JPH09209176A - エッチング加工性に優れたFe−Ni系合金薄板 - Google Patents
エッチング加工性に優れたFe−Ni系合金薄板Info
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Abstract
薄板を提供する。 【解決手段】 冷間圧延仕上げを行ったFe−Ni系合
金薄板において、圧延方向と圧延方向に垂直な方向の表
面粗さを十点平均粗さでそれぞれRzLおよびRzTとする
時、RzL≦0.5μm、RzT≦0.5μmであり、好ま
しくは、1<RzT/RzL≦4の値を満足させる。
Description
ムやカラーテレビのブラウン管に用いられるFe−Ni
系合金薄板に関する。
テレビのブラウン管に用いられる電子部材用材料には、
Fe−42Ni合金やFe−36Ni合金といった低熱
膨張特性に優れたFe−Ni系合金の薄板が用いられて
きている。このFe−Ni系合金薄板の加工方法として
は、主に金型によるプレス加工と化学的手段によるエッ
チング加工が行われている。
ピン化やブラウン管用シャドウマスクの高精細化が要求
されるに伴い、エッチング加工には従来にない超微細加
工が要求されるようになってきたことから、エッチング
加工の際に生じるサイドエッチングによるエッチング精
度の限界が問題となってきた。このサイドエッチングと
は、エッチング加工の際にFe−Ni系合金薄板の表面
とフォトレジストの密着が不十分であるため、フォトレ
ジストとFe−Ni系合金薄板表面との接着面に僅かな
剥離が生じてしまい、その剥離部分の隙間に腐食液が入
り込みフォトレジストによってカバーされた部分をも侵
食してしまう現象である。
と外部との間の電気信号の伝達を担うものである。すな
わち、チップとリードフレームに形成したインナーリー
ド部分との間には電気信号を伝える手段として通常、A
uワイヤーまたはAlワイヤーが接続されている。この
ワイヤーとインナーリードの接続、いわゆるワイヤーボ
ンディングはワイヤーをインナーリードに押しつけるこ
とによって行われるため、インナーリードにはある程度
以上の面積を有する平面が求められる。しかし、リード
フレームの多ピン化の要求に伴ない形成するリード幅を
薄幅化していくと、上述のサイドエッチングにより、ワ
イヤーボンディングに必要なインナーリードの平坦部を
確保することができなくなるという問題が発生する。
ング加工性を改善する方法として特開平4−10336
号公報は次の方法を提案している。すなわち、特開平4
−10336号では、Fe−Ni系合金薄板の表面粗さ
を中心線平均粗さRaで0.3〜0.8μmとし表面を
粗くすることにより、Fe−Ni系合金薄板表面とフォ
トレジストのアンカー効果を利用することでフォトレジ
ストの密着性を良くし、サイドエッチングを発生しにく
いものとしてエッチング加工性を改善しようとするもの
である。
0336号公報に記載の方法は、高精度のエッチング加
工性を行う上で有効な方法の一つである。しかし、特開
平4−10336号公報に記載の方法では、形成するリ
ード幅が狭くなると、サイドエッチングを十分に抑える
ことができないという問題が生じている。たとえば0.
