KR102023332B1 - 실장 헤드 유닛, 부품 실장 장치, 및 기판의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 실장 헤드 유닛은, 본체부와, 복수의 지지부와, 구동 기구를 구비한다. 상기 복수의 지지부는, 각각이 길이 방향을 가지며, 상기 본체부에 상기 길이 방향과 교차하는 방향으로 나열하도록 회전 가능하게 각각 지지되고, 복수의 부품을 지지 가능하다. 상기 구동 기구는, 상기 복수의 지지부를 각각 회전시키기 위해, 이웃하는 상기 지지부에서 상기 길이 방향에서의 부착 위치가 서로 다르도록, 상기 지지부마다 부착되는 회전기구부를 갖는다.

Description

실장 헤드 유닛, 부품 실장 장치, 및 기판의 제조 방법{MOUNTING HEAD UNIT, COMPONENT MOUNTING APPARATUS, AND METHOD OF MANUFACTURING A SUBSTRATE}

본 기술은, 전자 부품 등을 기판에 실장하기 위한 실장 헤드 유닛, 부품 실장 장치, 기판의 제조 방법, 및 회전 구동 기구에 관한 것이다.

종래, 특허 문헌 1에 기재와 같은 회전 가능한 로터리 헤드를 이용한 부품 실장기가 알려져 있다. 로터리 헤드의 회전 원둘레 위에는, 상하이동 자유롭게 흡착 노즐이 다수 배열된다. 특허 문헌 1의 도 1에 도시하는 바와 같이, 기축(基軸)이 회전함으로써 로터리 헤드의 지지부가 회전한다. 지지부에 부착된 흡착 노즐이 회전 이동하고, 소정의 흡착 노즐이 흡착 위치에 배치된다. 흡착 위치에 배치된 흡착 노즐에 의해 전자 부품이 흡착된다.

또한 기축과 동축으로 회전 가능의 회전통의 하단부(지지부에 가까운 위치)에는, 회전원판이 마련된다. 이 회전원판의 외주면과, 흡착 노즐에 마련된 마찰 링이 접촉하도록 회전원판은 마련된다. 회전원판이 회전하면, 마찰 링을 통하여 흡착 노즐에 회전력이 가하여진다. 이에 의해 흡착 노즐이 회전하고, 흡착 노즐에 흡착되어 있는 부품 방향이 수정된다.

일본 특허 제3750170호 공보

전자 부품이 실장된 기판의 생산성을 향상시키기 위해, 흡착 노즐의 수를 늘리는 것이 생각된다. 한편으로, 로터리 헤드의 소형화나 경량화도 요구된다. 흡착 노즐의 수를 늘리면, 로터리 헤드의 소형화가 어려워진다.

이상과 같은 사정을 감안하여, 본 기술의 목적은, 부품 등을 지지하기 위한 지지부를 늘리면서도 소형화를 도모할 수 있는 실장 헤드 유닛, 부품 실장 장치, 기판의 제조 방법, 및 회전 구동 기구를 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 기술의 한 형태에 관한 실장 헤드 유닛은, 본체부와, 복수의 지지부와, 구동 기구를 구비한다.

상기 복수의 지지부는, 각각이 길이 방향을 가지며, 상기 본체부에 상기 길이 방향과 교차하는 방향으로 나열하도록 회전 가능하게 각각 지지되고, 복수의 부품을 지지 가능하다.

상기 구동 기구는, 상기 복수의 지지부를 각각 회전시키기 위해, 이웃하는 상기 지지부에서 상기 길이 방향에서의 부착 위치가 서로 다르도록, 상기 지지부마다 부착되는 회전기구부를 갖는다.

이 실장 헤드 유닛에서는, 복수의 지지부를 각각 회전시키기 위해, 지지부마다 회전기구부가 부착된다. 회전기구부는, 이웃하는 지지부에서 길이 방향에서의 부착 위치가 서로 다르도록 부착된다. 따라서 길이 방향과 교차하는 방향으로 이웃하는 지지부를 충분히 접근하면서, 복수의 지지부를 본체부에 마련할 수 있다. 이 결과, 본체부를 크게 하는 일 없이 지지부의 수를 늘릴 수 있다. 즉 부품 등을 지지하기 위한 지지부를 늘리면서도 실장 헤드 유닛의 소형화를 도모할 수 있다.

상기 구동 기구는, 상기 복수의 지지부에 부착된 복수의 회전기구부의 각각을 회전시키는 회전 구동부를 가져도 좋다.

이 실장 헤드 유닛에서는, 회전기구부가 회전함으로써 지지부가 회전한다. 또한 복수의 회전기구부의 각각을 회전시키는 회전 구동부가 마련된다. 이에 의해, 실장 헤드 유닛의 소형화를 도모할 수 있다.

상기 복수의 회전기구부는, 복수의 기어라도 좋다. 이 경우, 상기 회전 구동부는, 상기 복수의 기어의 각각과 계합하는 구동 기어라도 좋다.

이와 같이 복수의 기어의 각각을 회전시키는 구동 기어가 마련되어도 좋다. 이에 의해, 실장 헤드 유닛의 소형화를 도모할 수 있다.

상기 본체부는, 회전축을 갖는 회전체라도 좋다. 이 경우, 상기 복수의 지지부는, 상기 회전체의 외주부에 지지되어도 좋다. 또한, 상기 구동 기어는, 상기 복수의 지지부에 둘러싸여진 영역에, 상기 회전축과 동축으로 회전 가능하게 배치되어도 좋다.

구동 기어를 회전체와 동축으로 회전 가능하게 배치함에 의해, 실장 헤드 유닛의 소형화를 도모할 수 있다.

상기 복수의 지지부는, 상기 길이 방향이 상기 회전축에 대해 비스듬하게 되도록 지지되어도 좋다. 또한, 상기 실장 헤드 유닛은, 또한, 상기 복수의 지지부 중 적어도 하나의 상기 지지부의 길이 방향이 연직 방향이 되도록, 상기 회전축을 상기 연직 방향에 대해 비스듬하게 지지하는 지지체를 구비하여도 좋다.

회전축이 연직 방향에 대해 비스듬하게 지지되기 때문에, 상기한 적어도 하나의 지지부가 연직 방향에 배치됨과 함께, 다른 지지부가 연직 방향에 대해 높은 위치에 배치된다. 높은 위치에 배치된 지지부에 대해서는, 부품의 지지 상태의 확인 등을 용이하게 행하는 것이 가능해진다.

상기 복수의 지지부는, 상기 부품을 지지하는 단부(端部)와 반대측의 단부가, 상기 회전축에 근접하도록 상기 회전체에 비스듬하게 지지되어도 좋다. 이 경우, 상기 복수의 기어는, 부착되어 있는 상기 지지부의 길이 방향을 축으로 하여 각각 회전하여도 좋다. 또한, 상기 구동 기어는, 상기 복수의 기어의 각각과 계합하기 위해 상기 길이 방향과 같은 방향에서 상기 회전축에 대해 비스듬하게 배치된 테이퍼 계합면을 가져도 좋다.

상기 복수의 기어는, 상기 복수의 지지부에 대해, 상기 길이 방향에서의 제1의 부착 위치와, 상기 제1의 부착 위치와는 다른 제2의 부착 위치에, 교대로 부착되어도 좋다.

이와 같이 복수의 기어가 제1 및 제2의 부착 위치에 교대로 마련되어도 좋다. 이에 의해 복수의 지지부에 대한 복수의 기어의 부착이 용이해진다. 또한 구동 기구의 구성이 복잡하게 되는 것을 막을 수 있다.

상기 구동 기어는, 상기 제1의 부착 위치에 배치된 기어와 계합하는 제1의 계합 영역과, 상기 제2의 부착 위치에 배치된 기어와 계합하는 제2의 계합 영역의 사이의 중간점을 치폭(齒幅)의 기준으로 하여 상기 테이퍼 계합면에 형성된 치(齒)를 가져도 좋다.

이 실장 헤드 유닛에서는, 제1 및 제2의 계합 영역의 사이의 중간점을 치폭의 기준으로 하여, 테이퍼 계합면에 치가 형성된다. 이에 의해, 제1 및 제2의 부착 위치에 교대로 배치된 복수의 기어와 구동 기어와의 계합 상태를 양호하게 할 수 있다.

상기 복수의 지지부는, 상기 복수의 부품을 흡착 가능한 복수의 노즐이라도 좋다.

상기 회전기구부는, 모터라도 좋다.

본 기술의 한 형태에 관한 부품 실장 장치는, 지지 유닛과, 본체부와, 복수의 지지부와, 구동 기구를 구비한다.

상기 지지 유닛은, 기판을 지지한다.

상기 본체부는, 상기 지지 유닛에 지지된 상기 기판상에 이동 가능하다.

상기 복수의 지지부는, 각각이 길이 방향을 가지며, 상기 본체부에 상기 길이 방향과 교차하는 방향으로 나열하도록 회전 가능하게 각각 지지되고, 복수의 부품을 지지 가능하고, 당해 지지한 복수의 부품을 상기 기판에 실장하는 것이 가능하다.

상기 구동 기구는, 상기 복수의 지지부를 각각 회전시키기 위해, 이웃하는 상기 지지부에서 상기 길이 방향에서의 부착 위치가 서로 다르도록, 상기 지지부마다 부착되는 회전기구부를 갖는다.

본 기술의 한 형태에 관한 기판의 제조 방법은, 기판을 지지하는 지지 유닛과, 상기 기판에 부품을 실장하는 실장 헤드 유닛을 구비한 부품 실장 장치에 의한 기판의 제조 방법이다.

상기 실장 헤드 유닛은, 본체부와, 복수의 지지부와, 구동 기구를 갖는다.

상기 본체부는, 상기 지지 유닛에 지지된 상기 기판상에 이동 가능하다.

상기 복수의 지지부는, 각각이 길이 방향을 가지며, 상기 본체부에 상기 길이 방향과 교차하는 방향으로 나열하도록 회전 가능하게 각각 지지되고, 복수의 부품을 지지 가능하다.

상기 구동 기구는, 상기 복수의 지지부를 각각 회전시키기 위해, 이웃하는 상기 지지부에서 상기 길이 방향에서의 부착 위치가 서로 다르도록, 상기 지지부마다 부착되는 회전기구부를 갖는다.

