KR101809377B1 - Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법 - Google Patents

Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 두께가 0.25 ㎜ 이하인 얇은 Fe-Ni계 합금 박판에 있어서 광폭으로 우수한 급준도와 저비용을 양립하는 재료의 제조방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법은 질량%로 Ni+Co:35.0~43.0%(단, Co는 0~6.0%), Si:0.5% 이하, Mn:1.0% 이하, 잔부는 Fe 및 불순물로 이루어지고, 열간 압연재를 거쳐서 냉간 압연용 소재를 준비하는 공정과, 냉간 압연과 연속 소둔을 1회 이상 반복하는 냉간 압연 공정을 포함하고, 최종 냉간 마무리 압연을 단위 폭당 압연 하중 150 ㎏f/㎜ 이하, 압연 속도를 1.7 m/s 이상, 전방 장력 250~400 ㎫의 조건에서 행하여 두께를 0.25 ㎜ 이하로 하며, 상기 최종 냉간 마무리 압연 후에는 열처리를 행하지 않는 것을 특징으로 한다.

Description

Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법{Manufacturing method of Fe-Ni based alloy strip}
본 발명은 예를 들면 리드 프레임이나 메탈 마스크 등에 사용되는 Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법에 관한 것이다.
리드 프레임이나 메탈 마스크 등에 사용되는 Fe-Ni계 합금 박판에는 예를 들면 에칭이나 프레스 등의 가공을 행하고 타부재와 조합하여 사용된다. 이 Fe-Ni계 합금 박판은 통상 마무리 압연 전후에 응력 제거 소둔이나 연화 소둔이 행해지고 결정방위의 조정이 행해져 목적하는 요구 특성을 만족시키도록 마무리되어 있다.
한편 본 출원 출원인은 예를 들면 일본국 특허공개 평06-172928호 공보(특허문헌 1)로서, 질량%로 Ni:30~60%를 함유하는 Fe-Ni계 합금으로 이루어지는 리드 프레임 재료로, 판 폭방향에 수직인 단면 내에서의 현미경 검사에서 섬유 형상의 압연 조직을 가지며, 또한 압연면의 {100} 방위 집적도가 50% 이상인 에칭성이 우수한 리드 프레임 재료의 발명을 제안하고 있다. 또한 일본국 특허공개 평06-279946호 공보(특허문헌 2)로서, 질량%로 Ni:30~40%를 함유하고, 잔부 Fe 및 불가피 불순물로 이루어지는 Fe-Ni계 앰버 합금으로 구성되는 섀도우 마스크 재료에 있어서, 압연면의 {100} 방위 집적도가 85% 이상이고, 또한 판 폭방향에 수직인 단면 내에서의 현미경 검사에서 섬유 형상의 압연 조직을 갖는 에칭성이 우수한 섀도우 마스크 재료의 발명을 제안하고 있다.
일본국 특허공개 평06-172928호 공보 일본국 특허공개 평06-279946호 공보
전술한 특허문헌 1이나 특허문헌 2의 발명은 냉간 압연 공정에서 목적하는 판두께로 하고, 재료 내부의 잔류 변형을 저감시킬 목적으로 그 후에 650~1,000℃의 온도 범위에서 소둔을 행한 것이다.
그러나 최근 들어 Fe-Ni계 합금 박판은 생산성의 관점에서 광폭(廣幅)으로 사용되고, 또한 에칭 가공, 프레스 가공, 레이저 가공 등 가공방법의 다양화가 진행되어, 제조 비용을 억제하여 보다 저렴한 재료가 요구되고 있다. 또한 전술한 잔류 변형은 문제시하지 않고 우수한 급준도가 요구되는 사용 용도가 있다.
이러한 요구에 대해서는 전술한 특허문헌 1이나 특허문헌 2의 Fe-Ni계 합금 박판의 경우는 아래와 같은 과제가 있었다. 먼저 열처리를 실시하기 때문에 제조 비용이 비싸다. 또한 압연 후에 650~1,000℃의 온도 범위에서 소둔함으로써 재료 내부에 불안정한 상태로 잔류하고 있는 전위가 안정된 상태가 됨으로써 변형이 저감된다. 한편, 잔류 변형의 개방에 수반하여 형상 변화가 발생하여, 최종 마무리 압연 형상 또는 형상 교정 후의 최종 형상에 변화가 발생할 가능성이 있어 급준도의 측면에서는 바람직하지 않다.
