KR102242827B1 - 박리 장치 - Google Patents

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Abstract

(과제) 보호 부재가 박리된 웨이퍼에 보호 부재의 수지가 남아 있는지의 여부를 확인한다.
(해결 수단) 필름 (S2) 이 웨이퍼 (W) 의 외주 가장자리 (Wd) 로부터 비어져 나와 비어져 나옴부 (S2a) 가 형성된 상태에서 수지 (S1) 를 개재하여 필름 (S2) 이 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 에 고착되어 있는 경우에 있어서의 수지 (S1) 와 필름 (S2) 으로 이루어지는 보호 부재 (S) 를 웨이퍼 (W) 로부터 박리하기 위해서 사용되고, 보호 부재 (S) 를 아래로 하여 웨이퍼 (W) 의 타방의 면 (Wb) 을 유지하는 수단 (2) 과, 보호 부재 (S) 의 비어져 나옴부 (S2a) 를 협지하는 수단 (3) 과, 협지 수단 (3) 과 유지 수단 (2) 을 상대적으로 웨이퍼 (W) 의 외주 가장자리 (Wd) 로부터 중심을 향해 이동시키고 웨이퍼 (W) 로부터 보호 부재 (S) 를 박리하는 수단 (4) 과, 박리 수단 (4) 으로 보호 부재 (S) 를 박리한 후에 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 을 촬상하는 촬상 수단 (80) 과, 촬상 수단 (80) 이 촬상한 촬상화로부터 잔존하는 수지 (S1) 의 유무를 판단하는 판단 수단 (19) 을 구비하는 박리 장치 (1) 이다.

Description

박리 장치{PEELING APPARATUS}
본 발명은, 보호 부재를 웨이퍼로부터 박리하는 박리 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼의 제조 프로세스에 있어서 평탄면을 구비하는 웨이퍼를 제조하는 경우에는, 예를 들어, 실리콘 등의 원재료로 이루어지는 원기둥상의 잉곳을, 와이어 쏘 등으로 얇게 절단하여, 원판상의 웨이퍼를 얻는다. 이 원판상의 웨이퍼의 양면에는, 굴곡이 존재하고 있는 경우가 많기 때문에, 잘라 낸 웨이퍼에 대한 연삭 가공을 실시하는, 즉, 웨이퍼의 와이어 쏘에 의한 절단면에 대하여, 회전하는 연삭 지석을 맞닿게 함으로써, 절단면의 굴곡을 제거하여 평탄한 면으로 해 가는 가공을 실시한다.
연삭 가공을 실시하는 데에 있어서는, 예를 들어, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 원판상의 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 에 액상 수지 (S1) 로 보호 부재를 형성한다. 웨이퍼 (W) 에 보호 부재를 형성하는 데에 있어서는, 예를 들어, 웨이퍼 (W) 의 직경보다 대경의 원형상 필름 (S2) 을, 보호 부재 형성 장치의 유지 테이블 (90) 의 평탄한 유지면 (90a) 에 재치 (載置) 하고, 이 필름 (S2) 상에 액상의 수지 (S1) 를 수지 공급 장치 (91) 로부터 소정량 공급한다. 이 수지 (S1) 는, 예를 들어, 광 (대표적으로는, 자외선) 에 의해 경화되는 성질을 구비하고 있다. 그리고, 유지 수단 (92) 으로 웨이퍼 (W) 의 타방의 면 (Wb) 을 흡인 유지하고, 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 에 대향하도록 배치 형성된 필름 (S2) 상에서, 웨이퍼 (W) 를 액상 수지 (S1) 에 대해 상측으로부터 누름으로써, 액상 수지 (S1) 를 눌러 확산되게 하여 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 전체면이 액상 수지 (S1) 로 피복된 상태로 한다. 이어서, 액상 수지 (S1) 에 대하여, 예를 들어, 유지 테이블 (90) 의 내부에 배치 형성된 자외선 조사 기구 (93) 로부터 자외선의 조사를 실시하여 경화시킴으로써, 도 7 에 나타내는 보호 부재 (S) 가 형성된다. 또, 웨이퍼 (W) 의 외주 가장자리 (Wd) 로부터 필름 (S2) 이 비어져 나온 비어져 나옴부 (S2a) 가 형성된다.
