JP2685811B2 - シャドウマスクの露光方法及びその露光装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的］ （産業上の利用分野） 本発明はカラーブラウン管用シャドウマスクの製造工
程におけるシャドウマスクの露光方法及びその露光装置
に関する。

（従来の技術） カラーブラウン管に使用されるシャドウマスクは一般
にフォトエッチング法によって製造されている。これは
連続金属帯状板に感光膜を塗布形成する塗布工程と、連
続金属帯状板の感光膜にシャドウマスクパターンを焼付
ける露光工程と、未露光部の感光膜を現像にて溶解除去
し、残存感光膜を高温熱処理する現像・バーニング工程
と、蝕刻するエッチング工程とから成っている。

感光膜が形成された連続金属帯状板にシャドウスクパ
ターンを焼付ける露光装置としては、例えば特開昭56−
13298号公報あるいは特開昭53−28092号公報に記載され
ている露光装置等が知られている。

このような露光装置は連続金属帯状板の定量送り、連
続金属帯状板へシャドウスクパターンが形成されたネガ
乾板の密着配置、シャドウスクパターンの連続金属帯状
板への焼付け、連続金属帯状板からネガ乾板の離反、連
続金属帯状板の定量送り、といった段階を１サイクルと
して130〜180秒で行うものであった。

ここで特に重要なことは、連続金属帯状板へのシャド
ウスクパターンが形成されたネガ乾板の密着配置であ
る。この時点で連続金属帯状板とネガ乾板が完全に密着
していない状態、つまり連続金属帯状板とネガ乾板間に
部分的に密着していない箇所が残っていると、連続金属
帯状板上の感光膜へは正しいシャドウスクパターンが焼
付けられない。即ち連続金属帯状板とネガ乾板が完全に
密着されている部分に関してはネガ乾板に形成されたシ
ャドウスクパターンが一対一で露光されるが、連続金属
帯状板とネガ乾板が完全に密着していない箇所ではネガ
乾板を通過した光が拡散して連続金属帯状板上の感光膜
に照射されるためにシャドウスクパターンよりも大きい
パターンが連続金属帯状板上の感光膜に露光されてしま
う。

シャドウマスクはその精度が非常に重要であり、上述
のような不完全密着は許されないものである。しかし実
際、連続金属帯状板は完全な純平面ではなく多少の凹凸
が存在しているため機械的にネガ乾板と連続金属帯状板
との密着配置は実用上大きな問題があった。そこで真空
排気を行うことにり、強制的にネガ乾板と連続金属帯状
板の密着度合を向上させようとするものであった。

（発明が解決しようとする課題） 上述の露光工程は他の塗布工程、現像・バーニング工
程、あるいはエッチング工程に比べて単位時間当り処理
できる連続金属帯状板は非常に少ない。特に連続金属帯
状板とネガ乾板は上述のように完全密着が必要であるた
め、密着には通常で60〜120秒の長時間を必要とし、シ
ャドウマスクの生産は露光装置の密着時間に左右される
ところが大きかった。そこでシャドウマスクの生産性を
向上させるために、露光装置の台数を増やすことによっ
て単位時間当りに処理できる連続金属帯状板を増やすこ
とが考えられる。

例えば露光装置を直列に複数台並べて露光を行なう方
法があるが、露光装置間に生じる間隔のため連続金属帯
状板に焼き付けられるシャドウマスクパターン間にも間
隔が生じ、連続金属帯状板の材料ロスにつながってしま
う。最近シャドウマスクのドーミング対策の観点から、
大型民生管やディスプレー管用シャドウマスクは低熱膨
張材である鉄−ニッケル合金が使用され始めている。と
ころがこの鉄−ニッケル合金は従来使用されていた鉄に
比べて非常に高価なものである。このため連続金属帯状
板の材料ロスはシャドウマスクのコストの増大につなが
ってしまう。またこのような露光装置は非常に高価なも
のであり、その台数を増やすには多くの設備投資が必要
である。

