JPH06172928A - エッチング性に優れるリードフレーム材料およびその製造方法 - Google Patents
エッチング性に優れるリードフレーム材料およびその製造方法Info
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- JPH06172928A JPH06172928A JP35206292A JP35206292A JPH06172928A JP H06172928 A JPH06172928 A JP H06172928A JP 35206292 A JP35206292 A JP 35206292A JP 35206292 A JP35206292 A JP 35206292A JP H06172928 A JPH06172928 A JP H06172928A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 良好なエッチング性を有するリードフレーム
材料およびその製造方法の提供。 【構成】 重量％でNi 30〜60%を含有するＦｅ−Ｎｉ系
合金でなるリードフレーム材料であり、板幅方向に垂直
な断面内での検鏡で繊維状の圧延組織を有し、かつ圧延
面の{100}方位集積度が50%以上であることを特徴とする
エッチング性に優れるリードフレーム材料、およびＦｅ
−Ｎｉ系合金を熱間加工後、85%以上の冷間圧延と700℃
以上の焼鈍をこの順にそれぞれ少なくとも一回行ない、
その後前記冷間圧延率を越えない圧延率の冷間圧延と85
0℃を越えない温度の焼鈍を行なうことを特徴とするエ
ッチング性に優れるリードフレーム材料の製造方法であ
る。
材料およびその製造方法の提供。 【構成】 重量％でNi 30〜60%を含有するＦｅ−Ｎｉ系
合金でなるリードフレーム材料であり、板幅方向に垂直
な断面内での検鏡で繊維状の圧延組織を有し、かつ圧延
面の{100}方位集積度が50%以上であることを特徴とする
エッチング性に優れるリードフレーム材料、およびＦｅ
−Ｎｉ系合金を熱間加工後、85%以上の冷間圧延と700℃
以上の焼鈍をこの順にそれぞれ少なくとも一回行ない、
その後前記冷間圧延率を越えない圧延率の冷間圧延と85
0℃を越えない温度の焼鈍を行なうことを特徴とするエ
ッチング性に優れるリードフレーム材料の製造方法であ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リードフレーム用Ｆｅ
−Ｎｉ系合金に関し、特に優れたエッチング性を有する
リードフレーム材料およびその製造方法に関するもので
ある。
−Ｎｉ系合金に関し、特に優れたエッチング性を有する
リードフレーム材料およびその製造方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来からＩＣリードフレーム用材料とし
て、Ｆｅ−42%Ｎｉ、Ｆｅ−50%Ｎｉ等のＦｅ−Ｎｉ系合
金が、その低熱膨張性から使用されている。近年、ＩＣ
の高集積化に伴い、リードは、従来の64ピンから160ピ
ン、さらには240ピン以上へと多ピン化している。これ
に伴い、リードの間隔が非常に狭くなり、従来よりさら
にエッチング加工性、特に高エッチングファクタのリー
ドフレーム材料の要求が高まっている。従来、エッチン
グ加工性を改善するリードフレーム材料として、特開平
２−２７０９４１号や特開平２−２８５０５４号等のよ
うに、組成的な改善として、Ｃ，Ｏ，Ｎ等の不純物元素
を低減させたり、組織的な改善として、結晶方位や結晶
粒度を小さく特定することにより、エッチング性を向上
させることが提案されている。
て、Ｆｅ−42%Ｎｉ、Ｆｅ−50%Ｎｉ等のＦｅ−Ｎｉ系合
金が、その低熱膨張性から使用されている。近年、ＩＣ
の高集積化に伴い、リードは、従来の64ピンから160ピ
ン、さらには240ピン以上へと多ピン化している。これ
に伴い、リードの間隔が非常に狭くなり、従来よりさら
にエッチング加工性、特に高エッチングファクタのリー
ドフレーム材料の要求が高まっている。従来、エッチン
グ加工性を改善するリードフレーム材料として、特開平