그리고, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 보호 부재 (S) 가 형성되어 있지 않은 타방의 면 (Wb) 이 상측이 되도록 하여, 웨이퍼 (W) 를 연삭 장치 (94) 의 척 테이블 (940) 의 유지면 상에 재치하고, 웨이퍼 (W) 의 상방으로부터 회전하는 연삭 휠 (941) 을 강하시켜, 웨이퍼 (W) 의 타방의 면 (Wb) 에 연삭 지석 (941a) 을 맞닿게 하면서 연삭을 실시해 간다. 그 후, 박리 장치 (예를 들어, 특허문헌 1 참조) 에 의해 웨이퍼 (W) 로부터 보호 부재 (S) 를 박리하고 나서, 보호 부재 (S) 에 의해 보호되어 있던 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 을 추가로 연삭함으로써, 양면이 평탄면이 되는 웨이퍼 (W) 를 제조할 수 있다.
일본 공개특허공보 2013-168488호
웨이퍼 (W) 로부터 보호 부재 (S) 를 박리할 때에는, 웨이퍼 (W) 의 최초로 연삭한 쪽의 면 (Wb) (타방의 면 (Wb)) 을 유지 수단에 의해 흡인 유지하여 웨이퍼 (W) 를 들어 올리고, 예를 들어 클램프 등으로 구성되는 협지 수단에 의해 필름 (S2) 을 협지하고, 협지 수단을 이동시켜 웨이퍼 (W) 로부터 보호 부재 (S) 를 박리한다. 그러나, 보호 부재 (S) 가 박리된 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 에, 보호 부재 (S) 유래의 수지 (S1) 가 남아 버리는 경우가 있다. 이 수지 (S1) 가 남는 것은, 예를 들어, 액상 수지 (S1) 로 보호 부재 (S) 를 형성할 때의, 액상 수지 (S1) 에 대한 기포의 혼입이나, 액상 수지 (S1) 가 자외선의 조사에 의해 완전히 경화되어 있지 않은 것 등이 원인인 것으로 생각된다.
따라서, 웨이퍼 (W) 로부터 보호 부재 (S) 를 박리할 때에, 보호 부재 (S) 가 박리된 웨이퍼 (W) 에, 보호 부재 (S) 의 수지 (S1) 가 남아 있는지의 여부를 확인한다는 과제가 있다.
본 발명에 의하면, 필름이 웨이퍼의 외주 가장자리로부터 비어져 나와 비어져 나옴부가 형성된 상태에서 수지를 개재하여 그 필름이 웨이퍼의 일방의 면에 고착되어 있는 경우에 있어서의 그 수지와 그 필름으로 이루어지는 그 보호 부재를 웨이퍼로부터 박리하는 박리 장치로서, 그 보호 부재를 아래로 하여 웨이퍼의 타방의 면을 유지하는 유지면을 갖는 유지 수단과, 그 유지 수단에 의해 유지된 웨이퍼의 그 보호 부재의 그 비어져 나옴부를 협지하는 협지 수단과, 그 협지 수단과 그 유지 수단을 상대적으로 웨이퍼의 외주 가장자리로부터 중심을 향해 직경 방향으로 이동시켜 웨이퍼로부터 그 보호 부재를 박리하는 박리 수단과, 그 박리 수단으로 그 보호 부재를 박리한 후에 그 보호 부재가 형성되어 있던 웨이퍼의 일방의 면을 촬상하는 촬상 수단과, 그 촬상 수단이 촬상한 촬상화 (畵) 로부터 잔존하는 그 수지의 유무를 판단하는 판단 수단을 구비한 박리 장치가 제공된다.
본 발명에 관련된 박리 장치에 의하면, 박리 수단에 의해, 협지 수단과 유지 수단을 상대적으로 웨이퍼의 외주 가장자리로부터 중심을 향해 직경 방향으로 이동시켜 웨이퍼로부터 보호 부재를 박리한 후, 촬상 수단에 의해 보호 부재가 형성되어 있던 웨이퍼의 일방의 면을 촬상하고, 판단 수단에 의해 촬상 수단이 촬상한 촬상화로부터 잔존하는 수지의 유무를 판단할 수 있다.
도 1 은, 박리 장치의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 유지 수단에 의해 유지된 웨이퍼의 보호 부재의 비어져 나옴부를 협지 수단에 의해 협지하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 3 은, 보호 부재의 비어져 나옴부를 협지한 협지 수단을 박리 수단에 의해 이동시키고, 유지 수단을 박리 수단과 반대 방향으로 이동시켜, 보호 부재의 박리를 개시한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 4 는, 보호 부재의 비어져 나옴부를 협지한 협지 수단을 박리 수단에 의해 이동시키고, 유지 수단을 박리 수단과 반대 방향으로 이동시켜, 웨이퍼로부터 보호 부재의 대부분을 박리한 상태를 나타내는 단면도이다.
