KR101450908B1

KR101450908B1 - 노광장치 및 기판의 교정장치

Info

Publication number: KR101450908B1
Application number: KR1020080089216A
Authority: KR
Inventors: 타카유키 하라
Original assignee: 가부시키가이샤 아도테크 엔지니어링
Priority date: 2007-10-26
Filing date: 2008-09-10
Publication date: 2014-10-14
Also published as: KR20090042710A; CN101419409B; TW200919123A; CN101419409A; JP4949195B2; JP2009109553A; TWI427441B

Abstract

본 발명은 기판의 교정이 가능한 노광장치를 제공하기 위한 것이다.

팩킹(3)에 정압(正壓)을 걸어 신장시키고, 노광 테이블(1)과 접촉시켜 밀폐공간(90)을 생성하며, 진공 흡인공(40)과 진공 펌프(4)에 의해 밀폐공간(90)을 흡인하고, 대기압에 의해 플레이트(20)를 눌러 주어 플레이트(20)와 노광 테이블(1)에 의해 기판(99)에 하중이 걸리도록 하여 기판(99)을 교정한다. 흡인 펌프(11)에 의한 기판 흡착압력이 소정의 설정치에 도달하면 진공 펌프(4)를 정지시키고, 팩킹(3)을 수축시켜 반송 장치(2)를 반송 컨베이어(53) 위에 퇴피시켜 노광을 실행한다.

노광장치, 기판, 교정장치, 흡인.

Description

노광장치 및 기판의 교정장치{Exposing device and corrector of board}

본 발명은 노광장치 및 기판의 교정장치에 관한 것이다.

프린트 배선 기판을 제조하는 노광장치에 있어서, 기판 반송 장치에서 반송된 기판을 위치결정용 노광 테이블에 올려 두고, 흡인고정시켜 노광시키는 구성이 사용되어 지고 있다.

(특허문헌 1) 일본국 특개2005-370037

그러나, 프린트 배선 기판은 반도체 웨이퍼에 비해서 구부러지거나 뒤집어 지는 등 기판의 변형이 발생하기 쉽고, 또한 변형량도 커서 노광 테이블과의 사이에 간극이 발생하고, 그 결과 흡인시 누설(leak)이 발생하여 흡착이 불완전하거나 어렵게 되는 문제점이 있다.

본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결함을 그 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명의 노광장치는 프린트 배선 기판을 올려 두는 노광 테이블과, 상기 노광 테이블에 기판을 반송하는 반송장치와, 상기 반송장치에 설치되어 상기 기판을 상기 노광 테이블 쪽으로 밀어 붙혀 변형 기판을 교정하는 승강가능한 플레이트와, 상기 테이블과 플레이트와의 사이를 밀폐시켜 밀폐 공간을 형성하는 실(seal) 장치와, 상기 실 장치에 의해 형성된 밀폐공간을 흡인하여 부압(負壓)으로 하는 흡인장치를 구비하며, 상기 플레이트는 밀폐공간의 부압에 의해 하강하게 되며, 상기 기판을 노광 테이블 쪽으로 밀어 붙혀 기판을 교정하게 됨을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 기판 교정장치는 기판을 올려 두는 테이블과, 상기 테이블에 기판을 반송하는 반송장치와, 상기 반송장치에 설치되어 상기 기판을 테이블 쪽으로 밀어 붙혀 변형 기판을 교정하는 승강가능한 플레이트와, 상기 테이블과 플레 이트와의 사이를 밀폐시켜 밀폐 공간을 형성하는 실(seal) 장치와, 상기 실 장치에 의해 형성된 밀폐공간을 흡인하여 부압을 형성하게 하는 흡인장치를 구비하며, 상기 플레이트는 밀폐공간의 부압에 의해 하강되어, 상기 기판을 테이블 쪽으로 밀어 붙혀 기판을 교정하게 됨을 특징으로 하고 있다.

본 발명의 노광장치 및 교정장치에 따르면, 밀폐공간을 만들어 진공밀착에 의해 플레이트를 통해 기판을 테이블 쪽으로 밀어 붙이기 위해 강력한 하중을 줄 수 있으며, 기판이 두꺼운 판이므로 강한 탄발력을 갖는 변형도 교정할 수 있게 된다. 그 때문에 노광장치는 기판 흡착시의 누설을 방지하며 효율적인 노광을 할 수 있게 된다.

더욱이, 큰 하중을 주기 위해서 대형의 장치를 필요로 하지 않고, 장치의 소형화를 실현시킬 수 있게 된다.

또한, 플레이트의 크기를 적용하는 최대의 기판 사이즈로 맞추어 두면 기판 사이즈에 관계없이 기판을 가장자리 부위까지 확실하게 잡아줄 수 있고, 기판 전체 면에 균등하게 하중을 걸 수 있게 되는 등의 효과가 있다.

