KR101596875B1 - 광 공진기를 갖는 유기 발광 다이오드 및 그의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 약어 OLED로 알려진 유기 발광 다이오드(organic light-emitting diode) 및 이러한 유기 발광 다이오드의 제조를 위한 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 에미터 층(5)을 포함하는 OLED 또는 유기 발광 다이오드가 제조되며, 상기 에미터 층은 특히 백색 광을 방출한다. 에미터 층(5)이 손실 광 공진기 내에서 배열된다. 공진기의 2개의 반사 층들 사이의 광의 경로 길이는 광 공진기로부터 그리고 결론적으로 발광 다이오드로부터 방출하는 광의 색상을 결정한다. 다양한 색상들을 생성할 수 있도록 하기 위해서, 2개의 반사 표면들 사이의 여러 가지 광의 경로 길이들이 있어야 한다. 대응하게 여러 가지 거리들이 포토리소그래픽 방법에 의해서 종래 기술과 비교하여 하나의 작업 단계에서만 제조될 수 있다. 그 결과는 에미터 층(5)과 포토리소그래픽적으로 구조화될 수 있는 층(4)을 갖는 손실 광 공진기를 포함하는 유기 발광 다이오드이다. 상기 층(4)은 광화학적으로 경화성 물질들(photochemically curable materials)로 구성된다. 본 발명에 따른 유기 발광 다이오드들이 광원들, 조명(lighting), 센서들 또는 스펙트로미터들에서 사용될 수 있다.

Description

광 공진기를 갖는 유기 발광 다이오드 및 그의 제조 방법{ORGANIC LIGHT-EMITTING DIODE HAVING OPTICAL RESONATOR IN ADDITION TO PRODUCTION METHOD}
본 발명은 약어 OLED로 알려진 유기 발광 다이오드들(organic light-emitting diodes) 및 이러한 유기 발광 다이오드들의 제조 방법에 관한 것이다.
유기 발광 다이오드는 유기 반도체들로 구성되는 발광 컴포넌트(luminescent component)이다. 유기 발광 다이오드들은 전기적으로 도전성 전극들 사이에 배열되는 하나 또는 몇 개의 얇은 유기 층들로 구성된다.
유기 발광 다이오드는 예를 들어 유리판(glass plate) 상에 실장될 수 있고, 예를 들어 인듐-주석-산화물(indium-tin-oxide : ITO)로 구성되는 애노드(anode)를 포함하며, 가시 범위(visible range) 내에서 투명하다. 일반적으로 정공 이송 층(hole transport layer)은 애노드 위에 위치된다. 이러한 정공 이송 층은 예를 들어, 정공들에 대해 주입 장벽(injection barrier)을 낮추기 위해 사용되고 인듐에 대해 확산 장벽(diffusion barrier)으로 사용되는 PEDOT/PSS(poly(3,4-ethylenedioxy thiophene)/polystyrene sulfonate)로 구성될 수 있다. 에미터 층은 염료(dye)(대략 5-10%)를 함유하거나 또는 전체가 염료로 구성되는(예를 들어, 알루미늄-트리스(aluminum-tris)(8-하이드록시퀴논(8―hydroxyquinone)), Alq3) 정공 이송 층 상에서 제공된다. 전자 이송 층(electron transport layer)은 일반적으로 그 위에 실장된다. 최종적으로 예를 들어, 칼슘, 알루미늄, 바륨, 루테늄, 마그네슘-은 합금과 같은 금속 또는 합금으로 구성되는 로우 전자 일 함수를 갖는 캐소드(cathode)가 예를 들어 완전 진공(full vacuum) 하에서 기상-증착된다. 전자들에 대한 주입 장벽들을 더 낮추기 위해서, 캐소드는 리튬 플루오라이드(lithium fluoride), 세슘 플루오라이드(cesium fluoride), 칼슘 또는 바륨의 매우 얇은 층 및, 알루미늄 또는 은의 두꺼운 층으로 구성되는 이중 층(double layer)으로 일상적으로 기상-증착된다.
EP 1083612 A2에서, 리튬 플루오라이드/칼슘/알루미늄 또는 바륨/은과 같은 다중-층 구조를 포함하는 캐소드 층들은 유기 발광 다이오드들로 알려져 있다. 리튬, 칼슘 및 바륨 플루오라이드의 기능은 아래 위치된 층 내로 전자들을 각각 주입하는 것이다. 리튬 플루오라이드 층의 두께는 몇 나노미터에 해당한다. 바륨 및 칼슘 층들의 두께는 각각 100 nm에 이를 수 있다. 알루미늄 또는 은 층의 기능은 캐소드 커넥터로부터 발광 층인 발광 소자까지 전하들의 대부분을 이송하는 것이다. 이러한 층의 두께는 0.1㎛ 내지 2㎛의 범위 내에 있다. 이러한 배열에서, 리튬 플루오라이드, 칼슘 또는 바륨을 구성하는 층은 소위 전자 주입 층(electron injection layer)을 구성하며, 한편 알루미늄/은 층은 캐소드의 전기적으로 도전성 층을 구성할 것이다. 추가로, 알루미늄 및 은 층들은 각각 여전히 미세하고 반응적인 전자 주입 층을 보호한다.
전자들, 즉 음의 전하들이 캐소드에 의해 주입되며, 한편 애노드는 정공들과 각각 양의 전하들인 결함 전자들(defect electrons)을 제공한다. 적용된 전계로 인해 양의 전하들 및 음의 전하들은 서로를 향해 이동하고 이상적으로 에미터 층 내에서 마주치며, 그런 이유로 이러한 층은 또한 재결합 층(recombination layer)이라 부른다. 에미터 층에서의 전자와 정공들의 재결합 때문에, 소위 엑시톤(exciton)이 형성될 것이다. 메커니즘에 따라, 엑시톤은 염료 분자의 여기된 상태를 이미 구성하거나 엑시톤의 에너지는 이송 공정에서 염료 분자에 전달될 것이다. 염료는 몇몇 여기된 상태들을 가진다. 여기된 상태는 공정 내내 포톤(photon)(광 입자)을 방출하는 동안에 기저 상태(ground state)로 반환될 수 있다. 방출된 광의 색상은 여기 및 기저 상태 사이의 에너지 갭(energy gap)에 의존하며, 특히 염료 분자들의 변화 또는 화학적 수정에 의해서 변화될 수 있다.