このように従来の露光装置では連続金属帯状板とネガ
乾板の密着に多くの時間を要していたため、シャドウマ
スクの生産性はあまり良いものではなかった。

また連続金属帯状板とネガ乾板の密着の度合も、十分
とはいえなかった。

そこで本発明ではネガ乾板と連続金属帯状板の密着度
合が優れ、且つ密着に要する時間の少ないシャドウマス
クの露光方法及びその露光装置を提供することによって
シャドウマスクの生産性を向上させると共に、シャドウ
マスク品位も向上させることを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 本発明のシャドウマスクの露光方法は、一主面に所望
のシャドウマスクパターン形成面を有する一対のネガ乾
板を位置合せする工程と、一対のネガ乾板間に所望の膜
厚を有する感光膜が両主面に形成された連続金属帯状板
を所望の長さ搬送する搬送工程と、一対のネガ乾板を連
続金属帯状板に密着しない程度に近接移動させると共
に、一対のネガ乾板に対応する連続金属帯状板を密封す
る工程と、一対のネガ乾板外周に設けられた複数個の排
気手段から時間差を設け且つ排気強度を任意に変えて排
気を行ない一対のネガ乾板と連続金属帯状板を完全に密
着させる工程と、一対のネガ乾板に対応する前記連続金
属帯状板両主面にシャドウマスクパターンを焼付ける工
程と、焼付け工程終了後排気を中止し連続金属帯状板と
一対のネガ乾板とを離反させる離反工程と、連続金属帯
状板両主面の感光膜に焼付けられたシャドウマスクパタ
ーン部を含む所望の長さを搬送する搬送工程とを有する
ことを特徴としたものである。

また本発明のシャドウマスクの露光方法は、上述の一
対のネガ乾板外周に設けられた複数個の排気手段から時
間差を設け且つ排気強度を任意に変えて排気を行ない一
対のネガ乾板と連続金属帯状板を完全に密着させる工程
が、一対のネガ乾板外周の任意の箇所から時間差を設け
且つ排気強度を任意に変えて排気を行ない、次いで排気
強度のみを任意の時間差を設けて更に変更することによ
り一対のネガ乾板と連続金属帯状板を完全に密着させる
工程としたものであり、このようにすることによって密
着時間をより一層短縮することができる。

本発明のシャドウマスクの露光装置は、両主面に所望
の膜厚を有する感光膜が形成された連続金属帯状板を所
望の長さ毎に搬送可能な搬送手段と、各々の一主面にシ
ャドウマスクパターンが形成された一対のネガ乾板をシ
ャドウマスクパターン形成面が対向しうるように支持
し、一対のネガ乾板間に連続金属帯状板を挟持し真空密
封状態としうる一対のフレームと、この一対のフレーム
をシャドウマスクパターン形成面の対向方向及びその逆
方向に移動可能な機能を有する支持ベースと、一対のフ
レームによって一対のネガ乾板と連続金属帯状板との真
空密着状態を形成するため一対のフレームに各々設けら
れた複数個の排気管を有する排気手段と、一対のフレー
ムの対向方向逆側にもうけられた光源と、複数個の排気
手段の少なくとも１つの排気手段から排気開始が他の排
気手段と時間差を設けて排気可能となるよう排気タイミ
ングを制御する排気タイミング制御手段とを具備するこ
とを特徴としたものである。

また本発明のシャドウマスクの露光装置は、上述のシ
ャドウマスク用露光装置に複数個の排気手段のうち少な
くとも一つの排気手段からの排気強度が任意に変更可能
で且つ排気開始後任意の時間差を設け更に排気強度を変
更することが可能な排気強度制御手段を備えたもので、
密着時間をより一層短縮することを可能なものとした。

（作 用） 前述したように従来の露光装置では、シャドウマスク
パターンが形成された一対のネガ乾板と感光膜が塗布さ
れた連続金属帯状板との密着時間を短縮するために、一
対のネガ乾板と連続金属帯状板間の大気を排気すること
によって強制的に密着させることで密着時間の短縮を図
ろうとしたが、密着時間の短縮は依然として改善される
ものではなかった。これは研究の結果、次のようなこと
が原因であることがわかった。

従来では密着時間を短縮したいがために一対のネガ乾
板と連続金属帯状板間の大気を複数個の排気手段から同
時に強い排気力によって排気していた。このため排気管
の吸引口近傍でネガ乾板に密着し易い連続金属帯状板が
第１に密着してしまう。即ちネガ乾板の周辺部と連続金
属帯状板との密着が中央部より速く、中央部に残った大
気はネガ乾板周辺部と連続金属帯状板との間に存在する
わずかな間隙を通り抜けて排気するため、強い排気力で
排気しても排気効率が悪く、密着時間は長いものとなっ
ていた。

