JP2010214447A - エッチング加工用素材の製造方法及びエッチング加工用素材 - Google Patents
エッチング加工用素材の製造方法及びエッチング加工用素材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010214447A JP2010214447A JP2009065949A JP2009065949A JP2010214447A JP 2010214447 A JP2010214447 A JP 2010214447A JP 2009065949 A JP2009065949 A JP 2009065949A JP 2009065949 A JP2009065949 A JP 2009065949A JP 2010214447 A JP2010214447 A JP 2010214447A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- etching
- rolling
- roll
- surface roughness
- roughness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D8/00—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment
- C21D8/02—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of plates or strips
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C21—METALLURGY OF IRON
- C21D—MODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
- C21D8/00—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment
- C21D8/02—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of plates or strips
- C21D8/0221—Modifying the physical properties by deformation combined with, or followed by, heat treatment during manufacturing of plates or strips characterised by the working steps
- C21D8/0236—Cold rolling
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
- C22C38/02—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
- C22C38/04—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing manganese
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C38/00—Ferrous alloys, e.g. steel alloys
- C22C38/08—Ferrous alloys, e.g. steel alloys containing nickel
Abstract
【解決手段】 質量%で、C:≦0.01%、Si:≦0.5%、Mn:≦1.0%、Ni:30〜50%を含有し、残部がFe及び不純物を含み、板厚が0.02〜0.15mmのエッチング加工用素材の製造方法であって、仕上冷間圧延の最終パスを10%以下の圧下率とし、且つ、前記仕上圧延のロールには、円周方向に研磨痕を形成し、円周方向と直角方向の粗さがRa:0.10〜0.25μmとしたロールを用いて圧延速度を1.2m/s以上で行なうエッチング加工用素材の製造方法。
【選択図】 図1
Description
ところで、Fe−Ni合金の薄板を製造する場合、最終工程で冷間圧延が施される。この冷間圧延中に生じる問題としては、表面形態に関する問題や残留応力に関する問題があり、何れも高精細なエッチング特性に影響を及ぼす。そのため、高精細なエッチングを行なう薄板には、所望のエッチング特性を得るために、表面粗さを調整したり、残留応力を調整する種々の提案がなされている。
例えば、特開平8−269742号公報(特許文献2)には、表面からの残留応力の平均値を50N/mm2以下とすることで微細なエッチングパターンが形成可能なFe−Ni合金を素材とした提案がなされている。この技術はサイドエッチを防止し、高精細なエッチング加工が可能とするものである。
また、例えば、特開平6−122013号公報(特許文献1)には、最終冷間圧延工程において、圧下率5%以上で圧延するとともに圧延油濃度を管理することによりオイルピットの発生を制御し所望の板面粗度を得るシャドウマスクやアパーチャーグリル用鋼板の製造方法が提案されている。この技術は、残留応力を抑制する技術である。
また、本願出願人も特開2004−39628号公報(特許文献3)として、2枚の金属板を中間層で接着した積層箔を用いた蒸着マスクを提案している。
一方、特許文献1や特許文献2で示される微細加工可能なFe−Ni合金は単体の金属材料を用いることから経済的である。
特許文献1では、高精細なエッチングに影響を及ぼす要因として、通常の冷間圧延では、潤滑油の当たりが完全に均一にならず、材料表面に、オイルピットが形成されたり、塑性変形の進行による新生面の表出等によって、均一な表面状態が得られず、有機皮膜との密着性が劣る部分「WBL(Weak-Boundary-Layer)」を生じ易いことが記されている。
そして、〔0006〕,〔0016〕〜〔0018〕欄には、残留応力に加えて表面粗さを粗くすることが有効であると記されているが、過度に表面粗さを粗くすることは、益々高精細なエッチング加工を困難とする。
また、特許文献2に記されるようなオイルピットを積極的に利用して素材表面の粗さを調整する方法では、過度に深いオイルピットが形成される場合がある。そして、そのオイルピットに起因したエッチング不良によって、高精細なエッチング加工が困難となる。
本発明の目的は、高精細パターンを形成するリードフレームやマスク用途であっても、優れたエッチング加工が可能なエッチング加工用素材の製造方法及びエッチング加工用素材を提供することである。
その結果、最も高精細エッチング加工に影響を及ぼす要因が表面粗さであることを知見した。過度に表面粗さを低くすると、オイルピットの影響が強くなり、エッチング時に寸法不良が発生し易く、また、過度に表面粗さを粗くすると、高精細なエッチング加工自体が困難となることをつきとめた。
そして、最適な表面粗さを付与できるエッチング加工用素材の製造方法を鋭意検討した結果、仕上冷間圧延時のロールの粗さを調整することで、オイルピットの発生を抑制でき、最適な表面粗さを有するエッチング加工用素材とすることができることを知見した。
また、残留応力の低減には仕上圧延時の圧延速度を調整することにより、エッチング加工用素材とロールとの摩擦係数を低減させることが有効であることをつきとめ、本発明に到達した。
