 생략). 또, 도 2에 있어서는, 편의적으로, 화소 전극(106)이나 대향 전극(107) 등에 두께를 갖게 하고 있지만, 실제로는, 이들 각부는 기판에 대하여 충분히 무시할 수 있을 정도로 얇다.

다음에, 도 3을 참조하여, 본 실시예에 따른 전기 광학 장치(100)의 전기적인 구성을 설명한다.

동 도면에 도시하는 바와 같이, 전기 광학 장치(100)는 X(행)방향으로 연장하는 m개의 주사선(4-1, 4-2, …, 4-m)과, Y(열)방향으로 연장하는 n개의 데이터선(5-1, 5-2, …, 5-n)을 갖는다. 각 주사선(4-i)(1≤i≤m)의 일단은 주사선 구동 회로(1)에 접속되어 있다. 또한, 각 데이터선(5-j)(1≤j≤n)의 일단은 데이터선 구동 회로(2)에 접속되고, 타단은 검사용 회로(3)에 접속되어 있다. 또한, 이들의 주사선(4-i)과 데이터선(5-j)의 각 교차에 대응하여 화소(6)가 마련되어 있다. 즉, 본 실시예에 있어서의 화소(6)는 m 행 n 열의 매트릭스 형상으로 배열한다.

주사선 구동 회로(1)는 소위 Y 시프트 레지스터라고 불리는 것이다. 즉, 주사선 구동 회로(1)는 소정의 클럭 신호에 따라 펄스 신호를 시프트하여, m개의 주사선(4-1, 4-2, …, 4-m) 각각을 각 수평 주사 기간마다 선택하는 주사 신호 G1,G2, …, Gm을 출력한다.

데이터선 구동 회로(2)는 외부 장치로부터 공급되는 클럭 신호 CLK, 반전 클럭 신호 CLKB, 개시 펄스 SP, 화상 데이터 VID, 래치 펄스 LP에 따라서, 데이터선(5-1, 5-2, …, 5-n)에 데이터 신호 DT를 공급하기 위한 회로이며, 시프트 레지스터(21), 제 1 래치 회로(22) 및 제 2 래치 회로(23)를 갖는다. 본 실시예에 있어서의 데이터선 구동 회로(2)는 X방향으로 나란한 n개의 화소(6)(1행 분량의 화소(6))에 대하여, 화상 데이터 VID에 따른 데이터 신호 DT를 1수평 주사 기간 내에 일제히 인가하는 선 순차(線順次) 구동을 행한다.

다음에, 각 화소(6)는 화소 스위칭 소자(61)와 용량(62)을 갖는다. 또, 본 실시예에 있어서는 화소 스위칭 소자(61)로서 TFT(Thin Film Transistor)를 이용한 경우를 예시한다. 각 화소 스위칭 소자(61)는 데이터선(5-j)과 화소 전극(106) 사이에 연결되어, 그 게이트가 접속된 주사선(4-i)이 선택되어 있는 경우, 즉 주사선(4-i)에 공급되는 주사 신호 Gi가 액티브 레벨(H 레벨)인 경우에 온 상태로 된다.

각 화소(6)의 용량(62)은 액정 용량(621)과 축적 용량(622)으로 이루어진다. 액정 용량(621)은 화소 전극(106)과 대향 전극(107)에 의하여 액정(105)을 사이에 유지한 구성으로 되어 있다. 축적 용량(622)은 화소 전극(106)에 일단이 접속되어, 일정한 전압이 인가되는 용량선(108)(예컨대, 전원의 저전위 측에 접속되어 있음)에 타단이 접속된 용량이며, 액정 용량(621)에 의해서 유지된 전하의 리크를 방지하는 역할을 하고 있다.

이러한 구성 하에서, 화소 스위칭 소자(61)가 온 상태로 되어 있는 동안에, 데이터선 구동 회로(2)로부터 데이터선(5-j)에 대하여 데이터 신호 DT가 출력되면, 해당 데이터 신호 DT의 전압이 화소 전극(106)에 인가되어, 이 전압에 따른 전하가 액정 용량(621) 및 축적 용량(622)에 축적된다. 한편, 용량(62)에 데이터 신호 DT에 따른 전하가 축적된 상태로 화소 스위칭 소자(61)를 온 상태로 되게 함으로써, 해당 화소(6)의 액정 용량(621) 및 축적 용량(622)에 축적된 전하에 따른 전압이 데이터선(5-j)으로 출력된다.

다음에, 검사용 회로(3)는 각 용량(62)에 축적된 전하에 따른 전압을, 외부 장치에 대하여 출력하기 위한 회로이며, 데이터선(5-1, 5-2, …, 5-n)의 개수에 대응하는 n단의 시프트 레지스터(32)와, 데이터선(5-1, 5-2, …, 5-n)에 대응하여 마련된 n개의 지연 회로(33-j) 및 n개의 검사 스위칭 소자(34-j)(1≤j≤n)와, 판독 신호선(35)을 갖는다.

시프트 레지스터(32)는 도시하지 않은 외부 장치로부터 입력 단자(31)를 거쳐서 공급되는 검사용 개시 펄스 TSP를, 검사용 클럭 신호 TCK 및 이것을 반전한 검사용 반전 클럭 신호 TCKB에 따라서 시프트하고, 서로 액티브 레벨이 중복되지 않는 신호 Ta1, Ta2, …, Tan을 지연 회로(33-1, 33-2, …, 33-n)에 대하여 각각 출력한다. 이 시프트 레지스터(32)는 검사용 클럭 신호 TCK 및 검사용 반전 클럭 신호 TCKB 각각이 공급되는 배선으로서, 입력 단자(31)로부터 X방향으로 연장하는 2개의 클럭 공급선(321)을 갖고 있다.

각 지연 회로(33-j)는 시프트 레지스터(32)로부터 출력된 신호 Taj의 상승타이밍이 검사용 클럭 신호 TCK 또는 검사용 반전 클럭 신호 TCKB의 레벨 변화 타이밍(즉, 상승 또는 하강의 타이밍)과 다르도록 해당 신호 Taj를 지연시켜, 신호 Tbj로서 검사 스위칭 소자(34-j)로 출력한다. 또, 본 실시예에 있어서는, 시프트 레지스터(32)로부터 출력된 신호 Taj가, 검사용 클럭 신호 TCK(또는, 검사용 반전 클럭 TCKB)의 1/8주기에 상당하는 시간 D만큼 지연 회로(33-j)에 의해서 지연되는 것으로 한다.

