KR20010023587A - 틸트 및 고우 하중 포트 인터페이스 정렬 시스템 - Google Patents
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Abstract
하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부분으로서 포함된 틸트 및 고우 어셈블리는 볼츠 인터페이스에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 빠르고 쉬운 부착 및 조절을 하기 위하여 개시되어 잇다. 본 발명에 의한 하중 포트 어셈블리가 볼츠 인터페이스에 인접하여 위치될 때, 상기 어셈블리는 상기 볼츠 인터페이스로부터 이탈아혀 기울어지는데, 이는, 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리내의 소켓이 약간 상향으로 올라서서 상기 볼 조인트에 안착되기 위한 것이다. 이후, 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 상부 부분들이 기울어질 수 있는데, 이는 상기 어셈블리가 상기 볼츠 인터페이스에 대략 평행하여 인접하기 위한 것이다. 일단 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리가 상기 볼츠 인터페이스의 볼 조인트상에 안착되면, 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 수직 및 측면 위치들은 상기 볼츠 인터페이스에 대해서 원하는데로 조절될 수 있다. 추가로, 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 수직 및 측면 위치들이 조절된 후, 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 방위 및 롤각은 상기 볼츠 인터페이스에 대해서 조절될 수 있다.
Description
휴렛 페커드 회사(Hewlett-Packard Company)에 의해서 제안된 에스엠아이에프(SMIF) 시스템은 미국 특허 번호 제 4,532,970 호 및 제 4,534,389 호에 개시되어 있다. 에스엠아이에프(SMIF)의 목적은 반도체 제작 공정을 통해서 웨이퍼들의 저장 및 수송을 하는 동안 반도체 웨이퍼들 상으로의 입자 유동을 줄이는 것이다. 상기 목적은, 저장 및 수송동안, 웨이퍼들을 둘러싸고 있는 가스 매체(공기 또는 질소)가 본질적으로 웨이퍼들에 대해서 정지 상태라는 것을 기구적으로 확실히하고, 그리고 주위 환경으로부터 입자들이 직접적인 웨이퍼 환경에 들어가지 않는다는 것을 보장함으로서, 부분적으로 이루어진다.
에스엠아이에프 시스템은 세 개의 주된 요소들을 가지고 있다:(1) 웨이퍼들 및/또는 웨이퍼 카세트들을 저장하고 이송하기 위하여 사용되는 최소 체적 밀봉 포드(Pod)들; (2) 노출된 웨이퍼들 및/또는 웨이퍼 카세트들이 공정 공구의 내부로 그리고 내부로부터 이송될 수 있는 소형 청결 공간(깨끗한 공기로 채워진)을 제공하기 위하여 반도체 공정 공구상에 위치되어 있는 입력/출력(I/O) 소형환경; 및 (3) 웨이퍼들 및 카세트들의 미립자의 노출없이 상기 에스엠아이에프 포드들 및 에스엠아이에프 소형환경사이의 웨이퍼들 및/또는 웨이퍼 카세트들을 이송하기 위한 인터페이스. 하나의 제안된 에스엠아이에프 시스템의 더욱 상세한 내용은 1984년 7월, 솔리드 스테이트 테크날리지의 미히르 파리크(Mihir Parikh) 및 울리히 카엠프(Ulrich Kaempf)에 의한 페이지 111-115의 "에스엠아이에프: 브이엘에스아이 제작에서의 웨이퍼 카세트 이송에 적합한 기술"이라고 표제가 붙은 논문에 기술되어 있다.
에스엠아이에프 포드들은 일반적으로 웨이퍼들이 저장되어 이송되는 밀봉된 환경을 제공하기 위하여 포드 쉘(pod shell)과 짝지어진 포드 도어로 구성되어 있다. 오늘날에는, 웨이퍼 제작에서 현재 발견되는 서로 다른 웨이퍼 사이즈들 및 공구 인터페이스 방향때문에 에스엠아이에프의 서로 다른 형상들이 있다. 존재하는 200mm의 웨이퍼들 이외에도 300mm 웨이퍼들의 공정이 최근 몇년동안 도입되었다. 서로 다른 포드들 및 포드 취급 장비들은 공정이 200mm 또는 300mm 웨이퍼들에 실행되는가의 여부에 따라서 사용된다. 추가적으로, 에스엠아이에프 포드들은 바닥 개구 또는 전방 개구일 수 있다. 바닥 개구 에스엠아이에프 포드들에서, 포드 도어는 포드 바닥에 수평으로 제공되어 있고, 웨이퍼들은 상기 포드 도어상에서 순서적으로 지지되어 있는 카세트내에 지지되어 있다. 전방 개구 포드들에서, 상기 포드 도어는 수직 평면내에 위치되어 있고, 상기 웨이퍼들은 상기 포드 쉘내에 장착되어 있는 선반들상에서 평행한 수평 평면들내에 지지되어 있다. 그러한 포드들은 전방 개구 통합 포드, 또는 에프오유피에스(FOUPs)로서 언급되었다.