そこで例えば複数個の排気手段の内、少なくとも１つ
の排気手段からの排気が他の排気手段よりも遅れるよう
に制御する。この時の排気とは、排気による作用が十分
に生じる程度の実質的な排気を意味するものとする。す
ると他よりも遅れて排気する排気手段の吸引口近傍から
一対のネガ乾板に対応する連続金属帯状板の中心部近傍
には、少なくとも１つの排気経路が残される。このため
連続金属帯状板の中心部近傍の大気は排気効率良く排気
され、密着時間はわずかですむ。

（第１の実施例） 本発明のシャドウマスクの露光装置の一実施例を図面
を参照して説明する。

第１図は本実施例の露光装置の概略斜視図であり、第
２図は第１図における露光装置本体（101）のＡ〜Ａ′
線について切断した概略断面図である。

シャドウマスクの露光装置は、両面に感光膜が塗布さ
れた連続金属帯状板（１）を送り出す搬送手段と、連続
金属帯状板（１）にシャドウマスクパターンを露光する
露光装置本体（101）とから成っている。

搬送手段は露光装置本体（101）の両側に設置されて
成っており、連続金属帯状板（１）がワインダー（5
5），（57）のスプール（56），（58）に巻かれた状態
で設置されており、この連続金属帯状板（１）は露光装
置本体（101）の挿入側に設置されたガイドローラ（51
a），（51b）と、搬出側に設置されたガイドローラ（53
a），（53b）によって固定されている。そしてこのワイ
ンダー（57）を電動機（図示せず）によって駆動し、送
り量設定装置（図示せず）によって制御しつつ回転させ
ることによって、一定量の連続金属帯板状（１）を露光
装置本体（101）内に搬送することができる。

次に露光装置本体（101）について説明する。露光装
置本体（101）はベース（３）と、シャドウマスクパタ
ーンが形成された一対のネガ乾板（31a），（31b）をベ
ース（３）上に立設保持するフレーム（11b），（11a）
と、このフレーム（11a），（11b）内の排気を行なう複
数の排気手段と、この排気手段を制御する排気タイミン
グ制御手段と排気強度制御手段とから成っている。ベー
ス（３）上に連続金属帯状板（１）を挟む形でフレーム
（11a），（11b）が垂直に立設支持されている。このフ
レーム（11a），（11b）はベース（３）上に設けられた
クランク（5a），（5b）によって対向方向に移動可能と
なっている。

第３図はこのフレーム（11a），（11b）の対向方向概
略正面図であり、これを参照してフレーム（11a），（1
1b）を説明する。このフレーム（11a），（11b）の対向
方向の最外周付近にはそれぞれゴム製のガスケット（13
a），（13b）がフレーム（11a），（11b）の形状に沿っ
て設けられている。そしてこのガスケット（13a），（1
3b）の内側には排気手段を形成する10個の排気管（15
a），…，（15j），（16a），…，（16j）が一定間隔で
設けられ、制御ハルブ（25a），…，（25j），（26
a），…，（26j）、そしてバキューム装置（図示せず）
と外部で接続されている。この制御バルブ（25a），
…，（25j），（26a），…，（26j）は排気タイミング
信号発生回路（41）からの排気タイミング信号ＴXによ
ってそれぞれの排気管（15a），…，（15j），（16
a），…，（16j）からの排気タイミングを制御するもの
であり、この制御バルブ（25a），…，（25j），（26
a），…，（26j）と排気タイミング信号発生回路（41）
によって排気タイミング制御手段は構成されている。

そして排気管（15a），…，（15j），（16a），…，
（16j）の内側にはゴム製のガスケット（21a），（21
b）が、そしてこのガスケット（21a），（21b）の内周
に一定間隔をあけてゴム製のガスケット（19a），（19
b）が形成されている。そしてこれらガスケット（21
a），（21b），（19a），（19b）に挟まれる部分にも６
個の排気管（17a），（17b）が所定の間隔で設けられ、
外部で電磁弁（27a），（27b）と接続され、この電磁弁
（27a），（27b）を操作し開放することによってガスケ
ット（19a），（19a），及び（21b），（21b）に挟まれ
る部分から排気を行なうことができる。そしてこの排気
力によって所定のシャドウマスクパターンが形成された
ガラス製のネガ乾板（31a），（31b）をフレーム（11
a），（11b）に吸着保持することができる。