이 기판의 제조 방법은, 상기 복수의 지지부에 복수의 부품을 지지시키는 것을 포함한다.

상기 구동 기구의 상기 지지부마다 부착된 상기 회전기구부에 의해 상기 복수의 지지부를 각각 회전시킴으로써, 상기 복수의 지지부에 지지된 상기 복수의 부품의 각각 방향이 조정된다.

상기 본체부가 상기 기판상에 이동되어, 상기 복수의 지지부에 의해 상기 복수의 부품이 상기 기판에 실장된다.

본 기술의 한 형태에 관한 회전 구동 기구는, 본체부와, 복수의 부재와, 구동 기구를 구비한다.

상기 복수의 부재는, 각각이 길이 방향을 가지며, 상기 본체부에 상기 길이 방향과 교차하는 방향으로 나열하도록 회전 가능하게 각각 지지된다.

상기 구동 기구는, 상기 복수의 부재를 각각 회전시키기 위해, 이웃하는 상기 부재에서 상기 길이 방향에서의 부착 위치가 서로 다르도록, 상기 부재마다 부착되는 회전기구부와, 상기 복수의 부재에 부착된 복수의 회전기구부의 각각을 회전시키기 위해, 상기 복수의 부재에 대해 공통으로 이용되는 회전 구동부를 갖는다.

이상과 같이, 본 기술에 의하면, 부품 등을 지지하기 위한 지지부를 늘리면서도 소형화를 도모할 수 있다.

도 1은 본 기술의 한 실시 형태에 관한 부품 실장 장치를 도시하는 모식적인 정면도.
도 2는 도 1에 도시하는 부품 실장 장치의 평면도.
도 3은 도 1에 도시하는 부품 실장 장치의 측면도.
도 4는 본 실시 형태에 관한 실장 헤드 유닛의 구성을 도시하는 단면도.
도 5는 주로 터릿 및 복수의 노즐 유닛을 도시하는 사시도.
도 6은 주로 구동 기구 및 복수의 노즐 유닛을 도시하는 단면도.
도 7은 구동 기어와, 제1 및 제2의 기어와의 위치 관계를 설명하기 위한 모식적인 사시도.
도 8은 구동 기어와, 제1 및 제2의 기어를 도시하는 모식적인 평면도.
도 9는 구동 기어와 제1의 기어와의 계합을 모식적으로 도시하는 단면도.
도 10은 구동 기어와 제2의 기어와의 계합을 모식적으로 도시하는 단면도.
도 11의 A 및 B는 구동 기어의 테이퍼 계합면에 형성되는 치에 관해 설명하기 위한 모식적인 도면.
도 12는 구동 기어의 테이퍼 계합면에 형성되는 치에 관해 설명하기 위한 모식적인 도면.
도 13은 다른 실시례에 의해 제작된 구동 기어를 모식적으로 도시하는 사시도.
도 14는 도 13에 도시하는 구동 기어의 제작 방법을 설명하기 위한 도면.
도 15는 실장 헤드 유닛에 의한 전자 부품의 흡착 동작을 설명하기 위한 도면.
도 16은 실장 헤드 유닛에 의한 전자 부품의 실장 동작을 설명하기 위한 도면.

이하, 본 기술에 관한 실시 형태를, 도면을 참조하면서 설명한다.

[부품 실장 장치의 구성]

도 1은, 본 기술의 한 실시 형태에 관한 부품 실장 장치를 도시하는 모식적인 정면도이다. 도 2는, 도 1에 도시하는 부품 실장 장치(100)의 평면도이고, 도 3은 그 측면도이다.

부품 실장 장치(100)는, 프레임(10)과, 도시하지 않은 전자 부품을 지지하고 이것을 실장 대상인 회로 기판(이하, 단지 기판이라고 한다)(W)에 실장하는 실장 헤드 유닛(150)과, 테이프 피더(tape feeder)(90)가 탑재된 테이프 피더 탑재부(20)를 구비한다. 또한, 부품 실장 장치(100)는, 기판(W)을 지지하여 반송하는 반송 유닛(16)(도 2 참조)을 구비한다.

프레임(10)은, 저부에 마련된 베이스(11)와, 베이스(11)에 고정된 복수의 지주(12)를 갖는다. 복수의 지주(12)의 상부에는, 도면 중 X축에 따라 건너 질러진 예를 들면 2개의 X빔(13)이 마련되어 있다.

예를 들면 2개의 X빔(13)의 사이에는, Y축에 따라 Y빔(14)이 건너 질러지고, 이 Y빔(14)에 실장 헤드 유닛(150)이 접속되어 있다. X빔(13) 및 Y빔(14)에는, 도시하지 않은 X축 이동 기구 및 Y축 이동 기구가 비치되고, 이들에 의해 실장 헤드 유닛(150)이 X 및 Y축에 따라 이동 가능하게 되어 있다. X축 이동 기구 및 Y축 이동 기구는, 전형적으로는 볼나사 구동 기구에 의해 구성되지만, 벨트 구동 기구 등의 다른 기구라도 좋다.

이 실장 헤드 유닛(150)은, 주로 생산성의 향상을 위해 복수 마련되는 경우도 있고, 그 경우, 복수의 실장 헤드 유닛(150)이 독립해서 X 및 Y축 방향으로 구동된다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 테이프 피더 탑재부(20)는, 부품 실장 장치(100)의 전부측(前部側)(도 2 중 하측) 및 후부측(도 2 중 상측)의 양쪽에 배치되어 있다. 도면 중 Y축방향이 부품 실장 장치(100)의 전후 방향이 된다.

테이프 피더 탑재부(20)에는, X축 방향에 따라 테이프 피더(90)가 복수 배열되어 탑재되도록 되어 있다. 예를 들면 40 내지 70개의 테이프 피더(90)가 이 테이프 피더 탑재부(20)에 탑재 가능하다. 본 실시 형태에서는, 전부(前部) 및 후부측에서 각각 58개, 합계 116개의 테이프 피더(90)가 탑재 가능하게 되어 있다.

또한, 테이프 피더 탑재부(20)가, 부품 실장 장치(100)의 전부측 및 후부측의 양쪽에 마련된 구성으로 하였지만, 이것은, 전부측 및 후부측의 어느 한쪽에 마련되는 구성이라도 좋다.

테이프 피더(90)는, Y축방향으로 길게 형성되어 있다. 테이프 피더(90)의 상세는 도시하지 않지만, 릴을 구비하고, 콘덴서, 저항, LED, IC 팩키징 등의 전자 부품을 수납한 캐리어 테이프가 그 릴에 감겨져 있다. 또한, 테이프 피더(90)는, 이 캐리어 테이프를 스텝 이송으로 송출하기 위한 기구를 구비하고 있고, 그 스텝 이송할 때마다 전자 부품이 1개씩 공급된다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 테이프 피더(90)의 카세트의 단부의 윗면에는 공급창(91)이 형성되고, 이 공급창(91)을 통하여 전자 부품이 공급된다. 복수의 테이프 피더(90)가 배열됨에 의해 X축방향에 따라 형성되는, 복수의 공급창(91)이 배열된 영역이, 전자 부품의 공급 영역(S)이 된다.

또한, 하나의 테이프 피더(90)의 캐리어 테이프에는, 다수의 같은 전자 부품이 수납된다. 테이프 피더 탑재부(20)에 탑재된 테이프 피더(90) 중, 복수의 테이프 피더(90)에 걸쳐서 같은 전자 부품이 수용되는 경우도 있다.

부품 실장 장치(100)의 Y축 방향에서의 중앙부에 상기 반송 유닛(16)이 마련되고, 이 반송 유닛(16)은 X축 방향에 따라 기판(W)을 반송한다. 예를 들면, 도 2에 도시하는 바와 같이, 반송 유닛(16)상의, X축 방향에서의 거의 중앙 위치에서 반송 유닛(16)에 지지되어 있는 기판(W)상의 영역이, 실장 영역(M))이 된다. 실장 영역(M))은, 실장 헤드 유닛(150)에 의해 액세스되어 전자 부품의 실장이 행하여지는 영역이다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 부품 실장 장치(100)는, 전자 부품을 지지한 노즐 유닛(70)을 측방에서 촬하는 제1의 카메라(52)와, 미러(54)를 통하여 하방에서 촬상하는 제2의 카메라(53)를 구비한다.

제1 및 제2의 카메라(52 및 53)와 미러(54)는, 지지대(36)에 지지된다. 지지대(36)는, X축 이동 기구 및 Y축 이동 기구에 접속되어 있고, 실장 헤드 유닛(150)과 일체적으로 이동 가능하게 되어 있다. 즉, 제1 및 제2의 카메라(52 및 53) 등은, 실장 헤드 유닛(150)과 일체적으로 이동 가능하게 되어 있다.

제1의 카메라(52)는, 복수의 노즐 유닛(70) 중, 가장 높은 위치에 있는 노즐 유닛(70)(도 1중, 가장 좌측에 위치하는 노즐 유닛(70))을 측방에서 촬상하는 것이 가능한 위치에 배치되어 있다.

제2의 카메라(53)는, 복수의 노즐 유닛(70) 중, 가장 높은 위치에 있는 노즐 유닛(70)을, 미러(54)를 통하여 하측에서 촬상하는 것이 가능한 위치에 배치되어 있다. 또한, 이후에는, 제1의 카메라(52) 및 제2의 카메라(53)에 의해 촬상된 노즐 유닛(70)의 위치를 촬상 위치라고 부른다.

촬상 위치에서, 제1 및 제2의 카메라(52 및 53)에 의한 촬상이 실행됨으로써, 촬상된 화상을 기초로, 전자 부품의 흡착 상태가 인식된다. 예를 들면 노즐 유닛(70)에 전자 부품이 정상적으로 흡착되어 있는지의 여부가 인식 가능하다. 또한 노즐 유닛(70)에 흡착된 전자 부품 방향 등도 인식된다. 예를 들면 이 인식 결과를 기초로, 노즐 유닛(70)이 적절히 자전(自轉)되어, 흡착된 전자 부품 방향이 수정된다. 그 밖에, 흡착된 전자 부품이 불량품인지의 여부 등이 인식되어도 좋다.

제1의 카메라(52) 및 제2의 카메라(53)는, 예를 들면 CCD(Charge Coupled Device), CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 등에 의해 구성된다.

