KR101208743B1 - 폐쇄형 카세트 및 유리 시트 열처리 방법 - Google Patents

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Abstract

대류식 양립가능한 폐쇄형 카세트 및 방법은 폐쇄형 카세트가 동일한 방법 그리고 청정 환경으로 하나 이상의 유리 시트를 열 처리 위해 사용됨을 여기에 기술된다. 바람직한 실시형태에서, 폐쇄형 카세트는 각 쌍의 지지된 봉합 구역의 주요 면 사이에 개방 통로가 존재하는 방식으로 장착 구조물에 의해 지지되는 다수의 봉합 구역을 포함한다. 그리고 각 봉합 구역은 각 쌍의 지지된 유리 시트의 주요 표면 사이에 공간이 존재하는 방식으로 다수의 유리 시트를 수용하고 그리고 지지되도록 설계된다. 작동중, 페쇄형 카세트는 가열/냉각된 여과되지 않은 공기가 각 봉합 구역의 주요 표면을 가로질러 흐를 수 있고 그리고 봉합된 유리 시트를 균일하게 가열/냉각할 수 있도록 오븐(예를 들어, 유리 용해로, 회분 화로)으로 배치된다.
페쇄된 카세트, 봉합 구역, 유리 시트, 주요 표면, 오븐

Description

폐쇄형 카세트 및 유리 시트 열처리 방법{CLOSED CASSETTE AND METHOD FOR HEAT TREATING GLASS SHEETS}
이 출원은 참조로써 여기에 통합되는 2004년 3월 5일에 출원된 미국특허출원번호 10/794,938를 우선권 주장한다.
본 발명은 동일한 방법 및 청정 환경에서(소형의) 하나 이상의 유리 시트를 열처리하는데 폐쇄형 카세트를 사용하기 위한 방법 및 폐쇄형 카세트에 관한 것이다.
유리 시트(예를 들어, 액정 디스플레이 유리 시트)의 제조업체들은 그들 고객이 유리 시트를 처리할 때 그들이 축소되지 않거나 또는 매우 작게 축소되도록 그들을 미리 축소시키기 위해 제조업체들이 유리 시트를 종종 열처리한다. 현재 유리 시트를 열처리하기 위해 사용하는 여러 가지의 시스템/공정이 있다. 이들 중 3개의 시스템/공정 및 그들에 관련된 문제가 도 1 내지 도 3과 관련하여 아래에 간단히 기술된다.
첫째로, 제조업채들은 도 1에 도시된 바와 같이 유리 시트(112)를 열처리하기 위하여 재순환 공기 오븐(100)을 사용할 수 있다. 재순환 공기 오븐(100)은 이 실시예에서 단지 두 개의 머플(104, muffle)이 하나는 상부 선반(106) 위에 위치되 고 그리고 다른 머플(104)은 하부 선반(108) 위에 위치되게 도시된 하나 이상의 큰 스틸 머플(104) 주위에 여과되지 않은 공기(102)를 순환시킨다. 각각의 머플(104)은 단지 5개의 개방형 카세트(110)가 도 1의 단면도에 도시된 각각의 선반(106, 108) 위에서 보여지고 이 실시예에서 각 머플(105)은 15개 개방형 카세트(110)를 수용하며, 각 머플(104)은 다수의 개방형 카세트(110)를 포함한다. 그리고 이 실시예에서 각 개방형 카세트(110)가 6개 유리 시트(112)를 지지하도록 나타난 각 개방형 카세트(110)는 다수의 유리 시트(112)를 지지한다. 머플(104)은 재순환 공기 오븐(100)에 흐르는 여과되지 않은 공기(102)로부터 개방형 카세트(110)를 분리시키기 위해 사용된다. 이 시스템/공정에 관계된 주요 문제점은 (1) 유리 시트(112)를 가열하고 그리고 냉각시키기 위해 긴 열 순환이 필요 있고 그리고 (2) 각 머플(104) 내에서 가열/냉각 운송 및 온도 균일성이 떨어진다는 것이다.
두 번째로, 제조업체는 유리 시트(206)를 열처리하기 위해 도 2에 도시된 바와 같이 직접 대류식 오븐(200)을 사용할 수 있다. 직접 대류식 오븐(200)은 각 다수의 유리 시트(206)를 지지하는(예를 들어 6개 유리 시트) 다수 개방형 카세트(204) 주위에 하나 이상의 고능률 미립자 필터(203, 예를 들어 하나의 HEPA 필터)에 의해 여과된 공기(202)를 순환시킨다. 이 실시예에서, 단지 5개 개방형 카세트(204)는 도 2의 단면도에 도시된 상부 선반(208) 위에서 보여지고 직접 대류식 오븐(200)은 30개 개방형 카세트(204)를 지지한다. 그리고 5개 개방형 카세트(204)는 도 2에 도시된 하부 선반(210) 위에서 보여진다. 직접 대류식 오븐(200)은 유리 시트(206)를 균일하게 가열하고 그리고 냉각시키기 위해 여과된 공기(202)를 사용 한다. 이 시스템/공정에 관련된 주요 문제점은 유리 시트(206)가 알맞게 열 처리되기 위해 650℃까지 가열될 필요가 있을 경우 헤파 필터(204, HEPA filter)가 대략 350℃의 최소 작동 온도를 갖는다는 것이다. 이 시스템/공정 그리고 특히 도 2에 도시된 직접 대류식 오븐(200)은 종래 개방형 카세트(204)를 사용과 관련된 문제를 기술하기 위해 사용된 개념 도면이 간단하다는 것을 인정해야 한다. 그러한 것처럼, 이런 시스템/공정은 현재 산업에 사용될 수 있거나 사용될 수 없다.
