KR102355695B1 - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 Download PDF

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Abstract

(과제) 복수의 기판의 동시 처리 및 복수의 기판의 개별 처리 양쪽에 적합한 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공한다.
(해결 수단) 기판 처리 장치는 상류 처리부(22)와 하류 처리부와 제1 대기부(231)와 제2 대기부(232)와 반송 로봇(4)을 포함한다. 상류 처리부(22)는 복수의 기판(W)을 1장씩 순차적으로 처리한다. 하류 처리부는 상류 처리부(22)에 의해 처리된 2장의 기판을 동시에 처리 가능하다. 제1 대기부(231)는 상류 처리부(22)에서 처리된 기판(W)인 제1 기판(W1)을 대기시킨다. 제2 대기부(232)는 상류 처리부(22)에서 처리된 기판(W)이며, 제1 기판(W1)의 다음 기판인 제2 기판(W2)을 대기시킨다. 반송 로봇(4)은, 제1 기판(W1)과 제2 기판(W2) 양쪽, 제1 기판(W1)만, 및, 제2 기판(W2)만 중 어느 것이나 반송 대상으로서 취출 가능하며, 당해 반송 대상을 하류 처리부로 반송 가능하다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{SUBSTRATE TREATMENT APPARATUS AND SUBSTRATE TREATMENT METHOD}
본 발명은, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.
복수의 처리 장치를 가지는 코터/디벨로퍼 장치가 알려져 있다. 예를 들어, 특허문헌 1에 기재된 코터/디벨로퍼 장치에서는, 인덱서부에 재치(載置)된 카세트로부터 취출(取出)된 복수의 기판이 순차적으로, 세정 장치에 투입되고, 그 후, 탈수 베이크 장치, 레지스트 도포 장치, 프리베이크 장치, 노광 장치, 현상 장치, 및, 포스트베이크 장치를 차례로 경유해, 다시 카세트에 수용된다.
이 코터/디벨로퍼 장치에는, 다음의 2개의 타입의 처리 장치가 혼재한다. 즉, 수평 흐름 처리 장치와 가변 반송형의 처리 장치가 혼재한다. 이 수평 흐름 처리 장치에는 1장씩 기판이 반입된다. 수평 흐름 처리 장치는 이들의 기판을 순차적으로 한 방향으로 반송해 기판에 대해 1장씩 처리를 행한다. 이 수평 흐름 처리 장치로서는, 세정 장치 및 현상 장치가 예시된다.
가변 반송형의 처리 장치에도 기판이 1장씩 반입된다. 가변 반송형의 처리 장치는, 복수의 처리부와, 당해 복수의 처리부에 대해 기판을 반송하는 기판 반송 수단을 가진다. 기판 반송 수단은, 기판을 수취하는 핸드와, 이 핸드를 각 처리부로 이동시키는 이동 기구를 가진다. 이 기판 반송 수단은 상류 측의 장치로부터 기판을 1장씩 수취해 처리부로 기판을 건넨다. 또 기판 반송 수단은 처리부의 상호간에서 기판을 반송할 수도 있다. 이 가변 반송형의 처리 장치로서는, 예를 들어 탈수 베이크 장치가 예시된다. 이 탈수 베이크 장치에서는 복수의 처리부로서 가열부 및 냉각부가 설치된다.
일본국 특허공개 2015-156426호 공보
그러나, 이러한 가변 반송형의 처리 장치의 각 처리부에는, 예를 들어 상류 측의 수평 흐름 장치로부터 기판이 1장씩 반송되고, 각 처리부는 기판에 대해 1장씩 처리를 행한다. 따라서, 기판 처리의 스루풋이 낮다는 문제가 있다.
그래서, 가변 반송형의 처리 장치의 각 처리부에, 복수 장의 기판에 대해 동시에 처리를 행하게 하는 것이 고려된다. 이에 의해, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
그러나, 가변 반송형의 처리 장치의 각 처리부가 항상 복수의 기판에 대해 동시에 처리를 행하는 것이 바람직하다고는 할 수 없고, 각 처리부가 1장의 기판에 대해 처리를 행하는 것이 바람직한 경우도 있다. 이하에 간단히 설명한다.
예를 들어 수평 흐름 처리 장치에 있어서는, 선행하는 기판(이하, 선행 기판이라고 부른다)의 처리가 종료된 후에, 그 다음에 흐르는 기판(이하, 다음 기판이라고 부른다)이 처리된다. 따라서, 선행 기판은 다음 기판의 처리의 종료를 기다릴 필요가 있고, 그 대기 기간에 있어서, 선행 기판의 상태가 경시적으로 변화할 수 있다. 따라서, 다음 기판의 처리가 종료된 시점에서의 선행 기판 및 다음 기판의 상태는 서로 상위할 수 있다. 이와 같이 선행 기판 및 다음 기판의 상태의 차이가 커지는 경우는, 수평 흐름 처리 장치에 있어서의 다음 기판의 처리의 종료를 기다리는 것은 바람직하지 않다. 그래서, 하류 측의 가변 반송형의 처리 장치의 각 처리부에, 선행 기판 및 다음 기판을 순차적으로 반송해, 선행 기판 및 다음 기판에 대해 1장씩 개별적으로 처리를 행하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 상태에 차이가 없는 기판에 대해 처리를 행할 수 있다.
반면에, 상기 차이가 작으면, 하류 측의 가변 반송형의 처리 장치의 각 처리부는 선행 기판 및 다음 기판에 대해 동시에 처리를 행하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 스루풋을 향상시킬 수 있다.
그러나, 종래에서는, 이러한 처리 방법의 상이함에 대해 고려되어 있지 않고, 그와 같은 양쪽 처리 방법에 적합한 기판 처리 장치는 제안되어 있지 않다.
그래서, 본 발명은, 상기 과제를 감안하여 이루어진 것이며, 복수의 기판의 동시 처리 및 복수의 기판의 개별 처리 양쪽에 적합한 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
기판 처리 장치의 제1 양태는, 복수의 기판을 1장씩 순차적으로 처리하는 상류 처리부와, 상기 상류 처리부에 의해 처리된 2장의 기판을 동시에 처리 가능한 하류 처리부와, 상기 상류 처리부에서 처리된 기판인 제1 기판을 대기시키는 제1 대기부와, 상기 상류 처리부에서 처리된 기판이며, 상기 제1 기판의 다음 기판인 제2 기판을 대기시키는 제2 대기부와, 상기 제1 대기부에서 대기하는 상기 제1 기판과 상기 제2 대기부에서 대기하는 상기 제2 기판 양쪽, 상기 제1 대기부에서 대기하는 상기 제1 기판만, 및, 상기 제2 대기부에서 대기하는 제2 기판만 중 어느 것이나 반송 대상으로서 취출 가능하고, 상기 반송 대상을 상기 하류 처리부로 반송 가능한 반송 로봇을 구비한다.
기판 처리 장치의 제2 양태는, 제1 양태에 따른 기판 처리 장치로서, 상기 제1 대기부는 상기 제1 기판을 상승시키는 제1 상승 기구를 가지고, 상기 제2 대기부는 상기 제2 기판을 상승시키는 제2 상승 기구를 가지고, 상기 제1 상승 기구 및 상기 제2 상승 기구는 서로 독립적으로 구동된다.
기판 처리 장치의 제3 양태는, 제2 양태에 따른 기판 처리 장치로서, 상기 상류 처리부는, 반송 방향을 따라 상기 복수의 기판을 1장씩 순차적으로 반송하는 반송부를 가지고, 상기 제1 대기부는, 상기 반송 방향에 있어서 상기 반송부의 하류 측에 위치하고, 상기 제2 대기부는, 상기 반송 방향에 있어서 상기 반송부와 상기 제1 대기부 사이에 위치하고 있으며, 상기 반송부로부터의 상기 제1 기판을 상기 제1 대기부로 반송하는 기능도 가지고, 상기 제1 기판이 상기 제2 대기부에서 상기 제1 대기부로 반송되면, 상기 제1 상승 기구가 상기 제1 기판을 상승시키고, 상기 제2 기판은, 제1 상승 기구가 상기 제1 기판을 상승시킨 상태에서, 상기 반송부로부터 상기 제2 대기부로 반송된다.
기판 처리 장치의 제4 양태는, 제1~제3 중 어느 하나의 양태에 따른 기판 처리 장치로서, 상기 하류 처리부는, 건조 처리를 행하는 복수의 건조부를 가지고, 상기 반송 로봇은, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판의 각각의 건조에 요하는 필요 건조 시간이 제1 시간일 때에는, 상기 제1 기판을 상기 복수의 건조부 중 하나로 반송하고, 상기 제2 기판을 상기 복수의 건조부 중 다른 하나로 반송하고, 상기 필요 건조 시간이, 상기 제1 시간보다 긴 제2 시간일 때에는, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 양쪽을 수취해 일괄적으로 상기 복수의 건조부 중 하나로 반송한다.
기판 처리 방법의 양태는, 복수의 기판을 1장씩 순차적으로 처리하는 제1 공정과, 상기 제1 공정에서 처리된 기판인 제1 기판을 대기시키는 제2 공정과, 상기 제1 공정에서 처리된 기판이며, 상기 제1 기판의 다음 기판인 제2 기판을 대기시키는 제3 공정과, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 양쪽, 상기 제1 기판만, 및, 제2 기판만 중 어느 것이나 반송 대상으로서 취출 가능한 반송 로봇에 의해 상기 반송 대상을 취출하는 제4 공정과, 2장의 기판을 동시에 처리 가능한 하류 처리부로, 상기 반송 로봇에 의해 상기 반송 대상을 반송하는 제5 공정을 구비한다.
기판 처리 장치의 제1 양태 및 기판 처리 방법의 양태에 의하면, 반송 로봇이 제1 기판 및 제2 기판 양쪽을 일괄적으로 하류 처리부로 반송할 수도 있고, 또 제1 기판 및 제2 기판을 개별적으로 하류 처리부로 반송할 수도 있다. 제1 기판 및 제2 기판 양쪽을 일괄적으로 하류 처리부로 반송하면, 하류 처리 장치가 제1 기판 및 제2 기판 양쪽을 동시에 처리한다. 이에 의하면, 스루풋을 향상시킬 수 있다. 한편, 제1 기판 및 제2 기판을 개별적으로 하류 처리부로 반송하면, 하류 처리부는 제1 기판 및 제2 기판을 개별적으로 처리한다. 이에 의하면, 하류 처리부는 제1 기판 및 제2 기판의 각각에 대해 적합한 처리 조건에서, 제1 기판 및 제2 기판에 대해 처리를 행할 수 있다.