25mm以下といった極めて細いリードを有するリード
フレームのエッチング加工になってくると依然としてサ
イドエッチングによる精度ムラが生じていた。
めのエッチングを行う場合、薄板の方向によりエッチン
グの進行速度の微妙な違いからエッチング加工にムラが
生じることが問題となってきており、薄板の方向により
エッチング速度に差がなく、より精度の高いFe−Ni
系合金薄板が求められている。そこで本発明は上述した
問題に鑑み、サイドエッチングを効果的に防止するとと
もに薄板の方向によるエッチング速度の違いを少なくす
ることでエッチング加工性に優れたFe−Ni系合金薄
板を提供することを目的とする。
うな表面粗さを大きくする方法では、表面を粗くするこ
とにより生じた粗さの谷にまで完全にフォトレジストを
浸透させることができず、微小に残留するフォトレジス
トの未密着部の存在がサイドエッチングの改善を妨げて
いることを見出した。そして、極めて微細な0.25m
m以下のリード幅を要求されるリードフレーム材にも適
用が可能のように素材の表面状態とサイドエッチング等
のエッチング特性との関係を再検討した。その結果、本
発明者らは、従来のように表面粗さを高める手法でな
く、反対に表面粗さを極力抑えることで、微小なフォト
レジストの未密着部に起因するサイドエッチングを抑え
ることができることを見出した。
ていた、いわゆるダル圧延では、ダル圧延における圧延
方向と圧延方向に垂直な方向の表面粗さに大きな差が生
じ、これが、薄板の方向によるエッチング速度の差によ
るエッチング加工性の精度ムラの一因であった。その結
果、本発明者らは、Fe−Ni系合金薄板の圧延方向と
圧延方向に垂直な方向の表面粗さの差を小さくすること
で、薄板の方向によるエッチング速度の違いを少なくで
きることを見出した。
ったFe−Ni系合金薄板において、圧延方向と圧延方
向に垂直な方向の表面粗さを十点平均粗さでそれぞれR
zLおよびRzTとする時、RzL≦0.5μm、RzT≦0.
5μmの値を満足することでフォトレジストとFe−N
i系合金薄板表面との間に十分な密着性を得ることがで
き、その結果、高精度のエッチング加工性に優れたFe
−Ni系合金薄板である。更に1<RzT/RzL≦4の値
を満足することでRzLとRzTとの間に大きな差を生じさ
せないことにより、エッチング加工時の薄板の方向によ
るエッチング速度の差を生じ難くしたことでエッチング
加工性をより改善することができる。
は、例えば、冷間圧延の際に使用するロールの表面粗さ
を制御すること、または圧延油に極圧添加剤を添加する
ことでロールとFe−Ni系合金薄板の間に圧延油が均
一に広がるようにすることで本発明のエッチング加工性
に優れたFe−Ni系合金薄板を得ることが可能とな
る。
組成として、mass%にてNi:32.0〜52.0
%を含有し、残部が実質的にFeからなり、不純物を含
む微少元素のうち、C:0.015%以下、Si:0.
2%以下、Mn:0.3%以下、P:0.005%以
下、S:0.006%以下、Cr:0.02%以下、C
o:0.10%以下、Cu:0.02%以下、Al:
0.02%以下、N:0.003%以下、Mo:0.0
2%以下、B:20ppm以下とする。これによってF
e−Ni系合金薄板の組成に依存するエッチング加工性
を向上させることができる。
e−Ni系合金薄板の表面粗さを極力小さくすることで
エッチング加工時に使用されるフォトレジストとFe−
Ni系合金薄板表面との密着性がより改善されることを
見いだした点にある。具体的には、圧延方向と圧延方向
に垂直な方向の表面粗さを十点平均粗さでそれぞれRzL
およびRzTとする時、RzL≦0.5μm、RzT≦0.5
μmの値を満足することにより、Fe−Ni系合金薄板
表面とフォトレジストとの密着性はより強固となる。
トレジストとの間に隙間が発生せず、腐食時における腐
食液の回り込みによるサイドエッチングが抑えられ、こ
の結果、0.25mm以下といった極めて細いリードを
有する高精度のリードフレームをも十分にエッチング加
