JPH06283890A - 基板搬送方式及びこれを用いた基板搬送装置 - Google Patents

基板搬送方式及びこれを用いた基板搬送装置

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JPH06283890A
JPH06283890A JP5077401A JP7740193A JPH06283890A JP H06283890 A JPH06283890 A JP H06283890A JP 5077401 A JP5077401 A JP 5077401A JP 7740193 A JP7740193 A JP 7740193A JP H06283890 A JPH06283890 A JP H06283890A
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JP
Japan
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substrate
unit
board
positioning
transfer
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JP5077401A
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Inventor
Yoshiyuki Yanagisawa
喜行 柳澤
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 基板を高速で、かつ精度良く搬送できるよう
にして、生産性の向上並びに精度上の信頼性を向上させ
ることができるようにした基板搬送方式及びこれを用い
た基板搬送装置を提供する。 【構成】 基板位置決めユニット部6上のプリント基板
17をアンローダーユニット部7に搬送し、新たなプリ
ント基板17をローダーユニット部5から基板位置決め
ユニット部6に搬送するものであって、ローダーユニッ
ト部5から基板位置決めユニット部6を通ってアンロー
ダーユニット部7に至る経路で形成されるプリント基板
17の搬送路を略同一高さに設定するとともに、アンロ
ーダーユニット部7とローダーユニット部5が上下方向
には動かないように設定し、かつプリント基板17を水
平方向に移動させて、水平方向移動だけで順次搬送でき
るようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、基板搬送方式及びこれ
を用いた基板搬送装置に係り、さらに詳しくは例えば電
子部品装着機等でプリント基板を部品装着部に順次搬送
並びに排出して、プリント基板の入れ替えを行うための
基板搬送方式及びこれを用いた基板搬送装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】図16は、従来の基板搬送装置の基本構
成を示す概略外観斜視図で、図17は図16に示した同
上装置の内部における基本構成を示す概略外観斜視図で
ある。図16及び図17において、この基板搬送装置
は、スイッチ、IC、LSI等の電子部品をプリント基
板に装着するための装置を一例としており、大きくは全
体の操作をキー入力させるための部分を有した主操作部
101と、部品供給部102、メイン駆動部103、ロ
ータリー・ノズル部104、ローダーユニット部10
5、X−Y方向に移動調整可能なテーブル106a及び
このX−Yテーブル106a上に搭載されたバックアッ
プ106bとを有する基板位置決めユニット部106、
アンローダーユニット部107、主搬送ユニット部10
8、電装部109、架台部110等で構成されている。
【0003】図18及び図19は、上記基板位置決めユ
ニット部106における上記バックアップアップ106
bの一構成例を示す断面図である。図18及び図19に
おいて、このバックアップ106bは、エアシリンダ1
11の駆動で上下動される昇降プレート112をハウジ
ング113内に備えている。
【0004】さらに詳述すると、ハウジング113の内
面には、上部ガイドレール114、下部ガイドレール1
15、ストッパー116等が左右両側にそれぞれ配設さ
れている。また、各下部ガイドレール115は、上部ガ
イドレール114とストッパー116とで規制される範
囲内で上下方向に移動可能になっており、この移動は昇
降プレート112で制御される構造になっている。
【0005】そして、ハウジング113内において、下
部ガイドレール115がストッパー116に規制される
まで下方に移動されているときには、上部ガイドレール
114と下部ガイドレール115との間にはプリント基
板117の厚みよりも十分大きな隙間を確保したレール
溝118(図19参照)が形成され、逆にプリント基板
117を挟んで上部ガイドレール114と当接されて規
制されるまで上方へ移動されると、プリント基板117
を上部ガイドレール114との間に挟んで保持できる構
造になっている。
【0006】一方、昇降プレート112には、位置決め
ピン119と、この位置決めピン119よりも短いバッ
クアップピン120が上方に向かって突出された状態で
複数配設されている。なお、このうち位置決めピン11
9は、プリント基板117に上下に貫通して形成されて
いる位置決め孔117aに対応し、かつ外径を位置決め
孔117aの内径と一致させて、密着した状態で差込み
可能に設けられている。
【0007】そして、このように構成されているバック
アップ106bは、基板位置決めユニット部106にプ
リント基板117を供給及び排出するとき、昇降プレー
ト112がエアシリンダ111により下方に引かれて、
下部ガイドレール115がストッパー116に規制され
るまで下方に移動し、上部ガイドレール114と下部ガ
イドレール115との間にプリント基板117の厚みよ
りも十分大きな隙間を確保したレール溝118が形成さ
れる。また、この状態では、レール溝118にプリント
基板117をスライドさせて装着及び排出を行うことが
できる(図19参照)。
【0008】さらに、プリント基板117がレール溝1
18に装着されている状態で、昇降プレート112がエ
アシリンダ111により押し上げられると、まず位置決
めピン119がプリント基板117の位置決め孔117
aに挿入されて、位置決めピン119に対するプリント
基板117の位置決めがなされる。続いて、昇降プレー
ト112が下部ガイドレール115の下面に当接され、
これと同時にバックアップピン120もプリント基板1
17の下面に当接する。さらに、昇降プレート112が
上昇されると、以後はバックアップピン120がプリン
ト基板117を押し上げるとともに、昇降プレート11
2が下部ガイドレール115を押し上げながら移動す
る。また、下部ガイドレール115が上部ガイドレール
114にプリント基板117を介して当接されると、上
