JP3484592B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/02—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity of multiple-track type; of multiple-chamber type; Combinations of furnaces
- F27B9/028—Multi-chamber type furnaces
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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- F27B—FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
- F27B9/00—Furnaces through which the charge is moved mechanically, e.g. of tunnel type; Similar furnaces in which the charge moves by gravity
- F27B9/30—Details, accessories, or equipment peculiar to furnaces of these types
- F27B9/38—Arrangements of devices for charging
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F27—FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
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Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
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- Tunnel Furnaces (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Furnace Charging Or Discharging (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、たとえば液晶デ
ィスプレイ、光デバイス等の電子・光学部品からなる板
状被処理物に熱処理を施す装置に関する。
ィスプレイ、光デバイス等の電子・光学部品からなる板
状被処理物に熱処理を施す装置に関する。
【０００２】この明細書において、前後は板状被処理物
の搬送方向を基準とし、搬送方向前方すなわち図１およ
び図７の右側を前、これと反対側を後というものとす
る。また、後方から前方を見たさいの左右すなわち図５
の左右を左右というものとする。
の搬送方向を基準とし、搬送方向前方すなわち図１およ
び図７の右側を前、これと反対側を後というものとす
る。また、後方から前方を見たさいの左右すなわち図５
の左右を左右というものとする。
【０００３】
【従来の技術】この種熱処理装置として、前後方向にの
びかつ板状被処理物を熱風により熱処理する加熱炉と、
固定ビームと可動ビームとよりなり、かつ複数の板状被
処理物を保持した被処理物収納カセットを加熱炉の入口
から出口まで間欠的に搬送するウォーキングビーム搬送
装置とを備えたものが知られている（実開平６−７８７
９４号参照）。
びかつ板状被処理物を熱風により熱処理する加熱炉と、
固定ビームと可動ビームとよりなり、かつ複数の板状被
処理物を保持した被処理物収納カセットを加熱炉の入口
から出口まで間欠的に搬送するウォーキングビーム搬送
装置とを備えたものが知られている（実開平６−７８７
９４号参照）。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
熱処理装置では、加熱炉内に、その外部から常に温度の
低いカセットが搬入されることになり、その結果カセッ
トも加熱されることになって加熱効率が悪くなるという
問題がある。
熱処理装置では、加熱炉内に、その外部から常に温度の
低いカセットが搬入されることになり、その結果カセッ
トも加熱されることになって加熱効率が悪くなるという
問題がある。
【０００５】この発明の目的は、上記問題を解決し、加
熱効率の優れた熱処理装置を提供することにある。
熱効率の優れた熱処理装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明による熱処理装
置は、前後方向にのびる加熱炉と、熱処理すべき板状被
