JP2008223146A - Fe−Ni系合金薄板材の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】特に加熱収縮の問題を解決でき、例えば60mm以上の広い幅であっても優れた平坦性を実現できるリードフレーム用素材やリード用素材等に用いられるFe−Ni系合金薄板条の製造方法を提供する。
【解決手段】冷間圧延と焼鈍を行ない、最終の冷間圧延後にテンションレベラーによる矯正を行い、該テンションレベラーによる矯正の後に連続焼鈍炉による最後の歪取焼鈍を行った後、円形上刃カッターと円形下刃カッターとの協働による条取りスリット加工を行うFe−Ni系合金薄板条の製造方法である。
好ましくは、上記の歪取焼鈍は温度400〜750℃で行い、前述の条取りスリット加工の円形上刃カッターと円形下刃カッター径は、最終の冷間圧延材板厚の750倍以上の直径を有し、円形上刃カッターと円形下刃カッターのオーバーラップ量を最終の冷間圧延材板厚の5〜50%とするのが良い。
【選択図】図1
【解決手段】冷間圧延と焼鈍を行ない、最終の冷間圧延後にテンションレベラーによる矯正を行い、該テンションレベラーによる矯正の後に連続焼鈍炉による最後の歪取焼鈍を行った後、円形上刃カッターと円形下刃カッターとの協働による条取りスリット加工を行うFe−Ni系合金薄板条の製造方法である。
好ましくは、上記の歪取焼鈍は温度400〜750℃で行い、前述の条取りスリット加工の円形上刃カッターと円形下刃カッター径は、最終の冷間圧延材板厚の750倍以上の直径を有し、円形上刃カッターと円形下刃カッターのオーバーラップ量を最終の冷間圧延材板厚の5〜50%とするのが良い。
【選択図】図1
Description
本発明は、リードフレーム用素材やリード用素材等に用いられるFe−Ni系合金薄条の製造方法に関するものである。
例えばFe−Ni系合金薄板製のリードフレームの製造方法は、今日まで種々の提案がなされてきている。このうち、加熱収縮や残留応力に着目した提案として特開平5−109960号公報(特許文献1)や特開平6−145811号公報(特許文献2)等がある。
この特開平5−109960号公報に開示される製造方法は、
(1)Fe−Ni合金、Fe−Ni−Co合金を製品板厚に冷間圧延を行ない、
(2)その後製品幅にスリット加工を行ない、
(3)更に該スリット加工後の歪取焼鈍を施す工程において600〜700℃で1〜3分間加熱する処理を張力5kg/mm2以下(好ましくは2kg/mm2以下)で実施する。
という工程が開示されている。
この特開平5−109960号公報に開示される製造方法は、
(1)Fe−Ni合金、Fe−Ni−Co合金を製品板厚に冷間圧延を行ない、
(2)その後製品幅にスリット加工を行ない、
(3)更に該スリット加工後の歪取焼鈍を施す工程において600〜700℃で1〜3分間加熱する処理を張力5kg/mm2以下(好ましくは2kg/mm2以下)で実施する。
という工程が開示されている。
また、特開平6−145811号に開示される製造方法は、それ以前に行われていた
(1)Fe−Ni合金の板材の熱間圧延を行なう。
(2)次いで、冷間圧延を行なう。
(3)更に、一度軟化焼鈍を行なう。
(4)次に、50%以下の加工度で仕上げ圧延を行なう。
(5)次いで、所定幅に剪断加工(スリット加工)して帯材を製造する。
(6)そして、このスリット加工による歪みを除去するために、600℃以下で歪取り焼鈍を行なう。
という工程に対して、
(1)仕上げ圧延を行ない、
(2)その後スリット加工を行ない、
(3)更に該スリット加工に対して630〜700℃の範囲の十分な歪取り焼鈍を行ない、
(4)その後にレベラー矯正を行なう