またフレーム（11a），（11b）の反対向方向の中心部
から一定の距離で水銀放電灯が露光用の光源（図示せ
ず）として設けられ露光装置は構成されている。

次に上述のシャドウマスクの露光装置を用いて本発明
に係る露光方法の一実施例を説明する。

まず露光を行なう前に電磁弁（27a），（27B）を開放
して一対のネガ乾板（31a），（31b）をフレーム（11
a），（11b）の対向面に吸着させ、この一対のネガ乾板
（31a），（31b）上に形成される各々のシャドウマスク
パターンを正しく位置合わせする。ネガ乾板（31a），
（31b）は一般的によく使用されている28インチ×32イ
ンチ×0.19インチサイズ（コダック製工業用写真ガラス
乾板）のガラス製のものを使用した。

次にネガ乾板（31a），（31b）間に、両主面に牛乳カ
ゼインとA.D.C.（アンモニウム・ディ・クロメイト）と
から成る感光膜が形成された連続金属帯状板（１）を数
百メートルの長さスプール（56）に巻き、それを露光装
置本体（101）に装填する。これはワインダ（55）に装
填されたスプール（56）から引っぱり出し、連続金属帯
状板（１）はガイドローラ（51a），（51b）、ネガ乾板
（31a），（31b）間、そしてガイドローラ（51a），（5
1b）を通過させワインダー（57）の空スプール（58）に
接続させて固定する。

そしてクランク（5a），（5b）を差動させることによ
ってフレーム（11a），（11b）を夫々金属連続帯状板
（１）に近接させ、金属連続帯状板（１）とネガ乾板
（31a），（31b）を若干密着させる。

そこで各排気管（15a），…，（15j），（16a），
…，（16j）からの排気強度は排気タイミング信号Txを
例えば第４図に示すように設定して制御する。図中
（ａ）は排気管（15a），（16a）の排気を示したもの
で、この排気タイミング信号ＴXaは時間t1から時間t3ま
で排気強度p1で排気し、時間t3から時間t4まで排気は中
断され再び時間t4で排気を開始するものである。この排
気の途中、時間t2で密着を完了し露光工程に入るもので
ある。また図中（ｂ）は排気管（15b），（16b）からの
排気を示したもので、この排気タイミング信号ＴXbは時
間t1＋Δｔで排気強度p1で排気を開始しするものであ
る。そして排気管（15c），（16c），…，（15i），（1
6i）も順次排気タイミングがΔｔだけずれて排気を開始
する。更に排気管（15j），（16j）からの排気は図中
（ｃ）の排気タイミグ信号ＴXjはに示すように、Ｏ時間
t1＋９・Δｔで排気を開始するように設定する。このよ
うに連続金属帯状板（１）を対称として左右のフレーム
（11a），（11b）に設けられた排気管（15a），…，（1
5j），（16a），…，（16j）からの排気は対称に行うこ
とが好ましい。

このように排気手段を制御することによって排気手段
らの排気タイミングが徐々にずれて排気は開始される。
このため他よりも排気の最も遅れている排気管（15
j），（16j）近傍にはネガ乾板（31a），（31b）中央部
から排気経路が形成され、ネガ乾板（31a），（31b）中
央部に大気は残らず速かに排気され連続金属帯状板
（１）とネガ乾板（31a），（31b）は密着する。

ネガ乾板（31a），（31b）と連続金属帯状板（１）の
密着状態はニュートンリングを観察することによって検
知できることから、ネガ乾板（31a），（31b）と連続金
属帯状板（１）にニュートンリングが消滅した時点で完
全密着とすることができる。このためニュートンリング
検出手段を設けることにより密着精度のより一層の向上
につながる。

この密着工程終了後、光源（図示せず）から45〜50秒
光を照射してネガ乾板（31a），（31b）に形成されたシ
ャドウマスクパターンを連続金属帯状板（１）上に着膜
された感光膜に焼付ける。

焼き付け終了後、制御バルブ（25a）…，（25j），
（26a），…，（26j）は排気タイミング信号発生回路
（41）からの排気タイミング信号Txによって排気は中断
され、クランク（5a），（5b）を作動させることによっ
てネガ乾板（31a），（31b）と連続金属帯状板（１）を
離反する。そしてワインダー（55），（57）を回転させ
て次の連続金属帯状板（１）をネガ乾燥（31a），（31
b）間に装填する。

これを１露光工程として順次連続金属帯状板（１）に
シャドウマスクパターンを焼き付けていくものである。

上述したように本実施例のシャドウマスクの露光装置
では排気強度P1で各排気管（15a），（15b），…，（15
j），（16a），…，（16j）から排気タイミングを少し
ずつずらしながら排気を開始してネガ乾板（31a），（3
1b）と連続金属帯状板（１）との間の残留大気に少なく
とも１つの排気経路を形成し、更に排気することによっ
てネガ乾板（31a），（31b）と連続金属帯状板（１）と
を完全密着させるため、ネガ乾板（31a），（31b）と連
続金属帯状板（１）との間の残留大気もなく、精度の良
い焼き付けを行うことができる。また排気経路を残して
排気を行なうためネガ乾板（31a），（31b）と連続金属
帯状板（１）との密着時間を従来の半分にすることがで
き、シャドウマスクの生産性は向上する。ここで述べた
シャドウマスクの露光方法の密着工程では10個の排気管
（15a），（15b），…，（15j），（16a），…，（16
j）を順次排気することによって行なったが、排気管（1
5a），（15b），…，（15j），（16a），…，（16j）は
10個に限ることなく、またこの他にも例えば（15a,15
f），（15b,15g），（15c,15h），…のように対角線を
一対として排気を行っても、少なくとも１つの排気管か
らの排気のタイミングが他より遅れて排気すれば排気経
路は十分に形成され、密着時間を短縮することができ
る。

また次に示すような方法も本発明に含まれるものであ
る。

この各排気手段の排気力波形図を第５図に示し、これ
を参照して説明する。

図中（ａ）は排気管（15a），（16a）の排気を示した
もので、時間t1でp1の排気強度で排気を開始し、時間t3
で排気を終了し、再び時間t5で排気を開始するものであ
る。また図中（ｂ）は排気管（15b），（16b）からの排
気を示したもので、時間t1から排気強度Δｐと非常に微
弱な排気強度で排気を開始し、時間t1＋Δｔで排気強度
がp1となり、時間t3で排気を終了するものであり、順次
排気管（15c），（16c），…，（15i）（16i）は順次排
気強度p1での排気時間が時間Δｔはだけ長くなり、更に
図中（ｃ）は排気管（15j），（16j）からの排気を示し
たもので、時間t1でΔｐの排気強度で排気を開始し、時
間t1＋９・Δｔで排気強度はp1となり、時間t3で排気を
終了する。そしててこれらは排気の途中、時間t2で密着
を修了し露光を行なうものである。これは排気開始のタ
イミングは全て同じであるが、実質的な排気が行なわれ
るタイミングは各排気管によって時間Δｔだけずれてい
ることに相当する。このため上記の実施例と同様に排気
管近傍には排気経路が形成されて排気するため、大気の
抜けは良く密着時間は短縮される。本発明はこのような
実質的に排気タイミングがずれているものも含むもので
ある。

このように個々の排気手段の排気強度を制御すること
によっても従来よりは素早い密着をさせることができ
る。

（第２の実施例） 本発明のシャドウマスクの露光装置の第２の実施例を
第１の実施例と同一箇所には同一の符号を付して説明す
る。第６図は露光装置本体（101）の概略断面略図を示
したものである。

第１の実施例で示したシャドウマスクの露光装置であ
って、制御バルブ（25a），…，（25j），（26a），
…，（26j）が排気タイミング信号発生回路（41）から
の排気タイミング信号ＴXによってそれぞれの排気管（1
5a），…，（15j），（16a），…，（16j）からの排気
タイミングを制御するものであり、また排気強度変更信
号発生回路（43）からの強度変更信号ＴYによって排気
強度を制御するものとなっている。この制御バルブ（25
a），…，（25j），（26a），…，（26j）と排気タイミ
ング信号発生回路（41）によって排気タイミング制御手
段は構成され、制御バルブ（25a），…，（25j），（26
a），…，（26j）と排気強度変更信号発生回路（43）に
よって排気強度制御手段は構成されている。

ここで排気タイミング制御手段及び排気強度制御手段
について詳述する。

例えば排気タイミング信号発生回路（41）から制御バ
ルブ（25a）へ第７図中（ａ）に示すようなon−offの排
気タイミング信号ＴXaが送信されたとする。この排気タ
イミング信号ＴXaは時間t1から時間t3まで排気管（15
a），（16a）から排気をおこない、時間t3から時間t4ま
で排気を中断するといったものである。また排気強度変
更信号ＴYaは同図中（ｂ）に示すように時間t1′までは
排気強度がp0となるような制御電圧V0で、時間t1′から
時間t3までは強度p1で排気をするような制御電圧V1が送
信されたとする。

これら排気タイミング信号ＴXaと排気強度変更信号Ｔ
Yaによって制御バルブ（25a）は制御され、排気管（15
a）からの排気は同図中（ｃ）に示すように時間t1で排
気強度p0の排気が行なわれ、時間t1′で排気強度はp1に
増大する。そして時間t3で排気は中止される。そして時
間t4から再び排気強度p0の排気が行なわれる。そして排
気によって密着が完了する時間t2から露光を行なうもの
である。

このように本実施例のシャドウマスク用露光装置では
排気タイミング信号ＴYa及び排気強度変更信号ＴYaを調
整することによって、１露光工程内で各排気管（15
a），…，（15j），（16a），…，（16j）の排気強度及
び排気タイミングを個別に調整することができる。

次にこのようなシャドウマスクの露光装置を用いて本
発明に係るシャドウマスクの露光方法の一実施例を説明
する。

まず一対のネガ乾板（31a），（31b）をフレーム（11
a），（11b）の対向面に吸着させ、この一対のネガ乾燥
（31a），（31b）を正しく位置合わせする。次にネガ乾
板（31a），（31b）間に、感光膜が形成された連続金属
続帯状板（１）を装填し、クランク（5a），（5b）を作
動させてネガ乾板（31a），（31b）を連金属帯状板
（１）に若干密着させる。そして個々の制御バルブ（25
a），…，（25j），（26a），…，（26j）を排気タイミ
ング信号ＴXと排気強度変更信号ＴYで制御することによ
って各排気管（15a），…，（15j），（16a），…，（1
6j）からの排気を例えば次のように制御する。

第８図は各排気管（15a），…，（15j），（16a），
…，（16j）からの排気の状態を示すもので、図中
（ａ）は排気管（15a），（16a）の排気を示したもの
で、時間t1から排気強度p0で排気を開始し、時間t1′で
排気強度をp1に増加し、時間t3で排気を修了し、そして
時間t4まで排気は中断され、再び時間t4で排気を開始す
るものである。また図中（ｂ）は排気管（15b），（16
b）からの排気を示したもので、排気開始タイミングが
Δｔだけ遅れた時間t1＋Δｔで排気を開始し、時間t1′
で排気強度を増加させ、時間t3で排気を中断させるもの
であり、排気管（15c），（16c），…からはΔｔだけ排
気開始タイミングが徐々に遅れた排気がされる。そして
更に図中（ｃ）は排気管（15j），（16j）からの排気を
示したもので、時間t1・９・Δｔで排気を開始し、時間
t1′で排気強度をp1へと増加し、時間t3で排気を中断す
るものである。

上述のように制御することによって他よりも排気の最
も遅れている排気管（15j），（16j）近傍にネガ乾板
（31a），（31b）中央部との排気経路が形成される。そ
の後強い排気強度で排気することによってネガ乾板（31
a），（31b）中央部に残留大気はなく、素早い密着が可
能となる。

そして時間t2で密着は修了し時間t3まで光源（図示せ
ず）から光を照射してネガ乾板（31a），（31b）に形成
されたシャドウマスクパターンを連続金属帯状板（１）
上に着膜された感光膜に焼付ける。これは通常で45〜50
秒間行なわれるものである。

この焼付け工程終了後に制御バルブ（25a），…，（2
5j），（26a），…，（26j）は排気タイミング信号発生
回路（41）からの排気タイミング信号Txによって綴じら
れ、クランク（5a），（5b）を作動させ、ネガ乾板（31
a），（31b）と連続金属帯状板（１）を離反し、スプー
ル（56），（58）を回転させて次の連続金属帯状板
（１）をネガ乾板（31a），（31b）間に装填する。

これを１露光工程として順次連続金属帯状板（１）に
シャドウマスクパターンを焼き付けていくものである。

上述したように本実施例の露光装置では排気強度p0で
各排気管（15a），（15b），……，（15j），（16a），
…，（16j）からタイミングを少しずつずらしながら排
気を開始してネガ乾板（31a），（31b）と連続金属帯状
板（１）との間の残留大気に少なくとも１つの排気経路
を形成する第１の密着と、この排気経路形成後第１の密
着よりも強い排気力で排気してネガ乾板（31a），（31
b）と連続金属帯状板（１）とを完全密着させる第２の
密着によって成っているため、ネガ乾板（31a），（31
b）と連続金属帯状板（１）との間の残留大気もなく、
より速かに精度の良い焼き付けを行うことができる。こ
のように排気タイミングを変えながら排気力を変えるこ
とによってネガ乾板（31a），（31b）と連続金属帯状板
（１）との密着時間を従来の1/3にすることができ、シ
ャドウマスクの生産性は向上する。

ここでも10個の排気管（15a），（15b），……，（15
j），（16a），…，（16j）から順次排気を開始したが
個数を10個に限定することなく、またこの他にも例えば
（15a,15f），（15b,15g），（15c,15h），…のように
対角線を一対として排気を行っても、少なくとも１つの
排気管からの排気のタイミングが他より遅れて排気すれ
ば排気経路は十分に形成され、密着時間を短縮すること
ができる。

［発明の効果］ 本発明のシャドウマスクの露光装置では１露光サイク
ル内で排気タイミングをずらす制御手段を有して制御す
るため、ネガ乾板の中心領域近傍の大気溜りには必ず外
部に繋がる排気経路を存在させることができる。このた
めシャドウマスクの露光工程に係る工程時間が従来に比
べて非常に短く、シャドウマスクの量産が容易となる。
またこの露光装置を直列に並べて露光を行なう必要もな
く、設備投資も少なく連続金属帯状板のロスも減すこと
ができる。

さらに密着の精度は向上し、シャドウマスクパターン
の露光がより正確に行なえるため、不良を減少させるこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例に係るシャドウマスクの露光装
置の概略斜視図、第２図は第１図におけるシャドウマス
クの露光装置をＡ−Ａ′線に沿って切断した断面概略
図、第３図は本発明の実施例に係るシャドウマスクの露
光装置のフレームの正面概略図、第４図は本発明の第１
の実施例に係る排気手段からの排気力波形図、第５図は
本発明の第１の実施例の変形例に係る各排気手段の排気
力波形図、第６図は本発明の第２の実施例に係るシャド
ウマスクの露光装置の断面図、第７図は本発明の第２の
実施例の露光装置に係る制御用信号波形及び排気力波形
図、第８図は第２の実施例の露光装置に係る各排気手段
からの排気力波形図を示したものである。 （１）……連続金属帯状板 （11a），（11b）……フレーム （25）……制御バルブ （31a），（31b）……ネガ乾板 （41）……排気タイミング信号発生回路 （43）……排気強度変更信号発生回路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭50−18163（ＪＰ，Ｕ) 実公 昭51−11393（ＪＰ，Ｙ１) 実公 昭43−31748（ＪＰ，Ｙ１) 実公 昭46−27605（ＪＰ，Ｙ１)