각 검사 스위칭 소자(34-j)는 일단이 데이터선(5-j)에 접속되고, 타단이 판독 신호선(35)에 접속되어 있어, 지연 회로(33-j)로부터 출력되는 신호 Tbj에 따라 온 상태 또는 오프 상태로 된다. 구체적으로는, 각 검사 스위칭 소자(34-j)는 지연 회로(33-j)로부터의 신호 Tbj가 액티브 레벨인 동안에 온 상태로 된다. 그리고, 검사 스위칭 소자(34-j)가 온 상태로 되면, 데이터선(5-j)의 전압이 해당 검사 스위칭 소자(34-j)를 거쳐서 판독 신호선(35)에 출력된다.

판독 신호선(35)은 X방향으로 연장되는 배선이며, 상술한 모든 검사 스위칭 소자(34-1, 34-2, …, 34-n)의 일단이 접속되어 있다. 또한, 도 3에 도시하는 바와 같이, 이 판독 신호선(35)의 일단에는 출력 단자(351)가 형성되어 있다. 출력 단자(351)는 판독 신호선(35)의 전압에 따른 판독 신호 RS를 외부 장치에 대하여 출력하기 위한 단자이다. 여기서, 출력 단자(351)는 해당 검사용 회로(3)에 대하여 입력 단자(31)와는 반대측에 위치하게 되어 있다. 즉, 도 3을 예로 채용하면, 출력 단자(351)는 검사용 회로(3)의 좌측에 위치하는 한편, 입력 단자(31)는 검사용 회로(3)의 우측에 위치하는 것과 같은 경우이다. 이러한 구성을 채용하는 결과, 도 3에 도시하는 바와 같이, 판독 신호선(35)에서의 출력 단자(351)와는 반대측(도 3 중 우측)의 단부를, 입력 단자(31)의 근방까지 인출할 필요가 없어진다.

(B : 실시예의 동작)

다음에, 전기 광학 장치(100)에 대하여 검사하는 경우의 동작에 대하여 설명한다.

이 검사 방법에 있어서는, 우선, 화상 데이터 VID에 따른 데이터 신호 DT의 전압을 화소 전극(106)에 인가하여, 액정 용량(621) 및 축적 용량(622)의 쌍방에 이 전압에 따른 전하를 축적시킨다. 또, 본 실시예에 있어서는, 설명의 편의상, 모든 화소(6)에 대하여 동일한 데이터 신호 DT가 인가되는(즉, 모든 용량(62)에 동일한 전하가 축적되는) 것으로 한다. 그 후, 각 화소(6)마다, 용량(62)에 축적된 전하에 따른 전압을 판독 신호선(35)으로 출력하여, 이 전압에 따른 판독 신호 RS를 출력 단자(351)로부터 외부 장치로 출력한다. 그리고, 이 판독 신호 RS에 근거하여, 화소(6), 주사선(4-1, 4-2, …, 4-n) 또는 데이터선(5-1, 5-2, …, 5-n)의 결함 유무를 판정한다. 이하, 이들의 처리에 대하여 상술한다.

도 4는 화상 데이터 VID에 따른 데이터 신호 DT의 전압을 각 화소(6)의 화소 전극(106)에 인가하기 위한 동작을 나타내는 타이밍차트이다. 동 도면에 도시하는 바와 같이, 어떤 수평 주사 기간 Ha0의 개시 타이밍에 있어서, 데이터선 구동 회로(2) 내의 시프트 레지스터(21)에 개시 펄스 SP가 인가된다. 시프트 레지스터(21)는 이 개시 펄스 SP를 클럭 신호 CLK 및 반전 클럭 신호 CLKB에 따라서 시프트하고, 해당 수평 주사 기간 Ha0 내에서 서로 액티브 레벨이 중복하지 않는 신호 Sa1, Sa2, …, San을 출력한다. 한편, 제 1 래치 회로(22)는 시프트 레지스터(21)로부터 공급되는 신호 Sa1, Sa2, …, San 각각의 하강 시마다, 외부 장치로부터 공급되는 화상 데이터 VID를 순차적으로 래치한다. 이것에 의해, 해당 수평 주사 기간 Ha0의 종료 시에, 1행 분량의 화소(6) 각각에 인가되어야 할 화상 데이터 VID가 신호 Sb1, Sb2, …, Sbn으로서 제 2 래치 회로(23)에 출력되게 된다.

그리고, 다음 수평 주사 기간 Ha1에 있어서, 도 3에 있어서의 위로부터 첫 번째의 주사선(4-1)에 대하여 공급되는 주사 신호 G1이 액티브 레벨로 되면, 해당 주사선(4-1)에 접속된 1행 분량의 화소(6)의 화소 스위칭 소자(61)가 모두 온 상태로 된다. 한편, 이 수평 주사 기간 Ha1의 개시 타이밍에 있어서, 데이터선 구동 회로(2) 내의 제 2 래치 회로(23)에 대하여 래치 펄스 LP가 인가된다. 이 래치 펄스 LP의 하강 시에, 제 2 래치 회로(23)는 제 1 래치 회로(22)에 의해서 점순차적으로 래치된 신호 Sb1, Sb2, …, Sbn을 데이터 신호 DT로서 모든 데이터선(5-1, 5-2, …, 5-n)으로 일제히 출력한다. 또한, 이 데이터 신호 DT의 출력과 병행하여, 도 3에서 위로부터 두 번째의 주사선(4-2)에 대응하는 1행 분량의 화소(6)에 인가되어야 할 화상 데이터 VID가 제 1 래치 회로(22)에 의해서 점순차적으로 래치된다.

여기서, 상기한 바와 같이, 화상 데이터 VID에 따른 데이터 신호 DT가 일제히 출력되는 기간에는, 위로부터 1행 째의 화소(6)의 화소 스위칭 소자(61)가 온 상태로 되어있다. 이 결과, 이들 n개의 화소(6)의 화소 전극(106)에는, 해당 시점에서 데이터선 구동 회로(2)로부터 출력되고 있는 데이터 신호 DT의 전압이 인가된다. 이것에 의해, 각 화소(6)의 용량(62)에는, 대응하는 데이터선(5-j)에 출력된 데이터 신호 DT의 전압에 따른 전하가 축적된다.