셋째로, 제조업체는 도 3에 도시된 바와 같이 유리 시트(304)를 열처리하기 위해 복사 오븐(300)을 사용할 수 있다. 복사 오븐(300)은 다수의 유리 시트(304, 예컨대, 6개 유리 시트)를 지지하는 하나 이상의 개방형 카세트(302) 주위에 뜨거움/차가움을 분출시킨다. 이 실시예에서, 단지 5개 개방형 카세트(302)는 도 3의 단면도에 도시된 상부 선반(306) 위에서 보여지고 복사 오븐(300)은 30개 개방형 카세트(302)를 지지한다. 그리고 5개 개방형 카세트(302)는 도 3에 도시된 하부 선반 위에 위치됨을 보여진다. 복사 오븐(300)은 유리 시트(304)로 분출한 미립자에 관여되기 때문에 강제 대류식 가열 또는 냉각을 사용할 수 없다. 그러한 것처럼, 복사 오븐(300)은 유리 시트(304)를 열처리하기 위해 가열/냉각을 단순히 분출시킨다. 이 시스템/공정에 관련된 주요 문제점은 복사 오븐(300)이 유리 시트(304)를 균일하게 가열하고 그리고 냉각시키는 것이 어렵다는 것이다. 시스템/공정 그리고 도 3에 도시한 특히 복사 오븐(300)은 종래 개방형 카세트(302)를 사용에 관련된 문제점을 기술하기 위해 사용된 개념 도면이 간단하다는 것을 인정해야 한다. 그러한 것처럼, 이 시스템/공정은 현재 산업에 사용될 수 있거나 사용될 수 없다.
도 1 내지 도 3에 도시한 종래 시스템/공정에 관련된 문제점을 고려하여, 동일한 방법 그리고 청정 환경으로 다수 유리 시트를 효과적으로 열 처리함으로써 종래 시스템/공정의 앞서 말한 결점을 처리할 수 있는 시스템/공정이 필요하다. 이 요구 그리고 다른 요구는 본 발명의 대류식 양립가능한 폐쇄형 카세트, 방법 그리고 시스템에 의해 제공된다.
본 발명은 폐쇄형 카세트를 동일한 방법 그리고 청정 환경으로 하나 이상의 유리 시트를 열 처리하는데 사용하기 위한 방법 그리고 대류식 양립가능한 폐쇄형 카세트를 포함한다. 바람직한 실시형태에서, 폐쇄형 카세트는 각 쌍의 지지된 봉합 구역의 주요 표면 사이에 개방 통로가 존재하는 방식으로 장착 구조물에 의해 지지되는 다수의 봉합 구역을 포함한다. 그리고 각 봉합 구역은 각 쌍의 지지된 유리 시트의 주요 표면 사이에 공간이 있는 방식으로 다수의 유리 시트를 수용하고 지지되도록 설계된다. 작동중, 폐쇄형 카세트는 뜨거운/차가운 여과되지 않은 공기가 각 봉합 구역의 주요 표면을 가로질러 흐를 수 있고 그리고 봉합된 유리 시트를 균일하게 가열/냉각시키도록 오븐(예를 들어, 유리 용해로, 회분 화로(batch kiln))으로 배치된다.
본 발명의 더 많은 완전한 이해는 다음의 도면과 함께 기술된 상세한 설명의 참조에 의해 가질 수 있다.
도 1은 재순환식 공기 오븐, 머플 및 다수의 유리 시트를 열처리하기 위해 일반적으로 사용되는 개방형 카세트를 포함하는 종래 시스템을 도시한 공정도이며;
도 2는 직접 대류식 오븐(direct convection oven), 헤파 필터(HEPA filter) 및 다수의 유리 시트를 열처리 위해 일반적으로 사용되는 개방형 카세트를 포함하는 다른 종래 시스템을 도시한 순서도이며;
도 3은 복사식 오븐 및 다수의 유리 시트를 열처리 위해 일반적으로 사용되는 개방형 카세트를 포함하는 또 다른 종래 시스템을 도시한 순서도이며;
도 4a 내지 도 4d는 본 발명에 따른 다수의 유리 시트를 수용하기 위해 사용된 대류식 양립가능한 폐쇄형 카세트의 다른 도면을 도시하며;
도 5는 도 4a 내지 도 4d에 도시된 것 중 하나와 같은 대류식 양립가능한 폐쇄형 카세트 내에 포함된 유리 시트를 가열하고 그리고 냉각시키기 위해 사용될 수 있는 종래 유리 용해로(lehr)의 단면도이며;
도 6a 및 도 6b는 도 5에 도시한 종래 유리 용해로에 사용된 가열 모듈(도 6a) 및 냉각 모듈(도 6b)의 단면도이며; 그리고
도 7은 도 4a 내지 도 4d에 도시한 폐쇄 카세트를 본 발명에 따른 유리 시트를 열 처리하는데 사용하기 위한 바람직한 방법의 기초 단계를 도시한 순서도이다.
