KR20100105421A

KR20100105421A - 에칭가공용 소재의 제조방법 및 에칭가공용 소재

Info

Publication number: KR20100105421A
Application number: KR1020100022700A
Authority: KR
Inventors: 다쿠야 오카모토; 야스유키 이이다
Original assignee: 히타치 긴조쿠 가부시키가이샤
Priority date: 2009-03-18
Filing date: 2010-03-15
Publication date: 2010-09-29
Also published as: JP5294072B2; JP2010214447A; KR101164739B1

Abstract

본 발명은 고정세 패턴을 형성하는 리드프레임이나 마스크용도의 경우에도, 우수한 에칭가공이 가능한 에칭가공용 소재의 제조방법 및 에칭가공용 소재를 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 에칭가공용 소재의 제조방법은, 질량%로 C: ≤0.01%, Si: ≤0.5%, Mn: ≤1.0%, Ni: 30~50%를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불순물을 포함하며, 판두께가 0.02~0.15 ㎜인 에칭가공용 소재의 제조방법으로서, 마무리 냉간압연의 최종 패스를 10% 이하의 압하율로 하고, 또한, 상기 마무리 압연의 롤에는, 원주방향으로 연마흔을 형성하여, 원주방향과 직각방향의 조도를 Ra: 0.10~0.25 ㎛로 한 롤을 사용해서 압연속도를 1.2 m/s 이상으로 행하는 것을 특징으로 한다.

Description

에칭가공용 소재의 제조방법 및 에칭가공용 소재{Method of producing etching material and the etching material}

본 발명은 고정세(高精細) 에칭가공이 가능한 에칭가공용 소재의 제조방법 및 에칭가공용 소재에 관한 것이다.

Fe-Ni 합금의 박판에 고정세 에칭가공을 행하는 용도로서, 종래부터 리드프레임재나 섀도마스크재 등의 각종 마스크재가 알려져 있다.

그런데, Fe-Ni 합금의 박판을 제조하는 경우, 최종공정에서 냉간압연이 실시된다. 이 냉간압연 중에 발생하는 문제로서는, 표면 형태에 관한 문제나 잔류응력에 관한 문제가 있고, 모두 고정세 에칭 특성에 영향을 미친다. 그 때문에, 고정세 에칭을 행하는 기판에는, 목적하는 에칭 특성을 얻기 위해서, 표면조도를 조정하거나, 잔류응력을 조정하는 각종 제안이 이루어져 있다.

예를 들면, 일본국 특허공개 평8-269742호 공보(특허문헌 1)에는, 표면으로부터의 잔류응력의 평균값을 50 N/㎟ 이하로 함으로써 미세한 에칭패턴이 형성 가능한 Fe-Ni 합금을 소재로 한 제안이 이루어져 있다. 이 기술은 사이드 에치를 방지하여, 고정세 에칭가공을 가능하게 하는 것이다.

또한, 예를 들면, 일본국 특허공개 평6-122013호 공보(특허문헌 2)에는, 최종 냉간압연공정에 있어서, 압하율 5% 이상으로 압연하는 동시에 압연유 농도를 관리함으로써 오일 피트의 발생을 제어하여 목적하는 판면 조도를 얻는 섀도마스크나 어퍼쳐 그릴(aperture grill)용 강판의 제조방법이 제안되어 있다. 이 기술은 잔류응력을 억제하는 기술이다.

또한, 본원 출원인도 일본국 특허공개 제2004-39628호 공보(특허문헌 3)로서, 2장의 금속판을 중간층에서 접착한 적층박을 사용한 증착 마스크를 제안하고 있다.

일본국특허공개평8-269742호공보 일본국특허공개평6-122013호공보 일본국특허공개제2004-39628호공보

전술한 고정세 에칭가공이 요구되는 용도에 있어서는, 예를 들면, 특허문헌 3에서 나타낸 적층박을 사용하면 고정도의 에칭가공이 가능하나, 특허문헌 3의 에칭가공용 소재의 경우에는, 판두께가 10 ㎛ 이하인 금속박을 준비할 필요가 있고, 또한, 이들을 특별한 압착·압연장치를 사용해서 적층박으로 할 필요가 있어, 매우 고가의 소재가 된다.

한편, 특허문헌 1이나 특허문헌 2에서 나타내어지는 미세가공 가능한 Fe-Ni 합금은 단체(單體)의 금속재료를 사용하는 점에서 경제적이다.