유기 발광 다이오드들은 컴퓨터, TV 세트, MP3 플레이어 등을 위한 디스플레이에서 주로 사용되거나 또는, 조명 애플리케이션(illumination application)에서 광원들(light sources)로 사용된다. 또한, OLED들은 센서 기술 애플리케이션들에서 광원들을 위한 옵션으로 점점 고려된다.
유기 발광 다이오드들이 풀 컬러 디스플레이들(full color displays)에 적용되는 경우, 적어도 3가지 기본적인 색상들이 서로 독립적으로 제어되어 생성될 수 있도록 요구된다. 그 다음에 디스플레이는 다수의 단일 픽셀들(single pixels) 및 각각 서로 다른 색상들의 광을 방출할 수 있는 유기 발광 다이오드들을 포함하며, 각각의 픽셀에 의한 광의 생성은 전자적으로 제어될 수 있다.
유기 발광 다이오드가 조명에 대한 광원으로 사용되는 경우에, 단일 픽셀들의 전자적인 제어가 요구되지 않는다. 비록 또한 광원이 각각 서로 다른 광 색상들을 생성할 수 있는 다수의 픽셀들 또는 유기 발광 다이오드들을 포함할 수 있을지라도, 이러한 분포는 단순히 예를 들어, 적당히 분산 방식(distributed manner)에서 3가지 기본적인 색상들인 적색, 녹색 및 청색을 방출하는 픽셀들을 포함함으로써, 백색 광(white light)과 같은 원하는 광 색상을 생성하게 한다.
유기 발광 다이오드들이 센서 기술에 적용되는 경우, 서로 다른 색상들을 방출하는 개별적으로 제어가능한 픽셀들이 요구되는지 여부는 각각의 애플리케이션에 의존한다. 센서 기술(예를 들어, LEDs)에서 사용되는 다른 광원들과 비교하여, 최신 기술로 알려진 유기 발광 다이오드들의 스펙트럼으로 넓은 방출(spectrally wide emission)로 인해, 서로 다른 색상들을 방출하는 픽셀들의 사용이 일반적으로 종래의 적당한 방식으로 실현 가능하지 않게 되었다.
유기 발광 다이오드들에 기초한 디스플레이의 단일 픽셀들 또는 광원이 서로 다른 색상들을 방출하는 소형 분자들(small molecules)의 열 증발(thermal evaporation)에 의해 완전 진공 하에서 제조될 수 있는 최신 기술로 알려져 있다. 앞서 적어도 3단계 공정들에서, 적색-, 녹색- 및 청색-방출하는 소형 분자들은 예를 들어 새도우 마스크들(shadow masks)에 의해 기판에 연속적으로 적용된다. 이 공정에서 기본적으로 소형 분자들만이 증착되고 어떠한 폴리머들도 증착되지 않을 것이며, 이는 폴리머들이 열 증발을 위해 너무 크기 때문이다.
열 증발에 의해 증착되는 전형적인 소형 분자는 금속 착물(metal complex) Alq3이다. Alq3는 녹색 광을 방출할 수 있다. 염료들을 추가함으로써 Alq3의 방출 색상(emission color)이 변화될 수 있다. 추가로, 다른 금속 착물들 또는 다른 소형 분자들이 Alq3 또는 수정된 Alq3에 의해 달성될 수 없는 다른 색상들을 생성하기 위해서 또한 사용될 수 있다.
열 증발이 바람직하며, 이는 비록 그러한 공정을 사용하는 것이 높은 비용이 들더라도 용제들(solvents)을 사용하기 위한 어떤 필요도 없기 때문이다. 용제가 사용되는 경우, 물질을 오염시키는 위험이 존재하며, 이는 유기 발광 다이오드의 효율(efficiency) 및 수명 기간을 악화시킬 것이다.
개시된 구조에서 사용되는 새도우 마스크는 그리드(grid)와 유사하다(resemble). 새도우 마스크의 홀들은 각각의 분자가 아래 위치된 기판 상(substrate located underneath)에 도달하기 위한 장소들에 위치된다. 새도우 마스크의 홀들을 통해서 제1 분자들의 제1 증착 이후에, 새도우 마스크는 적당한 방식으로 이동되거나 또는 제2 새도우 마스크와 교체되어, 다른 광 색상을 방출하는 제2 분자들이 새도우 마스크의 정공들을 통해서 아래에 위치된 기판 상에 증착된다. 동일한 방식으로, 제3 분자들이 제3 단계에서 증착될 것이다.
서로에 관하여 그리고 기판에 관하여 새도우 마스크들의 적당한 정렬이 어려운 것으로 증명되었으며, 이는 대략 1 내지 10㎛인 정렬 정밀도들(alignment precisions)이 넓은 표면들의 전부에 요구되기 때문이다. [Stephen R. Forrest, Nature 428, P. 911-918(2004)] 추가적인 문제점은 증착 동안에 분자들이 기판 상에 증착될 뿐만 아니라 불리하게도 새도우 마스크 상에 증착되는 것이다. 이러한 증착은 새도우 마스크에서 정공들의 변화의 원인이 되며, 따라서 기판 상에서 증착들의 변화를 이끌 것이다. 더욱이, 증착된 물질들은 분진(dust formation)의 결과로 새도우 마스크로부터 분리할 수 있다. 분진은 불리하게도 유기 발광 다이오드들의 제조에 영향을 미칠 것이다.
문헌 "Solution-Processed Full-Color Polymer Organic Light-Emitting Diode Displays fabricated by Direct Photolithography" by Malte C. Gather, Anne Kohnen et al. in Advanced Functional Materials, 2007, 17, 191-200 에서, 대안적인 포토리소그래픽 방법이 본 명세서에 개시된 바와 같이, 디스플레이의 픽셀들의 형성에서 유기의 다양한 색상 발광 다이오드들의 제조로 알려져 있다. 전계 발광 폴리머들(electroluminescent polymers)의 경우에서, 방출 물질들이 용액(solution)으로부터 증착되며, 이에 따라 완전 진공 하에서 열 증발의 비용이 많이 드는 단계가 생략될 수 있다. 그러나 여기서도 다시, 3개의 연속적인 정렬 단계들이 적색, 녹색 및 청색을 방출하는 픽셀들을 제조하기 위해서 요구된다.