또한 부품 실장 장치(100)는, 실장 영역(M))까지 반송되어 온 기판(W)의 정확한 위치를 검출하기 위한 도시하지 않은 기판 카메라를 갖는다. 기판(W)의 정확한 위치가 검출된 후, 실장 헤드 유닛(150)이 전자 부품의 실장 동작을 시작한다. 기판 카메라는, X축 이동 기구 및 Y축 이동 기구에 접속되어 있고, 실장 헤드 유닛(150)과 일체적으로 이동 가능하게 되어 있다.

후에도 상세히 설명하지만, 실장 헤드 유닛(150)은, Y빔(14)의 Y축 이동 기구에 접속된 지지체(30)와, 이 지지체(30)에 지지된 주(主)된 회전축이 되는 기축(基軸)(35)과, 기축(35)의 하단부에 마련된 터릿(turret)(50)을 구비한다. 또한, 실장 헤드 유닛(150)은, 터릿(50)의 외주부에 접속된 복수의 노즐 유닛(70)을 구비하고 있다. 노즐 유닛(70)은, 예를 들면 16개 마련되어 있다. 노즐 유닛(70)의 수는 한정되지 않는다.

또한, 지지체(30)는 X축 이동 기구에 접속되어 있어도 좋고, 이 경우, Y축 이동 기구가, X축 이동 기구 및 실장 헤드 유닛(150)을, Y축 방향에 따라 이동시킨다.

실장 헤드 유닛(150)은, 위에서 설명한 바와 같이 X 및 Y축 방향으로 이동 가능하게 되어 있고, 그들 노즐 유닛(70)은, 공급 영역(S)과 실장 영역(M))의 사이에서 이동하고, 또한, 실장 영역(M)) 내에서 실장을 실행하기 위해 실장 영역(M)) 내에서 X 및 Y축 방향으로 이동한다.

실장 헤드 유닛(150)은, 터릿(50)을 회전시키면서, 복수의 노즐 유닛(70)에, 1공정에서 연속하여 복수의 전자 부품을 각각 지지시킨다. 또한, 복수의 노즐 유닛(70)에 흡착된 복수의 전자 부품은, 연속해서 하나의 기판(W)에 실장된다. 이때, 복수의 노즐 유닛(70)의 각각이 회전(자전)되어, 복수의 노즐 유닛에 지지된 복수의 전자 부품의 각각의 방향이 적절히 조정된다.

반송 유닛(16)은, 전형적으로는 벨트 타입의 컨베이어이지만, 이것에 한정되지 않고, 롤러 타입, 기판(W)을 지지하는 지지 기구가 슬라이드하여 이동하는 타입, 또는 비접촉식 등, 무엇이라도 좋다. 반송 유닛(16)은, 벨트부(16a)와, X축 방향에 따라 부설된 가이드 레일(16b)을 갖는다. 가이드 레일(16b)이 마련됨에 의해, 반송된 기판(W)의 Y축 방향의 어긋남이 규제되면서 반송된다.

벨트부(16a)에는, 도시하지 않은 승강기구가 접속되어 있다. 벨트부(16a)에 기판(W)이 재치되고, 그 상태에서, 실장 영역(M))에서 벨트부(16a)가 상승함으로써, 기판(W)이 그 벨트부(16a)와 가이드 레일(16b)의 사이에 끼워지도록 하여 지지된다. 이 경우, 벨트부(16a) 및 가이드 레일(16b)은 기판의 지지 유닛으로서 기능한다. 즉, 이 지지 유닛은, 반송 유닛(16)의 일부의 구성을 포함한다.

[실장 헤드 유닛의 구성]

도 4는, 본 실시 형태에 관한 실장 헤드 유닛(150)의 구성을 도시하는 단면도이다. 도 5는, 주로 터릿(50) 및 복수의 노즐 유닛(70)을 도시하는 사시도이다. 또한 도 4에서는, 전자 부품의 흡착을 위해 공급되는 에어의 공급로 등의 도시가 생략되어 있다.

도 4를 참조하면, 상술한 바와 같이, 실장 헤드 유닛(150)은, 지지체(30)와, 지지체(30)에 지지된 기축(35)과, 기축(35)의 하단부에 마련된 터릿(50)을 구비한다. 터릿(50)의 외주부에는 복수의 노즐 유닛(70)이 지지된다.

본 실시 형태에서는, 회전축으로서의 기축(35) 및 터릿(50)이 본체부에 상당한다. 이 기축(35) 및 터릿(50)을 주로 하여, 회전축을 갖는 회전체가 구성된다.

도 4에 도시하는 바와 같이, 지지체(30)는, 기축(35)을 연직 방향(Z축 방향)에 대해 비스듬하게 지지한다. 지지체(30)는, 기축(35)의 상부측을 베어링(38)에 의해 회전 가능하게 지지한다. 기축(35)의, 지지체(30)의 하부측에는, 풀리(22)가 고정되어 있다. 풀리(22)에는, 도시하지 않지만, 벨트를 통하여 모터가 접속되어 있다. 이에 의해, 기축(35)이 회전 구동된다.

터릿(50)은, 부착구멍(55a)이 형성된 본체(55)를 갖는다. 부착구멍(55a)에 기축(35)이 삽입되어 고정된다. 이에 의해 기축(35) 및 터릿(50)이, 그 기축(35)을 회전의 중심축으로 하여 일체적으로 회전 가능하게 되어 있다.

터릿(50)의 본체(55)는, 기축(35)의 방향에 따라 지지체(30)가 위치하는 쪽(상방)을 향하여, 지름이 작아지는 형상을 갖고 있다. 따라서, 본체(55)의 외주면(55b)은 테이퍼형상으로 되어 있다. 본체(55)의 외주부에는, 외주면(55b)에 따른 복수의 지지구멍(55c)이 형성되어 있다. 지지구멍(55c)에, 노즐 유닛(70)이 회전 가능하게 부착된다.

복수의 노즐 유닛(70)은, 본 실시 형태에서, 공급 영역(S)에 공급된 복수의 전자 부품을 지지 가능한 복수의 지지부에 상당한다.

노즐 유닛(70)은, 노즐(71)과, 이 노즐(71)의 외주를 덮는 노즐 홀더(73)를 구비한다. 노즐 홀더(73)는, 그 노즐 홀더(73)의 양단부에서, 도시하지 않은 베어링을 통하여 터릿(50)에 회전 가능하게 접속되어 있다.

노즐(71)의 선단부(714)에는, 도시하지 않은 구멍이 형성된다. 선단부(714)의 구멍의 사이즈는, 예를 들면 1㎜×1㎜보다 작은 사이즈의 전자 부품을 지지할 수 있는 사이즈로 되어 있다. 구멍은 복수 마련되어 있어도 좋다.

도 5에 도시하는 바와 같이, 노즐(71)의 상부에는, 코일 스프링(76)이 배치되어 있다. 예를 들면, 도시하지 않은 노즐 구동 유닛의 가압 롤러에 의해, 노즐(71)의 상단부(72)가, 그 코일 스프링(76)의 가세력에 대항하여 압하된다. 노즐(71)이 노즐 홀더(73)내를 이동하여 하강하면, 코일 스프링(76)이 수축된다. 가압 롤러에 의한 가압이 해제되면, 코일 스프링(76)의 되돌리는 힘에 의해, 노즐(71)은 상승한다. 노즐 구동 유닛으로서는, 예를 들면 일본 특개2005-150638에 나타나는 바와 같은 공지의 기구가 사용되면 좋다.

복수의 노즐 유닛(70)은, 각각이 길이 방향(L)을 가지며, 터릿(50)에 그 길이 방향(L)과 교차하는 방향으로 나열하도록 회전 가능하게 각각 지지된다. 본 실시 형태에서는, 길이 방향(L)과 교차하는 방향은, 본체(55)의 윗면(55d)의 평면 방향에 상당한다.

본 실시 형태에 관한 윗면(55d)은, 기축(35)을 향하여 경사하고 있지만, 이 형상으로 한정되지 않는다. 즉 복수의 노즐 유닛(70)이 나열하여 배열되는 방향(길이 방향(L)과 교차하는 방향)은 한정되지 않는다. 배열되는 방향과 길이 방향(L)이 직행하여도 좋고, 그렇지 않아도 좋다.

복수의 노즐 유닛(70)은, 기축(35)을 중심으로 한 원둘레 위에 등간격으로 부착된다. 복수의 노즐 유닛(70)은, 각각의 길이 방향(L)이, 기축(35)의 방향에 대해 비스듬하게 되도록, 터릿(50)의 외주부에 지지된다. 복수의 노즐 유닛(70)은, 기축(35)을 중심으로 해 그 길이 방향(L)이 방사형상에 넓어지는 방향으로 부착된다.

구체적으로는, 도 4 등에 도시하는 바와 같이, 복수의 노즐 유닛(70)은, 전자 부품을 지지하는 노즐(71)의 선단부(714)의 반대측의 상단부(72)가, 기축(35)에 근접하도록 지지된다. 노즐(71)의 선단부(714)는, 기축(35)으로부터 멀어지는 위치에 배치된다. 이 결과, 노즐(71)의 선단부(714)는, 기축(35)을 중심으로 한 원(圓)(제1의 원이라고 한다)의 둘레에 배치된다. 반대측의 상단부(72)는, 기축(35)을 중심으로 한 원이고, 제1의 원보다도 반경이 작은 원의 둘레에 배치된다.

기축(35)은, 복수의 노즐 유닛(70) 중 적어도 하나의 노즐 유닛(70)의 길이 방향이 연직 방향(Z축 방향)이 되도록, 지지체(30)에 지지된다. 복수의 노즐 유닛(70) 중, 그 노즐 유닛(70)의 길이 방향(L)이 Z축 방향에 따라 배치된 것이, 기판(W)에 전자 부품을 실장하기 위해 선택된 노즐 유닛(70A)이다.

터릿(50)의 회전에 의해 임의의 하나의 노즐 유닛(70A)이 선택된다. 선택된 노즐 유닛(70A)이 테이프 피더(90)의 공급창(91)에 액세스하여 전자 부품을 흡착하여 지지하고, 실장 영역(M))까지 이동하여 하강함에 의해, 전자 부품이 기판(W)에 실장된다.