본 발명의 목적은 두께가 0.25 ㎜ 이하인 얇은 Fe-Ni계 합금 박판에 있어서 생산성을 높일 뿐 아니라, 특히 광폭으로 우수한 급준도를 실현하는 것이 가능한 Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명은 전술한 과제를 감안하여 이루어진 것이다.
즉 본 발명은 질량%로 Ni+Co:35.0~43.0%(단, Co는 0~6.0%), Si:0.5% 이하, Mn:1.0% 이하, 잔부는 Fe 및 불순물로 이루어지는 냉간 압연용 소재를 준비하는 공정과, 상기 냉간 압연용 소재에 냉간 압연과 연속 소둔을 1회 이상 반복하는 냉간 압연 공정을 포함하고, 상기 냉간 압연 공정에 있어서의 최종 냉간 마무리 압연을 단위 폭당 압연 하중 150 ㎏f/㎜ 이하, 압연 속도 1.7 m/s 이상, 전방 장력 250~400 ㎫의 조건에서 행하여 두께를 0.25 ㎜ 이하로 하며, 상기 최종 냉간 마무리 압연 후에는 열처리를 행하지 않는 Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법이다.
바람직하게는 상기 최종 냉간 마무리 압연을 단위 폭당 압연 하중 130 ㎏f/㎜ 이하, 압연 속도 3.3 m/s 이상으로 하고, 상기 최종 냉간 마무리 압연 공정 후에 형상 교정 공정을 행하지 않는 Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법이다.
더욱 바람직하게는 상기 냉간 압연 공정에서 사용하는 워크롤(work roll)은 합금 공구강롤인 Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법이다.
전술한 본 발명의 제조법에 의해 상기 두께가 0.25 ㎜ 이하인 Fe-Ni계 합금 박판의 급준도를 상기 Fe-Ni계 합금 박판을 수평 정반(定盤)에 놓은 상태의 부상(浮上) 높이로 평가했을 때 최대 0.75% 이하로 할 수 있다.
본 발명에 의하면 두께가 0.25 ㎜ 이하인 얇은 Fe-Ni계 합금 박판에 있어서 적절한 압연 조건을 설정하는 것과, 종래의 Fe-Ni계 합금 박판을 제조할 때에 행하였던 최종 열처리를 생략함으로써 우수한 급준도를 구비하는 것이 가능하며, 또한 제조 비용 삭감, 생산성의 향상, 에너지 절약 효과를 기대할 수 있다.
아래에 본 발명을 상세히 설명한다.
<재료 조성>
먼저 본 발명에서 규정하는 화학 조성에 대해서 설명한다. 본 발명에서 규정하는 조성을 갖는 Fe-Ni계 합금은 목적하는 열팽창을 얻기 위해 필요한 조성을 갖는 것이다. 또한 조성은 질량%이다.
[Ni+Co:35.0~43.0%(단, Co는 0~6.0%)]
Ni 및 Co는 전술한 바와 같이 목적하는 열팽창계수를 얻기 위해 필요한 원소이다. Ni+Co 함유량이 35.0% 미만에서는 오스테나이트 조직이 불안정해지기 쉬운 한편, 43.0%를 초과하면 열팽창률이 상승하여 저열팽창 특성을 만족시키지 않는 것으로부터, Ni+Co의 함유량은 35.0~43.0%로 한다. 또한 Co는 반드시 첨가할 필요는 없지만 6.0%까지의 범위에서 Ni의 일부를 Co로 치환할 수 있다.
[Si:0.5% 이하, Mn:1.0% 이하]
Si, Mn은 통상 Fe-Ni계 합금에서는 탈산을 목적으로 미량 함유되고 있는데, 과잉으로 첨가하면 편석을 일으키기 쉬워지기 때문에 Si는 0.5% 이하로 하고, Mn은 1.0% 이하로 한다. 또한 Si와 Mn의 하한은 특별히 한정하지 않으나, 전술한 바와 같이 탈산 원소로서 첨가되는 것으로부터 Si는 0.05%, Mn은 0.05%는 적잖이 잔류한다.
[잔부는 Fe 및 불순물]
상기 원소 이외는 실질적으로 Fe면 되는데, 제조상 불가피적으로 함유되는 불순물은 포함된다. 특히 제한이 필요한 불순물 원소로는 C가 있고, 예를 들면 에칭을 행하는 용도로 사용하는 것이라면 그 상한을 0.05%로 하면 된다.
