KR20200011867A - 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 Download PDF

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Abstract

(과제) 복수의 기판을 한 묶음으로 하여 장치 사이를 반송하면서 순차 처리부 및 동시 처리부에 있어서 적절히 반송 및 처리를 실시할 수 있는 기판 처리 장치를 제공한다.
(해결수단) 기판 처리 장치는 수용부와 순차 처리부와 동시 처리부와 제어부를 구비한다. 수용부는, 식별 정보와 위치 정보와 레시피 정보를 포함하는 전체 기판 데이터가 부여된 복수의 기판을 받아들인다. 순차 처리부는 복수의 기판 (W) 을 순차, 반송하면서 처리한다. 동시 처리부는 복수의 기판을 동시에 처리한다. 제어부는, 복수의 기판의 각각에 고유한 개별 기판 데이터를, 전체 기판 데이터에 기초하여 생성하고, 개별 기판 데이터에 기초하여 순차 처리부에 있어서의 복수의 기판의 각각에 대한 반송 및 처리를 제어하고, 순차 처리부에 의해 처리된 복수의 기판이 출구 위치에 갖추어졌을 때에, 개별 기판 데이터에 기초하여 전체 기판 데이터를 생성하고, 전체 기판 데이터에 기초하여 상기 동시 처리부에 있어서의 상기 복수의 기판의 반송 및 처리를 제어한다.

Description

기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD}
본 발명은 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.
복수의 처리 장치를 갖는 코터/디벨로퍼 장치가 알려져 있다. 예를 들어, 특허문헌 1 에 기재된 코터/디벨로퍼 장치에서는, 인덱서부에 재치 (載置) 된 카세트로부터 꺼내진 복수의 기판이 순차, 세정 장치에 투입되고, 그 후, 탈수 베이크 장치, 레지스트 도포 장치, 프리베이크 장치, 노광 장치, 현상 장치 및 포스트베이크 장치를 차례로 경유하여, 다시 카세트에 수용된다.
이 코터/디벨로퍼 장치에는, 다음의 2 개의 타입의 처리 장치가 혼재한다. 즉, 순차 처리 장치와 가변 반송형의 처리 장치가 혼재한다. 이 순차 처리 장치에는 1 장씩 기판이 반입된다. 순차 처리 장치는 이들 기판을 순차적으로 일방향으로 반송하여 기판에 대해 1 장씩 처리를 실시한다. 이 순차 처리 장치로는, 세정 장치 및 현상 장치가 예시된다.
가변 반송형의 처리 장치에도 기판이 1 장씩 반입된다. 가변 반송형의 처리 장치는, 복수의 처리부와, 당해 복수의 처리부에 대해 기판을 반송하는 기판 반송 수단을 갖는다. 기판 반송 수단은, 기판을 수취하는 핸드와, 이 핸드를 각 처리부로 이동시키는 이동 기구를 갖는다. 이 기판 반송 수단은 상류측의 장치로부터 기판을 1 장씩 수취하여 처리부로 기판을 전달한다. 또 기판 반송 수단은 처리부의 상호 간에서 기판을 반송할 수도 있다. 이 가변 반송형의 처리 장치로는, 예를 들어 탈수 베이크 장치가 예시된다. 이 탈수 베이크 장치에서는 복수의 처리부로서 가열부 및 냉각부가 형성된다.
이와 같은 종래의 코터/디벨로퍼 장치에 있어서, 각 기판에 각각 고유한 기판 데이터가 취급된다. 이 기판 데이터는, 기판을 식별하기 위한 식별 정보, 기판에 대한 처리를 실시하기 위한 레시피 정보, 및 기판에 대한 처리가 정상적으로 종료되었는지의 여부를 나타내는 에러 정보 등의 각종 정보를 포함하고 있다.
일본 공개특허공보 2015-156426호
기판 처리의 스루풋 향상을 위해, 복수의 기판을 한 묶음으로 하여 장치 사이를 반송시키는 것이 생각된다. 구체적으로는, 순차 처리 장치로 복수의 기판을 일괄적으로 반송하고, 순차 처리 장치에 있어서 당해 복수의 기판을 1 장씩 순차적으로 반송하여 처리를 실시하고, 처리된 복수의 기판을 일괄적으로 가변 반송형의 처리 장치로 반송한다. 이것에 의하면, 장치 사이를 복수의 기판을 일괄적으로 반송하기 때문에, 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또 가변 반송형의 처리 장치에 있어서, 복수의 기판을 동시에 처리하는 것도 생각된다. 예를 들어 탈수 베이크 장치에 있어서 복수의 기판을 동시에 가열하는 것이 생각된다. 이것에 의해서도, 기판 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
그러나, 복수의 기판을 한 묶음으로 하여 장치 사이를 반송시키면서, 각 장치에 있어서 기판에 대해 적절히 처리를 실시하는 것이 가능한 기판 데이터의 취급에 대해서는 검토되어 있지 않았다. 여기서 말하는 기판 데이터란, 기판에 대응하여 할당된 데이터로서, 그 기판에 관한 정보, 구체적으로는 기판을 식별하는 식별 정보 및 기판에 대한 처리를 나타내는 레시피 정보 등의 정보를 포함하고 있다.
본원은, 복수의 기판을 한 묶음으로 하여 처리부 사이를 반송하면서 순차 처리부 및 동시 처리부에 있어서 적절히 반송 및 처리를 실시할 수 있는 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
기판 처리 장치의 제 1 양태는, 기판 처리 장치로서, 복수의 기판을 식별하기 위한 고유한 식별 정보와, 상기 복수의 기판의 반송 방향에 있어서의 위치 관계를 나타내는 위치 정보와, 처리 내용을 규정하기 위한 상기 복수의 기판에 공통된 레시피 정보를 포함하는 전체 기판 데이터가 부여된 복수의 기판을 받아들이는 수용부와, 상기 복수의 기판을 순차, 반송하면서 처리하는 순차 처리부와, 상기 복수의 기판을 동시에 처리하는 동시 처리부와 제어부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 복수의 기판의 각각에 고유한 데이터로서, 상기 식별 정보, 상기 위치 정보 및 상기 레시피 정보를 포함하는 개별 기판 데이터를, 상기 전체 기판 데이터에 기초하여 생성하고, 상기 개별 기판 데이터에 기초하여 상기 순차 처리부에 있어서의 상기 복수의 기판의 각각에 대한 반송 및 처리를 제어하고, 상기 순차 처리부에 의해 처리된 복수의 기판이 출구 위치에 갖추어졌을 때에, 상기 개별 기판 데이터에 기초하여 상기 전체 기판 데이터를 생성하고, 상기 전체 기판 데이터에 기초하여 상기 동시 처리부에 있어서의 상기 복수의 기판의 반송 및 처리를 제어한다.
기판 처리 장치의 제 2 양태는, 청구항 1 에 기재된 기판 처리 장치로서, 상기 제어부는, 상기 순차 처리부에 있어서 상기 복수의 기판의 1 개에 대해 에러가 발생했을 때에, 상기 복수의 기판의 상기 1 개에 대한 상기 개별 기판 데이터에 제 1 에러 정보를 부가한다.
기판 처리 장치의 제 3 양태는, 청구항 1 또는 청구항 2 에 기재된 기판 처리 장치로서, 상기 제어부는, 상기 동시 처리부에 있어서 상기 복수의 기판에 대해 에러가 발생했을 때에, 상기 전체 기판 데이터에 제 2 에러 정보를 부가한다.
기판 처리 방법의 제 1 양태는, 기판 처리 방법으로서, 복수의 기판을 식별하기 위한 고유한 식별 정보와, 상기 복수의 기판의 반송 방향에 있어서의 위치 관계를 나타내는 위치 정보와, 처리 내용을 규정하기 위한 상기 복수의 기판에 공통된 레시피 정보를 포함하는 전체 기판 데이터가 부여된 복수의 기판을 받아들이는 수용 공정과, 상기 복수의 기판을 순차, 반송하면서 처리하는 순차 처리 공정과, 상기 복수의 기판을 동시에 처리하는 동시 처리 공정을 구비하고, 상기 순차 처리 공정은, 상기 복수의 기판의 각각에 고유한 데이터로서, 상기 식별 정보, 상기 위치 정보 및 상기 레시피 정보를 포함하는 개별 기판 데이터를, 상기 전체 기판 데이터에 기초하여 생성하는 공정과, 상기 개별 기판 데이터에 기초하여 상기 복수의 기판의 각각에 대한 반송 및 처리를 제어하는 공정과 처리된 복수의 기판이 출구 위치에 갖추어졌을 때에, 상기 개별 기판 데이터에 기초하여 상기 전체 기판 데이터를 생성하는 공정을 포함하고, 상기 동시 처리 공정은, 상기 전체 기판 데이터에 기초하여 상기 복수의 기판의 반송 및 처리를 제어하는 공정을 포함한다.