복잡한 정렬 공정을 회피하기 위해서, 백색 광을 방출하는 물질의 혼합(blend) 또는 다중 층 설계를 사용하도록 그리고 다양한 색상들을 방출하는 소형 분자들 또는 폴리머들의 구조화된 증착 대신에 모든 서브픽셀들에 대해 이를 사용하도록 제안되어 왔다. 적당한 물질의 혼합/다중 층 설계는 폴리머들 또는 예를 들어, 금속 착물들과 같은 소형 분자들로 구성할 수 있다. 후자의 경우에서, 금속 착물들이 자주 바람직하게 되며, 이는 그것들이 현재 더 높은 광 감도(light intensity)를 달성하게 하기 때문이다. 일반적으로, 이러한 물질의 혼합 및 다중층 설계는 각각 3가지 기본적인 색상들을 방출하는 컴포넌트들을 포함하며, 따라서 결국 백색 광을 방출한다.
컬러 어피어런스(color appearance)는 컬러 필터들의 매트릭스의 포스트-라미네이션(post-lamination)에 의해 달성된다. 이러한 매트릭스 또는 컬러 필터 어레이(color filter array)는 각각 착색된 포토레지스트들(pigmented photoresists)로 제조된다. 제조 공정에서, 제1 포토레지스트 층이 예를 들어, 청색 광에 대한 컬러 필터로 사용되도록 초기에 적용된다. 이러한 포토레지스트 층은 각각의 영역들에서 노광될 것이며, 따라서 불용성(insoluble)이 될 것이다. 남은 비노광된 영역들이 세척된다. 후속적으로, 추가적인 포토레지스트가 다른 색상 필터를 형성하도록 적용된다. 따라서, 적어도 3개의 단계에서, 컬러 필터들의 원하는 매트릭스가 획득된다. 이러한 최신 기술은 예를 들어, 문헌 "I Underwood et al., SID 04 Digest, P. 293-295 (2004)" 및 "B.J. Green, Displays 10(3), p. 181-184 (1989)"에서 밝혀질 수 있다.
그러나 정렬 문제는 컬러 필터들 및 컬러 필터 어레이가 각각 서브픽셀 구조에 관하여 정확하게 조정되어야 함에 따라서 공정 체인에서 지연될 것이다. 추가로 이러한 방법을 사용하여 달성되는 색 채도(color saturation) 및 성능은 많은 애플리케이션에서 충분하지 않을 것이다.
문헌 US 2007/0286944 A1에서, 유기 발광 다이오드는 손실 광 공진기(lossy optical resonator)를 포함하는 것으로 알려져 있다. 정공 주입 층(hole injection layer), 정공 이송 층(hole transport layer), 방출 층(emitting layer), 및 전자 이송 층(electron transport layer)을 구성하는 층 시스템은 완벽하게 반사하는 캐소드 층과 부분적으로 반사하는 애노드 층 사이에 위치된다. 이러한 유기 발광 다이오드에 의해 생성되는 광 색상은 2개의 반사하는 전극층들 사이의 거리에 의해 조정된다. 서로 다른 광 색상들을 생성하기 위해서, 정공 주입 층의 두께가 변화된다. 다양한 층들이 기상 증착에 의해 적용된다. 정공 주입 층의 두께를 조정하기 위해서, 소형 분자들이 서로 다른 두께들로 기상 증착된다. 3개의 서로 다른 정의된 층 두께들을 제조하기 위해서, 기상 코팅 공정에서 새도우 마스크들을 사용하고 적당히 정렬할 필요가 있다. 따라서, 이러한 최신 기술은 이미 앞서 언급된 불리함들을 가진다. 즉, 이러한 최신 기술은 마스크의 몇몇 복잡한 정렬들을 수행하기 위한 필요성이 있을 것이다.
문헌 US 6,091,197은 또한 손실 광 공진기를 포함하는 유기 발광 다이오드를 개시하며, 백색 광을 생성할 수 있는 층이 배치된다. 광 공진기의 2개의 반사층들 사이의 거리는 유기 발광 다이오드로부터 발산하는 광의 색상을 정의한다. 이러한 거리는 유기 발광 다이오드의 광 색상을 변화시키기 위해서 전기기계적인 제어에 의해 변경될 수 있다. 비록 문헌 US 6,091,197로부터 알려진 최신 기술이 언제든지 변화가능하여 원하는 광 색상으로 조정될 수 있는 광원(light source)을 생성하기에 적당할 수 있더라도, 그것으로부터 알려진 발명은 다른 애플리케이션들에 적당하지 않다. 예를 들어, 디바이스는 디스플레이로의 사용이 적당하지 않을 수 있으며, 이는 전계가 원하는 방출 색상을 유지하기 위해서 영구적으로 적용되어야 하기 때문이다. 플렉서블 멤브레인(flexible membrane)의 제조 및 정렬은 꽤 정교하게 만들어지며, 이에 따라 다양한 색상으로 광을 방출하는 센서 애플리케이션들을 위한 광원인 비용 효율적인 백색 광원의 생성도, 스펙트로미터(spectrometer)도 이러한 디바이스의 사용에 의해서는 실현 가능하지 않다.
문헌 DE 100 37 391 A1에서, 가교결합 가능한(cross-linkable) 유기 물질들은 유기 발광 다이오드들에서 사용되는 것으로 알려져 있다.
본 발명의 목적은 제조하기 쉬운 유기 발광 다이오드를 제공하는 것이다.
도 1은 단면에서 본 발명의 하나의 실시예의 설계를 도시한다.
도 2는 nm의 상태에서의 웨이브 길이에 관한 정규화된 강도(normalized intensity)를 도시한다.
도 3은 그레이-스케일 마스크(10)를 통하여 광에 대한 가교결합 가능한 반도체(9)의 노광(8)을 도시한다.
도 4는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 서브픽셀들을 갖는 본 발명에 따라 제조되는 디스플레이를 통한 도식적인 단면도 이미지를 도시한다.
도 5는 본 발명에 따라 제조되는 조명 애플리케이션들에 대한 광원의 도식적인 설계를 도시한다.
도 6은 공간적으로 분리된 방식에서 광 스펙트럼을 방출하는 광 컴포넌트의 예시를 도시한다.