도 5 는, 촬상 수단에 의해 보호 부재가 형성되어 있던 웨이퍼의 일방의 면을 촬상하고 있는 상태를 나타내는 단면도이다.
도 6 은, 웨이퍼의 일방의 면에 액상 수지로 보호 부재를 형성하고 있는 상태를 설명하는 모식적인 일부 단면 측면도이다.
도 7 은, 보호 부재를 유지하여 웨이퍼의 타방의 면을 연삭하고 있는 상태를 나타내는 측면도이다.
도 1 에 나타내는 박리 장치 (1) 는, 보호 부재 (S) 를 웨이퍼 (W) 로부터 박리하는 장치이다. 보호 부재 (S) 는, 웨이퍼 (W) 보다 대경으로 형성되고, 도 2 에 나타내는 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 에 고착되어 있고, 웨이퍼 (W) 의 외주 가장자리 (Wd) 보다 외주측으로 비어져 나온 비어져 나옴부 (S2a) 를 구비하고 있다. 박리 장치 (1) 의 베이스 (10) 상의 후방측 (－X 방향측) 에는, 칼럼 (11) 이 세워 설치되어 있고, 칼럼 (11) 의 ＋X 방향측의 측면의 상부에는, 모터 (122) 에 의해 볼 나사 (120) 를 회동 (回動) 시킴으로써, 가동판 (121) 에 배치 형성된 유지 수단 (2) 을 Y 축 방향으로 왕복 이동시키는 Y 축 방향 이동 수단 (12) 이 배치 형성되어 있다.
가동판 (121) 상에는, Z 축 방향으로 유지 수단 (2) 을 왕복 이동시키는 Z 축 방향 이동 수단 (13) 이 배치 형성되어 있다. Z 축 방향 이동 수단 (13) 은, 모터 (132) 에 의해 볼 나사 (130) 를 회동시킴으로써, 가동판 (131) 상에 배치 형성된 유지 수단 (2) 을 Z 축 방향으로 왕복 이동시킨다.
유지 수단 (2) 은, 가동판 (131) 상에 －X 방향측의 일단이 고정된 아암부 (20) 와, 아암부 (20) 의 ＋X 방향측의 다른 일단의 하면에 배치 형성되어 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지하는 유지 패드 (21) 를 구비하고 있다. 도 2 에 나타내는 유지 패드 (21) 는, 포러스 부재로 이루어지고 웨이퍼 (W) 를 흡착하는 흡착부 (210) 와, 흡착부 (210) 를 지지하는 프레임체 (211) 를 구비한다. 흡착부 (210) 는, 흡인관 (212) 을 개재하여 흡인원 (213) 에 연통되어 있다. 그리고, 흡인원 (213) 이 흡인을 실시함으로써 발생된 흡인력이, 흡착부 (210) 의 노출면이며 프레임체 (211) 의 하면과 면일 (面一) 하게 형성되어 있는 유지면 (210a) 에 전달됨으로써, 유지 수단 (2) 은 유지면 (210a) 에서 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지한다.
도 1 에 나타내는 칼럼 (11) 의 ＋X 방향측 측면의 중간부, 즉, 유지 수단 (2) 의 이동 경로의 하방에는, ＋Z 방향측으로부터 순서대로, X 축 방향의 축심을 갖는 회전 롤러 (18) 와, 보호 부재 (S) 를 웨이퍼 (W) 로부터 박리하는 박리 수단 (4) 과, 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 을 촬상하는 촬상 수단 (80) 을 이동시키는 촬상 수단 이동 수단 (81) 과, 웨이퍼 (W) 로부터 박리된 보호 부재 (S) 가 재치되는 재치 테이블 (5) 과, 재치 테이블 (5) 상의 보호 부재 (S) 를 낙하시키는 낙하 수단 (6) 이 나란히 배치 형성되어 있다. 또, 박리 수단 (4) 의 ＋Y 방향측의 근방에는, 테이블 유지대 (140) 가 칼럼 (11) 의 ＋X 방향측 측면에 고정되어 배치 형성되어 있고, 테이블 유지대 (140) 상에는, 연삭 가공 후의 웨이퍼 (W) 가 재치되는 주고 받기 테이블 (141) 이 배치 형성되어 있다. 주고 받기 테이블 (141) 은, 그 유지면 (141a) 상에 재치된 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지할 수 있다.