기판 처리 장치의 제 1 양태 및 기판 처리 방법의 제 1 양태에 의하면, 복수의 기판을 한 묶음으로 하여 처리부 간을 반송하면서 순차 처리부 및 동시 처리부에 있어서 적절히 반송 및 처리를 실시할 수 있다.
기판 처리 장치의 제 2 양태에 의하면, 각 기판에 대해 에러가 발생했을 때에, 그 에러가 발생한 기판에 대한 개별 기판 데이터에 있어서, 제 1 에러 정보가 부가된다. 따라서, 어느 기판에 대해 에러가 발생했는지 알기 쉽다.
기판 처리 장치의 제 3 양태에 의하면, 복수의 기판에 대해 에러가 발생했을 때에는, 전체 기판 데이터에 있어서 제 2 에러 정보가 부가된다. 따라서, 각 기판의 각각에 대해 제 2 에러 정보가 부가되는 경우에 비해 전체 기판 데이터의 정보량을 저감시킬 수 있다.
본원 명세서에 개시되는 기술에 관한 목적과 특징과 국면과 이점은, 이하에 나타내는 상세한 설명과 첨부 도면에 의해 더욱 명백해진다.
도 1 은 기판 처리 장치의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 2 는 순차 처리 장치의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 3 은 동시 처리 장치의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 4 는 제어부의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 기능 블록도이다.
도 5 는 전체 기판 데이터의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 6 은 제어부의 동작의 일례를 나타내는 플로 차트이다.
도 7 은 개별 기판 데이터의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 8 은 개별 기판 데이터의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다.
이하, 도면을 참조하면서 실시형태에 대해 상세하게 설명한다. 또 이해를 용이하게 할 목적으로, 필요에 따라 각 부의 치수나 수를 과장 또는 간략화하여 그리고 있다.
＜1. 기판 처리 장치의 전체 구성·전체 동작＞
도 1 은, 기판 처리 장치 (1) 의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다. 도 1 의 예에서는, 기판 처리 장치 (1) 는 코터/디벨로퍼 장치이며, 주로, 세정 장치 (12), 탈수 베이크 장치 (13), 도포 관련 장치 (14), 프리베이크 장치 (15), 현상 장치 (17) 및 포스트베이크 장치 (18) 의 각 처리 장치를 구비한다. 또, 기판 처리 장치 (1) 의 일방측에는, 기판 처리 장치 (1) 에 대해 기판을 반입, 반출하는 인덱서부 (11) 가 배치된다. 또한 기판 처리 장치 (1) 의 타방측에 도시되지 않은 인터페이스부를 개재하여 노광 장치 (16) 가 배치된다.
인덱서부 (11) 에서 노광 장치 (16) 까지의 진행 라인에는, 세정 장치 (12), 탈수 베이크 장치 (13), 도포 관련 장치 (14) 및 프리베이크 장치 (15) 가 이 순서로 배치된다. 노광 장치 (16) 에서 인덱서부 (11) 까지의 복귀 라인에는, 현상 장치 (17) 및 포스트베이크 장치 (18) 가 이 순서로 배치된다.
인덱서부 (11) 에는 복수의 기판을 수납하는 복수의 카세트가 재치된다. 기판은, 예를 들어 액정 표시 장치에 사용되는 사각형상의 유리 기판이다. 인덱서부 (11) 에는, 기판 반송 수단으로서의 인덱서 로봇이 배치되어 있다. 인덱서 로봇은 카세트로부터 기판을 꺼내고, 이 기판을 세정 장치 (12) 로 반송한다. 세정 장치 (12) 에 있어서는, 기판에 세정 처리가 실시된다. 세정 처리가 실시된 기판은, 탈수 베이크 장치 (13) 로 반송된다. 탈수 베이크 장치 (13) 에 있어서는, 가열에 의해 탈수 처리 (탈수 베이크 처리) 가 실시된다. 탈수 베이크 처리가 실시된 기판은, 도포 관련 장치 (14) 로 반송되어, 레지스트의 도포 처리를 포함하는 각종 처리가 실시된다. 이 처리가 실시된 기판은, 프리베이크 장치 (15) 로 반송되어, 가열 처리가 실시된다. 가열 처리가 실시된 기판은, 노광 장치 (16) 로 반송되어, 노광 처리가 실시된다.
이러한 처리가 실시된 기판은, 현상 장치 (17) 로 반송되어, 현상 처리가 실시된다. 현상 처리가 실시된 기판은, 포스트베이크 장치 (18) 로 반송되어, 가열 처리가 실시된다. 그 후, 그 기판은, 인덱서 로봇에 의해 인덱서부 (11) 에 재치되는 카세트에 수용된다. 이러한 일련의 처리에 의해, 기판의 표면에는 레지스트의 패턴이 형성된다.
＜2. 처리 장치의 타입＞
이 기판 처리 장치 (1) 에서는, 처리 장치의 타입으로서 다음의 2 개의 타입의 처리 장치가 혼재하고 있다. 즉, 기판을 순차적으로 일방향으로 반송하면서 당해 기판에 대해 1 장씩 처리를 실시하는 순차 처리 장치 (플랫 플로잉 처리 장치) 와, N (2 이상의 정수) 장의 기판에 대해 일괄적으로 동시에 처리하는 동시 처리 장치가 혼재한다. 또한 동시 처리 장치에 의한 N 장의 기판의 처리 기간은 완전하게 일치할 필요는 없고, 각 처리 기간의 적어도 일부가 중복되어 있으면 된다. 요컨대, 여기서 말하는 동시란, 각 처리 기간이 전혀 중복되지 않는 상태와 대비된 의미로 사용된다. 순차 처리 장치로는, 세정 장치 (12) 및 현상 장치 (17) 가 예시되고, 동시 처리 장치로는, 탈수 베이크 장치 (13), 도포 관련 장치 (14), 프리베이크 장치 (15) 및 포스트베이크 장치 (18) 가 예시된다.
＜2-1. 순차 처리 장치＞
도 2 는, 순차 처리 장치 (30) 의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다. 순차 처리 장치 (30) 는 처리 장치 본체 (32) 와 기판 도출부 (33) 를 구비하고 있고, 순차 처리 장치 (30) 의 직전에는, 기판 도입부 (수용부) (31) 가 형성되어 있다. 기판 도입부 (31) 는 상류의 장치로부터 반송되는 복수 (N 장) 의 기판 (W) 을 일괄적으로 받아들인다. 처리 장치 본체 (32) 는 기판 도입부 (31) 로부터 반송되는 복수의 기판 (W) 을 1 장씩 순차적으로 수취하고, 이 기판 (W) 을 일방향 (반송 방향) 을 따라 반송시키면서, 기판 (W) 에 대해 각종 처리를 실시한다. 처리 후의 기판 (W) 은 처리 장치 본체 (32) 로부터 기판 도출부 (33) 로 반송된다. 기판 도출부 (33) 는 처리 장치 본체 (32) 로부터 반송된 복수의 기판 (W) 을 순차적으로 수취한다. 기판 도출부 (33) 는 순차적으로 수취한 기판 (W) 을 복수 (N 장) 유지할 수 있다. 복수의 기판 (W) 은 기판 도출부 (33) 로부터 일괄적으로 꺼내져, 하류의 장치로 반송된다. 또한 기판 도입부 (31) 는 순차 처리 장치 (30) 에 포함되어 있는 것으로 간주해도 된다. 기판 도입부 (31) 는 순차 처리 장치 (30) 의 입구 위치로서 기능할 수 있고, 기판 도출부 (33) 는 순차 처리 장치 (30) 의 출구 위치로서 기능할 수 있다.
＜2-1-1. 기판 도입부 (31)＞
기판 도입부 (31) 는 반송 기구로서의 복수의 롤러 (311) 및 복수의 롤러 (313) 를 갖고 있다. 롤러 (311, 313) 의 단면은 원 형상을 갖고 있고, 롤러 (311, 313) 는, 그 중심축이 기판 (W) 의 반송 방향에 대략 수직 또한 대략 수평이 되도록 형성된다. 여기서 말하는 반송 방향이란, 순차 처리 장치 (30) 에 있어서의 기판 (W) 의 반송 방향이다. 복수의 롤러 (311) 는 반송 방향을 따라 간격을 두고 나란히 형성된다. 각 롤러 (311) 는 자신의 중심축을 회전축으로 하여 회전할 수 있다. 각 롤러 (311) 의 중심축에 있어서의 양단은, 각각 지지판 (도시 생략) 에 회전 가능하게 고정된다. 이 1 쌍의 지지판은 반송 방향을 따라 연장되는 판상 부재이며, 플로어면에 형성된 소정의 가대 (架臺) (312) 에 고정된다. 복수의 롤러 (313) 는 반송 방향을 따라 간격을 두고 나란히 형성된다. 롤러 (313) 는 롤러 (311) 보다 하류측에 위치하고 있고, 롤러 (311) 와 동일한 높이에 형성되어 있다. 각 롤러 (313) 는 자신의 중심축을 회전축으로 하여 회전할 수 있다. 각 롤러 (313) 의 중심축에 있어서의 양단은, 각각 지지판에 회전 가능하게 고정된다.
