KR102360532B1 - 인덕터 및 인덕터 제조방법 - Google Patents

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신꼬오덴기 고교 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 코일부의 기생 저항을 저감한 인덕터를 제공한다.
본 발명의 인덕터는, 나선형 코일, 상기 나선형 코일의 일단측에 접속된 제1 전극 단자 및 상기 나선형 코일의 타단측에 접속된 제2 전극 단자를 구비한 코일 기판과, 상기 코일 기판을 선택적으로 피복하는, 자성체를 함유하는 밀봉 재료와, 상기 밀봉 재료의 외측에 형성되고, 상기 제1 전극 단자에 접속된 제1 외부 전극과, 상기 밀봉 재료의 외측에 형성되고, 상기 제2 전극 단자에 접속된 제2 외부 전극을 포함하는 인덕터로서, 상기 코일 기판은, 배선, 상기 배선과 동일한 층에 형성되어 상기 배선을 사이에 두고 대향 배치된 제1 접속부 및 제2 접속부를 포함하는 배선층을 구비한 구조체가 복수 개 적층된 적층체를 포함하고, 상기 나선형 코일은, 각각의 상기 구조체의 상기 배선끼리가 직렬로 접속되어 형성되며, 상기 제1 전극 단자는, 각각의 상기 구조체의 상기 제1 접속부끼리가 제1 비어 배선으로 접속되어 형성되고, 상기 제2 전극 단자는, 각각의 상기 구조체의 상기 제2 접속부끼리가 제2 비어 배선으로 접속되어 형성되어 있다.

Description

인덕터 및 인덕터 제조방법{INDUCTOR AND MANUFACTURING METHOD THEREOF}
본 발명은 인덕터 및 인덕터 제조방법에 관한 것이다.
근래에 게임기, 스마트폰 등 전자 기기의 소형화가 가속화되어, 이에 따라 이러한 전자 기기에 탑재되는 인덕터 등의 각종 소자에 대해서도 소형화가 요구되고 있다. 이러한 전자 기기에 탑재되는 인덕터에 있어서, 인덕터 내부에 설치된 코일부의 양단이 각각 외부 전극에 접속되어 기판 등에 장착할 수 있게 되어 있다(예를 들어, 특허문헌 13 참조).
일본국 특허공보 제5454712호 일본국 공개특허공보 특개2013-135220호 일본국 공개특허공보 특개2015-26812호
그러나, 종래의 인덕터에서는, 인덕터 내부에 설치된 코일부의 양단과 외부 전극의 접촉 면적이 작기 때문에, 코일부의 기생 저항(parasitic resistance)이 커져 버린다는 문제가 있었다.
본 발명은 상기 내용을 고려하여 이루어진 것으로서, 코일부의 기생 저항을 저감한 인덕터를 제공하는 것을 과제로 한다.
본 인덕터는, 나선형 코일, 상기 나선형 코일의 일단측에 접속된 제1 전극 단자, 및 상기 나선형 코일의 타단측에 접속된 제2 전극 단자를 구비한 코일 기판과, 상기 코일 기판을 선택적으로 피복하는, 자성체를 함유하는 밀봉 재료와, 상기 밀봉 재료의 외측에 형성되고, 상기 제1 전극 단자에 접속된 제1 외부 전극과, 상기 밀봉 재료의 외측에 형성되고, 상기 제2 전극 단자에 접속된 제2 외부 전극을 포함하는 인덕터로서, 상기 코일 기판은, 배선, 상기 배선과 동일한 층에 형성되어 상기 배선을 사이에 두고 대향 배치된 제1 접속부 및 제2 접속부를 포함하는 배선층을 구비한 구조체가 복수 개 적층된 적층체를 포함하고, 상기 나선형 코일은, 각각의 상기 구조체의 상기 배선끼리가 직렬로 접속되어 형성되며, 상기 제1 전극 단자는, 각각의 상기 구조체의 상기 제1 접속부끼리가 제1 비어 배선으로 접속되어 형성되고, 상기 제2 전극 단자는, 각각의 상기 구조체의 상기 제2 접속부끼리가 제2 비어 배선으로 접속되어 형성되어 있는 것을 요건으로 한다.
개시된 기술에 의하면, 코일부의 기생 저항을 저감한 인덕터를 제공할 수 있다.
도 1a~도 1c는 제1 실시형태에 따른 코일 기판을 예시하는 도면이다.
도 2는 제1 실시형태에 따른 코일 기판을 구성하는 각 구조체의 배선 형상을 모식적으로 예시하는 사시도이다.
도 3a~도 3b는 제1 실시형태에 따른 인덕터를 예시하는 도면이다.
도 4a~도 4b는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(1)이다.
도 5a~도 5b는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(2)이다.
도 6a~도 6b는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(3)이다.
도 7a~도 7c는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(4)이다.
도 8a~도 8c는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(5)이다.
도 9a~도 9c는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(6)이다.
도 10a~도 10b는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(7)이다.
도 11a~도 11c는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(8)이다.
도 12a~도 12c는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(9)이다.
도 13a~도 13c는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(10)이다.
도 14a~도 14c는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(11)이다.
도 15a~도 15b는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(12)이다.
도 16a~도 16c는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(13)이다.
도 17a~도 17b는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(14)이다.
도 18은 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(15)이다.
도 19는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(16)이다.
도 20은 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(17)이다.
도 21a~도 21c는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면(18)이다.
도 22a~도 22c는 제1 실시형태에 따른 인덕터의 제조 공정을 예시하는 도면이다.
도 23a~도 23b는 제1 실시형태의 변형예에 따른 인덕터를 예시하는 도면이다.
이하에서, 도면을 참조하여 본 발명을 실시하기 위한 형태에 대하여 설명한다. 한편, 각 도면에 있어서 동일한 구성 부분에는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명을 생략하는 경우가 있다.
<제1 실시형태>
[코일 기판의 구조]
우선, 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 구조에 대하여 설명한다. 도 1a~도 1c는 제1 실시형태에 따른 코일 기판을 예시하는 도면이다. 한편, 도 1c는 평면도이고, 도 1a는 도 1c의 A-A선을 따른 단면도이며, 도 1b는 도 1c의 B-B선을 따른 단면도이다. 도 2는 제1 실시형태에 따른 코일 기판을 구성하는 각 구조체의 배선 형상을 모식적으로 예시하는 사시도이다.
도 1a~도 1c 및 도 2을 참조하면, 코일 기판(1)은, 대략적으로, 제1 구조체(1A), 제2 구조체(1B), 제3 구조체(1C), 제4 구조체(1D), 제5 구조체(1E), 제6 구조체(1F), 제7 구조체(1G), 접착층(501 507), 절연층(70)을 가진다. 한편, 도 1c에서 절연층(207) 및 접착층(507)의 도시는 생략되어 있다. 또한, 도 1c에서는 편의상 일부 부위를 반점 모양으로 나타내고 있다.
또한, 이하의 설명에서는 편의상 제조 공정을 나타내는 도면을 참조하는 것으로 한다. 또한, 도 1a~도 1c에서는, 편의상 각 개구부의 부호를 생략하고, 편의상 제조 공정을 나타내는 도면에서의 부호를 참조하는 것으로 한다.
한편, 본 실시형태에서는, 편의상 접착층(507)쪽을 윗쪽 또는 한쪽, 절연층(201)쪽을 아랫쪽 또는 다른쪽이라고 한다. 또한, 각 부위의 접착층(507)쪽 면을 상면 또는 한쪽면, 절연층(201)쪽 면을 하면 또는 다른쪽면이라고 한다. 다만, 코일 기판(1)은 위아래 거꾸로의 형태로 사용할 수 있고, 또는 임의의 각도로 배치할 수 있다. 또한, 평면에서 보는 것이란, 대상물을 절연층(201) 한쪽면의 법선 방향에서 보는 것을 지칭하고, 평면 형상이란, 대상물을 절연층(201) 한쪽면의 법선 방향에서 본 형상을 지칭하는 것으로 한다.
코일 기판(1)의 평면 형상은, 예를 들어 코일 기판(1)을 이용하여 후술하는 인덕터(100,도 3a~도 3b 참조)를 제작하였을 때에, 인덕터(100)의 평면 형상이 1.6mm×0.8mm, 2.0mm×1.6mm 등의 대략 직사각형 형상으로 될 정도의 크기로 할 수 있다. 또는, 3.0mm×3.0mm 정도의 정사각형 형상으로 될 정도의 크기로 할 수도 있다. 코일 기판(1)의 두께는, 예를 들어 0.5mm 정도로 할 수 있다.
코일 기판(1)의 평면 형상(바깥 테두리)은, 단순한 직사각형 형상이 아니라, 코일 기판(1)을 구성하는 각 배선(제7 배선(307) 등)의 바깥 테두리에 가까운 평면 형상으로 되어 있다. 이것은 코일 기판(1)을 이용하여 후술하는 인덕터(100,도 3a~도 3b 참조)를 제작할 때에, 코일 기판(1)의 주위로부터 많은 밀봉 재료(110)를 형성하기 때문이다. 또한, 코일 기판(1)의 대략 중앙부에는 관통 구멍(1x)이 형성되어 있다. 이것도 마찬가지로, 코일 기판(1)을 이용하여 후술하는 인덕터(100,도 3a~도 3b 참조)를 제작할 때에, 코일 기판(1)의 주위로부터 많은 밀봉 재료(110)를 형성하기 때문이다. 밀봉 재료(110)로 예를 들어 금속 자성 분말 또는 페라이트 등의 자성체 필러를 함유하는 밀봉 재료를 사용하여, 관통 구멍(1x) 안을 포함하는 코일 기판(1)의 주위로부터 많은 부분을 밀봉함으로써, 인덕터(100)의 인덕턴스를 크게 할 수 있다. 금속 자성 분말의 조성은, 예를 들어, 철(Fe), 또는, 철(Fe)을 주성분으로 하며 규소(Si), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 코발트(Co) 중 2개 이상을 갖는 합금 성분으로 할 수 있다.
제1 구조체(1A)는, 절연층(201)과, 절연층(201)에 형성된 제1 배선(301), 접속부(351) 및 접속부(371)를 포함하는 1층째의 배선층(다른쪽의 최외(outermost) 배선층)과, 절연층(201)에 제1 배선(301), 접속부(351) 및 접속부(371)를 피복하여 형성된 절연층(401)을 구비한 구조체이다.
절연층(201)은 코일 기판(1)의 최외층(도 1a와 도 1b에서는 최하층)에 형성되어 있다. 절연층(201)의 재료로는, 예를 들어 에폭시계 절연성 수지 등을 이용할 수 있다. 절연층(201)의 두께는, 예를 들어 8~12㎛ 정도로 할 수 있다.
절연층(201)의 위에, 제1 배선(301)과 동일한 층에서 Y방향으로 제1 배선(301)을 사이에 두고 대향 배치된 접속부(351) 및 접속부(371)가 형성되어 있다. 접속부(351)는 제1 배선(301)에 전기적으로 접속되고, 접속부(371)는 제1 배선(301)에는 접속되어 있지 않다.
제1 배선(301), 접속부(351) 및 접속부(371)의 재료로는, 예를 들어 구리(Cu), 구리 합금 등을 이용할 수 있다. 제1 배선(301), 접속부(351) 및 접속부(371)의 두께는, 예를 들어 12~50㎛ 정도, 폭은, 예를 들어 50~130㎛ 정도로 할 수 있는데, 저저항화를 위해 두께 20㎛ 이상 폭 100㎛ 이상으로 하는 것이 바람직하다.
제1 배선(301)은 코일의 일부가 되는 1층째의 배선(약 1회 권취)인데, 도 2에 나타내는 방향에서 대략 타원형으로 패터닝되어 있다. 제1 배선(301)의 단변 방향 단면 형상은 대략 직사각형 형상으로 할 수 있다. 한편, 나사선에 따르는 방향(Y방향)을 장변 방향, 그에 수직하는 폭 방향(X방향)을 단변 방향이라 한다.
접속부(351)는, 제1 배선(301)이 연장되어서 형성된 것인데, 제1 배선(301)의 일단부에 일체로 형성되어 있다. 접속부(351)의 제1 배선(301)과는 반대쪽 측면은 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)에서 노출되어 있고, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제1 전극 단자(35TA)의 일부가 된다. 또한, 접속부(371)는 제1 배선(301)의 타단부 쪽에 소정의 간격을 두고 형성되어 있다. 접속부(371)의 제1 배선(301)과는 반대쪽 측면은 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)에서 노출되어 있고, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제2 전극 단자(37TA)의 일부가 된다.
절연층(401)은, 제1 배선(301), 접속부(351) 및 접속부(371)를 피복하도록, 절연층(201) 상에 형성되어 있다. 절연층(401)은 제1 배선(301)의 상면을 노출하는 개구부(도 5a~도 5b의 개구부 4011)를 구비하고, 개구부 내에는 비어 배선(601)의 일부가 충전(充塡)되어 제1 배선(301)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 절연층(401)은 접속부(351)의 상면을 노출하는 개구부(도 5a~도 5b의 개구부 4012)를 구비하고, 개구부 내에는 비어 배선(651)의 일부가 충전(充塡)되어 접속부(351)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 절연층(401)은 접속부(371)의 상면을 노출하는 개구부(도 5a~도 5b의 개구부 4013)를 구비하고, 개구부 내에는 비어 배선(671)의 일부가 충전(充塡)되어 접속부(371)에 전기적으로 접속되어 있다. 절연층(401)의 재료로는, 예를 들어 감광성의 에폭시계 절연성 수지 등을 이용할 수 있다. 절연층(401)의 두께(제1 배선(301)의 상면으로부터의 두께)는, 예를 들어 5~30㎛ 정도로 할 수 있고, 10㎛ 이하로 하면 더욱 바람직하다.
제2 구조체(1B)는 접착층(501)을 사이에 두고 제1 구조체(1A) 에 적층되어 있다. 제2 구조체(1B)는, 절연층(202)과, 절연층(202)에 형성된 제2 배선(302), 접속부(352) 및 접속부(372)를 포함하는 2층째의 배선층과, 절연층(202)에 제2 배선(302), 접속부(352) 및 접속부(372)를 피복하여 형성된 절연층(402)을 구비한 구조체를 상하 반전시킨 것이다.
접착층(501)으로는, 예를 들어 에폭시계 접착제 또는 폴리이미드계 접착제 등, 절연성 수지제의 내열성 접착제를 이용할 수 있다. 접착층(501)의 두께는, 예를 들어 10~40㎛ 정도로 할 수 있다. 한편, 절연층(20n, n은 2 이상의 자연수), 절연층(40n, n은 2 이상의 자연수) 및 접착층(50n, n은 2 이상의 자연수)의 형상, 두께, 재료 등은, 특별히 설명하지 않는 경우에는, 절연층(201), 절연층(401) 및 접착층(501)과 마찬가지이다.
한편, 절연층(20n)과 절연층(40n)은 편의상 별도의 부호로 하고 있으나, 양쪽 다 배선을 피복하는 졀연층으로서 기능한다. 또한, 접착층(50n)도 절연층으로서 기능한다. 그리하여, 절연층(20n)을 제1 절연층으로, 절연층(40n)을 제2 절연층으로, 접착층(50n)을 제3 절연층으로 칭하는 경우가 있다. 또한, 제1 절연층, 제2 절연층 및 제3 절연층을 특별히 구분할 필요가 없는 경우에는, 단순히 절연층이라 칭하는 경우가 있다.
절연층(절연층 20n, 절연층 40n, 접착층 50n) 중 적어도 하나는 탄성률이 3GPa 이상이고, 적어도 다른 하나는 탄성률이 3GPa 미만인 것이 바람직하다. 탄성률이 3GPa 이상인 절연층에 의한 고강성과, 탄성률이 3GPa 미만인 절연층에 의한 고밀착성에 의해, 전체로서 견고한 구조의 코일 기판(1)을 실현할 수 있기 때문이다. 예를 들어, 절연층(20n,40n)의 탄성률을 3GPa 미만, 접착층(50n)의 탄성률을 3GPa 이상으로 할 수 있다.
예를 들어, 후술하는 도 22a에 나타내는 공정에서 밀봉 재료(110)를 형성하는 경우, 자성체의 충전 밀도를 떨어뜨리지 않기 위하여 높은 압력이 필요하게 되는데, 코일 기판(1)을 견고한 구조로 함으로써 높은 압력하에서도 안정된 성형이 가능하게 된다. 그 결과, 높은 인덕턴스를 실현할 수 있다. 절연층의 탄성률은, 절연층을 구성하는 재료의 선택, 절연층을 구성하는 재료에 함유되는 충전제의 종류, 양에 의해 조정할 수 있다. 예를 들어, 충전제로서 실리카, 알루미나, 유리 분말 등의 무기 필러를 이용함으로써, 탄성률을 상승시킬 수 있다.