２−２７０９４１号や特開平２−２８５０５４号等のよ
うに、組成的な改善として、Ｃ，Ｏ，Ｎ等の不純物元素
を低減させたり、組織的な改善として、結晶方位や結晶
粒度を小さく特定することにより、エッチング性を向上
させることが提案されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記の特開平２−２７
０９４１号や特開平２−２８５０５４号のように、結晶
粒度あるいは結晶方位を規定して、微細で均一なエッチ
ング性を得る提案があるが、従来の方法によるものは、
組織最適化のために繁雑な冷間加工、焼鈍工程上の調整
が必要であり、また、超多ピン加工が要求されている分
野では、未だエッチング加工性、特に、エッチングファ
クタ（図６で示すＤ／Ｓ）が小さいため、インナーリー
ドが細くなり、また、ワイヤボンディングする部分の面
積が得られなくなったり、リードフレームの寸法形状規
格を満足できない等の問題があった。本発明は以上の点
に関し、超多ピンリードフレームへの均一微細な精密エ
ッチング加工が十分可能なエッチング性に優れるリード
フレーム材料およびその製造方法を提供することを目的
とする。
０９４１号や特開平２−２８５０５４号のように、結晶
粒度あるいは結晶方位を規定して、微細で均一なエッチ
ング性を得る提案があるが、従来の方法によるものは、
組織最適化のために繁雑な冷間加工、焼鈍工程上の調整
が必要であり、また、超多ピン加工が要求されている分
野では、未だエッチング加工性、特に、エッチングファ
クタ（図６で示すＤ／Ｓ）が小さいため、インナーリー
ドが細くなり、また、ワイヤボンディングする部分の面
積が得られなくなったり、リードフレームの寸法形状規
格を満足できない等の問題があった。本発明は以上の点
に関し、超多ピンリードフレームへの均一微細な精密エ
ッチング加工が十分可能なエッチング性に優れるリード
フレーム材料およびその製造方法を提供することを目的
とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】従来のＦｅ−Ｎｉ系リー
ドフレーム材料は、再結晶組織を有しており、結晶粒単
位でのエッチングが進行するため、サイドエッチング量
が多く、リードの狭ピッチ化の要求に対して問題があっ
た。本発明は、以上の観点からエッチング加工性の向上
を目的に、組織および結晶方位とエッチング性の関係に
ついて研究した結果、特定結晶方位で、かつ明瞭な結晶
粒界をもたない繊維状の圧延組織とすることにより、エ
ッチング性を著しく改善できることを見出したことに基
づくものである。
ドフレーム材料は、再結晶組織を有しており、結晶粒単
位でのエッチングが進行するため、サイドエッチング量
が多く、リードの狭ピッチ化の要求に対して問題があっ
た。本発明は、以上の観点からエッチング加工性の向上
を目的に、組織および結晶方位とエッチング性の関係に
ついて研究した結果、特定結晶方位で、かつ明瞭な結晶
粒界をもたない繊維状の圧延組織とすることにより、エ
ッチング性を著しく改善できることを見出したことに基
づくものである。
【０００５】すなわち、本発明の第１発明は、重量％で
Ni 30〜60%を含有するＦｅ−Ｎｉ系合金でなるリードフ
レーム材料であり、板幅方向に垂直な断面内での検鏡で
繊維状の圧延組織を有し、かつ圧延面の{100}方位集積
度が50%以上であることを特徴とするエッチング性に優
れるリードフレーム材料であり、このうち、望ましく
は、非繊維状の組織を面積率で50%以下とするものであ
る。また、本発明の第２発明は、Ｆｅ−Ｎｉ系合金を熱
間加工後、85%以上の冷間圧延と700℃以上の焼鈍をこの
順にそれぞれ少なくとも一回行ない、その後前記冷間圧
延率を越えない圧延率の冷間圧延と850℃を越えない温
度の焼鈍を行なうことを特徴とするエッチング性に優れ
るリードフレーム材料の製造方法である。
Ni 30〜60%を含有するＦｅ−Ｎｉ系合金でなるリードフ
レーム材料であり、板幅方向に垂直な断面内での検鏡で
繊維状の圧延組織を有し、かつ圧延面の{100}方位集積
度が50%以上であることを特徴とするエッチング性に優
れるリードフレーム材料であり、このうち、望ましく
は、非繊維状の組織を面積率で50%以下とするものであ
る。また、本発明の第２発明は、Ｆｅ−Ｎｉ系合金を熱
間加工後、85%以上の冷間圧延と700℃以上の焼鈍をこの
順にそれぞれ少なくとも一回行ない、その後前記冷間圧
延率を越えない圧延率の冷間圧延と850℃を越えない温
度の焼鈍を行なうことを特徴とするエッチング性に優れ
るリードフレーム材料の製造方法である。
【０００６】次に繊維状組織および非繊維状組織および
そのエッチングに及ぼす影響について述べる。図１およ
び図２に、本発明材料(a)と従来の再結晶組織を有する
リードフレーム材料(b)について、それぞれミクロ組織
およびエッチング面の状況を示す。ミクロ組織はいずれ
も幅方向に垂直な断面を塩化第二銅を飽和させた王水で
腐食(約10秒)した後、400倍の顕微鏡で観察したもので
ある。本発明材料は、板幅方向に垂直な断面内の前記条
件下での検鏡で、図１ａのように繊維状の圧延組織を有
し、比較材料ｂのような明瞭な結晶粒界が認め難いこと
が特徴である。このことは、板の長さ方向に垂直な断面
内でも程度の差は同様である。したがって、本発明材料
は、エッチングにより除去されたリード部間のギャップ
部分が、板幅に平行または直角のいずれの場合にも、比
較材料(b)で問題となる結晶粒の影響によるエッチング
面の凹凸が大幅に小さくなり、エッチング面の形状が極
めて良好となることがわかり、このことは図２の比較か
らも明瞭にわかる。さらに本発明は、圧延面の{100}方
位集積度を高率に規定してエッチング速度を向上させた
ものである。
そのエッチングに及ぼす影響について述べる。図１およ
び図２に、本発明材料(a)と従来の再結晶組織を有する
リードフレーム材料(b)について、それぞれミクロ組織
およびエッチング面の状況を示す。ミクロ組織はいずれ
も幅方向に垂直な断面を塩化第二銅を飽和させた王水で
腐食(約10秒)した後、400倍の顕微鏡で観察したもので
ある。本発明材料は、板幅方向に垂直な断面内の前記条
件下での検鏡で、図１ａのように繊維状の圧延組織を有
し、比較材料ｂのような明瞭な結晶粒界が認め難いこと
が特徴である。このことは、板の長さ方向に垂直な断面
内でも程度の差は同様である。したがって、本発明材料
は、エッチングにより除去されたリード部間のギャップ
部分が、板幅に平行または直角のいずれの場合にも、比
較材料(b)で問題となる結晶粒の影響によるエッチング
面の凹凸が大幅に小さくなり、エッチング面の形状が極
めて良好となることがわかり、このことは図２の比較か
らも明瞭にわかる。さらに本発明は、圧延面の{100}方
位集積度を高率に規定してエッチング速度を向上させた
ものである。
【０００７】非繊維状組織とは、板幅方向に垂直な断面
内において、図３ａ，ｂ示すように繊維状のマトリック
ス内に島状等に生成された組織を言い、これらは図１ｂ
に示されたようなオーステナイトに通常見られる多角形
状の再結晶組織とは、形状をやや異にするものである。
なお、非繊維状組織の比率は、次式により求める。非繊
維状組織の比率＝(単位面積内の非繊維状組織の断面積
／単位面積)×100%なお、本発明においてＦｅ−Ｎｉ系
合金とは、Ｎi 30〜60%を含み、残部は不純物を除い
て、実質的にＦeからなる合金のみならず、エッチング
性を劣化させない範囲で材料の強化や熱間加工性の改
善、または介在物の形態制御などの目的で添加されるＮ
ｂ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｍｏ，Ｖ，Ｗ，ＢｅやＢ，Ｃａ，Ｍｇ
等を単独または複合添加したものを含むものである。
内において、図３ａ，ｂ示すように繊維状のマトリック
ス内に島状等に生成された組織を言い、これらは図１ｂ
に示されたようなオーステナイトに通常見られる多角形
状の再結晶組織とは、形状をやや異にするものである。
なお、非繊維状組織の比率は、次式により求める。非繊
維状組織の比率＝(単位面積内の非繊維状組織の断面積
／単位面積)×100%なお、本発明においてＦｅ−Ｎｉ系
合金とは、Ｎi 30〜60%を含み、残部は不純物を除い
て、実質的にＦeからなる合金のみならず、エッチング
