JP3518707B2 - 被加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は曲げ等の成形加工性
を改善した被加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およ
びその製造方法に関するものである

【０００２】

【従来の技術】半導体素子のリードフレーム素材として
は、シリコンチップあるいはガラス、樹脂といった密封
材料と、熱膨張特性を整合させる必要があり、低熱膨張
特性を有するＦｅ−Ｎｉ系合金が主として用いられてい
る。上述した熱膨張特性は、半導体素子の特性等にあわ
せてＮｉの含有量あるいはその他の添加元素によって調
整される。代表的な素材としては、Ｆｅ−４２％Ｎｉ合
金，Ｆｅ−５０％Ｎｉ合金，Ｆｅ−２９％−１７％Ｃｏ
合金等が知られている。なお、本明細書における組成を
示す単位はすべて質量％である。上述したリードフレー
ム材料だけではなく、パーマロイ等の磁性材料としても
Ｆｅ−Ｎｉ系材料は使用されている。

【０００３】近年、半導体素子の集積回路においては、
高集積化はもちろんであるが、電子機器のダウンサイジ
ングの動向に伴って、電子回路の高密度実装の要求が強
く、半導体素子も小型、薄型化へと移行してきている。
こうした小型、薄型化に対応した半導体パッケージとし
てはＴＳＯＰ（Thin small Outline Package）が代表的
なものであり、厚さが１mm程度の薄型の素子である。こ
うした薄型パッケージにおいては、パッケージの厚さ方
向に対する寸法精度が厳しく要求され、これに伴ってリ
ードフレームの薄肉化、寸法精度の高精度化が強く要求
されるようになってきた。特に、図１に示すようにリー
ドフレーム１にシリコンチップを接合するタブ２および
タブ吊り３の部分を形成するような場合には、タブ２お
よびタブ吊り３の位置が、半導体素子を形成する上で精
度を左右してしまうため、極めて厳しい精度が要求され
る。すなわち、曲げ加工性の向上は、このような半導体
素子の形成にとって重要な課題である。

【０００４】また、カラーテレビあるいはパーソナルコ
ンピュータ等の表示装置に使用されるシャドウマスク材
としては、従来アルキルド鋼が使用されてきたが、近年
表示装置の高精細化にともない、質量％で３６％のＮｉ
を含有するＦｅ−Ｎｉ合金、いわゆるインバー合金がア
ルミキルド鋼にとって替わるようになってきている。こ
のインバー合金は、室温での熱膨張係数がアルミキルド
鋼に比べ、極めて低く、シャドウマスクに形成された電
子ビーム通過孔の位置精度を温度に依らず正確に保つこ
とができるという利点を有するものである。また、イン
バー合金は、その低熱膨張特性からバイメタル等にも使
用されている。

【００２６】

【表１】

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述したようにＦｅ−
Ｎｉ系合金薄板の電子機器等への適用においては、加工
精度の向上は必須の課題である。このような状況におい
て、シャドウマスクのプレス成形性を改善する方法とし
て、特開昭６１−２１８０５０号あるいは特開平６−２
６４１４０号に記載のように、面心立方格子を有するＦ
ｅ−Ｎｉ系合金の滑り面である（１１１）面を集合させ
ることにより、プレス成形性を確保しようとすることが
提案されている。これらは、変形しやすい（１１１）面
を集合させることにより、プレス成形時のスプリングバ
ック量を低減させことができることを開示している。

