KR19990087679A - 부품탑재(搭載)장치 - Google Patents

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KR19990087679A
KR19990087679A KR1019980707144A KR19980707144A KR19990087679A KR 19990087679 A KR19990087679 A KR 19990087679A KR 1019980707144 A KR1019980707144 A KR 1019980707144A KR 19980707144 A KR19980707144 A KR 19980707144A KR 19990087679 A KR19990087679 A KR 19990087679A
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유조 니시모리
스스무 다카이치
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모리시타 요이찌
마쯔시다덴기산교 가부시키가이샤
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Abstract

부품탑재 전의 기판(1)을 로더 유니트(15)로부터 부품탑재위치(12)로 이송하고, 부품을 탑재한 후에 기판(1)을 로더 유니트(15)쪽으로 회송하여 배출시키고, 부품탑재 위치에서 기판(1)위에 부품을 탑재한 후에는 기판(1)을 부품탑재위치로부터 언로더 유니트(9)로 이동시킴과 동시에 부품탑재 전의 다음의 기판을 로더 유니트(15)로부터 부품탑재위치로 이송하며, 그 후에 언로더 유니트(9)가 로더 유니트(15)와 결합될 때까지 언로더 유니트(9)를 부품탑재위치에 있는 기판위치로 이동시키고, 언로더 유니트(9)쪽으로 이동한 부품탑재 후의 기판을 로더 유니트(15)쪽으로 이송하여 배출시키는 기판이송방법이 제공된다.

Description

부품탑재(搭載)장치
최근에는 전자부품 취부장비는 대부분의 경우에 있어서 유연생산 시스템(다품종, 소량생산)의 점에서 일괄 제조 및 인쇄회로기판의 생산을 위한 환경 개선 등을 위하여 운영되고 있다. 결과적으로, 기판 적치대 및 전자부품 취부장치 사이에 하나의 로봇을 사용하여 기판을 이송 및 송출하는 경우가 특히 많다. 이러한 회송시스템의 기판이송방법 및 장치에서는 설치면적은 유리하게 절약될 수 있는 반면에, 부품탑재 후의 기판은 부품탑재 전의 기판을 집어넣는 취입(取入)(take-in) 위치로 복귀되기 때문에, 하나의 로봇을 사용하여 부품탑재 전의 기판을 집어넣는 취입과 부품탑재 후의 기판을 꺼내는 취출(取出)(take-out)은 두가지 역할을 한다.
종래에는, 도 10에 나타낸 회송시스템의 기판이송장치는 기판(1)을 가이드(guide)하고, 이송하기 위한 구동장치를 가진 한 쌍의 가이드 레일(2), 받침대 주위를 선회할 수 있게 가이드 레일을 지지하는 연결 메카니즘(3)이 연결 메카니즘(3)을 구동시켜 받침대 주위를 선회하도록 함으로써, 가이드 레일을 상하로 이동시키는 에어 실린더(4) 및 기판의 위치를 지정하는 X-Y테이블(5)로 되어 있다.
이러한 장치에 있어서는 부품탑재 후의 X-Y테이블(5)위의 기판(1)은 에어 실린더(4)에 의하여 하강되어 있고, X-Y테이블(5)의 레일과 결합된 가이드 레일(2) 위로 이송되어 나간 다음에 기판(1)은 가이드 레일(2)의 다른 쪽으로 이동한다. 결과, 기판(1)은 부품탑재 이후에 로봇 등에 의하여 꺼내어지고, 이어서 부품탑재 전의 기판은 가이드 레일(2)위에 새롭게 놓여진다.
그 다음에는 부품탑재 전의 기판은 X-Y테이블(5)위로 이송되고, 가이드 레일(2)은 에어 실린더(4)에 의하여 구동되어 위쪽으로 이동하여 X-Y테이블로부터 분리된다. 이것이 기판이 교체되고 이송되는 과정이다.
이러한 종래의 기판이송장치에서는 기판(1)은 부품탑재 후에 X-Y테이블(5)위에서, 가이드 레일(2)을 통하여 이송되어 나가고, 그후 부품탑재 전의 기판은 다시 가이드 레일(2)을 통하여 이송되어 들어온다. 그러므로, 기판교체에 많은 시간이 소요되어 생산 사이클 타임을 감축하는 데에 방해가 되었다.