공정 공구들은 일반적으로 그 전방 단부에 부착되어 있는 하중 포트들을 포함하고 있는데, 이는 포드들 또는 독립형 카세트들이 공정 공구내로 이송될 웨이퍼들 및/또는 웨이퍼 카세트들의 준비로 공정 공구에 인접하여 위치될 수 있기 위한 것이다. 전방 개구 포드들내의 300mm 웨이퍼들을 이용하는 웨이퍼 제작을 위하여, 일반적으로 박스 오프너-로더(opener-loader) 공구 표준 인터페이스(또는 "BOLTS" 인터페이스)로서 언급되는, 수직으로 향하는 프레임은, 반도체 장치 및 재료 인터내셔널("SEMI")에 의해서 발전되어왔다. 볼츠(BOLTS) 인터페이스는 공정 공구의 전방 단부에 부착되거나 공정 공구의 전방 단부의 일부로서 형성되고, 공정 공구에 부착되는 로드 포트에 적합한 표준 장착 포인트들을 제공한다. 볼츠 인터페이스는 또한 볼츠 인터페이스와 상기 로드 포트상의 웨이퍼의 중심사이의 고정 거리가 한정될 수 있도록 기준 위치를 제공한다. 따라서, 비록, 장비 제작은 300mm 전방 개구 포드에 적합한 로드 포드들의 다양한 형상들을 제작할지라도, 각각의 로드 포트는, 로드 포트가 한정된 표준화된 볼츠 인터페이스 프레임을 부착하기 위하여 형성되어 있는 한 공정 공구에 작동할 수 있도록 연결될 수 있다.
현재, 볼츠 인터페이스로의 공구 하중 포트의 연결은 귀찮고 어려운 일이다. 300mm 웨이퍼들에 적합한 공구 하중 포트들은 일반적으로 크고 무겁다. 비록 그들의 형상은 현저하게 변할지라도, 전형적인 로드 포트는 4 내지 5피트의 높이와 18인치의 폭 및 약 60파운드의 무게를 가질 수 있다. 공구 하중 포트를 볼츠(BOLTS) 인터페이스 상에 볼트 고정하기 위하여, 로드 포트를 인터페이스에 날라서, 볼츠(BOLTS) 인터페이스상의 적절한 위치에 상기 하중 포트를 위치시킨 후에, 상기 하중 포트를 상기 인터페이스에 볼트 고정하는 것이 필요하다. 추가로, 상기 하중 포트를 볼츠(BOLTS) 인터페이스에 부착할때, 다수 개의 작은 조절기는 상기 하중 포트를 상기 인터페이스상에 적절하게 위치시키기 위하여 필요하다. 두 사람은 상기 볼츠 인터페이스 판에 하중 포트를 들어서 정렬하기 위하여 필요하며, 일단 적절하게 위치될 경우 볼츠 인터페이스에 하중 포트를 1/3 가량 나사로 죄는 것이 필요하다. 상기 공정은 시간과 1인 한시간의 노동량을 소비하고, 그리고 장착 기술자들에게 육체적 긴장 및 부상을 줄수 있다.
본 출원은 1997년 9월 3일 출원된 미국 가(假) 특허 출원 번호 60/057,887의 우선권을 주장한다.
본 발명은, 반도체 웨이퍼, 레티클(reticles) 및 제품용 캐리어와 공정 공구사이의 평평한 패널 디스플레이와 같은 제품들을 이송하기 위한 인터페이스(interface)에 관한 것으로서, 특히 볼츠(BOLTS) 인터페이스상으로의 로드 포트의 빠르고 쉬운 장착을 용이하게 하는 시스템에 관한 것이다.
도 1은 볼츠 인터페이스에 인접하여 위치된 본 발명에 의한 틸트 및 고우 어셈블리를 포함하고 있는 하중 포트 인터페이스 어셈블리를 도시한 사시도이다.
도 2는 볼츠 인터페이스에 근접한 본 발명에 의한 틸트 및 고우 어셈블리를 포함하고 있는 하중 포트 인터페이스 어셈블리를 도시한 분해 사시도.
도 3은 본 발명에 의한 틸트 및 고우 어셈블리의 측면 조절 판 및 볼츠 인터페이스의 볼 조인트를 도시한 측 단면도이다.
도 4는 본 발명에 의한 틸트 및 고우 어셈블리의 측면 조절 판 및 볼츠 인터페이스의 볼 조인트를 도시한 정면도이다.
도 5는 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 볼 조인트 및 인터페이스 판에 인접한 측면 조절판을 도시하고 있는 분해 사시도이다.
도 6은 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부분으로서 제공된 본 발명의 바람직한 실시 예에 의한 틸트 및 고우 어셈블리의 부분 측면도이다.
도 6A는 본 발명의 또 다른 실시 예에 의한 틸트 및 고우 어셈블리의 부분 측면도이다.
도 7은 본 발명에 의한 틸트 및 고우 어셈블리의 잠금 탭을 도시한 분해 사시도이다.
도 8은 본 발명에 의한 틸트 및 고우 어셈블리의 잠금 탭을 도시한 정면도이다.