本発明のエッチング加工用素材の化学組成を質量%で、C:≦0.01%、Si:≦0.5%、Mn:≦1.0%、Ni:30〜50%を含有し、残部がFe及び不純物を含むFe−Ni合金とした理由は以下のとおりである。
C:≦0.01質量%
Cは、エッチング性に影響を及ぼす元素である。Cが過度に多く含まれるとエッチング性を阻害するため、Cの上限を0.01%とした。
Si:≦0.5質量%、Mn:≦1.0質量%
Si、Mnは、通常、脱酸を目的に微量含有されているが、過剰に添加すれば偏析を起こし易くなるため、Si:0.5%以下、Mn:1.0%以下とした。好ましいSi量とMn量は、Si:0.1%以下、Mn:0.5%以下である。
Ni:30〜50質量%
Niは、例えばリードフレームとして用いる場合の熱膨張係数を調整する作用を有し、低熱膨張特性に大きな影響を及ぼす元素である。含有量が30%より少なく、または50%を越えるものでは熱膨張係数を低める効果がなくなるため、Niの範囲は30〜50%とする。32〜45%である。
上記以外を構成するのはFeと不純物である。
本発明で板厚を0.02〜0.15mmとしたのは、0.02mm未満となるとハンドリング性に問題を生じ、0.15mmを超えるとエッチング加工時にサイドエッチ量が増加して、例えば特に高精細なエッチング加工が必要とされる用途では、高精細なエッチングパターンの形成が困難となる。そのため、板厚を0.02〜0.15mmに限定した。なお、高精細に有利な板厚は0.02〜0.10mmの範囲であり、更に好ましくは0.02〜0.06mmの範囲である。
本発明でエッチング加工用素材の圧延方向と直角方向に測定した表面粗さが、Ra:0.08〜0.20μmであり、且つ、圧延方向に測定した表面粗さが、Ra:0.01〜0.10μmとした理由は以下のとおりである。
高精細なエッチングパターンを素材に形成する時、エッチング加工用素材の表面にオイルピットが多く形成されていると、エッチング加工を行う位置によって、エッチング液の進行に違いが生じ、エッチング後の開孔精度に悪影響を及ぼす可能性がある。
そのため、エッチング加工用素材表面に形成されるオイルピットを少なくすることで、エッチングパターンをより高精細にすることが期待される。
その具体的な方法としては、冷間圧延時のロールの粗さを若干粗くし、圧延時のオイルが圧延材料表面とロールの間を通り抜けて行き易くするために、仕上圧延のロールには、円周方向に研磨痕を形成することによりオイルピットの発生を抑制した。すなわち、圧延時にオイルの逃げ道を意図的に作っておくことでオイルピットの発生を抑制する。
その結果、圧延後における圧延方向と直角に測定した時の表面肌の粗さは、粗くなるが、オイルピットの発生は抑制される。
上記の効果を得るために、本発明のエッチング用素材は、圧延方向と直角方向に測定した表面粗さをRa:0.08〜0.20μmとする。
ただし、圧延方向と直角方向に測定した表面粗さがRaで0.20μmを超えて粗くなると、粗い表面肌に起因して高精細なエッチング加工ができ難くなる。
また、一方で過度に表面粗さが低くなると、上記のオイルピットの発生を抑制する効果が得られず、オイルピットに起因したエッチング不良となり易くなるため、圧延方向と直角方向に測定した表面粗さの下限を、Raで0.08μm以上とする。
そのために必要な圧延方向の表面粗さは、Ra:0.01〜0.10μmとする。
なお、本発明において、圧延方向と直角方向に測定した表面粗さは、圧延方向に測定した表面粗さよりも高いことが必要であり、上記のオイルピットの発生を確実に抑制するには、圧延方向と直角方向に測定した表面粗さが、圧延方向に測定した表面粗さより、Raで0.02μmを超えて粗い表面粗さが必要である。
本発明で最も重要な工程は、仕上圧延工程である。仕上圧延工程までは、通常のFe−Ni合金の製造方法をそのまま適用することができる。
例えば、真空溶解−熱間鍛造−熱間圧延−冷間圧延という工程で良く、必要に応じて、冷間圧延前の段階で1200℃程度で均質化熱処理を行い、冷間圧延工程中には、冷間圧延材の硬さを低減するために800〜950℃の焼鈍を1回以上行なえば良い。
そして、冷間圧延の仕上圧延において、最終パスの圧下率を10%以下とする。
仕上圧延の最終パスの圧下率を10%以下とするのは、冷間圧延の最終段階での圧下率が10%を超えると、エッチング加工用素材に残留する歪が大きくなって、エッチング加工すると、残留歪に起因したエッチング加工用素材の変形が発生する危険性が高まるためである。
なお、過度に圧下率が少ないと、上述する表面粗さに調整することが困難となるため、仕上圧延の下限は2%とすると良い。
本発明では、仕上圧延の最終パスにて、ロールの円周方向(ロールの回転方向)とは直角方向の粗さがRa:0.10〜0.25μmのロールを用いることが必要となる。
ロールの円周方向と直角方向の粗さがRa:0.10〜0.25μmとする理由の第一は、エッチング加工用素材の表面粗さの調整であり、第二の理由は、圧延時のオイルが圧延材料表面とロールの間を通り抜けて行き易くする粗さをロールに付与することで、オイルピットの発生を抑制するためである。
そのため、本発明のロール表面には、ロールの円周方向に研磨痕を形成する。研磨痕の形成には、ロールの円周方向と直角方向の粗さがRa:0.10〜0.25μmとすることができる粗さを有する研磨紙を用意し、ロールを転動しながら研磨紙を押し当て、ロールに研磨痕をロールの円周方向に形成することで、研磨痕を形成すると良い。
なお、圧延速度の上限は特に規定しないが、速度が高すぎると、加工熱の影響でロールの熱膨張が発生し形状が不安定になる。その理由から10m/s以内で十分である。
本発明において、仕上圧延後にエッチング加工用素材に残留する歪の除去を目的に、歪除去焼鈍を行っても良く、歪除去焼鈍は、400〜700℃程度の温度域で十分である。
仕上圧延後に歪取り焼鈍を施すと、エッチング加工用素材に対してエッチング加工を行なった後に、残留応力に起因した不良をより確実に抑制することが可能となり、更に好ましい。
なお、上記の圧延方向と直角方向、圧延方向、ロールの円周方向とは直角方向、ロールの円周方向とは、図3に模式的に示す通り、エッチング加工用素材1に(A)として示す方向が圧延方向と直角方向であり、(B)として示す方向が圧延方向である。
また、ロール2に(C)として示す方向がロールの円周方向とは直角方向であり、(D)として示す方向がロールの円周方向である。
今回の実施例では、Ni含有量を最も好ましい範囲の32〜45質量%の範囲内にあるFe−Ni合金を用いた。
前記のFe−Ni合金は、真空溶解−熱間鍛造−均質化熱処理−熱間圧延で厚さ2〜3mmに仕上るという、通常の工程の後、冷間圧延を実施した。
本発明に用いたFe−Ni合金の化学組成を表1に示す。
仕上圧延後に、板厚0.050mmとするように、仕上圧延の圧下率を7.4%とし、圧延速度は1.3m/sとして、最終パスに用いるロールは、粗さを5種類に変化させたロールを用いてエッチング加工用素材を製造した。なお、条件A〜Dは本発明の範囲で製造したエッチング加工用素材であり、意図的に条件E、Fは平滑な表面肌に仕上た比較例である。
また、ロールへの粗さの付与は、ロールを回転させながら、円周方向に研磨痕が形成されるように研磨紙を用いた。
ロールの円周方向と直角方向の粗さと、仕上圧延後のエッチング加工用素材の表面粗さを表2に示す。
なお、表面粗さRaの測定は、JISB0601,JISB0651で示される測定方法に従って測定したものである。また、エッチング加工用素材の表面粗さは、ランダムに3箇所を選び、圧延方向と直角方向と、圧延方向の粗さを測定した。