기판 처리 장치의 제2 양태에 의하면, 제1 상승 기구 및 제2 상승 기구가 서로 독립적으로 구동되므로, 제1 기판만을 상승시키는 것도, 제2 기판만을 상승시키는 것도, 제1 기판 및 제2 기판 양쪽을 상승시키는 것도 가능하다.
기판 처리 장치의 제3 양태에 의하면, 제1 기판을 보다 빠른 타이밍에서 상승시킬 수 있다. 이에 의하면, 제1 기판을 반송부로부터 멀어지게 해서 지지할 수 있다. 따라서, 반송부와 기판 사이에서 이동하는 열의 양을 저감할 수 있다. 따라서, 제1 기판과 제2 기판의 온도 상태의 차를 저감할 수 있다.
기판 처리 장치의 제4 양태에 의하면, 상류 처리부는 제1 기판 및 제2 기판을 1장씩 순차적으로 처리하므로, 그 처리의 종료 타이밍은 제1 기판 및 제2 기판 사이에서 상위하다. 구체적으로는, 제1 기판의 종료 타이밍은 제2 기판의 종료 타이밍보다 빠른 타이밍이다. 따라서, 제1 기판 및 제2 기판에 대한 처리가 종료된 후의 제1 기판의 건조 상태는 제2 기판의 건조 상태와 상이하다.
필요 건조 시간이 짧을 때에는, 제1 기판 및 제2 기판의 각각은 건조되기 쉽고, 처리의 종료 타이밍의 차에 의한 건조의 정도 차는 비교적 커진다. 이 경우, 반송 로봇은 제1 기판 및 제2 기판을 각각 다른 건조부로 반송한다. 따라서, 제1 기판 및 제2 기판의 각각에 적합한 건조 시간에 건조 처리를 행할 수 있다.
한편, 필요 건조 시간이 길 때에는, 제1 기판 및 제2 기판의 각각은 건조되기 어려워, 처리의 종료 타이밍의 차에 의한 건조의 정도 차는 비교적 작아진다. 이 경우, 반송 로봇은 제1 기판 및 제2 기판을 일괄적으로 하나의 건조부로 반송한다. 이에 의해, 건조에 요하는 스루풋을 향상할 수 있다.
도 1은, 기판 처리 장치의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 2는, 제어부의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 기능 블록도이다.
도 3은, 도포 장치 및 반송 로봇의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 4는, 제어부의 동작의 일례를 나타내는 플로 차트이다.
도 5는, 도포 장치의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
제1 실시형태.
<1. 기판 처리 장치의 전체 구성·전체 동작의 개요의 일례>
도 1은, 기판 처리 장치(1)의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 평면도이다. 또한 이하에서 참조하는 각 도면에서는, 이해 용이의 목적에서, 필요에 따라 각 부의 치수나 수를 과장 또는 간략화해서 그리고 있다. 또 각 도면에 있어서, 각 구성의 위치 관계를 설명하기 위해, XYZ 직교 좌표계가 적당히 나타내어진다. 여기서는, Z축이 연직 방향을 따르는 자세로 배치되고, X축 및 Y축은 수평면을 따라 배치된다. 이하에서는, X축 방향에 있어서의 한쪽 측을 +X측이라고도 부르고, 다른쪽 측을 -X측이라고도 부른다. Y축 및 Z축도 마찬가지이다. 또한 이하에서는, +Z측은 연직 상측을 의미한다.
기판 처리 장치(1)는 도포 장치(2)와 감압 건조 장치(3)와 반송 로봇(4)과 제어부(6)를 구비하고 있다. 도포 장치(2)에는, 상류 측으로부터 기판(W)이 반입된다. 또한 기판(W)은 도포 장치(2)의 반입 전에 적당히 세정 처리 등의 처리가 행해지면 된다. 도포 장치(2)는 복수의 기판(W)을 1장씩 순차적으로 반송 방향을 따라 반송하면서, 기판(W)에 대해 1장씩 도포 처리를 행한다. 이에 의해, 기판(W)의 상면에는, 도막이 형성된다. 기판(W)에 도포하는 도포액으로서는, 예를 들어 포토레지스트용의 도포액 또는 절연막용의 도포액을 채용할 수 있다.
감압 건조 장치(3)는 도포 장치(2)의 하류 측에 설치되며, 복수의 건조부(31)를 포함하고 있다. 복수의 건조부(31)의 각각은, 도포 장치(2)에 의해 처리된 N(N은 2 이상의 정수)장의 기판(W)을 받아들이는 것이 가능하다. 이하에서는, 일례로서 N장의 기판(W)으로서 2장의 기판을 채용했을 경우에 대해 설명한다. 건조부(31)는, 반입된 기판(W)에 대해 감압 건조 처리를 행한다. 즉, 건조부(31)에 2장의 기판(W)이 반입되면, 건조부(31)는 2장의 기판(W)에 대해 동시에 감압 건조 처리를 행한다. 또, 건조부(31)에 1장의 기판(W)이 반입되면, 건조부(31)는 그 1장의 기판(W)에 대해 감압 건조 처리를 행한다. 이 감압 건조 처리에 의해, 기판(W)의 도막은 어느 정도 건조된다. 또한, 건조부(31)에 있어서의 2장의 기판의 처리 기간은 완전히 일치할 필요는 없고, 각 처리 기간의 적어도 일부가 겹쳐 있으면 된다. 요컨데, 여기서 말하는 동시란, 각 처리 기간이 전혀 겹치지 않는 상태와 대비된 의미로 이용된다.
반송 로봇(4)은, 도포 장치(2)에 의해 처리된 2장의 기판(W)을 반송 대상으로 하여 일괄적으로 취출하고, 그 반송 대상을 일괄적으로 건조부(31)로 반송할 수 있다. 이하에서는, 일례로서, N장의 기판(W)으로서 2장의 기판을 채용했을 경우에 대해 설명한다.
또 반송 로봇(4)은, 도포 장치(2)에 의해 처리된 기판(W)을 반송 대상으로 하여 1장씩 취출하고, 각 기판(W)을 서로 다른 건조부(31)로 순차적으로 반송할 수도 있다. 반송 로봇(4)이 반송하는 기판(W)의 매수는, 후에 상세하게 설명하는 바와 같이, 도포 장치(2)의 처리 내용(구체적으로는, 도포액의 종류)에 따라 변경된다.
반송 로봇(4)은, 감압 건조 장치(3)에 의해 처리된 기판(W)을 수도(受渡) 유닛(5)으로 반송한다. 수도 유닛(5)은 건조부(31)의 상방에 설치되며, 2장의 기판(W)을 받아들일 수 있다. 건조부(31)에 있어서 2장의 기판(W)이 동시에 처리되면, 반송 로봇(4)은 그 2장의 기판(W)을 건조부(31)로부터 취출해, 당해 2장의 기판(W)을 일괄적으로 수도 유닛(5)으로 반송한다. 한편, 건조부(31)에 있어서 1장의 기판(W)이 처리되면, 반송 로봇(4)은 그 1장의 기판(W)을 취출해, 당해 1장의 기판(W)을 수도 유닛(5)으로 반송한다. 또한, 반송 로봇(4)은 다른 건조부(31)에 의해 처리된 1장의 기판(W)을 취출해, 그 1장의 기판(W)을 수도 유닛(5)으로 반송한다. 이에 의해, 수도 유닛(5)에는, 2장의 기판(W)이 반입되게 된다.
수도 유닛(5) 내에 반입된 2장의 기판(W)은, 그 하류 측에 설치된 반송 로봇(72)에 의해 일괄적으로 취출되어, 하류 측에 있는 가열 처리 장치(7)의 가열 유닛(71)으로 반송된다. 가열 유닛(71)은 2장의 기판(W)에 대해 동시에 가열 처리를 행한다. 이에 의해, 2장의 기판(W)의 도막이 대략 완전히 건조된다.
제어부(6)는 각 처리 장치에서의 처리 및 기판(W)의 반송을 제어한다. 도 2는, 제어부(6)의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 기능 블록도이다. 제어부(6)는 제어 회로로서, 도 2에 나타내어지는 바와 같이, 예를 들어, CPU(Central Processing Unit)(61), ROM(Read Only Memory)(62), RAM(Random Access Memory)(63) 및 기억 장치(64) 등이, 버스 라인(65)을 통해 상호 접속된 일반적인 컴퓨터에 의해 구성된다. ROM(62)은 기본 프로그램 등을 저장하고 있고, RAM(63)은 CPU(61)가 소정의 처리를 행할 때의 작업 영역으로서 제공된다. 기억 장치(64)는, 플래시 메모리, 혹은, 하드 디스크 장치 등의 불휘발성의 기억 장치에 의해 구성된다.
또 제어부(6)에 있어서는, 입력부(66), 표시부(67), 통신부(68)도 버스 라인(65)에 접속되어 있다. 입력부(66)는, 각종 스위치, 혹은, 터치 패널 등에 의해 구성되어 있으며, 오퍼레이터로부터 처리 레시피 등의 각종의 입력 설정 지시를 받는다. 표시부(67)는, 액정 표시 장치 및 램프 등에 의해 구성되어 있으며, CPU(61)에 의한 제어하에서 각종의 정보를 표시한다. 통신부(68)는, LAN(Local Area Network) 등을 통한 데이터 통신 기능을 가진다.
또, 제어부(6)에는, 각 로봇(반송 로봇(4, 72) 등) 및 상술한 각 처리 장치가 제어 대상으로서 접속되어 있다. 즉 제어부(6)는 기판(W)의 반송을 제어하는 반송 제어부로서 기능할 수 있다.