性を劣化させない範囲で材料の強化や熱間加工性の改
善、または介在物の形態制御などの目的で添加されるＮ
ｂ，Ｔｉ，Ｚｒ，Ｍｏ，Ｖ，Ｗ，ＢｅやＢ，Ｃａ，Ｍｇ
等を単独または複合添加したものを含むものである。
【０００８】
【作用】まず、本発明の数値限定理由を述べる。Ni含有
量が、30％未満ではオーステナイト組織が不安定とな
り、一方60％を越えると熱膨張率が上昇し、本来の低熱
膨張特性を満足しないことから、Ni量は30〜60％に限定
する。圧延面の{100}方位集積度が50％未満では、エッ
チング速度が低くなり、かつ、サイドエッチング量が多
くなるため、{100}方位集積度は50％以上に限定する。
板幅方向に垂直な断面内での検鏡で非繊維状組織が50%
を越えると、非繊維状組織部分と繊維状組織(圧延組織)
部分とのエッチング速度差による凹凸が発生することに
より、著しくエッチング性が低下するため、非繊維状組
織は50%以下とすることが望ましい。さらに望ましくは3
0%以下である。
量が、30％未満ではオーステナイト組織が不安定とな
り、一方60％を越えると熱膨張率が上昇し、本来の低熱
膨張特性を満足しないことから、Ni量は30〜60％に限定
する。圧延面の{100}方位集積度が50％未満では、エッ
チング速度が低くなり、かつ、サイドエッチング量が多
くなるため、{100}方位集積度は50％以上に限定する。
板幅方向に垂直な断面内での検鏡で非繊維状組織が50%
を越えると、非繊維状組織部分と繊維状組織(圧延組織)
部分とのエッチング速度差による凹凸が発生することに
より、著しくエッチング性が低下するため、非繊維状組
織は50%以下とすることが望ましい。さらに望ましくは3
0%以下である。
【０００９】冷間圧延されたＦｅ−Ｎｉ系合金は、一般
に再結晶過程で、立方体組織（各{100}面が板厚方向、
圧延方向および板幅方向に平行な配置）を形成するが、
冷間圧延率が85%未満あるいはその後の焼鈍が700℃未満
では十分な立方体組織が得られず、また、85%以上の冷
間圧延率およびその後700℃以上の温度で形成された立
方体組織は、比較的安定で再結晶し難いことがわかっ
た。本発明は、この点を利用するものである。
に再結晶過程で、立方体組織（各{100}面が板厚方向、
圧延方向および板幅方向に平行な配置）を形成するが、
冷間圧延率が85%未満あるいはその後の焼鈍が700℃未満
では十分な立方体組織が得られず、また、85%以上の冷
間圧延率およびその後700℃以上の温度で形成された立
方体組織は、比較的安定で再結晶し難いことがわかっ
た。本発明は、この点を利用するものである。
【００１０】本発明の製造方法において、仕上圧延前ま
での過程で最低一回は、十分に再結晶させ立方体組織を
得ることが最適な繊維状の圧延組織を得る点で非常に重
要である。図４および図５は、それぞれ図中に示した条
件による圧延と焼鈍で調整した十分に立方体組織が発達
した本発明の前駆材料と、冷間圧延率85%未満および焼
鈍温度が700℃未満で調製され、不十分な立方体組織を
有する比較材の前駆材料について、それぞれ、該前駆材
料まま(図５のみ)とそれに圧延率 80%の冷間圧延を加え
た状態とさらにその後、各温度の焼鈍を施した時の、各
焼鈍温度と硬さおよび各焼鈍温度と圧延面の{100}方位
集積度(%)との関係を示したものである。
での過程で最低一回は、十分に再結晶させ立方体組織を
得ることが最適な繊維状の圧延組織を得る点で非常に重
要である。図４および図５は、それぞれ図中に示した条
件による圧延と焼鈍で調整した十分に立方体組織が発達
した本発明の前駆材料と、冷間圧延率85%未満および焼
鈍温度が700℃未満で調製され、不十分な立方体組織を
有する比較材の前駆材料について、それぞれ、該前駆材
料まま(図５のみ)とそれに圧延率 80%の冷間圧延を加え
た状態とさらにその後、各温度の焼鈍を施した時の、各
焼鈍温度と硬さおよび各焼鈍温度と圧延面の{100}方位
集積度(%)との関係を示したものである。
【００１１】本発明の前駆材料は、比較材の前駆材料に
比し、図４から再結晶温度が、高温側にシフトして概略
850℃程度となっていること、また、図５から、80%の冷