オイルピットの有無を、画像解析等の手段により、定量的に評価しようと試みたが、識別がうまくいかなかった。そこで、200倍の顕微鏡写真により、オイルピットの発生を写真判定により確認することとした。
評価結果を表3に示し、また、条件Aで製造したエッチング加工用素材表面の光学顕微鏡写真を図1とし、条件Eで製造したエッチング加工用素材表面の光学顕微鏡写真を図2として示す。なお。図中に白丸で示す箇所が特徴的なオイルピットである。
また、図1及び図2に示した通り、条件E(図2)のエッチング加工用素材の表面は、数μm〜20μm程度のオイルピットが分散して形成されていることが確認できる。一方、本発明の条件A(図1)のメタルマスク用素材の表面は、数μm程度のオイルピットが僅かに形成されていることが分かる。
残留応力は、仕上圧延後の0.050mm厚さのエッチング加工用素材から、幅30mm、長さ150mmのカットサンプルを作成し、片面のみを板厚の1/3程度となる、0.016mmにエッチングにより除去した後、カットサンプルを垂直上盤に吊下げた際の反り量を測定し、評価を行った。
エッチング液は塩化第二鉄水溶液を使用し、液温50℃のエッチング液を噴霧させ試験片の腐食を実施した。表層に発生する残留応力は、板厚方向で数μmの極表層部のみである可能性が高いが、表層の影響を十分無視できるようにするため、板厚の1/3程度までエッチングを行うこととした。
この評価法を用いることで、エッチング後の吊下げ反り量が小さいほど、表層の圧縮残留応力が低減していることが判断できる。その結果を表4に示す。なお、エッチング加工用素材の表面粗さについては、表2で示したものと同じであった。
表4の結果から、圧延速度が本発明の範囲のものでは、反り量が少ない結果となった。
以上の結果から、本発明のエッチング用素材は、高精細なエッチング特性に影響を及ぼす表面形態に関する問題や残留応力に関する問題の双方を共に解決することができた。そのため、高精細パターンを形成するリードフレームやマスク用途に最適であると言える。
2 ロール
Claims (2)
- 質量%で、C:≦0.01%、Si:≦0.5%、Mn:≦1.0%、Ni:30〜50%を含有し、残部がFe及び不純物を含み、板厚が0.02〜0.15mmのエッチング加工用素材の製造方法であって、仕上冷間圧延の最終パスを10%以下の圧下率とし、且つ、前記仕上圧延のロールには、円周方向に研磨痕を形成し、円周方向と直角方向の粗さがRa:0.10〜0.25μmとしたロールを用いて圧延速度を1.2m/s以上で行なうことを特徴とするエッチング加工用素材の製造方法。
- 質量%で、C:≦0.01%、Si:≦0.5%、Mn:≦1.0%、Ni:30〜50%を含有し、残部がFe及び不純物を含み、板厚が0.02〜0.15mmのエッチング加工用素材であって、該エッチング加工用素材は、圧延方向と直角方向に測定した表面粗さが、Ra:0.08〜0.20μmであり、圧延方向に測定した表面粗さが、Ra:0.01〜0.10μmであり、且つ、圧延方向と直角方向に測定した表面粗さが、圧延方向に測定した表面粗さより、Raで0.02μmを超えて粗い表面粗さを有することを特徴とするエッチング加工用素材。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009065949A JP5294072B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | エッチング加工用素材の製造方法及びエッチング加工用素材 |
KR1020100022700A KR101164739B1 (ko) | 2009-03-18 | 2010-03-15 | 에칭가공용 소재의 제조방법 및 에칭가공용 소재 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009065949A JP5294072B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | エッチング加工用素材の製造方法及びエッチング加工用素材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010214447A true JP2010214447A (ja) | 2010-09-30 |
JP5294072B2 JP5294072B2 (ja) | 2013-09-18 |
Family
ID=42973849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009065949A Active JP5294072B2 (ja) | 2009-03-18 | 2009-03-18 | エッチング加工用素材の製造方法及びエッチング加工用素材 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5294072B2 (ja) |
KR (1) | KR101164739B1 (ja) |
Cited By (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102716906A (zh) * | 2012-07-10 | 2012-10-10 | 冶科金属有限公司 | 一种高板形ic引线框架用铁镍带材的生产方法 |
JP2013158830A (ja) * | 2012-02-08 | 2013-08-19 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 超合金部材の曲げ加工方法 |
JP2014101543A (ja) * | 2012-11-20 | 2014-06-05 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | メタルマスク材料及びメタルマスク |
CN105803333A (zh) * | 2015-01-20 | 2016-07-27 | 日立金属株式会社 | Fe-Ni系合金薄板的制造方法 |
JP2016135505A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-28 | 日立金属株式会社 | Fe−Ni系合金薄板の製造方法 |
JP2017064763A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 日立金属株式会社 | Fe−Ni系合金薄板の製造方法 |
CN106623419A (zh) * | 2016-12-14 | 2017-05-10 | 无锡华生精密材料股份有限公司 | 定膨胀合金带材的冷轧生产方法 |
KR20170052472A (ko) | 2015-11-04 | 2017-05-12 | 제이엑스금속주식회사 | 메탈 마스크 재료 및 메탈 마스크 |
JP2017088914A (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-25 | Jx金属株式会社 | メタルマスク材料及びメタルマスク |
JPWO2017013903A1 (ja) * | 2015-07-17 | 2018-02-15 | 凸版印刷株式会社 | メタルマスク基材、および、メタルマスクの製造方法 |