제어부(6)의 기능은, CPU(61)가, ROM(62) 또는 기억 장치(64)에 저장된 프로그램을 실행함으로써, 실현되어도 된다. 즉, 제어부(6)의 기능은 소프트웨어에 의해 실현되어도 된다. 혹은, 제어부(6)의 기능의 전부 또는 일부는, 전용의 논리 회로 등을 포함하는 하드웨어에 의해 실현되어도 된다.
<1-1. 도포 장치>
도포 장치(2)는 기판 도입부(21)와 처리 장치 본체(22)와 기판 대기부(23)를 포함하고 있다. 기판 도입부(21)는 기판(W)을 수취한다. 예를 들어 기판 도입부(21)에는, 2장의 기판(W)이 일괄적으로 반입된다. 처리 장치 본체(22)는, 기판 도입부(21)로부터 반송되는 기판(W)을 순차적으로 수취하고, 이 기판(W)을 반송 방향을 따라 반송시킨다. 여기에서는, 처리 장치 본체(22)에 있어서의 반송 방향은 X축 방향이며, 그 반송 방향의 상류 측은 -X측이며, 반송 방향의 하류 측은 +X측이다. 또한, 도포 장치(2)는 감압 건조 장치(3)의 상류 측(+X측)에 위치하는 상류 처리부이다.
처리 장치 본체(22)는 기판(W)을 +X측으로 순차적으로 반송하면서, 그 기판(W)에 대해 1장씩 순차적으로 도포 처리를 행한다. 도포 처리 후의 기판(W)은 처리 장치 본체(22)로부터 기판 대기부(23)로 순차적으로 반송된다. 기판 대기부(23)는, 처리 장치 본체(22)로부터 반송된 기판(W)을 순차적으로 수취한다. 기판 대기부(23)는, 순차적으로 수취한 2장의 기판(W)을 대기시킬 수 있다. 또한 여기서 말하는 「대기」란, 그 대기 시간의 길고 짧음에 관계없이, 그 위치에 있어서 정지하는 것을 말한다. 기판 대기부(23)에서 대기한 기판(W)은, 반송 로봇(4)에 의해 취출되어, 하류 측의 감압 건조 장치(3)로 반송된다.
<1-1-1. 기판 도입부>
도 3은, 도포 장치(2) 및 반송 로봇(4)의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 측면도이다. 도 3의 예에서는, 기판 도입부(21)는 예를 들어 롤러 컨베이어를 포함하고 있다. 이 롤러 컨베이어는 복수의 회전축(211A)과 복수의 회전축(211B)과 복수의 롤러(212A)와 복수의 롤러(212B)를 포함하고 있다. 회전축(211A) 및 회전축(211B)의 각각은 그 중심축이 Y축을 따르는 자세로 설치된다. 복수의 회전축(211A)은 X축 방향에 있어서 간격을 두고 늘어서 있고, 복수의 회전축(211B)은, 복수의 회전축(211A)보다 하류 측에 있어서, X축 방향에 있어서 간격을 두고 늘어서 있다. 또 회전축(211A) 및 회전축(211B)은 서로 대략 같은 높이 위치에 설치되어 있다. 회전축(211A) 및 회전축(211B)의 각각은 자신의 중심축을 회전축으로 하여 회전할 수 있다.
각 회전축(211A)의 외주면에는, 복수의 롤러(212A)가 설치되어 있으며, 각 회전축(211B)의 외주면에는, 복수의 롤러(212B)가 설치되어 있다. 롤러(212A) 및 롤러(212B)는 원환형상의 형상을 가지고 있고, 그 중심축이 Y축을 따르는 자세로 설치된다.
기판(W)은, 복수의 롤러(212A) 및 복수의 롤러(212B) 상에 재치된다. 즉, 복수의 롤러(212A)의 외주면의 최상부가 기판(W)의 하면에 접촉하고, 복수의 롤러(212B)의 외주면의 최상부가 기판(W)의 하면에 접촉한다.
복수의 회전축(211A)은 구동부(도시 생략)에 의해 구동되어, 미리 정해진 동일 방향으로 대략 같은 회전 속도로 회전(동기 회전)한다. 이 회전에 의해, 복수의 롤러(212A)도 동일 방향으로 대략 같은 회전 속도로 회전한다. 구동부는 모터를 가지고 있으며, 제어부(6)에 의해 제어된다. 롤러(212A)의 회전에 의해, 롤러(212A) 상에 재치된 기판(W)이 +X측으로 반송된다. 복수의 회전축(211B)도 구동부(도시 생략)에 의해 구동되어 동기 회전한다. 이에 의해, 롤러(212B) 상에 재치된 기판(W)이 +X측으로 반송된다. 회전축(211A) 및 회전축(211B)은 서로 독립적으로 제어된다.
롤러(212A) 및 롤러(212B) 상에는, 각각 1장씩 기판(W)이 재치되어도 된다. 예를 들어 상류 측의 장치로부터 2장의 기판(W)이 각각 롤러(212A) 및 롤러(212B) 상에 재치되어도 된다. 이 상태로, 제어부(6)는 회전축(211B)만을 동기 회전시킨다. 이에 의해, 롤러(212B) 상의 기판(W)을 처리 장치 본체(22)로 반송할 수 있다. 이어서 제어부(6)는 회전축(211A) 및 회전축(211B) 양쪽을 동기 회전시킨다. 이에 의해, 롤러(212A) 상의 기판(W)을 처리 장치 본체(22)로 반송할 수 있다.
<1-1-2. 처리 장치 본체의 개요>
처리 장치 본체(22)는, 순차적으로 기판(W)을 반송하면서, 그 기판(W)에 대해 순차적으로 도포 처리를 행한다. 도 1 및 도 3의 예에서는, 이 처리 장치 본체(22)는 이재 유닛(221)과 부상 스테이지(222)와 기판 반송부(223)와 노즐(224)을 포함하고 있다.
이재 유닛(221)은, 기판 도입부(21)로부터 반송된 기판(W)을 부상 스테이지(222)로 반송하는 유닛이며, 반송 방식을 변환하는 유닛이다. 즉, 기판 도입부(21)에서는, 롤러 반송 방식으로 기판(W)을 반송하고 있는데 비해, 후술하는 부상 스테이지(222)는 부상 반송 방식으로 기판(W)을 반송하므로, 이재 유닛(221)은 이들 사이에서 반송 방식을 변환한다.
부상 스테이지(222)의 상면에는, 복수의 분출구가 형성되어 있고, 이 분출구로부터 기체가 분출된다. 따라서, 부상 스테이지(222)에 있어서 기판(W)은 이 기체에 의해 부력이 부여된다.
기판 반송부(223)는 기판(W)의 Y축 방향의 양단 부분을 유지하면서, 그 기판(W)을, 이재 유닛(221)에서 부상 스테이지(222)를 경유해 기판 대기부(23)로 반송한다. 기판 반송부(223)는 기판(W)의 양단 부분만을 유지하고 있으므로, 기판(W)은 그 중앙 부근에서 휠 수 있다. 그런데, 부상 스테이지(222)는 분출구에서 기판(W)의 하면으로 기체를 분출해, 기판(W)에 부력을 부여한다. 이에 의해, 기판(W)의 휨을 억제할 수 있다. 따라서, 기판(W)은 수평 자세로 부상 스테이지(222)를 통과할 수 있다.
노즐(224)은 부상 스테이지(222)의 상방 공간에 설치되어 있다. 기판 반송부(223)가 부상 스테이지(222)의 상방에 있어서 기판(W)을 +X측으로 이동시킴으로써, 기판(W)은 노즐(224)의 바로 아래를 가로지른다. 노즐(224)은, 그 바로 아래의 기판(W)에 대해 도포액을 도포한다. 이에 의해, 기판(W)에 대해 도막을 형성할 수 있다. 또한 노즐(224)은 처리 위치와 대기 위치 사이에서 이동 가능하게 구성되어도 된다. 처리 위치는, 노즐(224)이 기판(W)에 대해 도포액을 토출하는 위치이며, 대기 위치는, 노즐(224)을 대기시키는 위치이다. 대기 위치에서는, 노즐(224)의 토출구를 세정하는 기구 등이 설치되어도 된다.
도막이 형성된 기판(W)은 기판 반송부(223)에 의해 기판 대기부(23)로 반송된다. 기판 반송부(223)는 기판 대기부(23)에 있어서 기판(W)의 유지를 해제한다. 그 후, 기판 반송부(223)는 다시 이재 유닛(221)으로 돌아가, 다음 기판(W)을 유지한다.
<1-1-2-1. 이재 유닛>
도 3의 예에서는, 이재 유닛(221)은 복수의 롤러(2211)와 입구 부상 스테이지(2212)와 복수의 리프트 핀(2213)을 포함하고 있다. 복수의 롤러(2211)는, 기판 도입부(21)의 롤러와 마찬가지의 구성을 가지고 있고, X축 방향에 있어서 간격을 두고 늘어서 있다. 롤러(2211)의 회전은 제어부(6)에 의해 제어된다. 롤러(2211)는, 자신의 회전에 의해, 기판 도입부(21)로부터 반송된 기판(W)을 수취해 +X측으로 반송한다.
입구 부상 스테이지(2212)는 복수의 롤러(2211)보다 하류 측(+X측)에 설치되어 있다. 입구 부상 스테이지(2212)의 상면에는, 복수의 분출구(도시 생략)가 형성된다. 이 분출구는 평면에서 볼 때(즉, Z축 방향을 따라 볼 때), 예를 들어 매트릭스형상으로 배열된다. 각 분출구는, 입구 부상 스테이지(2212)의 내부에 형성된 기체 공급 경로를 통해 기체 공급원(도시 생략)에 접속된다. 기체 공급원으로부터의 기체가 이 분출구로부터 분출된다. 이에 의해, 입구 부상 스테이지(2212) 상의 기판(W)에 대해 부력을 부여할 수 있다.