이후에는, 길이 방향(L)이 Z축 방향에 따라 배치된 노즐 유닛(70A)의 위치를, 노즐 동작 위치라고 부른다. 노즐 동작 위치에 배치된 노즐 유닛(70A)에 의해 전자 부품의 흡착, 및 기판에의 전자 부품의 실장이 행하여진다. 본 실시 형태에서는, 터릿(50)에 대해 노즐 동작 위치의 약 180도 반대측의 위치에, 상기한 촬상 위치가 배치된다.

본 실시 형태에서는, 기축(35)이 연직 방향에 대해 비스듬하게 지지되기 때문에, 촬상 위치에 배치된 노즐 유닛(70)은, 연직 방향에 대해 높은 위치에 배치된다. 높은 위치에 배치된 노즐 유닛(70)에 대해서는, 제1 및 제2의 카메라(52 및 53)에 의한 촬상이 용이해지고, 부품의 지지 상태의 확인 등을 용이하게 행할 수 있다. 또한 노즐 유닛(70)이 가장 높은 위치에 배치되기 때문에, 당해 노즐 유닛(70)을 촬상하는 제1 및 제2의 카메라(52 및 53)의 부착 등도 용이하게 된다. 제1 및 제2의 카메라(52 및 53)의 부착 위치를 선택하는 범위도 커지고, 부착 위치를 적절히 설정함으로써 부품 실장 장치(100)의 소형화를 실현하는 것이 가능해진다.

[구동 기구의 구성]

본 실시 형태에 관한 실장 헤드 유닛(150)은, 복수의 노즐 유닛(70)의 각각을 자전 가능하게 하기 위한 구동 기구를 갖는다. 이 구동 기구에 관해 상세히 설명한다. 도 6 내지 도 10은, 구동 기구의 구성을 상세히 설명하기 위한 모식적인 도면이다.

구동 기구(200)는, 복수의 노즐 유닛(70)을 각각 회전시키기 위해, 노즐 유닛(70)마다 부착되는 회전기구부로서의 기어(201)를 갖는다. 복수의 기어(201)는, 자신이 부착되어 있는 노즐 유닛(70)의 길이 방향(L)을 축으로 하여 각각 회전한다. 따라서 기어(201)가 회전함으로써, 노즐 유닛(70)이 그 길이 방향(L)을 축으로 하여 자전한다. 복수의 기어(201)는 각각 대충 같은 형상을 가지며, 각각 같은 수의 치를 갖는다.

도 4 등에 도시하는 바와 같이, 복수의 기어(201)는, 이웃하는 노즐 유닛(70)에서 길이 방향(L)에서의 부착 위치가 서로 다르도록 부착된다. 본 실시 형태에서는, 복수의 기어(201)는, 복수의 노즐 유닛에 대해, 길이 방향(L)에서의 제1의 부착 위치(311)와, 제1의 부착 위치(311)와는 다른 제2의 부착 위치(321)에, 지그재그형상으로 어긋나도록 교대로 부착된다. 즉 복수의 기어(201)는, 기축을 중심으로 하여 나열하는 복수의 노즐 유닛(70)에 대해, 지그재그형상으로 부착된다.

설명의 편의상, 도 6에 도시하는 바와 같이, 복수의 노즐 유닛(70)에 차례로 번호를 붙인다. 붙여진 번호가 홀수가 되는 노즐 유닛(70)에는, 제1의 부착 위치(311)에 기어(201)가 부착된다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 제1의 부착 위치(311)는, 노즐 유닛(70)의 길이 방향(L)에서, 터릿(50)의 본체(55)의 윗면(55d)에 가까운 위치이다. 이후, 제1의 부착 위치(311)에 마련된 기어(201)를 제1의 기어(211)라고 기재하는 경우가 있다.

부착된 번호가 짝수가 되는 노즐 유닛(70)에는, 제2의 부착 위치(321)에 기어(201)가 부착된다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 제2의 부착 위치(321)는, 노즐 유닛(70)의 길이 방향(L)에서, 터릿(50)의 본체(55)의 윗면(55d)으로부터, 제1의 기어(211)만큼 떨어진 위치이다. 제2의 부착 위치(321)는, 부착된 기어(201)가, 이웃의 제1의 기어(211)와 서로 간섭하지 않는 위치이다. 제2의 부착 위치(321)에 부착된 기어(201)를 제2의 기어(221)라고 기재하는 경우가 있다.

이와 같이 복수의 기어(201)가 지그재그형상으로 부착되기 때문에, 노즐 유닛(70)의 배열 밀도를 높일 수 있다. 이 결과, 터릿(50)을 크게 하는 일 없이 노즐 유닛(70)의 수를 늘릴 수 있다. 즉 전자 부품을 지지하기 위한 노즐 유닛(70)을 늘리면서도 실장 헤드 유닛(150)의 소형화를 실현할 수 있다.

또한 본 실시 형태에서는, 노즐 유닛(70)마다 부착되는 기어(201)가, 이른바 시저스 기어(scissors gear)의 구성을 갖는다. 즉 기어(201)는, 제1의 기어(201a)와, 제1의 기어(201a)에 대해 길이 방향(L)으로 인접하는 제2의 기어(201b)와, 도시하지 않은 가세 부재를 갖는다. 가세 부재로서는, 코일 스프링 등이 사용된다.

제1 및 제2의 기어(201a 및 201b)는 서로 개략 동일한 형상을 갖다. 따라서 제1 및 제2의 기어(201a 및 201b)는 같은 수의 치를 갖는다. 제2의 기어(201b)는, 제1의 기어(201a)에 대해 이동 가능(회전 가능)하도록 마련되어 있고, 가세 부재에 의해 제1의 기어(201a)에 대해 둘레 방향의 일방측으로 탄성 가세되어 있다. 따라서, 제1 및 제2의 기어(201a 및 201b)에 의해, 이들과 계합하는 기어의 치가 끼여넣어진다.

시저스 기어로서의 구성 등은 한정되지 않는다. 예를 들면 제1의 기어(201a)는 노즐 유닛(70)에 고정되고, 제2의 기어(201b)는 노즐 유닛(70)에 대해 이동 가능하여도 좋다. 또는 제1 및 제2의 기어(201a 및 201b)가, 모두 노즐 유닛(70)에 대해 이동 가능하게 마련되어도 좋다. 또한 가세 부재에 의한 가세 방향은, 전형적으로는, 노즐 유닛(70)의 자전 방향과 반대의 방향이다. 그러나 이들도 한정되지 않고, 적절히 설정되어도 좋다.

구동 기구(200)는, 복수의 노즐 유닛(70)에 마련된 복수의 기어(201)를 각각 회전시키는 회전 구동부를 갖는다. 본 실시 형태에서는, 복수의 기어(201)의 각각과 계합하는 구동 기어(250)가, 회전 구동부로서 동작한다.

도 4에 도시하는 바와 같이, 기축(35)에서, 지지체(30)에 지지된 위치와, 터릿(50)이 접속된 위치와의 사이로서, 기축(35)의 외주면에는, 외통(外筒)(40)이 접속되어 있다. 외통(40)은, 베어링(43 및 44)을 통하여 기축(35)에 접속되어 있고, 외통(40)이 기축(35)에 대해 회전 가능하게 되어 있다.

외통(40)에는, 예를 들면 도시하지 않은 풀리 및 벨트에 의한 회전 구동 유닛이 접속되어 있다. 베어링(43 및 44)을 지지한 칼라(collar)(46)는, 예를 들면, 기축(35)과 외통(40)의 사이에 배치되어 있다.

외통(40)에서의 터릿(50)측의 단부에 형성된 플랜지(40a)에서, 이 외통(40)과 구동 기어(250)가 볼트(41)에 의해 고정되어 있다. 이에 의해, 외통(40)과 구동 기어(42)가 일체적으로 회전한다.

이와 같이 본 실시 형태에서는, 복수의 노즐 유닛(70)에 둘러싸여진 영역에, 기축(35)과 동축으로 회전 가능하도록, 구동 기어(250)가 배치된다. 터릿(50)의 회전축인 기축(35)과 동축으로 구동 기어(250)가 배치되기 때문에, 예를 들면 모터 등의 구동원을 하나만 이용하여, 터릿(50)과 구동 기어(250)를 모두 회전시키는 것이 가능한 구성을 용이하게 실현할 수 있다. 그 결과, 실장 헤드 유닛(150)의 소형화를 도모할 수 있다.

도 7은, 구동 기어(250)와, 제1 및 제2의 기어(211 및 221)와의 위치 관계를 설명하기 위한 모식적인 사시도이다. 도 8은 그 평면도이고, 도 9 및 도 10은, 단면도이다.

도 7에 도시하는 바와 같이, 구동 기어(250)는, 복수의 기어(201)와 각각 계합하기 위한 테이퍼 계합면(251)을 갖는다. 상술한 바와 같이, 복수의 기어(201)는, 각각이 마련되어 있는 노즐 유닛(70)의 길이 방향(L)을 축으로 하여 회전하다. 따라서 구동 기어(250)의 테이퍼 계합면(251)은, 길이 방향(L)과 같은 방향에서 기축(35)에 대해 비스듬하게 배치된다.

도 7 및 도 9에 도시하는 바와 같이, 구동 기어(250)의 테이퍼 계합면(251)의 제1의 계합 영역(260)이, 노즐 유닛(70)의 제1의 부착 위치(321)에 배치된 제1의 기어(211)와 계합한다. 제1의 계합 영역(260)은, 테이퍼 계합면(251)의 하측의 영역이고, 터릿(50)의 윗면(55d)에 가까운 영역이다. 테이퍼 계합면(251)의 주위에 걸치는 제1의 계합 영역(260)과, 복수의 노즐 유닛(70)에 각각 부착된 복수의 제1의 기어(211)가 계합된다.

도 7 및 도 10에 도시하는 바와 같이, 구동 기어(250)의 테이퍼 계합면(251)의 제2의 계합 영역(270)이, 노즐 유닛(70)의 제2의 부착 위치(321)에 배치된 제2의 기어(221)와 계합한다. 제2의 계합 영역(270)은, 테이퍼 계합면(251)의 상측의 영역이고, 터릿(50)의 윗면(55d)으로부터 떨어진 영역이다. 테이퍼 계합면(251)의 주위에 걸치는 제2의 계합 영역(270)과, 복수의 노즐 유닛(70)에 각각 부착된 복수의 제2의 기어(221)가 계합된다.