본 발명에서, OLED 및 유기 발광 다이오드는 각각 특히 백색 광을 방출하는 에미터 층(emitter layer)으로 제조된다. 에미터 층은 손실 광 공진기 내에 위치된다. 광 공진기는 앞뒤 모두 광의 반사를 위한 2개의 반사 미러 층들(reflective mirror layer)의 정렬이다. 공진기의 광 경로 길이가 방출되는 광의 웨이브 길이의 배수일 때 스탠딩 웨이브(standing wave)가 공진기에서 형성한다. 손실없는 공진기와는 달리, 광 빔(light beam)은 손실 공진기에서 소수의 반사들 이후에 조립체에서 벗어날 수 있다. 공진기의 하나의 반사 층은 단지 부분적으로 반사적이고, 더욱이 광에 대해 부분적으로 투과적이어서, 광이 이러한 부분적 반사 미러 층을 통해 결합된다. 손실 광 공진기의 다른 반사 층은 바람직하게 높은 효율들을 달성하기 위해서 완벽하게 광을 반사한다.
공진기의 2개의 반사 층들 사이의 광 경로 길이는 광 공진기로부터 발상하는 그리고 따라서 발광 다이오드로부터 발산하는 광의 색상을 결정한다. 발광 다이오드로부터 발산하는 광의 색상은 따라서 거리들에 의해 조정된다. 다수의 색상들을 생성하게 하기 위해서 다양한 광 경로 길이들이 예를 들어 문헌들 US 6,091,197 및 US 2007/0286944 A1에서 보일 수 있는 것처럼, 2개의 미러 층들 사이에서 이용 가능해야 한다. 최신 기술과는 달리, 본 명세서에서 각각의 다양한 거리들은 포토리소그래픽 공정에 의해 하나의 단계에서만 생성될 수 있다. 그 결과는 에미터 층 및 포토리소그래픽적으로 구조화될 수 있는 층이 위치되는 손실 광 공진기를 갖는 유기 발광 다이오드이다. 광화학적으로 가교결합 가능한 물질들로 구성되는 이러한 층은 다양한 광 경로 길이들을 제공하기 위해서 변화하는 층 두께들을 가진다. 층은 광화학적으로 가교결합 가능한, 전기적으로 도전성이거나 또는 반도전성 물질들로 구성한다. 노광될 때, 이러한 전기적으로 도전성이거나 또는 반도전성 네거티브 포토레지스트들이 완벽하게 또는 부분적으로 불용성이 된다. 비노광된 영역들은 가용성으로 남아 있다. 비슷하게 기능을 하는 물질들이 또한 사용될 수 있다. 따라서, 예를 들어, 노광될 때, 완벽하게 또는 부분적으로 가용성이 되는 전기적으로 도전성이거나 또는 반도전성 포지티브 포토레지스트가 또한 고려될 수 있다. 이 경우에, 비노광된 영역들이 따라서 불용성으로 남아 있다.
유기 발광 다이오드로부터 발산하는 광의 광 색상은 손실 광 공진기에서 스탠딩 웨이브들의 형성에 의해 정의될 것이다. 그러나, 원하는 경우, 공진기로 인해 각각의 원하는 색상이 증폭될 수 있으며, 이에 따라 각각의 원하는 웨이브 길이가 훨씬 우세화될 것이다. 간단히 추론하면, 광 공진기의 반사 층들은 금속으로 구성한다. 기본적으로, 다른 물질들이 예를 들어, 브래그 미러들(Bragg mirrors)과 결합하여 제공되는 유전 층 스택들이 또한 고려될 수 있다.
광 공진기의 미러 층은 특히 은(Ag), 알루미늄(Al), 금(Au)으로 구성하거나 또는 다중 브래그 미러들을 포함한다. 브래그 반사들의 경우에서, 일반적으로 서로 겹쳐 쌓이는 다중 브래그 미러들이 완전한 광 스펙트럼을 반사하기 위해서 제공된다. 반사 층이 부분적으로 투명하게 되는 경우, 층 두께는 적당히 얇은, 예를 들어, 은, 알루미늄, 금, 구리, 티탄(titan) 또는 니켈을 구성하는 층이 10 내지 100 nm로 얇은 치수를 표시한다.
비록 에미터 층 즉, 광을 방출하는 층이 기본적으로 가변적인 두께로 그리고 광화학적으로 가교결합 가능한 물질로 구성될 수 있지만은, 그러나 이것은 에미터 층을 구성할 수 있는 물질들의 선택을 엄격하게 제한한다.
따라서, 본 발명의 하나의 실시예에서, 유기 발광 다이오드는 광 공진기 내에서 (에미터 층에 추가하여) 추가적인 층(additional layer), 특히 광화학적으로 가교결합 가능한 물질로 구성하는 변화하는 두께의 정공 또는 전자 이송 층을 포함한다. 따라서, 에미터 층은 광화학적으로 가교결합이 불가능한 물질로 구성할 수 있다. 따라서 에미터 층의 물질은 더 넓은 다양한 물질들로부터 선택될 수 있으며, 에미터 층은 쉬운 방식으로 광 생성에 관해서 최적화될 수 있다.
에미터 층은 RGB 공중합체(copolymer)에 의해 바람직하게 형성된다. RGB 공중합체는 적어도 적색, 녹색 및 청색 광을 방출한다. 에미터 층은 적색, 녹색 및 청색을 방출하는 컴포넌트들의 혼합일 수 있거나 또는, 적색 광을 방출하는 층, 녹색 광을 방출하는 층, 및 청색 광을 방출하는 층을 포함하는 층 시스템(layer system)일 수 있다.
가변적인 두께를 갖도록 제조되는 구조화된 층이 광화학적으로 가교결합 가능하기 때문에, 포토리소그래픽적인 구조화(structuring)를 사용할 수 있다. 포토리소그래피의 기본적인 원칙이 예를 들어 문헌 "Adams, Layton, Siahmakoun, "Lecture notes in Computer Science", Springer-Verlag (2008)"에서 개시된다. 광화학적으로 가교결합 가능한 반도체들의 구조화는 문헌 "Gather et al., Solution-Processed Full-Color Polymer Organic Light-Emitting Diode Displays Fabricated by Direct Photolithography, Advanced Functional Materials, 17, 191-200, 2007"에서 개시된다.
앞서 언급된 문헌들과는 달리, 본 발명의 구조 검정 및 백색 새도우 마스크에 의해 달성되는 것이 아니라, 서로 다른 위치들에서 변화하는 광 투과성(light permeability)을 갖는 마스크인 그레이-스케일 마스크에 의해 달성될 것이다. 이는 가변적인 노광 양들(exposure doses)의 공간-분해 애플리케이션(space-resolved application)을 허용한다. 그레이-스케일 마스크는 변화하는 층 두께들의 금속 층들로 코팅된 유리 판일 수 있다. 유리 판과 충돌하는 광은 서로 다른 비율들로 흡수된다. 그러나, PET 투명 필름(PET transparency film) (즉, 그 표면이 서로 다른 정도들(degrees)로 어둡게 되어 서로 다른 비율들로 광을 통과시키는 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate)로 구성되는 시트)이 또한 사용될 수 있다.