処理物を加熱炉内に搬入するとともに加熱炉内を前方に
搬送し、しかも熱処理の施された板状被処理物を加熱炉
外に搬出する搬送装置とを備えており、搬送装置が１ま
たは２以上のラックからなる第１ラックグループと、第
１ラックグループと対向するように配置され、かつ第１
ラックグループのラックの数よりも多いラックで構成さ
れる第２ラックグループとよりなり、各ラックグループ
のラックに、同一平面内で前後方向に間隔をおいて配置
された左右方向に伸びる複数のフィンガよりなる被処理
物支持棚が上下方向に間隔をおいて複数設けられ、第１
ラックグループと第２ラックグループとが、上下方向お
よび前後方向に相対的に移動するとともに、上下方向に
相対的に移動したさいに複数の板状被処理物が２つのグ
ループのラックの被処理物支持棚間で同時に載せ替えら
れて両ラックグループのラック間での板状被処理物の受
け渡しが行なわれるようになされ、両ラックグループの
ラック間での板状被処理物の受け渡しを繰返すことによ
り、板状被処理物が搬送されるようになされているもの
である。
置は、前後方向にのびる加熱炉と、熱処理すべき板状被
処理物を加熱炉内に搬入するとともに加熱炉内を前方に
搬送し、しかも熱処理の施された板状被処理物を加熱炉
外に搬出する搬送装置とを備えており、搬送装置が１ま
たは２以上のラックからなる第１ラックグループと、第
１ラックグループと対向するように配置され、かつ第１
ラックグループのラックの数よりも多いラックで構成さ
れる第２ラックグループとよりなり、各ラックグループ
のラックに、同一平面内で前後方向に間隔をおいて配置
された左右方向に伸びる複数のフィンガよりなる被処理
物支持棚が上下方向に間隔をおいて複数設けられ、第１
ラックグループと第２ラックグループとが、上下方向お
よび前後方向に相対的に移動するとともに、上下方向に
相対的に移動したさいに複数の板状被処理物が２つのグ
ループのラックの被処理物支持棚間で同時に載せ替えら
れて両ラックグループのラック間での板状被処理物の受
け渡しが行なわれるようになされ、両ラックグループの
ラック間での板状被処理物の受け渡しを繰返すことによ
り、板状被処理物が搬送されるようになされているもの
である。
【０００７】この発明の熱処理装置によれば、次のよう
にして板状被処理物に熱処理が施される。すなわち、搬
送装置の両ラックグループのラック間での板状被処理物
の受け渡しを繰返すことにより、熱処理すべき板状被処
理物が加熱炉内に搬入されるとともに加熱炉内を前方に
搬送され、その間に加熱炉内で熱処理が施される。熱処
理が施された板状被処理物は、上記と同様にして搬送装
置により加熱炉外に搬出される。したがって、従来の装
置のように、被処理物収納カセットを必要とせず、これ
を加熱するための余分な熱が不要になる。
にして板状被処理物に熱処理が施される。すなわち、搬
送装置の両ラックグループのラック間での板状被処理物
の受け渡しを繰返すことにより、熱処理すべき板状被処
理物が加熱炉内に搬入されるとともに加熱炉内を前方に
搬送され、その間に加熱炉内で熱処理が施される。熱処
理が施された板状被処理物は、上記と同様にして搬送装
置により加熱炉外に搬出される。したがって、従来の装
置のように、被処理物収納カセットを必要とせず、これ
を加熱するための余分な熱が不要になる。
【０００８】上記熱処理装置において、加熱炉内が前後
方向に並んだ複数の処理室に区画され、隣接する処理室
間の隔壁に、被処理物支持棚に板状被処理物を載せたラ
ックが通過しうる連通口が形成され、連通口が開閉自在
となされていることがある。この場合、前後方向に温度
勾配が生じるのを防止することができ、板状被処理物全
体を均一に加熱することが可能になる。また、板状被処
理物に連続した熱処理を段階的に施すことができるとと
もに、各処理室において板状被処理物に異なった条件で
熱処理を施すことも可能となる。
方向に並んだ複数の処理室に区画され、隣接する処理室
間の隔壁に、被処理物支持棚に板状被処理物を載せたラ
ックが通過しうる連通口が形成され、連通口が開閉自在
となされていることがある。この場合、前後方向に温度
勾配が生じるのを防止することができ、板状被処理物全
体を均一に加熱することが可能になる。また、板状被処
理物に連続した熱処理を段階的に施すことができるとと
もに、各処理室において板状被処理物に異なった条件で
熱処理を施すことも可能となる。
【０００９】上記熱処理装置において、第１ラックグル
ープのラックが固定され、第２ラックグループのラック
が上下方向および前後方向に移動自在であることがあ
る。
ープのラックが固定され、第２ラックグループのラック
が上下方向および前後方向に移動自在であることがあ
る。
【００１０】また、上記熱処理装置において、第１ラッ
クグループのラックが上下方向に移動自在であり、第２