복수의 리프트 핀(2213)은, Z축 방향을 따라 연장되는 봉형상의 형상을 가지고 있으며, 승강 가능하게 설치되어 있다. 복수의 리프트 핀(2213) 중 몇 개는 롤러(2211)에 대응해서 설치되어 있고, 나머지는 입구 부상 스테이지(2212)에 대응해서 설치되어 있다. 롤러(2211)에 대응한 리프트 핀(2213)은, 복수의 롤러(2211) 사이의 간극에 설치되어 있다. 입구 부상 스테이지(2212)에는, 복수의 분출구 중 어느 것과도 간섭하지 않도록 복수의 관통 구멍이 형성되어 있다. 이 관통 구멍은 입구 부상 스테이지(2212)를 Z축 방향으로 관통한다. 나머지 리프트 핀(2213)은 당해 관통 구멍에 각각 관통 배치되어 있다. 도 3에 예시하는 바와 같이, 복수의 리프트 핀(2213)은 -Z측의 기단부에 있어서 서로 연결되어 있어도 된다.
리프트 핀(2213)은 승강 기구(2214)에 의해 승강된다. 승강 기구(2214)는 예를 들어 에어 실린더이며, 제어부(6)에 의해 제어된다.
리프트 핀(2213)이 하강하고 있는 상태에서는, 리프트 핀(2213)의 +Z측의 선단부는 롤러(2211)의 외주면의 최상부 및 입구 부상 스테이지(2212)의 상면 중 어느 것에 대해서도 -Z측에 위치하고 있다. 리프트 핀(2213)이 상승하고 있는 상태에서는, 그 선단부는 롤러(2211)의 최상부 및 입구 부상 스테이지(2212)의 상면 중 어느 것보다 +Z측에 위치해, 기판(W)의 하면에 접촉하여 기판(W)을 들어 올릴 수 있다. 기판(W)은, 리프트 핀(2213)에 의해 들어 올려진 상태로, 기판 반송부(223)에 의해 유지된다.
<1-1-2-2. 부상 스테이지>
부상 스테이지(222)는, 입구 부상 스테이지(2212)보다 +X측에 설치되어 있다. 부상 스테이지(222)의 상면에도, 복수의 분출구(도시 생략)가 형성된다. 이 분출구는 평면에서 볼 때 예를 들어 매트릭스형상으로 배열된다. 각 분출구는, 부상 스테이지(222)의 내부에 형성된 기체 공급 경로를 통해 기체 공급원에 접속된다. 기체 공급원으로부터의 기체가 이 분출구로부터 분출된다.
또한 부상 스테이지(222)의 상면에는, 복수의 흡인구가 형성되어도 된다. 이 흡인구는 분출구와는 다른 위치에 형성되고, 예를 들어 매트릭스형상으로 배열된다. 각 흡인구는, 부상 스테이지(222)의 내부에 형성된 기체 흡인 경로를 통해 흡인 장치(예를 들어 펌프)에 접속된다. 부상 스테이지(222)의 분출구로부터 분출된 기체의 일부는 흡인구로부터 흡인된다. 이에 의하면, 기판(W)에 부여하는 부력을 보다 정밀하게 제어할 수 있다. 나아가서는, 기판(W)의 휨을 더 저감할 수 있다.
<1-1-2-3. 기판 반송부>
도 1의 예에서는, 기판 반송부(223)는 기판 척부(2231)와 진퇴 기구(2232)를 포함하고 있다. 기판 척부(2231)는, 기판(W)의 Y축 방향의 양측의 단면을 유지한다. 도 1의 예에서는, 기판(W)에 대해 Y축 방향의 양측에 있어서, 각각 한 쌍의 기판 척부(2231)가 설치되어 있다. 한 쌍의 기판 척부(2231)는 X축 방향에 있어서 간격을 두고 설치되어 있다. 각 기판 척부(2231)는, 기판(W)의 하면 중 Y축 방향에 있어서의 단부를 지지하는 지지부를 가지고 있다. 이 지지부의 상면에는, 예를 들어 흡착구가 형성되어 있으며, 그 흡착구는 지지부의 내부의 흡인 경로를 통해 흡인 장치(예를 들어 펌프)에 접속된다. 흡착구로부터 기체가 흡인됨으로써, 기판 척부(2231)는 기판(W)을 흡착해 유지할 수 있다.
진퇴 기구(2232)는 기판 척부(2231)를 X축 방향을 따라 이동시킨다. 예를 들어 진퇴 기구(2232)는 리니어 모터 등이다. 진퇴 기구(2232)는 제어부(6)에 의해 제어된다. 진퇴 기구(2232)는 기판 척부(2231)를 이재 유닛(221)에서 부상 스테이지(222)를 경유해 기판 대기부(23)로 이동시킨다. 이에 의해, 기판 척부(2231)에 유지된 기판(W)도 이재 유닛(221)에서 부상 스테이지(222)를 경유해 기판 대기부(23)로 이동한다.
<1-1-2-4. 노즐>
노즐(224)은 부상 스테이지(222)의 상방 공간에 설치되어 있다. 노즐(224)의 하단에는, 기판(W)의 도포 영역(R1)에 대응한 토출구가 형성되어 있다. 이 노즐(224)은 그 토출구가 Y축 방향으로 긴 장척 노즐이다. 토출구의 길이(Y축 방향을 따르는 길이)는 도포 영역(R1)의 길이(Y축 방향을 따르는 길이)와 대략 일치한다.
노즐(224)은 모두 도시 생략된 도포액 공급관을 통해 도포액 공급원에 접속된다. 도포액 공급관의 도중에는, 도시 생략된 펌프가 설치되어 있으며, 이 펌프를 구동 제어함으로써, 노즐(224)로부터의 도포액의 토출/정지가 전환된다. 펌프는 제어부(6)에 의해 제어된다.
기판 반송부(223)가 기판(W)을 +X측으로 이동시킴으로써, 기판(W)은 노즐(224)의 바로 아래를 가로지른다. 노즐(224)은 기판(W)이 가로지를 때에 도포액을 토출한다. 구체적으로는 노즐(224)은, 기판(W)의 도포 영역(R1)의 +X측 끝이 노즐(224)의 바로 아래에 위치할 때에 도포액의 토출을 개시하고, 도포 영역(R1)의 -X측 끝이 노즐(224)의 바로 아래에 위치할 때에 도포액의 토출을 종료한다. 이에 의해, 도포 영역(R1)에는 도포액이 도포되어, 도포 영역(R1) 상에 도막이 형성된다.
또한, 노즐(224)은 복수종의 도포액을 기판(W)에 대해 토출 가능해도 된다. 보다 구체적으로는, 복수종의 도포액에 각각 대응한 복수의 노즐(224)이 설치되어 있어도 된다. 복수종의 도포액으로서는, 예를 들어 포토레지스트용의 도포액 및 절연막용의 도포액을 채용할 수 있다.
<1-1-3. 기판 대기부>
기판 대기부(23)는, 처리 장치 본체(22)에 의해 처리된 기판(W)을 순차적으로 받아들인다. 기판 대기부(23)는 2장의 기판(W)을 대기시킬 수 있다. 이 기판 대기부(23)는 제1 대기부(231)와 제2 대기부(232)를 포함하고 있다. 제1 대기부(231)는 1장의 기판(W)을 대기시킬 수 있고, 제2 대기부(232)는 1장의 기판(W)을 대기시킬 수 있다.
도 1 및 도 3의 예에서는, 제1 대기부(231) 및 제2 대기부(232)는 처리 장치 본체(22)의 반송 방향(즉 X축 방향)을 따라 늘어서 있다. 보다 구체적으로는, 제1 대기부(231)는 처리 장치 본체(22)보다 +X측에 설치되고, 제2 대기부(232)는 처리 장치 본체(22)와 제1 대기부(231) 사이에 설치되어 있다. 제2 대기부(232)는, 처리 장치 본체(22)로부터 반송된 기판(W)을 제1 대기부(231)로 반송하는 기능도 가지고 있다.
처리 장치 본체(22)에 있어서 처리된 하나의 기판(W)(이하, 제1 기판(W1)이라고 부른다)은, 기판 반송부(223)에 의해 제2 대기부(232)를 경유해 제1 대기부(231)로 반송된다. 제1 대기부(231)는 이 제1 기판(W1)을 대기시킬 수 있다. 처리 장치 본체(22)에 있어서 제1 기판(W1)의 다음에 처리된 제2 기판(W2)은, 기판 반송부(223)에 의해 제2 대기부(232)로 반송된다. 제2 대기부(232)는 제2 기판(W2)을 대기시킬 수 있다.
보다 구체적인 일례로서, 기판 대기부(23)는 출구 부상 스테이지(233)와 제1 상승 기구(234)와 제2 상승 기구(235)를 포함하고 있다. 출구 부상 스테이지(233)는 부상 스테이지(222)보다 +X측에 설치되어 있다. 출구 부상 스테이지(233)의 상면에도, 입구 부상 스테이지(2212)와 마찬가지로, 기체를 분출하기 위한 복수의 분출구가 형성되어 있다. 출구 부상 스테이지(233)의 길이(X축 방향을 따르는 길이)는, 2장의 기판(W)의 길이(X축 방향을 따르는 길이)의 총합보다 길게 설정된다.
제1 기판(W1)은 출구 부상 스테이지(233)의 하류 부분으로 반송된다. 제1 상승 기구(234)는, 당해 하류 부분에 위치하는 제1 기판(W1)을 상승시킨다. 제1 상승 기구(234)는 제어부(6)에 의해 제어된다. 도 3의 예에서는, 제1 상승 기구(234)는 복수의 리프트 핀(2341)과 승강 기구(2342)를 포함하고 있다. 각 리프트 핀(2341)은 봉형상의 형상을 가지고 있고, 그 길이 방향이 Z축을 따르는 자세로 설치된다. 도 3에 예시하는 바와 같이, 리프트 핀(2341)의 -Z측의 기단부는 서로 연결되어 있어도 된다. 출구 부상 스테이지(233)에는, 복수의 분출구 중 어느 것과도 간섭하지 않도록, Z축 방향으로 연장되는 복수의 관통 구멍이 형성되어 있다. 리프트 핀(2341)은 출구 부상 스테이지(233)의 관통 구멍에 각각 관통 배치된다.