WO2018043641A1 (ja) | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 日立金属株式会社 | メタルマスク用素材およびその製造方法 |
WO2018043642A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 日立金属株式会社 | メタルマスク用素材およびその製造方法 |
CN107937870A (zh) * | 2013-01-10 | 2018-04-20 | 大日本印刷株式会社 | 金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法 |
US10273569B2 (en) | 2015-07-17 | 2019-04-30 | Toppan Printing Co., Ltd. | Metal mask substrate, metal mask substrate control method, metal mask, and metal mask production method |
CN109715834A (zh) * | 2016-09-15 | 2019-05-03 | 日立金属株式会社 | 金属掩模用原材料及其制造方法 |
CN109778114A (zh) * | 2017-11-14 | 2019-05-21 | 大日本印刷株式会社 | 用于制造蒸镀掩模的金属板和金属板的制造方法以及蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法 |
CN109834150A (zh) * | 2019-01-08 | 2019-06-04 | 上海航天精密机械研究所 | 多波管液压胀形成形装置及方法 |
WO2019244962A1 (ja) * | 2018-06-20 | 2019-12-26 | 日立金属株式会社 | Fe-Ni系合金薄板 |
WO2020067537A1 (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 | メタルマスク材料及びその製造方法とメタルマスク |
US10876215B2 (en) | 2015-07-17 | 2020-12-29 | Toppan Printing Co., Ltd. | Metal mask substrate for vapor deposition, metal mask for vapor deposition, production method for metal mask substrate for vapor deposition, and production method for metal mask for vapor deposition |
JP2021036076A (ja) * | 2018-11-13 | 2021-03-04 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクを製造するための金属板及び金属板の製造方法並びに蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスクを備える蒸着マスク装置 |
US11111585B2 (en) | 2015-07-17 | 2021-09-07 | Toppan Printing Co., Ltd. | Method for producing base for metal masks, method for producing metal mask for vapor deposition, base for metal masks, and metal mask for vapor deposition |
US11217750B2 (en) | 2014-05-13 | 2022-01-04 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Metal plate, method of manufacturing metal plate, and method of manufacturing mask by using metal plate |
CN114107988A (zh) * | 2021-06-16 | 2022-03-01 | 达运精密工业股份有限公司 | 金属遮罩基材的制备方法 |
US11339465B2 (en) | 2017-09-08 | 2022-05-24 | Toppan Printing Co., Ltd. | Vapor deposition mask substrate, vapor deposition mask substrate manufacturing method, vapor deposition mask manufacturing method, and display device manufacturing method |
US11390953B2 (en) | 2016-04-14 | 2022-07-19 | Toppan Printing Co., Ltd. | Vapor deposition mask base material, vapor deposition mask base material manufacturing method, and vapor deposition mask manufacturing method |
US11486031B2 (en) | 2013-10-15 | 2022-11-01 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Metal plate |
US11499235B2 (en) | 2017-10-13 | 2022-11-15 | Toppan Printing Co., Ltd. | Vapor deposition mask substrate, vapor deposition mask substrate manufacturing method, vapor deposition mask manufacturing method, and display device manufacturing method |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH057905A (ja) * | 1991-07-05 | 1993-01-19 | Nippon Steel Corp | 低光沢ステンレス箔の圧延方法 |
JPH05317910A (ja) * | 1992-03-12 | 1993-12-03 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 光沢度の高い金属板の製造方法 |
JPH06122013A (ja) * | 1992-10-15 | 1994-05-06 | Kawasaki Steel Corp | シャドウマスク乃至アパーチャーグリル用鋼板の製造方法 |
JPH0957304A (ja) * | 1995-08-24 | 1997-03-04 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 光学的異方性の少ないアルミニウム板若しくはアルミニウム合金板の製造方法 |