절연층(402)은 접착층(501) 상에 적층되어 있다. 제2 배선(302)은, 저면 및 측면이 절연층(402)에 의해 피복되고, 상면이 절연층(402)으로부터 노출되도록 형성되어 있다. 제2 배선(302)은, 코일의 일부가 되는 2층째의 배선(1회 권취의 약 3/4)이고, 도 2에 나타내는 방향으로 대략 반타원형의 일부를 이루도록 패터닝되어 있다. 제2 배선(302)의 단변 방향의 단면 형상은 대략 직사각형 형상으로 할 수 있다.
제2 배선(302)과 동일한 층에, Y방향으로 제2 배선(302)을 사이에 두고 대향 배치된 접속부(352) 및 접속부(372)가 형성되어 있다. 제2 배선(302), 접속부(352) 및 접속부(372)는 2층째의 배선층을 구성하고 있다.
접속부(352)는, 제2 배선(302)의 일단부 쪽에 소정 간격을 두고 형성되어 있어서, 제2 배선(302)에는 접속되어 있지 않다. 접속부(352)의 제2 배선(302)과는 반대쪽인 측면은 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)으로부터 노출되며, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제1 전극 단자(35TA)의 일부가 된다. 한편, 접속부(352)의 저면 및 노출부를 제외한 측면은 절연층(402)에 의해 피복되며, 상면은 절연층(402)으로부터 노출되어 있다.
또한, 접속부(372)는, 제2 배선(302)의 타단부 쪽에 소정 간격을 두고 형성되어 있어서, 제2 배선(302)에는 접속되어 있지 않다. 접속부(372)의 제2 배선(302)과는 반대쪽인 측면은 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)으로부터 노출되며, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제2 전극 단자(37TA)의 일부가 된다. 한편, 접속부(372)의 저면 및 노출부를 제외한 측면은 절연층(402)에 의해 피복되며, 상면은 절연층(402)으로부터 노출되어 있다.
제2 배선(302), 접속부(352) 및 접속부(372)의 재료, 두께 등은 제1 배선(301), 접속부(351) 및 접속부(371)와 마찬가지로 할 수 있다.
절연층(202)은 제2 배선(302) 상에, 접속부(352,372) 상에, 그리고 절연층(402) 상에 적층되어 있다. 절연층(202)은 제2 배선(302)의 상면, 접속부(352)의 상면, 그리고 접속부(372)의 상면을 피복하고 있다.
제2 구조체(1B)에는, 절연층(202), 제2 배선(302) 및 절연층(402)을 관통하는 개구부가 구비되고, 개구부의 아랫쪽은, 접착층(501)의 개구부 및 절연층(401)의 개구부에 연통되어 있다. 연통되는 개구부(도 7a~도 7c의 개구부 1025) 내에는 비어 배선(601)이 충전(充塡)되어 있다. 제2 배선(302)은 비어 배선(601)을 사이에 두고 제1 배선(301)에 직렬로 접속되어 있다. 또한, 제2 구조체(1B)에는, 절연층(202)을 관통하고 제2 배선(302)의 상면을 노출하는 개구부(도 7a~도 7c의 개구부 1021)가 구비되고, 개구부 내에는 비어 배선(602)이 충전되어 있다. 제2 배선(302)은 비어 배선(602)에 전기적으로 접속되어 있다.
또한, 절연층(202), 접속부(352) 및 절연층(402)을 관통하는 개구부가 구비되고, 개구부의 아랫쪽은 접착층(501)의 개구부 및 절연층(401)의 개구부에 연통하고 있다. 연통하는 개구부(도 7a~도 7c의 개구부 1026) 내에는 비어 배선(651)이 충전되어 있다. 접속부(352)는 비어 배선(651)을 사이에 두고 접속부(351)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 절연층(202), 접속부(372) 및 절연층(402)을 관통하는 개구부가 구비되고, 개구부의 아랫쪽은 접착층(501)의 개구부 및 절연층(401)의 개구부에 연통하고 있다. 연통하는 개구부(도 7a~도 7c의 개구부 1027) 내에는 비어 배선(671)이 충전되어 있다. 접속부(372)는 비어 배선(671)을 사이에 두고 접속부(371)에 전기적으로 접속되어 있다.
비어 배선(651)은 대략 반원 기둥 형상인데, 비어 배선(651)의 제2 배선(302)과는 반대쪽의 측면은, 평면 형상이며, 접속부(351,352)의 제2 배선(302)과는 반대쪽의 측면과 대략 동일 평면으로 되어 있다. 비어 배선(651)의 제2 배선(302)과는 반대쪽의 측면은 접속부(351,352)의 측면과 함께 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)에서 노출되는데, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제1 전극 단자(35TA)의 일부가 된다.
비어 배선(671)은 대략 반원 기둥 형상인데, 비어 배선(671)의 제2 배선(302)과는 반대쪽의 측면은, 평면 형상이며, 접속부(371,372)의 제2 배선(302)과는 반대쪽의 측면과 대략 동일 평면으로 되어 있다. 비어 배선(671)의 제2 배선(302)과는 반대쪽의 측면은 접속부(371,372)의 측면과 함께 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)에서 노출되는데, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제2 전극 단자(37TA)의 일부가 된다.
제3 구조체(1C)는 접착층(502)을 사이에 두고 제2 구조체(1B) 상에 적층되어 있다. 제3 구조체(1C)는, 절연층(203)과, 절연층(203) 상에 형성된 제3 배선(303), 접속부(353) 및 접속부(373)를 포함하는 3층째의 배선층과, 절연층(203) 상에 제3 배선(303), 접속부(353) 및 접속부(373)를 피복하여 형성된 절연층(403)을 구비한 구조체를 상하 반전시킨 것이다.
절연층(403)은 접착층(502) 상에 적층되어 있다. 제3 배선(303)은, 저면 및 측면이 절연층(403)에 의해 피복되고, 상면이 절연층(403)으로부터 노출되도록 형성되어 있다. 제3 배선(303)은, 코일의 일부가 되는 3층째의 배선(약 1회 권취)이고, 도 2에 나타내는 방향으로 대략 타원형으로 패터닝되어 있다. 제3 배선(303)의 단변 방향의 단면 형상은 대략 직사각형 형상으로 할 수 있다.
제3 배선(303)과 동일한 층에, Y방향으로 제3 배선(303)을 사이에 두고 대향 배치된 접속부(353)와 접속부(373)가 형성되어 있다. 제3 배선(303), 접속부(353) 및 접속부(373)는 3층째의 배선층을 구성하고 있다.
접속부(353)는, 제3 배선(303)의 일단부 쪽에 소정 간격을 두고 형성되어 있어서, 제3 배선(303)에는 접속되어 있지 않다. 접속부(353)의 제3 배선(303)과는 반대쪽인 측면은 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)으로부터 노출되며, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제1 전극 단자(35TA)의 일부가 된다. 한편, 접속부(353)의 저면 및 노출부를 제외한 측면은 절연층(403)에 의해 피복되며, 상면은 절연층(403)으로부터 노출되어 있다.
또한, 접속부(373)는, 제3 배선(303)의 타단부 쪽에 소정 간격을 두고 형성되어 있어서, 제3 배선(303)에는 접속되어 있지 않다. 접속부(373)의 제3 배선(303)과는 반대쪽인 측면은 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)으로부터 노출되며, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제2 전극 단자(37TA)의 일부가 된다. 한편, 접속부(373)의 저면 및 노출부를 제외한 측면은 절연층(403)에 의해 피복되며, 상면은 절연층(403)으로부터 노출되어 있다.
제3 배선(303), 접속부(353) 및 접속부(373)의 재료, 두께 등은 제1 배선(301), 접속부(351) 및 접속부(371)와 마찬가지로 할 수 있다.
절연층(203)은 제3 배선(303) 상에, 접속부(353,373) 상에, 그리고 절연층(403) 상에 적층되어 있다. 절연층(203)은 제3 배선(303)의 상면, 접속부(353)의 상면, 그리고 접속부(373)의 상면을 피복하고 있다.
제3 구조체(1C)에는, 절연층(203), 제3 배선(303) 및 절연층(403)을 관통하는 개구부가 구비되고, 개구부의 아랫쪽은, 접착층(501)의 개구부에 연통되어 있다. 연통되는 개구부(도 9a~도 9c의 개구부 1035) 내에는 비어 배선(603)이 충전되어 있다. 비어 배선(603)은 제2 구조체(1B)의 절연층(202)의 개구부에 형성된 비어 배선(602)에 전기적으로 접속되어 있다. 제3 배선(303)은 비어 배선(602,603)을 사이에 두고 제2 배선(302)에 직렬로 접속되어 있다. 또한, 제3 구조체(1C)에는, 절연층(203)을 관통하고 제3 배선(303)의 상면을 노출하는 개구부(도 8a~도 8c의 개구부 1031)가 구비되고, 개구부 내에는 비어 배선(604)이 충전되어 있다. 제3 배선(303)은 비어 배선(604)에 전기적으로 접속되어 있다.
또한, 절연층(203), 접속부(353) 및 절연층(403)을 관통하는 개구부가 구비되고, 개구부의 아랫쪽은 접착층(502)의 개구부에 연통하고 있다. 연통하는 개구부(도 9a~도 9c의 개구부 1036) 내에는 비어 배선(652)이 충전되어 있다. 접속부(353)는 비어 배선(652)을 사이에 두고 접속부(352)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 절연층(203), 접속부(373) 및 절연층(403)을 관통하는 개구부가 구비되고, 개구부의 아랫쪽은 접착층(502)의 개구부에 연통하고 있다. 연통하는 개구부(도 9a~도 9c의 개구부 1037) 내에는 비어 배선(672)이 충전되어 있다. 접속부(373)는 비어 배선(672)을 사이에 두고 접속부(372)에 전기적으로 접속되어 있다.
비어 배선(652)은 대략 반원 기둥 형상인데, 비어 배선(652)의 제3 배선(303)과는 반대쪽인 측면은, 평면 형상이며, 접속부(352,353)의 제3 배선(303)과는 반대쪽인 측면과 대략 동일 평면으로 되어 있다. 비어 배선(652)의 제3 배선(303)과는 반대쪽인 측면은 접속부(352,353)의 측면과 함께 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)에서 노출되는데, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제1 전극 단자(35TA)의 일부가 된다.
비어 배선(672)은 대략 반원 기둥 형상인데, 비어 배선(672)의 제3 배선(303)과는 반대쪽인 측면은, 평면 형상이며, 접속부(372,373)의 제3 배선(303)과는 반대쪽인 측면과 대략 동일 평면으로 되어 있다. 비어 배선(672)의 제3 배선(303)과는 반대쪽인 측면은 접속부(372,373)의 측면과 함께 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)에서 노출되는데, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제2 전극 단자(37TA)의 일부가 된다.
제4 구조체(1D)는 접착층(503)을 사이에 두고 제3 구조체(1C) 상에 적층되어 있다. 제4 구조체(1D)는, 절연층(204)과, 절연층(204) 상에 형성된 제4 배선(304), 접속부(354) 및 접속부(374)를 포함하는 4층째의 배선층과, 절연층(204) 상에 제4 배선(304), 접속부(354) 및 접속부(374)를 피복하여 형성된 절연층(404)을 구비한 구조체를 상하 반전시킨 것이다.
절연층(404)은 접착층(503) 상에 적층되어 있다. 제4 배선(304)은, 저면 및 측면이 절연층(404)에 의해 피복되고, 상면이 절연층(404)으로부터 노출되도록 형성되어 있다. 제4 배선(304)은, 코일의 일부가 되는 4층째의 배선(1회 권취의 약 3/4)이고, 도 2에 나타내는 방향으로 대략 반타원형의 일부를 이루도록 패터닝되어 있다.
제4 배선(304)과 동일한 층에, Y방향으로 제4 배선(304)을 사이에 두고 대향 배치된 접속부(354)와 접속부(374)가 형성되어 있다. 제4 배선(304), 접속부(354) 및 접속부(374)는 4층째의 배선층을 구성하고 있다.
접속부(354)는, 제4 배선(304)의 일단부 쪽에 소정 간격을 두고 형성되어 있어서, 제4 배선(304)에는 접속되어 있지 않다. 접속부(354)의 제4 배선(304)과는 반대쪽인 측면은 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)으로부터 노출되며, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제1 전극 단자(35TA)의 일부가 된다. 한편, 접속부(354)의 저면 및 노출부를 제외한 측면은 절연층(404)에 의해 피복되며, 상면은 절연층(404)으로부터 노출되어 있다.
또한, 접속부(374)는, 제4 배선(304)의 타단부 쪽에 소정 간격을 두고 형성되어 있어서, 제4 배선(304)에는 접속되어 있지 않다. 접속부(374)의 제4 배선(304)과는 반대쪽인 측면은 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)으로부터 노출되며, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제2 전극 단자(37TA)의 일부가 된다. 한편, 접속부(374)의 저면 및 노출부를 제외한 측면은 절연층(404)에 의해 피복되며, 상면은 절연층(404)으로부터 노출되어 있다.
제4 배선(304), 접속부(354) 및 접속부(374)의 재료, 두께 등은 제1 배선(301), 접속부(351) 및 접속부(371)와 마찬가지로 할 수 있다.
절연층(204)은 제4 배선(304) 상에, 접속부(354,374) 상에, 그리고 절연층(404) 상에 적층되어 있다. 절연층(204)은 제4 배선(304)의 상면, 접속부(354)의 상면, 그리고 접속부(374)의 상면을 피복하고 있다.
제4 구조체(1D)에는, 절연층(204), 제4 배선(304) 및 절연층(404)을 관통하고, 아랫쪽이 접착층(503)의 개구부에 연통되는 개구부가 구비되고, 연통되는 개구부(도 11a~도 11c의 개구부 1045) 내에는 비어 배선(605)이 충전되어 있다. 비어 배선(605)은 제3 구조체(1C)의 절연층(203)의 개구부에 형성된 비어 배선(604)에 전기적으로 접속되어 있다. 제4 배선(304)은 비어 배선(604,605)을 사이에 두고 제3 배선(303)에 직렬로 접속되어 있다. 또한, 제4 구조체(1D)에는, 절연층(204)을 관통하고 제4 배선(304)의 상면을 노출하는 개구부(도 11a~도 11c의 개구부 1041)가 구비되고, 개구부 내에는 비어 배선(606)이 충전되어 있다. 제4 배선(304)은 비어 배선(606)에 전기적으로 접속되어 있다.
또한, 절연층(204), 접속부(354) 및 절연층(404)을 관통하는 개구부가 구비되고, 개구부의 아랫쪽은 접착층(503)의 개구부에 연통하고 있다. 연통하는 개구부(도 11a~도 11c의 개구부 1046) 내에는 비어 배선(653)이 충전되어 있다. 접속부(354)는 비어 배선(653)을 사이에 두고 접속부(353)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 절연층(204), 접속부(374) 및 절연층(404)을 관통하는 개구부가 구비되고, 개구부의 아랫쪽은 접착층(503)의 개구부에 연통하고 있다. 연통하는 개구부(도 11a~도 11c의 개구부 1047) 내에는 비어 배선(673)이 충전되어 있다. 접속부(374)는 비어 배선(673)을 사이에 두고 접속부(373)에 전기적으로 접속되어 있다.
비어 배선(653)은 대략 반원 기둥 형상인데, 비어 배선(653)의 제4 배선(304)과는 반대쪽인 측면은, 평면 형상이며, 접속부(353,354)의 제4 배선(304)과는 반대쪽인 측면과 대략 동일 평면으로 되어 있다. 비어 배선(653)의 제4 배선(304)과는 반대쪽인 측면은 접속부(353,354)의 측면과 함께 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)에서 노출되는데, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제1 전극 단자(35TA)의 일부가 된다.
비어 배선(673)은 대략 반원 기둥 형상인데, 비어 배선(673)의 제4 배선(304)과는 반대쪽인 측면은, 평면 형상이며, 접속부(373,374)의 제4 배선(304)과는 반대쪽인 측면과 대략 동일 평면으로 되어 있다. 비어 배선(673)의 제4 배선(304)과는 반대쪽인 측면은 접속부(373,374)의 측면과 함께 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)에서 노출되는데, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제2 전극 단자(37TA)의 일부가 된다.