특허문헌 1에서는, 고정세 에칭에 영향을 미치는 요인으로서, 통상의 냉간압연의 경우에는, 윤활유의 닿음이 완전히 균일하게 되지 않고, 재료 표면에, 오일 피트가 형성되거나, 소성 변형의 진행에 의한 신생면의 표출 등에 의해, 균일한 표면상태가 얻어지지 않아, 유기 피막과의 밀착성이 떨어지는 부분「WBL(Weak-Boundary-Layer)」을 발생하기 쉬운 것이 기재되어 있다.

그리고, [0006], [0016]~[0018] 란에는, 잔류응력에 더하여 표면조도를 거칠게 하는 것이 유효하다고 기재되어 있으나, 과도하게 표면조도를 거칠게 하는 것은, 더욱 고정세 에칭가공을 곤란하게 한다.

또한, 특허문헌 2에 기재되어 있는 바와 같은 오일 피트를 적극적으로 이용해서 소재 표면의 조도를 조정하는 방법에서는, 과도하게 깊은 오일 피트가 형성되는 경우가 있다. 그리고, 그 오일 피트에 기인한 에칭 불량에 의해, 고정세 에칭가공이 곤란해진다.

본 발명의 목적은, 고정세 패턴을 형성하는 리드프레임이나 마스크용도의 경우에도, 우수한 에칭가공이 가능한 에칭가공용 소재의 제조방법 및 에칭가공용 소재를 제공하는 것이다.

본 발명자 등은, 고정세 패턴의 에칭가공을 고정도로 형성 가능하게 하기 위해, 화학 조성, 표면조도, 잔류응력 등의 에칭가공에 영향을 미치는 각종 요인에 대해서 예의 검토하였다.

그 결과, 가장 고정세 에칭가공에 영향을 미치는 원인이 표면조도인 것을 발견하였다. 과도하게 표면조도를 낮게 하면, 오일 피트의 영향이 강해져, 에칭시에 치수 불량이 발생하기 쉽고, 또한, 과도하게 표면조도를 거칠게 하면, 고정세 에칭가공 자체가 곤란해지는 것을 밝혀냈다.

그리고, 최적의 표면조도를 부여할 수 있는 에칭가공용 소재의 제조방법을 예의 검토한 결과, 마무리 냉간압연시의 롤의 조도를 조정함으로써, 오일 피트의 발생을 억제할 수 있어, 최적의 표면조도를 갖는 에칭가공용 소재로 할 수 있는 것을 발견하였다.

또한, 잔류응력의 저감에는 마무리 압연시의 압연속도를 조정함으로써, 에칭가공용 소재와 롤의 마찰계수를 저감시키는 것이 유효한 것을 밝혀내고, 본 발명에 도달하였다.

즉 본 발명은, 질량%로 C: ≤0.01%, Si: ≤0.5%, Mn: ≤1.0%, Ni: 30~50%를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불순물을 포함하며, 판두께가 0.02~0.15 ㎜인 에칭가공용 소재의 제조방법으로서, 마무리 냉간압연의 최종 패스를 10% 이하의 압하율로 하고, 또한, 상기 마무리 압연의 롤에는, 원주방향으로 연마흔을 형성하여, 원주방향과 직각방향의 조도를 Ra: 0.10~0.25 ㎛로 한 롤을 사용해서 압연속도를 1.2 m/s 이상으로 행하는 에칭가공용 소재의 제조방법이다.

또한 본 발명은, 질량%로 C: ≤0.01%, Si: ≤0.5%, Mn: ≤1.0%, Ni: 30~50%를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불순물을 포함하며, 판두께가 0.02~0.15 ㎜인 에칭가공용 소재로서, 그 에칭가공용 소재는, 압연방향과 직각방향으로 측정한 표면조도가 Ra: 0.08~0.20 ㎛이고, 압연방향으로 측정한 표면조도가 Ra: 0.01~0.10 ㎛이며, 또한, 압연방향과 직각방향으로 측정한 표면조도가, 압연방향으로 측정한 표면조도보다, Ra로 0.02 ㎛를 초과하여 거친 표면조도를 갖는 에칭가공용 소재이다.

본 발명방법으로 얻어지는 에칭가공용 소재는, 고정세 패턴의 에칭가공이 고정도로 형성 가능해지고, 또한, 에칭시의 치수 불량도 억제할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제조방법을 적용한, 이방성이 있는 표면조도를 부여한 표면을 갖는 에칭가공용 소재의 표면의 일례를 나타내는 현미경사진이다.
도 2는 등방성의 표면조도를 부여한 표면을 갖는 에칭가공용 소재의 표면의 일례를 나타내는 현미경사진이다.
도 3은 표면 측정방향을 나타내는 모식도이다.