【０００６】しかし、本発明者の検討によれば、上述し
た特開昭６１−２１８０５０号あるいは特開平６−２６
４１４０号に記載されるＦｅ−Ｎｉ系合金素材は、軟化
焼鈍した材料であって、その硬さはビッカース硬度で１
３０ＨＶ程度である。一方、リードフレーム等の材料に
おいては、強度を確保する必要があり、上述したような
薄板化によって、より高い硬さに調整する必要があり、
軟化焼鈍した材料は使用できない。特に図１に示すよう
なビッカース硬さが１６０ＨＶ以上のＴＳＯＰ用リード
フレーム等として使用する場合には硬さが低いことは問
題である。本発明の目的は、必要な硬さを確保すること
ができ、従来のＦｅ−Ｎｉ系合金薄板の被加工性、特に
曲げ加工性を改善したＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびその
製造方法を提供することである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、Ｆｅ−Ｎ
ｉ系合金薄板の被加工性を改善するために、Ｆｅ−Ｎｉ
系合金薄板の結晶方位の制御に着目して検討を行った。
そして、通常の溶製材によるインゴットやブルーム連鋳
を圧延した薄板では、Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板の表面にお
いて（１１１）結晶面が集合したように見える素材にお
いても、素材の板厚中心では（１１１）結晶面の集合が
不十分であることが判明した。本発明者は、Ｆｅ−Ｎｉ
系合金薄板の板厚中心まで、（１１１）面を集合させる
べく、Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造条件の検討を行っ
た。その結果、驚くべきことに冷間圧延後の組織におけ
る（１１１）面の集合度は、冷間圧延前の素材の（１１
１）集合度に大きく依存するということを見出した。

【０００８】そして、冷間圧延に至る前に、板厚方向の
中央部で（１１１）面が高くなるように調整することが
必要であり、その具体的な方法として、できるだけ薄い
スラブ連続鋳造法、または薄板連続鋳造法を適用し、凝
固進行中に表面から内部にかけての冷却をできるだけ速
やかに行なうことが有効であることを見出した。すなわ
ち、表面から中心までの凝固距離を短くして表面から内
部にかけての温度勾配を従来よりも大きく与えるのであ
る。すなわち温度勾配の連続鋳造法を適用し、凝固時に
表面から内部にかけて大きな温度勾配を与えることが有
効であることを見出した。

【０００９】また、本発明者等は、被加工性に対して
（１１１）面だけではなく、（３１１）面の集合度を高
めることも有効であることを見出した。そして、（３１
１）面も（１１１）面と同様に、冷間圧延前の集合度
が、冷間圧延後の集合度に依存することを突き止め、
（３１１）面を増加させるためにも、上述した肉厚の薄
い連続鋳造法の適用は有効であることを見出した。そし
て、この方法によって、Ｆｅ−Ｎｉ合金を製造すれば、
ビッカース硬さ ＨＶ１６０以上の材料であっても優れ
た曲げ加工性を確保できることを見出し、本発明に到達
した。

【００１０】すなわち、本発明の製造方法は、Ｎｉ３０
〜６０質量％、Ｓｉ１質量％以下、Ｍｎ１質量％以下、
残部Ｆｅおよび不純物の組成を有するか、または、前記
Ｎｉの一部をＣｏ２０質量％以下で置換した組成を有す
るか、または、前記組成に加えて合金の結晶構造が面心
立方格子構造である状態を維持する範囲で添加元素を有
するＦｅ−Ｎｉ系合金溶湯をロール対間を通して、板厚
１００ｍｍ以下のスラブに鋳造し、該スラブを１０００
〜１３００℃の温度範囲で９０％以下の加工度で熱間加
工を行ない、板厚方向中央部での結晶面の集積度が（１
１１）＞３０％、（３１１）＞１０％の組織を得た後、
８０％を越えない加工度の冷間圧延と、７５０〜１１０
０℃の温度範囲での軟化焼鈍を少なくとも１回以上実施
し、最終冷間圧延後において板厚方向中央部での結晶面
の集積度が（１１１）＞３％、（３１１）＞１０％を満
足するＦｅ−Ｎｉ系合金薄板を得るものである。

【００１１】また、上述の製造方法は、いったん板厚が
１００ｍｍ以下という薄めのスラブを製造し、熱間加工
を施すものであるが、上述組成のＦｅ−Ｎｉ系合金溶湯
をロール対間を通して、板厚１０ｍｍ以下、板厚方向中
央部での結晶面の集積度が（１１１）＞３０％、（３１
１）＞１０％、の組織を有するストリップに鋳造し（す
なわち、薄板連続鋳造法である）、該ストリップを８０
％を越えない加工度の冷間圧延と、７５０〜１１００℃
の温度範囲での軟化焼鈍を少なくとも１回以上実施し、
最終冷間圧延後において板厚方向中央部での結晶面の集
積度が（１１１）＞３％、（３１１）＞１０％を満足す
るＦｅ−Ｎｉ系合金薄板を得ても良い。