승강 기구(2342)는 예를 들어 에어 실린더이며, 복수의 리프트 핀(2341)을 승강시킨다. 이 승강 기구(2342)는 제어부(6)에 의해 제어된다. 리프트 핀(2341)이 하강한 상태에서는, 리프트 핀(2341)의 선단부는 출구 부상 스테이지(233)의 상면에 대해 -Z측에 위치한다. 한편, 리프트 핀(2341)이 상승한 상태에서는, 리프트 핀(2341)의 선단부는 출구 부상 스테이지(233)의 상면에 대해 +Z측에 위치한다. 승강 기구(2342)는, 기판 척부(2231)에 의한 제1 기판(W1)의 흡착이 해제된 상태에서, 리프트 핀(2341)을 상승시킨다. 이 상승에 의해, 리프트 핀(2341)의 선단부가 제1 기판(W1)의 하면에 접촉해, 제1 기판(W1)을 들어 올릴 수 있다. 리프트 핀(2341)은, 출구 부상 스테이지(233)로부터 분출된 기체가 실질적으로 미치지 못하는 높이 위치까지 제1 기판(W1)을 상승시켜도 된다. 이에 의해, 제1 기판(W1)은 리프트 핀(2341)에 의해 지지된다.
도 3의 예에서는, 제1 기판(W1)을 대기시키는 제1 대기부(231)는, 출구 부상 스테이지(233)의 하류 부분과 제1 상승 기구(234)에 의해 구성된다.
제1 기판(W1)의 다음에 처리되는 제2 기판(W2)은, 출구 부상 스테이지(233)의 상류 부분으로 반송된다. 출구 부상 스테이지(233)의 상류 부분은 하류 부분에 대해 -X측에 위치하고 있다. 제2 상승 기구(235)는, 당해 상류 부분에 위치하는 제2 기판(W2)을 상승시킨다. 제2 상승 기구(235)는 제어부(6)에 의해 제1 상승 기구(234)와는 독립적으로 제어된다. 도 3의 예에서는, 제2 상승 기구(235)는 복수의 리프트 핀(2351)과 승강 기구(2352)를 포함하고 있다. 리프트 핀(2351) 및 승강 기구(2352)는 각각 리프트 핀(2341) 및 승강 기구(2342)와 마찬가지이므로, 상세한 설명을 피한다.
승강 기구(2352)는, 승강 기구(2342)와 마찬가지로, 기판 척부(2231)에 의한 제2 기판(W2)의 흡착이 해제된 상태에서, 리프트 핀(2351)을 상승시킨다. 이 상승에 의해, 리프트 핀(2351)의 선단부가 제2 기판(W2)의 하면에 접촉해, 제2 기판(W2)을 들어 올릴 수 있다. 제2 기판(W2)은 리프트 핀(2351)에 의해 지지된다.
도 3의 예에서는, 제2 기판(W2)을 대기시키는 제2 대기부(232)는, 출구 부상 스테이지(233)의 상류 부분과 제2 상승 기구(235)에 의해 구성된다.
이상과 같이, 제1 상승 기구(234) 및 제2 상승 기구(235)가 서로 독립적으로 구동되므로, 제1 기판(W1)만을 상승시킬 수도, 제2 기판(W2)만을 상승시킬 수도, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2) 양쪽을 상승시킬 수도 있다.
제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)은 각각 리프트 핀(2341) 및 리프트 핀(2351)에 의해 지지된 상태에서, 반송 로봇(4)에 의해 취출된다.
<1-2. 반송 로봇>
도 3의 예에서는, 반송 로봇(4)은 기판 대기부(23)보다 +X측에 위치하고 있다. 이 반송 로봇(4)은 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2) 양쪽을 일괄적으로 기판 대기부(23)로부터 취출할 수 있다. 또 반송 로봇(4)은 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)을 개별적으로 기판 대기부(23)로부터 취출할 수도 있다.
도 1 및 도 3의 예에서는, 반송 로봇(4)은 핸드(41)와 이동 기구(42)와 회전 기구(43)와 승강 기구(44)를 구비하고 있다. 핸드(41)는, 2장의 기판(W)이 X축 방향에 있어서 늘어선 상태로 재치 가능한 정도의 사이즈를 가지고 있다. 예를 들어 핸드(41)는 복수 개의 핑거 부재(411)와 핑거 부재(411)의 기단을 연결하는 기단부재(412)를 가지고 있다. 핑거 부재(411)는 장척형상의 형상을 가지고 있으며, 그 상면에 있어서 기판(W)이 재치된다. 2장의 기판(W)은 핑거 부재(411)의 길이 방향을 따라 늘어서서 재치된다. 따라서, 핑거 부재(411)의 길이 방향의 길이는, 기판(W)의 2장분의 길이와, 기판(W) 사이의 간격에 따라 설정된다.
이동 기구(42)는 핸드(41)를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어 이동 기구(42)는 한 쌍의 아암(도시 생략)을 가지고 있다. 각 아암은 장척형상의 복수의 연결 부재를 가지고 있고, 그 연결 부재의 단부들이 회전 가능하게 연결된다. 각 아암의 일단은 핸드(41)(구체적으로는 기단 부재(412))에 연결되고, 타단은 회전 기구(43)에 연결된다. 연결 부재의 연결 각도가 제어됨으로써, 핸드(41)를 수평 방향으로 이동시킬 수 있다. 회전 기구(43)는, Z축 방향을 따르는 회전축을 중심으로 해서 이동 기구(42)의 아암의 타단을 회전시킬 수 있다. 이에 의해, 핸드(41)는 원호를 따라 이동한다. 이 이동에 의해, 핸드(41)의 방향을 바꿀 수 있다. 회전 기구(43)는 예를 들어 모터를 가지고 있다. 승강 기구(44)는 회전 기구(43)를 Z축 방향을 따라 승강시킴으로써, 핸드(41)를 승강시킨다. 승강 기구(44)는 예를 들어 볼나사 기구를 가지고 있다. 이동 기구(42), 회전 기구(43) 및 승강 기구(44)는 제어부(6)에 의해 제어된다.
반송 로봇(4)은 핸드(41)를 적당히 이동 및 회전시킴으로써, 핸드(41)를 기판 대기부(23), 건조부(31) 및 수도 유닛(5)의 각각으로 이동시킬 수 있다.
예를 들어 반송 로봇(4)은 회전 기구(43)의 구동에 의해, 핸드(41)를 기판 대기부(23)와 대향시킨다. 이어서 반송 로봇(4)은 승강 기구(44)의 구동에 의해, 핸드(41)를 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)에 대해 -Z측에 위치시킨다. 이어서 반송 로봇(4)은 이동 기구(42)의 구동에 의해, 핸드(41)를 -X측으로 이동시켜, Z축 방향에 있어서 핸드(41)를 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2) 양쪽과 대향시킨다. 이어서 반송 로봇(4)은 승강 기구(44)의 구동에 의해, 핸드(41)를 상승시킨다. 이에 의해, 반송 로봇(4)은 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2) 양쪽을 기판 대기부(23)로부터 수취할 수 있다.
반송 로봇(4)은 적당히 핸드(41)를 회전 및 이동시킴으로써, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)을 일괄로 건조부(31)로 반송한다. 구체적으로는, 반송 로봇(4)은 회전 기구(43)의 구동에 의해, 핸드(41)를 건조부(31)와 대향시킨다. 이어서 반송 로봇(4)은 승강 기구(44)의 구동에 의해, 핸드(41)를 건조부(31)의 셔터와 대향시킨다. 이어서 반송 로봇(4)은 이동 기구(42)의 구동에 의해, 셔터를 통해 핸드(41)를 건조부(31)의 내부에 진입시키고, Z축 방향에 있어서 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)을 기판 유지부와 대향시킨다. 이어서 반송 로봇(4)은 승강 기구(44)의 구동에 의해, 핸드(41)를 하강시키고, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)을 기판 유지부에 수도한다. 이어서 반송 로봇(4)은 이동 기구(42)의 구동에 의해, 핸드(41)를 건조부(31)의 내부로부터 퇴피시킨다.
또 반송 로봇(4)은 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)을 개별적으로 취출할 수도 있다. 그런데, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)을 일괄적으로 취출하려면, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2) 양쪽이 기판 대기부(23)에서 대기하고 있을 필요가 있다. 즉, 제1 기판(W1)이 기판 대기부(23)로 반송된 후에, 다음의 제2 기판(W2)이 기판 대기부(23)로 반송되는 것을 기다릴 필요가 있다. 이에 대해, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)을 개별적으로 취출할 경우에는, 제2 기판(W2)이 기판 대기부(23)로 아직 반송되어 있지 않은 상태에서도, 제1 기판(W1)을 기판 대기부(23)로부터 취출할 수 있다. 그래서, 반송 로봇(4)은 개별 반송에 있어서는, 제2 기판(W2)을 기다리는 일 없이, 제1 기판(W1)을 기판 대기부(23)로부터 취출하면 된다.
반송 로봇(4)은, 제1 기판(W1)만을 기판 대기부(23)로부터 취출할 수 있다. 구체적인 일례로서, 반송 로봇(4)은, 제2 기판(W2)이 기판 대기부(23)로 반송되고 있지 않은 상태(즉, 제2 기판(W2)이 처리 장치 본체(22)에서 처리되고 있는 상태)에서, 취출 동작을 행한다. 즉, 반송 로봇(4)은 회전 기구(43)의 회전에 의해, 핸드(41)를 기판 대기부(23)와 대향시킨 후에, 승강 기구(44)의 승강에 의해, 핸드(41)를 제1 기판(W1)에 대해 -Z측에 위치시킨다. 그리고, 반송 로봇(4)은 이동 기구(42)의 구동에 의해, 핸드(41)를 -X측으로 이동시켜, 핸드(41)의 선단 측의 부분을 제1 기판(W1)과만 대향시킨다. 그리고, 반송 로봇(4)이 핸드(41)를 상승시킨다. 이에 의해, 반송 로봇(4)은 제1 기판(W1)만을 기판 대기부(23)로부터 수취할 수 있다. 반송 로봇(4)은 이 제1 기판(W1)만을 건조부(31)로 반송한다.