한편, 제4 구조체(1D)는 제2 구조체(1B)와 동일한 구조이고, 제2 구조체(1B)를 XY평면의 법선을 축으로 180° 회전시킨 것에 상당한다. 개구부(1041,1042)는 각각 개구부(1021,1022)에 대응한다.
제5 구조체(1E)는 접착층(504)을 사이에 두고 제4 구조체(1D) 상에 적층되어 있다. 제5 구조체(1E)는, 절연층(205)과, 절연층(205) 상에 형성된 제5 배선(305), 접속부(355) 및 접속부(375)를 포함하는 5층째의 배선층과, 절연층(205) 상에 제5 배선(305), 접속부(355) 및 접속부(375)를 피복하여 형성된 절연층(405)을 구비한 구조체를 상하 반전시킨 것이다.
절연층(405)은 접착층(504) 상에 적층되어 있다. 제5 배선(305)은, 저면 및 측면이 절연층(405)에 의해 피복되고, 상면이 절연층(405)으로부터 노출되도록 형성되어 있다. 제5 배선(305)은, 코일의 일부가 되는 5층째의 배선(약 1회 권취)이고, 도 2에 나타내는 방향으로 대략 타원형으로 패터닝되어 있다. 제5 배선(305)의 단변 방향의 단면 형상은 대략 직사각형 형상으로 할 수 있다.
제5 배선(305)과 동일한 층에, Y방향으로 제5 배선(305)을 사이에 두고 대향 배치된 접속부(355)와 접속부(375)가 형성되어 있다. 제5 배선(305), 접속부(355) 및 접속부(375)는 5층째의 배선층을 구성하고 있다.
접속부(355)는, 제5 배선(305)의 일단부 쪽에 소정 간격을 두고 형성되어 있어서, 제5 배선(305)에는 접속되어 있지 않다. 접속부(355)의 제5 배선(305)과는 반대쪽인 측면은 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)으로부터 노출되며, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제1 전극 단자(35TA)의 일부가 된다. 한편, 접속부(355)의 저면 및 노출부를 제외한 측면은 절연층(405)에 의해 피복되며, 상면은 절연층(405)으로부터 노출되어 있다.
또한, 접속부(375)는, 제5 배선(305)의 타단부 쪽에 소정 간격을 두고 형성되어 있어서, 제5 배선(305)에는 접속되어 있지 않다. 접속부(375)의 제5 배선(305)과는 반대쪽인 측면은 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)으로부터 노출되며, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제2 전극 단자(37TA)의 일부가 된다. 한편, 접속부(375)의 저면 및 노출부를 제외한 측면은 절연층(405)에 의해 피복되며, 상면은 절연층(405)으로부터 노출되어 있다.
제5 배선(305), 접속부(355) 및 접속부(375)의 재료, 두께 등은 제1 배선(301), 접속부(351) 및 접속부(371)와 마찬가지로 할 수 있다.
절연층(205)은 제5 배선(305) 상에, 접속부(355,375) 상에, 그리고 절연층(405) 상에 적층되어 있다. 절연층(205)은 제5 배선(305)의 상면, 접속부(355)의 상면, 그리고 접속부(375)의 상면을 피복하고 있다.
제5 구조체(1E)에는, 절연층(205), 제5 배선(305) 및 절연층(405)을 관통하고, 아랫쪽이 접착층(504)의 개구부에 연통되는 개구부가 구비되고, 연통되는 개구부(도 13a~도 13c의 개구부 1055) 내에는 비어 배선(607)이 충전되어 있다. 비어 배선(607)은 제4 구조체(1D)의 절연층(204)의 개구부에 형성된 비어 배선(606)에 전기적으로 접속되어 있다. 제5 배선(305)은 비어 배선(606,607)을 사이에 두고 제4 배선(304)에 직렬로 접속되어 있다. 또한, 제5 구조체(1E)에는, 절연층(205)을 관통하고 제5 배선(305)의 상면을 노출하는 개구부(도 12a~도 12c의 개구부 1051)가 구비되고, 개구부 내에는 비어 배선(608)이 충전되어 있다. 제5 배선(305)은 비어 배선(608)에 전기적으로 접속되어 있다.
또한, 절연층(205), 접속부(355) 및 절연층(405)을 관통하는 개구부가 구비되고, 개구부의 아랫쪽은 접착층(504)의 개구부에 연통하고 있다. 연통하는 개구부(도 13a~도 13c의 개구부 1056) 내에는 비어 배선(654)이 충전되어 있다. 접속부(355)는 비어 배선(654)을 사이에 두고 접속부(354)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 절연층(205), 접속부(375) 및 절연층(405)을 관통하는 개구부가 구비되고, 개구부의 아랫쪽은 접착층(504)의 개구부에 연통하고 있다. 연통하는 개구부(도 13a~도 13c의 개구부 1057) 내에는 비어 배선(674)이 충전되어 있다. 접속부(375)는 비어 배선(674)을 사이에 두고 접속부(374)에 전기적으로 접속되어 있다.
비어 배선(654)은 대략 반원 기둥 형상인데, 비어 배선(654)의 제5 배선(305)과는 반대쪽인 측면은, 평면 형상이며, 접속부(354,355)의 제5 배선(305)과는 반대쪽인 측면과 대략 동일 평면으로 되어 있다. 비어 배선(654)의 제5 배선(305)과는 반대쪽인 측면은 접속부(354,355)의 측면과 함께 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)에서 노출되는데, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제1 전극 단자(35TA)의 일부가 된다.
비어 배선(674)은 대략 반원 기둥 형상인데, 비어 배선(674)의 제5 배선(305)과는 반대쪽인 측면은, 평면 형상이며, 접속부(374,375)의 제5 배선(305)과는 반대쪽인 측면과 대략 동일 평면으로 되어 있다. 비어 배선(674)의 제5 배선(305)과는 반대쪽인 측면은 접속부(374,375)의 측면과 함께 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)에서 노출되는데, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제2 전극 단자(37TA)의 일부가 된다.
한편, 제5 구조체(1E)는 제3 구조체(1C)와 동일한 구조이고, 제3 구조체(1C)를 XY평면의 법선을 축으로 180° 회전시킨 것에 상당한다. 개구부(1051,1052)는 각각 개구부(1031,1032)에 대응한다.
제6 구조체(1F)는 접착층(505)을 사이에 두고 제5 구조체(1E) 상에 적층되어 있다. 제6 구조체(1F)는, 절연층(206)과, 절연층(206) 상에 형성된 제6 배선(306), 접속부(356) 및 접속부(376)를 포함하는 6층째의 배선층과, 절연층(206) 상에 제6 배선(306), 접속부(356) 및 접속부(376)를 피복하여 형성된 절연층(406)을 구비한 구조체를 상하 반전시킨 것이다.
절연층(406)은 접착층(505) 상에 적층되어 있다. 제6 배선(306)은, 저면 및 측면이 절연층(406)에 의해 피복되고, 상면이 절연층(406)으로부터 노출되도록 형성되어 있다. 제6 배선(306)은, 코일의 일부가 되는 6층째의 배선(1회 권취의 약 3/4)이고, 도 2에 나타내는 방향으로 대략 반타원형의 일부를 이루도록 패터닝되어 있다. 제6 배선(306)의 단변 방향의 단면 형상은 대략 직사각형 형상으로 할 수 있다.
제6 배선(306)과 동일한 층에, Y방향으로 제6 배선(306)을 사이에 두고 대향 배치된 접속부(356)와 접속부(376)가 형성되어 있다. 제6 배선(306), 접속부(356) 및 접속부(376)는 6층째의 배선층을 구성하고 있다.
접속부(356)는, 제6 배선(306)의 일단부 쪽에 소정 간격을 두고 형성되어 있어서, 제6 배선(306)에는 접속되어 있지 않다. 접속부(356)의 제6 배선(306)과는 반대쪽인 측면은 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)으로부터 노출되며, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제1 전극 단자(35TA)의 일부가 된다. 한편, 접속부(356)의 저면 및 노출부를 제외한 측면은 절연층(406)에 의해 피복되며, 상면은 절연층(406)으로부터 노출되어 있다.
또한, 접속부(376)는, 제6 배선(306)의 타단부 쪽에 소정 간격을 두고 형성되어 있어서, 제6 배선(306)에는 접속되어 있지 않다. 접속부(376)의 제6 배선(306)과는 반대쪽인 측면은 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)으로부터 노출되며, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제2 전극 단자(37TA)의 일부가 된다. 한편, 접속부(376)의 저면 및 노출부를 제외한 측면은 절연층(406)에 의해 피복되며, 상면은 절연층(406)으로부터 노출되어 있다.
제6 배선(306), 접속부(356) 및 접속부(376)의 재료, 두께 등은 제1 배선(301), 접속부(351) 및 접속부(371)와 마찬가지로 할 수 있다.
절연층(206)은 제6 배선(306) 상에, 접속부(356,376) 상에, 그리고 절연층(406) 상에 적층되어 있다. 절연층(206)은 제6 배선(306)의 상면, 접속부(356)의 상면, 그리고 접속부(376)의 상면을 피복하고 있다.
제6 구조체(1F)에는, 절연층(206), 제6 배선(306) 및 절연층(406)을 관통하고, 아랫쪽이 접착층(505)의 개구부에 연통되는 개구부가 구비되고, 연통되는 개구부(도 14a~도 14c의 개구부 1065) 내에는 비어 배선(609)이 충전되어 있다. 비어 배선(609)은 제5 구조체(1E)의 절연층(205)의 개구부에 형성된 비어 배선(608)에 전기적으로 접속되어 있다. 제6 배선(306)은 비어 배선(608,609)을 사이에 두고 제5 배선(305)에 직렬로 접속되어 있다. 또한, 제6 구조체(1F)에는, 절연층(206)을 관통하고 제6 배선(306)의 상면을 노출하는 개구부(도 14a~도 14c의 개구부 1061)가 구비되고, 개구부 내에는 비어 배선(6010)이 충전되어 있다. 제6 배선(306)은 비어 배선(6010)에 전기적으로 접속되어 있다.
또한, 절연층(206), 접속부(356) 및 절연층(406)을 관통하는 개구부가 구비되고, 개구부의 아랫쪽은 접착층(505)의 개구부에 연통하고 있다. 연통하는 개구부(도 14a~도 14c의 개구부 1066) 내에는 비어 배선(655)이 충전되어 있다. 접속부(356)는 비어 배선(655)을 사이에 두고 접속부(355)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 절연층(206), 접속부(376) 및 절연층(406)을 관통하는 개구부가 구비되고, 개구부의 아랫쪽은 접착층(505)의 개구부에 연통하고 있다. 연통하는 개구부(도 14a~도 14c의 개구부 1067) 내에는 비어 배선(675)이 충전되어 있다. 접속부(376)는 비어 배선(675)을 사이에 두고 접속부(375)에 전기적으로 접속되어 있다.
비어 배선(655)은 대략 반원 기둥 형상인데, 비어 배선(655)의 제6 배선(306)과는 반대쪽인 측면은, 평면 형상이며, 접속부(355,356)의 제6 배선(306)과는 반대쪽인 측면과 대략 동일 평면으로 되어 있다. 비어 배선(655)의 제6 배선(306)과는 반대쪽인 측면은 접속부(355,356)의 측면과 함께 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)에서 노출되는데, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제1 전극 단자(35TA)의 일부가 된다.
비어 배선(675)은 대략 반원 기둥 형상인데, 비어 배선(675)의 제6 배선(306)과는 반대쪽인 측면은, 평면 형상이며, 접속부(375,376)의 제6 배선(306)과는 반대쪽인 측면과 대략 동일 평면으로 되어 있다. 비어 배선(675)의 제6 배선(306)과는 반대쪽인 측면은 접속부(375,376)의 측면과 함께 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)에서 노출되는데, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제2 전극 단자(37TA)의 일부가 된다.
한편, 제6 구조체(1F)는 편의상 별도 부호로 하고 있으나 제2 구조체(1B)와 동일한 구조이고, 개구부(1061,1062)는 각각 개구부(1021,1022)에 대응한다.
제7 구조체(1G)는 접착층(506)을 사이에 두고 제6 구조체(1F) 상에 적층되어 있다. 제7 구조체(1G)는, 절연층(207)과, 절연층(207) 상에 형성된 제7 배선(307), 접속부(357) 및 접속부(377)를 포함하는 7층째의 배선층과, 절연층(207) 상에 제7 배선(307), 접속부(357) 및 접속부(377)를 피복하여 형성된 절연층(407)을 구비한 구조체를 상하 반전시킨 것이다.
절연층(407)은 접착층(506) 상에 적층되어 있다. 제7 배선(307)은, 저면 및 측면이 절연층(407)에 의해 피복되고, 상면이 절연층(407)으로부터 노출되도록 형성되어 있다. 제7 배선(307)은, 최상층의 배선이고, 도 2에 나타내는 방향으로 대략 타원형으로 패터닝되어 있다.
제7 배선(307)과 동일한 층에, Y방향으로 제7 배선(307)을 사이에 두고 대향 배치된 접속부(357)와 접속부(377)가 형성되어 있다. 제7 배선(307), 접속부(357) 및 접속부(377)는 7층째의 배선층을 구성하고 있다.
접속부(357)는, 제7 배선(307)의 일단부 쪽에 소정 간격을 두고 형성되어 있어서, 제7 배선(307)에는 접속되어 있지 않다. 접속부(357)의 제7 배선(307)과는 반대쪽인 측면은 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)으로부터 노출되며, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제1 전극 단자(35TA)의 일부가 된다. 한편, 접속부(357)의 저면 및 노출부를 제외한 측면은 절연층(407)에 의해 피복되며, 상면은 절연층(407)으로부터 노출되어 있다.
또한, 접속부(377)는 제7 배선(307)이 연장되어 형성된 것인데, 제7 배선(307)의 타단부에 일체적으로 형성되어 있다. 접속부(377)의 측면은 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)로부터 노출되며, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제2 전극 단자(37TA)의 일부가 된다. 한편, 접속부(377)의 저면 및 노출부를 제외한 측면은 절연층(407)에 의해 피복되며, 상면은 절연층(407)으로부터 노출되어 있다.
제7 배선(307), 접속부(357) 및 접속부(377)의 재료, 두께 등은 제1 배선(301), 접속부(351) 및 접속부(371)와 마찬가지로 할 수 있다.
절연층(207)은 제7 배선(307) 상에, 접속부(357,377) 상에, 그리고 절연층(407) 상에 적층되어 있다. 절연층(207)은 제7 배선(307)의 상면, 접속부(357)의 상면, 그리고 접속부(377)의 상면을 피복하고 있다.
제7 구조체(1G)에는, 절연층(207), 제7 배선(307) 및 절연층(407)을 관통하고, 아랫쪽이 접착층(506)의 개구부에 연통되는 개구부가 구비되고, 연통되는 개구부(도 16a~도 16c의 개구부 1075) 내에는 비어 배선(6011)이 충전되어 있다. 비어 배선(6011)은 제6 구조체(1F)의 절연층(206)의 개구부에 형성된 비어 배선(6010)에 전기적으로 접속되어 있다. 제7 배선(307)은 비어 배선(6010,6011)을 사이에 두고 제6 배선(306)에 직렬로 접속되어 있다. 이와 같이, 코일 기판(1)에서는 인접하는 구조체의 배선층을 구성하는 배선 끼리를 직렬로 접속하여, 접속부(351)로부터 접속부(377)에 이르는 나선형의 코일을 형성하고 있다.
또한, 절연층(207), 접속부(357) 및 절연층(407)을 관통하는 개구부가 구비되고, 개구부의 아랫쪽은 접착층(506)의 개구부에 연통하고 있다. 연통하는 개구부(도 16a~도 16c의 개구부 1076) 내에는 비어 배선(656)이 충전되어 있다. 접속부(357)는 비어 배선(656)을 사이에 두고 접속부(356)에 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 절연층(207), 접속부(377) 및 절연층(407)을 관통하는 개구부가 구비되고, 개구부의 아랫쪽은 접착층(506)의 개구부에 연통하고 있다. 연통하는 개구부(도 16a~도 16c의 개구부 1077) 내에는 비어 배선(676)이 충전되어 있다. 접속부(377)는 비어 배선(676)을 사이에 두고 접속부(376)에 전기적으로 접속되어 있다.