이와 같이, 복수의 노즐 유닛(70)에 지그재그형상으로 배치된 제1 및 제2의 기어(211 및 221)가, 구동 기어(250)의 제1 및 제2의 계합 영역(260 및 270)에 각각 계합된다. 따라서 도 8에 도시하는 바와 같이, 제1의 기어(211)의 회전 범위와, 제2의 기어(221)의 회전 범위가 겹쳐질 만큼의 거리까지, 노즐 유닛(70)을 충분히 접근하여 배치할 수 있다. 이 결과, 터릿(50)을 크게 하는 일 없이 노즐 유닛(70)의 수를 늘릴 수 있다. 이에 의해 실장 헤드 유닛(150)의 소형화를 실현할 수 있다.

도 11의 A, 도 11의 B 및 도 12는, 구동 기어(250)의 테이퍼 계합면(251)에 형성되는 치에 관해 설명하기 위한 모식적인 도면이다.

예를 들면 도 11의 A에 도시하는 바와 같이, 테이퍼 계합면(251)이 1점쇄선으로 도시하는 수평 방향과 평행하게 되도록, 구동 기어(250)가 되는 부재(250a)의 중심축(O)(회전축)이 기울어진다. 부재(250a)의 중심축(O)은, 2점쇄선으로 도시되어 있다.

수평 방향으로 배치된 테이퍼 계합면(251)에 대해, 같은 수평 방향에서 날(blade)(900)이 진입함으로써, 기어 절삭(齒切)이 행하여진다. 여기에서는 일반적인 평기어를 형성하기 위한 날(900)이 사용된다고 한다. 기어 절삭은, 부재(250a)의 중심축(O)을 회전시키면서, 순차적으로 행하여진다. 이에 의해 테이퍼 계합면(251)에 치가 형성된 구동 기어(250)가 만들어진다.

도 11의 B는, 도 11의 A에 도시하는 방법으로 기어 절삭이 완료된 구동 기어(250)의 모식적인 평면도이다. 도 11의 B에 도시하는 테이퍼 계합면(251)의 색이 붙어져 있는 부분이 날(900)에 의해 절삭된 절삭 부분(252)이다. 절삭 부분(252)에 끼어진 부분이 치(253)가 된다. 도 11의 B에 도시하는 1점쇄선은, 수평 방향에서 진입하는 날(900)의 진입 방향을 나타내고 있다. 이 진입 방향에서, 테이퍼 계합면(251)의 면방향에 따라 절삭 가능한 복수의 날에 의해, 한번의 공정으로 기어 절삭이 행하여지고, 복수의 치(253)가 형성되어도 좋다.

도 12는, 도 11의 B에 도시하는 구동 기어(250)의 테이퍼 계합면(251)을 확대한 확대도이다. 도 12에 도시하는 바와 같이, 이 구동 기어(250)에서는, 형성된 치(253)의 치폭이, 구동 기어(250)의 윗면(254)부터 하면(255)에 걸쳐서 커진다. 즉, 제1의 기어(211)와 계합하는 제1의 계합 영역(260)과, 제2의 기어(221)와 계합하는 제2의 계합 영역(270)에 있어서, 치(253)의 치폭이 다르다. 이 결과, 경우에 따라서는, 제1 및 제2의 기어(211 및 221)의 각각과 구동 기어(250)와의 계합을 위해 조정 등이 필요하게 될 가능성이 있다.

예를 들면 제2의 계합 영역(270)의 윗면(254)측에서는, 이웃하는 치가 간섭하여 버리는 사태가 발생할 가능성이 있다. 또한 제1의 계합 영역(260)의 하면(255)측에서는, 치폭이 너무 넓어서, 제1의 기어(211)와의 계합에 영향이 생길 가능성이 있을 수 있다.

그러면, 구동 기어(250)의 치를 형성하기 위한 다른 실시례에 대해서도 설명한다. 또한 상기에서 설명한 기어 절삭 공정에 의해 본 실시 형태에 관한 구동 기어(250)가 적절히 제작되어도 좋다.

도 13은, 다른 실시례에 의해 제작된 구동 기어(250)를 모식적으로 도시하는 사시도이다. 도 14는, 본 실시례에 의한 구동 기어(250)의 제작 방법을 설명하기 위한 도면이다.

이 실시례에서는, 제1의 부착 위치(311)에 배치된 제1의 기어(211)와 계합하는 제1의 계합 영역(260)과, 제2의 부착 위치(321)에 배치된 제2의 기어(221)와 계합하는 제2의 계합 영역(270)의 사이의 중간점(300)을 치폭의 기준으로 하여 테이퍼 계합면(251)에 치가 형성된다.

"중간점(300)을 치폭의 기준으로 한다는 것"은, 제1의 계합 영역(260)에 형성된 치(253)의 치폭, 및 제2의 계합 영역(270)에 형성된 치의 치폭을, 각각 중간점(300)의 치폭과 개략 같아지도록, 기어 절삭 공정을 실행하는 것을 의미한다.

이와 같이, 제1 및 제2의 계합 영역(260 및 270)의 사이의 중간점(300)을 치폭의 기준으로 하여, 테이퍼 계합면(251)에 치(253)가 형성된다. 이에 의해, 제1 및 제2의 부착 위치(311 및 321)에 교대로 배치된 제1 및 제2의 기어(211 및 221)와 구동 기어(250)와의 맞물림의 편차를 충분히 억제할 수가 있어서, 이들 기어의 계합 상태를 양호하게 할 수 있다.

또한 도 14에 도시하는 바와 같이, 제1의 기어(211)와 구동 기어(250)와의 축간 거리(D1)과, 제2의 기어(221)와 구동 기어(250)와의 축간 거리(D2)는 다르다. 즉, 제1 및 제2의 계합 영역(260 및 270)에서, 구동 기어(250)의 피치원 직경(PCD : Pitch Circle Diameter)이 서로 다르다. 축간 거리(또는 피치원 직경)가 다르기 때문에, 제1 및 제2의 기어(211 및 221)의 각각의 치수나 형상 등을 조정할 필요가 생길 가능성이 있다.

그러나, 테이퍼 계합면(251)에, 중간점(300)의 치폭을 기준으로 하여 치(253)가 형성됨으로써, 축간 거리의 차에 의한 영향 등을 억제할 수 있다. 중간점(300)에 근접하는 위치에 제1 및 제2의 기어(211 및 221)가 각각 배치됨으로써, 당해 영향 등을 충분히 억제할 수 있다. 이 결과, 제1 및 제2의 기어(211 및 221)로서, 같은 치수의 개략 같은 형상을 갖는 기어를 이용할 수 있다. 즉, 제1 및 제2의 기어(211 및 221)에서, 구동 기어(250)와의 기어비를 일정하게 하는 것이 가능해진다. 이 결과, 구동 기어(250)의 회전에 의거하여, 제1 및 제2의 기어(211 및 221)가 각각 같은 각도만큼 회전하기 때문에, 제1 및 제2의 기어(211 및 221)의 회전 동작을 제어하는 것이 용이해진다. 이것은 후술하는 전자 부품 방향의 수정에 유용(有用)하다.

본 실시 형태에서는, 중간점(300)이, 테이퍼 계합면(251)의 개략 중앙이 되도록 설정되어 있다. 이에 의해 중간점(300)의 치폭을 기준으로 한 치(253)를 간단하게 형성할 수 있다. 또한 제1 및 제2의 기어(211 및 221)의 구동 기어(250)에 대한 맞물림의 편차를 억제하기 쉬워진다. 그러나, 당해 중간점(300)의 위치는 한정되지 않는다. 예를 들면 테이퍼 계합면(251)의 임의의 위치에 중간점(300)이 위치하도록, 제1 및 제2의 계합 영역(260 및 270)이 각각 배치되어도 좋다.

기준이 되는 중간점(300)의 치폭의 크기는 적절히 설정되면 좋다. 구동 기어(250)의 지름, 기어비, 테이퍼 계합면(251)의 각도, 제1 및 제2의 기어(211 및 221)의 경 등의 여러 가지의 조건을 기초로 설정되면 좋다.

[실장 헤드 유닛의 동작(기판의 제조 방법)]

본 실시 형태에 관한 실장 헤드 유닛의 동작을 설명한다. 도 15 및 도 16은, 실장 헤드 유닛에 의한 전자 부품의 흡착 및 실장 동작을 설명하기 위한 모식적인 도면이다. 도 15 및 도 16에 도시하는 바와 같은 동작에 의해, 부품 실장 장치(100)에 공급된 기판(W)에 전자 부품이 실장되고, 기판(W)이 제조된다.

도 15 및 도 16에서는, 노즐 동작 위치(400)에 배치된 노즐 유닛(70A)을 기준으로 하여, 우회전으로 노즐 유닛(70b 내지 70H)의 부호가 붙여진다.

도 15는, 실장 헤드 유닛(150)에 의한 전자 부품의 흡착 동작을 설명하기 위한 도면이다. 우선, 반송 유닛(16)에서의 실장 영역(M))에서 기판(W)이 위치 결정되어 지지된다. 실장 헤드 유닛(150)은, X축 이동 기구 및 Y축 이동 기구에 의해 수평면 내에서 이동함에 의해, 전자 부품의 공급 영역(S)을 향한다.

실장 헤드 유닛(150)이 공급 영역(S)에 도달하면, 도 15의 (A)에 도시하는 바와 같이, 노즐 동작 위치(400)에 배치된 노즐 유닛(70A)에 의해 전자 부품의 흡착이 행하여진다. 노즐 구동 유닛의 가압 롤러에 의해, 노즐 유닛(70A)의 노즐(71)이 압하된다. 노즐 유닛(70A)에 적절히 부압 에어가 공급되고, 그 부압력에 의해 노즐(71)에 전자 부품이 흡착된다.

다음에, 실장 헤드 유닛(150)은, 터릿(50)을 기축(35)을 중심으로 소정의 각도만큼 회전시켜지고, 다음(옆의)의 노즐 유닛(70H)을 노즐 동작 위치(400)에 이동시킨다(도 15의 (B)). 노즐 동작 위치(400)에 배치된 노즐 유닛(70H)에 의해, 다음의 전자 부품이 흡착된다.

계속해서, 마찬가지로, 터릿(50)의 회전과, 노즐 동작 위치(400)에 배치된 노즐 유닛(70G 및 70F)에 의한 전자 부품의 흡착이 행하여진다(도 15의 (C) (D)).