복수의 롤러 (311) 는 구동부 (도시 생략) 에 의해 구동되어, 미리 정해진 동일한 방향으로 대략 동등한 회전 속도로 회전 (동기 (同期) 회전) 한다. 구동부는 모터를 갖고 있다. 복수의 롤러 (311) 상에는 기판 (W) 이 재치된다. 기판 (W) 은 그 주면 (主面) 의 법선 방향이 연직 방향을 따르도록 재치된다. 이 상태에서, 복수의 롤러 (311) 가 동일한 방향으로 동기 회전함으로써, 기판 (W) 은 롤러 (311) 상을 반송 방향을 따라 처리 장치 본체 (32) 로 이동한다. 복수의 롤러 (313) 도 구동부 (도시 생략) 에 의해 구동되어 동기 회전한다. 롤러 (311, 313) 는 독립적으로 제어된다.
롤러 (311, 313) 상에는, 1 장씩 기판 (W) 이 재치된다. 예를 들어 인덱서부 (11) 로부터 2 장의 기판 (W1) 이 롤러 (311, 313) 상에 재치되어도 된다. 이 상태에서 롤러 (313) 만이 동기 회전함으로써, 롤러 (313) 상의 기판 (W) 을 처리 장치 본체 (32) 로 반송할 수 있다. 다음으로 롤러 (311, 313) 의 양방이 동기 회전함으로써, 롤러 (313) 상의 기판 (W) 을 처리 장치 본체 (32) 로 반송할 수 있다.
이하에서는, 2 장의 기판 (W) 의 일방을 기판 (W1) 이라고도 부르고, 타방을 기판 (W2) 이라고도 부른다. 여기서는, 기판 (W1) 은 기판 (W2) 보다 상류측에 위치하는 것으로 한다.
＜2-1-2. 기판 도출부 (33)＞
기판 도출부 (33) 는, 처리 장치 본체 (32) 로부터 순차적으로 반송되는 기판 (W) 의 복수 (N 장) 를 유지할 수 있다. 기판 도출부 (33) 가 유지 가능한 기판 (W) 의 장수는, 다음의 동시 처리 장치 (40) (예를 들어 탈수 베이크 장치 (13)) 로 처리되는 기판 (W) 의 장수와 동일하다. 여기서는, 일례로서, 기판 도출부 (33) 는 2 장의 기판 (W) 을 유지하고, 동시 처리 장치 (40) 는 2 장의 기판 (W) 에 대해 동시에 처리를 실시하는 것으로 한다.
기판 도출부 (33) 는, 반송 기구로서의 복수의 롤러 (331) 및 복수의 롤러 (332) 와, 센서 (334, 335) 를 구비하고 있다. 롤러 (331, 332) 의 단면은 원 형상을 갖고 있다. 롤러 (331) 는, 그 중심축이 기판 (W) 의 반송 방향에 수직 또한 수평이 되도록 반송 방향을 따라 간격을 두고 배치된다. 롤러 (332) 는 롤러 (331) 보다 하류측에 배치된다. 롤러 (332) 는 롤러 (331) 와 동일한 자세로 반송 방향을 따라 간격을 두고 배치된다. 각 롤러 (331, 332) 의 중심축에 있어서의 양단은, 각각 지지판 (도시 생략) 에 회전 가능하게 고정된다. 복수의 롤러 (331) 는 구동부 (도시 생략) 에 의해 동기 회전하고, 복수의 롤러 (332) 는 구동부 (도시 생략) 에 의해 동기 회전한다. 롤러 (331) 및 롤러 (332) 는 서로 상이한 구동부에 의해 구동되기 때문에, 서로 독립적으로 제어 가능하다. 각 구동부는 예를 들어 모터를 갖는다.
롤러 (331, 332) 는, 서로 동일한 높이에 형성되어 있다. 기판 (W) 은 처리 장치 본체 (32) 로부터 롤러 (331) 로 반송되고, 적절히 롤러 (331) 로부터 롤러 (332) 로 반송된다. 이후에 설명하는 바와 같이, 롤러 (331) 상에는 1 장의 기판 (W) 이 정지하고, 롤러 (332) 상에는 1 장의 기판 (W) 이 정지한다. 이로써, 기판 도출부 (33) 는 2 장의 기판 (W) 을 유지할 수 있다.
센서 (334) 는 롤러 (331) 상의 정지 위치에 기판 (W) 이 존재하고 있는지의 여부를 검출한다. 센서 (335) 는 롤러 (332) 상의 정지 위치에 기판 (W) 이 존재하고 있는지의 여부를 검출한다. 센서 (334, 335) 는 예를 들어 광학식의 센서로서, 기판 (W) 으로부터의 반사광을 수광했을 때에, 기판 (W) 을 검출한다. 센서 (334, 335) 의 검출 결과는 제어부 (60) 로 출력된다.
기판 도출부 (33) 는 처리 장치 본체 (32) 로부터 2 장의 기판 (W) 을 순차적으로 수취하여, 이것들을 유지할 수 있다. 먼저 1 장째의 기판 (W) 은 롤러 (331, 332) 가 동기 회전함으로써, 롤러 (332) 상의 정지 위치까지 반송된다. 구체적으로는, 센서 (334, 335) 의 양방이 기판 (W) 을 검출하고 있지 않을 때에, 롤러 (331, 332) 를 동기 회전시켜, 처리 장치 본체 (32) 로부터의 기판 (W) 을 기판 도출부 (33) 로 반송한다. 그리고 센서 (335) 가 기판 (W) 을 검출했을 때에 롤러 (332) 의 동기 회전을 정지한다. 이로써, 1 장째의 기판 (W) 은 롤러 (332) 상에서 정지하여 지지된다. 2 장째의 기판 (W) 에 대해서는, 롤러 (332) 를 회전시키지 않고, 롤러 (331) 를 동기 회전시킴으로써, 롤러 (331) 의 정지 위치까지 당해 기판 (W) 을 반송한다. 구체적으로는 센서 (334) 가 기판 (W) 을 검출했을 때에 롤러 (331) 의 동기 회전을 정지한다. 요컨대, 센서 (334, 335) 의 양방이 기판 (W) 을 검출하고 있을 때에, 롤러 (331) 의 동기 회전을 정지한다. 이로써, 2 장째의 기판 (W) 은 롤러 (331) 상에서 정지하여 지지된다. 이와 같이 기판 도출부 (33) 는 2 장의 기판 (W) 을 유지할 수 있다.
＜2-1-3. 처리 장치 본체 (32)＞
처리 장치 본체 (32) 는 반송 기구로서의 복수의 롤러 (321) 를 갖고 있다. 복수의 롤러 (321) 는 롤러 (311) 와 동일한 형상을 갖고 있으며, 롤러 (311) 와 동일한 자세로 배치된다. 롤러 (321) 의 중심축에 있어서의 양단은, 각각 지지판 (도시 생략) 에 회전 가능하게 고정된다. 복수의 롤러 (321) 는 반송 방향을 따라 간격을 두고 나란히 늘어서 있다. 복수의 롤러 (321) 는 기판 도입부 (31) 의 롤러 (311) 와 동일한 높이에 형성되어 있고, 기판 (W) 은 롤러 (311) 로부터 롤러 (313, 321, 331) 를 이 순서로 통해서 롤러 (332) 로 이동할 수 있다.
처리 장치 본체 (32) 는, 롤러 (321) 상을 흐르는 기판 (W) 에 대해, 그 반송 방향의 각 위치에 있어서 적절히 처리를 실시한다. 여기서는, 순차 처리 장치 (30) 로서 세정 장치 (12) 를 예로 들어 설명한다. 예를 들어 처리 장치 본체 (32) 는, 약액부 (34), 수세부 (35) 및 탈수부 (36) 를 갖고 있다. 약액부 (34), 수세부 (35) 및 탈수부 (36) 는 상류에서 하류를 향해 이 순서로 직렬로 형성되어 있다. 또 복수의 롤러 (321) 는 약액부 (34), 수세부 (35) 및 탈수부 (36) 에 걸쳐서 형성되어 있다. 복수의 롤러 (321) 는 구동부 (도시 생략) 에 의해 구동되어 동기 회전한다. 이로써, 기판 (W) 을 반송 방향을 따라 반송하여, 약액부 (34), 수세부 (35) 및 탈수부 (36) 를 이 순서로 통과시킬 수 있다.