또한 프레스 펀칭성을 향상시키는 경우는 S 등의 쾌삭성 원소를 0.020% 이하로 함유시켜도 된다. 열간 가공성을 향상시키는 B 등의 원소는 0.0050% 이하로 함유시켜도 된다.
<냉간 압연용 소재>
본 발명에서는 열간 압연을 거쳐 냉간 압연용 소재를 준비한다. 열간 압연재에는 산화층이 형성되어 있는 것으로부터, 그 산화층을 예를 들면 기계적 또는 화학적으로 제거하여 냉간 압연용 소재로 한다. 또한 냉간 압연 중의 냉간 압연재의 에지로부터 균열 등의 불량이 발생하지 않도록 에지를 정돈하여 냉간 압연용 소재로 한다. 또한 냉간 압연용 소재의 두께는 2.0~5.0 ㎜ 정도로 하면 된다.
그리고 전술한 냉간 압연용 소재에 냉간 압연과 연속 소둔을 1회 이상 행하여 목적하는 판두께로 하고, 최종 냉간 마무리 압연을 실시한다. 최종 압연 전의 압연률은 50~85%로 하고, 연속 소둔은 850~1,000℃의 가열로 속을 10~60 sec로 통판(通板)하도록 하면 된다. 그리고 최종 냉간 압연을 행하기 전의 단계에서 경도를 120~150 HV로 하여 최종 냉간 마무리 압연을 행하는 것이 바람직하다.
또한 전술한 바와 같이 본 발명에서는 광폭(廣幅)의 Fe-Ni계 합금 박판에 우수한 급준도를 부여할 수 있는 것이다. 본 발명에서 말하는 「광폭」이란, 예를 들면 500~1,500 ㎜의 폭을 가리키는 것으로 한다.
다음으로 최종 냉간 마무리 압연 조건에 대해 상세하게 설명한다.
본 발명에서는 최종 냉간 마무리 압연에서 Fe-Ni계 합금 박판의 두께를 0.25 ㎜ 이하로 한다. 0.25 ㎜ 이하로 하는 것은, 예를 들면 리드 프레임이나 메탈 마스크 용도에 요구되는 두께이기 때문이다. 또한 바람직한 판두께는 0.15 ㎜ 이하이다.
<압연 하중>
본 발명에서는 최종 냉간 마무리 압연에 있어서의 단위 폭당 압연 하중을 150 ㎏f/㎜(약 1,471 N/㎜) 이하로 한다. 압연 가공은 압연롤 양단 지지부에 하중을 가함으로써 압연롤 전체에 하중을 가한다. 그렇기 때문에 압연 하중이 높으면 특히 재료 에지부에서의 압연 하중이 높아져, 에지부의 신장이 높아진다. 또한 압연롤에 가해지는 폭방향의 하중 분포 차도 커져 평탄한 형상을 얻기 어렵다. 그렇기 때문에 최종 냉간 마무리 압연을 비교적 경하중인 150 ㎏f/㎜ 이하로 한다.
또한 0.25 ㎜ 이하의 Fe-Ni계 합금 박판의 경우 압연 하중 자체를 150 ㎏f/㎜ 이하로 낮게 함으로써 재료 에지부에 가해지는 하중을 저감시키는 것은 물론 폭방향의 하중 분포 차도 저감시킬 수 있어, 롤 벤딩 제어 및 레벨링 제어에 의한 형상 제어가 용이해지는 효과를 얻을 수 있다.
압연 하중의 하한값은 특별히 정하지 않지만, 압연 하중이 지나치게 낮으면 판두께가 저감되지 않아 목적하는 판두께를 얻는 압연 자체가 곤란해지기 때문에, 하한은 35 ㎏f/㎜(약 343 N/㎜)로 하는 것이 현실적이다.
<압연 속도>
본 발명에서는 최종 냉간 마무리 압연에 있어서의 압연 속도를 1.7 m/s 이상으로 한다. 압연 속도가 과도하게 낮으면 밀 오일의 말려들어가는 양이 적어져 압연롤과 재료의 접촉 면적 증대에 의해 마찰저항이 증가하여 압연 하중이 높아진다. 또한 생산성의 저하에 의해 비용이 증가한다. 그렇기 때문에 압연 속도는 1.7 m/s 이상으로 한다. 또한 압연 속도의 상한값은 특별히 정하지 않지만, 압연기의 구조로부터 8.3 m/s 이하로 하는 것이 현실적이다.