도 15의 (E)에 도시하는 바와 같이, 터릿(50)이 약 180도 회전되면, 최초에 전자 부품을 흡착한 노즐 유닛(70A)이, 촬상 위치(500)에 배치된다. 촬상 위치(500)에 배치된 노즐 유닛(70A)이 제1 및 제2의 카메라(52 및 53)에 의해 촬상되고, 전자 부품의 흡착 상태가 인식된다.

본 실시 형태에서는, 도 6이나 도 7 등에 도시하는 바와 같이, 복수의 노즐 유닛(70)에 부착된 복수의 제1 및 제2의 기어(211 및 221)가, 구동 기어(250)에 각각 계합되어 있다. 따라서 터릿(50)이 회전하고 노즐 유닛(70)이 이동된(이하, 노즐 유닛의 공전(公轉)이라고 기재하는 경우가 있다) 경우, 공전의 각도에 응하여 각 노즐 유닛(70)이 자전한다.

따라서 촬상 위치(500)에서의 촬상 및 흡착 상태의 인식은, 인식 대상이 되는 전자 부품이 노즐 유닛(70)의 공전에 의해 얼마만큼 돌려져 있는지(얼마만큼 자전되어 있는지)를 고려하고서 행하여진다. 특히, 흡착된 전자 부품 방향을 인식하는 경우에는, 노즐 유닛(70)의 자전 각도의 파악은 중요해진다. 이 자전 각도의 정보가 적절히 사용되어, 전자 부품 방향을 수정하기 위한 정보가 산출된다. 산출된 수정 정보를 기초로 실장되는 전자 부품 방향이 수정됨으로써, 고정밀도의 실장 처리가 실현된다.

노즐 유닛(70)의 공전에 수반하는 자전 각도의 정보는, 예를 들면 터릿(50)을 회전시키기 위한 기축(35)의 회전 각도, 노즐 동작 위치(400)에서 실장을 행하는 다른 노즐 유닛(70)을 자전시키기 위한 구동 기어(250)의 회전 각도 등의 정보를 기초로 산출된다.

예를 들면 기축(35)의 회전 각도에 응한 노즐 유닛(70)의 자전 각도가 미리 정하여져도 좋다. 예를 들면 터릿(50)이 회전할 때에는 구동 기어(250)는 회전하지 않는 설계라면, 공전 각도에 대한 자전 각도는 기어비를 기초로 간단하게 산출된다. 기축(35)의 회전에 수반하여 구동 기어(250)가 역방향으로 회전하는 설계라도, 그 상대적인 회전 각도가 일정하면 공전에 수반하는 자전 각도는 산출 가능하다.

도 5 등에 도시하는 바와 같이, 제1 및 제2의 기어(211 및 221)가, 시저스 기어의 구성을 갖는다. 이에 의해 자전 각도의 산출 등도 고정밀도로 실행 가능하다.

도 15의 (E)에 도시하는 상태에서는, 아직 전자 부품의 실장을 위해 자전된 노즐 유닛(70)이 없기 때문에, 180도의 공전 각도에 응한 자전 각도(예를 들면 90도 등)의 정보가 적절히 산출되어 사용되면 좋다.

또한 도 15의 (E)에 도시하는 상태에서는, 노즐 동작 위치(400)에 배치된 노즐 유닛(70E)에 의한 흡착 동작과, 촬상 위치(500)에 배치된 노즐 유닛(70A)에의 촬상 동작이 모두 행하여진다. 따라서, 부품 흡착 동작이 행하여지고 있는 사이에 부품 인식 동작이 행하여지기 때문에, 부품 인식을 위한 시간을 설정할 필요가 없다. 이 결과, 부품 실장 장치(100)에 의한 부품 실장을 단시간에 실행하는 것이 가능해진다.

도 15의 (F) 내지 (H)에 도시하는 바와 같이, 노즐 동작 위치(400)에서의 전자 부품의 흡착 동작과, 촬상 위치(500)에서의 노즐 유닛(70)의 촬상 동작이 순차적으로 행하여진다. 도 15의 (H)에 도시하는 상태에서는, 노즐 유닛(70B 내지 70E)은, 아직 부품 인식이 끝나고 있지 않다.

도 16은, 실장 헤드 유닛(150)에 의한 전자 부품의 실장 동작을 설명하기 위한 도면이다. 전자 부품의 흡착 동작이 완료되면, 실장 헤드 유닛(150)은, X축 이동 기구 및 Y축 이동 기구에 의해 실장 영역(M))상으로 이동한다.

도 16의 (A)에 도시하는 바와 같이, 노즐 동작 위치(400)에 배치된 노즐 유닛(70A)의 노즐(71)이, 노즐 구동 유닛의 가압 롤러에 의해 가압되어 하강한다. 노즐(71)에 흡착되어 있는 전자 부품이 기판(W)상의 소정의 실장 위치에 재치된다. 이때, 촬상 위치(500)에서는, 노즐 유닛(70E)의 촬상 동작이 실행된다.

다음에, 실장 헤드 유닛(150)은, 옆의 노즐 유닛(70H)에 지지된 전자 부품이 실장되는 위치까지, X축 이동 기구 및 Y축 이동 기구에 의해 이동한다. 이 이동 도중, 또는 이동 후, 터릿(50)을 회전시켜서, 그 다른 노즐 유닛(70H)을 노즐 동작 위치(400)에 배치한다. 노즐 동작 위치(400)에 배치된 노즐 유닛(70H)에 의해 전자 부품의 실장이 실행된다(도 16의 (B)). 이와 함께, 촬상 위치(500)에서는, 노즐 유닛(70D)에의 촬상 동작이 실행된다.

이후, 도 16의 (C) 및 (D)에 도시하는 바와 같이, 노즐 동작 위치(400)에서의 전자 부품의 실장 동작과, 촬상 위치(500)에서의 노즐 유닛(70)에의 촬상 동작이 순차적으로 행하여진다.

도 16의 (E)에 도시하는 바와 같이, 터릿(50)이 약 180도 회전되면, 최초에 전자 부품을 실장한 노즐 유닛(70A)이, 촬상 위치(500)에 배치된다. 이 노즐 유닛(70A)이 제1 및 제2의 카메라(52 및 53)에 의해 촬상되고, 노즐(71)의 상태가 확인된다. 이에 의해 정상적으로 실장 처리가 실행되었는지의 여부가 판정된다. 예를 들면 노즐(71)에 전자 부품이 흡착한 채인 경우 등은, 실장 처리가 정상적으로 행하여지지 않았다고 판정된다. 그 밖에, 노즐(71)의 변형 등의 이상 등이 검출되어도 좋다.

또한 도 16의 (E)에 도시하는 상태에서는, 노즐 동작 위치(400)에 배치된 노즐 유닛(70E)에 의한 실장 동작과, 촬상 위치(500)에 배치된 노즐 유닛(70A)에의 촬상 동작이 함께 행하여진다. 이후, 도 16의 (F) 내지 (H)에 도시하는 바와 같이, 노즐 동작 위치(400)에서의 전자 부품의 실장 동작과, 촬상 위치(500)에서의 노즐 유닛(70)에의 촬상 동작이 순차적으로 행하여진다. 도 16의 (H)에 도시하는 상태에서는, 노즐 유닛(70B 내지 70E)은, 아직 노즐 상태의 확인이 완료되어 있지 않다.

전자 부품의 실장 동작이 완료되면, 실장 헤드 유닛(150)은, X축 이동 기구 및 Y축 이동 기구에 의해 공급 영역(S)상으로 이동한다. 그리고, 도 15의 흡착 동작이 재차 행하여진다. 도 15의 (A) 내지 (D)에서, 노즐 유닛(70B 내지 70E)의, 노즐 상태의 확인이 실행되면 좋다.

이상과 같이 하여, 기판(W)에 소정의 복수의 전자 부품이 실장되면, 기판(W)은, 반송 유닛(16)에 의해, 부품 실장 장치(100)의 외부에 반출된다. 본 실시 형태에서는, 실장 헤드 유닛(150)을 공급 영역(S)과 실장 영역(M))의 사이를 이동시키면서, 전자 부품의 흡착 및 실장 동작을 일련의 움직임 중에서 실행 가능하다. 예를 들면 부품 인식을 위해 실장 헤드 유닛(150)을 촬상을 위한 영역으로 이동시켜서 정지시킨다는 것이 불필요하다. 이 결과, 부품 실장 처리를 단시간에 실행할 수 있다.

이상, 본 실시 형태에 관한 실장 헤드 유닛(150)에서는, 복수의 노즐 유닛(70)을 각각 회전시키기 위해, 노즐 유닛(70)마다 기어(201)가 마련된다. 기어(201)는, 이웃하는 노즐 유닛(70)에서 길이 방향(L)에서의 부착 위치가 서로 다르도록 부착된다. 따라서 길이 방향(L)과 교차하는 방향에서 이웃하는 노즐 유닛(70)을 충분히 접근하면서, 복수의 노즐 유닛(70)을 터릿(50)에 마련할 수 있다. 이 결과, 터릿(50)을 크게 하는 일 없이 노즐 유닛(70)의 수를 늘릴 수 있다. 즉 전자 부품 등을 지지하기 위한 노즐 유닛(70)을 늘리면서도 실장 헤드 유닛(150)의 소형화를 도모할 수 있다.

본 실시 형태에서는, 복수의 기어(201)가 제1 및 제2의 부착 위치(311 및 321)에 교대로 마련된다. 따라서, 노즐 유닛(70)에 대한 기어(201)의 부착 위치는 2종류이기 때문에, 복수의 노즐 유닛(70)에의 복수의 기어(201)의 부착 작업이 용이해진다. 즉 복수의 노즐 유닛(70)에 대해, 많은 다른 부착 위치에 복수의 기어(201)를 부착하는 경우보다도 부착 작업이 간단하게 된다. 또한 구동 기구(200)의 구성이 복잡하게 되는 것을 막을 수 있다. 또한, 부착 위치가 여러 가지 다른 위치에 설정되어도 상관없다.

<변형례>

본 기술에 관한 실시 형태는, 상기에서 설명한 실시 형태로 한정되지 않고 여러 가지 변형된다.