이후 같은 동작이 m개째의 주사선(4-m)에 대응하는 주사 신호 Gm이 출력될 때까지 반복된다. 이 결과, 모든 m×n개 화소(6)의 용량(62)에 데이터 신호 DT의 전압에 따른 전하가 축적되게 된다.

이 후, 각 용량(62)에 축적된 전하에 따른 전압을, 각 화소(6)마다 판독 신호선(35)으로 출력하기 위한 처리가 실행된다. 이하, 도 5를 참조하여, 이 처리에 대하여 상술한다.

우선, 상기한 바와 같이 하여 전(全) 화소(6)의 용량(62)에 데이터 신호 DT에 따른 전하가 축적된 후의 수평 주사 기간 Hb1에 있어서, 주사선(4-1)에 출력되는 주사 신호 G1이 액티브 레벨로 되고, 그 결과, 해당 주사선(4-1)에 접속된 1행 분량의 화소(6)의 화소 스위칭 소자(61)가 모두 온 상태로 된다.

한편, 도 5에 도시하는 바와 같이, 이 수평 주사 기간 Hb1의 개시 타이밍에 있어서, 검사용 회로(3) 내의 시프트 레지스터(32)에 검사용 개시 펄스 TSP가 인가된다. 시프트 레지스터(32)는 이 검사용 개시 펄스 TSP를 검사용 클럭 신호 TCK 및 검사용 반전 클럭 신호 TCKB에 따라서 시프트함으로써, 해당 수평 주사 기간 Hb1 내에서 서로 액티브 레벨이 중복하지 않는 신호 Ta1, Ta2, …, Tan을 지연 회로(33-1, 33-2, …, 33-n)에 대하여 각각 출력한다.

각 지연 회로(33-1, 33-2, …, 33-n)는, 도 5에 도시하는 바와 같이, 시프트레지스터(32)로부터 출력되는 신호 Ta1, Ta2, …, Tan을 각각 검사용 클럭 신호 TCK 또는 검사용 반전 클럭 신호 TCKB의 1/8주기에 상당하는 시간 D만큼 지연시키고, 그 결과 얻어진 신호 Tb1, Tb2, …, Tbn을 검사 스위칭 소자(34-1, 34-2, …, 34-n)로 각각 출력한다. 이 결과, 도 5에 도시하는 바와 같이, 1 수평 주사 기간 Hb1 내에서, 검사 스위칭 소자(34-1, 34-2, …, 34-n) 각각이 검사용 클럭 신호 TCK 또는 검사용 반전 클럭 신호 TCKB의 레벨 변화 타이밍보다도 시간 D만큼 지연된 타이밍에서 택일적, 순차적으로 온 상태로 된다.

여기서, 상기한 바와 같이, 수평 주사 기간 Hb1 내에서는, 위로부터 1행 째 화소(6)의 화소 스위칭 소자(61)가 온 상태로 되어있다. 따라서, 신호 Tbj가 액티브 레벨로 되는 것에 따라 검사 스위칭 소자(34-j)가 온 상태로 되면, 해당 검사 스위칭 소자(34-j)에 접속된 데이터선(5-j)과 위로부터 1개째의 주사선(4-1)의 교차에 대응하는 화소(6)에 대하여, 그 액정 용량(621) 및 축적 용량(622)에 축적된 전하에 따른 전압이, 해당 데이터선(5-j) 및 검사 스위칭 소자(34-j)를 거쳐서 판독 신호선(35)에 출력된다. 이러한 동작이 수평 주사 기간 Hb1 내에서 검사 스위칭 소자(34-1, 34-2, …, 34-n)의 각각이 온 상태로 될 때마다 행해지는 것이다. 그 결과, 각 스위칭 소자(34-j)가 온 상태로 될 때마다, 판독 신호 RS의 전압은 주사선(4-1)과 데이터선(5-j)의 교차에 대응하는 화소(6)의 용량(62)에 축적된 전하에 따른 전압이 된다. 즉, 이상적으로는, 도 5에 나타내는 판독 신호 RS'가 출력 단자(351)로부터 외부 장치로 출력되는 것이다. 단, 도 5에 나타내는 판독 신호 RS'의 파형은 어디까지나 이상적인 파형이고, 실제로 출력 단자(351)로부터 출력되는 판독 신호 RS의 파형은, 도 5에 도시하는 바와 같이, 노이즈 N을 포함하고 있다. 즉, 검사용 클럭 신호 TCK 및 검사용 반전 클럭 신호 TCKB 각각이 공급되는 시프트 레지스터(32) 내의 각 클럭 공급선(321)과 판독 신호선(35) 사이에 발생하는 용량 결합에 기인하여, 출력 단자(351)로부터 출력되는 판독 신호 RS에는, 해당 검사용 클럭 신호 TCK 및 검사용 반전 클럭 신호 TCKB의 레벨 변화 타이밍 근방에서 발생하는 노이즈 N이 포함된다.

한편, 상기 수평 주사 기간 Hb1이 종료하면, 계속되는 수평 주사 기간 Hb2, Hb3, …, Hbm에서도 마찬가지의 동작이 이루어진다. 즉, 어떤 주사 신호 Gi가 액티브 레벨로 되는 수평 주사 기간 Hbi에서는, 주사선(4i)에 대응하는 i행 째의 각 용량(62)에 축적된 전하에 따른 전압(즉, 화소 전극(106)에 인가되어 있는 전압)이 검사용 클럭 신호 TCK의 레벨 변화 타이밍보다도 시간 D만큼 지연된 타이밍에서, 판독 신호선(35)으로 순차적으로 출력된다.

그 결과, 판독 신호 RS는 각 화소(6)에 대하여 출력된 전압을 반영하고, 또한 노이즈 N을 포함하는 신호로서 출력 단자(351)로부터 출력되는 것이다.