박리 수단 (4) 은, Y 축 방향의 축심을 갖는 볼 나사 (40) 와, 볼 나사 (40) 와 평행하게 배치 형성된 1 쌍의 가이드 레일 (41) 과, 볼 나사 (40) 를 회동시키는 모터 (42) 와, 내부의 너트가 볼 나사 (40) 에 나사 결합하여 측부가 가이드 레일 (41) 에 슬라이딩 접촉하는 가동 블록 (43) 으로 구성된다. 그리고, 모터 (42) 가 볼 나사 (40) 를 회동시키면, 이것에 수반하여 가동 블록 (43) 이 가이드 레일 (41) 로 가이드되어 Y 축 방향으로 이동하고, 가동 블록 (43) 상에 배치 형성된 협지 수단 (3) 이 가동 블록 (43) 의 이동에 수반하여 Y 축 방향으로 이동한다.
협지 수단 (3) 은, 축 방향이 X 축 방향인 스핀들 (30) 과, 스핀들 (30) 을 회전 가능하게 지지하는 하우징 (31) 과, 스핀들 (30) 의 ＋X 방향측의 선단에 배치 형성된 협지 클램프 (32) 를 구비하고 있다. 협지 클램프 (32) 는, 서로가 접근 및 이간 가능한 1 쌍의 협지판 (320) 사이에 협지 대상을 끼워 넣을 수 있고, 스핀들 (30) 이 회전함으로써, 협지 대상에 대한 각도를 바꿀 수 있다. 또한, 예를 들어, 협지 수단 (3) 은, 가동 블록 (43) 상을 상하 방향으로 이동 가능하게 되어 있어도 된다.
회전 롤러 (18) 는, 예를 들어, 그 외형이 원기둥상으로 형성되어 있고, 도시되지 않은 모터에 의해 X 축 방향의 축심을 축으로 하여 회전한다. 회전 롤러 (18) 는, 보호 부재 (S) 에 맞닿음으로써, 예를 들어, 보호 부재 (S) 의 박리시에 일어날 수 있는 도 2 에 나타내는 수지 (S1) 의 꺾임을 방지하는 역할을 한다. 또한, 회전 롤러 (18) 는, Y 축 방향으로 이동할 수도 있다.
촬상 수단 이동 수단 (81) 은, Y 축 방향의 축심을 갖는 볼 나사 (810) 와, 볼 나사 (810) 와 평행하게 배치 형성된 1 쌍의 가이드 레일 (41) 과, 볼 나사 (810) 를 회동시키는 모터 (812) 와, 내부의 너트가 볼 나사 (810) 에 나사 결합하여 측부가 가이드 레일 (41) 에 슬라이딩 접촉하는 가동 블록 (813) 으로 구성된다. 그리고, 모터 (812) 가 볼 나사 (810) 를 회동시키면, 이것에 수반하여 가동 블록 (813) 이 가이드 레일 (41) 로 가이드되어 Y 축 방향으로 이동하고, 가동 블록 (813) 상에 배치 형성된 촬상 수단 (80) 이 가동 블록 (813) 의 이동에 수반하여 Y 축 방향으로 이동한다.
가동 블록 (813) 상에 배치 형성된 촬상 수단 (80) 은, 예를 들어, CCD 센서 등으로 이루어지는 라인 센서이며, 그 길이 방향 (X 축 방향) 의 길이가, 유지 수단 (2) 을 구성하는 유지 패드 (21) 의 직경 이상인 것에 의해, 웨이퍼 (W) 의 외경 이상의 길이의 측정 시야를 갖는다. 촬상 수단 (80) 은, 수상 (受像) 소자 등이 X 축 방향으로 가로로 일렬로 나란히 구성된 촬상부 (800) 가 상방을 향하도록 가동 블록 (813) 상에 배치 형성되어 있고, 유지 수단 (2) 에 의해 유지되어 촬상 수단 (80) 의 상방에 위치하고 있는 상태의 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 을 촬상할 수 있다. 촬상 수단 (80) 에는, CPU 및 기억 소자 등으로 이루어지는 판단 수단 (19) 이 접속되어 있다.