또 제1 기판(W1)이 취출된 상태에서, 반송 로봇(4)은 다음과 같이 해서 제2 기판(W2)만을 기판 대기부(23)로부터 취출할 수 있다. 즉, 반송 로봇(4)은 회전 기구(43)의 회전에 의해, 핸드(41)를 기판 대기부(23)와 대향시킨 후에, 승강 기구(44)의 승강에 의해, 핸드(41)를 제2 기판(W2)에 대해 -Z측에 위치시킨다. 그리고, 반송 로봇(4)은 이동 기구(42)의 구동에 의해, 핸드(41)를 제2 기판(W2)과 대향시킨다. 그리고, 반송 로봇(4)은 승강 기구(44)의 구동에 의해, 핸드(41)를 상승시킨다. 이에 의해, 반송 로봇(4)은 제2 기판만을 수취할 수 있다. 반송 로봇(4)은 이 제2 기판(W2)만을 건조부(31)로 반송한다.
이상과 같이, 반송 로봇(4)은, 기판 대기부(23)로 순차적으로 반송되는 기판(W)을 1장씩 순차적으로 취출해, 건조부(31)로 순차적으로 반송할 수 있다. 또한, 이러한 개별 반송에 있어서, 제2 기판(W2)이 기판 대기부(23)에 반송되었을 때에는, 제1 기판(W1)이 이미 취출되어 있으므로, 제2 기판(W2)은 제1 대기부(231)까지 반송되어도 된다.
반송 로봇(4)이 기판 대기부(23)로부터 취출하는 기판(W)의 매수의 결정 방법에 대해서는 후에 상세하게 설명한다.
<1-3. 감압 건조 장치>
감압 건조 장치(3)의 건조부(31)는 2장의 기판(W)에 대해 일괄적으로 감압 건조 처리를 행할 수 있다. 또한, 감압 건조 장치(3)는 도포 장치(2)의 하류 측(+X측)에 위치하는 하류 처리부이다.
복수의 건조부(31)로서, 예를 들어 3개의 건조부(31a)~건조부(31c)가 설치된다. 도 1의 예에서는, 평면에서 볼 때, 2개의 건조부(31)가 반송 로봇(4) 주위에 설치되어 있다. 예를 들어 건조부(31a)는 반송 로봇(4)에 대해 +Y측에 설치되고, 건조부(31c)는 반송 로봇(4)에 대해 +X측에 설치되어 있다. 건조부(31b)는 건조부(31a)에 대해 +Z측에 설치되어 있다. 즉, 건조부(31a)의 +Z측에, 건조부(31b)가 적층되어 있다.
건조부(31)는, 모두 도시 생략된 챔버와 기판 유지부와 감압 기구를 포함한다. 챔버는 밀폐 공간을 형성한다. 단, 반송 로봇(4)과 마주 향하는 챔버의 측면에는, 기판(W)의 반출입에 이용되는 셔터(도시 생략)가 설치된다. 이 셔터가 닫힘으로써, 챔버는 밀폐 공간을 형성한다. 셔터가 열림으로써, 반송 로봇(4)은 챔버 내의 기판 유지부와 기판(W)의 수도를 행할 수 있다. 기판 유지부는, 2장의 기판(W)을 수평으로 늘어선 상태로 유지할 수 있다. 반송 로봇(4)은 2장의 기판(W)을 일괄적으로 기판 유지부에 건넬 수도 있고, 1장의 기판(W)을 기판 유지부에 건넬 수도 있다. 감압 기구는 챔버 내의 기체를 흡인하여, 챔버 내의 압력을 저하시킨다. 구체적으로는 예를 들어 챔버 내의 압력을 도포액의 용제의 증기압까지 저감시킨다. 이에 의해, 기판(W) 상의 도막의 용제가 증발해, 기판(W) 상의 도막을 적당히 건조시킬 수 있다. 즉, 감압 건조 처리가 행해진다.
<1-4. 수도 유닛>
수도 유닛(5)은, 감압 건조 장치(3)와 가열 처리 장치(7) 사이에서의 기판(W)의 수도를 중계하는 유닛이다. 예를 들어 수도 유닛(5)은, 반송 로봇(4)과 가열 처리 장치(7) 사이에 위치하고 있다. 보다 구체적인 일례로서, 수도 유닛(5)은 건조부(31c)의 +Z측에 설치되어 있어도 된다. 즉, 건조부(31c)의 +Z측에, 수도 유닛(5)이 적층되어 있어도 된다.
수도 유닛(5)은, 2장의 기판(W)을 수평으로 늘어선 상태로 유지하는 기판 유지부를 가지고 있다. 반송 로봇(4)은 2장의 기판(W)을 일괄적으로 기판 유지부로 건넬 수 있고, 또, 기판(W)을 1장씩 기판 유지부에 건네줌으로써, 2장의 기판(W)을 기판 유지부에 유지시킬 수도 있다. 예를 들어 반송 로봇(4)은, 기판 유지부 중 반송 로봇(4)에서 볼 때 안측의 부분에 제1 기판(W1)을 건네주고, 기판 유지부 중 앞측의 부분에 제2 기판(W2)을 건넨다. 이에 의해, 기판 유지부에는 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)이 재치되게 된다.
<2. 가열 처리 장치>
도 1의 예에서는, 가열 처리 장치(7)도 나타내어져 있다. 가열 처리 장치(7)는 가열 유닛(71)과 반송 로봇(72)을 포함하고 있다. 반송 로봇(72)을 반송 로봇(4)과 마찬가지의 구성을 가지고 있으며, 수도 유닛(5)으로부터 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2) 양쪽을 일괄적으로 취출한다. 반송 로봇(72)을 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)을 일괄적으로 가열 유닛(71)으로 반송한다.
가열 유닛(71)은 모두 도시 생략된 기판 유지부와 히터를 포함하고 있다.
기판 유지부는 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2) 양쪽을 수평으로 늘어선 상태로 유지할 수 있다. 히터는 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)에 대해 열을 부여한다. 이에 의해, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)의 도막은 대략 완전히 건조된다.
처리 장치 본체(22)에서 도포되는 도포액으로서, 포토레지스트용의 도포액이 채용될 경우에는, 이 가열 유닛(71)에 의한 가열에 의해, 노광 처리 전의 이른바 프리베이크 처리를 행할 수 있다.
<3. 반송 로봇의 동작>
상술한 바와 같이, 처리 장치 본체(22)(상류 처리부)는 기판(W)을 반송하면서, 기판(W)에 대해 1장씩 순차적으로 도포 처리를 행한다. 즉, 제1 기판(W1)에 대한 도포 처리가 종료된 후에, 그 다음의 제2 기판(W2)에 대해 도포 처리가 행해진다. 도포 처리가 종료된 기판(W)은 시간의 경과와 함께 자연 건조되므로, 먼저 도포 처리가 종료되는 제1 기판(W1)의 건조 상태는, 후에 도포 처리가 종료되는 제2 기판(W2)의 건조 상태와 상이할 수 있다. 이 건조 상태의 차이의 정도는 예를 들어, 기판 상에 형성된 도막의 두께(막 두께)에 의존한다.
예를 들어 내에칭성 피막으로 해야 할 포토레지스트액을 도포액(이하, 제1 도포액이라고 부른다)으로서 도포하는 경우는, 도막의 막 두께는 비교적 얇게 한다. 막 두께가 얇은 경우는, 도막 중에 포함되는 용제량이 적어진다. 이 결과, 건조에 요하는 필요 건조 시간은 비교적 짧아진다. 즉, 제1 도포액이 건조되는 속도가 비교적 빨라진다. 이 경우에는, 상기 자연 건조 시간의 차에 기인하는 양쪽 기판(W)의 건조 상태의 차는 비교적 커진다. 따라서, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)에 대해 개별의 건조 시간에 감압 건조 처리를 행하는 것이 바람직하다.
한편, 예를 들어 절연막으로 해야 할 폴리이미드계 또는 아크릴계의 도포액(이하, 제2 도포액이라고 부른다)을 도포하는 경우는, 도막의 막 두께는 비교적 두껍게 한다(예를 들어, 포토레지스트액의 막 두께의 배 정도의 막 두께로 한다). 막 두께가 두꺼운 경우는, 도막 중에 포함되는 용제량이 많아진다. 이 결과, 제2 도포액이 건조되는 속도가 비교적 느려진다. 이 경우에는, 상기 자연 건조 시간의 차에 기인하는 양쪽 기판(W)의 건조 상태의 차는 비교적 작아진다.
그래서, 반송 로봇(4)은, 기판(W)의 건조에 요하는 필요 건조 시간에 따라 반송 방법을 전환한다. 구체적으로는, 기판(W)의 건조에 요하는 필요 건조 시간이 제1 시간일 때에는, 반송 로봇(4)은 제1 기판(W1)을 복수의 건조부(31) 중 하나로 반송하고, 제2 기판(W2)을 복수의 건조부(31) 중 다른 하나로 반송한다. 이에 의해, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)에 대해 각각 적합한 건조 시간에 감압 건조 처리를 행할 수 있다.
반면에, 필요 건조 시간이 제1 시간보다 긴 제2 시간일 때에는, 반송 로봇(4)은 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2) 양쪽을 수취해 일괄적으로 복수의 건조부(31) 중 하나로 반송한다. 이에 의해, 스루풋을 향상할 수 있다.
필요 건조 시간은 예를 들어, 도막의 막 두께에 의존하므로, 반송 로봇(4)은 도막의 막 두께에 따라 반송 방법을 전환한다고도 할 수 있다. 즉, 처리 장치 본체(22)의 노즐(224)이 제1 도포액을 기판(W)에 토출해 비교적 얇은 도막을 형성할 때에는, 반송 로봇(4)은 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)을 개별적으로 기판 대기부(23)로부터 취출한다. 보다 구체적으로는, 반송 로봇(4)은, 제2 기판(W2)의 기판 대기부(23)로의 반송을 기다리는 일 없이, 제1 기판(W1)만을 기판 대기부(23)로부터 취출하고, 그 제1 기판(W1)을 예를 들어 건조부(31a)로 반송한다. 이 건조부(31a)는 제1 기판(W1)에 대해 소정의 제1 건조 시간에 걸쳐 감압 건조 처리를 행한다. 제2 기판(W2)이 기판 대기부(23)로 반송되면, 반송 로봇(4)은 제2 기판(W2)만을 기판 대기부(23)로부터 취출하고, 그 제2 기판(W2)을, 제1 기판(W1)과는 다른 건조부(31b)로 반송한다. 이 건조부(31b)는 제2 기판(W2)에 대해 소정의 제2 건조 시간에 걸쳐 감압 건조 처리를 행한다.