본 발명은 기판(board)의 이송방법 및 장치, 더욱 상세하게는 예를 들어 부품탑재 공정 이전의 기판을 로더 유니트(loader unit)에 의하여 X-Y테이블 등의 기판위치지정 테이블 위로 이송하는 한편, 부품탑재 후의 다른 기판을 로더 유니트로부터 송출하는 회송시스템으로 된 장치로서, 전자부품을 인쇄회로기판에 삽입 또는 탑재하는 전자부품 취부(取付)(pick and place)장비에 사용되는 장치 및 방법에 관한 것이다.
본 발명의 이러한 여러 가지 특징은 첨부 도면을 참조하여 바람직한 실시형태와 관련된 설명으로부터 명확해 진다.
도 1은 본 발명의 하나의 실시예에 의한 기판이송장치의 배열 및 기판이송동작을 나타내는 측면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 기판이송장치의 배열 및 기판이송동작을 나타내는 측면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 기판이송장치의 배열 및 기판이송동작을 나타내는 측면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 기판이송장치의 배열 및 기판이송동작을 나타내는 측면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 기판이송장치의 배열 및 기판이송동작을 나타내는 측면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 기판이송장치의 배열 및 기판이송동작을 나타내는 측면도이다.
도 7A 및 7B는 각각 도 3 및 도 4에 대응하는 실시예에 의한 기판이송장치의 배열 및 기판이송동작을 나타내는 개략적인 평면도이다.
도 8은 도 7A에서의 기판이송장치의 배열 및 기판이송동작을 나타내는 개략적인 측면도이다.
도 9는 실시예에서 연결 메카니즘을 나타내는 측면도이다.
도 10은 종래의 기판이송장치의 측면도이다.
본 발명의 목적은 기판위치지정 테이블에 들어오고 나가는 기판의 교체를 단시간에 이루어질 수 있도록 하는 회송시스템의 기판이송장치를 제공하는 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 첫 번째 특징에 의하면 기판을 로더 유니트로부터 기판에 대해 공정이 실시되는 위치로 이송시키고, 공정이 실시된 후에는 처리된 기판을 로더 유니트로 회송하여 배출시키는 기판이송방법에 있어서, 그 위치 고정된 기판에 대해 공정이 실시된 후에, 처리된 기판을 그 위치로부터 언로더 유니트(unloader unit)로 이동시킴과 동시에 공정처리전의 다음 기판을 로더 유니트로부터 해당 위치로 이송하고, 그후, 위치 고정된 기판위로 언로더 유니트 또는 로더 유니트를 상대적으로 이동시켜 언로더 유니트와 로더 유니트를 결합시키고 로더 유니트로 이송함으로써 언로더 유니트에 이동 처리된 기판을 배출하는 과정을 포함하는 기판이송방법이 제공된다.
본 발명의 두 번째 특징에 의하면, 첫 번째 특징에 의한 기판이송방법에 있어서, 위치 고정된 기판위로 언로더 유니트 또는 로더 유니트를 이동시켜 로더 유니트와 결합시키는 시간 동안 공정전의 다음 기판을 위치 고정시키고, 언로더 유니트쪽으로 이동 처리된 기판을 로더 유니트 쪽으로 이송하는 기판이송방법이 제공된다.
본 발명의 세 번째 특징에 의하면, 첫 번째 특징에 의한 기판이송방법에 있어서, 상기 공정은 기판위에 부품을 탑재하는 공정이고, 처리된 기판은 부품탑재 후의 기판인 기판이송방법이 제공된다.
본 발명의 네 번째 특징에 의하면, 두 번째 특징에 의한 기판이송방법에 있어서, 상기 공정은 기판위에 부품을 탑재하는 것이고, 처리된 기판은 부품탑재 후의 기판인 기판이송방법이 제공된다.