본 발명에서 규정한 한정 이유를 이하에 기술한다.

본 발명의 에칭가공용 소재의 화학 조성을 질량%로 C: ≤0.01%, Si: ≤0.5%, Mn: ≤1.0%, Ni: 30~50%를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불순물을 포함하는 Fe-Ni 합금으로 한 이유는 이하와 같다.

C: ≤0.01 질량%

C는 에칭성에 영향을 미치는 원소이다. C가 과도하게 많이 포함되면 에칭성을 저해하기 때문에, C의 상한을 0.01%로 하였다.

Si: ≤0.5 질량%, Mn: ≤1.0 질량%

Si, Mn은 통상, 탈산을 목적으로 미량 함유되어 있으나, 과잉으로 첨가하면 편석을 일으키기 쉬워지기 때문에, Si: 0.5% 이하, Mn: 1.0% 이하로 하였다. 바람직한 Si량과 Mn량은, Si: 0.1% 이하, Mn: 0.5% 이하이다.

Ni: 30~50 질량%

Ni는, 예를 들면 리드프레임으로서 사용하는 경우의 열팽창계수를 조정하는 작용을 가져, 저열팽창 특성에 커다란 영향을 미치는 원소이다. 함유량이 30%보다 적거나, 또는 50%를 초과하는 것에서는 열팽창계수를 낮추는 효과가 없어지기 때문에, Ni의 범위는 30~50%로 한다. 바람직하게는 32~45%이다.

상기 이외를 구성하는 것은 Fe와 불순물이다.

다음으로 판두께 및 표면조도에 대해서 설명한다.

본 발명에서 판두께를 0.02~0.15 ㎜로 한 것은, 0.02 ㎜ 미만이 되면 핸들링성에 문제가 발생하고, 0.15 ㎜를 초과하면 에칭가공시에 사이드 에치량이 증가하여, 예를 들면 특히 고정세 에칭가공을 필요로 하는 용도에서는, 고정세 에칭 패턴의 형성이 곤란해진다. 그 때문에, 판두께를 0.02~0.15 ㎜로 한정하였다. 또한, 고정세에 유리한 판두께는 0.02~0.10 ㎜의 범위이고, 더욱 바람직하게는 0.02~0.06 ㎜의 범위이다.

본 발명에서 에칭가공용 소재의 압연방향과 직각방향으로 측정한 표면조도가 Ra: 0.08~0.20 ㎛이고, 또한, 압연방향으로 측정한 표면조도를 Ra: 0.01~0.10 ㎛로 한 이유는 이하와 같다.

고정세 에칭 패턴을 소재에 형성할 때, 에칭가공용 소재의 표면에 오일 피트가 많이 형성되어 있으면, 에칭가공을 행하는 위치에 따라, 에칭액의 진행에 차이가 발생하여, 에칭 후의 개공정도(開孔精度)에 악영향을 미칠 가능성이 있다.

그 때문에, 에칭가공용 소재 표면에 형성되는 오일 피트를 적게 함으로써, 에칭 패턴을 보다 고정세로 하는 것이 기대된다.

이에 본 발명에서는, 에칭가공용 소재의 압연방향과 직각방향 및 압연방향 각각으로, 의도적으로 상이한 조도를 부여하여, 오일 피트의 발생을 억제하도록 하였다.

그 구체적인 방법으로서는, 냉간압연시의 롤의 조도를 약간 거칠게 하고, 압연시의 오일이 압연재료 표면과 롤 사이를 빠져 나가기 쉽게 하기 위해서, 마무리 압연의 롤에는, 원주방향으로 연마흔을 형성함으로써 오일 피트의 발생을 억제하였다. 즉, 압연시에 오일의 도피로를 의도적으로 만들어 둠으로써 오일 피트의 발생을 억제한다.

그 결과, 압연 후에 있어서의 압연방향과 직각으로 측정했을 때의 표면의 조도는 거칠어지나, 오일 피트의 발생은 억제된다.

상기 효과를 얻기 위해서, 본 발명의 에칭용 소재는, 압연방향과 직각방향으로 측정한 표면조도를 Ra: 0.08~0.20 ㎛로 한다.