ラックグループのラックが前後方向に移動自在であるこ
とがある。
クグループのラックが上下方向に移動自在であり、第２
ラックグループのラックが前後方向に移動自在であるこ
とがある。
【００１１】第２ラックグループのラックが前後方向に
移動自在である２つの熱処理装置において、第２ラック
グループのラックにおける被処理物支持棚の前後両端の
フィンガに、それぞれ板状被処理物の前後方向へのずれ
を防止するずれ防止部材が設けられていることが好まし
い。この場合、ラックが前後方向に移動したさいの板状
被処理物のずれを防止することができる。
移動自在である２つの熱処理装置において、第２ラック
グループのラックにおける被処理物支持棚の前後両端の
フィンガに、それぞれ板状被処理物の前後方向へのずれ
を防止するずれ防止部材が設けられていることが好まし
い。この場合、ラックが前後方向に移動したさいの板状
被処理物のずれを防止することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態を、
図面を参照して説明する。なお、全図面を通じて同一物
および同一部分には同一符号を付して重複する説明を省
略する。
図面を参照して説明する。なお、全図面を通じて同一物
および同一部分には同一符号を付して重複する説明を省
略する。
【００１３】図１〜図５において、熱処理装置は、前後
方向にのびかつ板状被処理物(W) を熱風により熱処理す
る加熱炉(1) を備えている。
方向にのびかつ板状被処理物(W) を熱風により熱処理す
る加熱炉(1) を備えている。
【００１４】加熱炉(1) 内に、複数、たとえば３つの熱
処理室(2)(3)(4) が、隔壁(5) を介して前後方向に並ん
で設けられている。加熱炉(1) の後端部に被処理物入口
(6)が形成され、前端部に被処理物出口(7) が形成さ
れ、各隔壁(5) に連通口(8) が形成されている。被処理
物入口(6) 、同出口(7) および連通口(8) は、それぞれ
後述する搬入用ラック(46)、搬出用ラック(51)および搬
送用ラック(55)が通過しうる大きさとされている。加熱
炉(1) の被処理物入口(6) および同出口(7) にはそれぞ
れ開閉自在のシャッタ装置(9) が設けられている。各シ
ャッタ装置(9) は、被処理物入口(6) の上方に上下動自
在に設けられた上シャッタ(9a)と、被処理物入口(6) の
下方に上下動自在に設けられた下シャッタ(9b)とからな
る。また、各連通口(8) にもそれぞれ開閉自在のシャッ
タ装置(11)が設けられている。シャッタ装置(11)は、連
通口(8) の上方に上下動自在に設けられたシャッタ(11
a) よりなる。なお、図示は省略したが、加熱炉(1) の
右側壁における各熱処理室(2)(3)(4) と対応する部分に
は、それぞれ扉付き点検口が形成されている。
処理室(2)(3)(4) が、隔壁(5) を介して前後方向に並ん
で設けられている。加熱炉(1) の後端部に被処理物入口
(6)が形成され、前端部に被処理物出口(7) が形成さ
れ、各隔壁(5) に連通口(8) が形成されている。被処理
物入口(6) 、同出口(7) および連通口(8) は、それぞれ
後述する搬入用ラック(46)、搬出用ラック(51)および搬
送用ラック(55)が通過しうる大きさとされている。加熱
炉(1) の被処理物入口(6) および同出口(7) にはそれぞ
れ開閉自在のシャッタ装置(9) が設けられている。各シ
ャッタ装置(9) は、被処理物入口(6) の上方に上下動自
在に設けられた上シャッタ(9a)と、被処理物入口(6) の
下方に上下動自在に設けられた下シャッタ(9b)とからな
る。また、各連通口(8) にもそれぞれ開閉自在のシャッ
タ装置(11)が設けられている。シャッタ装置(11)は、連
通口(8) の上方に上下動自在に設けられたシャッタ(11
a) よりなる。なお、図示は省略したが、加熱炉(1) の
右側壁における各熱処理室(2)(3)(4) と対応する部分に
は、それぞれ扉付き点検口が形成されている。
【００１５】加熱炉(1) に、各熱処理室(2)(3)(4) の左
側から上側を経て右側に至る雰囲気循環路(12)が形成さ
れており、各熱処理室(2)(3)(4) の左側壁に雰囲気吹出
口(13)が形成され、同右側壁に雰囲気排出口(14)が形成
されている。各雰囲気循環路(12)の内部に、雰囲気吹出
口(13)側からシロッコファン(15)、ヒータ(16)および水
冷トラップ(17)が配置されている。また、雰囲気吹出口
(13)にＨＥＰＡフィルタ(18)が配置されている。そし
て、ヒータ(16)で加熱された高温雰囲気が、シロッコフ
ァン(15)により循環路(12)を経て熱処理室(2)(3)(4) 内
に循環させられ、高温雰囲気からなる熱風がＨＥＰＡフ
ィルタ(18)により清浄化された後、雰囲気吹出口(13)か
ら熱処理室(2)(3)(4) 内に吹き出されて被処理物(W) に
横から吹き付けられるようになっている。なお、水冷ト
ラップ(17)は、板状被処理物(W) から発生する有機物等
を除去するためのものである。
側から上側を経て右側に至る雰囲気循環路(12)が形成さ
れており、各熱処理室(2)(3)(4) の左側壁に雰囲気吹出
口(13)が形成され、同右側壁に雰囲気排出口(14)が形成
されている。各雰囲気循環路(12)の内部に、雰囲気吹出
口(13)側からシロッコファン(15)、ヒータ(16)および水
冷トラップ(17)が配置されている。また、雰囲気吹出口
(13)にＨＥＰＡフィルタ(18)が配置されている。そし
て、ヒータ(16)で加熱された高温雰囲気が、シロッコフ
ァン(15)により循環路(12)を経て熱処理室(2)(3)(4) 内
に循環させられ、高温雰囲気からなる熱風がＨＥＰＡフ
ィルタ(18)により清浄化された後、雰囲気吹出口(13)か
ら熱処理室(2)(3)(4) 内に吹き出されて被処理物(W) に
横から吹き付けられるようになっている。なお、水冷ト
ラップ(17)は、板状被処理物(W) から発生する有機物等
を除去するためのものである。
【００１６】加熱炉(1) の各熱処理室(2)(3)(4) 内に熱
処理用ラック(19)が設けられている。すべての熱処理用
ラック(19)間の前後方向のピッチは等しくなっている。
熱処理用ラック(19)は、各熱処理室(2)(3)(4) の床の右
側縁部に固定された上下方向に伸びるフレーム(21)と、
フレーム(21)に上下方向に間隔をおいて多段状に設けら
れ、かつ同一水平面内で前後方向に間隔をおいて配され
た左右方向に長い複数、たとえば２つのフィンガ(23)よ
りなる被処理物支持棚(22)とからなる。熱処理用ラック
(19)のフレーム(21)およびフィンガ(23)は、それぞれた
とえばステンレス鋼により形成されている。図６に示す
ように、すべてのフィンガ(23)の上面には、それぞれそ
の長さ方向に間隔をおいて複数の突起(64)が取付けられ
ている。突起(64)は、たとえばセラミックスや熱処理室
温度までの耐熱性を有する合成樹脂でつくられている。
複数の熱処理用ラック(19)により第１のラックグループ
が構成されている。
処理用ラック(19)が設けられている。すべての熱処理用
ラック(19)間の前後方向のピッチは等しくなっている。
熱処理用ラック(19)は、各熱処理室(2)(3)(4) の床の右
側縁部に固定された上下方向に伸びるフレーム(21)と、
フレーム(21)に上下方向に間隔をおいて多段状に設けら
れ、かつ同一水平面内で前後方向に間隔をおいて配され
た左右方向に長い複数、たとえば２つのフィンガ(23)よ
りなる被処理物支持棚(22)とからなる。熱処理用ラック
(19)のフレーム(21)およびフィンガ(23)は、それぞれた
とえばステンレス鋼により形成されている。図６に示す
ように、すべてのフィンガ(23)の上面には、それぞれそ
の長さ方向に間隔をおいて複数の突起(64)が取付けられ
ている。突起(64)は、たとえばセラミックスや熱処理室
温度までの耐熱性を有する合成樹脂でつくられている。
複数の熱処理用ラック(19)により第１のラックグループ
が構成されている。
【００１７】加熱炉(1) よりも前方の部分に、熱処理用
ラック(19)と一直線状に並ぶように２つの固定ラック(2
4)(25)が前後方向に間隔をおいて設けられている。両固
定ラック(24)(25)の構造はそれぞれ熱処理用ラック(19)
と同じであり、フレーム(26)(27)、および同一水平面内
に位置する複数のフィンガ(31)(32)を有する複数の多段
状被処理物支持棚(28)(29)からなる。両固定ラック(24)
(25)間の間隔は熱処理用ラック(19)の前後方向のピッチ
と等しくなっている。また、後側固定ラック(24)と最も
前側の熱処理用ラック(19)との間隔も、熱処理用ラック
(19)どうしの前後方向のピッチと等しくなっている。後
側固定ラック(24)の右側に、この固定ラック(24)の被処
理物支持棚(28)に支持された被処理物(W) にクリーンな
冷却風を吹き付けるための冷風吹き付け装置(33)が設け
られている。前側固定ラック(25)は、熱処理の施された
板状被処理物(W) を次工程に送るために待機させるため
のものであって、図示しない適当な自動移載装置により
この固定ラック(25)の被処理物支持棚(29)に支持された
被処理物(W) が、次工程に送るための装置に移し替えら
れる。
ラック(19)と一直線状に並ぶように２つの固定ラック(2
4)(25)が前後方向に間隔をおいて設けられている。両固
定ラック(24)(25)の構造はそれぞれ熱処理用ラック(19)