본 발명의 다섯 번째 특징에 의하면, 로더 유니트로부터 기판에 대해 공정이 실시되는 위치로 기판을 이송하고, 공정이 실시된 후에는 처리된 기판을 로더 유니트쪽으로 회송하여 배출하는 기판이송장치에 있어서, 기판을 가이드하고 이송하는 언로더 유니트, 기판이 이송되는 방향을 따라서 로더 유니트 또는 언로더 유니트를 이동시키는 구동기, 기판의 위치를 지정하는 위치지정 테이블 및 기판을 이송하는 로더 유니트를 포함하며, 상기의 위치지정 테이블위를 통하여 언로더 유니트와 로더 유니트를 결합시켜 그 사이로 기판을 이송할 수 있도록 한 기판이송장치가 제공된다.
본 발명의 여섯 번째 특징에 의하면, 다섯 번째 특징에 의한 기판이송장치에 있어서, 언로더 유니트는 기판을 가이드하고 이송하는 구동장치를 가진 한 쌍의 제1가이드 레일을 구비하고 있고, 로더 유니트는 기판을 이송하는 구동장치를 가진 한 쌍의 제2가이드 레일을 구비하고 있으며, 그리고 다음 언로더 유니트의 제1가이드 레일은 상기의 위치지정 테이블위를 통하여 로더 유니트의 제2가이드 레일과 결합되어서 그 사이로 기판을 이송할 수 있도록 한 기판이송장치가 제공된다.
본 발명의 일곱 번째 특징에 의하면, 다섯 번째 특징에 의한 기판이송장치에 있어서, 상기 공정은 기판위에 부품을 탑재하는 공정이고, 처리된 기판은 부품탑재 후의 기판인 기판이송장치가 제공된다.
본 발명의 여덟 번째 특징에 의하면, 여섯 번째 특징에 의한 기판이송장치에 있어서, 상기 공정은 기판위에 부품을 탑재하는 공정이고, 처리된 기판은 부품탑재 후의 기판인 기판이송장치가 제공된다.
본 발명의 여러 가지 특징에 의하면, 부품탑재 등의 공정 후의 기판은 그 위치로부터 언로더 유니트쪽으로 일시적으로 이송된 다음에, 그 다음 기판이 로더 유니트로부터 그 위치로 이송되어 오는 상태에서, 언로더 유니트는 그 위치의 위에서 로더 유니트와 결합되어, 기판은 로더 유니트 밖으로 배출되므로 기판의 교체는 헛됨이 없이 원만하게 이루어진다.
이러한 기판이송방법에 의하여 공정후의 선행하는 기판의 배출 공정 동안에, 공정 전의 후속기판의 위치를 지정할 수 있으므로 생산 효율은 높아진다.
본 발명의 설명을 진행하기 전에, 첨부 도면 전체를 통하여 동일한 참조번호는 동일한 부품을 나타낸다는 것을 유의하여야 한다.
이하 본 발명에 의한 하나의 실시예에 의한 기판이송방법 및 장치를 첨부 도면을 참조하여 설명한다.
도 1 내지 도 6은 본 발명의 실시예에 의한, 순차적인 단계를 나타내는 기판 이송장치의 측면도들이다. 도 7A 및 7B는 도 3 및 도 4에 대응하는 개략적 평면도이다. 도 8은 도 7A에서의 기판이송장치의 배열 및 기판이송동작을 나타내는 개략적인 측면도이다.
도면을 참조하면, 참조번호(12)는 기판위치지정 테이블의 예로서, 전자 부품탑재가 실행되는 위치에서 베이스(base; 받침대)(6)위에 배치된 X-Y테이블을 가리킨다. X-Y테이블(12)은 지지편(支持片)(12A)에 의하여 기판(1)을 탈착식으로 수평하게 지지하고, 수평면위에서 기판(1)의 위치를 지정하고, 그 상태에서 부품이 탑재된다. X-Y테이블(12)의 양 편에는 언로더 유니트(9) 및 로더 유니트(15)가 일렬로 배치되어 있다.