<압연 장력>
전술한 압연 속도와 함께 압연 장력도 압연 하중에 영향을 끼친다. 특히 전방 장력에 대해 보면, 장력이 높으면 압연 후 판 중앙의 신장이 오히려 커져 형상이 악화될 가능성이 있는 것이나, 또한 압연 장력이 과도하게 높으면 압연 중 재료가 파단될 우려가 있다. 한편, 장력이 지나치게 낮아지면 목적하는 판두께를 얻기 위해 압연 하중을 높이게 된다. 그렇기 때문에 최종 냉간 마무리 압연에 있어서의 압연의 전방 장력은 250~400 ㎫로 한다.
이상 설명하는 본 발명의 최종 냉간 마무리 압연에서 행하는 냉간 마무리 압연의 패스 횟수는 1회로 충분하다. 상기 조건을 조합함으로써 우수한 급준도를 갖는 Fe-Ni계 합금 박판으로 하는 것이 가능하다.
<열처리 생략>
본 발명의 또 하나의 특징은 전술한 최종 냉간 마무리 압연 후에는 연화 소둔이나 응력 제거 소둔과 같은 열처리를 행하지 않는 것에 있다.
일반적으로 재결정 조직으로 정돈하는 연화 소둔이나 재결정 온도 이하에서 열처리를 행하는 응력 제거 소둔을 행하면, 재료 내부에 불안정한 상태로 잔류하고 있는 전이가 안정된 상태가 됨으로써 변형이 저감되지만, 잔류 변형의 개방에 수반하여 형상 변화가 발생한다. 그렇기 때문에 최종 냉간 마무리 압연에서 조정한 형상이 악화될 가능성이 있다. 이 사실로부터 가공에 의해 형성한 우수한 급준도를 유지할 목적으로 열처리를 생략한다.
그리고 상기 열처리의 생략은 제조 비용을 억제하여 저렴한 재료를 제조하는 것은 물론 생산성의 향상, 에너지 절약 효과를 기대할 수 있다. 또한 사용 용도에 따라서는 잔류 변형이 남음으로써 에칭 가공성(에칭 속도)이 향상되는 효과도 기대할 수 있다.
<형상 교정의 생략>
일반적으로 최종 냉간 마무리 압연 후에 보다 우수한 급준도를 얻을 목적으로 텐션 레벨러 등에 의한 형상 교정을 실시한다. 물론 본 발명에 있어서도 우수한 급준도를 얻기 위해 최종 냉간 마무리 압연 이후에 형상 교정을 실시하는 것도 가능하다. 그러나 본 발명에서는 전술한 최종 냉간 마무리 압연에서, 추가로 단위 폭당 압연 하중을 130 ㎏f/㎜(약 1,275 N/㎜) 이하, 압연 속도를 3.3 m/s 이상으로 함으로써 전술한 형상 교정 공정도 생략하는 것이 가능해진다.
압연기는 압연롤에 가해지는 판 폭방향의 하중 분포를 균일하게 할 목적으로 롤 벤딩 제어 및 레벨링 제어 기구를 이용하고 있다. 그러나 압연 하중이 높으면 그 하중 분포 차도 커지고, 하중 분포를 균일하게 하기 위한 롤 벤딩 제어 및 레벨링 제어량도 증대되기 때문에 형상 제어가 곤란해진다. 그렇기 때문에 최종 냉간 마무리 압연에서, 추가로 단위 폭당 압연 하중을 130 ㎏f/㎜ 이하, 압연 속도를 3.3 m/s 이상으로 함으로써 롤 벤딩 제어 및 레벨링 제어에 의한 형상 제어를 보다 용이하게 하고 그 조합을 행함으로써, 형상 교정 공정을 생략하더라도 냉간 압연한 후에 제품 폭으로 했을 때의 급준도를 박판을 수평 정반에 놓은 상태의 부상 높이로 평가하여 0.75% 이하(바람직하게는 0.50% 이하)로 하는 것이 가능하다.