間圧延ままやその後、温度850℃までの焼鈍では、{100}
方位集積度の変化がほとんどなく、冷間圧延や焼鈍によ
っても結晶方位集積度の低下が非常に小さく安定化して
いることがわかる。そのため、本発明材料は、相対的に
低加工度の圧延や850℃以下の焼鈍後も繊維状の圧延組
織と高い{100}方位集積度を維持したままとなり、この
ため、高いエッチング性を示すものである。
比し、図４から再結晶温度が、高温側にシフトして概略
850℃程度となっていること、また、図５から、80%の冷
間圧延ままやその後、温度850℃までの焼鈍では、{100}
方位集積度の変化がほとんどなく、冷間圧延や焼鈍によ
っても結晶方位集積度の低下が非常に小さく安定化して
いることがわかる。そのため、本発明材料は、相対的に
低加工度の圧延や850℃以下の焼鈍後も繊維状の圧延組
織と高い{100}方位集積度を維持したままとなり、この
ため、高いエッチング性を示すものである。
【００１２】以上からもわかるように、本発明の製造方
法は、85%以上の冷間圧延と700℃以上の焼鈍を、この順
に少なくとも一回行なって、立方体組織が発達した前駆
材料を得、さらにこの立方体組織を壊さないため、前記
冷間圧延率を越えない圧延率での冷間圧延を行なって、
繊維状の圧延組織とし、その後、引き続き、{100}方位
集積度 50%以上を保持しつつ、応力除去を行なうため
に、850℃以下の焼鈍を行なうものである。なお、本発
明の製造方法において、上述の850℃以下の応力除去焼
鈍の後、コイル材の形状、表面状態の改善等の目的で、
20%以下程度のスキンパス圧延とその後の850℃以下の歪
取り焼鈍を加えたものも、組織の変化はなく、高いエッ
チング性は保持され、これらは本発明の範疇に属す。
法は、85%以上の冷間圧延と700℃以上の焼鈍を、この順
に少なくとも一回行なって、立方体組織が発達した前駆
材料を得、さらにこの立方体組織を壊さないため、前記
冷間圧延率を越えない圧延率での冷間圧延を行なって、
繊維状の圧延組織とし、その後、引き続き、{100}方位
集積度 50%以上を保持しつつ、応力除去を行なうため
に、850℃以下の焼鈍を行なうものである。なお、本発
明の製造方法において、上述の850℃以下の応力除去焼
鈍の後、コイル材の形状、表面状態の改善等の目的で、
20%以下程度のスキンパス圧延とその後の850℃以下の歪
取り焼鈍を加えたものも、組織の変化はなく、高いエッ
チング性は保持され、これらは本発明の範疇に属す。
【００１３】
【実施例】表１にまとめて示すように、Ａ，Ｂ，Ｃ１〜
７の各種のＦｅ−Ｎｉ系合金を真空誘導溶解、鋳造し、
次いで1100℃〜1150℃で鍛造、熱間圧延を行なって、所
定の厚みの熱間圧延コイルとし、表面を研磨後、前駆材
料欄に示す冷間圧延およびこれに続く焼鈍を施して、そ
れぞれ前駆材料を調製した。続いて、仕上材料欄に示す
加工度の冷間圧延を施して厚み 0.15mmとし、次いでや
はり仕上材料欄に示す温度の焼鈍を施した。該焼鈍後の
材料について、リードフレーム評価欄に示すごとく、硬
さ、圧延面の{100}方位集積度、非繊維状組織または再
結晶組織の面積率、エッチング試験によるエッチングフ
ァクタを測定した。なお、Ａ８とＢ８はそれぞれＡとＢ
の材料に従来工程で処理したもので従来材料に相当する
ものである。
７の各種のＦｅ−Ｎｉ系合金を真空誘導溶解、鋳造し、
次いで1100℃〜1150℃で鍛造、熱間圧延を行なって、所
定の厚みの熱間圧延コイルとし、表面を研磨後、前駆材
料欄に示す冷間圧延およびこれに続く焼鈍を施して、そ
れぞれ前駆材料を調製した。続いて、仕上材料欄に示す
加工度の冷間圧延を施して厚み 0.15mmとし、次いでや
はり仕上材料欄に示す温度の焼鈍を施した。該焼鈍後の
材料について、リードフレーム評価欄に示すごとく、硬
さ、圧延面の{100}方位集積度、非繊維状組織または再
結晶組織の面積率、エッチング試験によるエッチングフ
ァクタを測定した。なお、Ａ８とＢ８はそれぞれＡとＢ
の材料に従来工程で処理したもので従来材料に相当する
ものである。
【００１４】なお、{100}方位集積度は、{111},{100},