약액부 (34) 는, 롤러 (321) 상의 기판 (W) 으로 약액을 공급하여 기판 (W) 을 세정하는 장치이다. 약액부 (34) 는, 약액을 토출하는 복수의 노즐 (341) 과, 약액을 저류하는 약액조 (342) 와, 약액조 (342) 및 노즐 (341) 을 연결하는 공급관 (343) 과, 공급관 (343) 을 경유하여 약액을 노즐 (341) 에 공급하는 펌프 (344) 를 구비하고 있다. 노즐 (341) 은 연직 방향에 있어서 기판 (W) 의 양측에 형성되어 있고, 기판 (W) 의 양면으로 약액을 공급한다. 약액부 (34) 는, 기판 (W) 을 브러싱하기 위한 브러시 (도시 생략) 등을 갖고 있어도 된다. 약액을 기판 (W) 에 공급하면서 브러싱을 실시함으로써, 세정 효과를 높일 수 있다. 기판 (W) 에 공급된 약액은 주로 기판 (W) 의 둘레 가장자리로부터 낙하하여, 약액조 (342) 로 회수된다.
수세부 (35) 는, 기판 (W) 에 대해 세정수를 공급함으로써 기판 (W) 에 잔류된 약액을 씻어내는 장치이다. 수세부 (35) 는 세정수를 저류하는 제 1 수조 (355) 및 제 2 수조 (356) 를 갖고 있다. 또 수세부 (35) 는 상류에서 하류를 향해 이 순서로 배치되는 저압수 공급부 (351), 고압수 공급부 (352), 초음파 세정수 공급부 (353) 및 순수 공급부 (354) 를 갖고 있다. 각 부 (351 ∼ 354) 는 약액부 (34) 와 마찬가지로, 기판 (W) 에 액을 토출하는 노즐과, 당해 노즐에 연결된 공급관과, 당해 공급관을 경유하여 당해 노즐에 액을 공급하는 펌프를 구비하고 있다. 저압수 공급부 (351) 의 펌프는 저압 펌프로서, 낮은 압력으로 제 1 수조 (355) 로부터 세정수를 퍼 올려 노즐에 공급한다. 이로써, 저압수 공급부 (351) 는 저압으로 세정수를 기판 (W) 에 공급할 수 있다. 고압수 공급부 (352) 의 펌프는 고압 펌프로서, 높은 압력으로 제 1 수조 (355) 로부터 세정수를 퍼 올려 노즐에 공급한다. 이로써, 고압수 공급부 (352) 는 고압으로 세정수를 기판 (W) 에 공급할 수 있다. 저압수 공급부 (351) 및 고압수 공급부 (352) 에 의해 공급된 세정수는 주로 기판 (W) 의 둘레 가장자리로부터 낙하하여 제 1 수조 (355) 로 회수된다.
초음파 세정수 공급부 (353) 의 노즐에는, 제 2 수조 (356) 로부터의 세정수에 초음파 진동을 부여하는 초음파 진동자가 형성되어 있다. 초음파 세정수 공급부 (353) 는, 진동 상태의 세정수를 기판 (W) 으로 공급한다. 초음파 세정수 공급부 (353) 에 의해 공급된 세정수는 주로 제 2 수조 (356) 로 회수된다. 순수 공급부 (354) 의 노즐로부터는, 순수가 기판 (W) 을 향해 공급된다. 이 순수는 주로 제 2 수조 (356) 로 회수된다.
탈수부 (36) 는 기판 (W) 으로 고압의 기류를 흘림으로써 기판 (W) 으로부터 물을 날려 보내는 장치이다. 탈수부 (36) 는, 기판 (W) 에 기체를 분사하는 분사부 (361) 와, 기체를 공급하는 기체 공급부 (362) 와, 분사부 (361) 및 기체 공급부 (362) 를 연결하는 관로 (363) 를 갖고 있다. 기체 공급부 (362) 는 공장 설비 (유틸리티) 로서 형성된 기체원이다.
이상과 같이, 처리 장치 본체 (32) 에 있어서 기판 (W) 은 반송 방향을 따라 반송되어, 각 위치에 있어서 각종 처리가 실시된다. 처리 장치 본체 (32) 에 의해 모든 처리가 실시된 기판 (W) 은 기판 도출부 (33) 로 반송된다.
＜3. 동시 처리 장치 (40)＞
도 3 은, 동시 처리 장치 (40) 의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다. 여기서는 동시 처리 장치 (40) 로서 탈수 베이크 장치 (13) 를 예로 들어 설명한다. 도 3 은, 탈수 베이크 장치 (13) 의 구성의 일례를 나타내는 개략적인 도면이다.
＜3-1. 탈수 베이크 장치 (13)＞
탈수 베이크 장치 (13) 는 가열부 (HP) 및 냉각부 (CP) 를 구비하고 있다. 이 탈수 베이크 장치 (13) 는, 세정 장치 (12) 에 의해 세정 처리가 실시된 2 장의 기판 (W) 을 반송 로봇 (기판 반송 수단) (TR1) 으로부터 수취하고, 수취한 2 장의 기판 (W) 에 대해 동시에 처리를 실시한다.
＜3-1-1. 반송 로봇 (TR1)＞
반송 로봇 (TR1) 은 핸드 (H1) 와 이동 기구 (51) 와 승강 기구 (52) 와 회전 기구 (53) 를 갖고 있다. 이동 기구 (51) 는 핸드 (H1) 를 수평면 내에서 이동시킬 수 있다. 예를 들어 이동 기구 (51) 는 1 쌍의 아암을 갖고 있다. 각 아암은 장척상의 복수의 연결 부재를 갖고 있고, 그 연결 부재의 단부끼리가 회전 가능하게 연결된다. 각 아암의 일단은 핸드 (H1) 에 연결되고, 타단은 승강 기구 (52) 에 연결된다. 연결 부재의 연결 각도가 제어됨으로써, 핸드 (H1) 를 수평면 내에서 이동시킬 수 있다. 승강 기구 (52) 는 아암을 연직 방향을 따라 승강시킴으로써, 핸드 (H1) 를 승강시킨다. 승강 기구 (52) 는 예를 들어 볼 나사 기구를 갖고 있다. 회전 기구 (53) 는 연직 방향을 따르는 회전축을 중심으로 하여 승강 기구 (52) 를 회전시킬 수 있다. 이로써, 핸드 (H1) 는 둘레 방향을 따라 회동 (回動) 한다. 이 회동에 의해, 핸드 (H1) 의 방향을 바꿀 수 있다. 회전 기구 (53) 는 예를 들어 모터를 갖고 있다.
핸드 (H1) 에는, 2 장의 기판 (W) 이 수평의 일방향에 있어서 나란히 늘어선 상태로 재치된다. 핸드 (H1) 는 예를 들어 복수 개의 손가락 형상 부재 (F1) 와, 손가락 형상 부재 (F1) 의 기단을 연결하는 기단 부재 (P1) 를 갖고 있다. 이 기단 부재 (P1) 에는 아암의 일단이 연결된다. 손가락 형상 부재 (F1) 는 장척상의 형상을 갖고 있고, 그 상면에 있어서 기판 (W) 이 재치된다. 이 2 장의 기판 (W) 은 손가락 형상 부재 (F1) 의 길이 방향을 따라 나란히 재치된다. 따라서, 손가락 형상 부재 (F1) 의 길이 방향의 길이는, 기판 (W) 의 2 장분의 길이와, 기판 (W) 사이의 간격에 따라 설정된다.
반송 로봇 (TR1) 은 핸드 (H1) 를 적절히 이동 및 회전시킴으로써, 핸드 (H1) 를 가열부 (HP), 냉각부 (CP), 세정 장치 (12) 의 기판 도출부 (33) 및 다음 공정의 도포 관련 장치 (14) (도 5 에 있어서 도시 생략) 의 각각으로 이동시킬 수 있다. 반송 로봇 (TR1) 은 2 장의 기판 (W) 을 일괄적으로 기판 도출부 (33), 가열부 (HP) 및 냉각부 (CP) 의 각각으로부터 꺼내거나, 혹은 2 장의 기판 (W) 을 일괄적으로 가열부 (HP), 냉각부 (CP) 및 도포 관련 장치 (14) 의 각각에 전달하거나 할 수 있다.
예를 들어 반송 로봇 (TR1) 은 다음과 같이 기판 도출부 (33) 로부터 2 장의 기판 (W) 을 일괄적으로 꺼낸다. 즉, 반송 로봇 (TR1) 은, 기판 도출부 (33) 에서 유지된 2 장의 기판 (W) 의 하방에 핸드 (H1) 를 위치시키기 위해, 핸드 (H1) 를 기판 도출부 (33) 로 이동시킨다.
또한 롤러 (331, 332) 는, 반송 로봇 (TR1) 의 핸드 (H1) 와의 충돌을 피하도록 구성되어 있다. 그리고 반송 로봇 (TR1) 은 핸드 (H1) 를 연직 상방으로 상승시킴으로써, 2 장의 기판 (W) 이 핸드 (H1) 에 의해 들어 올려진다. 이로써, 2 장의 기판 (W) 은 각각 롤러 (331, 332) 로부터 멀어진다. 2 장의 기판 (W) 은 핸드 (H1) 상에 있어서, 그 길이 방향을 따라 간격을 두고 나란히 재치되게 된다. 2 장의 기판 (W) 은 그 주면의 법선 방향이 연직 방향을 따르는 자세로 핸드 (H1) 상에 재치된다.
다음으로 반송 로봇 (TR1) 은 핸드 (H1) 를 기판 도출부 (33) 로부터 떼어 놓도록 이동시킴으로써, 기판 도출부 (33) 로부터 2 장의 기판 (W) 을 일괄적으로 꺼낸다.
또한 손가락 형상 부재 (F1) 의 상면 (기판 (W) 이 재치되는 면) 에는, 복수의 흡인구가 형성되어 있어도 된다. 이 흡인구는 2 장의 기판 (W) 과 대향하는 위치에 형성되어 있고, 당해 흡인구로부터 공기가 뽑아내어져 기판 (W) 을 흡인한다. 이로써, 기판 (W) 을 유지하기 위한 유지력을 향상시킬 수 있다.
반송 로봇 (TR1) 은 상기 동작과 동일한 동작에 의해 가열부 (HP) 및 냉각부 (CP) 의 각각으로부터 2 장의 기판 (W) 을 일괄적으로 꺼낸다. 한편, 반송 로봇 (TR1) 은 상기 동작과는 반대의 순서로, 가열부 (HP), 냉각부 (CP) 및 도포 관련 장치 (14) 의 각각 (이하, 각 부라고 부른다) 으로 2 장의 기판 (W) 을 일괄적으로 전달한다. 요컨대, 반송 로봇 (TR1) 은 2 장의 기판 (W) 이 재치된 핸드 (H1) 를 각 부의 내부로 이동시키고, 핸드 (H1) 를 하강시켜 각 부의 기판 유지부의 상면에 2 장의 기판 (W) 을 일괄적으로 재치한다. 또한, 각 부의 기판 유지부는 2 장의 기판 (W) 의 반출입시에 핸드 (H1) 와 충돌하지 않도록 구성되어 있다. 그리고 반송 로봇 (TR1) 은 핸드 (H1) 를 각 부의 내부에서 외부로 이동시킨다. 이로써, 2 장의 기판 (W) 이 각 부에 일괄적으로 전달된다.
이상과 같이, 반송 로봇 (TR1) 은, 순차 처리 장치인 세정 장치 (12) 에 의해 처리된 복수의 기판 중 N 장 (2 장) 의 기판 (W) 을 수평의 일방향 (D1 방향) 으로 나란히 유지하면서, 이 N 장 (2 장) 의 기판을 일괄적으로 동시 처리 장치인 탈수 베이크 장치 (13) 로 반송한다. 이 결과, 기판 (W) 을 1 장씩 반송하는 경우에 비해, 반송 동작의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
＜3-1-2. 가열부 (HP)＞
가열부 (HP) 에는, 반송 로봇 (TR1) 으로부터 2 장의 기판 (W) 이 일괄적으로 전달된다. 이 가열부 (HP) 는, 이 2 장의 기판 (W) 을 수평 방향으로 나란히 유지하는 기판 유지부 (91) 와, 이 2 장의 기판 (W) 에 대해 일괄적으로 동시에 가열 처리를 실시하는 가열 수단 (92) 을 구비하고 있다. 바꾸어 말하면, 가열부 (HP) 는, 2 장의 기판 (W) 에 대해 동시에 가열 처리를 실시한다.
기판 유지부는 2 장의 기판 (W) 의 하면을 지지하는 부재를 갖고 있다. 2 장의 기판 (W) 은 이 부재 상에 재치됨으로써 유지된다. 2 장의 기판 (W) 은 그 주면의 법선 방향이 연직 방향을 따르는 자세로 재치된다. 예를 들어 기판 유지부 (91) 는 도시되지 않은 복수의 리프트 핀을 구비한다. 이 복수의 리프트 핀은, 기판 유지부 (91) 의 상면으로부터, 그 선단을 돌출시킨 상 (上) 위치와, 상기 상면으로부터 아래로 퇴피한 하 (下) 위치 사이에서 승강한다. 반송 로봇 (TR1) 은 상방으로 돌출된 복수의 리프트 핀에 2 장의 기판 (W) 을 전달한 후, 퇴피한다. 복수의 리프트 핀은 2 장의 기판 (W) 을 지지한 상태로 하강하고, 기판 유지부 (91) 의 상면에 2 장의 기판 (W) 을 재치한다.
가열 수단 (92) 은 예를 들어 히터 등이며, 기판 유지부 (91) 에 의해 유지된 2 장의 기판 (W) 에 대해 일괄적으로 동시에 가열 처리를 실시한다. 이 가열 처리에 의해, 예를 들어 기판 (W) 에 잔류된 순수를 증발시킬 수 있다 (탈수 처리). 2 장의 기판 (W) 에 대해 일괄적으로 동시에 가열 처리를 실시하기 때문에, 기판 (W) 에 대해 1 장씩 가열 처리를 실시하는 경우와 비교하여, 가열 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
＜3-1-3. 냉각부 (CP)＞
냉각부 (CP) 에는, 가열부 (HP) 에 의해 가열된 2 장의 기판 (W) 이 반송 로봇 (TR1) 으로부터 일괄적으로 전달된다. 요컨대, 반송 로봇 (TR1) 은, 순차 처리 장치인 세정 장치 (12) 에 의해 처리된 후에 가열부 (HP) 에 의해 처리된 2 장의 기판 (W) 을, 수평의 일방향으로 나란히 유지하면서, 당해 2 장의 기판 (W) 을 일괄적으로 냉각부 (CP) 로 반송한다. 이 냉각부 (CP) 는, 이 2 장의 기판 (W) 을 수평 방향으로 나란히 유지하는 기판 유지부 (93) 와, 이 2 장의 기판 (W) 에 대해 일괄적으로 냉각 처리를 실시하는 냉각 수단 (94) 을 구비하고 있다. 바꾸어 말하면, 냉각부 (CP) 는, 2 장의 기판 (W) 에 대해 동시에 냉각 처리를 실시한다.
이 기판 유지부 (93) 는 2 장의 기판 (W) 의 하면을 지지하는 부재를 갖고 있다. 2 장의 기판 (W) 은 이 부재 상에 재치됨으로써 유지된다. 2 장의 기판 (W) 은 그 주면의 법선 방향이 연직 방향을 따르는 자세로 재치된다. 기판 유지부 (93) 의 구조는 기판 유지부 (91) 와 동일하다.
냉각 수단 (94) 은 예를 들어 금속판의 내부에 형성된 액로에 냉수를 흘리는 냉각판 등이며, 기판 유지부에 유지된 2 장의 기판 (W) 에 대해 일괄적으로 냉각 처리를 실시한다. 냉각 수단 (94) 은 제어부 (60) 에 의해 제어된다. 이 냉각 처리에 의해, 2 장의 기판 (W) 이 냉각되고, 2 장의 기판 (W) 의 온도를 하류측의 처리 장치 (도포 관련 장치 (14)) 에 적합한 온도로 할 수 있다. 2 장의 기판 (W) 에 대해 일괄적으로 동시에 냉각 처리를 실시하기 때문에, 기판 (W) 에 대해 1 장씩 냉각 처리를 실시하는 경우와 비교하여, 냉각 처리의 스루풋을 향상시킬 수 있다.
또한 냉각부 (CP) 는 자연 냉각에 의해 2 장의 기판 (W) 을 냉각시켜도 된다. 자연 냉각이란, 가열된 기판 (W) 에 대해 동력 (전력) 을 사용한 냉각을 실시하지 않고, 기판 (W) 을 방치하여 냉각시키는 것이다. 이 경우, 냉각판 등의 구성으로서의 냉각 수단 (94) 은 불필요하다.
＜3-1-4. 탈수 베이크 장치의 일련의 처리＞
다음으로 탈수 베이크 장치 (13) 에 의한 일련의 처리를 간단하게 설명한다. 반송 로봇 (TR1) 은 상류측의 세정 장치 (12) 의 기판 도출부 (33) 로부터 2 장의 기판 (W) 을 일괄적으로 꺼내고, 이 2 장의 기판 (W) 을 일괄적으로 가열부 (HP) 로 전달한다. 이 가열부 (HP) 에서도, 2 장의 기판 (W) 은 수평 방향으로 나란히 늘어선 상태로 유지된다. 가열부 (HP) 는 이 2 장의 기판 (W) 에 대해 일괄적으로 가열 처리를 실시한다. 가열 처리 후의 2 장의 기판 (W) 은 반송 로봇 (TR1) 에 의해 일괄적으로 꺼내져, 냉각부 (CP) 로 일괄적으로 전달된다. 냉각부 (CP) 에서도, 2 장의 기판 (W) 은 수평 방향으로 나란히 늘어선 상태로 유지된다. 냉각부 (CP) 는 이 2 장의 기판 (W) 에 대해 일괄적으로 냉각 처리를 실시한다. 냉각 처리가 실시된 2 장의 기판 (W) 은 반송 로봇 (TR1) 에 의해 일괄적으로 꺼내져, 도포 관련 장치 (14) 로 일괄적으로 반송된다.
＜제어부＞
도 1 에 예시하는 바와 같이, 기판 처리 장치 (1) 는, 각 처리 장치에서의 처리 및 기판의 반송을 제어하는 제어부 (60) 를 갖고 있다. 도 4 는, 제어부 (60) 의 구성의 일례를 개략적으로 나타내는 기능 블록도이다.
제어부 (60) 는 제어 회로로서, 도 4 에 나타내는 바와 같이, 예를 들어, CPU (Central Processing Unit) (61), ROM (Read Only Memory) (62), RAM (Random Access Memory) (63) 및 기억 장치 (64) 등이, 버스 라인 (65) 을 통해서 상호 접속된 일반적인 컴퓨터에 의해 구성된다. ROM (62) 은 기본 프로그램 등을 격납하고 있고, RAM (63) 은 CPU (61) 가 소정의 처리를 실시할 때의 작업 영역으로서 제공된다. 기억 장치 (64) 는, 플래시 메모리, 혹은 하드 디스크 장치 등의 불휘발성의 기억 장치에 의해 구성된다.
또, 제어부 (60) 에서는, 입력부 (66), 표시부 (67), 통신부 (68) 도 버스 라인 (65) 에 접속되어 있다. 입력부 (66) 는, 각종 스위치, 혹은 터치 패널 등에 의해 구성되어 있으며, 오퍼레이터로부터 처리 레시피 등의 각종 입력 설정 지시를 받는다. 표시부 (67) 는, 액정 표시 장치 및 램프 등에 의해 구성되어 있으며, CPU (61) 에 의한 제어하에 각종 정보를 표시한다. 통신부 (68) 는, LAN (Local Area Network) 등을 개재한 데이터 통신 기능을 갖는다.
또, 제어부 (60) 에는, 각 로봇 (인덱서 로봇 등의 반송 로봇 등) 및 상기 서술한 각 처리 장치가 제어 대상으로서 접속되어 있다. 요컨대 제어부 (60) 는 기판 (W) 의 반송을 제어하는 반송 제어부로서 기능할 수 있다.
제어부 (60) 의 기억 장치 (64) 에는, 기판 처리 장치 (1) 를 구성하는 각 장치를 제어하기 위한 처리 프로그램 (P) 이 격납되어 있다. 제어부 (60) 의 CPU (61) 가 처리 프로그램 (P) 을 실행함으로써, 기판의 반송 동작 및 처리 동작이 제어된다. 또, 처리 프로그램 (P) 은, 기록 매체에 기억되어 있어도 된다. 이 기록 매체를 사용하면, 제어부 (60) (컴퓨터) 에 처리 프로그램 (P) 을 인스톨할 수 있다. 또 제어부 (60) 가 실행하는 기능의 일부 또는 전부는 반드시 소프트웨어에 의해 실현될 필요는 없고, 전용의 논리 회로 등의 하드웨어에 의해 실현되어도 된다.
제어부 (60) 는, 각 기판 (W) 에 대응한 기판 데이터를 취급할 수 있다. 도 5 는, 전체 기판 데이터 (D1) 의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다. 전체 기판 데이터 (D1) 는, 동시에 반송되는 N 장 (여기서는 2 장) 의 기판 (W) 에 대응한 기판 데이터를 포함하고 있다. 도 5 에 예시하는 바와 같이, 전체 기판 데이터 (D1) 는, 식별 정보 (Da1), 위치 정보 (Db1), 레시피 정보 (Dc1) 및 에러 정보 (Dd1) 등의 정보를 포함하고 있다.
식별 정보 (Da1) 는, 기판 (W) 을 식별하기 위한 기판 (W) 에 고유한 정보이다. 도 5 의 예에서는, 기판 (W1) 의 식별 정보 (Da1) 는 「A」를 나타내고 있고, 기판 (W2) 의 식별 정보 (Da1) 는 「B」를 나타내고 있다. 기판 (W) 은 인덱서부 (11) 에 있어서 서로 상이한 수용 위치 (슬롯) 에 수용되기 때문에, 각 수용 위치를 나타내는 정보는, 기판 (W) 에 대해 고유한 정보이다. 따라서, 식별 정보 (Da1) 로서, 인덱서부 (11) 에 있어서의 기판 (W) 의 수용 위치를 나타내는 정보 (슬롯 번호) 를 채용해도 된다. 단, 카세트 내의 각 슬롯에는, 2 장의 기판 (W) 이 수납된다. 요컨대, 2 장 1 세트의 기판 (W) 에 대해 1 개의 슬롯 번호가 할당된다. 따라서, 일방의 기판 (W) 의 식별 정보 (Da1) 로서 슬롯 번호를 채용하고, 타방의 기판 (W) 의 식별 정보 (Da1) 에는 더미의 슬롯 번호 (요컨대, 슬롯 번호와는 상이한 번호) 를 채용해도 된다.
위치 정보 (Db1) 는, N 장 (여기서는 2 장) 의 기판 (W) 의 반송 방향에 있어서의 위치 관계를 나타내고 있다. 여기서는, 기판 (W1) 이 기판 (W2) 에 대해 상류측에 위치하고 있기 때문에, 도 5 의 예에서는, 기판 (W1, W2) 에 대한 위치 정보 (Db1) 는 각각 「상류」및 「하류」를 나타내고 있다. 이 위치 정보 (Db1) 는, 주로 순차 처리 장치 (30) 에 있어서의 반송 제어에 사용된다. 구체적으로는, 순차 처리 장치 (30) 는 「하류」의 위치 정보 (Db1) 가 부여된 기판 (W2) 을 먼저 반송하고, 그 후에 「상류」의 위치 정보 (Db1) 가 부여된 기판 (W1) 을 반송한다.
레시피 정보 (Dc1) 는, 기판 (W1, W2) 에 대해 실시해야 하는 처리를 나타내는 정보 (예를 들어 레시피 번호) 와, 그 처리에 있어서의 처리 조건의 정보를 포함하고 있다. 처리 조건으로는, 예를 들어 세정 처리이면, 사용하는 약액의 종류, 약액의 유량 및 처리 시간 (요컨대 반송 속도) 등의 조건이 채용될 수 있다. 예를 들어 탈수 베이크 처리이면, 처리 조건으로서, 가열 온도, 가열 시간, 냉각 온도 및 냉각 시간 등의 조건이 채용될 수 있다. 또한 기판 (W1, W2) 에는 서로 동일한 처리가 실시되기 때문에, 레시피 정보 (Dc1) 는 기판 (W1, W2) 에 공통된 정보이다. 따라서, 도 5 의 예에서는, 레시피 정보 (Dc1) 는 기판 (W1, W2) 의 각각에 대응하고 있는 것은 아니고, 기판 (W1, W2) 의 1 세트에 대응하고 있다.
에러 정보 (Dd1) 는, 기판 (W1, W2) 에 대한 처리에 있어서 발생한 에러를 나타내는 정보이다. 순차 처리 장치 (30) 는 기판 (W1, W2) 에 대해 개별적으로 처리를 실시하기 때문에, 순차 처리 장치 (30) 에 있어서는 기판 (W1, W2) 의 일방에만 에러가 발생할 수 있고, 또 서로 상이한 에러가 기판 (W1, W2) 에 발생하는 경우도 있다. 한편, 동시 처리 장치 (40) 는 기판 (W1, W2) 에 대해 동시에 처리를 실시하기 때문에, 기판 (W1, W2) 에는 공통된 에러가 발생할 수 있다. 그래서, 에러 정보 (Dd1) 는, 기판 (W1, W2) 에 대해 개별적으로 발생하는 에러를 나타내는 개별 에러 정보 (Dd11) 와, 기판 (W1, W2) 에 대해 공통으로 발생하는 에러를 나타내는 공통 에러 정보 (Dd12) 를 포함하고 있다. 개별 에러 정보 (Dd11) 는 기판 (W1, W2) 의 각각에 대응하고 있고, 공통 에러 정보 (Dd12) 는 기판 (W1, W2) 의 1 세트에 대응하고 있다.
에러 정보로는, 특별히 제한될 필요는 없지만, 예를 들어 다음에 나타내는 에러를 예시할 수 있다. 즉, 처리 시간이 규정 범위 외가 되는 에러를 예시할 수 있다. 당해 규정 범위는 처리마다 규정되어 있고, 예를 들어 레시피 정보 (Dc1) 에 포함되어 있다. 제어부 (60) 는 예를 들어 타이머 회로 등을 갖고 있고, 처리 시간을 타이머 회로에 의해 측정할 수 있다. 제어부 (60) 는 그 측정값에 기초하여 처리 시간의 에러를 검지할 수 있다. 그 외에, 에러 정보로는, 동일한 식별 정보 (Da1) 가 부여된 복수의 기판 (W) 이 동일한 장치 내에 포함되는 에러도 예시할 수 있다. 식별 정보 (Da1) 는 통상적으로는 기판 (W) 마다 상이하지만, 작업자의 인위 미스 등에 의해, 동일한 식별 정보 (Da1) 가 복수의 기판 (W) 에 부여되는 경우가 있다. 제어부 (60) 는 식별 정보 (Da1) 가 부여된 기판 (W) 의 위치를 확인하고 있고, 상기 에러를 검지할 수 있다. 또한 도시되어 있지 않지만, 각 장치에는, 각종 에러를 검출하기 위한 각종 센서가 형성되어 있어도 된다.
또 에러 정보에 대응하는 대책을 에러 정보 (Dd1) 에 포함시켜도 된다. 예를 들어 에러의 종류에 따라서는 그 기판 (W) 을 파기해야 하는 경우도 있으며, 기판 (W) 에 대해 복귀 처리를 실시함으로써 원래의 상태로 되돌려 재차, 그 처리를 실시할 수 있는 경우도 있다. 이와 같은 대책 (파기, 복귀 처리) 을 나타내는 정보를 에러 정보 (Dd1) 에 포함시켜도 된다.
＜제어부의 동작＞
다음으로 제어부 (60) 의 동작의 일례를 설명한다. 도 6 은, 제어부 (60) 의 동작의 일례를 나타내는 플로 차트이다. 여기서는, 2 장의 기판 (W) 을 세정 장치 (12) (순차 처리 장치 (30)) 및 탈수 베이크 장치 (13) (동시 처리 장치 (40)) 로 순서대로 처리하는 경우에 대해 설명한다.
먼저 스텝 S1 에서, 인덱서부 (11) 로부터 2 장의 기판 (W) 이 기판 도입부 (31) 로 반입된다. 바꿔 말하면, 기판 도입부 (31) 는 2 장의 기판 (W) 을 받아들인다. 이 2 장의 기판 (W) 에는 전체 기판 데이터 (D1) 가 부여되어 있다. 여기서 말하는 「부여」란, 전체 기판 데이터 (D1) 를 2 장의 기판 (W) 의 1 세트에 관련짓는 것을 의미한다.
다음으로 스텝 S2 에서, 제어부 (60) 는, 기판 도입부 (31) 로 반입된 2 장의 기판 (W) 에 대한 전체 기판 데이터 (D1) 를 취득한다. 이 전체 기판 데이터 (D1) 는, 예를 들어 상류측의 장치로부터 송신되어도 된다. 전체 기판 데이터 (D1) 는 인덱서부 (11) 또는 인덱서부 (11) 보다 상류측의 장치로부터 송신되어도 된다. 또한 전체 기판 데이터 (D1) 는 반드시 상류측의 장치로부터 송신될 필요는 없고, 작업자가 입력부 (66) 를 사용하여 전체 기판 데이터 (D1) 를 입력해도 된다.
다음으로 스텝 S3 에서, 제어부 (60) 는 전체 기판 데이터 (D1) 에 기초하여 개별 기판 데이터 (D21, D22) 를 생성한다. 개별 기판 데이터 (D21, D22) 는 각각 기판 (W1, W2) 에 고유한 기판 데이터이다. 도 7 및 도 8 은, 각각 개별 기판 데이터 (D21, D22) 의 일례를 개략적으로 나타내는 도면이다. 제어부 (60) 는 전체 기판 데이터 (D1) 로부터 기판 (W1) 에 관한 데이터를 추출하여, 기판 (W1) 에 대한 개별 기판 데이터 (D21) 를 생성한다. 반대로 말하면, 제어부 (60) 는 전체 기판 데이터 (D1) 로부터 기판 (W2) 에 관한 데이터만을 삭제하여, 개별 기판 데이터 (D21) 를 생성한다. 즉, 개별 기판 데이터 (D21) 는 기판 (W1) 의 식별 정보 (Da1), 위치 정보 (Db1), 레시피 정보 (Dc1) 및 에러 정보 (Dd1) 를 포함한다.
동일하게, 제어부 (60) 는, 전체 기판 데이터 (D1) 로부터 기판 (W2) 에 관한 데이터를 추출하여 기판 (W2) 에 대한 개별 기판 데이터 (D22) 를 생성한다. 반대로 말하면, 제어부 (60) 는 전체 기판 데이터 (D1) 로부터 기판 (W1) 에 관한 데이터만을 삭제하여, 개별 기판 데이터 (D22) 를 생성한다. 개별 기판 데이터 (D22) 는 기판 (W2) 의 식별 정보 (Da1), 위치 정보 (Db1), 레시피 정보 (Dc1) 및 에러 정보 (Dd1) 를 포함한다.
다음으로 스텝 S4 에서, 제어부 (60) 는 개별 기판 데이터 (D21, D22) 에 기초하여 세정 장치 (12) 를 제어한다. 예를 들어 먼저, 위치 정보 (Db1) 가 「하류」인 기판 (W2) 에 대해 처리를 실시하기 위해, 제어부 (60) 는 개별 기판 데이터 (D22) 의 레시피 정보 (Dc1) 에 기초하여, 기판 도입부 (31), 처리 장치 본체 (32) 및 기판 도출부 (33) 의 반송 기구를 제어함과 함께, 각 위치에 있어서의 처리 기구를 제어한다. 구체적으로는, 제어부 (60) 는 약액부 (34), 수세부 (35) 및 탈수부 (36) 에 있어서의 처리 시간이 각각에 적합한 값이 되도록 레시피 정보 (Dc1) 에 기초하여 롤러 (321) 의 회전 속도를 제어함과 함께, 약액부 (34) 에 있어서의 약액의 유량, 수세부 (35) 에 있어서의 세정수의 유량 및 탈수부 (36) 에 있어서의 기체의 유량 등을 레시피 정보 (Dc1) 에 기초하여 제어한다.
이로써, 기판 (W2) 은 처리 장치 본체 (32) 에서 처리가 실시된 후에, 기판 도출부 (33) 에서 정지한다. 또 제어부 (60) 는 세정 장치 (12) 에 있어서 기판 (W2) 에 대해 에러가 발생했을 때에는, 그 에러 정보를 개별 기판 데이터 (D22) 의 개별 에러 정보 (Dd11) 에 부가한다.
동일하게, 위치 정보 (Db1) 가 「상류」인 기판 (W1) 에 대해 처리를 실시하기 위해, 제어부 (60) 는 개별 기판 데이터 (D21) 의 레시피 정보 (Dc1) 에 기초하여, 기판 도입부 (31), 처리 장치 본체 (32) 및 기판 도출부 (33) 의 반송 기구를 제어함과 함께, 각 위치에 있어서의 처리 기구를 제어한다. 이로써, 기판 (W1) 은 처리 장치 본체 (32) 에서 처리가 실시된 후에, 기판 도출부 (33) 에서 정지한다. 또 제어부 (60) 는 세정 장치 (12) 에 있어서 기판 (W1) 에 대해 에러가 발생했을 때에는, 그 에러 정보를 개별 기판 데이터 (D21) 의 개별 에러 정보 (Dd11) 에 부가한다.
이상과 같이, 세정 장치 (12) (요컨대 순차 처리 장치 (30)) 에 있어서는, 1 장의 기판 (W) 에 대해 1 개의 기판 데이터 (개별 기판 데이터) 가 할당되어, 처리가 실시된다. 이로써, 세정 장치 (12) 에 있어서 적절히 2 장의 기판 (W1, W2) 의 각각에 대해 처리를 실시할 수 있는 것이다.
다음으로 스텝 S5 에서, 세정 장치 (12) 에 의해 처리된 기판 (W1, W2) 이 기판 도출부 (33) 에 갖추어졌을 때에, 제어부 (60) 는 개별 기판 데이터 (D21, D22) 에 기초하여 전체 기판 데이터 (D1) 를 생성한다. 구체적으로는, 제어부 (60) 는 개별 기판 데이터 (D21) 에 있어서 기판 (W1) 에 고유한 정보와, 개별 기판 데이터 (D22) 에 있어서 기판 (W2) 에 고유한 정보와, 개별 기판 데이터 (D21, D22) 에 있어서 기판 (W1, W2) 에 공통된 정보를 추출하고, 이것들을 전체 기판 데이터 (D1) 에 통합한다. 스텝 S4 에 있어서, 개별 에러 정보 (Dd11) 에 에러 정보가 기입되어 있는 경우에는, 전체 기판 데이터 (D1) 에도, 그 에러 정보가 기입되게 된다.
다음으로 스텝 S6 에서, 제어부 (60) 는 전체 기판 데이터 (D1) 에 기초하여 탈수 베이크 장치 (13) 를 제어한다. 즉, 기판 (W1, W2) 에 대해 처리를 실시하기 위해, 제어부 (60) 는 전체 기판 데이터 (D1) 의 레시피 정보 (Dc1) 에 기초하여, 반송 로봇 (TR1) 을 제어함과 함께, 탈수 베이크 장치 (13) 의 처리 기구를 제어한다. 보다 구체적으로는, 제어부 (60) 는 레시피 정보 (Dc1) 에 기초하여 반송 로봇 (TR1) 에 기판 (W1, W2) 을 일괄적으로 기판 유지부 (91) 로 반송시키고, 레시피 정보 (Dc1) 에 규정된 가열 시간만큼 가열 수단 (92) 에 기판 (W1, W2) 을 가열시킨다. 가열이 종료되면, 제어부 (60) 는 레시피 정보 (Dc1) 에 기초하여 반송 로봇 (TR1) 에 기판 (W1, W2) 을 일괄적으로 기판 유지부 (93) 로 반송시키고, 레시피 정보 (Dc1) 에 규정된 냉각 시간만큼 냉각 수단 (94) 에 기판 (W1, W2) 을 냉각시킨다. 냉각이 종료되면, 제어부 (60) 는 레시피 정보 (Dc1) 에 기초하여 반송 로봇 (TR1) 에 기판 (W1, W2) 을 다음의 장치 (도포 관련 장치 (14)) 로 반송시킨다.
또 제어부 (60) 는 탈수 베이크 장치 (13) 에 있어서 에러가 발생했을 때에는, 그 에러 정보를 전체 기판 데이터 (D1) 의 공통 에러 정보 (Dd12) 에 부가한다.
이상과 같이, 탈수 베이크 장치 (13) (요컨대 동시 처리 장치 (40)) 에 있어서는, 2 장의 기판 (W) 의 1 세트에 대해 1 개의 기판 데이터 (전체 기판 데이터) 가 할당되어, 처리가 실시된다. 이로써, 탈수 베이크 장치 (13) 에 있어서 적절히 2 장의 기판 (W1, W2) 의 양방에 대해 처리를 실시할 수 있다.
요컨대, 제어부 (60) 는 순차 처리 장치 (30) 에 있어서는 각각 개별 기판 데이터 (D21, D22) 를 사용하여 반송 기구 및 처리 기구를 제어함으로써, 기판 (W1, W2) 에 대해 각각 처리를 순차적으로 실시한다. 한편, 제어부 (60) 는 동시 처리 장치 (40) 에 있어서는 전체 기판 데이터 (D1) 에 기초하여 반송 기구 및 처리 기구를 제어함으로써, 기판 (W1, W2) 에 대해 처리를 동시에 실시한다. 이로써, 적절히 순차 처리 장치 (30) 및 동시 처리 장치 (40) 를 제어할 수 있는 것이다.
또 상기 서술한 예에서는, 순차 처리 장치 (30) 에 있어서의 에러는 기판 (W1, W2) 에 고유한 개별 에러 정보 (Dd11) 로서 전체 기판 데이터 (D1) 에 부가된다. 따라서, 적절히 에러 정보를 관리할 수 있다. 한편, 동시 처리 장치 (40) 에 있어서의 에러는 기판 (W1, W2) 에 공통된 공통 에러 정보 (Dd12) 로서 전체 기판 데이터 (D1) 에 부가된다. 예를 들어 비교예로서, 기판 (W1, W2) 에 공통된 에러 정보를 기판 (W1) 에 대한 개별 에러 정보 (Dd11) 와 기판 (W2) 에 대한 개별 에러 정보 (Dd11) 에 부가하는 경우에 대해 고찰한다. 이 경우에는, 전체 기판 데이터 (D1) 의 정보량이 불필요하게 증대된다. 이에 반해, 본 실시형태에서는, 그러한 불필요한 정보량의 증대를 회피할 수 있다.
또한 상기 서술한 예에서는, 스텝 S1 에서 상류측의 장치로부터 송신된 전체 기판 데이터 (D1) 에는, 기판 (W1, W2) 의 식별 정보 (Da1) 가 포함되어 있었다. 구체적인 일례로서, 기판 (W1, W2) 의 식별 정보 (Da1) 로서 「A」및 「B」가 포함되어 있었다. 그런데, 상류측의 장치에서는, 기판 (W1, W2) 의 적어도 어느 일방에 대해 식별 정보 (Da1) 가 결정되어 있지 않아도 된다. 이 경우, 스텝 S1 에서, 제어부 (60) 가 식별 정보 (Da1) 를 자동으로 결정하면 된다. 혹은, 작업자가 입력부 (66) 를 조작하여 식별 정보 (Da1) 를 입력해도 된다.
이상과 같이, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법은 상세하게 설명되었지만, 상기한 설명은, 모든 국면에 있어서 예시로서, 이 개시가 그것에 한정되는 것은 아니다. 또, 상기 서술한 각종 변형예는, 서로 모순되지 않는 한 조합하여 적용 가능하다. 그리고, 예시되어 있지 않은 다수의 변형예가, 이 개시의 범위로부터 벗어나지 않고 상정될 수 있는 것으로 해석된다.
1 : 기판 처리 장치
30 : 순차 처리부 (순차 처리 장치)
31 : 수용부 (기판 도입부)
33 : 출구 위치 (기판 도출부)
40 : 동시 처리부 (동시 처리 장치)
60 : 제어부

Claims (4)

  1. 기판 처리 장치로서,
    복수의 기판을 식별하기 위한 고유한 식별 정보와, 상기 복수의 기판의 반송 방향에 있어서의 위치 관계를 나타내는 위치 정보와, 처리 내용을 규정하기 위한 상기 복수의 기판에 공통된 레시피 정보를 포함하는 전체 기판 데이터가 부여된 복수의 기판을 받아들이는 수용부와,
    상기 복수의 기판을 순차, 반송하면서 처리하는 순차 처리부와,
    상기 복수의 기판을 동시에 처리하는 동시 처리부와
    제어부를 구비하고,
    상기 제어부는,
    상기 복수의 기판의 각각에 고유한 데이터로서, 상기 식별 정보, 상기 위치 정보 및 상기 레시피 정보를 포함하는 개별 기판 데이터를, 상기 전체 기판 데이터에 기초하여 생성하고,
    상기 개별 기판 데이터에 기초하여 상기 순차 처리부에 있어서의 상기 복수의 기판의 각각에 대한 반송 및 처리를 제어하고,
    상기 순차 처리부에 의해 처리된 복수의 기판이 출구 위치에 갖추어졌을 때에, 상기 개별 기판 데이터에 기초하여 상기 전체 기판 데이터를 생성하고,
    상기 전체 기판 데이터에 기초하여 상기 동시 처리부에 있어서의 상기 복수의 기판의 반송 및 처리를 제어하는, 기판 처리 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 순차 처리부에 있어서 상기 복수의 기판의 1 개에 대해 에러가 발생했을 때에, 상기 복수의 기판의 상기 1 개에 대한 상기 개별 기판 데이터에 제 1 에러 정보를 부가하는, 기판 처리 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제어부는, 상기 동시 처리부에 있어서 상기 복수의 기판에 대해 에러가 발생했을 때에, 상기 전체 기판 데이터에 제 2 에러 정보를 부가하는, 기판 처리 장치.
  4. 기판 처리 방법으로서,
    복수의 기판을 식별하기 위한 고유한 식별 정보와, 상기 복수의 기판의 반송 방향에 있어서의 위치 관계를 나타내는 위치 정보와, 처리 내용을 규정하기 위한 상기 복수의 기판에 공통된 레시피 정보를 포함하는 전체 기판 데이터가 부여된 복수의 기판을 받아들이는 수용 공정과,
    상기 복수의 기판을 순차, 반송하면서 처리하는 순차 처리 공정과,
    상기 복수의 기판을 동시에 처리하는 동시 처리 공정을 구비하고,
    상기 순차 처리 공정은,
    상기 복수의 기판의 각각에 고유한 데이터로서, 상기 식별 정보, 상기 위치 정보 및 상기 레시피 정보를 포함하는 개별 기판 데이터를, 상기 전체 기판 데이터에 기초하여 생성하는 공정과,
    상기 개별 기판 데이터에 기초하여 상기 복수의 기판의 각각에 대한 반송 및 처리를 제어하는 공정과
    처리된 복수의 기판이 출구 위치에 갖추어졌을 때에, 상기 개별 기판 데이터에 기초하여 상기 전체 기판 데이터를 생성하는 공정을 포함하고,
    상기 동시 처리 공정은,
    상기 전체 기판 데이터에 기초하여 상기 복수의 기판의 반송 및 처리를 제어하는 공정을 포함하는, 기판 처리 방법.
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