という工程が開示されている。
(1)Fe−Ni合金の板材の熱間圧延を行なう。
(2)次いで、冷間圧延を行なう。
(3)更に、一度軟化焼鈍を行なう。
(4)次に、50%以下の加工度で仕上げ圧延を行なう。
(5)次いで、所定幅に剪断加工(スリット加工)して帯材を製造する。
(6)そして、このスリット加工による歪みを除去するために、600℃以下で歪取り焼鈍を行なう。
という工程に対して、
(1)仕上げ圧延を行ない、
(2)その後スリット加工を行ない、
(3)更に該スリット加工に対して630〜700℃の範囲の十分な歪取り焼鈍を行ない、
(4)その後にレベラー矯正を行なう
という工程が開示されている。
上述した通り、従来から行われてきた方法というのは、鋼帯を製品幅にスリットした後に歪取焼鈍を行うものである。この製造方法には次の問題がある。
従来の製造方法の技術思想は、スリット歪および冷間圧延の歪を最後に熱処理で低減しようとするものである。しかしながら、製品幅へのスリット後の熱処理の場合、歪の開放に伴い、うねり状の波打ち変形を生じて平坦度を劣化させる。
また製品幅へのスリット後の材料を多条同時に熱処理を施そうとすれば各条の張力はばらつき、安定した制御は困難で、かつ炉内での材料蛇行により変形や損傷の問題が避けられない。1条づつでの熱処理では張力制御や蛇行の問題は生じないが、大幅に生産性が落ちてしまう。
つまり、従来のようなスリット後の歪取焼鈍では熱処理によりスリット歪を低減することはできても、安定した張力制御による安定した加熱収縮およびリードフレーム材として必要な形状の平坦性を確保できないという最大の欠点がある。
従来の製造方法の技術思想は、スリット歪および冷間圧延の歪を最後に熱処理で低減しようとするものである。しかしながら、製品幅へのスリット後の熱処理の場合、歪の開放に伴い、うねり状の波打ち変形を生じて平坦度を劣化させる。
また製品幅へのスリット後の材料を多条同時に熱処理を施そうとすれば各条の張力はばらつき、安定した制御は困難で、かつ炉内での材料蛇行により変形や損傷の問題が避けられない。1条づつでの熱処理では張力制御や蛇行の問題は生じないが、大幅に生産性が落ちてしまう。
つまり、従来のようなスリット後の歪取焼鈍では熱処理によりスリット歪を低減することはできても、安定した張力制御による安定した加熱収縮およびリードフレーム材として必要な形状の平坦性を確保できないという最大の欠点がある。
特開平6−145811号公報では、この後に平坦性を確保するためにレベラー矯正を行うが、上述のように安定して加熱収縮を抑制できない上に、熱処理により変形した個所のレベラー矯正によって、製品幅へのスリット後の鋼帯では局部的に応力が残留することになり、リードフレームとするための打抜き後やエッチング後に変形を生じるおそれがある。
また、例えばリードフレーム材では従来のような板幅30mm程度以下の狭い幅であれば、若干のうねりが生じたとしても使用に耐えられるが、近年のIC高効率化に伴う広幅化で板幅60mm以上になると平坦度の要求も厳しく、従来の製造方法では平坦度の確保が非常に困難となっている。
本発明の目的は、特に加熱収縮の問題を解決でき、例えば60mm以上の広い幅であっても優れた平坦性を実現できるリードフレーム用素材やリード用素材等に用いられるFe−Ni系合金薄板条の製造方法を提供することである。
また、例えばリードフレーム材では従来のような板幅30mm程度以下の狭い幅であれば、若干のうねりが生じたとしても使用に耐えられるが、近年のIC高効率化に伴う広幅化で板幅60mm以上になると平坦度の要求も厳しく、従来の製造方法では平坦度の確保が非常に困難となっている。