工することができるのである。また、本発明の表面粗さ
を別の表現で表せば、圧延方向と圧延方向に垂直な方向
の表面粗さを中心線平均粗さでそれぞれRaLおよびRaT
とする時、RaL≦0.08μm、RaT≦0.08μm、
表面粗さの最大値Rmax.を1.0μm以下程度に相当す
る。
表面粗さとの間に生じる差を小さく制限することで薄板
の方向によるエッチング速度の差を小さくでき、その結
果、エッチングの精度ムラを解消できる。一般的に圧延
加工された薄板は、圧延方向へは延ばされているが、圧
延方向に垂直な方向へは殆ど延ばされていない。したが
って、圧延方向の表面粗さの方が圧延方向に垂直な方向
の表面粗さよりも細かく表面肌も滑らかであるといった
特徴を持つ。ところが、圧延方向と圧延方向に垂直な方
向の表面粗さに大きな差があると、先に述べたように、
エッチング速度が薄板の方向によって異なってくるた
め、圧延方向によってエッチングの精度ムラが生じる。
e Package)型のICパッケージ用リードフレ
ームは、相対する二方向からリードが出ているため、上
述の問題はさほど顕著ではないが、最近の多ピン化によ
るQFP(Quad Flat Package)型の
ICパッケージ用リードフレームでは、四方向からリー
ドが出ているため、上述の問題の影響によって方向の異
なるリード間でエッチング加工精度が異なり精度にムラ
が生じるため、特にQFP型のICパッケージ用リード
フレームに対して本発明は有効である。より好ましく
は、1<RzT/RzL≦4の値を満足することにより、圧
延方向によるエッチング速度の違いが解消され、エッチ
ング加工性の精度ムラを除去できる。
ついて述べる。従来からのFe−Ni系合金薄板には、
主要な構成元素であるFeおよびNi以外にも精錬過程
における脱酸剤としてSi、Mn、Alが、不可避的不
純物としてC、P、S等の元素がある程度含有されてい
た。これらの元素は、Fe−Ni系合金を工業的に製造
する上で必要、あるいは不可避的に混入する元素である
が、エッチング特性のみに関して言えば、エッチング加
工性を劣化させることはあっても、向上させることはな
く、含有されないに越したことはない元素である。
クに要求される低熱膨張特性には、これらの不純物があ
る程度含有されていても、さほどの問題とはならなかっ
た。しかし、エッチング加工を必須とする多ピン用のリ
ードフレームや、シャドウマスクの高精細化が求められ
るようになった現在では、これまで許容されていたこれ
らの不純物もエッチング加工性に悪影響を及ぼす元素と
して問題となってきた。本発明は、エッチング加工時に
使用されるフォトレジストと薄板表面との密着性が強固
であることから、高精度のエッチング加工性を兼ね備え
たFe−Ni系合金薄板を提供するものであるため、F
e−Ni系合金薄板それ自体のエッチング加工性が良好
であることが好ましい。
エッチング加工性を向上させる上で、次の元素の含有量
を規定した。Niは、32.0〜52.0%とした。N
iは、本発明の成分の最重要元素であり、製品の熱膨張
特性を決定づける元素である。ICリードフレームやカ
ラーテレビのブラウン管に用いられる電子部材用材料
は、Siチップ、ICパッケージ等の樹脂、ブラウン管
を構成するガラス等と近似した熱膨張係数を得ることが
必要であり、製品の品質に大きく影響を及ぼす。
e−Ni系合金の耐食性すなわち、エッチング性を左右
する最も重要な元素であり、Cの含有量が高いとエッチ
ング速度が低下し、エッチング加工性が低下する。好ま
しくは、0.005%以下とする。Siは、0.2%以
下とした。Siは、精錬工程における脱酸剤として添加
されるが、エッチング速度を低下させるためできるだけ
少ない方がよい。好ましくは、0.05%以下とする。
精錬工程における脱酸剤として添加される他に、熱間加
工性に悪影響を及ぼすSをMnSの形で組織中に固定
し、結果として、熱間加工性を向上させる元素である。
しかし、エッチング速度を低下させるためできるだけ少