이러한 처리가 모든 용량(62)에 대하여 종료하면, 그 결과 얻어진 판독 신호 RS에 근거하여 해당 전기 광학 장치에 있어서의 결함 유무가 판정된다. 즉, 우선, 각 검사 스위칭 소자(34-1, 34-2, …, 34-n)가 온 상태로 된 각 기간에서의 판독 신호 RS의 전압을 검출한다. 이렇게 해서 검출된 각 전압은 m×n개의 화소(6) 각각의 용량(62)에 축적되어 있던 전하에 따른 전압이다. 그리고, 각 화소(6)마다, 해당 화소(6)의 용량(62)에 축적되어 있던 전하에 따른 전압과, 해당 화소에 대하여 인가된 데이터 신호 DT의 전압을 비교함으로써, 화소(6)나 주사선(4-1, 4-2, …, 4-m), 데이터선(5-1, 5-2, …, 5-n) 각각에서의 결함 유무를 판정하는 것이다. 예컨대, 어떤 화소(6)의 용량(62)에 축적되어 있던 전하에 따른 전압이, 데이터 신호 DT에 따른 전압과 비교하여 현저히 작은 경우에는, 이 화소(6)에 대하여 어떤 결함이 있는 것으로 판정할 수 있다. 또한, 1행 분량의 모든 화소(6)의 용량(62)에 축적되어 있던 전하에 따른 전압이 이들 각 화소에 대하여 인가된 데이터 신호 DT의 전압과 비교하여 현저히 작은 경우에는, 이들의 화소(6)가 접속된 주사선(4-i)에 단선 등의 결함이 발생되어 있는 것으로 판정할 수 있다. 마찬가지로, 1열 분량의 모든 화소(6)의 용량(62)에 축적된 전하에 따른 전압과, 이들의 화소(6)에 인가된 데이터 신호 DT의 전압을 비교하면, 결함을 갖는 데이터선(5-j)을 특정할 수도 있다. 그리고, 어떤 결함이 발생하고 있는 것으로 판정된 전기 광학 장치(100)에 대해서는 불량품이라고 판단하는 한편, 아무런 결함이 발생하지 않는다고 판정된 전기 광학 장치(100)에 대해서는 양품(良品)이라고 판단한다.

이와 같이, 본 실시예에 따르면, 각 화소(6)의 용량(62)에 축적된 전하에 따른 전압에 근거하여 결함 유무가 판정되도록 되어 있기 때문에, 전기 광학 장치(100)의 화소(6), 주사선(4-1, 4-2, …, 4-m) 및 데이터선(5-1, 5-2, …, 5-n) 각각에 대하여, 그 결함 유무를 정확히 검사할 수 있다. 또한, 본 실시예에 따르면, 화소(6)의 용량(62)에 축적된 전하에 따른 전압을, 각 화소(6)마다 판독 신호선(35)으로 출력하도록 되어 있기 때문에, 결함을 갖는 화소(6)를 다수의 화소(6) 중에서 특정할 수 있다. 마찬가지로, 결함을 갖는 주사선(4-i) 또는 데이터선(5-j)을 다수의 주사선(4-1, 4-2, …, 4-n) 또는 데이터선(5-1, 5-2, …, 5-n) 중에서 특정할 수 있다.

또한, 상술한 바와 같이, 판독 신호 RS에는, 검사용 클럭 신호 TCK 및 검사용 반전 클럭 신호 TCKB의 레벨 변화에 동기한 노이즈 N이 포함되게 되지만, 본 실시예에 따르면, 이러한 노이즈의 영향을 억제하여 정확한 검사를 할 수 있다고 하는 이점이 있다. 이하, 이 효과에 대하여 상술한다.

여기서, 상기와 같은 검사를 행하기 위해서는, 도 6에 나타내는 구성의 검사용 회로(3')를 이용하는 것도 일단 생각된다. 즉, 이 검사용 회로(3')는 도 3에 나타낸 지연 회로(33-j)를 구비하지 않고, 시프트 레지스터(32)로부터의 출력 신호 Ta1, Ta2, …, Tan이 직접 검사 스위칭 소자(34-1, 34-2, …, 34-n)로 출력되는 점 및 출력 단자(351)와 시프트 레지스터(32)의 입력 단자(31)가 검출 회로(3')의 같은 쪽에 배치되어 있는 점에서 본 실시예에 따른 검사 장치(3)와 다르다(도 3 참조).

각 용량(62)에 축적된 전하에 따른 전압을, 이러한 검사용 회로(3')를 이용하여 판독 신호선(35)에 출력하는 경우, 각 신호의 파형은, 도 7에 도시하는 바와 같이 된다. 즉, 이 검사용 회로(3')에서는, 시프트 레지스터(32)로부터 직접 공급되는 신호 Taj에 의해서 검사 스위칭 소자(34-j)의 개폐가 제어되기 때문에, 검사 스위칭 소자(34-j)가 오프 상태로부터 온 상태로 전환되는 타이밍(즉, 신호 Ta-j가 액티브 레벨로 변화되는 타이밍)과 검사용 클럭 신호 TCK의 레벨 변화 타이밍이 대략 일치한다. 즉, 각 용량(62)으로부터 판독 신호선(35)에 대하여 전압이 출력되는 타이밍과, 검사용 클럭 신호 TCK의 레벨 변화 타이밍이 매우 가깝게 되고, 그 결과, 출력 단자(351)에 출력되는 신호 RS''에 있어서, 각 용량(62)으로부터 출력된 전압과 노이즈 N이 중복되어 버린다. 이 때문에, 각 용량(62)에 축적된 전하에 따른 전압을 정확히 검출하기 어렵게 되어, 정확한 검사가 방해되게 된다.

이에 대하여, 본 실시예에 따른 검사용 회로(3)에 따르면, 시프트 레지스터(32)와 각 검사 스위칭 소자(34-j) 사이에 연결된 지연 회로(33-j)에 의해, 검사 스위칭 소자(34-j)가 온 상태로 되는 타이밍과, 검사용 클럭 신호 TCK의 레벨 변화 타이밍을 다르게 되도록 하고 있다. 이 때문에, 도 5에 나타내는 바와 같이, 판독 신호 RS에서, 각 용량(62)으로부터 출력된 전압과 노이즈 N이 중복하는 사태를 회피할 수 있다. 따라서, 각 용량(62)에 축적된 전하에 따른 전압을 정확히 검출할 수 있어, 도 6에 나타낸 검사용 회로(3')와 비교하여 정확한 검사를 실현할 수 있다.