【００１２】なお、上述した製造方法の工程に加えて、
最終冷間圧延後に、５００〜７５０℃の温度範囲におい
て歪取り焼鈍を行い、（１１１）＞３％、（３１１）＞
１０％を満足するようにしても良い。上述した製造方法
により、Ｎｉ３０〜６０質量％、Ｓｉ１質量％以下、Ｍ
ｎ１質量％以下、残部Ｆｅおよび不純物の組成を有する
か、または、前記Ｎｉの一部をＣｏ２０質量％以下で置
換した組成を有するか、または、前記組成に加えて合金
の結晶構造が面心立方格子構造である状態を維持する範
囲で添加元素を有するＦｅ−Ｎｉ系合金薄板であって、
ビッカース硬さが１６０ＨＶ以上であって板厚方向中央
部での結晶面の集積度が（１１１）＞３％、（３１１）
＞１０％を満足する被加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金
薄板を得ることができる。好ましくは、ビッカース硬さ
を１８０ＨＶ以上とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明方法における重要な特徴の
一つは、ビッカース硬さが１６０ＨＶ以上と高いＦｅ−
Ｎｉ系合金において、加工性、特に曲げ成形性に有効な
（１１１）面あるいは（３１１）面を、板厚中央部にお
いて集合させるために、特定の条件を満足する連続鋳造
法を適用したことにある。連続鋳造法の適用は、凝固時
に表面から内部にかけて大きな温度勾配を与えることが
でき、特に板厚中央部にまで（１１１）を集合させるこ
とが可能であり、また（３１１）面の集合度も高いもの
とすることができる。本発明においては、連続鋳造法に
より、直接板厚１０ｍｍ以下のストリップを得ることが
望ましいが、板厚１００ｍｍ以下のスラブを製造し、熱
間圧延を行ってから、冷間加工を行うこともできる。

【００１４】ここで、板厚１００ｍｍを上限としたの
は、１００ｍｍを越える板厚に連続鋳造しても、板厚中
央部の（１１１）面および（３１１）面の集合度を高く
するだけの、指向性凝固を行うことができなくなるため
である。スラブを製造し、熱間圧延を行う場合は、熱間
圧延における加工度が大きくなりすぎると、（１１１）
面および（３１１）面の集合度が低下するため、熱間加
工度は９０％以下とする必要がある。また、この時の熱
間圧延の温度は、加工性と酸化防止の点から、１０００
〜１３００℃が望ましい。

【００１５】本発明において、熱間工程の後に行う冷間
圧延工程では、８０％を越えない加工度の冷間圧延と、
７５０〜１１００℃の温度範囲での軟化焼鈍が必要であ
る。Ｆｅ−Ｎｉ系合金に冷間圧延と焼鈍を施す際におい
て、加工度が高すぎると焼鈍により（１００）面が集合
するいわゆる再結晶集合組織となる。また、冷間圧延だ
けでは、（１１０）面が集合した圧延組織となる。

【００１６】そのため、適度な加工と圧延率の組み合わ
せが必要であり、本発明においては、８０％を越えない
加工度の冷間圧延と、７５０〜１１００℃の温度範囲で
の軟化焼鈍を施すものとした。望ましくは、７０％を越
えない加工度と、８００〜１０５０℃の冷間加工条件と
する。この冷間加工により、（１１１）面および（３１
１）面に集合していた組織は、再結晶により（１００）
面が増加し、圧延により（１１０）面が増加する傾向が
認められる。

【００１７】しかし、上述したように、本発明において
は、あらかじめ冷間圧延の前に板厚中央部において、
（１１１）＞３０％、（３１１）＞１０％という、（１
１１）面および（３１１）面の集合度が高い組織に調整
している点に大きな特徴がある。その結果、冷間圧延の
影響を受けにくい板厚中央部において、冷間圧延後にお
いても（１１１）面および（３１１）面の集合度を高い
もの、具体的には（１１１）＞３％、（３１１）＞１０
％を満足するＦｅ−Ｎｉ系合金薄板を得ることができる
のである。