{110},{311}の主たる方位のＸ線回折での相対強度Ｉか
ら次式により求めた。 Ｄ{100}％＝Ｉ{100}×１００／（Ｉ{111}＋Ｉ{100}＋Ｉ
{110}＋Ｉ{311}） エッチング試験は、0.15mm厚素材を熱アルカリ脱脂後、
フォトレジストをマスキング処理後、ＦeＣl3液(42ボー
メ,60℃)にてスプレーエッチング加工、エッチングファ
クタ（図６参照）（Ｄ／Ｓ）を測定した。
{110},{311}の主たる方位のＸ線回折での相対強度Ｉか
ら次式により求めた。 Ｄ{100}％＝Ｉ{100}×１００／（Ｉ{111}＋Ｉ{100}＋Ｉ
{110}＋Ｉ{311}） エッチング試験は、0.15mm厚素材を熱アルカリ脱脂後、
フォトレジストをマスキング処理後、ＦeＣl3液(42ボー
メ,60℃)にてスプレーエッチング加工、エッチングファ
クタ（図６参照）（Ｄ／Ｓ）を測定した。
【００１５】
【表１】
【００１６】本発明材料Ａ１〜４、Ｂ１〜４、Ｃ１〜７
は、熱間圧延後の材料に前駆材料欄に示したごとき、85
%以上の冷間圧延と、850℃以上の焼鈍をそれぞれ施され
ることにより立方体組織が発達して安定化し、その後、
前駆材料欄の冷間圧延率を越えない70〜85%の冷間圧延
や、それに続く700〜800℃の焼鈍によっても、立方体組
織が乱れず、圧延面の{100}方位集積度が55%以上と高
く、かつ非繊維状組織が13%以下と少ない材料が得られ
た。そして、これらの材料は、エッチングファクタの値
が2.4〜2.5と高いことからもわかるように、非常に優れ
たエッチング性を有している。
は、熱間圧延後の材料に前駆材料欄に示したごとき、85
%以上の冷間圧延と、850℃以上の焼鈍をそれぞれ施され
ることにより立方体組織が発達して安定化し、その後、
前駆材料欄の冷間圧延率を越えない70〜85%の冷間圧延
や、それに続く700〜800℃の焼鈍によっても、立方体組
織が乱れず、圧延面の{100}方位集積度が55%以上と高
く、かつ非繊維状組織が13%以下と少ない材料が得られ
た。そして、これらの材料は、エッチングファクタの値
が2.4〜2.5と高いことからもわかるように、非常に優れ
たエッチング性を有している。
【００１７】これに対し、Ａ５〜７、Ｂ５〜７の比較材
料は、前駆材料欄に示したような不適正な冷間圧延条
件、焼鈍条件(Ａ５，Ｂ５）により、立方体組織の発達
が不十分、または仕上材料欄に示したような不適正な冷
間圧延（Ａ５，Ａ６，Ｂ６）、もしくは不適正な焼鈍条
件（Ａ７，Ｂ７）により、圧延面の{100}方位集積度が
低いか、あるいは従来材料と同様、再結晶組織を有して
おり、このため、従来材Ａ８，Ｂ８も含め、エッチング
ファクタの値は、2.1〜1.9と小さくなっている。なお、
本発明材料は、表１からもわかるように、同成分でも従
来材料および比較材料に比して高硬度である。また、Ｃ
１〜Ｃ７の材料は、強化元素をそれぞれ添加したもので
その効果が見られる。
料は、前駆材料欄に示したような不適正な冷間圧延条
件、焼鈍条件(Ａ５，Ｂ５）により、立方体組織の発達
が不十分、または仕上材料欄に示したような不適正な冷
間圧延（Ａ５，Ａ６，Ｂ６）、もしくは不適正な焼鈍条
件（Ａ７，Ｂ７）により、圧延面の{100}方位集積度が
低いか、あるいは従来材料と同様、再結晶組織を有して
おり、このため、従来材Ａ８，Ｂ８も含め、エッチング
ファクタの値は、2.1〜1.9と小さくなっている。なお、
本発明材料は、表１からもわかるように、同成分でも従
来材料および比較材料に比して高硬度である。また、Ｃ
１〜Ｃ７の材料は、強化元素をそれぞれ添加したもので
その効果が見られる。
【００１８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のリードフレ
ーム材料は、従来の再結晶組織を有する材料とは全く異
なった、繊維状の圧延組織を有するものであり、これに
より、従来材に比べ、エッチングファクタが高く、微細
エッチング加工により、多ピン化が可能なリードフレー
ム材料であり、工業上の効果は極めて大きい。
ーム材料は、従来の再結晶組織を有する材料とは全く異
なった、繊維状の圧延組織を有するものであり、これに