재치 테이블 (5) 은, 예를 들어, 그 외형이 거의 장방 형상이고, 책자상의 재치면 (5a) 을 구비하고 있다. 즉, 재치 테이블 (5) 은, 직선재 (50) 를, 그 길이 방향을 Y 축 방향으로 하여 X 축 방향으로 등간격을 유지하여 간극이 형성되도록 병렬로 정렬시키고, 각 직선재 (50) 의 ＋Y 축 방향측의 일단을 도시되지 않은 봉상의 연결구 (具) 로 연결하여 고정시킨 구성으로 되어 있다. 예를 들어, 재치 테이블 (5) 은, 각 직선재 (50) 를 연결하는 도시되지 않은 봉상의 연결구에 의해, 칼럼 (11) 의 ＋X 방향측 측면에 고정되거나, 또는 후술하는 낙하 수단 (6) 의 한 쌍의 가이드 레일 (61) 의 측면 (61c) 상에, 재치 테이블 (5) 의 하면 (5b) 의 일부분을 고정시킴으로써, 협지 수단 (3) 및 유지 수단 (2) 의 이동 경로 하에 배치 형성된다.
낙하 수단 (6) 은, Y 축 방향의 축심을 갖는 볼 나사 (60) 와, 볼 나사 (60) 와 평행하게 배치 형성된 1 쌍의 가이드 레일 (61) 과, 볼 나사 (60) 를 회동시키는 모터 (62) 와, 내부의 너트가 볼 나사 (60) 에 나사 결합하여 측부 (630) 가 가이드 레일 (61) 에 슬라이딩 접촉하는 가동 부재 (63) 와, 가동 부재 (63) 에 배치 형성된 돌출핀 (64) 으로 구성된다.
가동 부재 (63) 는, 예를 들어, 볼 나사 (60) 에 나사 결합하는 측부 (630) 와, 측부 (630) 의 상단으로부터 ＋X 방향측을 향하여 돌출되도록 형성된 핀대부 (631) 를 구비하고 있다. 핀대부 (631) 의 상면에는, ＋Z 방향을 향하여 돌출되는 2 개의 돌출핀 (64) 이 배치 형성되어 있다. 각 돌출핀 (64) 은, X 축 방향으로 소정 거리만큼 이간되어 배치되어 있고, 모터 (62) 가 볼 나사 (60) 를 회동시키면, 이것에 수반하여 가동 부재 (63) 가 가이드 레일 (61) 로 가이드되어 Y 축 방향으로 이동하고, 가동 부재 (63) 상에 배치 형성된 돌출핀 (64) 이, 재치 테이블 (5) 의 각 직선재 (50) 사이의 간극을 통과하도록 하여 Y 축 방향으로 이동한다.
베이스 (10) 상에는, 박리된 보호 부재 (S) 를 수용하는 박스 (7) 가 배치 형성되어 있다. 박스 (7) 는, 예를 들어, 외형이 거의 직방체상으로 형성되어 있고, 재치 테이블 (5) 의 ＋Y 방향측 단 (端) 의 하방에 있어서 개구되어 있다. 박스 (7) 의 상부에는, 예를 들어, 발광부 (790) (―Y 방향측) 와 수광부 (791) (＋Y 방향측) 를 구비하는 투과형의 광 센서 (79) 가 배치 형성되어 있다. 웨이퍼 (W) 로부터 박리되어 재치 테이블 (5) 상에 재치된 보호 부재 (S) 가, 낙하 수단 (6) 에 의해 박스 (7) 내로 떨어져 가서, 박스 (7) 내에 보호 부재 (S) 가 소정의 높이까지 쌓여, 발광부 (790) 와 수광부 (791) 사이의 검사광이 보호 부재 (S) 에 의해 차단됨으로써, 광 센서 (79) 는 박스 (7) 내가 보호 부재 (S) 로 채워진 것을 검출한다.
이하에, 도 1 ∼ 5 를 사용하여, 박리 장치 (1) 에 의해 웨이퍼 (W) 로부터 보호 부재 (S) 를 박리하는 경우의 박리 장치 (1) 의 동작에 대해 설명한다. 또한, 도 2 ∼ 5 에 있어서는, 박리 장치 (1) 의 구성을 간략화하여 나타내고 있다.
먼저, 도 1 에 나타내는 바와 같이, 연삭 후의 웨이퍼 (W) 가, 연삭된 면인 타방의 면 (Wb) 이 상측이 되도록, 주고 받기 테이블 (141) 상에 재치된다. 유지 수단 (2) 이 ＋Y 방향으로 이동하고, 유지 패드 (21) 의 유지면 (210a) 의 중심이 웨이퍼 (W) 의 타방의 면 (Wb) 의 중심과 거의 합치하도록, 웨이퍼 (W) 의 상방에 위치 결정된다. 또한, 유지 수단 (2) 이 ―Z 방향으로 강하하고, 유지 패드 (21) 의 유지면 (210a) 을 웨이퍼 (W) 의 타방의 면 (Wb) 에 접촉시킨다. 또한, 흡인원 (213) 이 흡인됨으로써 발생된 흡인력이 유지면 (210a) 으로 전달됨으로써, 유지 수단 (2) 이 보호 부재 (S) 를 아래로 하여 웨이퍼 (W) 의 타방의 면 (Wb) 을 흡인 유지한다.