단, 압연방향과 직각방향으로 측정한 표면조도가 Ra로 0.20 ㎛를 초과하여 거칠어지면, 거친 표면에 기인하여 고정세 에칭가공이 어려워진다.

또한, 한편으로 과도하게 표면조도가 낮아지면, 상기 오일 피트의 발생을 억제하는 효과가 얻어지지 않아, 오일 피트에 기인한 에칭 불량이 되기 쉬워지기 때문에, 압연방향과 직각방향으로 측정한 표면조도의 하한을, Ra로 0.08 ㎛ 이상으로 한다.

또한, 본 발명의 경우, 상기한 바와 같이, 압연방향과 직각방향으로 측정한 표면조도를 높임으로써 오일 피트의 발생을 억제하면서, 압연방향의 표면조도를 약간 평활하게 하여 고정세 에칭가공을 실현한다.

그것을 위해 필요한 압연방향의 표면조도는, Ra: 0.01~0.10 ㎛로 한다.

또한, 본 발명에 있어서, 압연방향과 직각방향으로 측정한 표면조도는, 압연방향으로 측정한 표면조도보다도 높은 것이 필요하고, 상기 오일 피트의 발생을 확실히 억제하는 데는, 압연방향과 직각방향으로 측정한 표면조도가, 압연방향으로 측정한 표면조도보다, Ra로 0.02 ㎛를 초과하여 거친 표면조도가 필요하다.

에칭가공용 소재의 표면조도를 상기 범위로 하는 데는, 이하의 제조방법을 적용하면 된다.

본 발명에서 가장 중요한 공정은, 마무리 압연공정이다. 마무리 압연공정까지는, 통상의 Fe-Ni 합금의 제조방법을 그대로 적용할 수 있다.

예를 들면, 진공용해(眞空溶解)-열간단조(熱間鍛造)-열간압연(熱間壓延)-냉간압연(冷間壓延)이라는 공정이어도 되고, 필요에 따라, 냉간압연 전의 단계에서 1200℃ 정도로 균질화 열처리를 행하고, 냉간압연공정 중에는, 냉간압연재의 경도를 저감하기 위해 800~950℃의 소둔(燒鈍)을 1회 이상 행하면 된다.

그리고, 냉간압연의 마무리 압연에 있어서, 최종 패스의 압하율을 10% 이하로 한다.

마무리 압연의 최종 패스의 압하율을 10% 이하로 하는 것은, 냉간압연의 최종 단계에서의 압하율이 10%를 초과하면, 에칭가공용 소재에 잔류하는 변형이 커져, 에칭가공하면, 잔류변형에 기인한 에칭가공용 소재의 변형이 발생할 위험성이 높아지기 때문이다.

또한, 과도하게 압하율이 적으면, 전술한 표면조도로 조정하는 것이 곤란해지기 때문에, 마무리 압연의 하한은 2%로 하면 된다.

본 발명에 있어서는, 롤의 표면조도를 조정하여 에칭가공용 소재 표면의 조도를 조정한다.

본 발명에서는, 마무리 압연의 최종 패스에서, 롤의 원주방향(롤의 회전방향)과는 직각방향의 조도가 Ra: 0.10~0.25 ㎛인 롤을 사용하는 것이 필요해진다.

롤의 원주방향과 직각방향의 조도를 Ra: 0.10~0.25 ㎛로 하는 첫째 이유는, 에칭가공용 소재의 표면조도의 조정이고, 둘째 이유는, 압연시의 오일이 압연재료 표면과 롤 사이를 빠져 나가기 쉽게 하는 조도를 롤에 부여함으로써, 오일 피트의 발생을 억제하기 위함이다.

그 때문에, 본 발명의 롤 표면에는, 롤의 원주방향으로 연마흔을 형성한다. 연마흔의 형성에는, 롤의 원주방향과 직각방향의 조도를 Ra: 0.10~0.25 ㎛로 할 수 있는 조도를 갖는 연마지를 준비하고, 롤을 전동(轉動)하면서 연마지를 꽉 눌러, 롤에 연마흔을 롤의 원주방향으로 형성함으로써, 연마흔을 형성하면 된다.

그리고 본 발명에서는, 잔류응력을 저감하기 위해, 압연속도를 1.2 m/s 이상으로 규정하였다. 압연속도가 1.2 m/s 미만이면, 롤과 에칭가공용 소재의 마찰계수가 높아져, 잔류응력을 저감할 수 없다. 그 때문에, 압연속도를 1.2 m/s 이상으로 한다. 바람직한 압연속도는 1.5 m/s 이상이다.