도 9는 본 발명에 의한 틸트 및 고우 어셈블리의 잠금 탭을 도시한 횡단면도이다.
따라서, 본 발명의 장점은 볼츠(BOLTS) 인터페이스에 하중 포트 인터페이스의 빠르고 쉬운 연결을 허여하기 위한 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부분으로서 틸트 및 고우(tilt and go) 어셈블리를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 장점은 하중 포트 인터페이이스 어셈블리가 단 한 사람에 의해서 볼츠(BOLTS) 인터페이스에 부착될 수 있도록 하는 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부분으로서의 틸트 및 고우 어셈블리를 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 장점은, 일단 하중 포트 인터페이스 어셈블리가 볼츠 인터페이스상에 대충 위치되면 볼츠 인터페이스에 대해서 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 쉬운 수직 조절을 허여하는 것이다.
본 발명의 또 다른 장점은 하중 포트 인터페이스 어셈블리가 볼츠 인터페이스상에 대충 위치되면 볼츠 인터페이스에 대해서 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 쉬운 측면 조절을 허여하는 것이다.
본 발명의 또 다른 장점은 하중 포트 인터페이스 어셈블리가 볼츠 인터페이스상에 대충 위치되면 볼츠 인터페이스를 향하여 그리고 볼츠 인터페이스로부터 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 빠르고 쉬운 조절을 허여하는 것이다.
본 발명의 또 다른 장점은 일단 하중 포트 인터페이스 어셈블리가 볼츠 인터페이스상에 대충 위치되면 볼츠 인터페이스에 평행한 평면내에서의 볼츠 인터페이스에 대해서 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 틸트(tilt) 각의 빠르고 쉬운 조절을 허여하는 것이다.
상기 및 다른 장점들은 볼츠 인터페이스에 하중 포트 인터페이스 어셈블이의 빠르고 쉬운 부착 및 조절을 제공하기 위한 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부분으로서 포함되는 틸트 및 고우 어셈블리에 관련되어 있는 본 발명에 의해서 제공된다. 상기 틸트 및 고우 어셈블리는 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 바닥 부분상에 휠들을 포함하고 있는데, 이는 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리가 부착되는 볼츠 인터페이스에 하중 포트 인터페이스 어셈블기가 쉽게 이송될 수 있기 위한 것이다. 볼츠 인터페이스는 일반적으로 인터페이스 프레임의 바닥 부분에 볼 조인트를 포함하고 있다. 본 발명에 의한 하중 포트 인터페이스 어셈블리가 볼츠 인터페이스에 인접하여 위치될때, 상기 어셈블리는 볼츠 인터페이스로부터 이탈하여 기울어지는데, 이는 하중 포트 인터페이스 어셈블리내의 소켓이 약간 상향으로 올라가서 볼 조인트상에 안착될 수 있기 위한 것이다. 이후, 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 상부 부분들은 상향으로 기울어질 수 있는데, 이는 상기 어셈블리가 볼츠 인터페이스에 대략 팽행하게 인접하기 위한 것이다.
일단 하중 포트 인터페이스 어셈블리가 볼츠 인터페이스의 볼 조인트상에 안착되면, 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 수직 및 측면 위치들은 볼츠 인터페이스에 대해서 원하는대로 조절될 수 있다. 더욱, 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 수직 및 측면 위치들이 조절된후, 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 방위 및 롤(roll)각은 상기 볼츠 인터페이스에 대해서 조절될 수 있다. 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 방위각의 조절은 상기 어셈블리가 상기 볼츠 인터페이스상의 볼 조인트를 통해서 축을 중심으로 상기 볼츠 인터페이스를 향하여 그리고 그로부터 이탈하여 기울져질 수 있기 위한 것이다. 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 롤 각의 조절은 상기 어셈블리가 상기 볼츠 인터페이스상의 볼 조인트를 통해서 축을 중심으로 볼츠 인터페이스에 평행한 평면내에서 기울어질 수 있도록 한다. 일단 모든 조절이 되면, 상기 틸트 및 고우 어셈블리는 상기 볼츠 인터페이스상의 고정 위치로 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리를 고정하기 위한 잠금 메커니즘을 또한 포함한다.
이하, 예시된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시 예를 상세히 살펴보기로 하자.
본 발명을, 볼츠 인터페이스에 하중 포트 어셈블리를 빠르고 쉽게 부착하기 위한 시스템에 관련되어 있는, 도 1-9를 참조하여 설명하기로 하자.