비어 배선(656)은 대략 반원 기둥 형상인데, 비어 배선(656)의 제7 배선(307)과는 반대쪽인 측면은, 평면 형상이며, 접속부(356,357)의 제7 배선(307)과는 반대쪽인 측면과 대략 동일 평면으로 되어 있다. 비어 배선(656)의 제7 배선(307)과는 반대쪽인 측면은 접속부(356,357)의 측면과 함께 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)에서 노출되는데, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제1 전극 단자(35TA)의 일부가 된다.
비어 배선(676)은 대략 반원 기둥 형상인데, 비어 배선(676)의 제7 배선(307)과는 반대쪽인 측면은, 평면 형상이며, 접속부(376,377)의 제7 배선(307)과는 반대쪽인 측면과 대략 동일 평면으로 되어 있다. 비어 배선(676)의 제7 배선(307)과는 반대쪽인 측면은 접속부(376,377)의 측면과 함께 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)에서 노출되는데, 노출부가 인덕터의 전극에 접속되는 제2 전극 단자(37TA)의 일부가 된다.
이와 같이, 코일 기판(1)에서는, 각 배선과 동일한 층에 있어서, 평면에서 보았을 때 대략 중복되는 위치에 접속부(351 357, 제1 접속부)를 구비하고 있다. 그리고, 접속부(351 357)를 비어 배선(651 656, 제1 비어 배선)을 사이에 두고 전기적으로 접속하여 제1 전극 단자(35TA)로 하여, 나선형 코일의 일단측에 접속하고 있다. 제1 전극 단자(35TA)의 각 구조체의 배선과는 반대쪽인 측면은, 대략 동일한 평면으로서 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)으로부터 노출되며, 노출면은 인덕터의 한쪽 전극에 접속될 수 있다.
또는, 각 배선과 동일한 층에 있어서, 평면에서 보았을 때 대략 중복되는 위치에 접속부(371 377, 제2 접속부)를 구비하고 있다. 그리고, 접속부(371 377)를 비어 배선(671 676, 제2 비어 배선)을 사이에 두고 전기적으로 접속하여 제2 전극 단자(37TA)로 하여, 나선형 코일의 타단측에 접속하고 있다. 제2 전극 단자(37TA)의 각 구조체의 배선과는 반대쪽인 측면은, 대략 동일한 평면으로서 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)으로부터 노출되며, 노출면은 인덕터의 다른쪽 전극에 접속될 수 있다.
접착층(507)은 제7 구조체(1G) 상에 적층되어 있다. 접착층(507)에 개구부는 형성되어 있지 않다. 즉, 제1 구조체(1A) 내지 제7 구조체(1G)가 적층된 적층체의 윗쪽은 절연층인 접착층(507)에 의해 피복되어 있어서, 도전체는 노출되고 있지 않다.
제1 구조체(1A) 내지 제7 구조체(1G)가 적층된 적층체에 있어서, 측면(1y,1z)을 제외한, 적층체의 외벽면(측벽), 관통 구멍(1x)의 내벽면에 노출되는 각 배선의 단면은 절연막(70)에 의해 피복되어 있다. 절연막(70)은, 적층체로부터 노출되는 각 배선의 단면이, 인덕터(100, 도 3a~도 3b 참조)를 제작했을 때에 밀봉 재료(110)에 함유되는 경우가 있는 도전체(자성체의 필러 등)와 단락되는 것을 방지하기 위해, 구비된다. 절연막(70)으로는, 예를 들어, 전착 레지스트를 이용할 수 있다. 절연막(70)의 두께는, 예를 들어 550㎛ 정도로 할 수 있는데, 10㎛ 이하로 하면 더욱 바람직하다. 다만, 절연막(70)으로서, 예를 들어, 에폭시계나 아크릴계의 절연성 수지 등을 사용할 수도 있다. 이 경우에는, 적층체의 외벽면(측벽), 접착층(507)의 상면 및 관통 구멍(1x)의 내벽면을 연속적으로 피복하는 절연막(70)이 형성된다.
도 3a~도 3b는 제1 실시형태에 따른 인덕터를 예시하는 도면인데, 그 중 도 3a는 단면도, 도 3b는 사시도이다. 도 3a~도 3b를 참조하면, 인덕터(100)는, 코일 기판(1)을 밀봉 재료(110)로 선택적으로 피복하고, 제1 외부 전극(120) 및 제2 외부 전극(130)을 형성한 칩 인덕터이다. 인덕터(100)의 평면 형상은, 예를 들어, 1.6mm×0.8mm, 2.0mm×1.6mm 등의 대략 직사각형 형상으로 할 수 있다. 또는, 3.0mm×3.0mm 정도의 정사각형 형상으로 할 수도 있다. 코일 기판(1)의 두께는, 예를 들어 0.5mm 정도로 할 수 있다.
인덕터(100)에서, 밀봉 재료(110)는, 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y) 및 다른쪽 측면(1z)을 제외한 부분을 밀봉하고 있다. 즉, 밀봉 재료(110)는, 코일 기판(1)의 제1 전극 단자(35TA) 측면 및 제2 전극 단자(37TA) 측면이 노출되는 면을 제외하고 코일 기판(1)을 피복하고 있다. 또한, 밀봉 재료(110)는 관통 구멍(1x) 안에도 형성되어 있다. 밀봉 재료(110)로는, 예를 들어, 금속 자성 분말 또는 페라이트 등의 자성체 필러를 함유하는 밀봉 재료를 사용할 수 있다. 그러한 밀봉 재료를 사용함으로써, 밀봉 재료(110) 자체가 자성체로서 기능한다. 자성체는 인덕터(100)의 인덕턴스를 크게 하는 기능을 가진다. 밀봉 재료(110)는, 자성체를 90~99wt% 함유하면 바람직하고, 95wt% 이상 함유하면 더욱 바람직하다.
이와 같이, 코일 기판(1)에는 관통 구멍(1x)이 형성되어 있고, 관통 구멍(1x)도 자성체를 90~99wt%, 더욱 바람직하게는 95wt% 이상 함유하는 밀봉 재료(110)로 충전되므로, 인덕턴스를 보다 향상시킬 수 있다. 관통 구멍(1x) 내에 페라이트 등의 자성체 코어를 배치하고, 코어를 포함하여 밀봉 재료(110)를 형성할 수도 있다. 코어의 형상은, 예를 들어 원기둥 형상, 직방체 형상 등으로 할 수 있다.
제1 외부 전극(120)은 밀봉 재료(110) 외측의 일단측에 형성되어 있다. 제1 외부 전극(120)의 내벽면은 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)으로부터 노출되는 제1 전극 단자(35TA) 측면의 전체면과 면끼리 접하여, 양쪽 면은 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 제1 외부 전극(120)은, 제1 전극 단자(35TA)의 측면에 형성됨과 동시에, 제1 전극 단자(35TA)의 측면으로부터 밀봉 재료(110) 일단측의 주위 네 면에 연속적으로 연장되어 형성되어 있다. 즉, 제1 외부 전극(120)은, 밀봉 재료(110) 외측의 일단측에서, 제1 전극 단자(35TA)가 노출되는 밀봉 재료(110)의 측면을 포함하는 밀봉 재료(110)의 다섯 면에 연속적으로 형성되어 있다.
제2 외부 전극(130)은 밀봉 재료(110) 외측의 타단측에 형성되어 있다. 제2 외부 전극(130)의 내벽면은 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)으로부터 노출되는 제2 전극 단자(37TA) 측면의 전체면과 면끼리 접하여, 양쪽 면은 전기적으로 접속되어 있다. 또한, 제2 외부 전극(130)은, 제2 전극 단자(37TA)의 측면에 형성됨과 동시에, 제2 전극 단자(37TA)의 측면으로부터 밀봉 재료(110) 타단측의 주위 네 면에 연속적으로 연장되어 형성되어 있다. 즉, 제2 외부 전극(130)은, 밀봉 재료(110) 외측의 타단측에서, 제2 전극 단자(37TA)가 노출되는 밀봉 재료(110)의 측면을 포함하는 밀봉 재료(110)의 다섯 면에 연속적으로 형성되어 있다.
제1 외부 전극(120) 및 제2 외부 전극(130)의 재료는 도전성이 양호한 것이 바람직한데, 예를 들어, 은(Ag), 니켈(Ni), 구리(Cu), 구리 합금 등을 사용할 수 있다. 한편, 제1 외부 전극(120) 및 제2 외부 전극(130)은 복수의 금속층을 적층한 구조일 수도 있다.
이와 같이, 인덕터(100)에서는, 코일 기판(1)의 제1 전극 단자(35TA)와 제1 외부 전극(120)이 면끼리 접촉하고, 제2전극 단자(37TA)와 제2 외부 전극(130)이 면끼리 접촉한다. 그리하여, 코일 기판(1)의 전극 단자와 인덕터의 외부 전극과의 접촉 면적을 종래보다 크게 하는 것이 가능해져서, 코일 기판(1)의 전극 단자와 인덕터의 외부 전극의 사이에서 발생하는 전기 저항을 작게 할 수 있다. 또한, 전극 단자와 외부 전극과의 접합부의 장기(長期) 신뢰성 향상을 기대할 수 있다.
[코일 기판의 제조방법]
이어서, 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조방법에 대해 설명한다. 도 4a 도 21c는 제1 실시형태에 따른 코일 기판의 제조 공정을 예시하는 도면이다. 우선, 도 4a~도 4b에 나타내는 공정에 대해 설명한다. 도 4a는 평면도이고, 도 4b는 도 4a의 하나의 개별 영역(C, 후술) 근방에 대한 도 4a의 YZ 평면에 평행한 방향의 단면을 나타내고 있다. 도 4에 나타내는 공정에서는, 우선, 기판(101, 제1 기판)으로서, 예를 들어, 릴 형상(테이프 형상)의 가소성을 가지는 절연 수지 필름을 준비한다.
그리고, 프레스 가공법 등에 의해, 기판(101)의 단변 방향(도면에서 종(Y)방향) 양단부에, 스프로켓 홀(10z)을, 기판(101)의 장변 방향(도면에서 횡(X)방향)을 따라 대략 일정한 간격으로 연속적으로 형성한다. 그 후, 스프로켓 홀(10z)이 형성된 기판(101)의 양단부를 제외한 영역에 있어서, 기판(101)의 한쪽면에 절연층(201) 및 금속박(3001)을 순차 적층한다. 구체적으로는, 예를 들어, 기판(101)의 한쪽면에 반경화 상태의 절연층(201) 및 금속박(3001)을 순차 적층하고 가열하여 반경화 상태의 절연층(201)을 경화시킨다.
스프로켓 홀(10z)이 형성된 기판(101)의 양단부 내측에서 점선으로 나타낸 복수의 영역(C)은, 최종적으로 점선을 따라 절단되어 개별 조각화되어, 각각이 코일 기판(1)이 되는 영역(이하, 개별 영역(C))이다. 복수의 개별 영역(C)은, 예를 들어, 종횡으로 배열할 수 있다. 그 때, 복수의 개별 영역(C)은, 도 4a에 나타내는 바와 같이 소정의 간격을 두고 배열될 수도 있고, 서로 접하도록 배열될 수도 있다. 또한, 개별 영역(C)의 갯수나 스프로켓 홀(10z)의 갯수는 임의로 결정할 수 있다. 한편, D는 후공정에서 릴 형상(테이프 형상)의 기판(101) 등을 절단하여 시트 형상으로 하기 위한 절단 위치(이하, 절단 위치(D))를 나타내고 있다.
기판(101)으로는, 예를 들어, 폴리페닐렌설파이드필름, 폴리이미드필름, 폴리에틸렌나프탈레이트필름 등을 사용할 수 있다. 기판(101)의 두께는, 예를 들어, 50~75㎛ 정도로 할 수 있다.
절연층(201)으로는, 예를 들어, 필름 형상의 에폭시계 절연성 수지 등을 사용할 수 있다. 아니면, 절연층(201)으로서, 액상 또는 페이스트상의 에폭시계 절연성 수지 등을 사용할 수도 있다. 절연층(201)의 두께는, 예를 들어, 8~12㎛ 정도로 할 수 있다. 금속박(3001)은, 패터닝되어 금속박(30111), 접속부(351) 및 접속부(371)로 되는 부위인데, 예를 들어, 동박(銅箔)을 사용할 수 있다. 금속박(3001)의 두께는, 예를 들어 12~80㎛ 정도로 할 수 있다.
한편, 스프로켓 홀(10z)은, 코일 기판(1)을 제작하는 과정에서, 기판(101)이 각종 제조 장치 등에 장착되었을 때에 모터 등에 의해 구동되는 스프로켓의 핀에 맞물려, 기판(101)을 피치 이송하기 위한 관통 구멍이다. 기판(101)의 폭(스프로켓 홀(10z)의 배열 방향에 수직인 방향(Y방향))은 기판(101)이 장착되는 제조 장치에 대응하도록 결정된다.
기판(101)의 폭은, 예를 들어, 40~90㎜ 정도로 할 수 있다. 한편, 기판(101)의 길이(스프로켓 홀(10z)의 배열 방향(X방향))는 임의로 결정할 수 있다. 도 4a에서는, 개별 영역(C)이 5행10열로 되어 있다. 그러나, 기판(101)을 보다 길게 하여, 개별 영역(C)을, 예를 들어, 수백 열 정도로 하는 것도 가능하다.
이어서, 도 5a~도 5b(도 5b는 평면도, 도 5a는 도 5b의 A-A선에 따른 단면도)에 나타내는 공정에서는, 도 4b에 나타내는 금속박(3001)을 패터닝하여 기판(101) 상에 금속층(3011), 접속부(351) 및 접속부(371)가 형성된 제1 구조체(1A)를 제작한다. 또한, 도 4b에 나타내는 금속박(3001)을 패터닝하여, 기판(101) 상에, 접속부(351)에 접속되는 버스 라인(36) 및 접속부(371)에 접속되는 버스 라인(36)을 형성한다. 금속층(3011)은, 최종적으로 성형(틀 성형 등)되어 코일의 일부로 되는 1층째의 배선(약 1회 권취)인 제1 배선(301)이 되는 부분이다.
버스 라인(36)은, 후공정에서 전해 도금의 급전에 사용하는 것인데, 각 개별 영역(C)의 금속층(3011), 접속부(351) 및 접속부(371)에 전기적으로 접속된다. 한편, 후공정에서 전해 도금을 실시하지 않는 경우에는 버스 라인(36)을 형성하지 않아도 된다. 금속층(3011)에는 절결부(301x)가 형성되어 있다. 절결부(301x)는, 후공정에서 코일 기판을 성형(틀 성형 등)할 때에 코일을 구성하는 나사선 형상을 형성하기가 용이하도록 구비하는 것이다.
금속박(3001)의 패터닝은, 예를 들어, 포토리소그래피법에 의해 실시할 수 있다. 즉, 금속박(3001) 상에 감광성 레지스트를 도포하고, 소정의 영역을 노광 및 현상하여 레지스트에 개구부를 형성하며, 개구부 내에 노출되는 금속박(3001)을 에칭으로 제거함으로써 패터닝할 수 있다. 한편, 금속층(3011), 접속부(351), 접속부(371) 및 버스 라인(36)은 일체로 형성되어 있다. 다만, 각 개별 영역(C) 내에서는, 금속층(3011)과 접속부(371)가 전기적으로 접속되어 있지 않다.
그 후, 금속층(3011), 접속부(351), 접속부(371) 및 버스 라인(36)을 절연층(401)으로 피복한다. 절연층(401)은, 예를 들어, 필름 형상의 감광성 에폭시계 절연성 수지 등을 라미네이트함으로써 형성할 수 있다. 아니면, 액상 또는 페이스트상의 감광성 에폭시계 절연성 수지 등을 도포함으로써 형성할 수도 있다. 절연층(401)의 두께(금속층(3011)의 상면으로부터의 두께)는, 예를 들어, 5~30㎛ 정도로 할 수 있다.
그 후, 제1 구조체(1A)의 절연층(401)에, 금속층(3011)의 상면을 노출시키는 개구부(4011), 접속부(351)의 상면을 노출시키는 개구부(4012) 및 접속부(371)의 상면을 노출시키는 개구부(4013)를 형성한다. 개구부(4011, 4012, 4013)의 평면 형상은, 예를 들어, 직경 150㎛ 정도의 원 형상으로 할 수 있다. 개구부(4011, 4012, 4013)는, 예를 들어, 프레스 가공법, 레이저 가공법 등에 의해 형성할 수 있다. 개구부(4011, 4012, 4013)는, 감광성 절연층(401)을 노광 및 현상함으로써 형성할 수도 있다. 한편, 도 5b에서 절연층(401)의 도시는 생략되어 있다. 또한, 도 5b에서 금속층(3011)의 개구부(4011, 4012, 4013)에 대응하는 영역을 파선으로 나타내고 있다.