또한, 도 6에 나타낸 검사용 회로(3')에 있어서는, 출력 단자(351)가 시프트 레지스터(32)의 입력 단자(31)와 같은 쪽에 배치되어 있기 때문에, 판독 신호선(35)을 입력 단자(31)의 근방에 도달하도록 연장하여 형성해야 한다. 즉, 판독 신호선(35)과 각 클럭 공급선(321)이 병행되는 부분을 비교적 길게 할 수밖에 없어, 이 부분에서의 용량 결합에 기인하여 발생하는 노이즈 N이 증대하는 결과로 된다.

이에 대하여, 본 실시예에 있어서는, 출력 단자(351)가 검사용 회로(3)에 대하여 입력 단자(31)의 반대측에 배치되어 있다. 이 때문에, 도 3에 나타내는 바와같이, 판독 신호선(35) 중 입력 단자(31) 측으로 인출되는 부분을 짧게 할 수 있다. 바꾸어 말하면, 용량 결합이 발생하는 부분을 적게 할 수 있기 때문에, 도 6에 나타낸 구성과 비교하여, 판독 신호 RS에 나타나는 노이즈를 감소시킬 수 있고, 나아가서는 정확한 검사를 실현할 수 있는 것이다.

(C : 변형예)

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명했지만, 상기 실시예는 어디까지나 예시이며, 상기 실시예에 대해서는, 본 발명의 취지로부터 이탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변형을 가할 수 있다. 변형예로서는, 예컨대 이하와 같은 것이 생각된다.

(1) 상기 실시예에 있어서는, 소자 기판(101) 및 대향 기판(102)을 밀봉재(104)를 거쳐서 접합하여 액정(105)을 봉입한 후의 전기 광학 장치(100)를 검사의 대상으로 삼았지만, 양 기판을 접합하기 전의 단계의 전기 광학 장치(100)(소자 기판(101))에 대하여 검사를 하도록 하여도 좋다. 단, 이 경우, 액정 용량(621)이 아직 형성되어 있지 않은 상태(즉, 화소 전극(106)만이 형성된 상태)이기 때문에, 검사에 있어서는 각 화소(6)의 축적 용량(622)이 이용되게 된다. 구체적으로는, 우선, 데이터선 구동 회로(2)로부터 각 화소(6)에 대하여 데이터 신호 DT를 출력하여, 해당 각 화소(6)의 화소 전극(106)에 대하여 해당 데이터 신호 DT에 따른 전압을 인가하고, 이 전압에 따른 전하를 축적 용량(622)에 축적시킨다. 그리고 그 후, 각 화소(6)마다 축적 용량(622)에 축적된 전하에 따른 전압(즉, 화소 전극(106)에 인가된 전압)을 판독 신호선(35)으로 출력하여, 판독 신호 RS로서 출력 단자(351)로부터 출력하는 것이다. 본 변형예에 있어서도, 상기 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어진다. 또한, 본 실시예에 따르면, 기판의 접합 및 액정(105)의 봉입을 하기 전의 단계에서 화소(6) 등의 결함 유무를 판별할 수 있기 때문에, 제조 비용을 감소시킬 수 있다는 이점이 얻어진다.

이와 같이, 본 발명에 있어서는, 반드시 액정 용량(621) 및 축적 용량(622)의 쌍방으로 이루어지는 용량(62)에 대하여 데이터 신호 DT에 따라 전하를 축적시킬 필요는 없다. 요는, 화소 전극(106)에 대하여 데이터 신호 DT에 따른 전압을 인가한 후, 이 전압을 판독 신호선(35)으로 출력할 수 있는 구성이면 좋은 것이다.

(2) 상기 실시예에 있어서는, 각 데이터선(5-j)의 일단에만 데이터선 구동 회로(2)가 배치된 전기 광학 장치(100)를 예시했지만, 예컨대 도 8에 도시하는 바와 같이, 각 데이터선(5-j)의 일단에 제 1 데이터선 구동 회로(2a)가 배치되고, 타단에 제 2 데이터선 구동 회로(2b)가 배치된 전기 광학 장치(100)에도 본 발명을 적용할 수 있다. 이 경우, 동 도면에 도시하는 바와 같이, 제 2 데이터선 구동 회로(2b)와 해당 제 2 데이터선 구동 회로(2b)에 가장 가까운 1행 분량의 화소(6) 사이에, 상기 실시예에 따른 검사용 회로(3)를 마련하는 구성으로 하면 좋다. 또는, 제 1 데이터선 구동 회로(2a)와, 해당 제 1 데이터선 구동 회로(2a)에 가장 가까운 1행 분량의 화소(6) 사이에 검사용 회로(3)를 마련하여도 좋다.

여기서, 도 8에 나타내는 바와 같이, 복수의 데이터선(5-1, 5-2, …, 5-n)을 가로지르도록 검사용 회로(3)를 마련한 경우, 검사용 회로(3)의 시프트레지스터(32) 내의 클럭 공급선(321)과, 각 데이터선(5-j)이 교차하게 된다. 이 때문에, 클럭 공급선(321)과 판독 신호선(35) 사이뿐만 아니라, 클럭 공급선(321)과 각 데이터선(5-j) 사이에도 용량 결합이 발생한다. 따라서, 도 8에 나타낸 구성을 채용한 경우에는, 도 3에 나타낸 구성을 채용한 경우와 비교하여 판독 신호 RS에 포함되는 노이즈가 커진다. 이와 같이 노이즈가 큰 경우에도, 본 발명에 따르면, 각 화소(6)의 용량(62)으로부터 판독 신호선(35)에 대하여 전압이 출력되는 타이밍과, 검사용 클럭 신호 TCK 또는 검사용 반전 클럭 신호 TCKB의 레벨 변화 타이밍을 다르게 할 수 있기 때문에, 정확한 검사를 할 수 있다. 또, 상기한 것에 더하여, 한 쌍의 주사선 구동 회로를 주사선(4-i)의 양측에 각각 배치한 전기 광학 장치나, 점순차 구동 방식(a point at a time driving method)의 데이터선 구동 회로를 이용한 전기 광학 장치에도 본 발명을 적용할 수 있는 것은 말할 필요도 없다.