도 2 에 나타내는 바와 같이, 웨이퍼 (W) 를 흡인 유지한 유지 수단 (2) 이, 회전 롤러 (18) 의 상방에 위치할 때까지 ―Y 방향으로 이동하고 나서 ―Z 방향으로 하강하여, 보호 부재 (S) 의 하면 (Sb) 의 ＋Y 방향측의 외주부 부근에 회전 롤러 (18) 의 측면 (18c) 을 맞닿게 한다. 박리 수단 (4) 이 협지 수단 (3) 을 ―Y 방향으로 이동시켜, 협지 클램프 (32) 와 보호 부재 (S) 의 비어져 나옴부 (S2a) 의 위치 맞춤을 실시하고, 협지 클램프 (32) 가 비어져 나옴부 (S2a) 를 협지한다. 여기서, 보호 부재 (S) 는, 수지 (S1) 와 필름 (S2) 으로 이루어지고, 필름 (S2) 이 수지 (S1) 를 개재하여 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 에 고착되어 있다.
예를 들어, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 협지 클램프 (32) 가 비어져 나옴부 (S2a) 를 협지한 후, 스핀들 (30) 이 ＋X 방향측에서 보아 시계 방향으로 90 도 회전함으로써, 회전 롤러 (18) 가 보호 부재 (S) 의 하면 (Sb) 측을 지지한 상태에서, 보호 부재 (S) 의 수지 (S1) 가 회전 롤러 (18) 의 측면 (18c) 을 따라 완만하게 구부러지면서, 보호 부재 (S) 가 ―Z 방향을 향하여 협지 클램프 (32) 에 의해 인장되는 것에 의해, 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 으로부터 보호 부재 (S) 의 일부가 박리된다.
이어서, 박리 수단 (4) 에 의해, 협지 수단 (3) 과 유지 수단 (2) 을 상대적으로 웨이퍼 (W) 의 외주 가장자리 (Wd) 로부터 중심을 향해 직경 방향으로 이동시켜, 웨이퍼 (W) 로부터 보호 부재 (S) 를 박리한다. 즉, 박리 수단 (4) 에 의해 협지 수단 (3) 을 ―Y 방향측으로 이동시킴과 함께, 예를 들어 Y 축 방향 이동 수단 (12) 이 유지 수단 (2) 을 ＋Y 방향측으로 이동시켜, 회전 롤러 (18) 가 X 축 방향의 축심을 축으로 회전하고, 보호 부재 (S) 의 수지 (S1) 가 회전 롤러 (18) 의 측면 (18c) 을 따라 완만하게 구부러진 상태를 유지하면서, 웨이퍼 (W) 의 ＋Y 방향측의 외주 가장자리 (Wd) 로부터 ―Y 방향측을 향해 보호 부재 (S) 를 박리해 간다. 보호 부재 (S) 의 박리 중에 수지 (S1) 의 꺾임이 발생하면, 박리 후에도 수지 (S1) 가 웨이퍼 (W) 에 대해 부분적으로 남아 버리거나, 수지 꺾임에 의한 반동에 의해 수지 (S1) 로부터 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 에 대해 순간적으로 격력 (擊力) 이 가해져 웨이퍼의 일방의 면 (Wa) 이 손상되어 버리거나 하는 경우가 있지만, 회전 롤러 (18) 의 측면 (18c) 이 필름 (S2) 에 맞닿는 것에 의해, 그러한 문제가 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 4 에 나타내는 바와 같이, 협지 수단 (3) 이 웨이퍼 (W) 의 ―Y 방향측의 외주 가장자리 (Wd) 근처까지 이동하면, 스핀들 (30) 이 ＋X 방향측에서 보아 시계 방향으로 다시 90 도 회전함으로써, 보호 부재 (S) 의 수지 (S1) 측이 아래를 향하게 된 상태가 된다. 또한, Y 축 방향 이동 수단 (12) 이 유지 수단 (2) 을 ＋Y 방향측으로 이동시키고, 박리 수단 (4) 에 의해 협지 수단 (3) 을 ―Y 방향측으로 이동시킴으로써, 웨이퍼 (W) 로부터 보호 부재 (S) 가 완전히 박리된다. 보호 부재 (S) 가 웨이퍼 (W) 로부터 완전히 박리되면, 협지 클램프 (32) 를 열어 협지 수단 (3) 에 의한 비어져 나옴부 (S2a) 의 협지를 해제시키고, 보호 부재 (S) 의 수지 (S1) 측을 아래로 하여 보호 부재 (S) 를 재치 테이블 (5) 을 향해 낙하시킨다.