반송 로봇(4)은 건조부(31a)에 의한 감압 건조 처리가 종료되었을 때에, 제1 기판(W1)을 건조부(31a)로부터 취출해 수도 유닛(5)으로 반송하고, 건조부(31b)에 의한 감압 건조 처리가 종료되었을 때에, 제2 기판(W2)을 건조부(31b)로부터 취출해 수도 유닛(5)으로 반송한다.
이상과 같이, 자연 건조에 기인하는 건조 상태의 차가 커지는 것이 우려되는 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)에 대해서는, 동시 반송이 아닌 개별 반송을 행한다. 이 개별 반송에 있어서는, 다음의 제2 기판(W2)을 기다리는 일 없이 제1 기판(W1)을 취출하므로, 각 취출 시점에 있어서의 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)의 건조 상태의 차는 작다. 그리고, 건조부(31a, 31b)는 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)에 대해, 서로 대략 같은 제1 건조 시간 및 제2 건조 시간에, 각각 감압 건조 처리를 행한다. 제1 건조 시간 및 제2 건조 시간은 예를 들어 미리 설정되며, 예를 들어 40초이다. 건조부(31a)로 반송되기 직전의 제1 기판(W1)의 건조 상태와 건조부(31b)로 반송되기 직전의 제2 기판(W2)의 건조 상태의 차는 작으므로, 감압 건조 처리 후의 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)의 건조 상태의 차도 작다.
한편, 처리 장치 본체(22)의 노즐(224)이 제2 도포액을 토출해 비교적 두꺼운 도막을 형성할 때에는, 반송 로봇(4)은 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2) 양쪽을 일괄적으로 취출한다. 반송 로봇(4)은 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2) 양쪽을 일괄적으로 건조부(31)(예를 들어 건조부(31a))로 반송한다. 건조부(31a)는 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2) 양쪽에 대해 일괄적으로 소정의 건조 시간(예를 들어 80초)에 감압 건조 처리를 행한다. 이 건조 시간도 예를 들어 미리 설정된다. 이와 같이, 자연 건조에 기인하는 건조 상태의 차가 커지는 것을 우려할 필요가 없는 경우는, 반송 로봇(4)은 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2) 양쪽을 일괄적으로 건조부(31)로 반송해도 된다.
보다 구체적으로는, 제1 기판(W1)과 제2 기판(W2)의 대기 시간의 차, 즉, 자연 건조 상태의 차가 5초인 경우를 상정한다. 제1 도포액을 기판(W)에 토출해 비교적 얇은 도막을 형성하는 경우, 상술한 바와 같이 제1 기판(W1)과 제2 기판(W2)에 대해, 각각 40초간, 감압 건조 처리된다. 이때, 제1 기판(W1)과 제2 기판(W2)을 일괄적으로 동시에 감압 건조하는 경우는, 자연 건조 상태의 차가 5초인 2장의 기판을 동시에 감압 건조하게 된다. 감압 건조 시간(40초)에 대한 자연 건조의 시간 차(5초)가 비교적 크기 때문에, 감압 건조 처리 후의 제1 기판(W1) 상의 도막 상태와 제2 기판(W2) 상의 도막 상태가 다른 것이 우려된다. 그래서, 상술한 바와 같이 제1 기판(W1)과 제2 기판(W2)의 대기 시간의 차(자연 건조 상태의 시간 차)가 생기지 않도록, 제1 기판(W1)과 제2 기판(W2)을 1장씩 건조부(31a, 31b)로 각각 반송해 감압 건조 처리를 실행한다.
또, 제1 도포액을 기판(W)에 토출해 비교적 두꺼운 도막을 형성하는 경우, 상술한 바와 같이 제1 기판(W1)과 제2 기판(W2)에 대해 동시에, 각각 80초간, 감압 건조 처리된다. 이와 같이, 제1 기판(W1)과 제2 기판(W2)을 일괄적으로 동시에 감압 건조해도, 감압 건조 시간(80초)에 대한 자연 건조의 시간 차(5초)가 비교적 작기 때문에, 감압 건조 처리 후의 제1 기판(W1) 상의 도막 상태와 제2 기판(W2) 상의 도막 상태가 프로세스상, 문제가 될 만큼 상이한 경우가 없다.
반송 로봇(4)은 건조부(31a)에 의한 감압 건조 처리가 종료되었을 때에, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2) 양쪽을 건조부(31a)로부터 일괄적으로 취출해 수도 유닛(5)으로 반송한다.
이에 의하면, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)에 대해, 일괄적으로 건조 처리를 행할 수 있다. 이에 의하면, 스루풋을 향상할 수 있다.
또한 도포 장치(2)(처리 장치 본체(22))가 1종류의 도포액을 도포할 경우, 반송 로봇(4)은 그 도포액의 종류(막 두께)에 따른 1종류의 반송 방법을 채용하게 된다. 본 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1)에 의하면, 반송 로봇(4)은 반송 방법을 전환할 수 있으므로, 도포 장치(2)로서, 제1 도포액을 도포하는 도포 장치를 채용해도 되고, 제2 도포액을 도포하는 도포 장치를 채용해도 된다. 바꾸어 말하면, 제1 도포액을 도포하는 도포 장치(2)가 필요한 시스템에도, 제2 도포액을 도포하는 도포 장치(2)가 필요한 시스템에도, 기판 처리 장치(1)를 적용할 수 있다. 즉, 기판 처리 장치(1)는 복수의 기판(W)의 동시 처리 및 복수의 기판(W)의 개별 처리 양쪽에 적합하다.
반면에, 도포 장치(2)가 기판(W)에 따라 제1 도포액 및 제2 도포액을 선택적으로 도포해도 된다. 이 경우, 도포 장치(2)에 있어서 도포되는 도포액의 종류의 정보(막 두께 정보)는, 예를 들어 기판 처리 장치(1)의 상류 측의 장치로부터 제어부(6)로 통지되어도 되고, 혹은, 작업자에 의해 입력되어도 된다. 제어부(6)는 도포액의 종류에 따라, 반송 로봇(4)에 의한 반송 방법을 상술한 바와 같이 전환한다.
도 4는, 제어부(6)의 반송 방법을 전환하는 경우의 반송 방법의 결정 동작의 일례를 나타내는 플로차트이다. 도 4의 플로차트는, 예를 들어 기판(W)이 기판 처리 장치(1)에 반입될 때마다 실행되어도 된다. 우선 단계(S1)에서, 제어부(6)는, 기판(W)의 건조에 필요한 필요 건조 시간 T1이 기준 시간 Tref 이하인지의 여부를 판단한다. 필요 건조 시간 T1을 나타내는 정보는, 기판 처리 장치(1)보다 상류 측의 장치 또는 작업자에 의해 제어부(6)에 입력된다. 기준 시간 Tref는 예를 들어 미리 설정되어 있으며, 예를 들어 기억 장치(64) 등에 기억된다.
필요 건조 시간 T1이 기준 시간 Tref 이하라고 판단했을 때에는, 단계(S2)에서, 제어부(6)는, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)을 기판 대기부(23)로부터 개별적으로 취출해, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)을 서로 다른 건조부(31)로 1장씩 반송하는 반송 방법(개별 반송)을 채용한다.
한편, 필요 건조 시간 T1이 기준 시간 Tref보다 크다고 판단했을 때에는, 단계(S3)에서, 제어부(6)는, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)을 기판 대기부(23)로부터 일괄적으로 취출해, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)을 일괄적으로 하나의 건조부(31)로 반송하는 반송 방법(동시 반송)을 채용한다.
<4. 대기>
상술한 예에서는, 제1 기판(W1)이 제1 대기부(231)로 반송되면, 제1 상승 기구(234)는 제1 기판(W1)을 상승시킨다. 따라서, 동시 반송에 있어서, 제2 기판(W2)은, 제1 상승 기구(234)가 제1 기판(W1)을 상승시킨 상태에서, 기판 반송부(223)에서 제2 대기부(232)로 반송된다. 바꾸어 말하면, 제1 기판(W1)은 리프트 핀(2341)에 의해 지지된 상태에서, 제2 기판(W2), 혹은, 반송 로봇(4)을 기다리고 있다.
비교를 위해, 제1 기판(W1)이 출구 부상 스테이지(233) 상에서 대기하는 경우에 대해 고려한다. 예를 들어, 출구 부상 스테이지(233)의 하류 부분에 있어서의 기체의 분출을 정지한 상태에서, 제1 기판(W1)을 출구 부상 스테이지(233) 상에서 대기시켜도 된다. 이 경우, 제1 기판(W1)의 하면과 출구 부상 스테이지(233)의 상면의 접촉 면적은 크다. 따라서, 제1 기판(W1)과 그 지지체(출구 부상 스테이지(233)) 사이에서 이동하는 열량은 비교적 크다.
혹은, 출구 부상 스테이지(233)의 기체의 분출을 받으면서, 제1 기판(W1)이 소정의 척 기구에 유지되어 대기해도 된다. 이 경우, 제1 기판(W1)의 하면에는 기류가 발생하고 있으므로, 제1 기판(W1)과 기류 사이에서 이동하는 열량은 비교적 크다.
이에 대해, 제1 기판(W1)이 리프트 핀(2341)에 의해 지지되는 경우, 제1 기판(W1)과 리프트 핀(2341)의 접촉 면적은 작다. 이에 의하면, 제1 기판(W1)과 지지체(리프트 핀(2341)) 사이에서 이동하는 열량은 비교적 작다. 또, 제1 기판(W1)은, 기체가 제1 기판(W1)의 하면에 미치치 못하는 위치에서, 대기할 수 있다. 따라서, 제1 기판(W1)과 기체 사이에서 이동하는 열량도 작다. 따라서, 제1 기판(W1)의 온도 상태(즉 건조 상태)에 대한 지지체 및 기체의 영향을 작게 할 수 있다. 바꾸어 말하면, 동시 반송에 있어서의 제1 기판(W1)과 제2 기판(W2)의 건조 상태의 차를 저감할 수 있다.