JPH09209176A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-12 | Hitachi Metals Ltd | エッチング加工性に優れたFe−Ni系合金薄板 |
JPH10270629A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-09 | Nikko Kinzoku Kk | 樹脂密着性に優れた鉄合金材 |
JP2002282902A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-02 | Kawasaki Steel Corp | ステンレス鋼板の調質圧延方法 |
JP2004039628A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-02-05 | Hitachi Metals Ltd | メタルマスク |
-
2009
- 2009-03-18 JP JP2009065949A patent/JP5294072B2/ja active Active
-
2010
- 2010-03-15 KR KR1020100022700A patent/KR101164739B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH057905A (ja) * | 1991-07-05 | 1993-01-19 | Nippon Steel Corp | 低光沢ステンレス箔の圧延方法 |
JPH05317910A (ja) * | 1992-03-12 | 1993-12-03 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 光沢度の高い金属板の製造方法 |
JPH06122013A (ja) * | 1992-10-15 | 1994-05-06 | Kawasaki Steel Corp | シャドウマスク乃至アパーチャーグリル用鋼板の製造方法 |
JPH0957304A (ja) * | 1995-08-24 | 1997-03-04 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 光学的異方性の少ないアルミニウム板若しくはアルミニウム合金板の製造方法 |
JPH09209176A (ja) * | 1996-01-30 | 1997-08-12 | Hitachi Metals Ltd | エッチング加工性に優れたFe−Ni系合金薄板 |
JPH10270629A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-09 | Nikko Kinzoku Kk | 樹脂密着性に優れた鉄合金材 |
JP2002282902A (ja) * | 2001-03-28 | 2002-10-02 | Kawasaki Steel Corp | ステンレス鋼板の調質圧延方法 |
JP2004039628A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-02-05 | Hitachi Metals Ltd | メタルマスク |
Cited By (71)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013158830A (ja) * | 2012-02-08 | 2013-08-19 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 超合金部材の曲げ加工方法 |
CN102716906B (zh) * | 2012-07-10 | 2015-04-01 | 冶科金属有限公司 | 一种高板形ic引线框架用铁镍带材的生产方法 |
CN102716906A (zh) * | 2012-07-10 | 2012-10-10 | 冶科金属有限公司 | 一种高板形ic引线框架用铁镍带材的生产方法 |
JP2014101543A (ja) * | 2012-11-20 | 2014-06-05 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | メタルマスク材料及びメタルマスク |
CN107937870A (zh) * | 2013-01-10 | 2018-04-20 | 大日本印刷株式会社 | 金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法 |
US11486031B2 (en) | 2013-10-15 | 2022-11-01 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Metal plate |
US11217750B2 (en) | 2014-05-13 | 2022-01-04 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Metal plate, method of manufacturing metal plate, and method of manufacturing mask by using metal plate |
JP2016135505A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-28 | 日立金属株式会社 | Fe−Ni系合金薄板の製造方法 |
CN105803333A (zh) * | 2015-01-20 | 2016-07-27 | 日立金属株式会社 | Fe-Ni系合金薄板的制造方法 |
KR101786235B1 (ko) * | 2015-01-20 | 2017-10-16 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법 |
US10876215B2 (en) | 2015-07-17 | 2020-12-29 | Toppan Printing Co., Ltd. | Metal mask substrate for vapor deposition, metal mask for vapor deposition, production method for metal mask substrate for vapor deposition, and production method for metal mask for vapor deposition |
US11111585B2 (en) | 2015-07-17 | 2021-09-07 | Toppan Printing Co., Ltd. | Method for producing base for metal masks, method for producing metal mask for vapor deposition, base for metal masks, and metal mask for vapor deposition |
US10903426B2 (en) | 2015-07-17 | 2021-01-26 | Toppan Printing Co., Ltd. | Metal mask base, metal mask and method for producing metal mask |