도 4 내지 도 7을 참조하여, 대류식 양립가능한 폐쇄형 카세트(400) 그리고 본 발명에 따라 유리 용해로(500)를 폐쇄형 카세트(400) 내에 위치된 유리 시트(402)를 열처리하는데 사용하기 위한 방법(700)의 도면이다. 명백하게, 폐쇄형 카세트(400)의 구조에 대한 상세한 설명은 도 4a 내지 도 4d에 대하여 우선 제공되 고 그리고 그 다음에 유리 용해로(500) 및 방법(700)에 대한 상세한 설명은 도 5 내지 도 7에 대하여 제공된다.
도 4a 내지 도 4d를 참조하면, 본 발명에 따라 다수의 유리 시트(402)를 수용하고 그리고 지지하기 위해 사용되는 폐쇄형 카세트(400)의 다른 도면을 나타낸다. 폐쇄형 카세트(400)는 장착 구조물(404) 및 다수의 봉합 구역(406, 4개 도시)을 포함한다. 장착 구조물(404)은 상부틀(404a) 그리고 하부틀(404b)를 포함한다. 상부틀(404a)은 직사각형의 형태로 형성된 일체 재료(예를 들어, 스테인리스 합금)로부터 형성될 수 있다. 선택적으로, 상부틀(404a)은 직사각형을 형성하기 위해 서로 연결되는 4개 부품 재료(예를 들어, 스테인리스 합금)로부터 형성될 수 있다. 하부틀(404b)은 상부틀(404a)과 같이 동일한 형상을 갖는다.
장착 구조물(404)은 각 봉합 구역(406)을 수용하고 그리고 지지하기 위해 사용된다. 도시된 바와 같이, 상부틀(404a)은 지지된 봉합구역(406)의 상부 부분의 주위에 위치된다. 그리고 하부틀(404b)은 지지된 봉합 구역(406)의 하부 부분의 주위에 위치된다. 봉합 구역(406)은 각 쌍의 지지된 봉합구역(406)의 주요 표면(412) 사이에 위치된 개방 통로(408, 3개 도시)가 존재하는 방식으로 장착 구조물(404)에 의해 지지된다. 장착 구조물(404)은 지지된 봉합 구역(06)의 주요 표면(412) 사이에 위치된 개방 통로(408)가 존재하는 방식으로 다수의 봉합 구역(406)을 수용하고 그리고 지지할 수 있도록 긴 어떤 종류의 형태를 가질 수 있다는 것을 인정해야 한다.
각 봉합 구역(406)은 각 쌍의 지지된 유리 시트(402)의 주요 표면(414) 사이 에 공간(413)이 존재하는 방식으로 하나 이상의 유리 시트(402, 일반적으로 3-5개의 유리 시트)를 수용하고 그리고 지지하도록 설계된다. 일 실시형태에서, 봉합 구역(406)은 하부면(416), 4개 측벽(418a, 418b, 418c, 그리고 418d) 그리고 개방된 상부면(420, 도 4a 내지 도 4d에 도시)을 갖는다. 개방면(420)은 제거가능한 덮개(421, 도 4d에 도시)에 의해 덮혀진다. 4개의 측벽(418a, 418b, 418c, 그리고 418d)은 유리 시트(402)를 수용하는 내부 공간을 그 내부에 한정하기 위해 하부면(416) 그리고 개방 상부면(420)으로부터 연장된다.
유리 시트(402)를 지지하기 위하여, 봉합 구역(406)은 유리 시트(402)의 하부를 지지하는 조정가능한 수평 지지대(424, "V" 지지대)를 갖는다. 도 4d에 도시된 것처럼, 수평 지지대(424)는 유리 시트(402)의 크기에 따라 봉합 구역(406) 내에서 아래로 또는 위로 움직일 수 있다. 추가로, 봉합 구역(406)은 유리 시트(402)의 주요 표면(414)의 부분을 지지하기 위하여 조정가능한 수직 지지대(428, 도 4d에 미도시)를 사용한다. 도 4c에 도시된 바와 같이, 수직 지지대(428)는 유리 시트(402)의 크기에 따라 봉합 구역(406) 내에서 왼쪽 또는 오른쪽으로 움직일 수 있다. 결과적으로, 봉합 구역(406) 그리고 특히 조정가능한 지지대(424, 428)는 다른 크기의 유리 시트(402)를 지지할 수 있다. 예를 들어, "큰" 유리 시트(402)는 1300mm(폭)×1600mm(높이)×0.7mm(두께)(도 4c 및 도 4d에 참조)일 수 있다. 그리고 "작은" 유리 시트(402)는 1500mm(폭)×1400mm(높이)×0.7mm(두께)(도 4c 및 도 4d에 참조)일 수 있다.