이러한 새도우 또는 그레이-스케일 마스크는 각각 포토리소그래픽적으로 구조화될 수 있는 예를 들어, 광화학적으로 가교결합 가능한 층의 상부 상에 위치된다. 노광이 새도우 마스크를 통해 후속적으로 수행된다. 서로 다른 정도들(extents)로 가교결합될 광화학적으로 가교결합 가능한 층의 가교 결합(crosslinking)이 그로 인해 달성될 것이다. 이는 서로 다른 범위들로 가교결합되었던 층의 서로 다른 층 두께들을 갖게 한다. 특히, 가교 결합은 가교 결합된 영역들에서 층이 불용성이 되게 한다. 그렇지 않으면 층은 가용성으로 남아 있는다. 일반적으로 가교 결합 이후에, 현상 단계가 가교 결합되지 않았던 이러한 부분들을 제거하기 위해서 수행될 것이다. 이러한 방식에서 원하는 구조화가 단 하나의 공정 단계에 의해 달성된다. 앞서 개시된 바와 같은 다중 정렬들이 그 다음에 생략될 수 있다.
발광 다이오드가 광원으로 사용되는 경우에, 추가 층은 전기적으로 도전성일 수 있다. 본 발명에 개시된 방법이 디스플레이들을 제조하기 위해 적용되는 경우에, 픽셀들의 가변적인 제어가 가능할 수 있어야 한다. 이는 추가 층이 반도체 물질 또는 충분히 낮은 전기적인 도전성을 포함하는 물질로 구성되는 사실에 의해 달성된다.
하나의 실시예에서, 로우 분자 중량 가교결합 가능한 정공 컨덕터들이 예를 들어, 아래 도시된 반응기(reactive group)로서 옥세탄(oxetane)을 포함하는 트리아릴아민계(triarylamine basis) 상에서의 구조와 같은 추가 층을 위한 물질로서 제공된다.
Figure 112011052221390-pct00001
적당한 물질들에 대한 추가 예시들이 이후의 구조들에서 발생할 것이다.
Figure 112011052221390-pct00002
Figure 112011052221390-pct00003
Figure 112011052221390-pct00004
추가로 가능한 화학적인 구조들이 아래에 도시되며, 이는 또한 광화학적으로 가교결합 가능하다; 그러나, 그것들은 옥세탄들을 근거로 하지 않는다. 예를 들어, 신남산(cinnamic acid)의 유도체들(derivatives)이 사용될 수 있으며, 이는 [2+2]고리첨가(cycloaddition)에 의해 가교결합될 것이다. 이러한 물질들의 화학적인 구조들이 이후의 도면들에서 도시된다.
Figure 112011052221390-pct00005
추가로 디엔들(dienes) 및 메타크릴레이트들(metacrylates)이 광-유도 라디칼 가교 결합(photo-induced radical crosslinking)에 사용될 수 있다. 이러한 물질들의 화학적인 구조들이 이후의 도면에서 도시된다.
Figure 112011052221390-pct00006
Figure 112011052221390-pct00007
본 발명의 다른 실시예에서, 가교결합 가능한 올리고머(oligomeric) 또는 고분자(polymeric) 정공 컨덕터 물질들이 올리고머 또는 고분자 정공 컨덕터 물질들의 우수한 필름 형성 특성들로 인해 로우 분자 중량 가교결합 가능한 정공 컨덕터들의 사용과 비교해 볼 때 제조 조건들을 단순하게 하는 추가 층을 위한 물질로 제공된다.
아래에서, 반응기로서 옥세탄을 포함하는 트리아릴아민계 상에서 올리고머 가교결합 가능한 정공 컨덕터들의 화학적인 구조가 도시된다.
Figure 112011052221390-pct00008
아래에서, 반응기로서 옥세탄을 포함하는 트리아릴아민계 상에서 고분자 가교결합 가능한 정공 컨덕터들의 화학적인 구조가 도시된다.
Figure 112011052221390-pct00009
본 발명은 원하는 색상 새도우의 매우 정확한 조정을 가능하게 한다. 백색 광을 바람직하게 생성하는 에미터 층은 폴리머들, 올리고머들(oligomeres), 소형 분자들, 금속 착물들, 또는 그들의 혼합으로 구성될 수 있다.
본 발명의 OLED 설계는 특히 몇몇 얇은 유기 층들(organic layers)을 포함한다. 광 (예를 들어, 인듐-주석-산화물(indium-tin-oxide, ITO), 은, 알루미늄, 금, MoO3, 니켈, TIN)에 대해 완벽하게 또는 부분적으로 투명할 수 있고, 투명 기판 상에 예를 들어, 유리 판 또는 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET)과 같은 합성 물질(synthetic material)의 투명 층 상에 위치되는 애노드의 상부에서, 정공 이송 층(HTL)이 제공될 수 있으며, 이는 가교결합 가능한 물질들로 구성되고 가변적인 두께일 수 있다. 제조 방법에 따라, PEDOT/PSS (폴리(3,4-에틸렌다이옥시싸이오펜(ethylenedioxythiophene))/폴리-스티렌술포네이트(poly-styrenesulfonate), Baytron P)로 구성하는 추가적인 정공 이송 층이 애노드와 정공 이송 층 사이에 제공될 수 있으며, 이는 정공들에 대해 주입 장벽을 낮추기 위해서 사용되고 게다가 표면을 매끄럽게 한다. 정공 이송 층의 상부에서, 층이 예를 들어 백색-방출 공중합체인, 여러 가지 색상들을 방출하는 염료들 (바람직하게는 대략 0.05-10%이고, 예를 들어 0.01 내지 80%와 같이 더 낮거나 더 높은 농도들이 또한 가능함)을 포함하거나 또는, 여러 가지 색상들을 방출하는 몇몇 분리 층들을 구성하는데 적용될 수 있다. 적당한 물질들이 문헌들 "J. Liu et al., Adv. Mater. 17, 2947-2978 (2005)" 뿐만 아니라 "B.W. D'Andrade et al., Adv. Mater. 16, 624-628 (2004)"에서 알려져 있다.