제2 실시형태.
제2 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1)의 구성의 일례는 제1 실시형태와 마찬가지이다. 단, 제2 실시형태에 따른 기판 처리 장치(1)는 도포 장치(2) 대신에, 도포 장치(2A)를 포함하고 있다.
도 5는, 도포 장치(2A)의 구성의 일례를 나타내는 측면도이다. 도포 장치(2A)는 처리 장치 본체(22)의 구성 및 기판 대기부(23)의 구성을 제외하고, 도포 장치(2)와 마찬가지의 구성을 가지고 있다. 도포 장치(2A)의 처리 장치 본체(22)는 도 3의 처리 장치 본체(22)와 비교해서, 출구 부상 스테이지(225)를 추가로 포함한다. 이 출구 부상 스테이지(225)는 출구 부상 스테이지(233)와 마찬가지의 구성을 가지고 있다.
기판 대기부(23)는 예를 들어 롤러 컨베이어이며, 복수의 회전축(236A), 복수의 회전축(236B), 복수의 롤러(237A) 및 복수의 롤러(237B)를 가지고 있다. 기판 대기부(23)의 구성은 기판 도입부(21)와 마찬가지이다. 단, 기판(W)은 반송 로봇(4)에 의해 취출되므로, 기판 대기부(23)는 반송 로봇(4)의 핸드(41)와 간섭하지 않도록 구성되어 있다. 이 기판 대기부(23)에 있어서, 회전축(236B) 및 롤러(237B)는 제1 대기부(231)을 구성하고, 회전축(236A) 및 롤러(237A)는 제2 대기부(232)를 구성한다.
처리 장치 본체(22)에 의해 처리된 제1 기판은, 출구 부상 스테이지(225)에서 제2 대기부(232)를 경유해, 제1 대기부(231)로 반송된다. 제1 기판(W1)은 롤러(237B) 상에서 대기한다. 처리 장치 본체(22)에 의해 처리된 제2 기판(W2)은, 출구 부상 스테이지(225)에서 제2 대기부(232)로 반송된다. 제2 기판(W2)은 롤러(237A) 상에서 대기한다.
반송 로봇(4)은 제1 실시형태와 마찬가지로, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2) 양쪽을 기판 대기부(23)로부터 일괄적으로 취출할 수 있고, 또, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)을 개별적으로 취출할 수 있다.
또한 제2 실시형태에 있어서도, 제1 실시형태와 마찬가지로, 제1 상승 기구(234) 및 제2 상승 기구(235)가 설치되어 있어도 된다.
이상, 기판 반송 장치 및 기판 반송 방법의 실시형태에 대해 설명했지만, 이 실시형태는 그 취지를 일탈하지 않는 한에 있어서 상술한 것 이외에 다양한 변경을 행하는 것이 가능하다. 상술한 각종 실시형태 및 변형예는 적당히 조합하여 실시할 수 있다.
예를 들어, 막 두께의 상이함에 따라 반송 방식을 변경하는 것이 아니라, 도포액의 종류에 따라 반송 방식을 변경해도 좋다. 예를 들어 휘발성이 높은 용제를 포함하는 도포액의 경우는 감압 건조 시간이 비교적 짧아진다. 이 경우는 자연 건조 상태의 시간 차가 감압 건조에 주는 영향이 커진다. 그래서, 기판을 1장씩 감압 건조 장치에 반송하는 방식이 바람직하다. 반대로, 휘발성이 낮은 용제를 포함하는 도포액의 경우는 감압 건조 시간이 비교적 길어진다. 이 경우는 자연 건조 상태의 시간 차가 감압 건조에 주는 영향이 작다. 그래서, 복수의 기판을 일괄적으로 감압 건조 장치에 반송하는 방식을 채용해 스루풋을 향상시키는 것이 바람직하다.
감압 건조하기 위해서 복수의 건조부를 설치하는 것이 아니라, 1개의 건조부로 해도 된다. 도포 장치로부터 반출되는 복수의 기판의 시간 간격이 긴 경우, 1개의 건조부여도, 앞의 기판의 감압 건조 처리가 완료되어, 비어 있으므로, 기판을 1장씩 반입할 수 있다.
예를 들어, 제1 기판(W1) 및 제2 기판(W2)의 위치 및 자세를 조정하기 위한 정렬 기구가 기판 처리 장치(1)에 설치되어도 된다. 이 정렬 기구는 예를 들어 기판 대기부(23), 감압 건조 장치(3) 및 수도 유닛(5) 중 적어도 어느 하나에 설치될 수 있다. 이 정렬 기구로서는, 예를 들어 일본국 특허공개 2018-160586호 공보에 개시된 간격 조정부 및 정렬부를 채용할 수 있다.
1 기판 처리 장치 3 하류 처리부(감압 건조 장치)
4 반송 로봇 22 상류 처리부(처리 장치 본체)
31, 31a~31c 건조부 223 반송부(기판 반송부)
231 제 1 대기부 232 제 2 대기부
234 제 1 상승 기구 235 제 2 상승 기구

Claims (5)

  1. 복수의 기판을 1장씩 순차적으로 처리하는 상류 처리부와,
    상기 상류 처리부에 의해 처리된 2장의 기판을 동시에 처리 가능한 하류 처리부와,
    상기 상류 처리부에서 처리된 기판인 제1 기판을 대기시키는 제1 대기부와,
    상기 상류 처리부에서 처리된 기판이며, 상기 제1 기판의 다음 기판인 제2 기판을 대기시키는 제2 대기부와,
    상기 제1 대기부에서 대기하는 상기 제1 기판과 상기 제2 대기부에서 대기하는 상기 제2 기판 양쪽, 상기 제1 대기부에서 대기하는 상기 제1 기판만, 및, 상기 제2 대기부에서 대기하는 제2 기판만 중 어느 것이나 반송 대상으로서 취출(取出) 가능하며, 상기 반송 대상을 상기 하류 처리부로 반송 가능한 반송 로봇을 구비하고,
    상기 제1 대기부는 상기 제1 기판을 상승시키는 제1 상승 기구를 가지고,
    상기 제2 대기부는 상기 제2 기판을 상승시키는 제2 상승 기구를 가지고,
    상기 제1 상승 기구 및 상기 제2 상승 기구는 서로 독립적으로 구동되는, 기판 처리 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 상류 처리부는, 반송 방향을 따라 상기 복수의 기판을 1장씩 순차적으로 반송하는 반송부를 가지며,
    상기 제1 대기부는, 상기 반송 방향에 있어서 상기 반송부의 하류 측에 위치하고,
    상기 제2 대기부는, 상기 반송 방향에 있어서 상기 반송부와 상기 제1 대기부 사이에 위치하고 있으며, 상기 반송부로부터의 상기 제1 기판을 상기 제1 대기부로 반송하는 기능도 가지고,
    상기 제1 기판이 상기 제2 대기부에서 상기 제1 대기부로 반송되면, 상기 제1 상승 기구가 상기 제1 기판을 상승시키고,
    상기 제2 기판은, 제1 상승 기구가 상기 제1 기판을 상승시킨 상태에서, 상기 반송부에서 상기 제2 대기부로 반송되는, 기판 처리 장치.
  3. 복수의 기판을 1장씩 순차적으로 처리하는 상류 처리부와,
    상기 상류 처리부에 의해 처리된 2장의 기판을 동시에 처리 가능한 하류 처리부와,
    상기 상류 처리부에서 처리된 기판인 제1 기판을 대기시키는 제1 대기부와,
    상기 상류 처리부에서 처리된 기판이며, 상기 제1 기판의 다음 기판인 제2 기판을 대기시키는 제2 대기부와,
    상기 제1 대기부에서 대기하는 상기 제1 기판과 상기 제2 대기부에서 대기하는 상기 제2 기판 양쪽, 상기 제1 대기부에서 대기하는 상기 제1 기판만, 및, 상기 제2 대기부에서 대기하는 제2 기판만 중 어느 것이나 반송 대상으로서 취출 가능하며, 상기 반송 대상을 상기 하류 처리부로 반송 가능한 반송 로봇
    을 구비하고,
    상기 하류 처리부는, 건조 처리를 행하는 복수의 건조부를 가지고,
    상기 반송 로봇은,
    상기 제1 기판 및 상기 제2 기판의 각각의 건조에 요하는 필요 건조 시간이 제1 시간일 때에는, 상기 제1 기판을 상기 복수의 건조부 중 하나로 반송하고, 상기 제2 기판을 상기 복수의 건조부 중 다른 하나로 반송하고,
    상기 필요 건조 시간이, 상기 제1 시간보다 긴 제2 시간일 때에는, 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 양쪽을 수취해 일괄적으로 상기 복수의 건조부 중 하나로 반송하는, 기판 처리 장치.
  4. 복수의 기판을 1장씩 순차적으로 처리하는 제1 공정과,
    상기 제1 공정에서 처리된 기판인 제1 기판을 대기시키는 제2 공정과,
    상기 제1 공정에서 처리된 기판이며, 상기 제1 기판의 다음 기판인 제2 기판을 대기시키는 제3 공정과,
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판의 각각의 건조에 요하는 필요 건조 시간이 제1 시간일 때에는, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 양쪽, 상기 제1 기판만, 및, 제2 기판만 중 어느 것이나 반송 대상으로서 취출 가능한 반송 로봇이, 상기 제1 기판을, 2장을 동시에 처리 가능한 하류 측 처리부에 포함된 복수의 건조부 중 하나로 반송하고, 상기 제2 기판을 상기 복수의 건조부 중 다른 하나로 반송하는 제4 공정과,
    상기 필요 건조 시간이, 상기 제1 시간보다 긴 제2 시간일 때에는, 상기 반송 로봇이 상기 제1 기판 및 상기 제2 기판 양쪽을 수취해 일괄적으로 상기 복수의 건조부 중 하나로 반송하는 제5 공정
    을 구비하는, 기판 처리 방법.
  5. 삭제
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