【００１８】本発明において、冷間圧延の前に板厚中央
部において、（１１１）＞３０％、（３１１）＞１０％
としたのは、（１１１）面および（３１１）面の集合度
はできるだけ高い方がよいという知見から、従来のイン
ゴットから熱間圧延する方法では得られず、特定の条件
下での連続鋳造法によって調整できると確認した範囲で
ある。本発明者の測定によれば、面心立方格子を有する
Ｆｅ−Ｎｉ系合金の主たる結晶面である（１００）（１
１０）（１１１）（３１１）のうち、（１００）（１１
０）面よりも、（１１１）面あるいは（３１１）面は、
ヤング率が高い。

【００１９】図２に示すように硬さが同じ材料における
応力と歪みの関係において、ヤング率が大きい場合（破
線でしめす）はヤング率の小さい場合（実線で示す）よ
りも戻り量が少なくなる。すなわち、ヤング率を高くす
ることは曲げ成形した時のスプリングバック量が少なく
なり、成形精度を向上することができるのである。その
ため、曲げ成形性にとってはヤング率を高くすることが
できる（１１１）（３１１）面の集合度を高くする必要
がある。

【００２０】この（１１１）面および（３１１）面の集
合度はできるだけ高い方がよいが、冷間圧延により、特
に（１１１）面の集合度が低下するため、冷間圧延後の
板厚中央部においては、（１１１）＞３％、（３１１）
＞１０％と規定した。好ましくは、（１１１）＞５％、
（３１１）＞１５％である。冷間圧延工程において、で
きるだけ組織を崩さず、（１１１）（３１１）面を高く
するためには、厚みが１００ｍｍ以下の連続鋳造法によ
り、望ましくは直接薄いストリップを製造する方法をと
ったり、冷間圧延における加工度をできるだけ低くする
方法をとることができる。

【００２１】また、本発明においては、上述した冷間加
工工程の後に、５００〜７５０℃の温度範囲において歪
取り焼鈍を行なうことができる。ここで、５００〜７５
０℃としたのは、再結晶が起こらず、ビッカース硬さＨ
Ｖ１６０以上を確保しつつ歪みの除去に有効な範囲とし
て特定したものである。歪取り焼鈍では再結晶が起こら
ないため、集合組織の大きな変化はなく、（１１１）＞
３％、（３１１）＞１０％を満足するＦｅ−Ｎｉ系合金
薄板を得ることができる。

【００２２】本発明におけるＦｅ−Ｎｉ系シャドウマス
ク素材とは、面心立方格子を有することができ、Ｆｅ−
Ｎｉ系合金薄板の特徴である低熱膨張特性を満足する範
囲として規定したものである。本発明の特徴とするＦｅ
−Ｎｉ系合金とは、ＮｉとＦｅ以外に主に製鋼上の点か
ら添加されるＭｎ，Ｓｉをそれぞれ１．０％以下で含有
していてもよいし、Ｍｎ，Ｓｉを不純物として考えても
よい。すなわち、Ｆｅ−Ｎｉの２元系では、Ｎｉが３０
％以下では、低熱膨張特性が得られる面心立方格子の組
織を得ることができない。また、Ｎｉが６０％を越える
と熱膨張係数が大きくなり、低熱膨張特性が得られない
ためである。

【００２３】なお、Ｃｏは、Ｎｉと同様に面心立方格子
の組織を安定化させる作用を有し、熱膨張特性を変化さ
せることができるため置換可能である。しかし、高価で
あるため最大でも２０％とすることが望ましい。なお、
本発明においては、面心立方格子による特性が崩れない
程度に他の添加元素を添加することができる。例えば、
強度を高める元素として、Ｃｒ，Ｔｉ，Ｖ，Ｎｂ等を選
択的にそれぞれ３〜５％以下の範囲で添加しても良い。

【００２４】

【実施例】以下に本発明を実施例に基づき説明する。表
１に示す化学成分を有するＦｅ−４２％Ｎｉ合金、Ｆｅ
−５０％Ｎｉ合金、Ｆｅ−２９Ｎｉ−１７Ｃｏ合金およ
びならびにＦｅ−３６％Ｎｉ合金の溶湯を準備し、図３
に示す双ロール６と、溶湯４を保持する坩堝５を有する
連続鋳造装置に導入し、ロール６の間隙を調製して板厚
が３０，６０および１１０ｍｍのスラブ、および板厚
７，５および３ｍｍのストリップでなる鋳片７をそれぞ
れ作製した。得られたスラブは、１０８０℃の熱間加工
条件で、表２および表３に示す加工度で熱間圧延を行
い、冷間圧延前の素材とした。また、直接ストリップに
鋳造したものは、そのまま冷間圧延前の素材とした。得
られた冷間圧延前の素材を、表２〜表３に示す冷間圧延
条件で冷間加工および焼鈍を行った。