언로더 유니트(9)는 평행 4변형의 연결 메카니즘(8)을 통하여 기판(1)을 가이드하기 위한 한 쌍의 가이드 레일(7), 기판(1)을 이송하기 위한 구동장치를 가진 가이드 레일(7)을 구비하고 있다. 각 구동장치는 모터(7e), 모터(7e)의 회전 축에 연결된 제1풀리(pulley), 및 벨트(7d)에 의해 제1풀리에 연결된 제2풀리(7f)를 포함하고 있어서, 모터(7e)를 구동함으로써 벨트(7d)는 제1 및 제2풀리(7f)를 정방향 회전 및 역방향 회전의 두 방향으로 움직이면서 벨트(7d)위의 기판을 이송한다. 연결 메카니즘(8)은 각각 도 10의 연결 메카니즘(3)의 에어 실린더(4)와 유사한 구동 메카니즘을 구비하고 있으므로 가이드 레일(7)은 수평 상태를 유지하면서 상하로 이동하도록 연결 메카니즘(8)은 받침대(8a)의 주위를 회전할 수 있다.
언로더 유니트(9)는 기판(1)이 이송되는 방향을 따라서 배열된 레일(11)위에 이동할 수 있도록 배치된다. 에어 실린더(10)를 구동하면 언로더 유니트(9)는 기판이동 방향을 따라서 제1가이드 레일(7)과 함께 전후로 이동할 수 있다.
참조번호(13)는 부품탑재 전의 기판(1) 또는 부품탑재 후의 기판(1)을 가이드하기 위한 한 쌍의 제2가이드 레일(13)을 표시하며, 제2가이드 레일(13)은 기판을 이송하기 위한 구동장치를 갖추고 있다. 각 구동장치는 모터(13e), 모터(13e)의 회전 축에 연결된 제1풀리 및 벨트(13d)에 의해 제1풀리에 연결된 제2풀리(13f)를 포함하고 있어서, 모터(13e)를 구동함으로써 벨트(13d)는 제1 및 제2풀리(13f)를 정방향 회전 및 역방향 회전의 두 방향으로 움직이면서 벨트(13d)위의 기판을 이송한다. 제2가이드 레일(13)은 연결 메카니즘(8)과 동일한 구조를 가진 다수의 평행 4변형 연결 메카니즘(14)을 통하여 로더 유니트(15)에 부착되므로 제2가이드 레일(13)은 수평 상태를 유지하면서 상하로 이동하도록 연결 메카니즘(14)은 받침대(14a)의 주위를 회전할 수 있다.
이 장치에서는, 또한 제1가이드 레일(7) 및 제2가이드 레일(13)은 "상향 위치" 및 "하향 위치"의 어느 하나의 위치에 위치지정될 수 있도록 배치된다. 하향 위치(도 2 참조)에서는, 제1가이드 레일(7) 및 제2가이드 레일(13)은 X-Y테이블(12)의 양쪽과 접촉하면서 X-Y테이블(12)에 의하여 지지된 기판(1)과 같은 높이로 되고, X-Y테이블(12)은 도시되지 않은 연결 메카니즘을 통하여, 가이드 레일(7) 및 가이드 레일(13)에 연결되므로 기판은 서로 간에 대해 이송될 수 있다. 연결 메카니즘들은 이들 사이의 연결을 확실히 하기 위하여 구성되어 있지만, 만일 가능하다면, 연결 메카니즘은 생략해도 좋다.
상향 위치(도 1 및 도 3 내지 도 5 참조)에서는, 가이드 레일(7) 및 가이드 레일(13)은 높은 위치에서 서로 간에 같은 높이로 된다. 또한, 양쪽의 가이드 레일(7), (13)은 단면(斷面) 형상 및 칫수에서 서로 동일하고, 도 7에 나타낸 바와 같이 한 줄로 배열된다. 가이드 레일(7) 및 가이드 레일(13)은 이들이 서로 마주 보고 있는 한쪽 끝부분에 가이드 레일(7) 및 가이드 레일(13)을 서로 연결하기 위한 연결 메카니즘(7a), (13a)을 가지고 있어서, 가이드 레일(7), (13)이 서로 연결될 때 하나의 기판이동통로를 형성하여 기판이 서로간에 대해 이송될 수 있다. 도 9는 연결 메카니즘(7a), (13a)을 나타낸 것이며, 가이드 레일을 서로 연결시키기 위하여 그중 하나는 요(凹)부를 가지고 있고 다른 하나는 요(凹)부와 탈착식으로 맞물리게 하는 철(凸)부를 가지고 있다.