部ガイドレール114と下部ガイドレール115との間
にプリント基板117が強く挟まれて保持される(図1
8参照)。そして、電子部品をプリント基板117に装
着する場合は、この状態でX−Yテーブル106aによ
りバックアップ106bをX,Y軸方向に動かしなが
ら、プリント基板117の所定の位置に対して電子部品
の装着を行う。
【0009】また、所定の電子部品を装着した後は、エ
アシリンダ111により昇降プレート112が再び下方
に引かれる。すると、上部ガイドレール114と下部ガ
イドレール115との間に再び大きな隙間を確保したレ
ール溝118が形成され、プリント基板117の装着及
び排出が可能になる。
【0010】図20及び図21は図16及び図17に示
した従来の基板搬送装置の配置構成を模式的に示すもの
で、図20はその側面図、図21はその上面図である。
また、図22は図16及び図17に示した上記基板搬送
装置における基板搬送動作手順を示すフローチャートで
ある。そこで、図16及び図17に示す基板搬送装置の
細部構造とその動作を、図20及び図21に示す模式図
並びに図22に示すフローチャートと共にさらに説明す
る。
【0011】まず、前工程においてクリーム半田印刷ま
たは接着剤が塗布されたプリント基板117がローダー
ユニット部105に搬送されて来ると、このプリント基
板117がセンサ121により検出される。すると、ロ
ーダーユニット部105のコンベアベルト122がモー
タ123により回転され、このコンベアベルト122に
よりプリント基板117が基板位置決めユニット部10
6側へセンサ124で検出されるまで送られて、ローダ
ーユニット部105に受け取られる。
【0012】また、プリント基板117がセンサ124
で検出されると、ローダーユニット部105上のコンベ
アベルト122を逆転させ、プリント基板117をセン
サ125で検出されるまで戻す。プリント基板117が
センサ125により検出されると、それまでプリント基
板117の通路上より逃がされていたストッパー126
が通路上に突出し、このストッパー126にプリント基
板117が当接して停止し、この位置で待機する。同時
にコンベアベルト122の回転も停止される。
【0013】一方、基板位置決めユニット部106側で
は、メイン駆動部103及びロータリー・ノズル部10
4によって部品供給部102より取り出された電子部品
をインデックス回転しながら装着方向に回転したり、画
像認識で角度補正及び位置補正の値を検出したり、部品
の厚みをチェックしたりしながらバックアップ106b
上まで搬送し、この電子部品をバックアップ106bに
セットされているプリント基板117に順次装着する。
【0014】そして、位置決めユニット部106側での
部品装着が終了すると、X−Yテーブル106aにより
バックアップ106bが原点(入れ替え位置)に移動
し、待機状態になる(ステップS101)。
【0015】次に、基板入れ替えの信号が入力されと、
エアシリンダ等の駆動によりプリント基板117を乗せ
たローダーユニット部105及びアンローダーユニット
部107のコンベアベルト122,127でなる各基板
搬送レールが、それぞれ基板位置決めユニット部106
のバックアップ106bのレール溝18と一致する高さ
になるまで円弧を描きながら下降する。これと同時に、
バックアップ106bのエアシリンダ111が駆動され
て昇降プレート112を下側に引き、既にバックアップ
106bにセットされて部品の装着が完了しているプリ
ント基板117の拘束を解き、このプリント基板117
がレール溝118内で自由に動き得る状態にする(ステ
ップS102)。
【0016】これから後は主搬送ユニット部108の動
作に移り、主搬送ユニット部108の基板プッシャー1
28が下降してローダーユニット部105側に待機して
いるプリント基板117及び基板位置決めユニット部1
06のバックアップ106b内に配置されているプリン
ト基板117に各々当接される。次いで、基板位置決め
ユニット部106側に主搬送ユニット部108が前進
し、このプリント基板117を基板位置決めユニット部
106のレール溝118内にセットすると同時に、レー
ル溝118内にセットされていたプリント基板117を
アンローダーユニット部107側へ排出する(ステップ
S103,S104)。なお、アンローダーユニット部
107側へ排出されたプリント基板117は、このアン
ローダーユニット部107のコンベアベルト127によ
って後工程側へ排出され、図示せぬ手段により処理され
る。
【0017】次いで、主搬送ユニット部108が、ロー
ダーユニット部105及びアンローダーユニット部10
7の各基板搬送レール(コンベアベルト122,12
7)が上昇するのに邪魔にならない位置まで上昇して逃
げる(ステップS105)。
【0018】続いて、ローダーユニット部105及びア
ンローダーユニット部107の各基板搬送レール(コン
ベアベルト122,127)が上昇する。同時に、既に
上昇し終えた主搬送ユニット部108が後退し待機位置
へ戻る。また、基板位置決めユニット部106内では、
バックアップ106bのエアシリンダ111が駆動され
て昇降プレート112を押し上げ、バックアップ106
b内のプリント基板117をレール溝18内に拘束する
(ステップS106)。
【0019】次いで、X−Yテーブル106aによりバ
ックアップ106bが予め決められている第1装着点へ
移動される(ステップS107)。そして、この第1装
着点よりプリント基板117をバックアップ106bと
共に予め決められた手順でX,Y軸方向に動かしなが
ら、メイン駆動部103及びロータリー・ノズル部10
4によって部品供給部102より取り出された電子部品
をプリント基板117に順次装着して行く。
【0020】また、この電子部品の装着と並行して、上
記ローダーユニット部105でのプリント基板117の
待機位置への搬送並びにアンローダーユニット部107
でのプリント基板117の排出が行われる。そして、位
置決めユニット部106でのプリント基板117への電
子部品の装着が終了すると、X−Yテーブル106aに
よりバックアップ106bが原点(入れ替え位置)に戻
され、繰り返しステップS101より同じ動作が行われ
る。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の基板搬送装置では、ローダーユニット部105とアン
ローダーユニット部107の各基板搬送レール(コンベ
アベルト122,127)が下降しながら基板位置決め
ユニット部106に近づき、主搬送ユニット部108に
よりプリント基板117の入れ替えを行うようにしてい
る。このため、次の(1)〜(3)のような問題点があ
った。 (1)部品の装着が済んだプリント基板117が排出さ
れるアンローダーユニット部107の基板搬送レールが
上下動するので振動が発生し易い。そこで、装着済みの