도 5을 참조하면, 대류식 양립가능한 폐쇄형 카세트(400, 40개가 도시됨)내 에 포함된 유리 시트(402)를 가열하고 그리고 냉각시키기 위해 사용될 수 있는 종래의 유리 용해로(500)의 단면도이다. 전형적인 유리 용해로(500)는 그들이 유리 용해로(500)를 통하여 왼쪽으로부터 오른쪽까지 이동함에 따라 40개의 카세트(400)를 가열하고 그리고 그 다음 냉각시키는 40개의 모듈(502)을 포함하여 나타낸다. 폐쇄형 카세트(400)는 (예를 들어) 벨트, 구동 롤러, 동형(walking beam), 차(car) 또는 카트(cart)를 포함하는 어떠한 다수의 방법을 사용하는 유리 용해로(500)를 통하여 운송될 수 있다.
작동 중, 폐쇄형 카세트(400)가 유리 용해로(500)로 향하고 그리고 그런 방식으로 유리 용해로(500)를 통해 이동되므로 송풍되는 여과되지 않은 공기는 봉합 구역(406)의 주요 표면(412)을 균일하게 가열하고 그리고 냉각시키고 봉합 구역(406) 내에 포함된 유리 시트(402)의 주요 표면(414)을 차례로 균일하게 가열하고 그리고 냉각시킨다. 이런 방법에서, 유리 시트들이 봉합 구역(406)의 주요 표면(412)에 걸쳐 여과되지 않은 공기에 의해 균일하게 가열되고 그리고 냉각시키는 동안 유리 시트(402)는 청정 환경으로 유지된다. 각 봉합 구역(406)에서 벽의 두께 및 각 봉합 구역(406) 내 유리 시트(402)의 개수가 유리 시트(402) 내 온도 증감을 최소화하도록 작게 유지되는 것을 인정해야 한다.
전형적인 온도 프로파일(504)은 폐쇄형 카세트(400)를 가열하고 그리고 냉각시키기 위한 모듈(502) 내에 순환되는 여과되지 않은 공기의 다양한 온도를 나타내는 도 5의 유리 용해로(500) 위에 도시된다. 이를 테면, 처음 10개 모듈(502)은 20℃로부터 640℃까지 움직이는 폐쇄형 카세트(400)를 균일하게 가열하는데 사용될 수 있다. 다음 8개 모듈(502)은 640℃에서 움직이는 폐쇄형 카세트(400)의 온도를 유지하는데 사용된다. 그 다음 14개 모듈(502)은 움직이는 폐쇄형 카세트(400)를 640℃로부터 400℃까지 상대적으로 느린 비율로 균일하게 냉각시키는데 사용된다. 그리고 그 다음 8개 모듈(502)은 움직이는 폐쇄형 카세트(400)를 400℃로부터 20℃까지 상대적으로 빠른 비율로 균일하게 냉각시키는데 사용된다. 물론 예를 들어: (1) 봉합 구역(406)의 다수의 유리 시트(402) 및 크기; (2) 봉합 구역(406)의 벽의 두께; (3) 봉합 구역(406)을 형성하기 위해 사용되는 물질의 종류; (4) 유리 용해로(500)를 통하여 운송하는 폐쇄형 카세트(400)의 속력; 그리고 (5) 유리 용해로(500)의 모듈(502)의 개수와 종류; 와 같은 다양한 요소에 의존하는 유리 시트(402)를 처리하기 위해 사용될 수 있는 많은 다른 가열/냉각 처리 주기가 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 유리 용해로(500)는 가열 모듈(502a)이거나 또는 냉각 모듈(502b)인 모듈(502)을 갖는다. 도 6a는 유리 용해로(500) 내에 통합될 수 있는 전형적인 가열 모듈(502a)의 단면도이다. 가열 모듈(502a)은 하나 이상의 히터(606a, 두 개 도시)에 의해 가열되고 그리고 폐쇄형 카세트(400) 주위에 공기 분포판(603a)에 의해 안내되는 여과되지 않은 공기를 이동하는 재순환 팬(602a)을 포함한다. 가열 모듈(502a)에서, 뜨거운 여과되지 않은 공기(604a)는 봉합 구역(406) 내 포함된 유리 시트(402)를 차례로 균일하게 가열하는 봉합 구역(406)의 주요 표면(412)을 균일하게 가열하도록 폐쇄형 카세트(400)의 봉합 구역(406) 사이의 개방 통로를 통하여 흐른다(도 4a 내지 도 4d에 도시). 게다가, 그들은 봉합 구역(406)의 주요 표면(412)을 가로질러 흐르는 뜨거운 여과되지 않은 공기(604a)에 의해 균 일하게 가열되는 동안 유리 시트(402)는 청정 환경으로 유지된다.