참조번호(16), (17) 및 (18)는 기판(1)의 통과 및 도착을 검출하는 센서를 표시한다. 이들 센서는 광 반사형 또는 광 전송형이 바람직하지만 이들에 한정되지 않는다.
상기 장치에 관하여, 이하 그 동작 및 기판이송방법을 설명한다. 기판(1)의 이송 과정은 기본적으로 다음의 6단계를 포함하고 있으며, 여기에서 이하에 설명하는 예비 단계는 시작 시점에 포함된다.
예비 단계 : 기판이송의 시작시에 로더 유니트(15)의 제2가이드 레일(13)은 하향 위치이고 X-Y테이블(12)에 연결된 상태에서, 부품탑재 전의 첫 번째 기판(1)은 제2가이드 레일(13)로부터 X-Y테이블(12)로 이송되고, 이어서 부품탑재 전의 다음 기판(1)은 제2가이드 레일(13)위로 이송된다. 그 후에 제2가이드 레일(13)은 상향 위치로 들어 올려지고, 제2가이드 레일(13)은 X-Y테이블(12)로부터 멀리 떨어져서, 결과적으로는 도 1의 상태, 즉 X-Y테이블(12)위의 첫 번째 기판(1)에 대해 부품탑재가 실행되는 상태로 된다. 정상 상태의 과정에서는, 이러한 상태는 최종의 제6단계의 마지막 스테이지에서 실행되므로 이하에서 설명하는 제1단계 내지 제6단계를 고려하면 충분하다.
제1단계 : 도 1을 참조하면 부품탑재 전의 기판(1)은 제2가이드 레일(13)위에서 대기하고 있다. X-Y테이블(12)위에는 부품탑재 후의 기판(1)이 있다. 부품탑재가 끝난 후에, X-Y테이블(12)이 위치로 복귀했을 때, 제1가이드 레일(7) 및 제2가이드 레일(13)은 하향 이동하여 도 2에 나타낸 X-Y테이블(12)의 지지편(12A)의 레일(112)에 결합하여 접속된다. 레일(112)은 기판을 이동시키기 위한 구동장치를 갖추고 있다. 각 구동장치는 모터(112e), 모터(112e)의 회전 축에 연결된 제1풀리(pulley) 및 벨트(112d)에 의해 제1풀리에 연결된 제2풀리(112f)를 포함하고 있어서, 모터(112e)를 구동함으로써 벨트(112d)는 제1 및 제2풀리(112f)를 정방향 회전 및 역방향 회전의 두 방향으로 회전시켜 벨트(112d) 위의 기판을 이송한다.
제2단계 : 도 2를 참조하면, X-Y테이블(12)위에 부품탑재 후의 기판(1)은 제1가이드 레일(7)로 이송되어 나가는 반면에 제2가이드 레일(13) 위의 부품탑재 전 기판(1)은 X-Y테이블(12) 위로(즉, 부품탑재 위치로) 동시에 이송된다.
제3단계 : 도 2를 참조하면, 부품탑재 후의 기판(1)은 센서(16)를 통과 하고, 부품탑재 전의 기판(1)은 센서(18)의 위치를 통과할 때, 제1가이드 레일(7) 및 제2가이드 레일(13)은 그 각각의 에어 실린더의 구동에 의하여 상향 이동되어, 도 3에 나타낸 바와 같이 X-Y테이블(12)로부터 멀리 떨어지고, X-Y테이블(12)은 부품탑재 전의 기판(1)의 위치지정을 시작하며, X-Y테이블(12)위에서 위치 지정된 기판(1)에 대하여 부품탑재가 실행된다. 부품탑재 후의 기판(1)은 센서(17)의 위치로 이동하여 그 곳에서 정지하게 된다. 도 3의 측면도에 대응하는 평면도는 도 7A에 나타나 있다.
제4단계 : 도 4를 참조하면, 언로더 유니트(9)에 탑재된 제1가이드 레일(7)은 에어 실린더(10)에 의하여 구동되어, 도면에 나타낸 바와 같이 좌측으로 이동하여, 제1가이드 레일(7)의 한 끝이 로더 유니트(15)의 제2가이드 레일(13)의 한 끝과 접촉할 때 까지 X-Y테이블(12)위에서 이동한다. 다음에 제1가이드 레일(7) 및 제2가이드 레일(13)은 연결 메카니즘(7a) 및 연결 메카니즘(13a)에 의하여 함께 결합된다. 이러한 상태의 평면도는 도 7B에 나타내었다.