本発明の目的は、特に加熱収縮の問題を解決でき、例えば60mm以上の広い幅であっても優れた平坦性を実現できるリードフレーム用素材やリード用素材等に用いられるFe−Ni系合金薄板条の製造方法を提供することである。
本発明は上述した問題に鑑みてなされたものである。
即ち本発明は、冷間圧延と焼鈍を行ない、最終の冷間圧延後にテンションレベラーによる矯正を行い、該テンションレベラーによる矯正の後に連続焼鈍炉による最後の歪取焼鈍を行った後、円形上刃カッターと円形下刃カッターとの協働による条取りスリット加工を行うFe−Ni系合金薄板条の製造方法である。
更に好ましくは、上記の歪取焼鈍は温度400〜750℃で行うFe−Ni系合金薄板条の製造方法である。
好ましくは、上記連続焼鈍炉による歪取焼鈍は、炉内張力20N/mm2以下で行うFe−Ni系合金薄板条の製造方法である。
また本発明では、条取りスリット加工の円形上刃カッターと円形下刃カッター径は、最終の冷間圧延後のFe−Ni系合金薄板材の板厚の750倍以上の直径を有するものが好ましい。
更に好ましい条取りスリット加工は、円形上刃カッターと円形下刃カッターのオーバーラップ量を最終の冷間圧延後のFe−Ni系合金薄板材の板厚の5〜50%とするFe−Ni系合金薄板条の製造方法である。
即ち本発明は、冷間圧延と焼鈍を行ない、最終の冷間圧延後にテンションレベラーによる矯正を行い、該テンションレベラーによる矯正の後に連続焼鈍炉による最後の歪取焼鈍を行った後、円形上刃カッターと円形下刃カッターとの協働による条取りスリット加工を行うFe−Ni系合金薄板条の製造方法である。
更に好ましくは、上記の歪取焼鈍は温度400〜750℃で行うFe−Ni系合金薄板条の製造方法である。
好ましくは、上記連続焼鈍炉による歪取焼鈍は、炉内張力20N/mm2以下で行うFe−Ni系合金薄板条の製造方法である。
また本発明では、条取りスリット加工の円形上刃カッターと円形下刃カッター径は、最終の冷間圧延後のFe−Ni系合金薄板材の板厚の750倍以上の直径を有するものが好ましい。
更に好ましい条取りスリット加工は、円形上刃カッターと円形下刃カッターのオーバーラップ量を最終の冷間圧延後のFe−Ni系合金薄板材の板厚の5〜50%とするFe−Ni系合金薄板条の製造方法である。
本発明の製造方法を適用すれば、熱収縮の問題をより確実に解決でき、優れた平坦度を有するFe−Ni系合金薄板条を得られることから、微細加工が不可欠なリードフレーム用素材やリード用素材等に用いられるFe−Ni系合金薄板条を容易に得ることができる。
以下に、本発明で規定した限定理由を詳しく説明する。
本発明では冷間圧延と焼鈍を行ない、最終の冷間圧延後にレベラーによる形状矯正を行ない、リードフレーム用素材やリード用素材等に用いられるFe−Ni系合金薄板条の形状を矯正して平坦性を確保した後、連続焼鈍炉による最後の歪取焼鈍を行う。
本発明で言うレベラーとは鋼帯全幅に長さ方向にある程度の引張応力を負荷し鋼帯に発生している長さ差を矯正する設備のことをいい、本発明において実際に用いるレベラーとしては、最終の冷間圧延後のFe−Ni系合金薄板材の厚さを考慮するとテンションレベラーを用いる。ベンディングとテンションとを組合わせたレベラーであっても良い。張力は50〜500N/mm2の範囲であれば良い。
また歪取焼鈍については、本発明の製造方法においては製品幅への条取りするスリット前であるため、例えば300mm〜1200mmといった広い幅のFe−Ni系合金薄板材に対して連続焼鈍炉による歪取焼鈍が行える。これにより、自重のみがFe−Ni系合金薄板材の鋼帯全幅に負荷されるため、狭い幅の鋼帯を多条同時通板する場合と比較し容易に張力の調整を行うことができる。
そのため、従来のようにFe−Ni系合金薄板条に部分的に熱収縮の変動が生じるのを抑制でき安定した熱収縮特性が得られるのである。また、Fe−Ni系合金薄板条を多条同時通板する場合と比較し、容易に材料蛇行の制御も行うことができ、変形、損傷のポテンシャルも無くすことができる。
本発明では冷間圧延と焼鈍を行ない、最終の冷間圧延後にレベラーによる形状矯正を行ない、リードフレーム用素材やリード用素材等に用いられるFe−Ni系合金薄板条の形状を矯正して平坦性を確保した後、連続焼鈍炉による最後の歪取焼鈍を行う。
本発明で言うレベラーとは鋼帯全幅に長さ方向にある程度の引張応力を負荷し鋼帯に発生している長さ差を矯正する設備のことをいい、本発明において実際に用いるレベラーとしては、最終の冷間圧延後のFe−Ni系合金薄板材の厚さを考慮するとテンションレベラーを用いる。ベンディングとテンションとを組合わせたレベラーであっても良い。張力は50〜500N/mm2の範囲であれば良い。
また歪取焼鈍については、本発明の製造方法においては製品幅への条取りするスリット前であるため、例えば300mm〜1200mmといった広い幅のFe−Ni系合金薄板材に対して連続焼鈍炉による歪取焼鈍が行える。これにより、自重のみがFe−Ni系合金薄板材の鋼帯全幅に負荷されるため、狭い幅の鋼帯を多条同時通板する場合と比較し容易に張力の調整を行うことができる。
そのため、従来のようにFe−Ni系合金薄板条に部分的に熱収縮の変動が生じるのを抑制でき安定した熱収縮特性が得られるのである。また、Fe−Ni系合金薄板条を多条同時通板する場合と比較し、容易に材料蛇行の制御も行うことができ、変形、損傷のポテンシャルも無くすことができる。
なお、本発明で用いる代表的な連続焼鈍炉には竪型、横型のものがあるが、何れにおいても張力の調整が行えて、生産効率を高められるという利点が得られる。
この時に、特に竪型の連続焼鈍炉を用いた場合では、鋼帯の長手方向が上下となるため、鋼帯の弛みを抑制することができ、より一層安定した熱収縮特性が得られる。
この時に、特に竪型の連続焼鈍炉を用いた場合では、鋼帯の長手方向が上下となるため、鋼帯の弛みを抑制することができ、より一層安定した熱収縮特性が得られる。
上記の歪取焼鈍において炉内張力を20N/mm2以下とするのが好ましい。この範囲であればプレス打抜加工で用いる中間熱処理時または半導体パッケージ製造中に受ける加熱時に生じる熱収縮を低く抑え、寸法変動による不具合を防止できる。といった効果をより確実に得ることができる。
炉内張力が20N/mm2を超えると、例えばプレス打抜加工で中間熱処理時を行うと熱収縮が大きくなり、寸法変動による不具合が発生し易くなるため炉内張力を20N/mm2以下と規定した。
なお、下限については用いる連続焼鈍炉が竪型炉であるか横型炉であるかによっても若干の違いが有り、例えば竪型炉であれば特別に張力を加えることなく、自重で垂れた状態でも良いが、作業の安定性を考慮すると竪型炉、横型炉共に0.5N/mm2を下限とすれば良く、好ましくは1〜15N/mm2の範囲であれば上記の効果をより確実に得ることができる。
炉内張力が20N/mm2を超えると、例えばプレス打抜加工で中間熱処理時を行うと熱収縮が大きくなり、寸法変動による不具合が発生し易くなるため炉内張力を20N/mm2以下と規定した。
なお、下限については用いる連続焼鈍炉が竪型炉であるか横型炉であるかによっても若干の違いが有り、例えば竪型炉であれば特別に張力を加えることなく、自重で垂れた状態でも良いが、作業の安定性を考慮すると竪型炉、横型炉共に0.5N/mm2を下限とすれば良く、好ましくは1〜15N/mm2の範囲であれば上記の効果をより確実に得ることができる。
上記の歪取焼鈍は温度400〜750℃で行うことが好ましい。
この温度の範囲であれば冷間圧延及び形状矯正時に導入された歪みの緩和という効果が得られる。好ましい温度範囲は500〜700℃の範囲である。なお、処理時間は特に規定はしないが10〜120秒であれば良い。
また、この時の雰囲気としては露点−70〜−5℃の還元性雰囲気中で行っても、或いは窒素等の不活性ガス雰囲気中で行っても良い。何れの雰囲気とするかは、求められる特性に応じて選択すればよく、例えば主として耐食性を向上させることが重要である場合、不活性ガス雰囲気中で行う方が有利であり、還元性雰囲気の場合は主として表面酸化抑制という効果を付与することができたりする。
この温度の範囲であれば冷間圧延及び形状矯正時に導入された歪みの緩和という効果が得られる。好ましい温度範囲は500〜700℃の範囲である。なお、処理時間は特に規定はしないが10〜120秒であれば良い。
また、この時の雰囲気としては露点−70〜−5℃の還元性雰囲気中で行っても、或いは窒素等の不活性ガス雰囲気中で行っても良い。何れの雰囲気とするかは、求められる特性に応じて選択すればよく、例えば主として耐食性を向上させることが重要である場合、不活性ガス雰囲気中で行う方が有利であり、還元性雰囲気の場合は主として表面酸化抑制という効果を付与することができたりする。
本発明においては上記の歪取焼鈍を行った後、円形上刃カッターと円形下刃カッターとの協働によって例えば製品幅に条取りスリット加工を行う。
本発明においては、条取りスリット加工前に平坦度と熱収縮特性の両方を実現させているため、この条取りスリット加工において過度に歪を与えないことが望ましく、低歪で条取りスリットができる方法として、本発明では円形上刃カッターと円形下刃カッターとの協働によりスリットする。
スリット加工する円形上刃カッターと円形下刃カッターのそれぞれのカッター径は最終の冷間圧延材板厚の750倍以上の直径であることが好ましい。これは、板厚の750倍未満の直径のカッター径の場合、せん断角度が大きくなり条取りスリット時の残留歪みが増大する場合があるからである。
そのため、本発明ではスリット歪を大きく軽減させるために円形上刃カッター径と円形下刃カッター径は最終の冷間圧延材板厚の750倍以上の直径とした。好ましくは900倍以上が良い。
なお、この時、更にスリット歪を軽減させるために円形上刃カッターと円形下刃カッターのオーバーラップ量は最終の冷間圧延材板厚の5〜50%とするとよい。オーバーラップ量を大きくするとせん断角度が大きくなりスリット時の残留歪が増大する。オーバーラップ量が小さすぎると切断しきれなくなり、スリット不良になるからである。
本発明においては、条取りスリット加工前に平坦度と熱収縮特性の両方を実現させているため、この条取りスリット加工において過度に歪を与えないことが望ましく、低歪で条取りスリットができる方法として、本発明では円形上刃カッターと円形下刃カッターとの協働によりスリットする。
スリット加工する円形上刃カッターと円形下刃カッターのそれぞれのカッター径は最終の冷間圧延材板厚の750倍以上の直径であることが好ましい。これは、板厚の750倍未満の直径のカッター径の場合、せん断角度が大きくなり条取りスリット時の残留歪みが増大する場合があるからである。
そのため、本発明ではスリット歪を大きく軽減させるために円形上刃カッター径と円形下刃カッター径は最終の冷間圧延材板厚の750倍以上の直径とした。好ましくは900倍以上が良い。
なお、この時、更にスリット歪を軽減させるために円形上刃カッターと円形下刃カッターのオーバーラップ量は最終の冷間圧延材板厚の5〜50%とするとよい。オーバーラップ量を大きくするとせん断角度が大きくなりスリット時の残留歪が増大する。オーバーラップ量が小さすぎると切断しきれなくなり、スリット不良になるからである。
なお、本発明で言うFe−Ni系合金とは、FeとNiとが主成分となるものを言い、代表的な組成は、質量%でNi含有量が27〜52質量%−残部が実質的にFeの合金、または更にCrを7%以下含んだ合金、前記のNiを20%以下のCoで置換した合金等、FeとNiとを主成分とする合金を指す。
このうち、好ましくはFeとNiとでなる合金であり、以下に好ましい元素の範囲とその理由を説明する。
C:0.1%以下
Cはエッチングに供される場合のあるFe−Ni系合金薄板材において、エッチング性を劣化させる元素である。そのため、Cの上限を0.1%以下とした。好ましいCの上限は0.3%である。
Si:1.0%以下、Mn:1.2%以下
Si、Mnは通常Fe−Ni系合金では、脱酸を目的に微量含有されているが、過剰に添加すれば偏析を起こし易くなるため、Si:1.0%以下、Mn:1.2%以下とした。
このうち、好ましくはFeとNiとでなる合金であり、以下に好ましい元素の範囲とその理由を説明する。
C:0.1%以下
Cはエッチングに供される場合のあるFe−Ni系合金薄板材において、エッチング性を劣化させる元素である。そのため、Cの上限を0.1%以下とした。好ましいCの上限は0.3%である。
Si:1.0%以下、Mn:1.2%以下
Si、Mnは通常Fe−Ni系合金では、脱酸を目的に微量含有されているが、過剰に添加すれば偏析を起こし易くなるため、Si:1.0%以下、Mn:1.2%以下とした。
Ni:30〜50%
NiはFe−Ni系合金薄板条を例えばリードフレームとして用いる場合の熱膨張係数を調整する作用を有し、低熱膨張特性に大きな影響を及ぼす元素である。含有量が30%より少なく、または50%を越えるものでは熱膨張係数を低める効果がなくなるため、Niの範囲は30〜50%とする。好ましくは40〜45%である。
残部
上記の元素以外は実質的にFeであれば良いが、製造上不可避的に含有する不純物は含まれる。また、プレス打抜き性を向上させる場合はS等の快削性元素を0.005%〜0.020%含有させても良い。なお、0.005%未満の範囲であってもプレス打抜き性は改善させる。熱間加工性を向上させるようなB等の元素を0.0005〜0.0050%含有させても良い。
NiはFe−Ni系合金薄板条を例えばリードフレームとして用いる場合の熱膨張係数を調整する作用を有し、低熱膨張特性に大きな影響を及ぼす元素である。含有量が30%より少なく、または50%を越えるものでは熱膨張係数を低める効果がなくなるため、Niの範囲は30〜50%とする。好ましくは40〜45%である。
残部
上記の元素以外は実質的にFeであれば良いが、製造上不可避的に含有する不純物は含まれる。また、プレス打抜き性を向上させる場合はS等の快削性元素を0.005%〜0.020%含有させても良い。なお、0.005%未満の範囲であってもプレス打抜き性は改善させる。熱間加工性を向上させるようなB等の元素を0.0005〜0.0050%含有させても良い。
以下の実施例で本発明を更に詳しく説明する。
真空溶解、鍛造、熱間圧延を行い、リードフレーム用に用いる冷間圧延用のFe−Ni系合金薄板材を作製した。次に、この冷間圧延用のFe−Ni系合金薄板材に対して、還元性雰囲気中で焼鈍と冷間圧延を繰返して、最終の冷間圧延後の厚さが0.125mm、幅700mmのFe−Ni系合金薄板材を作製した。なお、焼鈍温度は950℃とし、最終の冷間圧延は圧下率25%とし、レベラーはテンションレベラーとして張力200〜400N/mm2の範囲で行った。