또한, 압연속도의 상한은 특별히 규정하지 않으나, 속도가 지나치게 높으면, 가공열의 영향으로 롤의 열팽창이 발생하여 형상이 불안정해진다. 그 이유에서 10 m/s 이내이면 충분하다.

본 발명에 있어서, 마무리 압연 후에 에칭가공용 소재에 잔류하는 변형의 제거를 목적으로, 변형 제거 소둔을 행해도 되고, 변형 제거 소둔은 400~700℃ 정도의 온도역이면 충분하다.

마무리 압연 후에 변형 제거 소둔을 행하면, 에칭가공용 소재에 대해 에칭가공을 행한 후에, 잔류응력에 기인한 불량을 보다 확실히 억제하는 것이 가능해져, 더욱 바람직하다.

또한, 상기 압연방향과 직각방향, 압연방향, 롤의 원주방향과는 직각방향, 롤의 원주방향이란, 도 3에 모식적으로 나타내는 바와 같으며, 에칭가공용 소재(1)에 (A)로 나타내는 방향이 압연방향과 직각방향이고, (B)로 나타내는 방향이 압연방향이다.

또한, 롤(2)에 (C)로 나타내는 방향이 롤의 원주방향과는 직각방향이고, (D)로 나타내는 방향이 롤의 원주방향이다.

실시예

이하의 실시예로 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.

이번 실시예에서는, Ni 함유량이 가장 바람직한 범위인 32~45 질량%의 범위 내에 있는 Fe-Ni 합금을 사용하였다.

상기 Fe-Ni 합금은, 진공용해-열간단조-균질화열처리-열간압연으로 두께 2~3 ㎜로 마무리한다는 통상의 공정 후, 냉간압연을 실시하였다.

본 발명에 사용한 Fe-Ni 합금의 화학 조성을 표 1에 나타낸다.

열간압연 후의 Fe-Ni 합금판재를 냉간압연하였다. 냉간압연 도중에 2회의 소둔을 행하여 마무리 압연 전의 Fe-Ni 합금 냉간압연재로 하였다. 또한, 냉간압연 중의 소둔온도는 약 900℃에서 연속 소둔으로 하고, 마무리 압연 최종 패스 전의 Fe-Ni 합금 냉간압연재의 두께는 0.054 ㎜로 하였다.

마무리 압연 후에, 판두께 0.050 ㎜가 되도록, 마무리 압연의 압하율을 7.4%로 하고, 압연속도는 1.3 m/s로 하며, 최종 패스에 사용하는 롤은, 조도를 5종류로 변화시킨 롤을 사용해서 에칭가공용 소재를 제조하였다. 또한, 조건 A~D는 본 발명의 범위에서 제조한 에칭가공용 소재이고, 의도적으로 조건 E, F는 평활한 표면으로 마무리한 비교예이다.

또한, 롤에의 조도의 부여는, 롤을 회전시키면서, 원주방향으로 연마흔이 형성되도록 연마지를 사용하였다.

롤의 원주방향과 직각방향의 조도와, 마무리 압연 후의 에칭가공용 소재의 표면조도를 표 2에 나타낸다.

또한, 표면조도 Ra의 측정은, JISB0601, JISB0651에서 나타내어지는 측정방법에 따라 측정한 것이다. 또한, 에칭가공용 소재의 표면조도는, 랜덤으로 3개소를 선택하여, 압연방향, 직각방향, 압연방향의 조도를 측정하였다.

마무리 압연 후, 약 700℃에서 변형 제거 소둔을 실시하고, 에칭가공용 소재 표면에 대해서, 오일 피트의 발생 유무를 조사하였다.

오일 피트의 유무를, 화상해석 등의 수단에 의해, 정량적으로 평가하고자 시도하였으나, 식별이 잘 되지 않았다. 이에, 200배의 현미경사진에 의해, 오일 피트의 발생을 사진 판정에 의해 확인하기로 하였다.

평가결과를 표 3에 나타내고, 또한, 조건 A로 제조한 에칭가공용 소재 표면의 광학현미경사진을 도 1로, 조건 E로 제조한 에칭가공용 소재 표면의 광학현미경사진을 도 2로 나타낸다. 또한, 도면 중에 흰 동그라미로 나타내는 개소가 특징적인 오일 피트이다.