볼츠 인터페이스의 바람직한 실시 예가 300mm 전방 개구 하중 포트 및 포드와 함께 작동하도록 적합되어 있지만, 본 발명은 다양한 형상들의 볼츠 인터페이스에 하중 포트 어셈블리를 부착하기 위하여 작동될 수 있는 것은 물론이다. 추가로, 본 어셈블리가 부착되는 공정 공구의 타입은 본 발명에 중요하지않고 다른 실시예들로 변화할 수 있는 것은 물론이다. 더욱, 본 발명이 모든 적용가능한 SEMI 표준에 따르는 것은 물론이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 볼츠(BOLTS) 인터페이스 판(12)에 근접하여 위치되어 있는 기구적 하중 포트 인터페이스 어셈블리(10)가 도시되어 있다. 비록 도시되어 있지 않지만, 볼츠 인터페이스판(12)은 바람직하게 반도체 공정 공구의 외부 부분으로서 포함된다. 상기 기구적 하중 포트 인터페이스 어셈블리(10)는 상기 포드를 지지하고 공정 공구 포트(15)(포트 도어(17)에 의해서 덮혀있는 것으로 도시된)를 통해서 공정 공구에 그리고 공정 공구로부터 상기 포드내의 웨이퍼들의 이송을 용이하게 하기 위한 하중 포트(13)를 포함하고 있다. 또한 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리는 상기 인터페이스(10)가 단 한 사람에 의해서 볼츠 인터페이스 판(12)에 장착될 수 있도록 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리(10)상에 그리고/또는 하중 포트 인터페이스 어셈블리(10)내에 제공되는 본 발명에 의한 "틸트 및 고우" 어셈블리를 포함하고 있다.
도 1 및 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명에 의한 틸트 및 고우 어셈블리는 상기 하중 포트 어셈블리(10)가 볼츠 인터페이스판(12) 둘레를 쉽게 선회하여 볼츠 인터페이스판(12)에 인접하여 위치될 수 있도록 하는 휠(18,22)을 포함하고 있다. 상기 하중 포트 어셈블리(10)가 수직으로 있는 상태에서(즉, 상기 하중 포트 어셈블리의 프레임이 수직 평면내에 있는), 상기 휠(18)의 회전 축은 상기 휠(22)의 회전 축보다 하부 높이에 있다. 따라서, 이송하는 동안, 두 개의 휠(18,22)들이 그 자리에 있는 상태에서, 상기 하중 포트 어셈블리(10)의 프레임은 기울어진다. 이송하는 동안의 상기 하중 포트 프레임의 방향은 본 발명에 결정적이지는 않고, 상기 하중 포트 어셈블리는 그 자리에서 단지 휠(18)로 이송된다고 생각된다. 도 6A에 도시된 본 발명에 의한 또 다른 실시 예에서, 제 2 휠(18) 세트는 수직 위치에서 상기 하중 포트 어셈블리의 이송을 용이하게 하기 위하여 포함될 수 있다. 상기 휠(18,22)들은 저 마모 중합체로 바람직하게 제조되어 있다.
작동시, 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리(10)는 볼츠 인터페이스판에 인접한 위치로 선회된다. 이후, 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리는, 이후 설명하게될 볼츠 인터페이스상에 상기 어셈블리(10)의 장착을 용이하게 하는 하중 포트 인터페이스 어셈블리(10)의 발부분에서 베이스(20)상에 가해지는 힘의 결과로서 볼츠 인터페이스판으로부터 이탈되어 기울어질 수 있다. 상기 휠(22)들은 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 기울기를 제한한다. 본 발명의 또 다른 실시 예들은 단 하나의 휠(22)을 포함할 수 있거나 휠(22)이 함께 생략될 수 있다. 휠(22)이 생략된 곳에서, 상기 어셈블리(10)는 휠(18)상에서만 이송될 수 있고, 상기 베이스(20)는 상기 어셈블리(10)가 상기 볼츠 인터페이스로부터 이탈하여 기울수 있는 각도를 제한하기 위하여 바닥 부재를 포함할 수 있다.
도 2의 바닥에 도시된것처럼, 그리고 도 3,4 및 5에 더욱 상세하게 도시된 것처럼, 상기 볼츠 인터페이스판(12)은 상기 볼츠 인터페이스판(12)상의 판(16)에 장착되는 볼 조인트(14)를 포함한다. 상기 볼 조인트(14)는 바람직하게, 예인 스테인레스강과 같은, 고 강도 및 저 마모 재료로 형성되어 있다. 상기 볼 조인트(14)는, 또 다른 실시 예에서 처럼, 다른 재료들로 형성될 수 있다.
본 발명에 의한 틸트 및 고우 어셈블리는 또한 하중 포트 인터페이스판(26)의 바닥 섹션상에 제공된 측면 조절 판(24)을 포함하고 있다. 상기 인터페이스판(26)는 실질적으로 상기 볼츠 인터페이스판(12)에 인접하여 위치된 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리(10)의 평평한 부분이다. 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 구형 멈춤쇠는 소켓(28)을 한정하기 위하여 상기 측면 조절판(24)의 바닥 부분에 형성되어 있다. 일단 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리(10)가 상기 볼츠 인터페이스에 인접하여 위치되면, 상기 볼츠 인터페이스로부터 이탈하여 상기 하중 포트 어셈블리를 기울게하여 상기 소켓을 약간 상향으로 올리기 위하여 힘은 베이스(20)상에 가해질 수 있는데, 이는 그것이 상기 볼 조인트(14)위에 안착될 수 있기 위한 것이다. 이후, 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리는, 상기 어셈블리가 상기 볼츠 인터페이스에 대충 평행하게 인접하여 상기 볼 조인트(14)상에서 지지될 수 있도록 상향으로 기울어질 수 있기 위한 것이다.