그리고 도 6b는 유리 용해로(500)에서 사용될 수 있는 전형적인 냉각 모듈(502b)의 단면도를 도시한다. 냉각 모듈(502b)은 하나 이상의 냉각 공기팬(606b, 두 개 도시)에 의해 냉각되고 그리고 폐쇄형 카세트(400) 주위에 공기 분포판(603b)에 의해 안내되는 여과되지 않은 공기(604b)를 이동시키는 재순환 팬(602b)을 포함한다. 도시된 바와 같이, 냉각 모듈(502b)은 여과되지 않은 공기(604b)의 재순환 및 재냉각을 작동시키기 위해 사용되는 하나 이상의 배출구(608b, 두 개 도시)를 또한 갖는다. 냉각 모듈(502b)에서, 차가운 여과되지 않은 공기(604b)는 봉합 구역(406) 내 포함된 유리 시트(402)를 차례로 균일하게 냉각시키는 봉합 구역(406)의 주요 표면(412)을 균일하게 냉각시키도록 폐쇄형 카세트(400)에 봉합 구역(406) 사이의 개방 통로(408)를 통하여 흐른다(도 4a 내지 도 4d에 도시). 게다가, 그들이 봉합 구역(406)의 주요 표면(412)을 가로질러 흐르는 차가운 여과되지 않은 공기(604b)에 의해 균일하게 냉각되는 동안 유리 시트(402)는 청정 환경으로 유지된다.
도 7에 따르면, 폐쇄형 카세트(400)를 본 발명에 따른 유리 시트(402)를 열 처리하는데 사용하는 바람직한 방법(700)의 기본 단계를 도시한 순서도이다. 처음 단계(702)에서, 로봇 또는 사람이 하나 이상의 유리 시트(402)를 폐쇄형 카세트(400) 안으로 배치한다. 게다가, 폐쇄형 카세트(400)는 각 쌍의 지지된 봉합 구역(406)의 주요 표면(412) 사이에 개방 통로(408)가 존재하는 방식으로 장착 구조물(404)에 의해 지지되는 하나 이상의 봉합 구역(406)을 포함한다(도 4a 참조). 그 리고 각 봉합 구역(406)은 각 쌍의 지지된 유리 시트(402)의 주요 표면(414) 사이에 공간(413)이 존재하는 방식으로 하나 이상의 유리 시트(402)를 수용하고 그리고 지지하도록 설계된다(도 4a 참조). 단계(704)에서, 폐쇄형 카세트(400)는 유리 용해로(500) 안으로 배치된다(도 5 참조). 그 다음 단계(706)에서, 폐쇄형 카세트(400)는 뜨겁고/차가운 여과되지 않은 공기(604a 및 604b)가 봉합된 유리 시트(402)를 균일하게 가열하고/냉각시키기 위한 각 봉합 구역(406)의 주요 표면(412)을 가로질러 흐르는 동안 유리 용해로를 통하여 이동된다(도 5, 6a 및 6b 참조). 위의 설명에서와 같이, 폐쇄형 카세트(400)는 벨트, 구동 롤러, 동형, 차(car) 또는 카트(cart)를 포함하는 다수의 방법 중 어느 하나를 사용하여 유리 용해로(500)를 통하여 운송될 수 있다. 그리고 폐쇄형 카세트(400)가 유리 용해로(500)로 향하고 그리고 그런 방식에서 유리 용해로(500)를 통하여 이동되므로, 유동하는 뜨겁고/차가운 여과되지 않은 공기(604a 및 604b)는 봉합 구역(406) 내 포함된 유리 시트(402)를 차례로 균일하게 냉각하고 그리고 가열하는 봉합 유리(406)의 주요 표면(412)을 균일하게 가열/냉각시킬 수 있다. 이런 방법에서, 그들이 봉합 구역(406)의 주요 표면(412)을 가로질러 이동하는 여과되지 않은 공기(604a 및 604b)에 의해 균일하게 가열되고/냉각되는 동안 유리 시트(402)는 청정 환경으로 유지된다. 각 봉합 구역(406)의 벽의 두께 그리고 각 봉합 구역(406) 내 유리 시트(402)의 개수는 유리 시트(402) 내 온도 증감을 최소화하도록 작게 유지된다.
폐쇄형 카세트(400)는 회분 화로(batch kiln, 미도시)에서 또한 열처리를 할 수 있다. 이 경우에, 폐쇄형 카세트(400)는 회분 화로에 배치될 것이고 그리고 봉합 구역(406)의 주요 표면(412)을 가로질러 흐르는 공기를 가열/냉각하는 동안 그 내부에 정지한 채로 남아있을 것이다.
다음은 본 발명의 다소 추가 특징, 이점 및/또는 사용법이다.:
● 폐쇄형 카세트(400)는 앞서 말한 유리 용해로(500) 및 회분 화로에 더하여 다양한 오븐에서 가열 및/또는 냉각될 수 있다. 이를 테면, 폐쇄형 카세트(400)는 회분 화로 또는 종래의 재순환 공개 오븐(도 1 참조)에서 가열 및/또는 냉각될 수 있다.