제5단계 : 도 5를 참조하면, 제1가이드 레일(7)위에 부품탑재 후의 기판(1)은 제1가이드 레일(7) 및 제2가이드 레일(13) 사이의 연결편을 통하여 제2가이드 레일(13) 위로 이동되고, 기판(1)은 로봇 등에 의하여 제2가이드 레일(13) 위로부터 꺼내어진다.
제6단계 : 도 5를 참조하면, 부품탑재 후의 기판(1)이 센서(18)의 위치를 통과하여 제2가이드 레일(13) 위로 이송된 스테이지에서, 제1가이드 레일(7)은 에어 실린더(10)에 의하여 구동되어 제2가이드 레일(13)로부터 멀리 떨어지는 방향으로, 즉 도 6에 나타낸 바와 같이 우측으로 이동되어 이동 종료점에서 정지하게 된다. 또한, 제2가이드 레일(13)위에서 부품탑재 전의 후속의 기판(1)은 로봇 등에 의하여 놓여져서 도면에서 화살표로 표시한 방향으로, 즉 X-Y테이블(12)쪽을 향하여 이동되어 센서(18)의 위치에서 정지하게 된다.
상기한 바와 같이, 기판이송동작은 제1단계 내지 제6단계를 1주기로 하여 반복되는 동안에, 기판의 취입(取入) 및 취출(取出)은 기판위에서 부품탑재와 병행하여 실행된다.
상기의 설명에서, 부품탑재는 제3단계에서 실시되었지만, 제1단계에서 부품탑재를 실시할 수도 있다.
위에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 실시예에 의한 기판이송방법 및 장치에 의하면, X-Y테이블(12)에서의 부품탑재 후의 기판 및 부품탑재 전의 기판의 교체는 일시에 실행된다. 언로더 유니트(9)로 이동된 부품탑재 후의 기판(6)이 로더 유니트(15)로 이송되면, 제1가이드 레일(7)은 다음의 기판이 놓여지는 X-Y테이블(12)의 윗편에서 제2가이드 레일(13)과 결합된다. 따라서 회송시스템에 의한 제조에서 효율적인 기판이송을 가능하게 한다.
더욱이 본 발명은 상기 실시예에 제한됨이 없이 여러 가지 방식으로 변형되거나 변경될 수 있다.
예를 들면, 상기의 설명에서는 기판의 위치지정 및 부품탑재는 동일한 단계에서 실시되지만, 부품탑재 전의 그 다음 기판의 위치지정은, 예로써 부품탑재 이후의 선행 기판의 배출 과정 동안에 동시에 실행할 수 있다. 이러한 경우에 있어서, 기판 교체에 소요되는 시간은 기판위치지정 시간의 정도 까지 단축할 수 있다.
실시예에서 부품탑재를 부품탑재 위치에서 기판(1)의위에서 실시되지만, 본 발명은 그러한 부품탑재에 한정되지 않고 부품의 검사, 그러한 다른 공정이 실시되는 위치에서 부품의 납땜 등의 다른 공정에 적용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 다음 기판이 X-Y테이블에 있는 채로 부품탑재 후의 선행 기판을 송출할 수 있다. 이로 인하여 회송시스템에 의한 제조에서 매우 효율적인 기판이송을 달성할 수 있다. 또한, 이러한 시스템에 운영 로봇을 사용하여 설비 비용을 비교적 낮은 수준으로 절감할 수도 있다.
언로더 유니트는 실시예에서 기판의위에서 이동되지만 본 발명은 이러한 배열에 한정되지 않는다. 즉, 예를 들면, 언로더 유니트 대신에 언로더 유니트가 로더 유니트와 결합될 때 까지 그 위치에 있는 기판의 위로 로더 유니트를 이동시킬 수 있다. 또한, 실시예에서는 언로더 유니트 및 로더 유니트는 기판에 대하여 상향 및 하향으로 이동되지만, 본 발명은 이러한 배열에 한정되지 않는다. 즉 예컨대, 로더 유니트 및 언로더 유니트에 대하여 위치지정 테이블을 상향 및 하향 이동시킴으로써 기판을 상향 및 하향으로 이동시키는 동일한 동작을 실행할 수 있다.