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一主面に所望のシャドウマスクパターン形
   成面を有する一対のネガ乾板を位置合せする工程と、 前記一対のネガ乾板間に所望の膜厚を有する感光膜が両
   主面に形成された連続金属帯状板を所望の長さ搬送する
   搬送工程と、 前記一対のネガ乾板を前記連続金属帯状板に密着しない
   程度に近接移動させると共に、前記一対のネガ乾板に対
   応する前記連続金属帯状板を密封する工程と、 前記一対のネガ乾板外周に設けられた複数個の排気手段
   から時間差を設けて排気を行ない、前記一対のネガ乾板
   と前記連続金属帯状板を完全に密着させる工程と、 前記一対のネガ乾板に対応する前記連続金属帯状板両主
   面に前記シャドウマスクパターンを焼付ける工程と、 前記焼付け工程終了後前記排気を中止し前記連続金属帯
   状板と前記一対のネガ乾板とを離反させる離反工程と、 前記連続金属帯状板両主面の感光膜に焼付けられたシャ
   ドウマスクパターン部を含む所望の長さを搬送する搬送
   工程とを有することを特徴とするシャドウマスクの露光
   方法。
2. 【請求項２】一主面に所望のシャドウマスクパターン形
   成面を有する一対のネガ乾板を位置合せする工程と、 前記一対のネガ乾板間に所望の膜厚を有する感光膜が両
   主面に形成された連続金属帯状板を所望の長さ搬送する
   搬送工程と、 前記一対のネガ乾板を前記連続金属帯状板に密着しない
   程度に近接移動させると共に、前記一対のネガ乾板に対
   応する前記連続金属帯状板を密封する工程と、 前記一対のネガ乾板外周に設けられた複数個の排気手段
   から時間差を設け且つ排気強度を任意に変えて排気を行
   ない、次いで排気強度のみを任意の時間差を設けて更に
   変更することにより前記一対のネガ乾板と前記連続金属
   帯状板を完全に密着させる工程と、 前記一対のネガ乾板に対応する前記連続金属帯状板両主
   面に前記シャドウマスクパターンを焼付ける工程と、 前記焼付け工程終了後前記排気を中止し前記連続金属帯
   状板と前記一対のネガ乾板とを離反させる離反工程と、 前記連続金属帯状板両主面の感光膜に焼付けられたシャ
   ドウマスクパターン部を含む所望の長さを搬送する搬送
   工程とを有することを特徴とするシャドウマスクの露光
   方法。
3. 【請求項３】両主面に所望の膜厚を有する感光膜が形成
   された連続金属帯状板を所望の長さ毎に搬送可能な搬送
   手段と、 各々の一主面にシャドウマスクパターンが形成された一
   対のネガ乾板を前記シャドウマスクパターン形成面が対
   向しうるように支持し、前記一対のネガ乾板間に前記連
   続金属帯状板を挟持し真空密封状態としうる一対のフレ
   ームと、 この一対のフレームを前記シャドウマスクパターン形成
   面の対向方向及びその逆方向に移動可能な機能を有する
   支持ベースと、 前記一対のフレームによって前記一対のネガ乾板と前記
   連続金属帯状板との真空密着状態を形成するため前記一
   対のフレームに各々設けられた複数個の排気管を有する
   排気手段と、 前記一対のフレームの対向方向逆側に設けられた光源
   と、 前記複数個の排気手段の少なくとも１つの排気手段から
   の排気開始が他の排気手段から時間差を設けて排気可能
   となるよう排気タイミングを制御する排気タイミング制
   御手段とを具備したことをを特徴としたシャドウマスク
   の露光装置。
4. 【請求項４】両主面に所望の膜厚を有する感光膜が形成
   された連続金属帯状板を所望の長さ毎に搬送可能な搬送
   手段と、 各々の一主面にシャドウマスクパターンが形成された一
   対のネガ乾板を前記シャドウマスクパターン形成面が対
   向しうるように支持し、前記一対のネガ乾板間に前記連
   続金属帯状板を挟持し真空密封状態としうる一対のフレ
   ームと、 この一対のフレームを前記シャドウマスクパターン形成
   面の対向方向及びその逆方向に移動可能な機能を有する
   支持ベースと、 前記一対のフレームによって前記一対のネガ乾板と前記
   連続金属帯状板との真空密着状態を形成するため前記一
   対のフレームに各々設けられた複数個の排気管を有する
   排気手段と、 前記一対のフレームの対向方向逆側に設けられた光源
   と、 前記複数個の排気手段の少なくとも１つの排気手段から
   の排気開始が他の排気手段と時間差を設けて排気可能と
   なるよう排気タイミングを制御する排気タイミング制御
   手段と 複数個の排気手段のうち少なくとも一つの排気手段から
   の排気強度が任意に変更可能で且つ排気開始後任意の時
   間差を設け更に排気強度を変更することが可能な排気強
   度制御手段とを具備することを特徴としたシャドウマス
   クの露光装置。