표 3에 나타내는 바와 같이, 본 발명방법을 적용한 에칭가공용 소재는, 오일 피트의 발생을 매우 억제할 수 있는 것을 알 수 있다.

또한, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 조건 E(도 2)의 에칭가공용 소재의 표면은, 수 ㎛~20 ㎛ 정도의 오일 피트가 분산하여 형성되어 있는 것을 확인할 수 있다. 한편, 본 발명의 조건 A(도 1)의 메탈 마스크용 소재의 표면은, 수 ㎛ 정도의 오일 피트가 약간 형성되어 있는 것을 알 수 있다.

다음으로, 조건 B와 동일한 롤을 사용하고, 압연속도를 1.0 m/s, 1.3 m/s, 1.7 m/s로 변화시켜, 잔류응력을 측정하였다.

잔류응력은, 마무리 압연 후의 두께 0.050 ㎜의 에칭가공용 소재로부터, 폭 30 ㎜, 길이 150 ㎜의 커팅 샘플을 제작하고, 편면만을 판두께의 1/3 정도가 되는 0.016 ㎜으로 에칭에 의해 제거한 후, 커팅 샘플을 수직 상반(上盤)에 매달았을 때의 휨량을 측정하여, 평가를 행하였다.

에칭액은 염화제2철 수용액을 사용하여, 액온 50℃의 에칭액을 분무시켜서 시험편의 부식을 실시하였다. 표층에 발생하는 잔류응력은, 판두께방향에서 수 ㎛의 극표층부뿐일 가능성이 높으나, 표층의 영향을 충분히 무시할 수 있게 하기 위해, 판두께의 1/3 정도까지 에칭을 행하기로 하였다.

이 평가법을 사용함으로써, 에칭 후 매달았을 때의 휨량이 작을수록, 표층의 압축 잔류응력이 저감하고 있는 것을 판단할 수 있다. 그 결과를 표 4에 나타낸다. 또한, 에칭가공용 소재의 표면조도에 대해서는, 표 2에서 나타낸 것과 동일하였다.

이번 잔류응력시험에 있어서는, 경험칙에서 휨량이 15 ㎜ 이하의 범위이면, 고정세 에칭으로의 영향은 거의 없다고 판단하였다.

표 4의 결과로부터, 압연속도가 본 발명의 범위인 것에서는, 휨량이 적은 결과가 되었다.

이상의 결과로부터, 본 발명의 에칭용 소재는, 고정세 에칭 특성에 영향을 미치는 표면 형태에 관한 문제나 잔류응력에 관한 문제 양쪽을 함께 해결할 수 있었다. 그 때문에, 고정세 패턴을 형성하는 리드프레임이나 마스크용도에 최적이라 할 수 있다.

본 발명은 에칭 후의 치수 특성에 영향을 미치고, 오일 피트의 발생을 억제할 수 있으며, 또한 잔류응력의 저감도 동시에 해결할 수 있었던 점에서, 고정세 에칭 특성이 요구되는 용도로의 적용을 기대할 수 있다.

1 에칭가공용 소재
2 롤

Claims

질량%로 C: ≤0.01%, Si: ≤0.5%, Mn: ≤1.0%, Ni: 30~50%를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불순물을 포함하며, 판두께가 0.02~0.15 ㎜인 에칭가공용 소재의 제조방법으로서, 마무리 냉간압연의 최종 패스를 10% 이하의 압하율로 하고, 또한, 상기 마무리 압연의 롤에는, 원주방향으로 연마흔을 형성하여, 원주방향과 직각방향의 조도를 Ra: 0.10~0.25 ㎛로 한 롤을 사용해서 압연속도를 1.2 m/s 이상으로 행하는 것을 특징으로 하는 에칭가공용 소재의 제조방법.
질량%로 C: ≤0.01%, Si: ≤0.5%, Mn: ≤1.0%, Ni: 30~50%를 함유하고, 잔부가 Fe 및 불순물을 포함하며, 판두께가 0.02~0.15 ㎜인 에칭가공용 소재로서, 그 에칭가공용 소재는, 압연방향과 직각방향으로 측정한 표면조도가 Ra: 0.08~0.20 ㎛이고, 압연방향으로 측정한 표면조도가 Ra: 0.01~0.10 ㎛이며, 또한, 압연방향과 직각방향으로 측정한 표면조도가, 압연방향으로 측정한 표면조도보다, Ra로 0.02 ㎛를 초과하여 거친 표면조도를 갖는 것을 특징으로 하는 에칭가공용 소재.