US11746423B2 (en) | 2015-07-17 | 2023-09-05 | Toppan Printing Co., Ltd. | Method for producing base for metal masks, method for producing metal mask for vapor deposition, base for metal masks, and metal mask for vapor deposition |
US11706968B2 (en) | 2015-07-17 | 2023-07-18 | Toppan Printing Co., Ltd. | Metal mask base, metal mask and method for producing metal mask |
JPWO2017013903A1 (ja) * | 2015-07-17 | 2018-02-15 | 凸版印刷株式会社 | メタルマスク基材、および、メタルマスクの製造方法 |
US11453940B2 (en) | 2015-07-17 | 2022-09-27 | Toppan Printing Co., Ltd. | Metal mask substrate for vapor deposition, metal mask for vapor deposition, production method for metal mask substrate for vapor deposition, and production method for metal mask for vapor deposition |
US10273569B2 (en) | 2015-07-17 | 2019-04-30 | Toppan Printing Co., Ltd. | Metal mask substrate, metal mask substrate control method, metal mask, and metal mask production method |
JP2017064763A (ja) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 日立金属株式会社 | Fe−Ni系合金薄板の製造方法 |
KR101809377B1 (ko) * | 2015-09-30 | 2017-12-14 | 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤 | Fe-Ni계 합금 박판의 제조방법 |
CN106955892A (zh) * | 2015-09-30 | 2017-07-18 | 日立金属株式会社 | Fe-Ni系合金薄板的制造方法 |
JP2017088915A (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-25 | Jx金属株式会社 | メタルマスク材料及びメタルマスク |
TWI621719B (zh) * | 2015-11-04 | 2018-04-21 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | Metal mask material and metal mask |
KR20170052472A (ko) | 2015-11-04 | 2017-05-12 | 제이엑스금속주식회사 | 메탈 마스크 재료 및 메탈 마스크 |
JP2017088914A (ja) * | 2015-11-04 | 2017-05-25 | Jx金属株式会社 | メタルマスク材料及びメタルマスク |
CN106917063A (zh) * | 2015-11-04 | 2017-07-04 | Jx金属株式会社 | 金属掩模材料和金属掩模 |
US11390953B2 (en) | 2016-04-14 | 2022-07-19 | Toppan Printing Co., Ltd. | Vapor deposition mask base material, vapor deposition mask base material manufacturing method, and vapor deposition mask manufacturing method |
WO2018043642A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 日立金属株式会社 | メタルマスク用素材およびその製造方法 |
KR20190034263A (ko) | 2016-08-31 | 2019-04-01 | 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 | 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법 |
JPWO2018043642A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2019-06-24 | 日立金属株式会社 | メタルマスク用素材およびその製造方法 |
CN109641248A (zh) * | 2016-08-31 | 2019-04-16 | 日立金属株式会社 | 金属掩模用原材料及其制造方法 |
WO2018043641A1 (ja) | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 日立金属株式会社 | メタルマスク用素材およびその製造方法 |
KR20190030754A (ko) | 2016-08-31 | 2019-03-22 | 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 | 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법 |
CN109642289A (zh) * | 2016-08-31 | 2019-04-16 | 日立金属株式会社 | 金属掩模用原材料及其制造方法 |
KR102200854B1 (ko) | 2016-08-31 | 2021-01-11 | 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 | 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법 |
KR102164912B1 (ko) * | 2016-08-31 | 2020-10-13 | 히다찌긴조꾸가부시끼가이사 | 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법 |
CN109642289B (zh) * | 2016-08-31 | 2021-06-01 | 日立金属株式会社 | 金属掩模用原材料及其制造方法 |
CN109715834A (zh) * | 2016-09-15 | 2019-05-03 | 日立金属株式会社 | 金属掩模用原材料及其制造方法 |
CN106623419A (zh) * | 2016-12-14 | 2017-05-10 | 无锡华生精密材料股份有限公司 | 定膨胀合金带材的冷轧生产方法 |