이러한 층이 에미터 층 (emitter layer = EL)이다. 예를 들어, 용액으로부터 또는 완전 진공 하에서 증착될 수 있다. 전자 이송 층 (electron transport layer = ETL)이 그 다음에 적용될 수 있다. 마지막으로, (로우 전자 일 함수를 포함하는 금속 또는 합금(예를 들어, 칼슘, 알루미늄, 마그네슘/은 합금)으로 구성되는) 캐소드(cathode)가 제공될 수 있으며, 이는 예를 들어, 완전 진공 하에서 기상 증착에 의해 적용되었다. 전자들에 대한 주입 장벽을 감소시키기 위해서, 예를 들어 LiF 또는 CsF의 매우 얇은 층이 예를 들어, 캐소드 및 ETL 또는 에미터 사이에서 기상 증착에 의해 적용되었을 수 있다. 캐소드는 마지막으로 은 또는 알루미늄으로 코팅될 수 있다. 그러나, 또한 투명 기판(transparent substrate)이 캐소드에 인접될 수 있다. 요구 사항들에 따라서, 캐소드 또는 애노드가 광에 대해 완벽하게 또는 부분적으로 투명하거나 또는, 완벽하게 반사한다.
본 발명의 실시예에서, OLED 설계는 몇몇 얇은 유기 층들을 포함한다. 특히, 반-투명한 기판(non-transparent substrate) (예를 들어, 실리콘 웨이퍼 또는 금속 시트(metal sheet))이 사용될 것이다. 요구 사항들에 따라서, 전체적으로 또는 부분적으로 반사하는 전극 (예를 들어, ITO, 은, 알루미늄, 금, MoO3, 니켈, 칼슘, 바륨, LiF, CsF 또는 TIN의 반사하는 전극)이 이러한 기판 상에서 적용된다. 요구 사항들에 따라서, 이러한 전극은 캐소드 또는 애노드로 동작할 수 있다. 광 반사를 개선하기 위해서, 추가적인 반사 층들 (예를 들어, 브래그 미러들)이 애노드와 기판 사이에 추가될 수 있다. 완벽하게 또는 부분적으로 투명한 (예를 들어, ITO, 은, 알루미늄, 금, MoO3, 니켈, 칼슘, 바륨, LiF, CsF 또는 TIN으로 만들어지는) 제2 전극이 유기 층들 상에 적용된다. 요구 사항들에 따라서, 추가적인 반사 층들 (예를 들어, 브래그 미러들)이 이러한 전극 상에 적용될 수 있다. 이러한 실시예에서, 광은 기판을 통해 방출되지 않고, 상위 전극을 통해 (및, 가능한 경우, 상부에 위치되는 추가적인 반사 층들을 통해) 방출된다.
본 발명은 전기적인 컴포넌트가 적당히 제어되게 하기 위해서 전극들의 기능을 동시에 수행할 수 있는 제1 및 제2 미러 층을 제공하기 위한 아이디어를 근거로 한다. 특히 백색 광을 생성하는 층이 미러 층들 사이에 위치된다. 적당한 구조화를 허용하기 위해서 제공되는 층이 미러 층들 사이에 위치된다. 추가로, 추가적인 층들이 손실 광 공진기 내부에 또는 외부에 제공될 수 있다. 단지 하나의 공정 단계에서 구조화되었던 광 공진기 내에 층이 있다는 것에 주목해야 한다. 마지막으로, 원하는 층들이 임의의 순서로 적용될 수 있다. 예를 들어, 구조화된 층이 우선 적용될 수 있으며, 그 다음에 백색 광을 방출하는 층이 적용되고, 원하는 경우, 예를 들어 종래에 알려진 기능적인 층들이 더 적용될 수 있다.
이러한 설계는 더 좋은 활용 및 가능한 색상 공간의 생성을 고려한다. 따라서, 더 많은 선명한 색상들이 TFT 또는 LCD 기술과 비교해 볼 때뿐만 아니라 다른 OLED 광 컴포넌트들 또는 OLED 디스플레이들과 비교해 볼 때 가능할 수 있다. 백색 광 조명의 경우에, 더 자연스럽게 보이는 스펙트럼이 생성될 수 있다.
최신 기술로 알려진 바와 같이, 기판은 예를 들어, CMOS 칩은 디스플레이의 경우에서, 픽셀들을 적당히 제어하기 위해서 사용되는 전기적인 회로를 이미 포함할 수 있다. 가변적인 층 두께를 갖는 층의 구조화가 이 경우에, 수행되어야만 하며, 이에 따라 각각의 층 두께들 및 픽셀들이 각각 일렉트로닉스(electronics)에 관하여 적당히 정렬된다. 따라서, 디스플레이의 경우에서, 하나의 정렬 단계만이 필요하다. 종래 알려진 그리고 앞서 언급된 다른 정렬 단계들이 생략될 것이다.
본 발명의 하나의 실시예에서, 발광 다이오드의 구조화된 층(structured layer)은 3가지 기본적인 색상들을 디스플레이하기 위해서 3가지 가변적인 두께뿐만 아니라 실질적으로 더 많은 가변적인 두께들을 포함한다. 이 경우에, 제조 공정에서 사용되는 그레이-스케일 마스크는 3가지 스펙트럼 색상들을 제공하기 위해서 그레이의 3가지 쉐이드(shade)들만을 갖는 것이 아니라, 예를 들어, 20가지 쉐이드들과 같은 실질적으로 더 많은 색상 레벨들을 갖는다. 원하는 광 색상이 예를 들어, 햇빛의 시뮬레이션을 위해 생성될 때, 이렇게 많은 여러 가지 색상들이 발광 다이오드에 의해 방출되는 상태에서 실질적으로 더 나은 결과들이 달성될 수 있다.
실질적인 이유들로 인해, 순수한 백색 광 즉, 우수한 연색 특성들(color rendering properties)을 보장하는 광을 생성하기 위해 요구된 바와 같이 이러한 다수의 쉐이드들을 제공하는 것이 종래에는 불가능했었다. 본 발명에서, 구조화가 하나의 단계 공정에서 제공될 수 있음에 따라 이것은 빠르고 쉬운 방식으로 달성될 수 있다. 본 발명에 따르면, 따라서 백색 광을 특히 잘 시뮬레이트할 수 있는 광 디바이스들을 제공하는 것이 가능해질 것이다.