【００２５】冷間加工行程におけるＣＲ１，ＣＲ２，Ｃ
Ｒ３はそれぞれ第１の冷間圧延、第２の冷間圧延、第３
の冷間圧延を意味し、数値は加工度％である。また、冷
間加工工程におけるＡ１，Ａ２は、それぞれ第１の焼
鈍、第２の焼鈍を示するものである。数値は、焼鈍温度
℃である。なお、仕上げ圧延後に歪取り焼鈍を行う場合
は、６５０℃にて３分間行った。

【００２６】

【表１】

【００２７】上述した製造工程において、冷間圧延前の
素材および最終冷間圧延後の板厚中央部における（１１
１）面の集合度および（３１１）面の集合度を測定し
た。なお、歪取り焼鈍を施したものは、歪取り焼鈍後の
試料を測定した。（１１１）面ならびに（３１１）面の
集合度は、表面および板厚の中央部までエッチングによ
り、板厚の半分を除去した中央部にてＸ線回折を行ない
求めた。各々の面における回折強度をＩとして、以下の
式に基づいて行った。（１１１）％＝Ｉ(111)／ΣI×10
0（ΣI＝Ｉ(111)＋Ｉ(200)＋Ｉ(220)＋Ｉ(311)）（３１
１）％＝Ｉ(311)／ΣI×100として求めた。

【００２８】

【表２】

【００２９】また、プレス成形性は、図４に示すよう
に、素材の元の位置８から、荷重をかけて６０度曲げた
位置１０として、スプリングバックにより戻った位置９
をスプリングバックの量θとしたものである。結果を表
４および表５に示す。表４および表５に示すように、す
べての材料で１８０ＨＶ以上の硬さが確保されている。
また、表２〜表５には、インゴットから分塊−熱間圧延
の工程を行なう従来の方法を適用した場合の例を付記し
た。

【００３０】

【表３】

【００３１】

【表４】

【００３２】

【表５】

【００３３】表２〜表５から明らかなように、本発明で
規定する条件の連続鋳造法を適用することにより、冷間
圧延前の素材に対して、（１１１）面と（３１１）面の
集合度の高い素材を得ることが可能である。そして、冷
間圧延前に（１１１）面と（３１１）面を高くしておく
と、（１１１）＞３％、（３１１）＞１０％を満足する
Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板を得ることができることがわか
る。また、連続鋳造法により、直接ストリップとする
と、（１１１）面の集合度が特に高くなり、冷間圧延後
においても（１１１）面および（３１１）面の高いＦｅ
−Ｎｉ系合金薄板を得ることができることがわかる。

【００３４】また、熱間加工工程および冷間加工工程が
本発明の規定範囲をはずれる比較例においては、熱間加
工率が高すぎると、冷間圧延前において、（１１１）お
よび（３１１）面を高くすることができず、また冷間加
工率が高すぎると冷間圧延前に（１１１）面および（３
１１）面を高くしておいても、（１１１）＞３％、（３
１１）＞１０％を満足することができなくなることがわ
かる。また、従来の造塊法によって製造したＦｅ−Ｎｉ
系合金は、冷間圧延前の段階で、板厚中央部の（１１
１）面および（３１１）面の集合度は、冷間加工の条件
を変更しても高くすることができなかった。

【００３５】表４および表５に示すスプリングバック量
およびヤング率の測定結果によれば、（１１１）面と
（３１１）面の集合度を高くできた本発明のＦｅ−Ｎｉ
系合金においては、（１１１）面および（３１１）面の
集合度が本発明の試料よりも低い比較例の試料に比べ
て、ヤング率が高くなり、スプリングバックが少なくな
ったことがわかる。すなわち、板厚中央部の（１１１）
面と（３１１）面とを高めることが、被加工性、特に曲
げ成形における加工精度の向上に有効であることがわか
る。