(3) 상기 실시예에 있어서는, 검사용 회로(3)를 소자 기판(101) 상에 형성한 경우를 예시했지만, 검사용 회로(3)를 전기 광학 장치(100)와는 별개로 마련하는 것도 생각된다. 즉, 도 9에 도시하는 바와 같이, 전기 광학 장치(100)에는 검사용 회로(3)를 마련하지 않고, 상기 실시예에 나타낸 검사용 회로(3)를 구비한 검사 장치(7)를 이용하여 검사하는 것이다. 동 도면에 나타내는 검사 장치(7)는 검사용 회로(3)를 수용한 본체(71)와, 검사용 회로(3)가 구비하는 각 검사 스위칭 소자(34-j)의 일단에 전기적으로 접속된 프로브(72)를 구비하고 있다. 이러한 검사 장치(7)를 이용하여 검사하는 경우, 각 프로브(72)를 각 데이터선(5-j)의 일부인 검사 대상부(73)에 각각 접속시킨 상태에서 각 검사 스위칭 소자(34-j)를 순차적으로 온 상태로 하고, 이것에 의해 각 화소(6)의 용량(62)에 축적된 전하에 따른 전압을 판독 신호선(35)으로 출력함으로써, 상기 실시예와 같은 검사를 실행할 수 있어, 상기 실시예와 마찬가지의 효과가 얻어진다. 또한, 이러한 구성으로 하면, 제조 대상이 되는 전기 광학 장치(100) 각각에 검사용 회로(3)를 내장할 필요가 없고, 공통의 검사 장치(7)를 이용하여 복수의 전기 광학 장치(100)의 검사를 할 수 있으므로, 제조 비용을 절감시킬 수 있다. 또한, 상기 실시예에 있어서 검사용 회로(3)가 형성된 공간만큼 전기 광학 장치(100)를 소형화할 수도 있다.

(4) 상기 실시예에 있어서는, 검사용 회로(3)가 1개의 판독 신호선(35)만을 구비하는 경우를 예시했지만, 판독 신호선(35)의 개수 및 출력 단자(351)의 개수는 이것에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 도 10에 도시하는 바와 같이, 두 개의 판독 신호선(35a, 35b)과, 판독 신호선(35a)으로부터 판독 신호 RS1을 출력하기 위한 출력 단자(351a)와, 판독 신호선(35b)으로부터 판독 신호 RS2를 출력하기 위한 출력 단자(351b)가 마련된 구성도 생각된다. 이 구성을 채용한 경우, 동 도면에 도시하는 바와 같이, 좌로부터 계수하여 기수 번째의 검사 스위칭 소자(34-j)의 일단을 판독 신호선(35a)에 접속하는 한편, 좌로부터 계수하여 우수 번째의 검사 스위칭 소자(34-j)+ 1의 일단을 판독 신호선(35b)에 접속하는 구성으로 하여도 좋다.

(5) 상기 실시예에 있어서는, 판독 신호선(35)의 출력 단자(351)를 시프트 레지스터(32)의 입력 단자(31)와 반대측에 마련하고, 또한 각 용량(62)으로부터 판독 신호선(35)으로의 전압 출력 타이밍을 검사용 클럭 신호 TCK의 레벨 변화 타이밍과 다르게 되도록 했지만, 이들 중 어느 하나만을 채용하여도 좋다. 즉, 예컨대, 판독 신호선(35)으로의 전압 출력 타이밍을 검사용 클럭 신호 TCK의 레벨 변화 타이밍과 다르게 하는 것만으로, 노이즈의 영향을 억제하여 충분히 정확한 검사를 실현할 수 있는 것이면, 굳이 출력 단자(351)를 입력 단자(31)와 반대측에 마련할 필요는 없다. 역의 경우도 마찬가지이다.

(6) 상기 실시예에 있어서는, 검사용 회로(3)의 검사 스위칭 소자(34-j)를 점순차적으로 온 상태로 하기 위해서 시프트 레지스터(32)를 이용했지만, 이 시프트 레지스터(32) 대신, 예컨대, 어드레스 디코더를 이용할 수도 있다. 즉, 복수의 데이터선(5-1, 5-2, …, 5-n) 중 인가된 어드레스 신호에 따른 어느 하나의 검사 스위칭 소자(34-j)에 대하여 액티브 레벨의 신호를 출력할 수 있는 어드레스 디코더를 이용하여, 어느 하나의 검사 스위칭 소자(34-j)를 임의로 선택할 수 있도록 하여도 좋다. 이 경우, 어느 하나의 스위칭 소자(34-j)를 지정하는 판독 어드레스에 따라 레벨 변화를 반복하는 어드레스 신호의 레벨 변화 타이밍과, 각 용량(62)으로부터의 전압 출력 타이밍(즉, 검사 스위칭 소자(34-j)를 온 상태로 되게 하는 타이밍)을 다르게 하면 좋다. 이와 같이, 본 발명에 있어서의 「동작 지시 신호」는, 항상 일정한 주기로 레벨 변화를 반복하는 클럭 신호에 한정되는 것이 아니라, 상술한 어드레스 신호와 같은 신호도 포함하는 개념이다. 즉, 본 발명에 있어서의 「동작 지시 신호」는 레벨 변화를 반복하는 신호로서, 검사용 회로 내의 동작을 규정하는 신호이면 좋다.

또한, 상기 실시예에 있어서는, 검사 스위칭 소자(34-j)를 온 상태로 되게하는 타이밍과 검사용 클럭 신호 TCK의 레벨 변화 타이밍을 다르게 하게 하기 위한 수단으로서 지연 회로(33-j)를 이용했지만, 이러한 기능을 실현하기 위한 수단은 지연 회로(33-j)에 한정되지 않는다.

이와 같이, 검사용 회로(3)의 구성은 상기 실시예 또는 각 변형예에 예시한 구성에 한정되지 않는다. 즉, 본 발명에 있어서의「검사용 회로」는 상기 동작 지시 신호에 근거하여 동작하고, 또한 해당 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍과는 다른 타이밍에서, 각 화소(6)의 용량(62)에 축적된 전하에 따른 전압을 판독 신호선(35)으로 출력할 수 있는 회로이면, 어떤 구성이어도 무방하다.