이하, 본 발명의 프린트 배선 기판용 노광장치의 실시형태를 도면에 의하여 설명한다.

도 1에 있어서, 노광 테이블(1)은 노광하고자 하는 피노광 대상인 프린트 배선용 기판(99)을 오려 두는 곳이고, 이 기판(99)에 대해서 광원(50), 마스크(51), 투영 렌즈(52)에 의하여 노광이 이루어 진다. 노광 테이블(1)은 구동장치(도시 생략)에 의해 XYZ 방향으로 이동이 가능하고, 또 θ 방향으로 회전이 가능하게 되어 있다.

노광 테이블(1)에는 흡인공(10)이 있으며, 흡인 펌프(11)에 의해서 기판(99)을 흡인하여 고정하도록 구성되어 있다. 흡인 펌프(11)에는 압력 센서(12)가 설치되어 있고, 흡인압력을 검출하여 흡인이 정상적으로 이루어졌는가 또는 그렇지 않은가를 검출할 수 있게 되어 있다.

노광 테이블(1)의 입구 측에는 반송 장치(2)가 설치되어 있고, 반입 컨베이어(53)에 의해 이전 공정에서 반송되어 온 기판(99)을 노광 테이블(1) 위에 올려 놓을 수 있도록 구성되어 있다.

반송 장치(2)는 플레이트(20)를 가지고 있으며, 이 플레이트(20)는 승강 가이드(25)에 의해 상하 방향으로 승강 자재하게 지지되어 있다. 플레이트(20)에는 지지 흡인공(21)이 설치되어 있고, 지지 흡인 펌프(22)에 의해 기판(99)을 흡인하여 세워진 상태로 지지하도록 구성되어 있다.

플레이트(20)의 주위에는 팩킹(3)이 있으며, 노광 테이블(1)에 접촉되어 노광 테이블(1)과 흡인공(10)과의 사이에 밀폐공간(90)을 형성할 수 있도록 되어 있다.

팩킹(3)은 팩킹 펌프(31)에 의해 신축가능하게 되어 있고, 팩킹(3)에 공기가 충진되었을 때에 팽창하여 팩킹 기능을 발휘할 수 있게 되어 있다.

반송 장치(2)의 플레이트(20)에는 특히 팩킹(3)의 내측에 진공 흡인공(40)이 있고, 진공 펌프(4)에 연통되어 있다. 이 진공 펌프(4)의 흡인에 의해 상기한 밀폐공간(90)을 흡인하여 거의 진공에 가까운 상태까지 밀폐공간(90)의 내압을 떨어트릴 수 있도록 구성되어 있다.

또한 부호 2'는 반출용 반송장치이고, 54는 반출 컨베이어이다.

제어 장치(5)는 노광장치 전체의 제어를 하게 되고, 상기 노광 테이블(1), 지지 흡인 펌프(22), 팩킹 펌프(31), 진공 펌프(4), 흡인 펌프(11)도 모두 제어 장치(5)에 의하여 제어된다.

다음으로 도 2에 의하여 동작을 설명한다.

반송 장치(2)가 반입 컨베이어(53)에서 기판(99)을 받아들이고, 지지 흡인공(21)과 지지 흡인 펌프(22)에 의해 흡인 지지하며 노광 테이블(1)에 반송한다.(a)

다음에, 노광 테이블(1)이 기판(99)을 받아들이기 위해 상승하고, 플레이트(20)가 밀어 붙일 수 있는 위치까지 상승하면 흡인공(10)과 흡인 펌프(11)에 의해 기판(99)을 흡인하여 기판흡착이 이루어진다. 동시에 지지 흡인 펌프(22)에서 블로우(blow)하여 반송 장치(2)에 의한 지지가 해제되게 된다.(b)

기판(99)이 변형되어 있을 경우, 기판(99)과 노광 테이블(1) 사이에 간극이 생기게 되고, 흡인 펌프(11)에 의한 흡인의 기판 흡착 압력이 올라가지 않는다. 이것을 제어 장치(5)가 압력 센서(12)의 검출 신호에 의하여 검출하여, 팩킹(3)에 정 압(正壓)을 걸어 신장시키고, 노광 테이블(1)과 접촉시켜 밀폐공간(90)을 생성한다.(c)

다음에, 지지 흡인 펌프(22)의 블로우를 정지시키고, 진공 흡인공(40)과 진공 펌프(4)에 의해 밀폐공간(90)을 흡인하여 반송 장치(2) 내를 진공에 가까운 상태가 되게 한다. 플레이트(20)는 승강 가이드(25)에 의해 상하 방향으로 승강 자재이기 때문에 대기압에 의해 플레이트(20)를 눌러 주어 플레이트(20)와 노광 테이블(1)에 의해 기판(99)에 하중이 걸리게 하고 기판(99)을 교정한다.(d)

기판(99)은 진공압력에 의해 큰 하중이 걸리기 때문에 효과적으로 변형이 교정된다.