US11339465B2 (en) | 2017-09-08 | 2022-05-24 | Toppan Printing Co., Ltd. | Vapor deposition mask substrate, vapor deposition mask substrate manufacturing method, vapor deposition mask manufacturing method, and display device manufacturing method |
US11499235B2 (en) | 2017-10-13 | 2022-11-15 | Toppan Printing Co., Ltd. | Vapor deposition mask substrate, vapor deposition mask substrate manufacturing method, vapor deposition mask manufacturing method, and display device manufacturing method |
JP2020079441A (ja) * | 2017-11-14 | 2020-05-28 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクを製造するための金属板及び金属板の製造方法並びに蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスクを備える蒸着マスク装置 |
JP7116929B2 (ja) | 2017-11-14 | 2022-08-12 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクを製造するための金属板及び金属板の製造方法並びに蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 |
TWI827235B (zh) * | 2017-11-14 | 2023-12-21 | 日商大日本印刷股份有限公司 | 用以製造蒸鍍罩之金屬板及金屬板之製造方法、以及蒸鍍罩及蒸鍍罩之製造方法 |
JP2021038461A (ja) * | 2017-11-14 | 2021-03-11 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクを製造するための金属板及び金属板の製造方法並びに蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 |
CN113774323B (zh) * | 2017-11-14 | 2023-12-12 | 大日本印刷株式会社 | 用于制造蒸镀掩模的金属板、蒸镀掩模及它们的制造方法 |
CN109778114A (zh) * | 2017-11-14 | 2019-05-21 | 大日本印刷株式会社 | 用于制造蒸镀掩模的金属板和金属板的制造方法以及蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法 |
CN109778114B (zh) * | 2017-11-14 | 2021-10-15 | 大日本印刷株式会社 | 用于制造蒸镀掩模的金属板和金属板的制造方法以及蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法 |
JP7334833B2 (ja) | 2017-11-14 | 2023-08-29 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクを製造するための金属板の製造方法 |
CN113774323A (zh) * | 2017-11-14 | 2021-12-10 | 大日本印刷株式会社 | 用于制造蒸镀掩模的金属板和金属板的制造方法以及蒸镀掩模和蒸镀掩模的制造方法 |
JP2021193211A (ja) * | 2017-11-14 | 2021-12-23 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクを製造するための金属板並びに蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 |
JPWO2019098165A1 (ja) * | 2017-11-14 | 2020-11-26 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクを製造するための金属板の製造方法 |
US11237481B2 (en) | 2017-11-14 | 2022-02-01 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Metal plate for manufacturing deposition mask and manufacturing method for metal plate, and deposition mask and manufacturing method for deposition mask |
US11733607B2 (en) | 2017-11-14 | 2023-08-22 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Metal plate for producing vapor deposition masks, inspection method for metal plates, production method for metal plates, vapor deposition mask, vapor deposition mask device, and production method for vapor deposition masks |
WO2019098165A1 (ja) * | 2017-11-14 | 2019-05-23 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクを製造するための金属板及び金属板の製造方法並びに蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 |
US20200017950A1 (en) * | 2017-11-14 | 2020-01-16 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Metal plate for manufacturing deposition mask and manufacturing method for metal plate, and deposition mask and manufacturing method for deposition mask |
TWI776990B (zh) * | 2017-11-14 | 2022-09-11 | 日商大日本印刷股份有限公司 | 用以製造蒸鍍罩之金屬板及金屬板之製造方法、以及蒸鍍罩及蒸鍍罩之製造方法 |
JP7125683B2 (ja) | 2017-11-14 | 2022-08-25 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクを製造するための金属板並びに蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法 |