이어서, 도 6a~도 6b(도 6b는 평면도, 도 6a는 도 6b의 A-A선에 따른 단면도)에 나타내는 공정에서는, 기판(102, 제2 기판) 상에 금속층(3012), 접속부(352) 및 접속부(372)가 형성된 제2 구조체(1B)를 제작한다. 금속층(3012)은, 최종적으로 성형(틀 성형 등)되어 코일의 일부로 되는 2층째의 배선(1회 권취의 약3/4)인 제2 배선(302)이 되는 부분이다. 구체적으로는, 도 4a~도 4b에 나타내는 공정과 마찬가지로 하여, 기판(102)에 스프로켓 홀(10z)을 형성한 후, 스프로켓 홀(10z)이 형성된 기판(102)의 양단부를 제외한 영역에 있어서, 기판(102) 상에 절연층(202) 및 금속박(3002,미도시)을 순차적으로 적층한다.
그리고, 도 5a~도 5b에 나타내는 공정과 마찬가지로 하여 금속박(3002)을 패터닝하고, 절연층(202) 상에, 도 6b에 나타내는 바와 같이 패터닝된 금속층(3012)을 형성한다. 또는, 도 5a~도 5b에 나타내는 공정과 마찬가지로 하여 금속박(3002)을 패터닝하고, 금속층(3012)의 일단부에 소정 간격을 두고 접속부(352)를, 금속층(3012)의 타단부에 소정 간격을 두고 접속부(372)를 형성한다. 그 후, 금속층(3012), 접속부(352) 및 접속부(372)를 절연층(402)으로 피복한다. 그리고, 기판(102) 및 제2 구조체(1B)의 절연층(202)에, 금속층(3012)의 하면을 노출시키는 개구부(1021)를 형성한다. 또한, 기판(102) 및 제2 구조체(1B)의 절연층(202), 금속층(3012) 및 절연층(402)을 관통하는 개구부(1022, 관통 구멍)를 형성한다. 또한, 기판(102) 및 제2 구조체(1B)의 절연층(202) 및 절연층(402), 접속부(352)를 관통하는 개구부(1023, 관통 구멍)를 형성한다. 또한, 기판(102) 및 제2 구조체(1B)의 절연층(202) 및 절연층(402), 접속부(372)를 관통하는 개구부(1024, 관통 구멍)를 형성한다.
개구부(1021,1022,1023,1024) 각각의 평면 형상은, 예를 들어, 직경 150㎛ 정도의 원 형상으로 할 수 있다. 개구부(1021,1022,1023, 1024)는, 예를 들어, 프레스 가공법, 레이저 가공법 등에 의해 형성할 수 있다. 개구부(1021,1022,1023,1024)는, 제1 구조체(1A)와 제2 구조체(1B)가 소정 방향으로 적층되었을 때에 평면에서 본 경우, 각각이 개구부(4011,4012,4013)와 중복되는 위치에 형성된다. 한편, 도 6b에서 절연층(402)의 도시는 생략되어 있다. 또한, 도 6b에서, 금속층(3012)의 개구부(1021)에 대응하는 영역을 파선으로 나타내고 있다.
한편, 기판(10n) 및 금속박(300n, n은 2 이상의 자연수)의 형상, 두께, 재료 등은, 특별히 설명하지 않는 경우에는, 기판(101) 및 금속박(3001)과 마찬가지이다.
이어서, 도 7a~도 7c에 나타내는 공정에 대해 설명한다. 한편, 도 7a~도 7c는 도 5a에 대응하는 단면도이다. 우선, 도 7a에 나타내는 공정에서는, 접착층(501)을 준비하고, 프레스 가공, 레이저 가공 등으로 접착층(501)을 관통하는 개구부(5011,5012,5013 : 관통 구멍)를 형성한다. 개구부(5011,5012,5013)는, 제1 구조체(1A)와 제2 구조체(1B)가 접착층(50-1)을 사이에 두고 소정 방향으로 적층되었을 때에 평면에서 본 경우, 각각이 개구부(4011/1022, 4012/1023,4013/1024)와 중복되는 위치에 형성된다. 접착층(501)으로는, 예를 들어, 에폭시계 접착제 또는 폴리이미드계 접착제 등 절연성 수지제의 내열성 접착제(열경화성)를 사용할 수 있다. 접착층(501)은, 예를 들어, 필름 형상의 접착제를 라미네이트함으로써 형성할 수 있다. 아니면, 액상 또는 페이스트상의 접착제를 도포함으로써 형성할 수도 있다. 접착층(501)의 두께는, 예를 들어, 10~40㎛ 정도로 할 수 있다.
이어서, 기판(102) 및 제2 구조체(1B)를, 도 6a~도 6b에 나타내는 상태로부터 반전시켜서, 접착층(501)을 사이에 두고 제1 구조체(1A) 상에 적층한다. 즉, 제1 구조체(1A)와 제2 구조체(1B)를, 접착층(501)을 사이에 두고 대향 배치하여, 기판(101)과 기판(102)이 외측이 되도록 적층한다. 그 후, 접착층(501)을 경화시킨다. 이 때, 개구부(4011,5011,1022)가 연통하여 하나의 개구부(1025)가 형성되며, 저부(底部)에 금속층(3011)의 상면이 노출된다. 또한, 개구부(4012,5012,1023)가 연통하여 하나의 개구부(1026)가 형성되며, 저부에 접속부(351)의 상면이 노출된다. 또한, 개구부(4013,5013,1024)가 연통하여 하나의 개구부(1027)가 형성되며, 저부에 접속부(371)의 상면이 노출된다.
다만, 도 6a,도 6b,도 7a에 나타내는 공정에서, 각 개구부를 설치하기 전에 제2 구조체(1B)를, 접착층(501)을 사이에 두어 제1 구조체(1A) 상에 적층하고, 그 후, 프레스 가공, 레이저 가공 등으로 개구부(1021,1022,1023,1024,5011,5012,5013)를 설치할 수도 있다.
이어서, 도 7b에 나타내는 공정에서는, 기판(102)을 제2 구조체(1B)의 절연층(202)으로부터 제거(박리)한다. 예를 들어, 기판(102)은 제2 구조체(1B)의 절연층(202)으로부터 기계적으로 박리할 수 있다.
이어서, 도 7c에 나타내는 공정에서는, 개구부(1025)의 저부에 노출되는 금속층(3011) 상에, 예를 들어, 구리(Cu) 등으로 이루어지는 비어 배선(601)을 형성한다. 금속층(3011)과 금속층(3012)은 비어 배선(601)을 사이에 두고 직렬로 접속된다. 또한, 개구부(1026)의 저부에 노출되는 접속부(351) 상에, 예를 들어, 구리(Cu) 등으로 이루어지는 비어 배선(651)을 형성한다. 접속부(351)와 접속부(352)는 비어 배선(651)을 사이에 두고 전기적으로 접속된다. 또한, 개구부(1027)의 저부에 노출되는 접속부(371) 상에, 예를 들어, 구리(Cu) 등으로 이루어지는 비어 배선(671)을 형성한다. 접속부(371)와 접속부(372)는 비어 배선(671)을 사이에 두고 전기적으로 접속된다. 또한, 개구부(1021)의 저부에 노출되는 금속층(3012) 상에, 예를 들어, 구리(Cu) 등으로 이루어지는 비어 배선(602)을 형성한다. 금속층(3012)과 비어 배선(60-2)은 전기적으로 접속된다.
비어 배선(601,602,651,671)은, 예를 들어, 금속층(3011,3012) 쪽으로부터, 각각 버스 라인(36)을 급전에 사용하는 전해 도금법에 의해 구리(Cu) 등을 석출시킴으로써 형성할 수 있다. 비어 배선(601,602,651,672)은, 예를 들어, 각 개구부 내에 구리(Cu) 등의 금속 페이스트를 충전하여 형성할 수도 있다. 비어 배선(601,602,651,672) 각각의 상면은, 절연층(202)의 상면과는 대략 동일 평면으로 할 수 있다. 이 공정에 의해, 제1 구조체(1A) 상에 제2 구조체(1B)가 적층된 적층체에 있어서, 금속층(3011), 비어 배선(601) 및 금속층(3012)이 직렬로 접속된다. 이렇게 직렬로 접속된 부분은, 최종적으로 성형(틀 성형 등)되어 약 1¾회 권취된 코일로 된다.
이어서, 도 8a~도 8c에 나타내는 공정에서는, 도 6a~도 6b에 나타내는 공정과 마찬가지로 하여, 기판(103) 상에 금속층(3013), 접속부(353) 및 접속부(373)가 형성된 제3 구조체(1C)를 제작한다. 한편, 도 8c는 평면도, 도 8a는 도 8c의 A-A선에 따른 단면도, 도 8b는 도 8c의 E-E선에 따른 단면도이다. 금속층(3013)은, 최종적으로 성형(틀 성형 등)되어 코일의 일부로 되는 3층째의 배선(약 1회 권취)인 제3 배선(303)이 되는 부분이다. 금속층(3013)에는 절결부(301y)가 형성되어 있다. 절결부(301y)는, 후공정에서 코일 기판을 성형(틀 성형 등)할 때에 코일을 구성하는 나사선 형상을 형성하기가 용이하도록 구비하는 것이다.
이어서, 기판(103) 및 제3 구조체(1C)의 절연층(203)에, 금속층(3013)의 하면을 노출시키는 개구부(1031)를 형성한다. 또한, 기판(103), 제3 구조체(1C)의 절연층(203), 금속층(3013) 및 절연층(403)을 관통하는 개구부(1032, 관통 구멍)를 형성한다. 또한, 기판(103), 제3 구조체(1C)의 절연층(203) 및 절연층(403), 접속부(353)를 관통하는 개구부(1033, 관통 구멍)를 형성한다. 또한, 기판(103), 제2 구조체(1B)의 절연층(202) 및 절연층(402), 접속부(372)를 관통하는 개구부(1034, 관통 구멍)를 형성한다.
개구부(1031,1032,1033,1034)의 평면 형상, 가공법은, 예를 들어, 개구부(1021) 등과 마찬가지로 할 수 있다. 개구부(1032,1033,1034)는, 제2 구조체(1B)와 제3 구조체(1C)가 소정 방향으로 적층되었을 때에 평면에서 보는 경우, 각각이 비어 배선(602,651,671)과 중복되는 위치에 형성된다. 한편, 도 8c에서 절연층(403)의 도시는 생략되어 있다. 또한, 도 8c에서, 금속층(3013)의 개구부(1031)에 대응하는 영역을 파선으로 나타내고 있다.
이어서, 도 9a~도 9c에 나타내는 공정에 대해 설명한다. 한편, 도 9a~도 9c는 도 7a에 대응하는 단면도이다. 우선, 도 9a에 나타내는 공정에서는, 접착층(502)을 준비하고, 접착층(502)을 관통하는 개구부(5021,5022,5023: 관통 구멍)를 형성한다. 개구부(5021,5022, 5023)는, 제2 구조체(1B)와 제3 구조체(1C)가 접착층(502)을 사이에 두고 소정 방향으로 적층되었을 때에 평면에서 본 경우, 각각이 비어 배선(602,651,671)과 중복되는 위치에 형성된다. 한편, 접착층(50n, n은 2이상의 자연수)의 형상, 두께, 재료 등은, 특별히 설명하지 않는 경우에는, 접착층(501)과 마찬가지이다.
이어서, 기판(103) 및 제3 구조체(1C)를, 도 8a~도 8c에 나타내는 상태로부터 반전시켜서, 접착층(502)을 사이에 두고 제2 구조체(1B) 상에 적층한다. 즉, 제2 구조체(1B)와 제3 구조체(1C)를, 접착층(502)을 사이에 두고 대향 배치하여, 기판(101)과 기판(103)이 외측이 되도록 적층한다. 그 후, 접착층(502)을 경화시킨다. 이 때, 개구부(5021,1032)가 연통하여 하나의 개구부(1035)가 형성되며, 저부에 비어 배선(602)의 상면이 노출된다. 또한, 개구부(5022,1033)가 연통하여 하나의 개구부(1036)가 형성되며, 저부에 비어 배선(651)의 상면이 노출된다. 또한, 개구부(5023,1034)가 연통하여 하나의 개구부(1037)가 형성되며, 저부에 비어 배선(671)의 상면이 노출된다.
다만, 도 8a~8C,도 9a에 나타내는 공정에서, 각 개구부를 설치하기 전에 제3 구조체(1C)를, 접착층(502)을 사이에 두어 제2 구조체(1B) 상에 적층하고, 그 후, 개구부(1031,1032,1033,1034, 5021,5022,5023)를 설치할 수도 있다.
이어서, 도 9b에 나타내는 공정에서는, 기판(103)을 제3 구조체(1C)의 절연층(203)으로부터 제거(박리)한다. 예를 들어, 기판(103)은 제3 구조체(1C)의 절연층(203)으로부터 기계적으로 박리할 수 있다.
이어서, 도 9c에 나타내는 공정에서는, 개구부(1035)의 저부에 노출되는 비어 배선(602) 상에 비어 배선(603)을 형성한다. 금속층(3012)과 금속층(3013)은 비어 배선(602,603)을 사이에 두고 직렬로 접속된다. 또한, 개구부(10-31, 미도시)의 저부에 노출되는 금속층(3013) 상에 비어 배선(604,미도시)을 형성한다. 금속층(3013)과 비어 배선(604)은 전기적으로 접속된다. 또한, 개구부(1036)의 저부에 노출되는 비어 배선(651) 상에 비어 배선(652)을 형성한다. 접속부(352)와 접속부(353)는 비어 배선(652)을 사이에 두고 전기적으로 접속된다. 또한, 개구부(1037)의 저부에 노출되는 비어 배선(671) 상에 비어 배선(672)을 형성한다. 접속부(372)와 접속부(373)는 비어 배선(672)을 사이에 두고 전기적으로 접속된다.
비어 배선(603,604,652,672)은, 예를 들어, 비어 배선(601) 등과 마찬가지로, 버스 라인(36)을 급전에 사용하는 전해 도금법이나 금속 페이스트의 충전에 의해 형성할 수 있다. 비어 배선(603,604,652,672) 의 재료로는, 예를 들어, 구리(Cu) 등을 사용할 수 있다. 비어 배선(603,604,652,672) 각각의 상면은, 절연층(203)의 상면과는 대략 동일 평면으로 할 수 있다. 이 공정에 의해, 제1 구조체(1A) 내지 제3 구조체(1C)가 적층된 적층체에 있어서, 금속층(3011,3012, 3013)이 비어 배선을 사이에 두고 직렬로 접속된다. 이렇게 직렬로 접속된 부분은, 최종적으로 성형(틀 성형 등)되어 약 2¾회 권취된 코일로 된다.
이어서, 도 10a~도 10b(도 10b는 평면도, 도 10a는 도 10b의 F-F선에 따른 단면도)에 나타내는 공정에서는, 도 6a~도 6b에 나타내는 공정과 마찬가지로 하여, 기판(104) 상에 금속층(3014), 접속부(354) 및 접속부(374)가 형성된 제4 구조체(1D)를 제작한다. 금속층(3014)은, 최종적으로 성형(틀 성형 등)되어 코일의 일부로 되는 4층째의 배선(1회 권취의 약¾)인 제4 배선(304)이 되는 부분이다.
이어서, 기판(104) 및 제4 구조체(1D)의 절연층(204)에, 금속층(3014)의 하면을 노출시키는 개구부(1041)를 형성한다. 또한, 기판(104), 제4 구조체(1D)의 절연층(204), 금속층(3014) 및 절연층(404)을 관통하는 개구부(1042, 관통 구멍)를 형성한다. 또한, 기판(104), 제4 구조체(1D)의 절연층(204) 및 절연층(404), 접속부(354)를 관통하는 개구부(1043, 관통 구멍)를 형성한다. 또한, 기판(104), 제4 구조체(1D)의 절연층(204) 및 절연층(404), 접속부(374)를 관통하는 개구부(1044, 관통 구멍)를 형성한다.
개구부(1041,1042,1043,1044)의 평면 형상, 가공법은, 예를 들어, 개구부(1021) 등과 마찬가지로 할 수 있다. 개구부(1042,1043,1044)는, 제3 구조체(1C)와 제4 구조체(1D)가 소정 방향으로 적층되었을 때에 평면에서 보는 경우, 각각이 비어 배선(604,652,672)과 중복되는 위치에 형성된다. 한편, 도 10b에서 절연층(404)의 도시는 생략되어 있다. 또한, 도 10b에서, 금속층(3014)의 개구부(1041)에 대응하는 영역을 파선으로 나타내고 있다.