비록 본 발명의 바람직한 실시 예는 위에서 언급된 볼 조인트/소켓 커플링을 포함하고 있지만, 다른 기구적 커플링들은 다른 실시 예들에서 생각된다. 그러한 또 다른 실시 예에서, 상기 볼 조인트 및 소켓의 상대 위치들은, 상기 볼 조인트가 상기 측면 조절판(24)상에 위치되고 상기 소켓이 상기 볼츠 인터페이스상에 형성될 수 있도록 거꾸로될 수 있다. 더욱, 롤 각을 조절하기 위해 이후 설명될 메커니즘을 포함하지 않는 본 발명의 실시 예에서, 한 쌍 이상의 볼 조인트/소켓이 제공될 수 있다고 생각된다.
비록 도면에는 도시되어 있지 않지만, 상기 볼 조인트(14)는 상기 볼츠 인터페이스상의 판(16)내의 나삿니들과 짝을 이루는 나삿니들이 형성된 하부 부분을 바람직하게 포함하고 있다. 일단 하중 포트 인터페이스 어셈블리가 상기 볼 조인트상에 안착되면, 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리는 상기 볼 조인트를 회전시킴으로서 상승 또는 내려갈 수 있다. 상기 볼 조인트(14) 및 판(16)의 짝지음(mating) 나삿니가 형성된 섹션들은 볼 조인트의 회전을 볼 조인트 및 그 상단에 안착된 하중 포트 인터페이스의 수직 병진으로 바꿀것이다. 일단, 하중 포트 어셈블리가 원하는 높이에 위치되면, 볼 조인트(14)의 위치는 상기 판(16)을 통해서 스크류 홀(33)내에 제공된 세트 스크류(32)에 의해서 잠겨질 것이다. 상기 볼 조인트(14) 및 판(16)내의 나삿니들의 피치는 주어진 회전에 적합한 수직 병진도를 변화시키기 위하여 변화될 수 있다.
볼츠 인터페이스상의 하중 포트 인터페이스 어셈블리(10)의 수직 높이의 조절이외에, 본 발명에 의한 틸트 및 고우 어셈블리는 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리를 측면으로(즉, Z-축에 수직하고 상기 볼츠 인터페이스판의 전방에 팽행한 방향으로) 조절하기 위하여 슬롯(35)내에 안착되어 있는 캠(34)을 포함하고 있다. 특히, 캠(34)은 편심 핀(36)에 의해서 하중 포트 인터페이스 판(26)에 회전할 수 있도록 장착된다. 상기 캠(34)은 측면 조절판(24)내에 형성되어 있는 슬롯(35)내에 꼭맞게 끼워맞춤한다. 볼 조인트(14)상에 안착되어서, 상기 측면 조절판(24) 및 슬롯(35)의 측면 위치는 고정된다. 따라서, 캠(34)이 회전하자마자, 상기 슬롯은 상기 캠(35)의 측면 운동을 방지한다. 대신에, 슬롯(35)내의 캠(34)의 회전은 상기 핀(36) 및 하중 포트 인터페이스판(26)의 측면 운동을 가져온다. 일단 상기 하중 포트 인터페이스판(26)의 원하는 측면 위치가 이루어지면, 클램프 스크류(40)는 상기 판(26)을 소정 위치에 고정하기위하여 죄어질 수 있다. 클램프 스크류(40)는 그러한 측면 조절을 참작하기 위하여 측면 조절판(24)내에 형성된 슬롯(42)들내에서 진행한다. 상기 캠(34)은 상기 캠(34)을 회전시키기 위한 스크류드라이버 또는 그런 종류의 다른것을 수용할 수 있는 슬롯(38)을 포함할 수 있다. 당업자에 의해서 알 수 있는 바와 같이, 다른 구성은 상기 캠(34)을 회전시키기 위하여 제공될 수 있다.
상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리(10)의 바닥 부분이 부착되어 조절된 후, 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 상부 부분은 상기 볼츠 인터페이스판(12)에 고정될 수 있다. 바람직한 실시 예에서, 잠금 탭(44)들은 도 1 및 도 2에 도시된 것처럼 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 양 측면상에 제공될 수 있다. 상기 볼츠 인터페이스(12)에 하중 포트 인터페이스 어셈블리(10)를 고정하는 것이외에, 상기 잠금 탭들은 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리(10)의 방위 및 롤 각들의 조절을 허여한다. 상기 어셈블리(10)의 방위 각의 조절은, 볼 조인트(14) 및 소켓(28) 커플링을 통해서 축을 중심으로, 상기 볼츠 인터페이스를 향하여 그리고 볼츠 인터페이스로부터 이탈하여 상기 어셈블리(10)가 기울어질 수 있도록한다. 상기 어셈블리(10)의 롤각의 조절은, 상기 볼 조인트(14) 및 소켓(28) 커플링을 통하는 축을 중심으로, 상기 어셈블리(10)가 상기 볼츠 인터페이스에 팽행한 평면내에서 기울어질 수 있도록 한다. 상기 방위 및 롤 각들을 조절하기 위한 특별한 메커니즘들은 아래에서 언급하기로 한다.
상기 볼츠 인터페이스판(12)은 일반적으로 그 원주 둘레에 복수 개의 스크류 홀(46)들을 포함하고 있다. 볼츠 인터페이스판(12)상에 하중 포트 인터페이스 어셈블리(10)를 위치시키기 이전에, 한 쌍의 핀(48)들은 선택된 홀(46)들내에 제공될 수 있다. 도 7 내지 도 9를 참조하면, 핀(48)들은 볼츠 인터페이스에 상기 핀(48)들을 고정하기 위하여 홀(46)들내에 수용되는 제 1 나삿니 단부(48a)를 구비하고 있다. 상기 핀(48)들은 또한 상기 볼츠 인터페이스로부터 돌출되어 있는 단부(48a)에 대향하는 제 2 단부(48b)를 또한 구비하고 있다. 각각의 잠금 탭(44)의 손잡이(56)는, 상기 볼츠 인터페이스에 하중 포트 어셈블리의 상부 단부를 부착하기 위하여 상기 단부(48b)내의 나삿니 홀내로 나사를 죄기 위한 나삿니 단부(56a)를 포함하고 있다.
손잡이(56)를 풀기 이전에 상기 어셈블리(10)의 롤각을 조절하기 위하여, 각각의 잠금탭은, 각각의 잠금탭의 상부에 있는 선회 스크류(61)를 통하여 축을 중심으로 선회하기 위하여 인터페이스 판(26)에 장착되어 있다. 잠금 스크류(62)는 또한 각각의 잠금 탭의 바닥에 제공되어 있는데, 상기 스크류(62)는 각각의 잠금 탭내의 아치형 슬롯(64)내에 수용된다. 선회 스크류(61) 및 잠금 탭내의 잠금 스크류(62)가 죄어지기 전에, 상기 잠금 탭은 그 중심 위치(도 8에 단단하게 도시된)로부터 좌측 또는 우측(도 8에 가상으로 도시된 위치들) 중 하나로 선회할 수 있다. 상기 선회 스크류(61)들 및 잠금 스크류(62)들의 상대 위치들이 상기 잠금 탭내에서 바뀌어질 수 있는 것은 물론이다. 손잡이(56)들은 또한 각각의 잠금 탭내에 장착될 수 있는데, 이는 상기 인터페이스판(26)에 대한 잠금 탭의 선회 각의 조절이 상기 인터페이스판(26)에 대한 손잡이의 위치를 조절할 수 있기 위한 것이다. 그러나, 손잡이는 고정 핀(48)에 대한 고정 및 반복가능한 위치내에 항상 수용됨에 따라서, 잠금 탭의 선회각의 조절은 볼츠 인터페이스에 대한 인터페이스판(26) 및 하중 포트 인터페이스 어셈블리(10)의 롤각을 조절할 것이다.
당업자에 의해서 알수 있는바와 같이, 다른 형상들은 상기 볼츠 인터페이스(12)에 대한 상기 어셈블리(10)의 롤각을 조절하는 것이 가능하다. 예를 들면, 잠금 탭(44), 선회 스크류(61) 및 잠금 스크류(62)는 생략될 수 있고, 상기 핀(48)들은 대신 상기 볼츠 인터페이스내에 형성되어 있는 슬롯들내에 장착될 수 있다. 그러한 실시 예에서, 상기 어셈블리(10)의 롤각은 각각의 슬롯내의 핀(48)들의 위치를 조절함으로서 조절될 수 있다. 또 다른 실시 예에서, 상기 롤각을 조절하기 위한 메커니즘은 함께 생략될 수 있다. 상기 롤각을 조절하기 위한 다른 공지된 형상들이 생각된다. 추가로, 손잡이(56)가 상기 잠금 탭(44)상의 선회 및 잠금 스크류(61,62)사이에 도시되어 있지만, 상기 손잡이(56)의 위치는 다른 실시예에서 상기 잠금 탭(44)들 상의 선회 및 잠금 스크류(61,62) 위 또는 아래에 있을 수 있는 것은 물론이다.
상기 방위 각은 상기 인터페이스판(26)내의 나삿니 홀(58)내에 장착되어 있는 방위 스크류(60)에 의해서 조절될 수 있다. 방위 스크류(60)를 회전시킴으로서, 상기 스크류(60)의 단부(60a)는 상기 볼츠 인터페이스에 기대는 상기 인터페이스판(26)의 평면밖으로 연장할 수 있다. 상기 스크류(60)의 단부(60a)가 상기 인터페이스판(26)의 평면을 지나서 연장되어 있는 정도는 상기 하중 포트 어셈블리(10)의 방위 각을 결정할 것이다. 도시된 실시 예에서, 스크류(60)는 인터페이스판(26)내에 장착되어 있고 잠금 탭(44)을 통해서 조절되어야 한다. 따라서, 슬롯 또는 홀 중 하나는 상기 방위 스크류위의 각각의 잠금 탭내에 형성될 필요가 있다. 홀이 형성되어 있는 실시 예에서, 방위 각은 상기 잠금 탭들이 선회되기 전에 조절되어야 한다. 슬롯이 형성되어 있는 곳에서, 방위각은 상기 잠금 탭들이 선회되기 전에 또는 후에 조절될 수 있다. 또 다른 실시 예에서, 상기 방위 스크류(60)들은 상기 잠금 탭(44)들내의 나삿니 홀내에서 상기 인터페이스판(26)내에 형성되어 있는 슬롯을 통해서 장착될 수 있다. 그러한 실시 예에서, 상기 방위 각은 상기 잠금 탭들이 선회되기 전 또는 후에 조절될 수 있다.
상기 방위 및 롤 각들이 상기 볼츠 인터페이스에 대해서 원하는대로 상기 하중 포트 어셈블리를 위치시키기 위하여 조절된 후, 손잡이(56)는 볼츠 인터페이스(12)상의 고정 위치내에 하중 포트 어셈블리(10)를 고정하기 위하여 죄어질 수 있다. 당업자는, 다른 구성들이 상기 볼츠 인터페이스에 대하여 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 방위각을 변화시키기 위하여 변화될 수 있다는 것을 알 수 있다. 추가로, 상기 방위각을 조절하기 위한 메커니즘은 또 다른 실시 예에서 함께 생략될 수 있는 것은 물론이다. 더욱, 롤 및/또는 방위 각들은, 위에서 언급한바와 같이 상기 측면 조절판(24)에 의한 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 수직 및/또는 측면 위치의 조절 이전에 조절될 수 있다고 생각된다.
본 발명은 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 볼츠 인터페이스에 대한 부착을 용이하게 하기 위한 틸트 및 고우 어셈블리로서 위에서 언급되었다. 그러나, 본 발명은 볼츠 인터페이스를 포함하고 있지 않은 공정 공구에 하중 포트 인터페이스 어셈블리를 부착하기 위하여 추가로 사용되는 것은 물론이다. 그러한 실시 예에서, 상기 공정 공구는, 틸트 및 고우 어셈블리가 상기 공정 공구에 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 빠르고 쉬운 부착을 허여하는 위치에 기술된 것과 같은 볼 조인트 및 다양한 부착 홀들, 핀들 및/또는 스크류들을 포함할 수 있다.
비록 본 발명은 여기에서 상세하게 기술되어 있지만, 본 발명은 여기에 개시된 실시 예들에 한정되지 않는 것은 물론이다. 다양한 변형예, 대용안 및 수정안들은 첨부된 청구범위에 기술되어 있고 한정되어 있는 본 발명의 기술적 사상 및 범위를 벗어나지 않고 당업자에 의해서 이루어질 수 있다.
Claims (16)
- 공정 공구의 하부 부분에 지지 부재를 포함하고 있는 공정 공구에, 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리로서,상기 어셈블리는:상기 지지 부재와 커플링하기 위한 커플링 부재로서, 상기 공정 공구는 상기 커플링 부재가 상기 지지 부재와 커플링하자마자 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 무게를 지지하는 커플링 부재;상기 공정 공구의 전방에 실질적으로 평행한 평면내의 공정 공구에 대해서 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 측면 위치를 조절하기 위한 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리상의 수단; 및상기 공정 공구상에 고정된 위치로 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리를 고정하기 위한 수단을 포함하고 있는 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 제 1 항에 있어서,상기 지지 부재 및 커플링 부재는 볼 조인트 및 소켓을 각각 포함하고 있는 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 제 1 항에 있어서,상기 지지 부재 및 커플링 부재는 소켓 및 볼 조인트를 각각 포함하고 있는 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 제 1 항에 있어서,상기 공정 공구에 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리를 이송하기 위하여 하중 포트 인터페이스 어셈블리상에 휠들을 더 포함하고 있는 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 공정 공구의 하부 부분에 지지 부재를 포함하고 있는 공정 공구에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리로서,상기 어셈블리는:상기 지지 부재와 커플링하기 위한 커플링 부재로서, 상기 공정 공구는 상기 커플링부재를 상기 지지 부재에 커플링하자마자 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 무게를 지지하는 커플링 부재;상기 공정 공구의 전방에 실질적으로 평행한 평면내의 공정 공구에 대해서 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 롤각을 조절하기 위한 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리상의 수단; 및상기 공정 공구상에 고정 위치로 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리를 고정하기 위한 수단을 포함하는 공정 공구에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 제 5 항에 있어서,상기 롤각을 조절하기 위한 상기 수단은 상기 소켓 및 상기 볼 조인트를 통하여 축을 중심으로 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리를 조절하는 공정 공구에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 제 5 항에 있어서,상기 지지 부재 및 커플링 부재는 볼 조인트 및 소켓을 각각 포함하는 공정 공구에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 제 5 항에 있어서,상기 지지 부재 및 커플링 부재는 소켓 및 볼 조인트를 각각 포함하는 공정 공구에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 제 5 항에 있어서,상기 공정 공구에 하중 포트 인터페이스 어셈블리를 이송하기 위하여 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리상에 휠들을 더 포함하는 공정 공구에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 공정 공구의 하부 부분에 지지 부재를 포함하고 있는 공정 공구에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리로서,상기 어셈블리는:상기 지지 부재와 함께 커플링하기 위한 커플링 부재로서, 상기 공정 공구는 상기 커플링 부재를 상기 지지 부재와 커플링하자마자 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 무게를 지지하는 커플링 부재;공정 공구에 실질적으로 수직한 평면내의 공정 공구에 대해서 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 방위각을 조절하기 위하여 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리상의 수단; 및공정 공구상에 고정 위치로 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리를 고정하기 위한 수단을 포함하고 있는 공정 공구에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 제 10 항에 있어서,상기 지지 부재 및 커플링 부재는 볼 조인트 및 소켓을 각각 포함하고 있는 공정 공구에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 제 10 항에 있어서,상기 지지 부재 및 커플링 부재는 소켓 및 볼 조인트를 각각 포함하고 있는 공정 공구에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 볼츠 인터페이스의 하부 부분에 지지 부재를 포함하고 있는 볼츠 인터페이스에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리로서,상기 어셈블리는:지지 부재와 커플링하기 위한 커플링 부재로서, 상기 볼츠 인터페이스는 상기 커플링 부재가 상기 지지 부재와 커플링하자마자 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 무게를 지지하는 커플링 부재;공정 공구의 전방에 실질적으로 평행한 평면내의 공정 공구에 대해서 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 측면 위치를 조절하기 위하여 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리상의 수단;상기 공정 공구에 실질적으로 평행한 평면내의 공정 공구에 대해서 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 롤각을 조절하기 위하여 하중 포트 인터페이스 어셈블리상의 수단;볼츠 인터페이스의 전방에 실질적으로 수직한 평면내의 볼츠 인터페이스에 대해서 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 방위각을 조절하기 위하여 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리상의 수단; 및볼츠 인터페이스 상에 고정 위치로 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리를 고정하기 위한 수단을 포함하는 볼츠 인터페이스에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 볼츠 인터페이스의 하부 부분에 볼 조인트를 포함하고 있는, 볼츠 인터페이스에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리로서,상기 어셈블리는:상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리에 병진적으로 장착되어 있는 측면 조절판으로서, 상기 측면 조절판은 슬롯을 포함하고 있는 측면 조절판;볼츠 인터페이스상의 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 무게를 지지하기 위하여 볼 조인트위에 안착하기 위하여, 상기 측면 조절 판의 하부 표면내에 형성되어 있는, 소켓;상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리에 편심 핀에 의해서 장착되어 있는 캠으로서, 상기 캠은 상기 슬롯과 끼움맞춤되고, 상기 캠의 회전은 상기 측면 조절판 및 볼츠 인터페이스에 대하여 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 측면 위치를 조절하는 캠; 및하중 포트 인터페이스 어셈블리에 대해서 고정 위치로 상기 측면 조절판을 고정하기 위한 수단을 포함하는 볼츠 인터페이스에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 제 14 항에 있어서,상기 볼츠 인터페이스는 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리를 향하여 볼츠 인터페이스로부터 연장되어 있는 핀을 포함하고 있고, 상기 어셈블리는:하중 포트 인터페이스 어셈블리내의 홀로서, 상기 핀은 상기 홀을 통하여 끼워맞춤할 수 있는 홀; 및상기 핀위로 끼워맞춤하는 손잡이로서, 상기 손잡이는 고정된 위치로 하중 포트 어셈블리를 고정할 수 있는 손잡이를 더 포함하고 있고,상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리가 상기 볼츠 인터페이스에 일반적으로 평행한 평면내의 수직축에 대해서 제 1 각으로 기울어져 있는 동안 상기 핀이 상기 홀을 통하여 끼워맞춤될 수 있도록 상기 홀은 상기 핀보다 더 크고, 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리가 상기 볼츠 인터페이스에 일반적으로 평행한 상기 평면내의 수직 축에 대해서 제 2 각으로 기울어져 있는 동안 상기 핀은 상기 홀을 통하여 끼워맞춤할 수 있으며, 상기 제 1 각은 상기 제 2 각과는 다른 볼츠 인터페이스에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
- 제 14 항에 있어서,상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리를 통하여 끼워맞춤하는 나삿니 부재를 더 포함하고 있고, 상기 나삿니 부재가 상기 공정 공구의 전방에 실질적으로 팽행한 평면내의 공정 도구에 대해서 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 롤각을 결정하는 상기 후방 면을 지나 연장하는 정도로, 상기 나삿니 부재는 상기 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 후방 면을 지나서 상기 볼츠 어셈블리와 접촉하여 연장할 수 있는 볼츠 인터페이스에 하중 포트 인터페이스 어셈블리의 부착을 용이하게 하기 위한 어셈블리.
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