WO2019244962A1 (ja) * | 2018-06-20 | 2019-12-26 | 日立金属株式会社 | Fe-Ni系合金薄板 |
JP7294336B2 (ja) | 2018-06-20 | 2023-06-20 | 株式会社プロテリアル | Fe-Ni系合金薄板 |
JPWO2019244962A1 (ja) * | 2018-06-20 | 2021-07-08 | 日立金属株式会社 | Fe−Ni系合金薄板 |
CN112752860A (zh) * | 2018-09-27 | 2021-05-04 | 日铁化学材料株式会社 | 金属掩膜材料及其制造方法、金属掩膜 |
WO2020067537A1 (ja) * | 2018-09-27 | 2020-04-02 | 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 | メタルマスク材料及びその製造方法とメタルマスク |
JP6704540B1 (ja) * | 2018-09-27 | 2020-06-03 | 日鉄ケミカル&マテリアル株式会社 | メタルマスク材料及びその製造方法とメタルマスク |
US20210340664A1 (en) * | 2018-09-27 | 2021-11-04 | Nippon Steel Chemical & Material Co., Ltd. | Metal mask material, method for manufacturing same, and metal mask |
JP2021036076A (ja) * | 2018-11-13 | 2021-03-04 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクを製造するための金属板及び金属板の製造方法並びに蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスクを備える蒸着マスク装置 |
JP7478359B2 (ja) | 2018-11-13 | 2024-05-07 | 大日本印刷株式会社 | 蒸着マスクを製造するための金属板及び金属板の製造方法並びに蒸着マスク、蒸着マスクの製造方法及び蒸着マスクを備える蒸着マスク装置 |
CN109834150A (zh) * | 2019-01-08 | 2019-06-04 | 上海航天精密机械研究所 | 多波管液压胀形成形装置及方法 |
CN109834150B (zh) * | 2019-01-08 | 2021-05-04 | 上海航天精密机械研究所 | 多波管液压胀形成形方法 |
CN114107988A (zh) * | 2021-06-16 | 2022-03-01 | 达运精密工业股份有限公司 | 金属遮罩基材的制备方法 |
CN114107988B (zh) * | 2021-06-16 | 2023-09-22 | 达运精密工业股份有限公司 | 金属遮罩基材的制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100105421A (ko) | 2010-09-29 |
JP5294072B2 (ja) | 2013-09-18 |
KR101164739B1 (ko) | 2012-07-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5294072B2 (ja) | エッチング加工用素材の製造方法及びエッチング加工用素材 | |
JP6646882B2 (ja) | メタルマスク用素材およびその製造方法 | |
KR102114022B1 (ko) | 마텐자이트계 스테인리스 강박 및 그 제조 방법 | |
JP5507765B2 (ja) | 電気化学的粗面化のためのリソグラフィーストリップ及びその製造方法 | |
JP2021014639A (ja) | Fe−Ni系合金薄板の製造方法 | |
KR102294111B1 (ko) | 메탈 마스크용 박판의 제조 방법 및 메탈 마스크용 박판 | |
KR102200854B1 (ko) | 메탈 마스크용 소재 및 그 제조 방법 | |
TW523552B (en) | Fe-Ni alloy shadow mask blank with excellent etch perforation properties and method for manufacturing the same | |
JP2015167953A (ja) | ステンレス箔の製造方法 | |
JP5491968B2 (ja) | 条鋼の製造方法 | |
JP2011084800A (ja) | 高純度アルミニウム圧延板とその圧延板の製造方法 | |
JP3562492B2 (ja) | フォトエッチング加工用ステンレス鋼板およびその製造方法 | |
JP2005320586A (ja) | フォトエッチング加工用ステンレス鋼板およびその製造方法 | |
JP6266905B2 (ja) | 缶ボディ用アルミニウム合金板及びその製造方法 | |
JP4655826B2 (ja) | 感光性樹脂版材用冷延鋼板とその製造方法 | |
JPH08199270A (ja) | 磁気特性に優れたFe−Ni系合金板およびその製造方法 | |
Sawada et al. | Development of austenitic stainless steel sheets for micro-fabrication | |
JP2009120926A (ja) | アルミニウム圧延板およびその製造方法 | |
JPH0849017A (ja) | 耐ローピング性に優れるフェライト系ステンレス鋼板の製造方法 | |
JP2006009081A (ja) | Fe−Ni系合金熱延板のスケール除去方法 | |
JPH10192976A (ja) | 棒鋼の2ロール矯正時における表面硬化の防止方法 | |
KR20170068658A (ko) | 쌍롤식 박판 주조기를 이용한 고Cu 스테인리스강의 제조방법 및 이에 의해 제조된 고Cu 스테인리스강 | |
JPH03223447A (ja) | 電解又は化学エッチング性に優れたアルミニウム及びアルミニウム合金板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120213 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130315 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130417 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130517 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130530 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5294072 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |