KR20010103662A - 도포 현상 처리 시스템 및 도포 현상 처리 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (23)
- 기판에 대하여 도포 현상 처리를 실시하기 위한 도포 현상 처리 시스템으로서,기판에 도포막을 형성하는 도포 처리 장치와, 상기 기판을 현상하는 현상 처리 장치와, 상기 기판을 열처리하는 열처리 장치와, 이들 도포 처리 장치, 현상 처리 장치 및 열처리 장치에 대하여 상기 기판을 반입반출하는 제 1 반송 장치를 갖는 처리부와,적어도 상기 처리부와 상기 기판에 대하여 노광 처리를 하는 시스템 외부의 노광 처리 장치 사이의 경로로 기판의 반송을 하는 제 2 반송 장치를 갖는 인터페이스부와,상기 기판이 상기 노광 처리되기 전에, 상기 기판의 도포막에 부착한 불순물을 챔버내에서 흡인하여 제거하는 감압 제거 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 인터페이스부와 상기 노광 처리 장치는, 주고받음부를 통해 접속되어 있고, 상기 감압 제거 장치는, 상기 주고받음부에 설치되는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 2 항에 있어서, 상기 주고받음부내에 불활성 기체를 공급하는 기체 공급장치와, 상기 주고받음부내의 분위기를 배기하는 배기 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 3 항에 있어서, 상기 인터페이스부와 상기 주고받음부의 분위기를 차단하는 칸막이 판을 갖고, 상기 칸막이 판은, 상기 인터페이스부와 상기 주고받음부 사이에서 기판을 주고받기 위한 통과구와 상기 통과구를 개폐하는 셔터를 갖는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 2 항에 있어서, 상기 주고받음부내의 압력은, 상기 노광 처리 장치내의 압력 보다도 낮은 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 2 항에 있어서, 상기 주고받음부는, 상기 인터페이스부에서 상기 노광 처리 장치에 기판이 반송되는 때에 통과하는 제 1 경로와, 상기 노광 처리 장치로부터 상기 인터페이스부에 기판이 반송될 때에 통과하는 제 2 경로를 갖고, 상기 감압 제거 장치는, 상기 제 1 경로에 설치되는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 6 항에 있어서, 상기 제 2 반송장치는, 적어도 상기 감압 제거 장치에 대하여 상기 기판을 반송가능하고, 상기 주고받음부의 제 1 경로에는, 적어도 상기 감압 제거 장치로부터 상기 노광 처리 장치에 대하여, 기판의 반송을 하는 제 3 반송 장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 7 항에 있어서, 상기 주고받음부의 제 2 경로에는, 기판을 얹어 놓은 재치부와, 상기 재치부와 상기 노광 처리 장치에 대하여 기판을 반입반출하는 제4의 반송 장치가 설치되어 있고 상기 제 2 반송장치는, 적어도 상기 재치부에서 상기 기판을 반출가능한 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 1 항에 있어서, 상기 감압 제거 장치는, 상기 인터페이스부에 설치되는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 9 항에 있어서, 상기 인터페이스부에 불활성 기체를 공급하는 기체 공급 장치와, 상기 인터페이스부내의 분위기를 배기하는 배기 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 10 항에 있어서, 상기 처리부와 상기 인터페이스부와의 분위기를 차단하는 칸막이 판을 갖고, 상기 칸막이 판은, 상기 처리부와 상기 인터페이스부사이에서 기판을 주고받기 위한 통과구와, 상기 통과를 개폐하는 셔터를 갖는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 10 항에 있어서, 상기 인터페이스부내의 압력은, 상기 노광 처리 장치내의 압력 보다도 낮은 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 기판에 대하여 도포 현상 처리를 실시하기 위한 도포 현상 처리 시스템으로서,기판에 도포막을 형성하는 도포 처리 장치와, 상기 기판을 현상하는 현상 처리 장치와, 상기 기판을 열처리하는 열처리 장치와, 이들 도포 처리 장치, 현상 처리 장치 및 열처리 장치에 대하여 상기 기판을 반입반출하는 제 1 반송장치를 갖는 처리부와,적어도 상기 처리부와 상기 기판의 노광 처리를 하는 시스템 외부의 노광 처리 장치 사이의 경로로 기판의 반송을 하는 제 2 반송장치를 갖는 인터페이스부와,상기 인터페이스부와 상기 노광 처리 장치 사이에 접속되고, 기밀에 폐쇄가능한 주고받음부와, 상기 주고받음부내를 소정의 설정압력에 감압하는 감압 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 13 항에 있어서, 상기 주고받음부는, 상기 인터페이스부에서 상기 노광 처리 장치에 기판이 반송되는 때에 통과하는 제 1 경로와, 상기 노광 처리 장치로부터 상기 노광 처리되고, 인터페이스부에 기판이 반송될 때에 통과하는 제 2 경로를 갖고, 상기 제 1 경로와 상기 제 2 경로는, 각 경로마다 소정의 설정 압력으로 감압가능한 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 14 항에 있어서, 상기 제 1 경로내의 압력은, 상기 노광 처리 장치내의 압력 보다도 낮은 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 14 항에 있어서, 상기 제 2 경로내의 압력은, 상기 노광 처리 장치내의 압력 보다도 낮은 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 14 항에 있어서, 상기 주고받음부의 제 1 경로에는, 기판을 얹어 놓은 재치부와, 적어도 상기 재치부에서 상기 노광 처리 장치에 대하여 기판의 반송을 하는 제 3 반송장치가 설치되어 있고,상기 제 2의 반송장치는, 적어도 상기 재치부에 상기 기판을 반송가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 17 항에 있어서, 상기 재치부에는, 기판을 상기 재치부에 유지하는 유지 수단이 설치되는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 14 항에 있어서, 상기 제 1 경로내에는, 이 제 1 경로의 압력 보다도 낮은 압력으로 조절가능한 고감압실이 설치되는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 19 항에 있어서, 상기 제 2 반송장치는, 적어도 상기 고감압실에 대하여 상기 기판을 반출가능하게 구성되어 있고, 상기 주고받음부의 제 1 경로에는, 적어도 상기 고감압실에서 상기 노광 처리 장치에 대하여, 기판의 반송을 하는 제 3 반송장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 제 17 항에 있어서, 상기 주고받음부의 제 2 경로에는, 기판을 얹어 놓은 재치대와, 상기 재치대와 상기 노광 처리 장치에 대하여 기판을 반입반출하는 제4의 반송장치가 설치되어 있고 상기 제 2 반송장치는, 적어도 상기 재치대로부터 상기 기판을 반출가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 시스템.
- 기판에 대하여 도포 현상 처리하는 방법으로서,기판에 도포액을 공급하고, 기판에 도포막을 형성하는 공정과,상기 도포막이 형성된 기판에 소정의 빛을 조사하여, 상기 기판을 노광하는 공정과,노광 처리후에 상기 기판을 현상하는 공정과,상기 도포막 형성 공정과 상기 노광 공정 사이에, 상기 기판에 부착한 불순물을 상기 기판으로부터 제거하는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 방법.
- 제 22 항에 있어서, 상기 불순물 제거 공정은, 기밀하게 폐쇄된 챔버내의 감압에 의해서 행하여지는 것을 특징으로 하는 도포 현상 처리 방법.
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