より、従来材に比べ、エッチングファクタが高く、微細
エッチング加工により、多ピン化が可能なリードフレー
ム材料であり、工業上の効果は極めて大きい。
【図１】本発明材料と比較材料の断面金属ミクロ組織写
真である。
真である。
【図２】本発明材料と比較材料のエッチング面の金属ミ
クロ組織の走査電子顕微鏡写真である。
クロ組織の走査電子顕微鏡写真である。
【図３】非繊維状の組織例を示す金属ミクロ組織写真で
ある。
ある。
【図４】最終焼鈍温度と硬さの相関図である。
【図５】最終焼鈍温度と{100}方位集積度の相関図であ
る。
る。
【図６】エッチングファクタを説明する断面図である。
【手続補正書】
【提出日】平成５年２月１８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正内容】
【図４】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 23/50 Ｖ 9272−4Ｍ
Claims (3)
- 【請求項１】 重量％でNi 30〜60%を含有するＦｅ−Ｎ
ｉ系合金でなるリードフレーム材料であり、板幅方向に
垂直な断面内での検鏡で繊維状の圧延組織を有し、かつ
圧延面の{100}方位集積度が50%以上であることを特徴と
するエッチング性に優れるリードフレーム材料。 - 【請求項２】 板幅方向に垂直な断面内での検鏡で、非
繊維状の組織を含まないか、または面積率で50%以下含
むことを特徴とする請求項１のエッチング性に優れるリ
ードフレーム材料。 - 【請求項３】 Ｆｅ−Ｎｉ系合金を熱間加工後、85%以
上の冷間圧延と700℃以上の焼鈍をこの順にそれぞれ少
なくとも一回行ない、その後前記冷間圧延率を越えない
圧延率の冷間圧延と850℃を越えない温度の焼鈍を行な
うことを特徴とするエッチング性に優れるリードフレー
ム材料の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35206292A JPH06172928A (ja) | 1992-12-09 | 1992-12-09 | エッチング性に優れるリードフレーム材料およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35206292A JPH06172928A (ja) | 1992-12-09 | 1992-12-09 | エッチング性に優れるリードフレーム材料およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06172928A true JPH06172928A (ja) | 1994-06-21 |
Family
ID=18421529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35206292A Pending JPH06172928A (ja) | 1992-12-09 | 1992-12-09 | エッチング性に優れるリードフレーム材料およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06172928A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170038671A (ko) | 2015-09-30 | 2017-04-07 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법 |
-
1992
- 1992-12-09 JP JP35206292A patent/JPH06172928A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170038671A (ko) | 2015-09-30 | 2017-04-07 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법 |
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