1996년 3월 12일자로 출원된 일본국 특허 출원 제8-54956호의 명세서, 특허청구의 범위, 도면 및 발명의 요약을 포함하는 모든 개시는 본 발명에서 모두 인용되어 있다.
본 발명의 목적은 기판위치지정 테이블에 들어오고 나가는 기판의 교체를 단 시간에 이루어질 수 있도록 하는 회송시스템에서의 기판이송방법 및 장치를 제공하는 것이다. 이러한 기판이송방법은 공정후의 선행 기판의 배출 공정 동안에, 공정 전의 후속기판의 위치를 지정할 수 있도록 한다. 따라서 생산 효율은 높아진다.

Claims (8)

  1. 기판(1)을 로더 유니트(15)로부터 기판에 대해 공정이 실시되는 위치로 이송시키고, 공정이 실시된 후에는 처리된 기판을 로더 유니트로 회송하여 배출시키는 기판이송방법에 있어서, 위치 고정된 기판에 대해 공정이 실시된 후에, 처리된 기판을 그 위치로부터 언로더 유니트(9) 쪽으로 이동시킴과 동시에 공정처리전의 다음 기판(1)을 로더 유니트로부터 해당 위치로 이송하고, 그 후 위치 고정된 기판위로 언로더 유니트 또는 로더 유니트를 상대적으로 이동시켜 언로더 유니트와 로더 유니트를 결합시키고, 언로더 유니트쪽으로 이동 처리된 기판을 로더 유니트쪽으로 이송함으로써 배출하는 과정들을 포함하는 기판이송방법.
  2. 제1항에 있어서, 위치 고정된 기판위로 언로더 유니트 또는 로더 유니트를 이동시켜 로더 유니트와 결합시키는 시간 동안에 공정전의 다음 기판(1)을 위치 고정시키고, 언로더 유니트쪽으로 이동 처리된 기판을 로더 유니트쪽으로 이송하는 기판이송방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 공정은 기판위에 부품을 탑재하는 공정이고, 처리된 기판은 부품탑재 후의 기판인 것을 특징으로 하는 기판이송방법.
  4. 제2항에 있어서, 상기 공정은 기판위에 부품을 탑재하는 것이고 처리된 기판은 부품탑재 후의 기판인 것을 특징으로 하는 기판이송방법.
  5. 로더 유니트(15)로부터 기판에 대해 공정이 실시되는 위치로 기판을 이송하고, 공정이 실시된 후에는 처리된 기판을 로더 유니트쪽으로 회송하여 배출하는 기판이송장치에 있어서, 기판을 가이드하고 이송하는 언로더 유니트(9), 기판이 이송되는 방향을 따라서 언로더 유니트 또는 로더 유니트를 이동시키는 구동기(10), 기판의 위치를 지정하는 위치지정 테이블(12) 및 기판을 이송하는 로더 유니트(15)를 포함하며, 위치지정 테이블위를 통하여 언로더 유니트와 로더 유니트를 결합시켜 그 사이로 기판을 이송할 수 있도록 한 기판이송장치.
  6. 제5항에 있어서, 언로더 유니트(9)는 기판(1)을 가이드하고 이송하기 위한 구동장치(7d, 7e, 7f)를 가진 한 쌍의 제1가이드 레일(7)을 구비하고 있고, 로더 유니트는 기판을 이송하는 구동장치(13d, 13e, 13f)를 가진 한 쌍의 제2가이드 레일(13)을 구비하고 있으며, 언로더 유니트의 제1가이드 레일은 상기 위치지정 테이블의 위를 통하여 로더 유니트의 제2가이드 레일과 결합되어 그 사이로 기판을 이송할 수 있도록 한 기판이송장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 공정은 기판위에 부품을 탑재하는 공정이고, 처리된 기판은 부품탑재 후의 기판인 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  8. 제6항에 있어서, 상기 공정은 기판위에 부품을 탑재하는 공정이고 처리된 기판은 부품탑재 후의 기판인 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
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