【００３６】

【発明の効果】本発明によれば、曲げ成形時のスプリン
グバック量を低減することが可能となる。したがって、
特にＴＳＯＰなどの薄肉化が要求される半導体装置に利
用され、強度を確保するとともに精度の高い曲げ加工が
必要なリードフレーム材にとって極めて有効である。

【図面の簡単な説明】

【図１】リードフレーム材の加工例を示す図である。

【図２】ヤング率と応力−歪み線図の関係を示す図であ
る。

【図３】連続鋳造装置の概要を示す図である。

【図４】スプリングバック量を測定する手法を示す説明
図である。

【符号の説明】

１ リードフレーム、２ タブ、３ タブ吊り、４ 溶
湯、５ 坩堝、６ ロール ７ 鋳片

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−247559（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−216304（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−70704（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C22C 1/00 - 49/14

Claims (5)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｎｉ３０〜６０質量％、Ｓｉ１質量％以
   下、Ｍｎ１質量％以下を含み、残部Ｆｅおよび不純物ま
   たは合金の結晶構造が面心立方格子構造である状態を維
   持する範囲の添加元素を含む組成を有するＦｅ−Ｎｉ系
   合金薄板であって、ビッカース硬さが１６０ＨＶ以上で
   あって、板厚方向中央部での結晶面の集積度が（１１
   １）＞３％、（３１１）＞１０％を満足することを特徴
   とする被加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金薄板。
2. 【請求項２】 Ｎｉの一部を、Ｃｏ２０質量％以下で置
   換したことを特徴とする請求項１に記載の被加工性に優
   れたＦｅ−Ｎｉ系合金薄板。
3. 【請求項３】 Ｎｉ３０〜６０質量％、Ｓｉ１質量％以
   下、Ｍｎ１質量％以下、残部Ｆｅおよび不純物の組成を
   有するか、または、前記Ｎｉの一部をＣｏ２０質量％以
   下で置換した組成を有するか、または、前記組成に加え
   て合金の結晶構造が面心立方格子構造である状態を維持
   する範囲で添加元素を有するＦｅ−Ｎｉ系合金溶湯をロ
   ール対間を通して、板厚１００ｍｍ以下のスラブに鋳造
   し、該スラブを１０００〜１３００℃の温度範囲で９０
   ％以下の加工度で熱間加工を行ない、板厚方向中央部で
   の結晶面の集積度が（１１１）＞３０％、（３１１）＞
   １０％の組織を得た後、８０％を越えない加工度の冷間
   圧延と、７５０〜１１００℃の温度範囲での軟化焼鈍を
   少なくとも１回以上実施し、最終冷間圧延後において板
   厚方向中央部での結晶面の集積度が（１１１）＞３％、
   （３１１）＞１０％を満足するＦｅ−Ｎｉ系合金薄板を
   得ることを特徴とする被加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合
   金薄板の製造方法。
4. 【請求項４】 Ｎｉ３０〜６０質量％、Ｓｉ１質量％以
   下、Ｍｎ１質量％以下、残部Ｆｅおよび不純物の組成を
   有するか、または、前記Ｎｉの一部をＣｏ２０質量％以
   下で置換した組成を有するか、または、前記組成に加え
   て合金の結晶構造が面心立方格子構造である状態を維持
   する範囲で添加元素を有するＦｅ−Ｎｉ系合金溶湯をロ
   ール対間を通して、板厚１０ｍｍ以下、板厚方向中央部
   での結晶面の集積度が（１１１）＞３０％、（３１１）
   ＞１０％の組織を有するストリップに鋳造し、該ストリ
   ップを８０％を越えない加工度の冷間圧延と、７５０〜
   １１００℃の温度範囲での軟化焼鈍を少なくとも１回以
   上実施し、最終冷間圧延後において板厚方向中央部での
   結晶面の集積度が（１１１）＞３％、（３１１）＞１０
   ％、を満足するＦｅ−Ｎｉ系合金薄板を得ることを特徴
   とする被加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造方
   法。
5. 【請求項５】 最終冷間圧延後、５００〜７５０℃の温
   度範囲において歪取り焼鈍を行い、（１１１）＞３％、
   （３１１）＞１０％を満足するＦｅ−Ｎｉ系合金薄板を
   得ることを特徴とする請求項３または請求項４に記載の
   被加工性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造方法。