이어서, 도 11a~도 11c에 나타내는 공정에 대해 설명한다. 한편, 도 11a~도 11c는 도 9에 대응하는 단면도이다. 우선, 도 11a에 나타내는 공정에서는, 접착층(503)을 준비하고, 접착층(503)을 관통하는 개구부(5031,5032,5033 : 관통 구멍)를 형성한다. 개구부(5031,5032,5033)는, 제3 구조체(1C)와 제4 구조체(1D)가 접착층(503)을 사이에 두고 소정 방향으로 적층되었을 때에 평면에서 본 경우, 각각이 비어 배선(604,652,672)과 중복되는 위치에 형성된다.
이어서, 기판(104) 및 제4 구조체(1D)를, 도 10a~도 10b에 나타내는 상태로부터 반전시켜서, 접착층(503)을 사이에 두고 제3 구조체(1C) 상에 적층한다. 즉, 제3 구조체(1C)와 제4 구조체(1D)를, 접착층(503)을 사이에 두고 대향 배치하여, 기판(101)과 기판(104)이 외측이 되도록 적층한다. 그 후, 접착층(503)을 경화시킨다. 이 때, 개구부(5031,1042)가 연통하여 하나의 개구부(1045)가 형성되며, 저부에 비어 배선(604)의 상면이 노출된다. 또한, 개구부(5032,1043)가 연통하여 하나의 개구부(1046)가 형성되며, 저부에 비어 배선(652)의 상면이 노출된다. 또한, 개구부(5033,1044)가 연통하여 하나의 개구부(1047)가 형성되며, 저부에 비어 배선(672)의 상면이 노출된다.
다만, 도 10a, 도 10b,도 11a에 나타내는 공정에서, 각 개구부를 설치하기 전에 제4 구조체(1D)를, 접착층(503)을 사이에 두어 제3 구조체(1C) 상에 적층하고, 그 후, 개구부(1041,1042,1043,1044,5031, 5032,5033)를 설치할 수도 있다.
이어서, 도 11b에 나타내는 공정에서는, 기판(104)을 제4 구조체(1D)의 절연층(204)으로부터 제거(박리)한다. 예를 들어, 기판(104)은 제4 구조체(1D)의 절연층(204)으로부터 기계적으로 박리할 수 있다.
이어서, 도 11c에 나타내는 공정에서는, 개구부(1045)의 저부에 노출되는 비어 배선(604) 상에 비어 배선(605)을 형성한다. 금속층(3013)과 금속층(3014)은 비어 배선(604,605)을 사이에 두고 직렬로 접속된다. 또한, 개구부(1041)의 저부에 노출되는 금속층(3014) 상에 비어 배선(606)을 형성한다. 금속층(3014)과 비어 배선(606)은 전기적으로 접속된다. 또한, 개구부(1046)의 저부에 노출되는 비어 배선(652) 상에 비어 배선(653)을 형성한다. 접속부(353)와 접속부(354)는 비어 배선(653)을 사이에 두고 전기적으로 접속된다. 또한, 개구부(1047)의 저부에 노출되는 비어 배선(672) 상에 비어 배선(673)을 형성한다. 접속부(373)와 접속부(374)는 비어 배선(673)을 사이에 두고 전기적으로 접속된다.
비어 배선(605,606,653,673)은, 예를 들어, 비어 배선(601) 등과 마찬가지로, 버스 라인(36)을 급전에 사용하는 전해 도금법이나 금속 페이스트의 충전에 의해 형성할 수 있다. 비어 배선(605,606,653,673) 의 재료로는, 예를 들어, 구리(Cu) 등을 사용할 수 있다. 비어 배선(605,606,653,673) 각각의 상면은, 절연층(204)의 상면과는 대략 동일 평면으로 할 수 있다. 이 공정에 의해, 제1 구조체(1A) 내지 제4 구조체(1D)가 적층된 적층체에 있어서, 금속층(3011,3012,3013,3014)이 비어 배선을 사이에 두고 직렬로 접속된다. 이렇게 직렬로 접속된 부분은, 최종적으로 성형(틀 성형 등)되어 약 3회 권취된 코일로 된다.
이어서, 도 12a~도 12c에 나타내는 공정에서는, 도 6a~도 6b에 나타내는 공정과 마찬가지로 하여, 기판(105) 상에 금속층(3015), 접속부(355) 및 접속부(375)가 형성된 제5 구조체(1E)를 제작한다. 한편, 도 12c는 평면도, 도 12a는 도 12c의 F-F선에 따른 단면도, 도 12b는 도 12c의 G-G선에 따른 단면도이다. 금속층(3015)은, 최종적으로 성형(틀 성형 등)되어 코일의 일부로 되는 5층째의 배선(약 1회 권취)인 제5 배선(305)이 되는 부분이다. 금속층(3015)에는 절결부(301y)가 형성되어 있다. 절결부(301y)는, 후공정에서 코일 기판을 성형(틀 성형 등)할 때에 코일을 구성하는 나사선 형상을 형성하기가 용이하도록 구비하는 것이다.
이어서, 기판(105) 및 제5 구조체(1E)의 절연층(205)에, 금속층(3015)의 하면을 노출시키는 개구부(1051)를 형성한다. 또한, 기판(105), 제5 구조체(1E)의 절연층(205), 금속층(3015) 및 절연층(405)을 관통하는 개구부(1052, 관통 구멍)를 형성한다. 또한, 기판(105), 제5 구조체(1E)의 절연층(205) 및 절연층(405), 접속부(355)를 관통하는 개구부(1053, 관통 구멍)를 형성한다. 또한, 기판(105), 제5 구조체(1E)의 절연층(205) 및 절연층(405), 접속부(375)를 관통하는 개구부(1054, 관통 구멍)를 형성한다.
개구부(1051,1052,1053,1054)의 평면 형상, 가공법은, 예를 들어, 개구부(1021) 등과 마찬가지로 할 수 있다. 개구부(1052,1053,1054)는, 제4 구조체(1D)와 제5 구조체(1E)가 소정 방향으로 적층되었을 때에 평면에서 보는 경우, 각각이 비어 배선(606,653,673)과 중복되는 위치에 형성된다. 한편, 도 12c에서 절연층(405)의 도시는 생략되어 있다. 또한, 도 12c에서, 금속층(3015)의 개구부(1051)에 대응하는 영역을 파선으로 나타내고 있다.
이어서, 도 13a~도 13c에 나타내는 공정에 대해 설명한다. 한편, 도 13a~도 13c는 도 11에 대응하는 단면도이다. 우선, 도 13a에 나타내는 공정에서는, 접착층(504)을 준비하고, 접착층(504)을 관통하는 개구부(5041,5042,5043: 관통 구멍)를 형성한다. 개구부(5041,5042,5043)는, 제4 구조체(1D)와 제5 구조체(1E)가 접착층(504)을 사이에 두고 소정 방향으로 적층되었을 때에 평면에서 본 경우, 각각이 비어 배선(606,653,673)과 중복되는 위치에 형성된다.
이어서, 기판(105) 및 제5 구조체(1E)를, 도 12a~도 12c에 나타내는 상태로부터 반전시켜서, 접착층(504)을 사이에 두고 제4 구조체(1D) 상에 적층한다. 즉, 제4 구조체(1D)와 제5 구조체(1E)를, 접착층(504)을 사이에 두고 대향 배치하여, 기판(101)과 기판(105)이 외측이 되도록 적층한다. 그 후, 접착층(504)을 경화시킨다. 이 때, 개구부(5041,1052)가 연통하여 하나의 개구부(1055)가 형성되며, 저부에 비어 배선(606)의 상면이 노출된다. 또한, 개구부(5042,1053)가 연통하여 하나의 개구부(1056)가 형성되며, 저부에 비어 배선(653)의 상면이 노출된다. 또한, 개구부(5043,1054)가 연통하여 하나의 개구부(1057)가 형성되며, 저부에 비어 배선(673)의 상면이 노출된다.
다만, 도 12a~도 12c,도 13a에 나타내는 공정에서, 각 개구부를 설치하기 전에 제5 구조체(1E)를, 접착층(504)을 사이에 두어 제4 구조체(1D) 상에 적층하고, 그 후, 개구부(1051,1052,1053,1054,5041, 5042,5043)를 설치할 수도 있다.
이어서, 도 13b에 나타내는 공정에서는, 기판(105)을 제5 구조체(1E)의 절연층(205)으로부터 제거(박리)한다. 예를 들어, 기판(105)은 제5 구조체(1E)의 절연층(205)으로부터 기계적으로 박리할 수 있다.
이어서, 도 13c에 나타내는 공정에서는, 개구부(1055)의 저부에 노출되는 비어 배선(606) 상에 비어 배선(607)을 형성한다. 금속층(3015)과 금속층(3014)은 비어 배선(606,607)을 사이에 두고 직렬로 접속된다. 또한, 개구부(1051,미도시)의 저부에 노출되는 금속층(3015) 상에 비어 배선(608,미도시)을 형성한다. 금속층(3015)과 비어 배선(608)은 전기적으로 접속된다. 또한, 개구부(1056)의 저부에 노출되는 비어 배선(653) 상에 비어 배선(654)을 형성한다. 접속부(354)와 접속부(355)는 비어 배선(654)을 사이에 두고 전기적으로 접속된다. 또한, 개구부(1057)의 저부에 노출되는 비어 배선(673) 상에 비어 배선(674)을 형성한다. 접속부(374)와 접속부(375)는 비어 배선(674)을 사이에 두고 전기적으로 접속된다.
비어 배선(607,608,654,674)은, 예를 들어, 비어 배선(601) 등과 마찬가지로, 버스 라인(36)을 급전에 사용하는 전해 도금법이나 금속 페이스트의 충전에 의해 형성할 수 있다. 비어 배선(607,608,654,674)의 재료로는, 예를 들어, 구리(Cu) 등을 사용할 수 있다. 비어 배선(607,608,654,674) 각각의 상면은, 절연층(205)의 상면과는 대략 동일 평면으로 할 수 있다. 이 공정에 의해, 제1 구조체(1A) 내지 제5 구조체(1E)가 적층된 적층체에 있어서, 금속층(3011,3012,3013,3014,3015)이 비어 배선을 사이에 두고 직렬로 접속된다. 이렇게 직렬로 접속된 부분은, 최종적으로 성형(틀 성형 등)되어 약 4회 권취된 코일로 된다.
이어서, 도 14a~도 14c에 나타내는 공정에 대해 설명한다. 한편, 도 14a~도 14c는 도 7a에 대응하는 단면도이다. 우선, 도 14a에 나타내는 공정에서는, 기판(106) 상에 금속층(3016), 접속부(356) 및 접속부(376)가 형성된 제6 구조체(1F)를 제작한다. 금속층(3016)은 최종적으로 성형(틀 성형 등)되어 코일의 일부로 되는 6층째의 배선(1회 권취의 약 ¾)인 제6 배선(306)이 되는 부분이다. 그리고, 기판(106) 및 제6 구조체(1F)의 절연층(206)에, 금속층(3016)의 하면을 노출시키는 개구부(1061)를 형성한다. 또한, 기판(106), 제6 구조체(1F)의 절연층(206), 금속층(3016) 및 절연층(406)을 관통하는 개구부(1062, 관통 구멍)를 형성한다. 또한, 기판(106), 제6 구조체(1F)의 절연층(206) 및 절연층(406), 접속부(356)를 관통하는 개구부(1063, 관통 구멍)를 형성한다. 또한, 기판(106), 제6 구조체(1F)의 절연층(206) 및 절연층(406), 접속부(376)를 관통하는 개구부(1064, 관통 구멍)를 형성한다. 한편, 제6 구조체(1F)는 편의상 별도의 부호로 하고 있으나, 도 6a에 나타내는 제2 구조체(1B)와 동일한 구조이고, 개구부(1061) 및 개구부(1062)는 각각 개구부(1021) 및 개구부(1022)에 대응한다.
이어서, 접착층(505)을 준비하고, 접착층(505)을 관통하는 개구부(5051,5052,5053: 관통 구멍)를 형성한다. 개구부(5051,5052,5053)는, 제6 구조체(1F)와 제5 구조체(1E)가 접착층(505)을 사이에 두고 소정 방향으로 적층되었을 때에 평면에서 본 경우, 각각이 비어 배선(608,654,674)과 중복되는 위치에 형성된다.
그리고, 도 7a와 마찬가지로 하여, 기판(106) 및 제6 구조체(1F)를, 도 6a~도 6b에 나타내는 상태로부터 반전시켜서, 접착층(505)을 사이에 두고 제5 구조체(1E) 상에 적층한다. 즉, 제5 구조체(1E)와 제6 구조체(1F)를, 접착층(505)을 사이에 두고 대향 배치하여, 기판(101)과 기판(106)이 외측이 되도록 적층한다. 그 후, 접착층(505)을 경화시킨다. 이 때, 개구부(5051,1062)가 연통하여 하나의 개구부(1065)가 형성되며, 저부에 비어 배선(608)의 상면이 노출된다. 또한, 개구부(5052,1063)가 연통하여 하나의 개구부(1066)가 형성되며, 저부에 비어 배선(654)의 상면이 노출된다. 또한, 개구부(5053,1064)가 연통하여 하나의 개구부(1067)가 형성되며, 저부에 비어 배선(674)의 상면이 노출된다.
다만, 도 6a, 도 6b, 도 14a에 나타내는 공정에서, 각 개구부를 설치하기 전에 제6 구조체(1F)를, 접착층(505)을 사이에 두어 제5 구조체(1E) 상에 적층하고, 그 후, 개구부(1061,1062,1063,1064,5051, 5052,5053)를 설치할 수도 있다.
이어서, 도 14b에 나타내는 공정에서는, 기판(106)을 제6 구조체(1F)의 절연층(206)으로부터 제거(박리)한다. 예를 들어, 기판(106)은 제6 구조체(1F)의 절연층(206)으로부터 기계적으로 박리할 수 있다.
이어서, 도 14c에 나타내는 공정에서는, 개구부(1065)의 저부에 노출되는 비어 배선(608) 상에 비어 배선(609)을 형성한다. 금속층(3015)과 금속층(3016)은 비어 배선(608,609)을 사이에 두고 직렬로 접속된다. 또한, 개구부(1061)의 저부에 노출되는 금속층(3016) 상에 비어 배선(6010)을 형성한다. 금속층(3016)과 비어 배선(6010)은 전기적으로 접속된다. 또한, 개구부(1066)의 저부에 노출되는 비어 배선(654) 상에 비어 배선(655)을 형성한다. 접속부(355)와 접속부(356)는 비어 배선(655)을 사이에 두고 전기적으로 접속된다. 또한, 개구부(1067)의 저부에 노출되는 비어 배선(674) 상에 비어 배선(675)을 형성한다. 접속부(375)와 접속부(376)는 비어 배선(675)을 사이에 두고 전기적으로 접속된다.
비어 배선(609,6010,655,675)은, 예를 들어, 비어 배선(601) 등과 마찬가지로, 버스 라인(36)을 급전에 사용하는 전해 도금법이나 금속 페이스트의 충전에 의해 형성할 수 있다. 비어 배선(609,6010,655,675)의 재료로는, 예를 들어, 구리(Cu) 등을 사용할 수 있다. 비어 배선(609,6010,655,675) 각각의 상면은, 절연층(206)의 상면과는 대략 동일 평면으로 할 수 있다. 이 공정에 의해, 제1 구조체(1A) 내지 제6 구조체(1F)가 적층된 적층체에 있어서, 금속층(3011,3012,3013,3014,3015,3016)이 비어 배선을 사이에 두고 직렬로 접속된다. 이렇게 직렬로 접속된 부분은, 최종적으로 성형(틀 성형 등)되어 약 4¾회 권취된 코일로 된다.
이어서, 도 15a~도 15b에 나타내는 공정에서는, 도 6a~도 6b에 나타내는 공정과 마찬가지로 하여, 기판(107) 상에 금속층(3017), 접속부(357) 및 접속부(377)가 형성된 제7 구조체(1G)를 제작한다. 금속층(3017)은, 최종적으로 성형(틀 성형 등)되어 코일의 일부로 되는 7층째의 배선(약 1회 권취)인 제7 배선(307)이 되는 부분이다. 구체적으로는, 절연층(207) 상에 금속층(3017)을 형성한다. 또한, 금속층(3017)의 일단부에 접속부(377)를 형성한다. 한편, 금속층(3017)과 접속부(377)는 일체로 형성되어 있다. 금속층(3017)에는 절결부(301x)가 형성되어 있다. 절결부(301x)는, 후공정에서 코일 기판을 성형(틀 성형 등)할 때에 코일을 구성하는 나사선 형상을 형성하기가 용이하도록 구비하는 것이다.
이어서, 기판(107) 및 제7 구조체(1G)의 절연층(207), 금속층(3017) 및 절연층(407)을 관통하는 개구부(1072, 관통 구멍)를 형성한다. 또한, 기판(107), 제7 구조체(1G)의 절연층(207) 및 절연층(407), 접속부(357)를 관통하는 개구부(1073, 관통 구멍)를 형성한다. 또한, 기판(107), 제7 구조체(1G)의 절연층(207) 및 절연층(407), 접속부(377)를 관통하는 개구부(1074, 관통 구멍)를 형성한다. 한편, 도 15b는 평면도, 도 15a는 도 15b의 A-A선에 따른 단면도이다.
개구부(1072,1073,1074)의 평면 형상이나 가공법은, 예를 들어, 개구부(1021) 등과 마찬가지로 할 수 있다. 개구부(1072,1073,1074)는, 제6 구조체(1F)와 제7 구조체(1G)가 소정 방향으로 적층되었을 때에 평면에서 보는 경우, 각각이 비어 배선(6010,655,675)과 중복되는 위치에 형성된다. 한편, 도 15b에서 절연층(407)의 도시는 생략되어 있다.
이어서, 도 16a~도 16c에 나타내는 공정에 대해 설명한다. 한편, 도 16a~도 16c는 도 14a~도 14c에 대응하는 단면도이다. 우선, 도 16a에 나타내는 공정에서는, 접착층(506)을 준비하고, 접착층(506)을 관통하는 개구부(5061,5062,5063: 관통 구멍)를 형성한다. 개구부(5061,5062,5063)는, 제6 구조체(1F)와 제7 구조체(1G)가 접착층(506)을 사이에 두고 소정 방향으로 적층되었을 때에 평면에서 본 경우, 각각이 비어 배선(6010,655,675)과 중복되는 위치에 형성된다.
이어서, 기판(107) 및 제7 구조체(1G)를, 도 15a~도 15b에 나타내는 상태로부터 반전시켜서, 접착층(506)을 사이에 두고 제6 구조체(1F) 상에 적층한다. 즉, 제6 구조체(1F)와 제7 구조체(1G)를, 접착층(506)을 사이에 두고 대향 배치하여, 기판(101)과 기판(107)이 외측이 되도록 적층한다. 그 후, 접착층(506)을 경화시킨다. 이 때, 개구부(5061,1072)가 연통하여 하나의 개구부(1075)가 형성되며, 저부에 비어 배선(6010)의 상면이 노출된다. 또한, 개구부(5062,1073)가 연통하여 하나의 개구부(1076)가 형성되며, 저부에 비어 배선(655)의 상면이 노출된다. 또한, 개구부(5063,1074)가 연통하여 하나의 개구부(1077)가 형성되며, 저부에 비어 배선(675)의 상면이 노출된다.
다만, 도 15a, 도 15b, 도 16a에 나타내는 공정에서, 각 개구부를 설치하기 전에 제7 구조체(1G)를, 접착층(506)을 사이에 두어 제6 구조체(1F) 상에 적층하고, 그 후, 개구부(1072,1073,1074,5061,5062, 5063)를 설치할 수도 있다.
이어서, 도 16b에 나타내는 공정에서는, 기판(107)을 제7 구조체(1G)의 절연층(207)으로부터 제거(박리)한다. 예를 들어, 기판(107)은 제7 구조체(1G)의 절연층(207)으로부터 기계적으로 박리할 수 있다.
이어서, 도 16c에 나타내는 공정에서는, 개구부(1075)의 저부에 노출되는 비어 배선(6010) 상에 비어 배선(6011)을 형성한다. 금속층(3016)과 금속층(3017)은 비어 배선(6010,6011)을 사이에 두고 직렬로 접속된다. 또한, 개구부(1076)의 저부에 노출되는 비어 배선(655) 상에 비어 배선(656)을 형성한다. 접속부(356)와 접속부(357)는 비어 배선(656)을 사이에 두고 전기적으로 접속된다. 또한, 개구부(1077)의 저부에 노출되는 비어 배선(675) 상에 비어 배선(676)을 형성한다. 접속부(376)와 접속부(377)는 비어 배선(676)을 사이에 두고 전기적으로 접속된다.
비어 배선(6011,656,676)은, 예를 들어, 비어 배선(601) 등과 마찬가지로, 버스 라인(36)을 급전에 사용하는 전해 도금법이나 금속 페이스트의 충전에 의해 형성할 수 있다. 비어 배선(6011,656,676)의 재료로는, 예를 들어, 구리(Cu) 등을 사용할 수 있다. 비어 배선(6011,656,676)의 상면은, 절연층(207)의 상면과는 대략 동일 평면으로 할 수 있다. 이 공정에 의해, 제1 구조체(1A) 내지 제7 구조체(1G)가 적층된 적층체에 있어서, 금속층(3011,3012,3013,3014,3015,3016,3017)이 비어 배선을 사이에 두고 직렬로 접속된다. 이렇게 직렬로 접속된 부분은, 최종적으로 성형(틀 성형 등)되어 약 5½회 권취된 코일로 된다. 또한, 접속부(351,352,353,354,355,356,357)가 비어 배선을 사이에 두고 전기적으로 접속된다. 또한, 접속부(371,372,373, 374,375,376,377)가 비어 배선을 사이에 두고 전기적으로 접속된다
이어서, 도 17a에 나타내는 공정에서는, 제7 구조체(1G) 상에, 개구부가 형성되어 있지 않은 접착층(507)을 적층한다. 이어서, 도 17b에 나타내는 공정에서는, 도 17a에 나타내는 구조체를, 도 4a에 나타내는 절단 위치(D)에서 절단하여 개별 조각화하여, 시트 형상의 기판(1M)으로 한다. 도 17a~도 17b의 예에서는, 기판(1M)에 50개의 개별 영역(C)이 형성되어 있다. 다만, 도 17b에 나타내는 공정을 실행하지 않고, 도 21a~도 21c에 나타내는 공정이 종료된 릴 형상(테이프 형상)의 구조체를 그대로 제품으로 출하할 수도 있다.
이어서, 도 18도 21a에 나타내는 공정에서는, 기판(1M)을 성형(틀 성형 등)하여 필요 없는 부분을 제거하고, 각각의 층에 형성된 금속층을 나선형 코일의 일부를 구성하는 형상의 배선으로 한다. 도 18은, 기판(1M)을 성형(틀 성형 등)하기 전의 금속층(3017)을 예시하는 평면도이다(금속층(3017)보다 상층의 도시는 생략). 도 19는, 기판(1M)을 성형(틀 성형 등)하기 전의 각각의 층에 형성된 금속층의 형상을 모식적으로 예시하는 사시도이다. 도 18 및 도 19에 나타낸 각 금속층이 형성된 기판(1M)을, 금형을 이용한 프레스 가공법 등에 의해 형성하여, 도 20 및 도 21a에 나타내는 형상으로 한다. 한편, 도 20은 도 18에 대응하는 평면도, 도 21a는 도 20의 A-A선에 따른 단면도이다. 또한, 도 20 및 도 21a에 나타내는 구조체의 각 층의 배선 형상은 도 2와 같이 된다. 기판(1M)을, 금형을 이용한 프레스 가공법 등의 대신에, 레이저 가공법 등으로 성형할 수도 있다.
이 공정에 의해, 제1 구조체(1A) 내지 제7 구조체(1G)가 적층된 적층체에 있어서, 금속층(3011)이 성형되어 제1 배선(301)으로 된다. 마찬가지로, 금속층(3012,3013,3014,3015,3016,3017)이 성형되어 각각 제2 배선(302), 제3 배선(303), 제4 배선(304), 제5 배선(305), 제6 배선(306), 제7 배선(307)으로 된다. 제1 배선(301), 제2 배선(302), 제3 배선(303), 제4 배선(304), 제5 배선(305), 제6 배선(306) 및 제7 배선(307)은 비어 배선을 사이에 두고 직렬로 접속된, 약 5½회 권취된 나선형 코일로 된다.
한편, 제1 구조체(1A) 내지 제7 구조체(1G)가 적층된 적층체는 각 개별 영역(C)에 형성되고, 인접하는 개별 영역(C) 사이에 형성된 절연층(407) 등을 포함하는 연결부(80)를 통해 상호 연결되어 있다(전기적으로는 접속되어 있지 않음). 또한, 각 개별 영역(C)의 적층체를 구성하는 절연층(407) 등도 배선과 대략 동일한 형상으로 성형되며, 적층체의 대략 중양부에, 각각의 층을 관통하는 관통 구멍(1x)이 형성된다. 각 배선과 관통 구멍(1x)의 비율은 필요한 인덕터 특성에 따라 적절히 변경할 수 있다.
이어서, 도 21b에 나타내는 공정에서는, 기판(101)을 절연층(201)으로부터 박리한다. 그리고, 도 21c에 나타내는 공정에서는, 제1 구조체(1A) 내지 제7 구조체(1G)가 적층된 적층체의 표면을 피복하는 절연막(70)을 형성한다. 적층체의 외벽면(측벽)이나 관통 구멍(1x)의 내벽면에 각 배선의 단면 등이 노출되어 있으면, 인덕터(100, 도 3a~도 3b 참조)를 제작할 때에 밀봉 재료(110)가 상기 금속 자성 분말을 함유하고 있는 경우에 각 배선에 단락(短絡)될 우려가 있기 때문이다. 적층체의 표면에 절연막(70)을 형성함으로써, 밀봉 재료(110)에 함유되는 경우가 있는 도전체(자성체 필러 등)와의 단락을 방지할 수 있다.
구체적으로는, 절연막(70)으로서 에폭시계, 아크릴계, 또는 이미드계의 절연성 수지 등의 전착 레지스트를 사용하여, 전착 도장법에 의해 절연막(70)을 형성한다. 이 경우에는, 도 21c에 나타내는 바와 같이, 적층체의 외벽면(측벽)이나 관통 구멍(1x)의 내벽면에 노출되는 각 배선의 단면에만 전착 레지스트가 피착된다. 절연막(70)의 두께는, 예를 들어 20~50㎛ 정도로 할 수 있다.
다만, 절연막(70)으로서, 예를 들어, 에폭시계나 아크릴계의 절연성 수지 등을 사용하여, 스핀 코트법이나 스프레이 코트법 등에 의해 형성할 수도 있다. 또한, 절연막(70)은 실리카 등의 필러를 함유하여도 된다. 이 경우에는, 각 개별 영역(C)에 형성된 적층체의 외벽면(측벽), 접착층(50-7)의 상면 및 관통 구멍(1x)의 내벽면을 연속적으로 피복하는 절연막(70)이 형성된다.
이상의 공정에 의해, 각 개별 영역(C)에 코일 기판(1, 도 1a~도 1c 참조)이 완성된다. 각 개별 영역(C)의 코일 기판(1)은, 인접하는 개별 영역(C) 사이에 형성된 연결부(80)를 통해 상호 연결되어 있다(전기적으로는 접속되어 있지 않음).
인덕터(100, 도 3a~도 3b 참조)를 제작할 때에는, 도 22a에 나타내는 바와 같이, 도 21c에 나타내는 연결부(80)를 통해 상호 연결된 코일 기판(1)의 상태에서 개별 영역(C) 전체에 밀봉 재료(110)를 형성한다. 밀봉 재료(110)로는, 예를 들어, 페라이트 등 자성체의 필러를 함유하는 에폭시계 절연 수지 등의 절연 수지를 사용할 수 있다.
구체적으로는, 예를 들어, 연결부(80)를 통해 상호 연결된 코일 기판(1) 및 밀봉 재료(110)를 금형 내에 배치하여 압축 성형한다. 압축 성형의 방법으로는, 기계, 유압, 정수(靜水)압 프레스 등을 이용하면 적절하다. 이 때, 밀봉 재료(110)에 함유되는 자성체의 성형 밀도를 높이기 위해 가열 상태에서 압축하는 것(히터 프레스)이 바람직하다.
이어서, 도 22b에 나타내는 바와 같이, 도 22a에 나타내는 구조체를 개별 영역(C)마다 절단한다. 이로써, 연결부(80)가 제거되어, 개별 조각화된 복수의 코일 기판(1)이 완성된다. 이 공정에서는, 제1 전극 단자(35TA)의 각 접속부 및 각 비어 배선이 두께 방향으로 절단되며, 각 접속부 및 각 비어 배선의 절단면이 각 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)에서부터 제1 전극 단자(35TA)의 측면으로서 노출된다. 또한, 제2 전극 단자(37TA)의 각 접속부 및 각 비어 배선이 두께 방향으로 절단되며, 각 접속부 및 각 비어 배선의 절단면이 각 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)에서부터 제2 전극 단자(37TA)의 측면으로서 노출된다.
이어서, 도 22c에 나타내는 바와 같이, 디핑(dipping), 스퍼터링(sputtering), 도전성 페이스트의 도포, 무전해 도금 등에 의해, 밀봉 재료(110)의 한쪽 측면 및, 상면과 하면의 일부에 제1 외부 전극(120)을 연속적으로 형성한다. 제1 외부 전극(120)의 내벽면은 코일 기판(1)의 한쪽 측면(1y)에서부터 노출되는 제1 전극 단자(35TA)의 측면과 면끼리 접하여, 양 면은 전기적으로 접속된다. 마찬가지로, 디핑, 스퍼터링, 도전성 페이스트의 도포, 무전해 도금 등에 의해 밀봉 재료(110)의 다른쪽 측면 및, 상면과 하면의 일부에 제2 외부 전극(130)을 연속적으로 형성한다. 제2 외부 전극(130)의 내벽면은 코일 기판(1)의 다른쪽 측면(1z)에서부터 노출되는 제2 전극 단자(37TA)의 측면과 면끼리 접하여, 양 면은 전기적으로 접속된다. 제1 외부 전극(120)과 제2 외부 전극(130)의 재료는, 도전성이 양호한 것이 바람직한데, 예를 들어, 은(Ag), 니켈(Ni), 구리(Cu), 구리 합금 등을 사용할 수 있다. 한편, 제1 외부 전극(120)과 제2 외부 전극(130)은 복수의 금속층을 적층한 구조로 할 수도 있다. 이상으로부터, 인덕터(100)가 완성된다.
이와 같이, 인덕터(110)에서는, 코일 기판(1)의 제1 전극 단자(35TA)와 제1 외부 전극(120)이 면끼리 접촉하고, 제2 전극 단자(37TA)와 제2 외부 전극(130)이 면끼리 접촉한다. 그리하여, 코일 기판(1)의 전극 단자와 인덕터의 외부 전극과의 접촉 면적을 종래보다 크게 하는 것이 가능하게 되어, 코일 기판(1)의 전극 단자와 인덕터의 외부 전극의 사이에서 발생하는 전기 저항을 작게 할 수 있다. 또한, 전극 단자와 외부 전극의 접합부의 장기(長期) 신뢰성이 향상되는 것을 기대할 수 있다.
또한, 인덕터(100)에 사용하는 코일 기판(1)에 있어서, 나선형 코일의 일부가 되는 배선을 절연층으로 피복한 구조체를 복수 개 제작하고, 그것들을 접착층을 사이에 두고 적층하며, 각각의 층의 배선 사이를 비어 배선을 통해 직렬로 접속하여, 하나의 나선형 코일을 제작한다. 이렇게 하여 구조체의 적층수를 늘림으로써, 평면 형상을 변경하지 않고 임의의 권수를 가지는 코일을 실현할 수 있다. 즉, 종래보다 작은 크기(예를 들어, 평면 형상이, 1.6mm×0.8mm, 2.0mm×1.6mm 등의 대략 직사각형 형상, 또는, 3.0mm×3.0mm 정도의 정사각형 형상)로 코일의 권수(turn수)를 늘리는 것이 가능하게 된다.
또한, 예를 들어, 코일의 일부를 구성하는 형상의 배선을 미리 각 구조체로 형성한 후 각 구조체를 적층하는 방법도 고려할 수 있다. 그러나, 이 방법에서는, 각 배선이 좌우로 어긋나서 평면에서 보았을 때 완전히 중복되게끔 적층할 수는 없다. 그 후, 적층체에 관통 구멍 등을 형성하면, 어긋난 배선의 일부가 제거될 우려가 있다. 이와 같은 문제점은 미리 각 구조체에 형성하는 배선을 얇게 함으로써 해결할 수 있으나, 그 결과 코일의 직류 저항은 증가해 버린다.