部品が位置ずれを起こさないようにするのに動きを緩や
かにする必要があり、タクトタイムの短縮を図るのが難
しく、生産性が悪い。 (2)ローダーユニット部105及びアンローダーユニ
ット部107の各基板搬送レールが上昇しないと基板位
置決めユニット部106のX−Yテーブル106a及び
バックアップ106bは移動できないので、タクトタイ
ムの短縮を図るのが難しく、生産性が悪い。 (3)ローダーユニット部107及びアンローダーユニ
ット部108が上下動作をするので、調整不良やストッ
パーの摩耗等により、各基板搬送レール面の高さがバッ
クアップ106bのレール溝118に対して変化し、各
部でプリント基板117がスムースに移動されず、この
結果、搬送不良を起こし易く、精度上での信頼性が乏し
い。
【0022】また、上述した従来の基板搬送装置では、
ローダーユニット部105とアンローダーユニット部1
07は、各基板搬送レール(コンベアベルト122,1
27)が円弧を描きながら上下方向(略Z軸方向)に移
動して基板位置決めユニット部106に対して位置を変
えるようにしていて、X−Y方向には固定になってい
る。したがって、プリント基板117の入れ替えの際、
基板位置決めユニット部106のバックアップ106b
は必ず基板入れ替え位置まで移動し、プリント基板11
7を入れ替えた後、第1装着点へ移動しなければならな
い。このため、時間的なロスが存在し、生産性が悪いと
言う問題点があった。
【0023】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的は基板を高速で、かつ精度良く搬送
できるようにして、生産性の向上並びに精度上の信頼性
を向上させることができるようにした基板搬送方式を提
供することにある。
【0024】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、基板位置決め部上の基板を基板排出部に搬送
し、新たな基板を基板供給部から前記基板位置決め部に
搬送する基板搬送方式において、前記基板供給部から前
記基板位置決め部を通って前記基板排出部に至る経路で
形成される前記基板の搬送路を略同一高さに設定し、前
記基板を水平方向に移動させて順次搬送するようにした
ものである。また、前記基板排出部の搬送路を基板位置
決め部に対して水平方向に移動可能に設け、前記基板が
前記基板位置決め部より前記基板排出部に搬送されると
きに前記基板排出部が前記基板位置決め部に近づけるよ
うにすることもできる。さらに、前記基板としてプリン
ト配線基板を使用し、前記基板位置決め部で前記プリン
ト配線基板に電子部品を実装するようにすることも可能
である。また、さらに基板位置決め部上の基板を基板排
出部に搬送し、新たな基板を基板供給部から前記基板位
置決め部に搬送する基板搬送装置において、前記基板供
給部内の基板搬送路と前記基板位置決め部内の基板搬送
路と前記基板排出部内の基板搬送路とを略同一高さに設
けるとともに、前記基板を前記基板搬送路内を順次水平
方向に移動させて前記基板位置決め部内での前記基板の
入れ替えを行う主搬送部を設けた構成にしても上記目的
を達成することができる。
【0025】
【作用】請求項1乃至6に記載の発明によれば、基板を
基板供給部から基板位置決め部に供給搬送するとき、及
び基板位置決め部から基板排出部へ排出搬送するとき、
基板を水平移動させるだけで搬送することができ、従来
装置のように基板供給部(ローダーユニット部)及び基
板排出部(アンローダーユニット部)の各基板搬送レー
ルを上下動させることがないので、搬送時に振動が発生
するのが抑えられる。これにより、比較的早い速度で搬
送を行わせても搬送装着済みの部品が位置ずれを起こす
のを少なくすることができるので、搬送速度を上げるこ
とが可能になる。また、基板供給部及び基板排出部の上
下動作がないので、従来方式の装置のように、調整不良
やストッパーの摩耗等により各基板搬送レール面の高さ
が変化し、各部でプリント基板がスムースに移動されず
に搬送不良を起こすようなことがなくなる。
【0026】さらに、請求項7乃至13に記載の発明に
よれば、基板位置決め部を基板入れ替え位置までその都
度移動させなくて良いので、時間的ロスを無くして搬送
速度を上げることが可能になる。
【0027】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を用いて
詳細に説明する。図4は、本発明の一実施例に係る基板
搬送装置の基本構成を示す概略外観斜視図で、図5は図
4に示した同上装置の内部における基本構成を示す概略
外観斜視図である。図4及び図5において、この基板搬
送装置は、スイッチ、IC、LSI等の電子部品をプリ
ント基板に装着するための装置を一例としており、大き
くは全体の操作をキー入力させるための部分を有した主
操作部1と、部品供給部2、メイン駆動部3、ロータリ
ー・ノズル部4、ローダーユニット部5、X−Y方向に
移動調整可能なテーブル6a及びこのX−Yテーブル6
a上に搭載されたバックアップ6bとを有する基板位置
決めユニット部6、アンローダーユニット部7、主搬送
ユニット部8、電装部9、架台部10等で構成されてい
る。なお、ここでのX−Yテーブルとは、直線運動をす
るためのガイドと、ボールネジと、モータまたはエアシ
リンダ等の駆動源によって任意のストローク、または一
定のストローク、X軸及びY軸方向に移動できる構造を
意味するものである。
【0028】図6及び図7は、上記基板位置決めユニッ
ト部6における上記バックアップアップ6bの一構成例
を示す断面図である。図6及び図7において、このバッ
クアップ6bは、エアシリンダ11の駆動で上下動され
る昇降プレート12をハウジング13内に備えている。
【0029】さらに詳述すると、ハウジング13の内面
には、上部ガイドレール14、下部ガイドレール15、
ストッパー16等が左右両側にそれぞれ配設されてい
る。また、各下部ガイドレール15は、上部ガイドレー
ル14とストッパー16とで規制される範囲内で上下方
向に移動可能になっており、この移動は昇降プレート1
2で制御される構造になっている。
【0030】そして、ハウジング13内において、下部
ガイドレール15がストッパー16に規制されるまで下
方に移動されているときには、上部ガイドレール14と
下部ガイドレール15との間にはプリント基板17の厚
みよりも十分大きな隙間を確保したレール溝18(図7
参照)が形成され、逆にプリント基板17を挟んで上部
ガイドレール14と当接されて規制されるまで上方へ移
動されると、プリント基板17を上部ガイドレール14
との間に挟んで保持できる構造になっている。
【0031】一方、昇降プレート12には、位置決めピ
ン19と、この位置決めピン19よりも短いバックアッ
プピン20が上方に向かって突出された状態で複数配設
されている。なお、このうち位置決めピン19は、プリ
ント基板17に上下に貫通して形成されている位置決め
孔17aに対応し、かつ外径を位置決め孔17aの内径
と一致させて、密着した状態で差込み可能に設けられて
いる。
【0032】そして、このように構成されているバック
アップ6bは、基板位置決めユニット部6にプリント基
板17を供給及び排出するとき、昇降プレート12がエ
アシリンダ11により下方に引かれて、下部ガイドレー
ル15がストッパー16に規制されるまで下方に移動
し、上部ガイドレール14と下部ガイドレール15との
間にプリント基板17の厚みよりも十分大きな隙間を確
保したレール溝18が形成される。また、この状態で
は、レール溝18にプリント基板17をスライドさせて
装着及び排出を行うことができる(図7参照)。
【0033】さらに、プリント基板17がレール溝18
に装着されている状態で、昇降プレート12がエアシリ
ンダ11により押し上げられると、まず位置決めピン1
9がプリント基板17の位置決め孔17aに挿入され
て、位置決めピン19に対するプリント基板17の位置
決めがなされる。続いて、昇降プレート12が下部ガイ
ドレール15の下面に当接され、これと同時にバックア
ップピン20もプリント基板17の下面に当接する。さ
らに、昇降プレート12が上昇されると、以後はバック
アップピン20がプリント基板17を押し上げるととも
に、昇降プレート12が下部ガイドレール15を押し上
げながら移動する。また、下部ガイドレール15が上部
ガイドレール14にプリント基板17を介して当接され
ると、上部ガイドレール14と下部ガイドレール15と
の間にプリント基板17が強く挟まれて保持される(図
6参照)。そして、電子部品をプリント基板17に装着
する場合は、この状態でX−Yテーブル6aによりバッ
クアップ6bをX,Y軸方向に動かしながら、プリント
基板17の所定の位置に対して電子部品の装着を行う。
【0034】また、所定の電子部品を装着した後は、エ
アシリンダ11により昇降プレート12が再び下方に引
かれる。すると、上部ガイドレール14と下部ガイドレ
ール15との間に再び大きな隙間を確保したレール溝1
8が形成され、プリント基板17の装着及び排出が可能
になる。
【0035】図1及び図2は図4及び図5に示した本発
明の実施例に係る基板搬送装置の配置構成を模式的に示
すもので、図1はその側面図、図2はその上面図であ
る。また、図3は図1及び図2に示した上記基板搬送装
置における基板搬送動作手順を示すフローチャートであ
る。そこで、図4及び図5に示した基板搬送装置の細部
構造とその動作を、図1及び図2に示す模式図並びに図
3に示すフローチャートと共にさらに説明する。
【0036】まず、前工程においてクリーム半田印刷ま
たは接着剤が塗布されたプリント基板17がローダーユ
ニット部5に搬送されて来ると、このプリント基板17
がセンサ21により検出される。すると、ローダーユニ
ット部5のコンベアベルト22がモータ23により回転
され、このコンベアベルト22によりプリント基板17
が基板位置決めユニット部6側へセンサ24で検出され
るまで送られて、ローダーユニット部5に受け取られ
る。
【0037】また、プリント基板17がセンサ24で検
出されると、ローダーユニット部5上のコンベアベルト
22を逆転させ、プリント基板17をセンサ25で検出
されるまで戻す。プリント基板17がセンサ25により
検出されると、それまでプリント基板17の通路上より
逃がされていた図示せぬストッパーが通路上に突出し、
このストッパーにプリント基板17が当接して停止し、
この位置で待機する。同時にコンベアベルト22の回転
も停止される。
【0038】一方、基板位置決めユニット部6側では、
メイン駆動部3及びロータリー・ノズル部4によって部
品供給部2より取り出された電子部品をインデックス回
転しながら装着方向に回転したり、画像認識で角度補正
及び位置補正の値を検出したり、部品の厚みをチェック
したりしながらバックアップ6b上まで搬送し、この電
子部品をバックアップ6bにセットされているプリント
基板17に順次装着する。
【0039】そして、位置決めユニット部6側での部品
装着が終了すると、X−Yテーブル6aによりバックア
ップ6bが原点(入れ替え位置)に移動し、待機状態に
なる(ステップS1)。また、本実施例の装置では、プ
リント基板17が載置されるローダーユニット部4の基
板搬送レール(コンベアベルト22)により形成される
基板搬送路と及びアンローダーユニット部7の基板搬送
レール(コンベアベルト27)により形成される基板搬
送路は、基板位置決めユニット部6におけるバックアッ
プ6bのレール溝18により形成される基板搬送路の高
さと略同じ高さに設定されており、さらにアンローダー
ユニット部7の基板搬送レール(コンベアベルト27)
は基板位置決めユニット部6のバックアップ6bに対し
てX方向に往復水平移動し、近づいたり離れたりするこ
とができる構造になっている。
【0040】次に、基板入れ替えの信号が入力されと、
バックアップ6bのエアシリンダ11が駆動されて昇降
プレート12を下側に引き、既にバックアップ6bにセ
ットされて部品の装着が完了しているプリント基板17
の拘束を解き、このプリント基板17がレール溝18内
で自由に動き得る状態にする。同時に、アンローダーユ
ニット部7の基板搬送レール(コンベアベルト27)が
図1及び図2に実線で示す位置から基板位置決めユニッ
ト部6側に、バックアップ6bとの間に僅かな隙間を開
けて近づいた図2に点線で示す入れ替え位置まで水平に
移動する。加えて、主搬送ユニット部8の基板プレッシ
ャ28が下降してローダーユニット部5側に待機してい
るプリント基板17及び基板位置決めユニット部6のバ
ックアップ6b内に配置されているプリント基板17に
各々当接され、これから後は主搬送ユニット部8の動作
に移る(ステップS2)。
【0041】次いで、基板位置決めユニット部6側に主
搬送ユニット部8が前進し、ローダーユニット部5側に
待機していた新たなプリント基板17を基板位置決めユ
ニット部6のレール溝18内にセットすると同時に、今
までレール溝18内にセットされていたプリント基板1
7をアンローダーユニット部7側へ排出する(ステップ
S3)。
【0042】次いで、主搬送ユニット部8が上昇して、
アンローダーユニット部7及びバックアップ6bより離
れる方向に逃げる。また、アンローダーユニット部7の
基板搬送レール(コンベアベルト27)が図1及び図2
に点線で示す位置から基板位置決めユニット部6と離れ
て図1及び図2に実線で示す原位置まで水平に移動して
戻る。なお、このアンローダーユニット部7側へ排出さ
れたプリント基板17は、その後、このアンローダーユ
ニット部7のコンベアベルト27によって後工程側へ排
出され、図示せぬ手段により処理される。これと同時
に、基板位置決めユニット部6内では、バックアップ6
bのエアシリンダ11が駆動されて昇降プレート12を
押し上げ、バックアップ6b内のプリント基板17をレ
ール溝18内に拘束する(ステップS4)。
【0043】続いて、X−Yテーブル6aによりバック
アップ6bが予め決められている第1装着点へ移動さ
れ、この第1装着点よりプリント基板17を予め決めら
れた手順でバックアップ6bと共にX,Y軸方向に動か
し、メイン駆動部3及びロータリー・ノズル部4によっ
て部品供給部2より取り出された電子部品をプリント基
板17に順次装着して行く。同時に、上昇してアンロー
ダーユニット部7及びバックアップ6bより離れる方向
に逃げた主搬送ユニット部8が待機位置まで後退する
(ステップS5)。
【0044】また、この電子部品の装着と並行して、上
記ローダーユニット部5でのプリント基板17の待機位
置への搬送並びにアンローダーユニット部7でのプリン
ト基板17の排出が行われる。そして、位置決めユニッ
ト部6でのプリント基板17への電子部品の装着が終了
すると、X−Yテーブル6aによりバックアップ6bが
原点(ステップS1)に戻され、繰り返し同じ動作が行
われる。
【0045】したがって、この実施例における基板搬送
装置では、ローダーユニット部5から基板位置決めユニ
ット部6を通ってアンローダーユニット部7に至る経路
で形成されるプリント基板17の基板搬送路を略同一高
さに設定していて、プリント基板17をローダーユニッ
ト部7から基板位置決めユニット部6に供給搬送すると
き、及び基板位置決めユニット部6からアンローダーユ
ニット部7へ排出搬送するとき、水平移動だけを行わせ
て、従来装置のようにローダーユニット部及びアンロー
ダーユニット部の各基板搬送レールを上下動させること
がないので、搬送時に振動が発生するのが抑えられる。
【0046】これにより、比較的早い速度で搬送を行わ
せても装着済みの電子部品等が位置ずれを起こすのを少
なくすることができるので、搬送速度を上げることが可
能になり、タクトタイムの短縮が図れる。また、ローダ
ーユニット部5及びアンローダーユニット部6の上下動
作がないので、従来装置のように調整不良やストッパー
の摩耗等により、各基板搬送レール面の高さが変化し、
各部でプリント基板がスムースに移動されずに搬送不良
を起こすようなこともなくなる。
【0047】なお、第1の実施例の場合では、プリント
基板に電子部品を実装する場合について説明したが、電
子部品に限ることなく薄板状の基板に一般的な部品を装
着する基板入れ替え機構に用いても勿論差し支えないも
のである。
【0048】図8は、本発明の第2の実施例に係る基板
搬送装置の基本構成を示す概略外観斜視図で、図9は図
8に示した同上装置の内部における基本構成を示す概略
外観斜視図である。図8及び図9において、この基板搬
送装置は、スイッチ、IC、LSI等の電子部品をプリ
ント基板に装着するための装置を一例としており、大き
くは全体の操作をキー入力させるための部分を有した主
操作部51と、部品供給部52、メイン駆動部53、ロ
ータリー・ノズル部54、X−Y方向に移動可能なテー
ブル55a上に搭載されているローダーユニット部5
5、X−Y方向に移動調整可能なテーブル56a及びこ
のX−Yテーブル56a上に搭載されたバックアップ5
6bとを有する基板位置決めユニット部56、X−Y方
向に移動可能なテーブル57a上に搭載されているアン
ローダーユニット部57、主搬送ユニット部58、電装
部59、架台部60等で構成されている。
【0049】なお、ここでの各X−Yテーブル(55
a,56a,57a)も、直線運動をするためのガイド
と、ボールネジと、モータまたはエアシリンダ等の駆動
源によって任意のストローク、または一定のストロー
ク、X軸及びY軸方向に移動できる構造を意味するもの
である。
【0050】図10は基板搬送装置の主要部における制
御回路ブロック図である。この実施例では、ローダーユ
ニット部54及びアンローダーユニット部57が基板位
置決めユニット部56のバックアップ56bと同様に
X,Y軸方向に移動可能で、この移動を得るために基板
位置決めユニット部56はX−Yテーブル56aにより
バックアップ56bをX軸方向に往復移動させるための
サーボモータ86とY軸方向に往復移動させるためのサ
ーボモータ87とを備え、ローダーユニット部55はX
−Yテーブル55aをX軸方向に往復移動するためのサ
ーボモータ91とY軸方向に往復移動するためのサーボ
モータ92を、アンローダーユニット部57はX−Yテ
ーブル57aをX軸方向に往復移動させるためのサーボ
モータ95とY軸方向に往復移動するためのサーボモー
タ96とを備えている。
【0051】また、基板位置決めユニット部56の各サ
ーボモータ86,87はサーボドライバー85及びサー
ボコントローラ84,システムバス83を介してNCデ
ータのメモリ82及びマイクロ・プロセッシング・ユニ
ット(以下、「MPU」と言う)81に接続され、ロー
ダーユニット部55の各サーボモータ91,92はサー
ボドライバー90及びサーボコントローラ89,システ
ムバス83を介してメモリ82及びMPU81に、また
アンローダーユニット部57の各サーボモータ95,9
6はサーボドライバー94及びサーボコントローラ9
3,システムバス83を介してメモリ82及びMPU8
1に各々接続されている。
【0052】そして、この制御系で、MPU81は、プ
リント基板67に装着する電子部品の順番と位置を示す
NCデータを記憶しているメモリ82からの数値を計算
し、その結果をシステムバス83へ出力している。一
方、システムバス83では、このMPU81からの出力
が基板位置決めユニット部56,ローダーユニット部5
5,アンローダーユニット部57の何れに対応するもの
かを判断し、この出力を対応する基板位置決めユニット
部56のサーボコントローラ84、またはローダーユニ
ット部55のサーボコントローラ89、アンローダーユ
ニット部57のサーボコントローラ93へ流す。
【0053】また、サーボコントローラ84にシステム
バス83からの信号が入力された場合では、これがサー
ボドライバー85に送られる。そして、サーボドライバ
ー85では、サーボコントローラ84から送られてくる
数値に従ってサーボモータ86,87への回転量を指定
する信号を送る。すると、メモリ82の中に記憶されて
いるNCデータに従ってサーボモータ86,87が指定
量回転し、基板位置決めユニット部56のX−Yテーブ
ル56aを介してバックアップ56bをX,Y軸方向に
移動させて、これに搭載されているプリント基板67を
バックアップ56bと共にX,Y軸方向に順次位置決め
して、部品の装着を可能にする。
【0054】さらに、MPU81は、NCデータの最終
装着点の位置をプリント基板67に電子部品を装着して
いる作業中に計算し、ローダユニット部55とアンロー
ダーユニット部57の最適な位置を割り出し、システム
バス83を通して結果をそれぞれサーボコントローラ8
9及びサーボコントローラ93へ送る。すると、ローダ
ーユニット部55のサーボドライバー90ではサーボコ
ントローラ89から送られて来る数値にしたがってのサ
ーボモータ91,92への回転量を指定する信号を送る
とともに、アンローダーユニット部57のサーボドライ
バー94ではサーボコントローラ93から送られて来る
数値にしたがってのサーボモータ95,96への回転量
を指定する信号を送り、X−Yテーブル55a,57a
を各々制御する。これにより、ローダーユニット部55
及びアンローダーユニット部57は、X−Yテーブル5
5a,57aによりX,Y軸方向に移動調整され、最も
短時間でプリント基板67の入れ替え作業が可能なバッ
クアップ56bの最終移動位置に移動配置される。
【0055】図11及び図12は、上記基板位置決めユ
ニット部56における上記バックアップアップ56bの
一構成例を示す断面図である。図11及び図12におい
て、このバックアップ56bは、エアシリンダ61の駆
動で上下動される昇降プレート62をハウジング63内
に備えている。
【0056】さらに詳述すると、ハウジング63の内面
には、上部ガイドレール64、下部ガイドレール65、
ストッパー66等が左右両側にそれぞれ配設されてい
る。また、各下部ガイドレール65は、上部ガイドレー
ル64とストッパー66とで規制される範囲内で上下方
向に移動可能になっており、この移動は昇降プレート6
2で制御される構造になっている。
【0057】そして、ハウジング63内において、下部
ガイドレール65がストッパー66に規制されるまで下
方に移動されているときには、上部ガイドレール64と
下部ガイドレール65との間にはプリント基板67の厚
みよりも十分大きな隙間を確保したレール溝68(図1
2参照)が形成され、逆にプリント基板67を挟んで上
部ガイドレール64と当接されて規制されるまで上方へ
移動されると、プリント基板67を上部ガイドレール6
4との間に挟んで保持できる構造になっている。
【0058】一方、昇降プレート62には、位置決めピ
ン69と、この位置決めピン69よりも短いバックアッ
プピン70が上方に向かって突出された状態で複数配設
されている。なお、このうち位置決めピン69は、プリ
ント基板67に上下に貫通して形成されている位置決め
孔67aに対応し、かつ外径を位置決め孔67aの内径
と一致させて、密着した状態で差込み可能に設けられて
いる。
【0059】そして、このように構成されているバック
アップ56bは、基板位置決めユニット部56にプリン
ト基板67を供給及び排出するとき、昇降プレート62
がエアシリンダ61により下方に引かれて、下部ガイド
レール65がストッパー66に規制されるまで下方に移
動し、上部ガイドレール64と下部ガイドレール65と
の間にプリント基板67の厚みよりも十分大きな隙間を
確保したレール溝68が形成される。また、この状態で
は、レール溝68にプリント基板67をスライドさせて
装着及び排出を行うことができる(図12参照)。
【0060】さらに、プリント基板67がレール溝68
に装着されている状態で、昇降プレート62がエアシリ
ンダ61により押し上げられると、まず位置決めピン6
9がプリント基板67の位置決め孔67aに挿入され
て、位置決めピン69に対するプリント基板67の位置
決めがなされる。続いて、昇降プレート62が下部ガイ
ドレール65の下面に当接され、これと同時にバックア
ップピン70もプリント基板67の下面に当接する。さ
らに、昇降プレート62が上昇されると、以後はバック
アップピン70がプリント基板67を押し上げるととも
に、昇降プレート62が下部ガイドレール65を押し上
げながら移動する。また、下部ガイドレール65が上部
ガイドレール64にプリント基板67を介して当接され
ると、上部ガイドレール64と下部ガイドレール65と
の間にプリント基板67が強く挟まれて保持される(図
11参照)。そして、電子部品をプリント基板67に装
着する場合は、この状態でX−Yテーブル56aにより
バックアップ56bをX,Y軸方向に動かしながら、プ
リント基板67の所定の位置に対して電子部品の装着を
行う。
【0061】また、所定の電子部品を装着した後は、エ
アシリンダ61により昇降プレート62が再び下方に引
かれる。すると、上部ガイドレール64と下部ガイドレ
ール65との間に再び大きな隙間を確保したレール溝6
8が形成され、プリント基板67の装着及び排出が可能
になる。
【0062】図13及び図14は図8及び図9に示した
基板搬送装置の配置構成を模式的に示すもので、図13
はその側面図、図14はその上面図である。また、図1
5は図8及び図9に示した上記基板搬送装置における基
板搬送動作手順を示すフローチャートである。そこで、
図8及び図9に示す基板搬送装置の細部構造とその動作
を、図10に示す制御回路ブロック図と図13及び図1
4に示す模式図、並びに図15に示すフローチャートと
共にさらに説明する。
【0063】まず、前工程においてクリーム半田印刷ま
たは接着剤が塗布されたプリント基板67がローダーユ
ニット部55に搬送されて来ると、このプリント基板6
7がセンサ71により検出される。すると、ローダーユ
ニット部55のコンベアベルト72が図示せぬモータに
より回転され、このコンベアベルト72によりプリント
基板67が基板位置決めユニット部56側へセンサ74
で検出されるまで送られて、ローダーユニット部55に
受け取られる。
【0064】また、プリント基板67がセンサ74で検
出されると、ローダーユニット部55上のコンベアベル
ト72を逆転させ、プリント基板67をセンサ75で検
出されるまで戻す。プリント基板67がセンサ75によ
り検出されると、それまでプリント基板67の通路上よ
り逃がされていた図示せぬストッパーが通路上に突出
し、このストッパーにプリント基板67が当接して停止
し、この位置で待機する。同時にコンベアベルト72の
回転も停止される。
【0065】一方、基板位置決めユニット部56側で
は、メモリ82の中に記憶されているNCデータに従っ
てメイン駆動部53及びロータリー・ノズル部54が部
品供給部52より電子部品を取り出し、これをインデッ
クス回転しながら装着方向に回転したり、画像認識で角
度補正及び位置補正の値を検出したり、部品の厚みをチ
ェックしたりしながらバックアップ56b上まで搬送す
ると同時に、同じくメモリ82の中に記憶されているN
Cデータに従ってサーボモータ86,87が指定量回転
し、基板位置決めユニット部56のX−Yテーブル56
aによりバックアップ56bをX,Y軸方向に移動させ
て位置決めし、この電子部品をバックアップ56bにセ
ットされているプリント基板67に順次装着する。
【0066】そして、位置決めユニット部56側での部
品装着が終了すると、バックアップ56bはその最終装
着点の位置で停止し、待機状態になる(ステップS5