ない方がよい。好ましくは、0.1%以下とした。P
は、0.005%以下とした。Pは、エッチング速度を
低下させ、また製品の靭性を劣化させる原因となり、で
きるだけ少ない方がよい。
エッチング速度を低下させ、また上述したごとく、熱間
加工性に最も悪影響を及ぼし易い元素であるためできる
だけ少ない方がよい。Cr、Mo、Cuは、いずれも
0.02%以下とした。Cr、Mo、Cuは、いずれも
製品の耐食性を向上させる元素であり、すなわちエッチ
ング加工性を劣化させる元素であるため、少ない方がよ
い。特にCrは、酸化され易い元素であるため、Si、
Mnが少ない場合は、酸化物として組織中に大きな介在
物を形成する。これは、エッチングの際に脱落し、結果
として、製品の表面にピットが生じる原因にもなる。
入しやすい元素であり、エッチング速度を低下させるの
で0.10%以下とした。Alは、0.02%以下に規
定した。Alも精錬工程における脱酸剤として添加され
る元素である。しかし、Alはエッチング速度を低下さ
せ、また製品中に残存すると酸化物系介在物としてエッ
チング加工性に悪影響を及ぼすためできるだけ少ない方
がよい元素である。Nは、Cと同様にエッチング加工性
を劣化させる元素であり、0.003%以下とした。
Fe−Ni系合金の熱間加工性を改善する目的で添加さ
れる場合がある元素であるが、熱間加工性に最も悪影響
を及ぼすSの含有量を十分低くしているため、特に添加
する必要もない。このように、Fe−Ni系合金薄板の
純度を高めていくと、エッチング速度が高くなり、エッ
チング加工精度が向上する。
素材においては、フォトレジストの未密着部が微小なも
のであっても、その未密着部におけるエッチングの進行
を速めてしまうため、よりフォトレジストと薄板との密
着性の改善が必要となる。したがって、本発明のように
表面粗さの最適化によるフォトレジストと薄板との密着
性の改善は上述した純度の高いFe−Ni系合金薄板に
対して特に有効である。
下に更に詳しく説明する。 (実施例1)まず表1に示す表面粗さの異なる試料A〜
Hを準備した。試料の組成は、いずれも表2の試料N
o.3に準ずるものである。表1において、試料A〜D
は、RzL≦0.5μm、RzT≦0.5μmの値を満足す
る本発明の表面粗さを有する試料であり、本発明の試料
のうち試料A〜Cは、RzT/RzL≦4を満足するもので
ある。試料E〜Hは比較例として従来の表面が粗い試料
である。これらの試料に対して、0.2mmのリード幅
を得るように薄板表面にフォトレジストを密着させ、塩
化第二鉄溶液によるエッチング試験を行った。エッチン
グ性の評価は図1に示すエッチングファクターによっ
た。
れば、サイドエッチ量は小さくなるので、エッチングフ
ァクターは大きくなり、逆にフォトレジストの密着性が
不良の場合は、エッチングファクターが小さくなる。ま
た、エッチング速度の圧延方向への依存性を圧延方向に
おけるエッチングファクターE.F.Lおよび圧延方向に垂
直な方向におけるエッチングファクターE.F.Tによって
評価した。
たエッチングファクターは十分に大きな値を示しており
フォトレジストの密着性は良好である。しかし、圧延方
向に垂直な方向に測定したエッチングファクターは、フ
ォトレジストの密着性が悪いためにかなり小さく、よっ
て、エッチング加工性にムラが生じており、好ましくな
いことがわかる。
圧延方向に垂直な方向の両方向においてエッチングファ
クターは十分な大きさの値を示しており、フォトレジス
トの密着性が良好であり、サイドエッチングが少ない試
料であることがわかる。本発明の試料のうち、圧延方向
における表面粗さの差が小さい試料A〜Cは、両方向の
エッチングファクターの差が小さく、ムラのない高精度
のエッチング加工性を兼ね備えていることがわかる。
用いて各成分元素の影響を調査するために、表2に示す
組成の試料を準備した。
有するFe−Ni系合金薄板であり、そのうち、試料N
o.1および2は更に純度の高い組成を有する試料であ
る。試料No.6は本発明の表面粗さ規定よりも表面が