기판(99)의 변형이 교정되고, 누설의 위험이 해소되면 흡인 펌프(11)에 의한 기판 흡착이 정상적으로 이루어진다. 압력 센서(12)로부터의 흡착 압력이 소정의 설정치에 달하면 진공 펌프(4)는 정지되고 팩킹(3)을 수축시켜 밀폐공간(90)을 개방시키고, 노광 테이블(1)을 하강시킨다. 그리하여 반송 장치(2)를 반입 컨베이어(53) 위로 퇴피시킨다. 그 후 위치 맞춤 등이 이루어지게 하여 노광을 실행한다.(e)

다음에 도 3에 의해 제어 장치(5)의 동작을 설명한다.

반송 장치(2)가 기판(99)을 노광 테이블(1)에 반송하여 재치하면(스텝 S1), 흡인 펌프(11)를 가동시켜 기판(99)을 흡인하여 기판 흡착을 하도록 한다(스텝 S2). 압력 센서(12)에서 검출압력을 체크하고, 소정의 값 이상이면 흡착이 정상적으로 이루어지고 있다고 판단하고, 스텝 S7으로 뛰어 노광 동작을 하게 된다(스텝 S3). 검출 압력이 소정의 값에 도달하지 않는 경우는 흡착이 정상적으로 이루어지지 않는다고 판단하고 팩킹 펌프(31)를 가동시켜 팩킹(3)에 정압을 주어 팽창시키고, 밀폐공간(90)을 생성시켜(스텝 S4), 플레이트(20)에 의해 기판(99)에 하중을 걸어 주어 기판(99)을 교정한다(스텝 S5). 기판(99)이 교정되고, 정상적인 흡착이 이루어지며, 압력 센서(12)로부터의 검출압력이 소정의 설정 값에 도달하게 되면(스텝 S6), 진공 펌프(4)를 정지시키고, 반송 장치(2)를 퇴피시켜 노광처리를 실행한다(스텝 S7).

한편, 상기에서는 본 발명을 노광장치에 제공한 경우에 대해서만 설명하였으나, 기판(99)의 변형을 교정하는 교정장치의 실현도 위와 같이 실행하는 것이 가능하다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태를 나타내는 개략도이고,

도 2는 본 발명의 일 실시형태의 동작을 나타내는 설명도이고,

도 3은 본 발명의 일 실시형태의 동작을 나타내는 플로우 챠트 도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 노광 테이블 2 : 반송 장치

3 : 팩킹 4 : 진공 펌프

5 : 제어 장치 10 : 흡인공

11 : 흡인 펌프 12 : 압력 센서

20 : 플레이트 21 : 지지 흡인공

22 : 지지 흡인 펌프 25 : 승강 가이드

30 : 진공 펌프 31 : 팩킹 펌프

40 : 진공 흡인공 50 : 광원

51 : 마스크 52 : 투영 렌즈

53 : 반입 컨베이어 54 : 반출 컨베이어

90 : 밀폐공간 99 : 기판

Claims

프린트 배선 기판을 올려 두는 노광 테이블과,

상기 노광 테이블에 기판을 반송하는 반송장치와,

상기 반송장치에 설치되어 상기 기판을 상기 노광 테이블에 밀어 붙여 기판의 변형을 교정하는 승강가능한 플레이트와,

상기 테이블과 플레이트와의 사이를 밀폐시켜 밀폐 공간을 형성하는 실(seal) 장치와,

상기 실 장치에 의해 형성된 밀폐공간을 흡인하여 부압(負壓)으로 하는 흡인장치를 구비하며,

상기 플레이트는 밀폐공간의 부압에 의해 하강해서 상기 기판을 노광 테이블 쪽으로 밀어 붙여 기판을 교정하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
제 1항에 있어서,

상기 플레이트에 기판을 지지하기 위한 흡인 장치가 설치되고,

상기 반송장치는 상기 흡인장치에 기판을 지지시켜 기판의 반송을 행함을 특징으로 하는 노광장치.
기판을 올려 두는 테이블과,

상기 테이블에 기판을 반송하는 반송장치와,

상기 반송장치에 설치되어 상기 기판을 테이블에 밀어 붙여 기판의 변형을 교정하는 승강가능한 플레이트와,

상기 테이블과 플레이트와의 사이를 밀폐시켜 밀폐 공간을 형성하는 실(seal) 장치와,

상기 실 장치에 의해 형성된 밀폐공간을 흡인하여 부압을 형성하게 하는 흡인장치를 구비하며,

상기 플레이트는 상기 밀폐공간의 부압에 의해 하강해서 상기 기판을 테이블 쪽으로 밀어 붙여 기판을 교정하는 것을 특징으로 하는 기판 교정장치.