단지 백색 광을 생성하는 층을 요구함에 따라서, 인호모지니어스 제어(inhomogeneous control)로 인해 발생하는 원하지 않은 노화 효과들(aging effects)의 문제점이 예방된다. 이 점에 있어서, 여러 가지 색상들을 방출하는 픽셀들이 이 픽셀들로 하여금 여러 가지 레이트들로 에이징하게 하는 서로 다른 길이의 시간 주기 동안 그리고 가변적으로 액추에이션되는 종래 기술과 비교하여 장점이 존재한다.
본 발명의 하나의 실시예에서, 구조화된 층의 두께는 각각 웨지-유사 형상(wedge-like shape)에서 증가하고 감소한다. 즉, 공진기의 2개의 미러 표면들 사이의 거리는 다음의 웨지의 형상을 변화시킨다. 이러한 유기 발광 다이오드는 분해되는 다양한 스펙트럼 색상들이 공간적으로 배열된 상태로 전체 색상 스펙트럼을 디스플레이할 수 있다.
본 발명의 하나의 실시예에서, 웨지의 여러 가지 영역들은 여러 가지 전극들에 의해 접촉된다. 이것은 여러 가지 스펙트럼 라인 컴포넌트들의 어드레싱(addressing)을 분리한다.
하나의 실시예에서, 본 발명에 따른 웨지-형상의 구조를 갖는 발광 다이오드는 스펙트로미터의 일부, 즉 광의 스펙트럼 범위가 서로에게 공간적으로 인접하게 디스플레이되는 컴포넌트이다. 웨지-형상의 구조는 전체 스펙트럼 범위의 우수한 재생성을 가능하게 한다. 본 발명에 따른 웨지-형상의 구조는 구조의 최대 두께(dmax)에 도달할 때까지 최소 두께(dmin)에서 시작하여 연속적으로 두께가 증가한다. 지속적인 증가 대신에, 증가가 로우 단계 높이(low step height)를 갖는 많은 수의 단계들을 포함하는 계단으로 계단-유사 형상(staircase-like shape)을 따르는 경우에 비슷한 결과가 달성될 수 있다.
각각의 단계의 단계 높이가 낮을수록 달성된 결과는 연속적인 증가와 더욱 유사해진다. 그러나, 연속적인 증가가 증가의 계단-유사 형상과 비교하여 바람직하게 될 것이다.
본 발명의 하나의 실시예에서, 본 발명에 따른 발광 다이오드는 손실 공진기 내에서 증가하는 및/또는 감소하는 구조를 포함하고 조명으로 사용된다. 조명은 서로 공간적으로 구별되는 몇몇 광 색상들을 방출한다.
공간적으로 배열된 방식으로 스펙트럼 색상들을 이송할 수 있는 컴포넌트는 앞서 언급된 견지에서 웨지-유사 형상 예를 들어 계단-유사 형상과 근사하게 될 수 있다. 일반적으로 이러한 컴포넌트는 센서 기술을 위한 단색 통합 광원들을 제조하는데 적합할 수 있다.
도 1은 단면에서 본 발명의 하나의 실시예의 설계를 도시한다. 실리콘 웨이퍼(1) 상에서 100 nm의 두께를 갖는 알루미늄의 미러 층(2)이 위치되며, 한편 전극으로 기능을 하고 다른 한편 광 공진기의 미러 층으로 기능을 한다. 10 nm 두께의 MoO3의 층(3)이 미러 층(2) 상에 위치되고, 두께가 웨지의 형상으로 변화하는 광화학적으로 가교결합 가능한 반도체 층(4)이 MoO3의 층(3) 상에 위치된다. 웨지-유사 형상 층(4)의 가장 두꺼운 지점은 60 nm이다. 웨지-유사 형상 층은 N,N'-bis[4-(6-[(3-ethyloxetane-3-yl)methoxy]hexyloxi)-phenyl]-N,N'bis(4-methoxypenyl)biphenyl-4,4'-diamine, 즉, 반응기로서 옥세탄을 갖는 트리아릴아민계(triarylamine basis) 상에서의 구조로 구성한다. 백색 광을 방출할 수 있는 에미터 층(5)이 웨지-유사 형상의 층(4) 상에 증착된다. 에미터 층은 백색-발광 공중합체로 구성하고, 70 nm의 두께를 갖는다. 4 nm 두께의 바륨의 전자 주입 층(6)이 에미터 층(5) 상에 위치되고, 은으로 구성되고 70 nm 두께인 추가적인 미러 층(7)이 전자 주입 층(6) 상에 위치된다. 전기적으로 도전성 층(7)이 부분적으로 투명하며, 이에 따라 광이 2개의 미러 층들(2 및 7)을 포함하는 광 공진기로부터 이러한 층(7)을 통해 연결된다.
분리 층들(separate layers)의 두께 및 최소 두께 dmin = 0에서 시작하고 최대 두께 dmax = 60 nm에서 끝나는 웨지의 두께 범위가 선택되며, 이에 따라 청색 광에 대한 공진기는 웨지의 가장 얇은 지점에서 달성되며, 적색 광에 대한 공진기는 웨지의 가장 두꺼운 지점에서 달성된다. 다른 스펙트럼 범위가 포함되는 경우, 여러 가지 두께들이 선택되어야 한다. 따라서, 원하는 스펙트럼 범위는 단지 두께들을 선택함으로써 달성될 수 있다.
도 1에 도시된 광원에서, 도 2에 도시된 전계 발광 스펙트럼들(electroluminescence spectra) (a-g)이 생성될 수 있다. 도 2는 nm의 웨이브 길이에 관한 정규화된 강도(normalized intensity)를 도시한다. 분리한 광 색상들이 예를 들어 OLED와 광검출기(photodetector)를 적당히 결합함으로써, 물질(substance), 액체 또는 용액의 이송 스펙트럼을 측정하기 위해서 사용될 수 있다. 스펙트로미터의 기능성(functionality)이 그로 인해 달성될 것이다. 그러나, 제조된 컴포넌트의 치수들이 상업적으로 이용 가능한 스펙트로미터의 치수들보다 상당히 작을 것이다. 이러한 측정이 종래에는 불가능하였다. 한편, 종래에 제조된 OLED들은 스펙트럼의 범위(예를 들어, 백색-방출 OLEDS뿐만 아니라 광대역의 적색-, 녹색- 또는 청색-방출 OLEDs)를 너무 넓게 방출한다. 다른 한편, 하나의 단일 기판 상에서 광의 전체 가시 범위를 공간적으로 분해하고 포괄하는 다양한 파장들을 발생시키는 것이 종래에는 불가능하였다.