(7) 상기 실시예에 있어서는, 지연 회로(33-j)에 의한 지연 시간 D를 검사용 클럭 신호 TCK의 1/8주기에 상당하는 시간으로 설정했지만, 이외의 시간에 설정하여도 관계없다. 요는, 각 용량(62)으로부터의 전압 출력 타이밍과 검사용 클럭 신호 TCK의 레벨 변화 타이밍을 다르게 하는 것에 의해, 각 화소(6)의 용량(62)에 축적되어 있던 전하에 따른 전압을, 노이즈를 포함하는 판독 신호 RS에서 검출할 수 있으면, 쌍방의 타이밍을 다르게 하는 정도는 어떠한 것이어도 좋다.

다만, 시간 D를 검사용 클럭 신호 TCK의 1/2주기에 상당하는 시간으로 설정한 경우, 도 7에 나타내는 경우와 마찬가지로, 각 용량(62)으로부터의 전압 출력 타이밍과 검사용 클럭 신호 TCK의 레벨 변화 타이밍(즉, 노이즈의 발생 타이밍)이 일치해 버리는 결과로 된다. 또한, 도 5가나 도 7에 나타내는 바와 같이, 노이즈 N은 시간축 상에 소정의 폭을 갖고 발생한다. 이들의 사정을 고려하면, 노이즈의 영향을 유효하게 회피하여 검사의 정확함을 확보하기 위해서는, 상술한 시간 D를검사용 클럭 신호 TCK의 1/8주기 내지 1/4주기로 설정하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 실시예에 있어서는, m×n개의 모든 화소(6)의 용량(62)에, 데이터 신호 DT에 따른 동일한 전하를 축적시키도록 했지만, 일부의 화소(6)에 대해서만 이러한 전하를 축적시키도록 하여도 좋고, 또는 각 화소(6)마다 다른 전압의 데이터 신호 DT를 인가하여, 각각의 용량(62)에 다른 전하를 축적시키도록 하여도 좋다.

(8) 상기 실시예에 있어서는, 전기 광학 장치(100)로서 액정 장치를 예시했지만, 본 발명을 적용할 수 있는 것은 이것에 한정되지 않는다. 예컨대, 본 발명을 적용할 수 있는 전기 광학 장치로서는, 액정 장치 외에도, 전자 발광(EL : electroluminescence), 또는 플라즈마 방출(plasma emission)이나 전자 방출(electron emission)에 의한 형광 등을 이용하여, 그 전기 광학 효과에 의해 표시하는 여러 가지의 전기 광학 장치가 생각된다. 이 때, 전기 광학 물질로서는, EL, 미러 장치, 가스, 형광체 등으로 된다. 또, 전기 광학 물질로서 EL을 이용한 경우, EL이 소자 기판(101)에서의 화소 전극(106)과 대향 전극(107) 사이에 개재되도록 되기 때문에, 액정 장치에서는 필요했던 대향 기판(102)이 불필요하게 된다.

(D : 전자기기)

다음에, 상술한 실시예에 따른 전기 광학 장치를 이용한 전자기기 중 몇 개인가에 대하여 설명한다.

(1 : 휴대형 컴퓨터)

우선, 도 11을 참조하여, 상술한 전기 광학 장치(100)를 휴대형의 퍼스널 컴퓨터에 적용한 예에 대하여 설명한다. 동 도면에 도시하는 바와 같이, 컴퓨터(400)는 키보드(401)를 구비한 본체부(402)와, 표시부로서 이용되는 전기 광학 장치(100)를 구비하고 있다. 또, 이 전기 광학 장치의 배면에는, 시인성을 높이기 위한 백 라이트유닛(도시 생략)이 마련되고 있다.

(2 : 휴대 전화기)

다음에, 도 12를 참조하여, 상술한 전기 광학 장치(100)를 휴대 전화기의 표시부에 적용한 예에 대하여 설명한다. 동 도면에 도시하는 바와 같이, 휴대 전화기(410)는 복수의 조작 버튼(411) 외에, 수화구(412), 송화구(413)와 함께, 상술한 전기 광학 장치(100)를 구비한다.

본 발명에 따른 전기 광학 장치에 의하면, 각 화소나 주사선· 데이터선의 결함 유무에 대하여 정확한 검사를 할 수 있기 때문에, 이것이 내장된 전자기기에 있어서도, 높은 신뢰성을 담보할 수 있다. 또, 본 발명에 따른 전기 광학 장치를 적용할 수 있는 전자기기로는, 상술한 휴대형 컴퓨터 및 휴대 전화기의 이외에도, 액정 텔레비전이나, 뷰파인더형·모니터 직시형의 비디오 테이프 리코더, 차량 항법 장치, 호출기, 전자 수첩, 전자 계산기, 워드 프로세서, 워크스테이션, 화상 전화, POS 단말, 디지털 스틸 카메라, 터치 패널을 구비한 기기, 전기 광학 장치를 광밸브로서 구비한 프로젝터 등을 들 수 있다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 전기 광학 장치의 배선이나 전극 등의 결함 유무에 대하여 정확한 검사를 할 수 있다는 효과가 얻어진다.

Claims

주사선과 데이터선의 교차에 대응해서 마련되어 용량의 일단을 이루는 화소 전극과, 상기 화소 전극과 상기 데이터선 사이에 연결된 화소 스위칭 소자를 구비하는 전기 광학 장치를, 레벨 변화를 반복하는 동작 지시 신호에 근거해서 동작하는 검사용 회로를 이용하여 검사하는 방법으로서,

상기 화소 스위칭 소자를 온 상태로 되게 함으로써 상기 화소 전극에 데이터 신호를 인가하는 제 1 과정과,

상기 화소 전극에 인가된 전압을, 상기 검사용 회로를 이용하여 판독 신호선으로 출력시키는 과정으로서, 상기 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍보다도 지연된 타이밍으로, 상기 화소 전극과 상기 데이터선 사이에 연결된 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 제 2 과정과,

상기 판독 신호선에 출력된 전압이 해당 화소 전극에 인가된 데이터 신호에 따른 전압에 대응하는 것인지 여부를 판정하는 제 3 과정

을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 검사 방법.
주사선과 데이터선의 교차에 대응해서 마련되어 용량의 일단을 이루는 화소 전극과, 상기 화소 전극과 상기 데이터선 사이에 연결된 화소 스위칭 소자를 구비하는 전기 광학 장치에 대하여, 상기 화소 스위칭 소자를 온 상태로 되게 함으로써, 상기 화소 전극에 데이터 신호를 인가한 후, 해당 화소 전극에 인가된 전압이 해당 데이터 신호에 따른 전압에 대응하는지 여부를 판정하기 위해서, 상기 화소 전극에 인가된 전압을 판독 신호선에 출력시키는 회로로서,