更に、上述の最終の冷間圧延後のFe−Ni系合金薄板材を用いて本発明方法と従来方法にてリードフレーム材用のFe−Ni系合金薄板条に仕上げた。条取りスリット加工は、円形上刃カッターと円形下刃カッターとの協働により行い、スリットの幅は全て100mmとした。
なお、比較例については条取りスリット後の焼鈍となる。工程No.7及びNo.8については3条同時の歪取焼鈍とし、工程No.9は1条ずつの焼鈍とした。
化学組成を表1に、製造条件を表2に示す。
真空溶解、鍛造、熱間圧延を行い、リードフレーム用に用いる冷間圧延用のFe−Ni系合金薄板材を作製した。次に、この冷間圧延用のFe−Ni系合金薄板材に対して、還元性雰囲気中で焼鈍と冷間圧延を繰返して、最終の冷間圧延後の厚さが0.125mm、幅700mmのFe−Ni系合金薄板材を作製した。なお、焼鈍温度は950℃とし、最終の冷間圧延は圧下率25%とし、レベラーはテンションレベラーとして張力200〜400N/mm2の範囲で行った。
更に、上述の最終の冷間圧延後のFe−Ni系合金薄板材を用いて本発明方法と従来方法にてリードフレーム材用のFe−Ni系合金薄板条に仕上げた。条取りスリット加工は、円形上刃カッターと円形下刃カッターとの協働により行い、スリットの幅は全て100mmとした。
なお、比較例については条取りスリット後の焼鈍となる。工程No.7及びNo.8については3条同時の歪取焼鈍とし、工程No.9は1条ずつの焼鈍とした。
化学組成を表1に、製造条件を表2に示す。
各製造条件で製造した条取りスリット後のリードフレーム材用のFe−Ni系合金薄板条の加熱収縮量の評価を実施した。
加熱収縮量の評価は、圧延方向に180mmの距離の標点を打ち工具顕微鏡で距離を測定。サンプルを650℃×10分(水素中)加熱後、標点を再度工具顕微鏡で測定し、収縮量を求めて加熱前の標点距離で割って100を乗じた値として示した。
スリット歪量は、図1に示すようにリードフレーム材用のFe−Ni系合金薄板条(1)のスリットエッジ(2)から1.5mmの幅にワイヤーカットで切り込み(4)を入れ、カット後のFe−Ni系合金薄板条(1)を定盤(3)上に置いて先端の浮上りをスケールにて測定した。
平坦度の評価は500mm長さに切断後、定盤上に置きレーザー距離センサーで最大浮上量(mm)を測定した。
これらの測定は条取した6本のリードフレーム材用のFe−Ni系合金薄板条を測定した。測定結果を表3に示す。
加熱収縮量の評価は、圧延方向に180mmの距離の標点を打ち工具顕微鏡で距離を測定。サンプルを650℃×10分(水素中)加熱後、標点を再度工具顕微鏡で測定し、収縮量を求めて加熱前の標点距離で割って100を乗じた値として示した。
スリット歪量は、図1に示すようにリードフレーム材用のFe−Ni系合金薄板条(1)のスリットエッジ(2)から1.5mmの幅にワイヤーカットで切り込み(4)を入れ、カット後のFe−Ni系合金薄板条(1)を定盤(3)上に置いて先端の浮上りをスケールにて測定した。
平坦度の評価は500mm長さに切断後、定盤上に置きレーザー距離センサーで最大浮上量(mm)を測定した。
これらの測定は条取した6本のリードフレーム材用のFe−Ni系合金薄板条を測定した。測定結果を表3に示す。
表3に示すように、本発明の製造方法での歪取焼鈍条件で実施したリードフレーム材用のFe−Ni系合金薄板条は加熱収縮量が0.03%以下と小さいものになっている。
比較例のスリット後の歪取焼鈍ではNo.7で収縮が高くなっている。これは歪取焼鈍時張力も高く、レベラーにより再び歪が導入されるためである。
No.8では加熱収縮量が0.03%以下のものもあるがロット間のバラツキが大きくなっている。これは多条同時通板のために張力制御が各条独立して制御ができないからである。