<워크롤>
또한 본 발명의 냉간 압연 공정에서 사용하는 워크롤은 JIS-G4404에 규정되는 조성을 갖는 합금 공구강롤로 하는 것이 바람직하다. 보다 바람직하게는 고속도 공구강 또는 냉간 금형용강으로 한다.
워크롤에는 전술한 합금 공구강롤 외에 초경 롤이 있다. 초경 롤의 경우는 영률이 높고 강성이 있기 때문에 압연기의 롤 벤딩 기구를 사용하더라도 형상 조정이 곤란해지는 경우가 있어, 특히 광폭재로는 적합하지 않다. 그렇기 때문에 광폭재 판 폭방향의 형상 변화가 있었던 경우, 폭방향의 형상 변화를 보다 균일하게 하는 동시에 우수한 급준도를 얻기 쉽게 하는 것이 가능한 합금 공구강의 워크롤을 사용하는 것이 좋다.
또한 특히 최종 냉간 마무리 압연에 사용하는 워크롤의 직경은 60~200 ㎜로 하는 것이 바람직하다. 과도하게 워크롤의 직경이 크면 최종 냉간 마무리 압연 시의 패스 횟수가 증가하여 생산성을 열화(劣化)시킬 우려가 있다. 또한 과도하게 워크롤의 직경이 작으면 최종 냉간 마무리 압연 중 Fe-Ni계 합금의 형상 조정이 곤란해지는 경우가 있다. 그렇기 때문에 워크롤의 직경을 60~200 ㎜로 하는 것이 좋다.
다음으로 전술한 본 발명의 Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법으로 얻어지는 Fe-Ni계 합금 박판에 대해 설명한다.
<급준도>
본 발명에서는 Fe-Ni계 합금 박판을 최종 냉간 마무리 압연한 후, 제품 폭으로 했을 때의 급준도를 박판을 수평 정반에 놓은 상태의 부상 높이로 평가하여 최대 0.75% 이하(바람직하게는 0.50% 이하)로 하는 것이 가능하다.
최근 들어 Fe-Ni계 합금 박판은 생산성의 관점에서 광폭으로 사용되고, 또한 에칭 가공, 프레스 가공, 레이저 가공 등 가공방법의 다양화가 진행되어, 전술한 잔류 변형은 문제시하지 않고 보다 우수한 급준도를 요구하는 사용 용도가 있다. 급준도가 과도하게 높으면(나쁘면), 예를 들면 특히 광폭화한 Fe-Ni계 합금 박판을 사용하여 목적하는 가공을 실시할 때, 라인에서 반송 문제를 발생시키거나, 가공을 실시한 후에 목적하는 패턴을 얻을 수 없거나, 또한 타부재와의 맞붙임이 곤란해지는 등의 문제가 발생한다. 그렇기 때문에 급준도를 0.75% 이하(바람직하게는 0.50% 이하)로 한다. 또한 급준도의 하한은 특별히 한정되지 않지만 완전히 평탄한 형상(급준도 0.00%)인 것이 가장 좋다. 단, 완전히 평탄한 형상을 제조하는 것은 매우 곤란하므로 현실적인 급준도의 하한은 0.01% 정도이다.
이 급준도의 측정은 박판을 일정 길이로 절단하여 수평 정반 위에 놓고 레이저 변위계 등을 사용하여 박판의 부상 높이를 측정한다. 이때, 판 폭 및 판 길이방향에서 일정 길이마다 부상 높이를 매트릭스 형상으로 기록한 데이터로부터 급준도를 산출하면 된다.
실시예
진공 용해, 균열화 열처리, 열간 프레스 및 열간 압연을 행하여 두께 3.0 ㎜의 열간 압연재를 준비하였다. 열간 압연재의 경도를 측정한 바 170~190 HV였다. 열간 압연재의 화학 조성을 표 1에 나타낸다.
그 후, 화학 연마, 기계 연마로 열간 압연재 표면의 산화층을 제거하고, 조(粗)압연을 행하여, 트리밍 가공으로 소재 폭방향의 양단부에 있는 열간 압연 시의 균열을 제거하여 냉간 압연용 소재를 준비하였다.