상기 데이터선과 상기 판독 신호선 사이에 연결된 검사 스위칭 소자와, 레벨 변화를 반복하는 동작 지시 신호에 근거해서 동작하는 제어 회로로서, 해당 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍보다도 지연된 타이밍으로, 상기 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 제어 회로

를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 검사용 회로.
제 2 항에 있어서,

상기 제어 회로는 상기 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍보다도, 해당 동작 지시 신호의 주기의 8분의 1 내지 4분의 1에 상당하는 시간만큼 지연된 타이밍으로, 상기 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 것을 특징으로 하는

전기 광학 장치의 검사용 회로.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 제어 회로에 대하여 상기 동작 지시 신호를 입력하기 위한 입력 단자와, 상기 판독 신호선의 출력 단자는 해당 제어 회로를 사이에 두고 서로 반대의위치에 마련되어 있는 것을 특징으로 하는

전기 광학 장치의 검사용 회로.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 제어 회로는

상기 동작 지시 신호에 근거하여 레벨 변화되는 제어 신호를 출력하는 출력 수단과, 상기 제어 신호의 레벨 변화 타이밍을, 상기 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍보다도 지연시키는 타이밍 변경 수단을 구비하는 것

을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 검사용 회로.
제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,

상기 타이밍 변경 수단은 지연 수단인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 검사용 회로.
주사선과 데이터선의 교차에 대응해서 마련되어 용량의 일단을 이루는 화소 전극과, 상기 화소 전극과 상기 데이터선 사이에 연결된 화소 스위칭 소자를 구비하는 전기 광학 장치에 대하여, 상기 화소 스위칭 소자를 온 상태로 되게 함으로써상기 화소 전극에 데이터 신호를 인가한 후, 해당 화소 전극에 인가된 전압이 해당 데이터 신호에 대응하는지 여부를 판정하기 위해서, 상기 화소 전극에 인가된 전압을 판독 신호선으로 출력시키는 회로로서,

상기 데이터선과 상기 판독 신호선 사이에 연결된 검사 스위칭 소자와, 레벨 변화를 반복하는 동작 지시 신호에 근거하여, 상기 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 제어 회로와,

상기 제어 회로에 대하여 상기 동작 지시 신호를 입력하기 위한 입력 단자와,

상기 판독 신호선의 전압을 출력하기 위한 출력 단자로서, 상기 제어 회로에 대하여 상기 입력 단자와는 반대측에 마련된 출력 단자

를 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 검사용 회로.
주사선과 데이터선의 교차에 대응해서 마련되어 용량의 일단을 이루는 화소 전극과,

상기 화소 전극과 상기 데이터선 사이에 연결된 화소 스위칭 소자와,

상기 화소 스위칭 소자를 온 상태로 되게 함으로써 상기 화소 전극에 데이터 신호를 인가한 후, 해당 화소 전극에 인가된 전압이 해당 데이터 신호에 따른 전압에 대응하는지 여부를 판정하기 위해서, 상기 화소 전극에 인가된 전압을 판독 신호선에 출력시키는 검사용 회로

를 구비하되,

상기 검사용 회로는

상기 데이터선과 상기 판독 신호선 사이에 연결된 검사 스위칭 소자와, 레벨 변화를 반복하는 동작 지시 신호에 근거해서 동작하는 제어 회로로서, 해당 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍보다도 지연된 타이밍으로, 상기 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 제어 회로를 구비하는 것을 특징으로 하는

전기 광학 장치.
제 8 항에 있어서,

상기 제어 회로는 상기 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍보다도, 해당 동작 지시 신호의 주기의 8분의 1 내지 4분의 1에 상당하는 시간만큼 지연된 타이밍으로, 상기 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 것을 특징으로 하는

전기 광학 장치.
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,

상기 제어 회로에 대하여 상기 동작 지시 신호를 입력하기 위한 입력 단자와,

상기 판독 신호선의 전압을 출력하기 위한 출력 단자로서, 상기 제어 회로에대하여 상기 입력 단자와는 반대측에 마련된 출력 단자를 구비하는 것을 특징으로 하는

전기 광학 장치.
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,

상기 용량은 상기 화소 전극을 일단으로 하고, 대향 전극을 타단으로 하여, 전기 광학 물질을 사이에 유지한 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,

일단이 상기 화소 전극에 접속되고, 타단이 용량선에 접속된 축적 용량을 구비하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,

상기 제어 회로는

상기 동작 지시 신호에 근거하여 레벨 변화되는 제어 신호를 출력하는 출력 수단과, 상기 제어 신호의 레벨 변화 타이밍을, 상기 동작 지시 신호의 레벨 변화 타이밍보다도 지연시키는 타이밍 변경 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는

전기 광학 장치.
제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,

상기 타이밍 변경 수단은 지연 수단인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
주사선과 데이터선의 교차에 대응해서 마련되어 용량의 일단을 이루는 화소 전극과,

상기 화소 전극과 상기 데이터선 사이에 연결된 화소 스위칭 소자와,

상기 화소 스위칭 소자를 온 상태로 되게 함으로써, 상기 화소 전극에 데이터 신호를 인가한 후, 해당 화소 전극에 인가된 전압이 해당 데이터 신호에 따른 전압에 대응하는지 여부를 판정하기 위해서, 상기 화소 전극에 인가된 전압을 판독 신호선으로 출력시키는 검사용 회로

를 구비하되,

상기 검사용 회로는

상기 데이터선과 상기 판독 신호선 사이에 연결된 검사 스위칭 소자와,

레벨 변화를 반복하는 동작 지시 신호에 근거해서 상기 검사 스위칭 소자를 온 상태로 되게 하는 제어 회로와,

상기 제어 회로에 대하여 상기 동작 지시 신호를 입력하기 위한 입력 단자와,

상기 판독 신호선의 전압을 출력하기 위한 출력 단자로서, 상기 제어 회로에 대하여 상기 입력 단자와는 반대측에 마련된 출력 단자를 구비하는 것을 특징으로 하는

전기 광학 장치.
청구항 8, 9, 14 또는 청구항 15 중 어느 한 항에 기재된 전기 광학 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 전자기기.