● 도시된 가열 모듈(502a) 및 냉각 모듈(502b)은 폐쇄형 카세트(400)에 걸쳐 "아래로" 유동하는 여과되지 않은 공기(604a 및 604b)를 갖는다. 그러나 가열 모듈(502a) 및 냉각 모듈(502b)은 폐쇄형 카세트(400)에 걸쳐 어떤 방향으로 여과되지 않은 공기(604a 및 604b)를 이동시키도록 설계될 수 있다. 이를 테면, 가열 모듈(502a) 및 냉각 모듈(502b)은 폐쇄형 카세트(400)에 걸쳐 왼쪽으로부터 오른쪽까지 여과되지 않은 공기(604a 및 604b)가 이동되도록 설계될 수 있다.
● 폐쇄형 카세트(400)의 봉합 구역(406)은 봉합 구역(406)의 내부벽의 산화 방지를 돕기 위한 질소와 같은 비활성 가스를 사용하여 깨끗이 할 수 있다는 것을 인정해야 한다.
● 유리 시트(402)는 액정디스플레이(LCD)에 사용된 유리 시트를 제조하기 위한 하나의 기술인 융해 공정에 따라 형성될 수 있다. 융해 공정은 여기에 참조로써 통합된 미국특허번호 3,338,696 그리고 3,682,609에 기술된다.
비록 본 발명의 일 실시형태가 첨부한 도면에 도시되고 그리고 상세한 설명에 기술되더라도, 본 발명은 개시된 실시형태로 제한되지 않지만, 그러나 다음 청구항에 의해 정의되고 그리고 앞선 본 발명의 정신을 벗어나지 않게 다수의 재배치, 변경 그리고 치환할 수 있다는 것을 이해해야 한다.
본 발명에 따르면, 폐쇄형 카세트는 한 쌍의 지지된 봉합 구역의 주요 면 사이에 개방 통로가 존재하는 방식으로 장착 구조물에 의해 지지되는 다수의 봉합 구역을 갖고, 그리고, 봉합 구역은 각 쌍의 지지된 유리 시트의 주요 표면 사이에 공간이 존재하는 방식으로 다수의 유리 시트를 수용하고 그리고 지지되도록 설계됨으로써, 가열/냉각된 여과되지 않은 공기가 각 봉합 구역의 주요 표면을 가로질러 흐를 수 있고 그리고 봉합된 유리 시트를 균일하게 가열/냉각할 수 있는 폐쇄형 카세트 및 유리 시트 열처리 방법에 관한 것이다.

Claims (20)

  1. 장착 구조물; 및
    다수의 봉합 구역; 을 포함하고,
    상기 다수의 봉합 구역은 각 쌍의 지지된 봉합 구역의 주요 표면 사이에 개방 통로가 있는 방식으로 상기 장착 구조물에 의해 지지되며,
    상기 각 봉합 구역은 각 쌍의 지지된 유리 시트의 주요 표면 사이에 공간이 있는 방식으로 다수의 유리 시트를 수용하고 그리고 지지하도록 설계되는 것을 특징으로 하는 폐쇄형 카세트.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 각 봉합 구역은 제거가능한 덮개를 갖는 것을 특징으로 하는 폐쇄형 카세트.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 각 봉합 구역은 다수의 유리 시트의 하부를 지지하기 위해 그 내부에 위치된 다수의 조정가능한 수평 지지대를 갖는 것을 특징으로 하는 폐쇄형 카세트.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 각 봉합 구역은 다수의 유리 시트의 주요 표면을 분리하기 위해 그 내부에 위치된 다수의 조정가능한 수직 지지대를 갖는 것을 특징으로 하는 폐쇄형 카세트.
  5. 장착 구조물, 및
    다수의 봉합 구역, 을 포함하고,
    상기 다수의 봉합 구역은 각 쌍의 지지된 봉합 구역의 주요 표면 사이에 개방 통로가 있는 방식으로 상기 장착 구조물에 의해 지지되며,
    상기 각 봉합 구역은 각 쌍의 지지된 유리 시트의 주요 표면 사이에 공간이 있는 방식으로 다수의 유리 시트를 수용하고 그리고 지지하도록 설계되는 폐쇄형 카세트 내에 유리 시트를 배치하는 단계;
    오븐안으로 폐쇄형 카세트를 배치하는 단계; 그리고
    뜨거운 공기가 각 봉합 구역의 주요 표면을 가로질러 유동하여 상기 유리 시트를 가열하도록 오븐을 작동하는 단계; 를 포함하는 다수의 유리 시트를 열처리하기 위한 방법.