도 1에 도시된 실시예에서 미러 층들(mirror layers)은 전극들과 같은 추가적인 기능을 반드시 필요로 하지 않는다. 에미터 층이 전극들과 같은 기능을 하는 2개의 층들 사이에 위치되는 것으로 충분하다. 따라서, 그것의 두께가 웨지-유사 형상에서 변화하는 층은 2개의 전극들 내에 위치될 것이 필수적이지 않다. 이은 가변적인 층 두께들을 갖는 층을 포함하는 본 발명의 다른 실시예들에서도 동일하다. 가변적인 층 두께 및 웨지-유사 형상의 구조를 갖는 층이 각각 광 공진기 내에 위치되고 2개의 전극들 사이에 위치되지 않는 경우, 물질들이 더욱 자유롭게 선택될 수 있으며, 따라서 이는 가변적인 층 두께들을 갖는 층이 얼마나 전기적으로 도전성인지 또는 아닌지가 중요하지 않게 될 것이 때문이다. 따라서, 가변적인 층 두께를 갖는 이러한 층이 광학적으로 투명한 전기 절연기(transparent electrical isolator)일 수 있다.
도 3은 그레이-스케일 마스크(10)를 통하여 광에 대해 가교결합 가능한 반도체(9)의 노광(8)을 도시한다. 가변적인 노광들이 영역들(11, 12 및 13)에서 여러 가지 정도들의 가교 결합으로 이어질 것이다. 예를 들어, N,N'-bis[4-(6-((3-ethyloxetane-3-y)methoxyl))-hexylphenyl)-N,N'-diphenyl-4,4'-diamine 또는, N,N'-bis[4-(6-[(3-ethyloxetane-3-yl)methoxy]hexyloxy)-phenyl]-N,N'-bis(4-methoxy-phenyl) biphenyl-4,4'-diamine을 구성하는 가교결합 가능한 반도체가 예를 들어, MoO3와 같은 투명 산화물(transparent oxide) 상에 위치된다. 투명 산화물은 금속으로 구성하는 픽셀레이티드된 미러(pixilated mirror)(15)에 적용된다. 차례로 미러(15)는 예를 들어, 실리콘 산화물 및/또는 실리콘으로 구성되는 기판(16) 상에 위치되고, 이미 전자 회로를 포함할 수 있으며, 이것에 의하여 픽셀들이 적당히 제어된다.
도 4는 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 서브픽셀들을 갖는 본 발명에 따라 제조되는 디스플레이를 통한 도식적인 단면도 이미지를 도시한다. 이후의 층 설계가 도시된다.
17: 부분적으로 이송 금속 미러, 예를 들어, 은(Ag);
18: 전자 주입 층, 예를 들어, 바륨(Ba);
19: 에미터 층
20: 가교결합된 반도체;
21: 투명 산화물, 예를 들어, MoO3;
22: 픽셀레이티드된 금속 미러, 예를 들어, 알루미늄(Al);
23: 기판
도 5는 본 발명에 따라 제조되는 조명 애플리케이션들에 대한 광원의 도식적인 설계를 도시한다. 전기의 컴포넌트가 에미터 층, 전자 주입 층 및 반사 캐소드의 증착 이전에 도시된다. 여러 가지 두께들의 가교결합된 정공 컨덕터 층들(24), 예를 들어 은으로 구성하는 부분적으로 투명한 금속 미러(25), 및 투명 기판(26)이 도시된다.
도 6은 공간적으로 분리된 방식에서 광 스펙트럼을 방출하는 광 컴포넌트의 예시를 도시한다. 미러 층(100) 상에서 광학적으로 투명 반구형 층(transparent hemispherical layer)(101)이 제공되는바, 따라서 이는 연속적으로 증가할 뿐만 아니라 감소한다. 반구형 층(101) 상에서 2개의 전극들과 그들 사이에 놓이는 에미터 층을 포함하는 통상적인 OLED 구성(102)이 제공된다. 기본적으로, 에미터 층으로부터 비롯되는 광은 광이 층(103)을 통해 새나가기 전에, 미러 층(100) 및 마주 보고 위치된 즉, 외면(exterior)의 부분적 반사 층(103) 사이에서 한번 또는 수차례 앞뒤로 반사된다. 층(103)은 또한 전극으로 기능을 한다.

Claims (13)

  1. 유기 발광 다이오드의 제조 공정으로서,
    상기 유기 발광 다이오드의 제조 공정은 에미터 층뿐만 아니라 광화학적으로 가교결합 가능한 물질로 구성되는 전기적으로 도전성이거나 전기적으로 반도전성인 층이 손실 광 공진기의 미러 층의 상부에 증착되는 것을 포함하며,
    상기 전기적으로 도전성이거나 전기적으로 반도전성인 층의 층 두께는 포토리소그래픽 공정에 의해 조정되며, 상기 손실 광 공진기의 제2 미러 층은 이러한 층들의 상부에 층착되고,
    상기 리소그래픽 공정은, 상기 광화학적으로 가교결합 가능한 물질의 상부의 서로 다른 위치들에 적어도 세 개의 변화하는 광 투과성을 갖는 그레이-스케일(gray-scale) 마스크를 위치시키고, 상기 그레이-스케일 마스크를 통해 상기 광화학적으로 가교결합 가능한 물질을 노광하고, 그리고 후속적으로 비-가교결합된 영역들(non-crosslinked areas)을 제거함으로써 수행되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드의 제조 공정.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 에미터 층은 백색 광을 방출할 수 있도록 설계된 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드의 제조 공정.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 에미터 층은 반응기(reactive group)로서 옥세탄(oxetane)을 포함하는 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드의 제조 공정.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 에미터 층은 적색과 녹색과 청색을 방출하는 컴포넌트들의 혼합인 RGB 공중합체(copolymer)이거나 또는 적색과 녹색과 청색을 방출하는 층들로 구성되는 층 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드의 제조 공정.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 그레이-스케일 마스크는 서로 다른 위치들에서 적어도 여섯 개의 변화하는 광 투과성을 가지는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드의 제조 공정.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 그레이-스케일 마스크는 서로 다른 위치들에서 적어도 열 개의 변화하는 광 투과성을 가지는 것을 특징으로 하는 유기 발광 다이오드의 제조 공정.
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