이어서, 예를 들어, 박리 수단 (4) 에 의한 협지 수단 (3) 의 이동 및 Y 축 방향 이동 수단 (12) 에 의한 유지 수단 (2) 의 이동을 정지시킨다. 도 5 에 나타내는 바와 같이, 촬상 수단 이동 수단 (81) 이 촬상 수단 (80) 을 ―Y 방향측으로 이동시킴으로써, 촬상 수단 (80) 이 유지 수단 (2) 에 의해 유지되는 웨이퍼 (W) 의 하방을 통과해 간다. 이 통과시에, 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 이, 촬상 수단 (80) 의 촬상부 (800) 에 의해 웨이퍼 (W) 의 ＋Y 방향측의 외주 가장자리 (Wd) 로부터 ―Y 방향측의 외주 가장자리 (Wd) 까지 연속적으로 촬상되어, 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 전체면을 촬상한 촬상화가 취득된다.
촬상 수단 (80) 이, 촬상한 촬상화에 대한 데이터를 도 1 에 나타내는 판단 수단 (19) 에 송신한다. 판단 수단 (19) 이, 예를 들어, 촬상화 중에 고유의 색 정보를 가지는 화소로서 수지 (S1) 가 표시되어 있는 경우에는, 보호 부재 (S) 가 박리된 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 에, 보호 부재 (S) 의 수지 (S1) 가 남아 있는 것으로 판단한다.
이와 같이, 본 발명에 관련된 박리 장치 (1) 는, 박리 수단 (4) 에 의해, 협지 수단 (3) 과 유지 수단 (2) 을 상대적으로 웨이퍼 (W) 의 외주 가장자리 (Wd) 로부터 중심을 향해 직경 방향으로 이동시켜, 웨이퍼 (W) 로부터 보호 부재 (S) 를 박리한 후, 촬상 수단 (80) 에 의해 보호 부재 (S) 가 형성되어 있던 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 을 촬상하고, 판단 수단 (19) 에 의해 촬상 수단 (80) 이 촬상한 촬상화로부터 잔존하는 수지 (S1) 의 유무를 판단할 수 있다.
예를 들어, 판단 수단 (19) 에 의해, 보호 부재 (S) 가 박리된 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 에, 보호 부재 (S) 의 수지 (S1) 가 남아 있는 것으로 판단된 경우에는, 이 수지 (S1) 가 남아 있는 웨이퍼 (W) 는, 그대로 웨이퍼 수용 카세트에 수용되지 않고, 다른 웨이퍼 (W) 와 나누어 둔다. 그리고, 작업자가 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 에 남은 보호 부재 (S) 의 수지 (S1) 를 문질러 떨어뜨리거나, 또는 보호 부재 형성 장치 등에 재차 수지 (S1) 가 남아 있는 웨이퍼 (W) 를 반송하고, 한번 더 보호 부재 (S) 를 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 에 형성시켜, 재차 박리 장치 (1) 에 의해 보호 부재 (S) 를 박리함으로써, 잔존하고 있던 수지 (S1) 를 박리한다. 그리고, 연삭 장치에 웨이퍼의 일방의 면에 수지가 남아 있지 않은 웨이퍼만을 반송하여 연삭시킴으로써, 부분적으로 두께가 다른 것과는 달리 평탄하지 않은 웨이퍼가 제조되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명에 관련된 박리 장치 (1) 는 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 또, 첨부 도면에 도시되어 있는 박리 장치 (1) 의 각 구성의 크기나 형상등에 대해서도, 이것에 한정되지 않고, 본 발명의 효과를 나타낼 수 있는 범위 내에서 적절히 변경 가능하다. 예를 들어, 박리 수단 (4) 은, 유지 수단 (2) 과 협지 수단 (3) 을 상대적으로 웨이퍼 (W) 의 외주 가장자리 (Wd) 로부터 중심을 향하여 직경 방향으로 이동시켜 웨이퍼 (W) 로부터 보호 부재 (S) 를 박리하는 것이면 되기 때문에, 협지 수단 (3) 은 Y 축 방향으로는 이동하지 않고, 유지 수단 (2) 만이 Y 축 방향으로 이동하는 것에 의해 보호 부재 (S) 를 박리하는 구성으로 해도 된다. 또, 촬상 수단 (80) 을 Y 축 방향으로 이동시키지 않고, 유지 수단 (2) 만이 Y 축 방향으로 이동하는 것에 의해, 보호 부재 (S) 가 박리된 웨이퍼 (W) 의 일방의 면 (Wa) 이 촬상 수단 (80) 에 의해 촬상되는 구성으로 해도 된다. 또, 촬상 수단 (80) 은, 라인 센서에 한정되는 것이 아니고, 에리어 센서 등으로 구성되는 것이어도 된다.
1 : 박리 장치 10 : 베이스 11 : 칼럼 19 : 판단 수단
12 : Y 축 방향 이동 수단 120 : 볼 나사 121 : 가동판 122 : 모터
13 : Z 축 방향 이동 수단 130 : 볼 나사 131 : 가동판 132 : 모터
140 : 테이블 유지대 141 : 주고 받기 테이블
141a : 주고 받기 테이블의 유지면
18 : 회전 롤러 18c : 회전 롤러의 측면
2 : 유지 수단 20 : 아암부 21 : 유지 패드 210 : 흡착부
210a : 유지면 211 : 프레임체 212 : 흡인관 213 : 흡인원
3 : 협지 수단 30 : 스핀들 31 : 하우징 32 : 협지 클램프
320 : 1 쌍의 협지판
4 : 박리 수단 40 : 볼 나사 41 : 1 쌍의 가이드 레일 42 : 모터
43 : 가동 블록
5 : 재치 테이블 5a : 재치 테이블의 재치면 50 : 직선재
6 : 낙하 수단 60 : 볼 나사 61 : 1 쌍의 가이드 레일 62 : 모터
63 : 가동 부재 631 : 핀대부 64 : 돌출핀
7 : 박스 79 : 광 센서 790 : 발광부 791 : 수광부
80 : 촬상 수단 800 : 촬상부
81 : 촬상 수단 이동 수단 810 : 볼 나사 812 : 모터 813 : 가동 블록
90 : 유지 테이블 90a : 유지면 91 : 수지 공급 장치 92 : 유지 수단
93 : 자외선 조사 기구 94 : 연삭 장치 940 : 척 테이블
941 : 연삭 휠 941a : 연삭 지석
W : 웨이퍼 Wa : 웨이퍼의 일방의 면 Wb : 웨이퍼의 타방의 면
Wd : 웨이퍼의 외주 가장자리
S : 보호 부재 S1 : 수지 S2 : 필름 S2a : 비어져 나옴부

Claims (1)

  1. 필름이 웨이퍼의 외주 가장자리로부터 비어져 나와 비어져 나옴부가 형성된 상태에서 수지를 개재하여 그 필름이 웨이퍼의 일방의 면에 고착되어 있는 경우에 있어서의 그 수지와 그 필름으로 이루어지는 그 보호 부재를 웨이퍼로부터 박리하는 박리 장치로서,
    그 보호 부재를 아래로 하여 웨이퍼의 타방의 면을 유지하는 유지면을 갖는 유지 수단과,
    그 유지 수단에 의해 유지된 웨이퍼의 그 보호 부재의 그 비어져 나옴부를 협지하는 협지 수단과,
    그 협지 수단과 그 유지 수단을 상대적으로 웨이퍼의 외주 가장자리로부터 중심을 향해 직경 방향으로 이동시켜 웨이퍼로부터 그 보호 부재를 박리하는 박리 수단과,
    그 박리 수단으로 그 보호 부재를 박리한 후에 그 보호 부재가 형성되어 있던 웨이퍼의 일방의 면을 촬상한 촬상화에 대한 데이터를 판단 수단에 송신하는 촬상 수단과,
    그 촬상 수단이 촬상한 촬상화로부터 잔존하는 그 수지의 유무를 판단하는 판단 수단으로서, 그 촬상화에 대한 데이터 중에 고유의 색 정보를 가지는 화소로서 그 수지가 표시되어 있는 경우에는, 그 일방의 면에 그 수지가 잔존하는 것으로 판단하는, 판단 수단을 구비한 박리 장치.
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