  6. 제 5 항에 있어서, 차가운 공기가 각 봉합 구역의 주요 표면을 가로질러 유동하여 상기 유리 시트를 냉각하도록 오븐을 작동하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 유리 시트가 상기 오븐 내 이동하는 공기에 의해 균일하게 가열되는 동안 그 내부에 지지된 상기 유리 시트 내 온도 증감을 최소화하도록 각 봉합 구역의 벽이 얇게 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제 5 항에 있어서, 상기 유리 시트가 상기 오븐 내 이동하는 공기에 의해 균일하게 가열되는 동안 그 내부에 지지된 상기 유리 시트 내 온도 증감을 최소화하도록 각 봉합 구역은 소정 개수의 유리 시트를 지지하는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 오븐; 그리고
    대류식 양립가능한 폐쇄형 카세트; 를 포함하고,
    상기 대류식 양립가능한 폐쇄형 카세트는,
    장착 구조물, 및
    다수의 봉합 구역, 을 포함하고,
    상기 다수의 봉합 구역은 각 쌍의 지지된 봉합 구역의 주요 표면 사이에 개방 통로가 존재하는 방식으로 상기 장착 구조물에 의해 지지되고,
    상기 각 봉합 구역은 각 쌍의 지지된 유리 시트의 주요 표면 사이에 공간이 존재하는 방식으로 다수의 유리 시트를 수용하고 그리고 지지하도록 설계되며,
    상기 장착 구조물 그리고 상기 봉합 구역이 상기 오븐에 위치될 때 상기 각 봉합 구역의 주요 표면을 가로질러 이동하는 공기에 의해 가열되고 그리고 그 다음 냉각되는 동안 상기 유리 시트는 청정 환경으로 유지되는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 열처리하기 위한 기기.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 유리 시트가 상기 오븐 내 이동하는 공기에 의해 가열되고 그리고 그 다음 냉각되는 동안 그 내부에 지지된 상기 유리 시트 내 온도 증감을 최소화하도록 각 봉합 구역의 벽은 얇게 형성되는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 열처리하기 위한 기기.
  11. 제 9 항에 있어서, 상기 유리 시트가 상기 오븐 내 이동하는 공기에 의해 가열되고 그리고 그 다음 냉각되는 동안 그 내부에 지지된 상기 유리 시트 내 온도 증감을 최소화하도록 각 봉합 구역은 소정 개수의 유리 시트를 지지하는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 열처리하기 위한 기기.
  12. 제 9 항에 있어서, 상기 공기는 여과되지 않은 공기인 것을 특징으로 하는 유리 시트를 열처리하기 위한 기기.
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Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8042359B2 (en) * 2006-05-18 2011-10-25 Corning Incorporated Methods and apparatus for heat treating glass sheets
US7815056B2 (en) * 2007-05-08 2010-10-19 Corning Incorporated Support apparatus to maintain physical geometry of sheet glass and methods of using same
US8673163B2 (en) 2008-06-27 2014-03-18 Apple Inc. Method for fabricating thin sheets of glass
US7810355B2 (en) 2008-06-30 2010-10-12 Apple Inc. Full perimeter chemical strengthening of substrates
CN102388003B (zh) * 2009-03-02 2014-11-19 苹果公司 用于强化用于便携式电子设备的玻璃盖的技术
US9778685B2 (en) 2011-05-04 2017-10-03 Apple Inc. Housing for portable electronic device with reduced border region
CN102791646A (zh) * 2010-02-02 2012-11-21 苹果公司 用于便携式电子设备的盖体的增强的化学强化玻璃
US9213451B2 (en) 2010-06-04 2015-12-15 Apple Inc. Thin glass for touch panel sensors and methods therefor
US8923693B2 (en) 2010-07-30 2014-12-30 Apple Inc. Electronic device having selectively strengthened cover glass
US10189743B2 (en) 2010-08-18 2019-01-29 Apple Inc. Enhanced strengthening of glass
US8873028B2 (en) 2010-08-26 2014-10-28 Apple Inc. Non-destructive stress profile determination in chemically tempered glass
US8826693B2 (en) 2010-08-30 2014-09-09 Corning Incorporated Apparatus and method for heat treating a glass substrate
US8824140B2 (en) 2010-09-17 2014-09-02 Apple Inc. Glass enclosure
US9725359B2 (en) 2011-03-16 2017-08-08 Apple Inc. Electronic device having selectively strengthened glass
US10781135B2 (en) 2011-03-16 2020-09-22 Apple Inc. Strengthening variable thickness glass
TWI525052B (zh) * 2011-04-18 2016-03-11 康寧公司 用於薄玻璃片之對流加熱處理的方法及設備
US9128666B2 (en) 2011-05-04 2015-09-08 Apple Inc. Housing for portable electronic device with reduced border region
US8857215B2 (en) 2011-05-18 2014-10-14 Corning Incorporated Apparatus and method for heat treating glass sheets
US9944554B2 (en) 2011-09-15 2018-04-17 Apple Inc. Perforated mother sheet for partial edge chemical strengthening and method therefor
US9516149B2 (en) 2011-09-29 2016-12-06 Apple Inc. Multi-layer transparent structures for electronic device housings
US10144669B2 (en) 2011-11-21 2018-12-04 Apple Inc. Self-optimizing chemical strengthening bath for glass
US10133156B2 (en) 2012-01-10 2018-11-20 Apple Inc. Fused opaque and clear glass for camera or display window
US8684613B2 (en) 2012-01-10 2014-04-01 Apple Inc. Integrated camera window
US8773848B2 (en) 2012-01-25 2014-07-08 Apple Inc. Fused glass device housings