1)。
【0067】次に、基板入れ替えの信号が入力されと、
MPU81では、NCデータの最終装着点の位置をプリ
ント基板67に電子部品を装着している作業中に計算
し、ローダユニット部55とアンローダーユニット部5
7の最適な位置を割り出しているので、この結果がシス
テムバス83を通してそれぞれサーボコントローラ89
及びサーボコントローラ93へ送られ、この送られて来
る数値にしたがってローダーユニット部55及びアンロ
ーダーユニット部57がそれぞれX−Yテーブル55
a,57aの制御を介してプリント基板67の入れ替え
作業が可能な上記最終装着点と対応する位置に移動さ
れ、続いてプリント基板67を乗せたローダーユニット
部55及びアンローダーユニット部57のコンベアベル
ト72,77でなる各基板搬送レールが、それぞれ基板
位置決めユニット部56のバックアップ56bのレール
溝18と一致する高さになるまで円弧を描きながら下降
する。これと同時に、バックアップ56bのエアシリン
ダ61が駆動されて昇降プレート62を下側に引き、既
にバックアップ56bにセットされて部品の装着が完了
しているプリント基板67の拘束を解き、このプリント
基板67がレール溝68内で自由に動き得る状態にする
(ステップS51)。
【0068】これから後は主搬送ユニット部58の動作
に移り、主搬送ユニット部58の基板プレッシャ78が
下降してローダーユニット部55側に待機しているプリ
ント基板67及び基板位置決めユニット部56のバック
アップ56b内に配置されているプリント基板67に各
々当接される(ステップS52)。
【0069】次いで、基板位置決めユニット部56側に
主搬送ユニット部58が前進し、このプリント基板67
を基板位置決めユニット部56のレール溝68内にセッ
トすると同時に、レール溝68内にセットされていたプ
リント基板67をアンローダーユニット部57側へ排出
する(ステップS53)。
【0070】なお、アンローダーユニット部57側へ排
出されたプリント基板67は、このアンローダーユニッ
ト部57のコンベアベルト77によって後工程側へ排出
され、図示せぬ手段により処理される。
【0071】次いで、主搬送ユニット部58が、ローダ
ーユニット部55及びアンローダーユニット部57の各
基板搬送レール(コンベアベルト72,77)が上昇す
るのに邪魔にならない位置まで上昇して逃げる(ステッ
プS54)。
【0072】続いて、ローダーユニット部55及びアン
ローダーユニット部57の各基板搬送レール(コンベア
ベルト72,77)が上昇する。同時に、既に上昇し終
えた主搬送ユニット部58が後退し待機位置へ戻る。ま
た、基板位置決めユニット部56内では、バックアップ
56bのエアシリンダ61が駆動されて昇降プレート6
2を押し上げ、バックアップ56b内のプリント基板6
7をレール溝68内に拘束する(ステップS55)。
【0073】次いで、X−Yテーブル56aによりバッ
クアップ56bが、メモリ82の中に記憶されているN
Cデータに従ってサーボモータ86,87によってX,
Y軸方向に移動され、これに搭載されているプリント基
板67をX,Y軸方向に順次位置決めして、電子部品を
プリント基板67に装着して行く。
【0074】また、この電子部品の装着と並行して、上
記ローダーユニット部55でのプリント基板67の待機
位置への搬送並びにアンローダーユニット部57でのプ
リント基板67の排出が行われる。そして、位置決めユ
ニット部56でのプリント基板67への電子部品の装着
が終了すると、バックアップ56bがその最終装着点の
位置で停止し、待機状態になり、繰り返しステップS5
1より同じ動作が行われる。
【0075】したがって、この実施例の場合では、基板
位置決めユニット部56のバックアップ56bを決めら
れた基板入れ替え位置までその都度移動させずに、その
最終装着点の位置で停止し、次のプリント基板67の入
れ替えを行うことができる。これにより、時間的ロスを
無くして搬送速度を上げることが可能になり、タクトタ
イムの短縮が図れ、生産性も向上することになる。
【0076】なお、上記第2の実施例の構造のように、
テーブルとして、直線運動をするためのガイドとボール
ネジとモータまたはエアシリンダ等の駆動源によって任
意のストロークまたは一定のストローク移動できる構造
とした場合では、X−Yテーブル(55a,56a,5
7a)の構成をX軸方向に移動されるX方向テーブル
と、Y軸方向に移動されるY軸方向テーブルとに分け、
(1)エアシリンダーローダーユニット部(基板供給
部)55とアンローダーユニット部(基板排出部)57
の少なくとも一方をX方向テーブルに搭載した構成、
(2)ローダーユニット部55とアンローダーユニット
部57の少なくとも一方をY方向テーブルに搭載した構
成、(3)ローダーユニット部55とアンローダーユニ
ット部57を同一のX方向テーブルに搭載した構成、
(4)ローダーユニット部55とアンローダーユニット
部57を同一のY方向テーブルに搭載した構成、(5)
ローダーユニット部55とアンローダーユニット部57
を同一のX−Y方向テーブルに搭載した構成、の何れの
構造をとっても差し支えないものである。また、第2の
実施例の場合でも、プリント基板67に電子部品を実装
する場合について説明したが、電子部品に限ることなく
薄板状の基板に一般的な部品を装着する基板入れ替え機
構に用いても勿論差し支えないものである。
【0077】
【発明の効果】以上説明したとおり、請求項1乃至6に
記載の本発明によれば、基板を基板供給部から基板位置
決め部に供給搬送するとき、及び基板位置決め部から基
板排出部へ排出搬送するとき、基板を水平移動させるだ
けで搬送することができ、従来装置のように基板供給部
(ローダーユニット部)及び基板排出部(アンローダー
ユニット部)の各基板搬送レールを上下動させることが
ないので、搬送時に振動が発生するのが抑えられる。こ
れにより、比較的早い速度で搬送を行わせても搬送装着
済みの部品が位置ずれを起こすのを少なくすることがで
きるので、搬送速度を上げることが可能になり、タクト
タイムの短縮が図れ、生産性の向上が期待できる。ま
た、基板供給部及び基板排出部の上下動作がないので、
従来方式の装置のように調整不良やストッパーの摩耗等
により、各基板搬送レール面の高さが変化し、各部でプ
リント基板がスムースに移動されずに搬送不良を起こす
ようなことがなくなり、精度上での信頼性が向上する。
【0078】さらに、請求項7乃至13に記載の本発明
によれば、基板位置決め部を基板入れ替え位置までその
都度移動させなくて良いので、時間的ロスを無くして搬
送速度を上げることが可能になり、タクトタイムの短縮
が図れ、生産性の向上が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に係る基板搬送装置の配
置構成を模式的に示す側面図である。
【図2】図1に示した同上基板搬送装置の上面図であ
る。
【図3】第1の実施例に係る同上装置の基板搬送手順を
示すフローチャートである。
【図4】第1の実施例に係る同上装置の基本構成を示す
概略外観斜視図である。
【図5】第1の実施例に係る同上装置の内部における基
本構成を示す概略外観斜視図である。
【図6】第1の実施例に係る同上装置のバックアップの
構成を示す概略断面図である。
【図7】第1の実施例に係る同上装置のバックアップの
構成を示す概略断面図である。
【図8】本発明の第2の実施例に係る同上装置の基本構
成を示す概略外観斜視図である。
【図9】第2の実施例に係る同上装置の内部における基
本構成を示す概略外観斜視図である。
【図10】第2の実施例に係る同上装置の主要部におけ
る制御回路ブロック図である。
【図11】第2の実施例に係る同上装置のバックアップ
の構成を示す概略断面図である。
【図12】第2の実施例に係る同上装置のバックアップ
の構成を示す概略断面図である。
【図13】第2の実施例に係る同上装置の配置構成を模
式的に示す側面図である。
【図14】図11に示した同上装置の上面図である。
【図15】第2の実施例に係る同上装置の基板搬送手順
を示すフローチャートである。
【図16】従来の基板搬送装置の基本構成を示す概略外
観斜視図である。
【図17】従来の同上装置の内部における基本構成を示
す概略外観斜視図である。
【図18】従来の同上装置のバックアップの構成を示す
概略断面図である。
【図19】従来の同上装置のバックアップの構成を示す
概略断面図である。
【図20】従来の同上装置の配置構成を模式的に示す側
面図である。
【図21】図20に示した同上装置の上面図である。
【図22】従来の同上装置の基板搬送手順を示すフロー
チャートである。
【符号の説明】
5 ローダーユニット部(基板供給部) 6 基板位置決めユニット部(基板位置決め部) 6a X−Yテーブル 6b バックアップ 7 アンローダーユニット部(部品排出部) 8 主搬送ユニット部(主搬送部) 17 プリント基板 55 ローダーユニット部(基板供給部) 55a X−Yテーブル 56 基板位置決めユニット部(基板位置決め部) 56a X−Yテーブル 56b バックアップ 57 アンローダーユニット部(部品排出部) 57a X−Yテーブル 58 主搬送ユニット部(主搬送部) 67 プリント基板 81 マイクロ・プロセッサ・ユニット 82 メモリ 83 システムバス

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板位置決め部上の基板を基板排出部に
    搬送し、新たな基板を基板供給部から前記基板位置決め
    部に搬送する基板搬送方式において、 前記基板供給部から前記基板位置決め部を通って前記基
    板排出部に至る経路で形成される前記基板の搬送路を略
    同一高さに設定し、前記基板を水平方向に移動させて順
    次搬送するようにしたことを特徴とする基板搬送方式。
  2. 【請求項2】 前記基板排出部の搬送路を基板位置決め
    部に対して水平方向に移動可能に設け、前記基板が前記
    基板位置決め部より前記基板排出部に搬送されるときに
    前記基板排出部が前記基板位置決め部に近づけるように
    した請求項1に記載の基板搬送方式。
  3. 【請求項3】 前記基板の搬送としてプリント配線基板
    を使用し、前記基板位置決め部で前記プリント配線基板
    に電子部品を装着するようにした請求項1または2に記
    載の基板搬送方式。
  4. 【請求項4】 基板位置決め部上の基板を基板排出部に
    搬送し、新たな基板を基板供給部から前記基板位置決め
    部に搬送する基板搬送装置において、 前記基板供給部内の基板搬送路と前記基板位置決め部内
    の基板搬送路と前記基板排出部内の基板搬送路とを略同
    一高さに設けるとともに、前記基板を前記基板搬送路内
    を順次水平方向に移動させて前記基板位置決め部内での
    前記基板の入れ替えを行う主搬送部を設けたことを特徴
    とする基板搬送装置。
  5. 【請求項5】 前記基板排出部の搬送路を基板位置決め
    部に対して水平方向に移動可能に設け、前記基板が前記
    基板位置決め部より前記基板排出部に搬送されるときに
    前記基板排出部が前記基板位置決め部に近づけるように
    した請求項4に記載の基板搬送装置。
  6. 【請求項6】 前記基板の搬送としてプリント基板を使
    用し、前記基板位置決め部で前記プリント基板に電子部
    品を装着するようにした請求項4または5に記載の基板
    搬送装置。
  7. 【請求項7】 基板に装着される部品が供給される位置
    へ基板と共に移動される基板位置決め部上の前記基板を
    基板排出部に搬送し、新たな基板を基板供給部から前記
    基板位置決め部に搬送する基板搬送方式において、 前記基板位置決め部の最後の移動位置を認識し、前記基
    板供給部及び前記基板排出部を前記基板位置決め部と対
    応する位置へ移動させるようにした基板搬送方式。
  8. 【請求項8】 基板に装着される部品が供給される位置
    へ基板と共に移動される基板位置決め部上の前記基板を
    基板排出部に搬送し、新たな基板を基板供給部から前記
    基板位置決め部に搬送する基板搬送装置において、 前記基板位置決め部の最後の移動位置を認識する手段
    と、前記基板供給部及び前記基板排出部を前記基板位置
    決め部と対応する位置へ移動させる手段とを備えたこと
    を特徴とする基板搬送装置。
  9. 【請求項9】 前記基板位置決め部がX−Y方向に移動
    可能で、前記基板供給部と前記基板排出部の少なくとも
    一方をX方向テーブルに搭載した請求項8に記載の基板
    搬送装置。
  10. 【請求項10】 前記基板位置決め部がX−Y方向に移
    動可能で、前記基板供給部と前記基板排出部の少なくと
    も一方をY方向テーブルに搭載した請求項8に記載の基
    板搬送装置。
  11. 【請求項11】 前記基板位置決め部がX−Y方向に移
    動可能で、前記基板供給部と前記基板排出部とを同一の
    X方向テーブルに搭載した請求項8に記載の基板搬送装
    置。
  12. 【請求項12】 前記基板位置決め部がX−Y方向に移
    動可能で、前記基板供給部と前記基板排出部とを同一の
    Y方向テーブルに搭載した請求項8に記載の基板搬送装
    置。
  13. 【請求項13】 前記基板位置決め部がX−Y方向に移
    動可能で、前記基板供給部と前記基板排出部とを同一の
    Y−Yテーブルに搭載した請求項8に記載の基板搬送装
    置。
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