상기 실시 형태에서는, 터릿의 외주면이 테이퍼형상으로 되어 있고, 터릿의 회전축에 대해 노즐 유닛이 비스듬하게 지지되었다. 그러나 터릿의 회전축과 노즐 유닛이 서로 평행하게 되도록 설정되어도 좋다. 그리고 회전축 및 복수의 노즐 유닛의 길이 방향이 모두 연직 방향이 되도록 설정되어도 좋다. 이 경우, 복수의 노즐 유닛에 둘러싸여진 영역에, 계합면의 방향이 연직 방향이 되는 구동 기어가 배치되어도 좋다.

상기에서는, 터릿의 외주부에 복수의 노즐 유닛이 배치되고, 터릿이 회전함으로써 복수의 노즐 유닛에 의한 전자 부품의 흡착 및 실장 동작이 실행되었다. 즉 본 실시 형태에서는, 실장 헤드 유닛으로서 로터리 헤드가 사용되었다. 그러나 실장 헤드 유닛으로서, 리니어 헤드가 사용되어도 좋다. 예를 들면 이동 가능한 본체부에 X축 방향에 따라 복수의 노즐 유닛이 지지된다. 복수의 노즐 유닛에는, 회전기구부로서 풀리 등이 노즐 유닛마다 부착된다. 풀리 등은, 이웃하는 노즐 유닛으로 길이 방향에서의 부착 위치가 서로 다르도록 부착된다. 이들의 풀리가 벨트 등을 갖는 회전 구동부에 의하여 각각 회전된다. 이에 의해 복수의 노즐 유닛이 각각 자전 가능해진다. 이와 같은 구성이라도, 복수의 노즐 유닛의 배열 밀도를 높일 수 있다.

상기 실시 형태에서는, 회전기구부로서 기어가 사용되고, 이 기어가 구동 기어에 의해 회전시켜짐으로써 노즐 유닛이 회전하였다. 회전기구부의 다른 예로서, 노즐 유닛마다 모터가 부착되어도 좋다. 모터가 작동함으로써 노즐 유닛이 각각 회전하여도 좋다. 모터가, 이웃하는 노즐 유닛으로 길이 방향에서의 부착 위치가 서로 다르도록 부착됨으로써, 노즐 유닛의 배열 밀도를 높일 수 있다. 그 밖에, 노즐 유닛에 토오크를 발생시키는 것이 가능한 기구가, 회전기구부로서 적절히 사용되면 좋다.

상기 실시 형태에서는, 복수의 기어가, 복수의 노즐 유닛에 대해, 하나씩 길이 방향에서 지그재그형상, 즉, 상, 하, 상, 하, …로 배치되었지만, 이와 같은 형태로 한정되지 않는다. 복수의 기어는, 노즐 유닛의 길이 방향에서, 상, 중, 하, 상, 중, 하, …, 또는, 상, 중, 하, 중, 상, …라는 바와 같이, 길이 방향에서 3단계의 높이로 배치되어도 좋다. 그 밖에, 이웃하는 기어가 서로 간섭하는 일없이 동작 가능한 것이라면, 그 부착 위치가 한정되지 않는다.

터릿, 노즐 유닛 및 구동 기구 등의 구조는, 상기 실시 형태로 한정되지 않고, 적절히 그 설계의 변경이 가능하다.

상기 실시 형태에서는, 실장 헤드 유닛이, 전자 부품의 실장시, 기판의 실장면에 실질적으로 평행한 면 내(X-Y 면 내)에서 이동하는 구성이였지만, 기판이 그면 내에서 이동하는 구성이라도 좋다. 또는, 실장 헤드 유닛 및 기판의 양쪽이, 그면 내에서 이동하는 구성이라도 좋다.

예를 들면 지지체에 의해 기축의 상부 및 하부가 각각 지지되어도 좋다. 이와 같은 양쪽지지 지지 구조가 채용됨으로써, 실장 헤드 유닛의 구조의 간단화, 컴팩트화, 및, 고강성화를 실현할 수 있다.

상기 실시 형태에서는, 실장 헤드 유닛의 노즐 유닛을 각각 회전시키기 위한 구동 기구에 관해 설명하였다. 그러나 상기에서 설명한 기술이, 실장 헤드 유닛 이외의 디바이스 등에 사용되어도 좋다.

예를 들면 본체부에 대해, 회전 가능하게 복수의 부재가 각각 지지된다. 복수의 부재는, 각각이 길이 방향을 가지며, 본체부에 길이 방향과 교차되는 방향으로 나열하도록 지지된다. 복수의 부재는, 예를 들면 부품 등을 반송하기 위한 반송 기구의 일부로 하고, 벨트 등을 회전시키기 위해 사용된다. 또는, 복수의 부재의 각각 부착된 부품을 회전시키기 위해 사용된다. 그 밖에, 복수의 부재의 용도는 한정되지 않는다.

이러한 복수의 부재를 각각 회전시키기 위해, 구동 기구가 사용된다. 구동 기구는, 이웃하는 부재에서 길이 방향에서의 부착 위치가 서로 다르도록, 부재마다 부착되는 회전기구부와, 복수의 부재에 부착된 복수의 회전기구부의 각각을 회전시키기 위해, 복수의 부재에 대해 공통으로 이용되는 회전 구동부를 갖는다. 이와 같은 구성을 갖는 장치가, 본 실시 형태에 관한 회전 구동 기구로서 사용되어도 좋다.

이와 같은 회전 구동 기구에서는, 길이 방향과 교차하는 방향으로 이웃하는 부재를 충분히 접근하면서, 복수의 부재를 본체부에 마련할 수 있다. 이 결과, 본체부를 크게 하는 일 없이 부재의 수를 늘릴 수 있다. 즉 부재를 늘리면서도 회전 구동 기구의 소형화를 도모할 수 있다.

이상 설명한 각 형태의 특징 부분 중, 적어도 2개의 특징 부분을 조합시키는 것도 가능하다.

또한, 본 기술은 이하와 같은 구성도 취할 수 있다.

(1) 본체부와,

각각이 길이 방향을 가지며, 상기 본체부에 상기 길이 방향과 교차하는 방향으로 나열하도록 회전 가능하게 각각 지지되고, 복수의 부품을 지지 가능한 복수의 지지부와,

상기 복수의 지지부를 각각 회전시키기 위해, 이웃하는 상기 지지부에서 상기 길이 방향에서의 부착 위치가 서로 다르도록, 상기 지지부마다 부착되는 회전기구부를 갖는 구동 기구를 구비하는 실장 헤드 유닛.

(2) (1)에 기재된 실장 헤드 유닛으로서,

상기 구동 기구는, 상기 복수의 지지부에 부착된 복수의 회전기구부의 각각을 회전시키는 회전 구동부를 갖는 실장 헤드 유닛.

(3) (2)에 기재된 실장 헤드 유닛으로서,

상기 복수의 회전기구부는, 복수의 기어를 구비하고,

상기 회전 구동부는, 상기 복수의 기어의 각각과 계합하는 구동 기어를 구비하는 실장 헤드 유닛.

(4) (3)에 기재된 실장 헤드 유닛으로서,

상기 본체부는, 회전축을 갖는 회전체를 구비하고,

상기 복수의 지지부는, 상기 회전체의 외주부에 지지되고,

상기 구동 기어는, 상기 복수의 지지부에 둘러싸여진 영역에, 상기 회전축과 동축으로 회전 가능하게 배치되는 실장 헤드 유닛.

(5) (4)에 기재된 실장 헤드 유닛으로서,

상기 복수의 지지부는, 상기 길이 방향이 상기 회전축에 대해 비스듬하게 되도록 지지되고,

상기 실장 헤드 유닛은, 또한,

상기 복수의 지지부 중 적어도 하나의 상기 지지부의 길이 방향이 연직 방향이 되도록, 상기 회전축을 상기 연직 방향에 대해 비스듬하게 지지하는 지지체를 구비하는 실장 헤드 유닛.

(6) (5)에 기재된 실장 헤드 유닛으로서,

상기 복수의 지지부는, 상기 부품을 지지하는 단부와 반대측의 단부가, 상기 회전축에 근접하도록 상기 회전체에 비스듬하게 지지되고,

상기 복수의 기어는, 부착되어 있는 상기 지지부의 길이 방향을 축으로 하여 각각 회전하고,

상기 구동 기어는, 상기 복수의 기어의 각각과 계합하기 위해 상기 길이 방향과 같은 방향에서 상기 회전축에 대해 비스듬하게 배치된 테이퍼 계합면을 갖는 실장 헤드 유닛.

(7) (6)에 기재된 실장 헤드 유닛으로서,

상기 복수의 기어는, 상기 복수의 지지부에 대해, 상기 길이 방향에서의 제1의 부착 위치와, 상기 제1의 부착 위치와는 다른 제2의 부착 위치에, 교대로 부착되는 실장 헤드 유닛.

(8) (7)에 기재된 실장 헤드 유닛으로서,

상기 구동 기어는, 상기 제1의 부착 위치에 배치된 기어와 계합하는 제1의 계합 영역과, 상기 제2의 부착 위치에 배치된 기어와 계합하는 제2의 계합 영역의 사이의 중간점을 치폭의 기준으로 하여 상기 테이퍼 계합면에 형성된 치를 갖는 실장 헤드 유닛.

(9) (1)부터 (8)중 어느 하나에 기재된 실장 헤드 유닛으로서,

상기 복수의 지지부는, 상기 복수의 부품을 흡착 가능한 복수의 노즐을 구비하는 실장 헤드 유닛.

(10) (1)부터 (9)중 어느 하나에 기재된 실장 헤드 유닛으로서,

상기 회전기구부는, 모터를 구비하는 실장 헤드 유닛.

본 발명은 공개된 일본 특허청에 2012년 3월 27일에 출원되어 우선권 주장된 일본 특허 출원 JP2012-070862와 관계된 주제를 포함하며, 이는 참조로서 전체 내용에 포함된다.

다양한 수정, 조합, 하위 조합 및 변경은 관련 기술분야의 기술자의 설계의 요구 및 첨부된 청구항과 그 균등물 범위 내에 있는 다른 요인에 의하여 발생할 수 있음을 이해해야 한다.