다음으로 전술한 냉간 압연용 소재에 대해 냉간 압연과 연속 소둔을 반복한 후, 최종 냉간 마무리 압연으로서 본 발명예(No.1~6), 비교예(No.21, 22), 종래예(No.31~33)로 나누어 제조한 결과를 표 2에 나타낸다. 또한 최종 냉간 마무리 압연에 사용한 워크롤은 고속도 공구강을 사용하고, 직경 120 ㎜를 사용하며, 최종 냉간 마무리 압연의 패스 횟수는 본 발명과 비교예는 1회로 하고, 종래예는 복수 회 행하여 최종 두께를 0.1 ㎜로 하였다. 또한 최종 냉간 마무리 압연 전의 경도는 135 HV이고, 폭은 800 ㎜의 광폭재이다.
또한 표 2에 나타내는 급준도의 측정은 3차원 형상 측정기를 사용하여, 700 ㎜ 길이로 절단한 수평 정반 위의 Fe-Ni계 합금 박판 시험편에 측정영역 폭 800 ㎜×길이 700 ㎜의 범위를 레이저 변위계 등을 사용해서 박판의 부상 높이를 측정하였다. 급준도는 일정 길이(폭방향:14 ㎜, 길이방향:8 ㎜)마다 부상 높이를 매트릭스 형상으로 기록한 데이터로부터 산출하였다.
Figure 112016091888027-pat00001
Figure 112016091888027-pat00002
※No.1~6은 본 발명예
※본 발명 No.4~6은 각각 본 발명 No.1-3을 형상 교정한 제품.
※No.21~22는 비교예
※No.22는 비교예 No.21을 형상 교정한 제품.
※응력 제거 소둔은 600~700℃.
※No.31-33은 종래예
※형상 평가:급준도≤0.50%…A, 0.50<급준도<0.75%…B, ≥0.75%…C
※제조 비용 평가-공정 수:마무리 압연만…A, 1공정 추가…B, 2공정 추가…C
※제조 비용 평가-생산성:압연 속도≥3.0 m/s…A, 1.7 m/s≤압연 속도<3.0 m/s…B, 압연 속도<1.7 m/s…C
※종합 평가:S가 가장 평가가 높으며, S→A→B→C의 순으로 평가가 낮아진다.
표 2에 나타내는 결과로부터, 본 발명의 No.1~6은 최종 냉간 마무리 압연 후에 열처리(응력 제거 소둔)를 생략하여 생산성을 높이면서, 우수한 급준도가 얻어져 있는 것을 알 수 있다. 또한 본 발명 No.3은 마무리 압연만으로 우수한 급준도가 얻어졌으며, 형상 교정도 생략 가능한 것도 알 수 있다.
이상의 결과로부터, 본 발명의 제조방법을 적용함으로써 두께가 0.25 ㎜ 이하인 얇은 Fe-Ni계 합금 박판에 있어서 광폭화되어도 우수한 급준도를 구비할 수 있다. 그리고 종래의 Fe-Ni계 합금 박판을 제조할 때에 행하였던 최종 열처리를 생략함으로써 제조 비용 삭감, 생산성 향상, 에너지 절약 효과를 기대할 수 있다.

Claims (4)

  1. 질량%로 Ni+Co:35.0~43.0%(단, Co는0~6.0%), Si:0.05%~0.5%, Mn:0.05%~1.0%, 잔부는 Fe 및 불순물로 이루어지는 냉간 압연용 소재를 준비하는 공정과, 상기 냉간 압연용 소재에 냉간 압연과 연속 소둔을 1회 이상 반복하는 냉간 압연 공정을 포함하고, 상기 냉간 압연 공정에 있어서의 최종 냉간 마무리 압연을 단위 폭당 압연 하중 35~150 ㎏f/㎜, 압연 속도 1.7~8.3 m/s, 전방 장력 250~400 ㎫의 조건에서 행하여 두께를 0.25 ㎜ 이하로 하며, 상기 최종 냉간 마무리 압연 후에는 열처리를 행하지 않고, 수평 정반에 놓은 상태의 부상 높이로 평가한 급준도가 최대 0.75% 이하인 것을 특징으로 하는 Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 최종 냉간 마무리 압연을 단위 폭당 압연 하중 35~130 ㎏f/㎜, 압연 속도 3.3~8.3 m/s로 하고, 상기 최종 냉간 마무리 압연 공정 후에 형상 교정 공정을 행하지 않는 것을 특징으로 하는 Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 냉간 압연 공정에서 사용하는 워크롤은 합금 공구강롤인 것을 특징으로 하는 Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법.
  4. 삭제
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