한편, 본 실시형태에 따른 코일 기판 제조방법에서는, 각 구조체에 미리 배선보다 큰 평면 형상의 금속층을 형성하고, 각 구조체를 적층하여 적층체를 형성하며, 이 적층체를 두께 방향으로 성형하여, 각 금속층을 나선형 코일의 일부를 구성하는 형상의 배선으로 동시에 가공한다. 그리하여, 각 배선이 좌우로 어긋나지 않고 평면에서 보았을 때 중복하도록 높은 정밀도로 적층된 배선으로부터 나선형 코일을 형성할 수 있다. 그 결과, 직류 저항을 작게 할 수 있다. 즉, 각 배선의 좌우로의 어긋남을 고려할 필요가 없으므로, 각 배선을 두껍게 하는 것이 가능하여 직류 저항을 작게 할 수 있다.
또한, 구조체의 적층수를 늘림으로써, 평면 형상을 변경하지 않고도 코일의 권수를 늘릴 수 있으므로, 소형이면서 인덕턴스가 큰 코일 기판을 용이하게 형성할 수 있다.
또한, 하나의 구조체(1층)에 형성하는 배선을 코일 1회 권취 이하로 할 수 있으므로, 구조체(1층)에 형성하는 배선의 폭을 굵게 하는 것이 가능하다. 즉, 배선의 폭방향 단면적을 늘리는 것이 가능하게 되어, 인덕터의 성능에 직결되는 권선 저항을 저감할 수 있다.
또한, 코일 기판(1)의 제조 공정에서는, 기판(10n)으로서 가소성을 갖는 절연 수지 필름(예를 들어, 폴리페닐렌설파이드 필름 등)을 사용하나, 최종적으로는 박리되어 제품에는 잔존하지 않으므로 코일 기판(1)의 박형화가 가능하게 된다.
또한, 기판(10n)으로서 릴 형상(테이프 형상)의 가소성을 갖는 절연 수지 필름(예를 들어, 폴리페닐렌설파이드 필름 등)을 사용함으로써, 코일 기판(1)을 기판(10n) 상에 릴 투 릴(reel to reel)로 제조하는 것이 가능하게 된다. 이로써, 대량 생산에 의한 코일 기판(1)의 코스트 저감을 실현할 수 있다.
<제1 실시형태의 변형예>
제1 실시형태의 변형예에서는, 제1 실시형태와는, 인덕터의 외부 전극 구조가 다른 예를 나타낸다. 한편, 제1 실시형태의 변형예에 있어서, 이미 설명한 실시형태와 동일한 구성부에 대한 설명은 생략하는 경우가 있다.
도 23a 및 도 23b는 제1 실시형태의 변형예에 따른 인덕터를 예시하는 도면인데, 도 23a는 단면도, 도 23b는 사시도이다. 제1 실시형태에 따른 인덕터(100, 도 3a~도 3b 참조)에서는, 제1 외부 전극(120)은 밀봉 재료(110) 외측의 일단측에서 제1 전극 단자(35TA)가 노출되는 밀봉 재료(110)의 측면을 포함하는 밀봉 재료(110)의 다섯 면에 연속적으로 형성되어 있었다. 또한, 제2 외부 전극(130)은 밀봉 재료(110) 외측의 타측단에서 제2 전극 단자(37TA)가 노출되는 밀봉 재료(110)의 측면을 포함하는 밀봉 재료(110)의 다섯 면에 연속적으로 형성되어 있었다.
이에 대해, 인덕터(100A)에서는, 제1 외부 전극(120A)은, 제1 전극 단자(35TA)의 측면에 형성됨과 동시에, 제1 전극 단자(35TA)의 측면으로부터 밀봉 재료(110) 일단측의 주위 네 면 중 하나의 면(도 23에서는 상면)에만 연속적으로 연장되어 형성되어 있다. 즉, 제1 외부 전극(120A)은 밀봉 재료(110) 외측의 일단측에서 제1 전극 단자(35TA)가 노출되는 밀봉 재료(110)의 측면을 포함하는 밀봉 재료(110)의 두 면에 연속적으로 형성되어 있다.
또한, 제2 외부 전극(130A)은, 제2 전극 단자(37TA)의 측면에 형성됨과 동시에, 제2 전극 단자(37TA)의 측면으로부터 밀봉 재료(110) 타단측의 주위 네 면 중 하나의 면(도 23에서는 상면)에만 연속적으로 연장되어 형성되어 있다. 즉, 제2 외부 전극(130A)은 밀봉 재료(110) 외측의 타단측에서 제2 전극 단자(37TA)가 노출되는 밀봉 재료(110)의 측면을 포함하는 밀봉 재료(110)의 두 면에 연속적으로 형성되어 있다.
일반적으로, 주석·은 계열의 무연(無鉛) 납땜의 리플로우 등에 의해 인덕터를 기판에 장착할 때에, 외부 전극의 구조에 따라서는, 두 개의 외부 전극에 부착하는 땜납의 표면 장력의 불균일에 의해, 가열시에 인덕터가 중력에 거슬러서 일어서는 현상(이른바, 맨하탄 현상)이 일어나는 경우가 있다.
인덕터(100A)에서는, 제1 외부 전극(120A)과 제2 외부 전극(130A)이 밀봉 재료(110)의 두 면에만 형성되어 있으므로, 인덕터(100A)를 기판에 장착할 때에 제1 외부 전극(120A)과 제2 외부 전극(130A)에 골고루 땜납이 부착된다. 그 결과, 제1 외부 전극(120A)과 제2 외부 전극(130A)에서 땜납의 표면 장력의 불균일을 저감하는 것이 가능해져서, 인덕터(100A)가 중력에 거슬러서 일어서는 현상을 방지할 수 있다. 한편, 인덕터(100A)에서는 도 23의 상면측이 기판에 대향하는 쪽이 된다.
이상, 바람직한 실시형태에 대해 설명하였으나, 전술한 실시형태에 제한되는 것은 아니며, 특허청구범위에 기재된 범위를 일탈하지 않으면서 전술한 실시형태에 여러 변형 및 치환을 가할 수 있다.
예를 들어, 상기 실시형태에서는 기판(101) 상에 각 구조체를 순차적으로 적층하는 예를 나타내었으나, 기판 (101) 상에 각 구조체를 적층하지 않을 수도 있다. 예를 들어, 도 5a의 시점에서 기판(101)을 제거하고 도 7a에서 제1 구조체(1A) 위에만 제2 구조체(1B) 등을 적층할 수도 있다.
또한, 하나의 구조체(1층)에 형성하는 배선의 권수는 임의로 조합할 수 있다. 상기 실시형태에서와 같이, 약 1회 권취된 배선과 약 ¾회 권취된 배선을 조합할 수도 있고, 약 1회 권취된 배선과 약 ½회 권취된 배선을 조합할 수도 있다. 약 ¾회 권취된 배선을 사용하면 4가지 패턴(상기 예에서는, 제2 배선(302), 제3 배선(303), 제4 배선(304), 제5 배선(305))의 배선이 필요하게 되나, 약 ½회 권취된 배선을 사용하면 2가지 패턴의 배선만으로 구성할 수 있다.
또한, 절연층(402 ~ 407)에 의해, 각 구조체의 접착과 적층을 실시할 수도 있다. 이 경우, 각 구조체 사이의 접착층(501 506)은 불필요하게 된다. 이 경우, 절연층(402 ~ 407)의 수지를 반경화 상태로 하여 두고, 접착성을 유지한 상태에서 각 구조체의 적층을 실시할 수 있다. 예를 들어, 도 6a의 상태에서 제2 구조체(1B)의 절연층(402)을 반경화 상태로 하여 두고 도 7a에 있어서 제2 구조체(1B)의 절연층(402)을 직접 제1 구조체(1A)에 접착하여 적층을 실시할 수 있다.
한편, 본원은 일본국에 2015년 5월 19일에 출원된 기초출원 2015-101992호에 기초하는 우선권을 주장하는 것이고, 이들 일본국 특허출원의 전체 내용을 참조함으로써 본원에 원용한다.
1 코일 기판
1A 제1 구조체
1B 제2 구조체
1C 제3 구조체
1D 제4 구조체
1E 제5 구조체
1F 제6 구조체
1G 제7 구조체
1x 관통 구멍
1y 코일 기판의 한쪽 측면
1z 코일 기판의 다른쪽 측면
101 107, 1M 기판
10Z 스프로켓 홀
201 207, 401 407 절연층
301 제1 배선
302 제2 배선
303 제3 배선
304 제4 배선
305 제5 배선
306 제6 배선
307 제7 배선
351 357, 371 377, 접속부
35TA 제1 전극 단자
36 버스 라인
37TA 제2 전극 단자
501 507 접착층
601 6011, 651 656, 671 676 비어 배선
70 절연막
80 연결부
100, 100A 인덕터
110 밀봉 재료
120, 120A 제1 외부 전극
130, 130A 제2 외부 전극
3001 금속박
3011 3017 금속층
C 개별 영역

Claims (11)

  1. 나선형 코일, 상기 나선형 코일의 일단측에 접속된 제1 전극 단자 및 상기 나선형 코일의 타단측에 접속된 제2 전극 단자를 구비한 코일 기판과,
    상기 코일 기판을 선택적으로 피복하는, 자성체를 함유하는 밀봉 재료와,
    상기 밀봉 재료의 외측에 형성되고, 상기 제1 전극 단자에 접속된 제1 외부 전극과,
    상기 밀봉 재료의 외측에 형성되고, 상기 제2 전극 단자에 접속된 제2 외부 전극을 포함하는 인덕터로서,
    상기 코일 기판은,
    배선, 상기 배선과 동일한 층에 형성되어 상기 배선을 사이에 두고 대향 배치된 제1 접속부 및 제2 접속부를 포함하는 배선층을 구비한 구조체가 복수 개 적층된 적층체를 포함하고,
    상기 나선형 코일은, 각각의 상기 구조체의 상기 배선끼리가 직렬로 접속되어 형성되며,
    상기 제1 전극 단자는, 각각의 상기 구조체의 상기 제1 접속부끼리가 제1 비어 배선으로 접속되어 형성되고,
    상기 제2 전극 단자는, 각각의 상기 구조체의 상기 제2 접속부끼리가 제2 비어 배선으로 접속되어 형성되고,
    상기 제1 전극 단자를 구성하는 상기 제1 접속부 및 상기 제1 비어 배선은 상기 코일 기판의 일단측 측면에서부터 노출되고,
    상기 제2 전극 단자를 구성하는 상기 제2 접속부 및 상기 제2 비어 배선은 상기 코일 기판의 타단측 측면에서부터 노출되고,
    상기 제1 전극 단자의 상기 코일 기판의 일단측 측면에서부터 노출되는 면의 전체면이 상기 밀봉 재료로부터 노출되어 상기 제1 외부 전극에 접하고,
    상기 제2 전극 단자의 상기 코일 기판의 타단측 측면에서부터 노출되는 면의 전체면이 상기 밀봉 재료로부터 노출되어 상기 제2 외부 전극에 접해 있는 것을 특징으로 하는 인덕터.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    한쪽의 최외 배선층의 제2 접속부는 상기 한쪽의 최외 배선층의 배선이 연장되어 형성된 것이고,
    다른쪽의 최외 배선층의 제1 접속부는 상기 다른쪽의 최외 배선층의 배선이 연장되어 형성된 것임을 특징으로 하는 인덕터.
  4. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    각각의 상기 구조체에서 배선층은 제1 절연층 및 제2 절연층에 의해 피복되고,
    각각의 상기 구조체는 제3 절연층을 사이에 두고 적층되어 있는 것을 특징으로 하는 인덕터.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1 절연층, 상기 제2 절연층, 상기 제3 절연층 중 적어도 하나는 탄성률이 3㎬ 이상이고, 적어도 다른 하나는 탄성률이 3㎬ 미만인 것을 특징으로 하는 인덕터.
  6. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 코일 기판을 관통하는 관통 구멍이 형성되고,
    상기 밀봉 재료는 상기 관통 구멍 내에 충전되어 있는 것을 특징으로 하는 인덕터.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 배선의 단면의 일부는 상기 관통 구멍의 내벽면으로부터 노출되고, 상기 내벽면으로부터 노출되는 상기 단면은 절연막으로 피복되어 있는 것을 특징으로 하는 인덕터.
  8. 나선형 코일, 상기 나선형 코일의 일단측에 접속된 제1 전극 단자 및 상기 나선형 코일의 타단측에 접속된 제2 전극 단자를 구비한 코일 기판과,
    상기 코일 기판을 선택적으로 피복하는, 자성체를 함유하는 밀봉 재료와,
    상기 밀봉 재료의 외측에 형성되고, 상기 제1 전극 단자에 접속된 제1 외부 전극과,
    상기 밀봉 재료의 외측에 형성되고, 상기 제2 전극 단자에 접속된 제2 외부 전극을 포함하는 인덕터의 제조방법으로서,
    상기 코일 기판을 제작하는 공정은,
    배선이 되는 금속층, 상기 금속층과 동일한 층에 형성되어 상기 금속층을 사이에 두고 대향 배치된 제1 접속부 및 제2 접속부를 포함하는 배선층을 구비한 구조체를 복수 개 제작하는 공정과,
    각각의 상기 구조체를 순차적으로 적층하여 적층체를 제작하는 공정을 포함하고,
    상기 적층체를 제작하는 공정은,
    인접하는 상기 구조체의 상기 금속층끼리를 직렬로 접속하는 공정과,
    인접하는 상기 구조체의 상기 제1 접속부끼리를 제1 비어 배선으로 접속하여 상기 제1 전극 단자를 형성하고, 인접하는 상기 구조체의 상기 제2 접속부끼리를 제2 비어 배선으로 접속하여 상기 제2 전극 단자를 형성하는 공정을 구비하고,
    상기 제1 전극 단자 및 제2 전극 단자를 형성하는 공정에서는,
    상기 제1 전극 단자를 구성하는 상기 제1 접속부 및 상기 제1 비어 배선은 상기 코일 기판의 일단측 측면에서부터 노출되고, 상기 제2 전극 단자를 구성하는 상기 제2 접속부 및 상기 제2 비어 배선은 상기 코일 기판의 타단측 측면에서부터 노출되고, 상기 제1 전극 단자의 상기 코일 기판의 일단측 측면에서부터 노출되는 면의 전체면이 상기 밀봉 재료로부터 노출되어 상기 제1 외부 전극에 접하고, 상기 제2 전극 단자의 상기 코일 기판의 타단측 측면에서부터 노출되는 면의 전체면이 상기 밀봉 재료로부터 노출되어 상기 제2 외부 전극에 접해 있는 것을 특징으로 하는 인덕터 제조방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 적층체를 성형하여, 각각의 상기 구조체의 상기 금속층을, 코일의 일부를 구성하는 형상의 배선으로 동시에 가공하여, 상기 배선끼리가 직렬로 접속된 나선형 코일을 형성하는 공정과,
    성형후의 상기 적층체를 피복하는 밀봉 재료를 형성하는 공정을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 인덕터 제조방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 밀봉 재료를 형성한 후의 상기 적층체를 소정 위치에서 절단하는 공정을 더 포함하고,
    상기 절단하는 공정에서는,
    상기 적층체를 제작하는 공정에서 형성된 상기 제1 전극 단자의 상기 제1 접속부 및 상기 제1 비어 배선이 두께 방향으로 절단되며, 상기 제1 접속부 및 상기 제1 비어 배선의 절단면이 상기 적층체의 일단측 측면으로부터 노출되고,
    상기 적층체를 제작하는 공정에서 형성된 상기 제2 전극 단자의 상기 제2 접속부 및 상기 제2 비어 배선이 두께 방향으로 절단되며, 상기 제2 접속부 및 상기 제2 비어 배선의 절단면이 상기 적층체의 타단측 측면으로부터 노출되는 것을 특징으로 하는 인덕터 제조방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 나선형 코일을 형성하는 공정에서는, 상기 금속층을 동시에 가공하여 상기 적층체를 관통하는 관통 구멍이 형성되고,
    상기 밀봉 재료를 형성하는 공정에서 상기 적층체를 피복하는 것은, 상기 관통 구멍을 밀봉 재료로 충전하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 인덕터 제조방법.
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