TW201406678A (zh) * 2012-07-23 2014-02-16 Corning Inc 用以加熱玻璃片的設備和方法
WO2014022632A1 (en) * 2012-08-03 2014-02-06 Corning Incorporated Chambers and methods for heating sheets of glass
US9946302B2 (en) 2012-09-19 2018-04-17 Apple Inc. Exposed glass article with inner recessed area for portable electronic device housing
WO2014142975A1 (en) * 2013-03-14 2014-09-18 Poole Ventura, Inc. Thermal diffusion chamber with convection compressor
US9459661B2 (en) 2013-06-19 2016-10-04 Apple Inc. Camouflaged openings in electronic device housings
KR101382224B1 (ko) * 2013-12-16 2014-04-08 김호권 강화유리 제조장치의 판유리 적재용 지그
KR101413626B1 (ko) * 2013-12-31 2014-08-06 김호권 화학강화를 이용한 강화유리 제조장치 및 제조방법
CN103743204B (zh) * 2014-01-08 2015-09-09 长兴明晟冶金炉料有限公司 球形炉料烘箱
US9886062B2 (en) 2014-02-28 2018-02-06 Apple Inc. Exposed glass article with enhanced stiffness for portable electronic device housing
TWI571320B (zh) * 2015-07-27 2017-02-21 盟立自動化股份有限公司 用來清洗平板構件之槽體
JP7133578B2 (ja) * 2020-03-18 2022-09-08 中外炉工業株式会社 クリーンオーブン
KR102287334B1 (ko) * 2021-04-30 2021-08-06 주식회사 신도 열손실 방지구조를 갖는 카세트타입의 가열로

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1534864A (en) * 1919-12-19 1925-04-21 Hazel Atlas Glass Co Apparatus for tempering glassware
US2026165A (en) * 1934-08-01 1935-12-31 Libbey Owens Ford Glass Co Process and apparatus for producing case hardened glass
US3338696A (en) * 1964-05-06 1967-08-29 Corning Glass Works Sheet forming apparatus
BE757057A (fr) * 1969-10-06 1971-04-05 Corning Glass Works Procede et appareil de controle d'epaisseur d'une feuille de verre nouvellement etiree
US3809234A (en) * 1971-11-08 1974-05-07 Libbey Owens Ford Co Glass shipping rack
US4086263A (en) * 1976-11-17 1978-04-25 Ppg Industries, Inc. Shipping rack having spacer strips attached thereto
US4488192A (en) * 1982-05-28 1984-12-11 International Business Machines Corporation Cooling arrangement for hermetically sealed disk files
JPH0718323A (ja) * 1993-06-30 1995-01-20 Denkoo:Kk 熱処理装置
FI100397B (fi) * 1995-10-24 1997-11-28 Glassrobots Oy Lämmönsiirtomenetelmä lasilevyjen taivutusuunissa ja taivutusuuni
BR9707118A (pt) * 1996-03-21 1999-12-28 Peter Lisec Processo e sistema para temperar vidro.
FR2747112B1 (fr) * 1996-04-03 1998-05-07 Commissariat Energie Atomique Dispositif de transport d'objets plats et procede de transfert de ces objets entre ledit dispositif et une machine de traitement
US5711778A (en) * 1996-05-07 1998-01-27 Corning Incorporated Method and apparatus for annealing glass sheets
JP3138654B2 (ja) * 1997-02-18 2001-02-26 タバイエスペック株式会社 カセット搬送式熱処理装置
US6150239A (en) * 1997-05-31 2000-11-21 Max Planck Society Method for the transfer of thin layers monocrystalline material onto a desirable substrate
JPH1179389A (ja) 1997-09-16 1999-03-23 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd 基板ガラス検査加工システム
JPH1179388A (ja) 1997-09-16 1999-03-23 Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd ガラス類枚葉処理装置
TW444275B (en) * 1998-01-13 2001-07-01 Toshiba Corp Processing device, laser annealing device, laser annealing method, manufacturing device and substrate manufacturing device for panel display
JPH11311484A (ja) * 1998-04-30 1999-11-09 Chugai Ro Co Ltd 炉内雰囲気循環型ローラハース式連続焼成炉
JP2000208053A (ja) * 1999-01-12 2000-07-28 Daido Plant Kogyo Kk プラズマディスプレイパネル用焼成炉
JP3623685B2 (ja) * 1999-03-24 2005-02-23 光洋サーモシステム株式会社 熱処理装置
JP3762157B2 (ja) * 1999-09-02 2006-04-05 旭テクノグラス株式会社 陽極接合用ガラス
US6818817B2 (en) * 2000-09-18 2004-11-16 Chris Macris Heat dissipating silicon-on-insulator structures
JP3578985B2 (ja) * 2000-12-20 2004-10-20 光洋サーモシステム株式会社 熱処理装置
JP4402846B2 (ja) * 2001-02-20 2010-01-20 中外炉工業株式会社 平面ガラス基板用連続式焼成炉
JP2004006508A (ja) * 2002-05-31 2004-01-08 Sharp Corp 基板保持用治具および基板表面処理装置。
JP2004006551A (ja) * 2002-06-03 2004-01-08 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置および基板処理方法

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