粗く、更に純度の高い組成を有するFe−Ni系合金薄
板であり、本発明の効果を説明するための比較例であ
る。なお、試料No.1〜5については、表面粗さはR
zL:0.10〜0.40μm、RzT:0.20〜0.4
0μmであって、RzT/RzLは本発明の規定範囲内であ
る1〜4に納まっているものであり、表面粗さが、エッ
チングファクターに影響を及ぼす可能性がかなり低い状
態で評価を行った。
て説明する。試料No.3〜5は、本発明の表面粗さを
有する試料であり、上述したように圧延方向と圧延方向
に垂直な方向において十分に大きなエッチングファクタ
ーを示しており、また両値の差も小さく高精度のエッチ
ング加工性を備えている。試料No.1および2は、本
発明の表面粗さに加えて、更に純度の高い組成を有する
試料であり、試料No.3〜5に対して、圧延方向と圧
延方向に垂直な方向のエッチングファクターが大きくな
っており、また両値の差も小さく、エッチング性に優れ
ていることがわかる。
定よりも表面が粗い試料である。圧延方向に測定したエ
ッチングファクターは十分に大きな値を示しておりフォ
トレジストの密着性は良好である。しかし、圧延方向に
垂直な方向に測定したエッチングファクターは、フォト
レジストの密着性が悪いためにかなり小さく、よって、
エッチング加工性にムラが生じてしまう。
板であっても、本発明の表面粗さ規定よりも表面が粗い
とエッチング加工性が悪くなる。したがって、エッチン
グ加工性に優れたFe−Ni系合金薄板を得るために
は、表面粗さを本発明の範囲にすることが必要であるこ
とがわかる。また、本発明の表面粗さを有するFe−N
i系合金薄板について、好ましくは、本発明の組成を満
足することで、エッチングファクターをより大きくする
ことができることがわかる。
−Ni系合金薄板において、圧延方向と圧延方向に垂直
な方向の表面粗さを十点平均粗さでそれぞれRzLおよび
RzTとする時、RzL≦0.5μm、RzT≦0.5μmと
することで、エッチングの際にフォトレジストとFe−
Ni系合金薄板表面との間に十分な密着性を得ることが
でき、好ましくは、1<RzT/RzL≦4の値を満足する
ことで、薄板の方向によるエッチング速度の違いに起因
するエッチング加工性のムラを更に改善することができ
る。その結果、高精度のエッチング加工性に優れたFe
−Ni系合金薄板を提供することができ、電子部材の品
質の向上に大きく貢献できる。
ある。
Claims (3)
- 【請求項1】 冷間圧延仕上げを行ったFe−Ni系合
金薄板において、圧延方向と圧延方向に垂直な方向の表
面粗さを十点平均粗さでそれぞれRzLおよびRzTとする
時、RzL≦0.5μm、RzT≦0.5μmの値を満足す
ることを特徴とするエッチング加工性に優れたFe−N
i系合金薄板。 - 【請求項2】 冷間圧延仕上げを行ったFe−Ni系合
金薄板において、1<RzT/RzL≦4の値を満足するこ
とを特徴とする請求項1に記載のエッチング加工性に優
れたFe−Ni系合金薄板。 - 【請求項3】 mass%にてNi:32.0〜52.
0%を含有し、残部が実質的にFeからなり、不純物を
含む微少元素のうち、C:0.015%以下、Si:
0.2%以下、Mn:0.3%以下、P:0.005%
以下、S:0.006%以下、Cr:0.02%以下、
Co:0.10%以下、Cu:0.02%以下、Al:
0.02%以下、N:0.003%以下、Mo:0.0
2%以下、B:20ppm以下であることを特徴とする
請求項1または2に記載のエッチング加工性に優れたF
e−Ni系合金薄板。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP1434396A JP3487471B2 (ja) | 1996-01-30 | 1996-01-30 | エッチング加工性に優れたFe−Ni系合金薄板 |
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