W : 기판
L : 길이 방향
30 : 지지체
35 : 기축
42 : 구동 기어
50 : 터릿
70 : 노즐 유닛
72 : 노즐 유닛의 상단부
100 : 부품 실장 장치
150 : 실장 헤드 유닛
200 : 구동 기구
201 : 기어
211 : 제1의 기어
221 : 제2의 기어
250 : 구동 기어
251 : 테이퍼 계합면
253 : 치
260 : 제1의 계합 영역
270 : 제2의 계합 영역
300 : 중간점
311 : 제1의 부착 위치
321 : 제2의 부착 위치
714 : 노즐 유닛의 선단부

Claims (13)

1. 회전축을 갖는 회전체로 이루어지는 본체부와,
   각각이 길이 방향을 가지며, 상기 회전체의 외주부에 상기 길이 방향과 교차하는 방향으로 나열하도록 회전 가능하게 각각 지지되고, 복수의 부품을 지지 가능한 복수의 지지부와,
   상기 복수의 지지부를 각각 회전시키기 위해, 이웃하는 상기 지지부에서 상기 길이 방향에서의 부착 위치가 서로 다르도록, 상기 지지부마다 부착되는 기어와, 상기 복수의 지지부에 둘러싸여진 영역에 상기 회전축과 동축으로 회전 가능하게 배치되고, 상기 복수의 지지부에 부착된 복수의 기어의 각각과 계합하고, 당해 복수의 기어의 각각을 회전시키는 구동 기어를 갖는 구동 기구를 구비하고,
   상기 복수의 지지부는, 상기 길이 방향이 상기 회전축에 대해 비스듬하게 되도록, 상기 부품을 지지하는 단부와는 반대측의 단부가 상기 회전축에 근접하도록 상기 회전체에 지지되고,
   상기 복수의 기어는, 부착되어 있는 상기 지지부의 상기 길이 방향을 축으로 하여 각각 회전하고, 상기 복수의 지지부에 대해, 상기 길이 방향에서의 제1의 부착 위치와, 상기 제1의 부착 위치와는 다른 제2의 부착 위치에, 교대로 부착되고,
   상기 제1의 부착 위치에 배치된 기어를 제1의 기어로 하고, 상기 제2의 부착 위치에 배치된 기어를 제2의 기어로 하면, 상기 제1 및 상기 제2의 기어는 서로 동일 형상을 가지며, 상기 구동 기어에 대한 기어비가 일정하고,
   상기 구동 기어는, 상기 복수의 기어의 각각과 계합하기 위해 상기 길이 방향과 같은 방향에서 상기 회전축에 대해 비스듬하게 배치되고, 상기 복수의 기어와 계합하는 치(齒)가 형성된 테이퍼 계합면을 가지며,
   상기 테이퍼 계합면은, 상기 테이퍼 계합면의 중앙에 위치하는 소정의 치폭의 치의 부분을 기준점으로 하여, 상기 기준점의 치폭을 기준으로 하여 치폭이 설정된 치를 포함하고 상기 제1의 기어와 계합하는 상기 기준점에 인접한 제1의 계합 영역과, 상기 기준점의 치폭을 기준으로 하여 치폭이 설정된 치를 포함하고 상기 제2의 기어와 계합하는 상기 기준점에 대해 상기 제1의 계합 영역과는 반대측에 인접한 제2의 계합 영역을 갖는 것을 특징으로 하는 실장 헤드 유닛.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1의 계합 영역에 포함되는 치의 치폭, 및 상기 제2의 계합 영역에 포함되는 치의 치폭은, 각각 상기 기준점의 치폭과 동등한 것을 특징으로 하는 실장 헤드 유닛.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   또한, 상기 복수의 지지부 중 적어도 하나의 상기 지지부의 길이 방향이 연직 방향이 되도록, 상기 회전축을 상기 연직 방향에 대해 비스듬하게 지지하는 지지체를 구비하는 것을 특징으로 하는 실장 헤드 유닛.
4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
   상기 복수의 지지부는, 상기 복수의 부품을 흡착 가능한 복수의 노즐을 구비하는 것을 특징으로 하는 실장 헤드 유닛.
5. 기판을 지지하는 지지 유닛과,
   상기 지지 유닛에 지지된 상기 기판상에 이동 가능한, 회전축을 갖는 회전체로 이루어지는 본체부와,
   각각이 길이 방향을 가지며, 상기 회전체의 외주부에 상기 길이 방향과 교차하는 방향으로 나열하도록 회전 가능하게 각각 지지되고, 복수의 부품을 지지 가능하고, 당해 지지한 복수의 부품을 상기 기판에 실장하는 것이 가능한 복수의 지지부와,
   상기 복수의 지지부를 각각 회전시키기 위해, 이웃하는 상기 지지부에서 상기 길이 방향에서의 부착 위치가 서로 다르도록, 상기 지지부마다 부착되는 기어와, 상기 복수의 지지부에 둘러싸여진 영역에 상기 회전축과 동축으로 회전 가능하게 배치되고, 상기 복수의 지지부에 부착된 복수의 기어의 각각과 계합하고, 당해 복수의 기어의 각각을 회전시키는 구동 기어를 갖는 구동 기구를 구비하고,
   상기 복수의 지지부는, 상기 길이 방향이 상기 회전축에 대해 비스듬하게 되도록, 상기 부품을 지지하는 단부와는 반대측의 단부가 상기 회전축에 근접하도록 상기 회전체에 지지되고,
   상기 복수의 기어는, 부착되어 있는 상기 지지부의 상기 길이 방향을 축으로 하여 각각 회전하고, 상기 복수의 지지부에 대해, 상기 길이 방향에서의 제1의 부착 위치와, 상기 제1의 부착 위치와는 다른 제2의 부착 위치에, 교대로 부착되고,
   상기 제1의 부착 위치에 배치된 기어를 제1의 기어로 하고, 상기 제2의 부착 위치에 배치된 기어를 제2의 기어로 하면, 상기 제1 및 상기 제2의 기어는 서로 동일 형상을 가지며, 상기 구동 기어에 대한 기어비가 일정하고,
   상기 구동 기어는, 상기 복수의 기어의 각각과 계합하기 위해 상기 길이 방향과 같은 방향에서 상기 회전축에 대해 비스듬하게 배치되고, 상기 복수의 기어와 계합하는 치가 형성된 테이퍼 계합면을 가지며,
   상기 테이퍼 계합면은, 상기 테이퍼 계합면의 중앙에 위치하는 소정의 치폭의 치의 부분을 기준점으로 하여, 상기 기준점의 치폭을 기준으로 하여 치폭이 설정된 치를 포함하고 상기 제1의 기어와 계합하는 상기 기준점에 인접한 제1의 계합 영역과, 상기 기준점의 치폭을 기준으로 하여 치폭이 설정된 치를 포함하고 상기 제2의 기어와 계합하는 상기 기준점에 대해 상기 제1의 계합 영역과는 반대측에 인접한 제2의 계합 영역을 갖는 것을 특징으로 하는 부품 실장 장치.
6. 기판을 지지하는 지지 유닛과, 상기 기판에 부품을 실장하는 실장 헤드 유닛을 구비한 부품 실장 장치에 의한 기판의 제조 방법으로서,
   상기 실장 헤드 유닛이,
   상기 지지 유닛에 지지된 상기 기판상에 이동 가능한 회전축을 갖는 회전체로 이루어지는 본체부와,
   각각이 길이 방향을 가지며, 상기 회전체의 외주부에 상기 길이 방향과 교차하는 방향으로 나열하도록 회전 가능하게 각각 지지되고, 복수의 부품을 지지 가능한 복수의 지지부와,
   상기 복수의 지지부를 각각 회전시키기 위해, 이웃하는 상기 지지부에서 상기 길이 방향에서의 부착 위치가 서로 다르도록, 상기 지지부마다 부착되는 기어와, 상기 복수의 지지부에 둘러싸여진 영역에 상기 회전축과 동축으로 회전 가능하게 배치되고, 상기 복수의 지지부에 부착된 복수의 기어의 각각과 계합하고, 당해 복수의 기어의 각각을 회전시키는 구동 기어를 갖는 구동 기구를 구비하고,
   상기 복수의 지지부는, 상기 길이 방향이 상기 회전축에 대해 비스듬하게 되도록, 상기 부품을 지지하는 단부와는 반대측의 단부가 상기 회전축에 근접하도록 상기 회전체에 지지되고,
   상기 복수의 기어는, 부착되어 있는 상기 지지부의 상기 길이 방향을 축으로 하여 각각 회전하고, 상기 복수의 지지부에 대해, 상기 길이 방향에서의 제1의 부착 위치와, 상기 제1의 부착 위치와는 다른 제2의 부착 위치에, 교대로 부착되고,
   상기 제1의 부착 위치에 배치된 기어를 제1의 기어로 하고, 상기 제2의 부착 위치에 배치된 기어를 제2의 기어로 하면, 상기 제1 및 상기 제2의 기어는 서로 동일 형상을 가지며, 상기 구동 기어에 대한 기어비가 일정하고,
   상기 구동 기어는, 상기 복수의 기어의 각각과 계합하기 위해 상기 길이 방향과 같은 방향에서 상기 회전축에 대해 비스듬하게 배치되고, 상기 복수의 기어와 계합하는 치가 형성된 테이퍼 계합면을 가지며,
   상기 테이퍼 계합면은, 상기 테이퍼 계합면의 중앙에 위치하는 소정의 치폭의 치의 부분을 기준점으로 하여, 상기 기준점의 치폭을 기준으로 하여 치폭이 설정된 치를 포함하고 상기 제1의 기어와 계합하는 상기 기준점에 인접한 제1의 계합 영역과, 상기 기준점의 치폭을 기준으로 하여 치폭이 설정된 치를 포함하고 상기 제2의 기어와 계합하는 상기 기준점에 대해 상기 제1의 계합 영역과는 반대측에 인접한 제2의 계합 영역을 가지며,
   상기 기판의 제조 방법은,
   상기 복수의 지지부에 복수의 부품을 지지시키고,
   상기 구동 기구의 상기 지지부마다 부착된 상기 기어에 의해 상기 복수의 지지부를 각각 회전시킴으로써, 상기 복수의 지지부에 지지된 상기 복수의 부품의 각각 방향을 조정하고,
   상기 본체부를 상기 기판상에 이동시켜서, 상기 복수의 지지부에 의해 상기 복수의 부품을 상기 기판에 실장시키는 것을 특징으로 하는 기판의 제조 방법.
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