No.9では歪取焼鈍で1条づつ通板しているのでロット間のバラツキは比較的少ないが、スリット後の歪取焼鈍のため歪が開放されて平坦度が悪くなっている。
またスリット歪の測定においても本発明の製造方法でのスリット条件で実施したリードフレーム材用のFe−Ni系合金薄板条はスリット歪量が15mm以下と小さくなっている。
平坦度に関しては本発明方法によれば100mmの幅に対して平坦度0.2mm以下を実現しているが、比較例では平坦度が0.27〜0.58mmの浮上りとなっている。これはスリット後の熱処理のために各条で歪が開放される際に周囲の拘束がないので容易にうねり形状が発生するものである。特に今回の板幅100mmのような広幅材においては平坦度は顕著な差が現れる。
比較例のスリット後の歪取焼鈍ではNo.7で収縮が高くなっている。これは歪取焼鈍時張力も高く、レベラーにより再び歪が導入されるためである。
No.8では加熱収縮量が0.03%以下のものもあるがロット間のバラツキが大きくなっている。これは多条同時通板のために張力制御が各条独立して制御ができないからである。
No.9では歪取焼鈍で1条づつ通板しているのでロット間のバラツキは比較的少ないが、スリット後の歪取焼鈍のため歪が開放されて平坦度が悪くなっている。
またスリット歪の測定においても本発明の製造方法でのスリット条件で実施したリードフレーム材用のFe−Ni系合金薄板条はスリット歪量が15mm以下と小さくなっている。
平坦度に関しては本発明方法によれば100mmの幅に対して平坦度0.2mm以下を実現しているが、比較例では平坦度が0.27〜0.58mmの浮上りとなっている。これはスリット後の熱処理のために各条で歪が開放される際に周囲の拘束がないので容易にうねり形状が発生するものである。特に今回の板幅100mmのような広幅材においては平坦度は顕著な差が現れる。
本発明は低加熱収縮と低スリット歪の特性に優れているため、微細加工が不可欠な条取したFe−Ni系合金薄板条を用いる用途に適用できる。
1.Fe−Ni系合金薄板条
2.スリットエッジ
3.定盤
4.切り込み
2.スリットエッジ
3.定盤
4.切り込み
Claims (5)
- 冷間圧延と焼鈍を行ない、最終の冷間圧延後にテンションレベラーによる矯正を行い、該テンションレベラーによる矯正の後に連続焼鈍炉による最後の歪取焼鈍を行った後、円形上刃カッターと円形下刃カッターとの協働による条取りスリット加工を行うことを特徴とするFe−Ni系合金薄板条の製造方法。
- 連続焼鈍炉による歪取焼鈍は、炉内張力20N/mm2以下で行うことを特徴とする請求項1に記載のFe−Ni系合金薄板条の製造方法。
- 歪取焼鈍は温度400〜750℃で行うことを特徴とする請求項1または2に記載のFe−Ni系合金薄板条の製造方法。
- 条取りスリット加工の円形上刃カッターと円形下刃カッター径は、最終の冷間圧延後のFe−Ni系合金薄板材の板厚の750倍以上の直径を有することを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載のFe−Ni系合金薄板条の製造方法。
- 条取りスリット加工は、円形上刃カッターと円形下刃カッターのオーバーラップ量を最終の冷間圧延後のFe−Ni系合金薄板材の板厚の5〜50%とすることを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載のFe−Ni系合金薄板条の製造方法。
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-
2008
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