と同じであり、フレーム(26)(27)、および同一水平面内
に位置する複数のフィンガ(31)(32)を有する複数の多段
状被処理物支持棚(28)(29)からなる。両固定ラック(24)
(25)間の間隔は熱処理用ラック(19)の前後方向のピッチ
と等しくなっている。また、後側固定ラック(24)と最も
前側の熱処理用ラック(19)との間隔も、熱処理用ラック
(19)どうしの前後方向のピッチと等しくなっている。後
側固定ラック(24)の右側に、この固定ラック(24)の被処
理物支持棚(28)に支持された被処理物(W) にクリーンな
冷却風を吹き付けるための冷風吹き付け装置(33)が設け
られている。前側固定ラック(25)は、熱処理の施された
板状被処理物(W) を次工程に送るために待機させるため
のものであって、図示しない適当な自動移載装置により
この固定ラック(25)の被処理物支持棚(29)に支持された
被処理物(W) が、次工程に送るための装置に移し替えら
れる。
【００１８】加熱炉(1) よりも後方の部分に、熱処理用
ラック(19)と一直線状に並ぶように１つの可動ラック(3
4)が設けられている。可動ラック(34)は前後方向にのみ
移動自在である。可動ラック(34)の構造は熱処理用ラッ
ク(19)と同じであり、フレーム(35)、および同一水平面
内に位置する複数のフィンガ(37)を有する複数の多段状
被処理物支持棚(36)からなる。そして、フレーム(35)が
図示しない駆動装置を備えた支持部材(38)に前後方向に
移動自在に取付けられている。可動ラック(34)が前進位
置にあるときの可動ラック(34)と最も後側の熱処理用ラ
ック(19)との間隔は、熱処理用ラック(19)どうしの前後
方向のピッチと等しくなっている。また、可動ラック(3
4)が後退位置にあるときに、前工程を経た被処理物(W)
が、図示しない適当な自動移載装置によりこの可動ラッ
ク(34)の被処理物支持棚(36)に移し替えられる。
ラック(19)と一直線状に並ぶように１つの可動ラック(3
4)が設けられている。可動ラック(34)は前後方向にのみ
移動自在である。可動ラック(34)の構造は熱処理用ラッ
ク(19)と同じであり、フレーム(35)、および同一水平面
内に位置する複数のフィンガ(37)を有する複数の多段状
被処理物支持棚(36)からなる。そして、フレーム(35)が
図示しない駆動装置を備えた支持部材(38)に前後方向に
移動自在に取付けられている。可動ラック(34)が前進位
置にあるときの可動ラック(34)と最も後側の熱処理用ラ
ック(19)との間隔は、熱処理用ラック(19)どうしの前後
方向のピッチと等しくなっている。また、可動ラック(3
4)が後退位置にあるときに、前工程を経た被処理物(W)
が、図示しない適当な自動移載装置によりこの可動ラッ
ク(34)の被処理物支持棚(36)に移し替えられる。
【００１９】加熱炉(1) を前後方向に貫通するように、
上下方向および前後方向に移動自在の可動ビーム(39)が
配置されている。可動ビーム(39)は詳しくは図示しない
が、公知の駆動装置(41)により駆動されるようになって
いる。可動ビーム(39)の前後方向の移動ストロークは、
熱処理用ラック(19)どうしの前後方向のピッチと等しく
なっている。可動ビーム(39)は各熱処理室(2)(3)(4) の
左側下端部を貫通するようになっている。加熱炉(1) の
被処理物入口(6) および同出口(7) のシャッタ装置(9)
の上シャッタ(9a)の下端および下シャッタ(9b)の上端に
はそれぞれ切欠き(42)(43)が形成されており、切欠き(4
2)(43)の内周面に、シール材(44)が貼着されている。そ
して、シャッタ装置(9) が閉じているときには、可動ビ
ーム(39)は両切欠き(42)(43)間を通るようになってお
り、シール材(44)の働きにより、加熱炉(1) 内に異物が
侵入しないようになされている。また、各隔壁(5) の連
通口(8) のシャッタ装置(11)のシャッタ(11a) の下端に
は可動ビーム(39)の嵌まる切欠き(45)が形成されてい
る。
上下方向および前後方向に移動自在の可動ビーム(39)が
配置されている。可動ビーム(39)は詳しくは図示しない
が、公知の駆動装置(41)により駆動されるようになって
いる。可動ビーム(39)の前後方向の移動ストロークは、
熱処理用ラック(19)どうしの前後方向のピッチと等しく
なっている。可動ビーム(39)は各熱処理室(2)(3)(4) の
左側下端部を貫通するようになっている。加熱炉(1) の
被処理物入口(6) および同出口(7) のシャッタ装置(9)
の上シャッタ(9a)の下端および下シャッタ(9b)の上端に
はそれぞれ切欠き(42)(43)が形成されており、切欠き(4
2)(43)の内周面に、シール材(44)が貼着されている。そ
して、シャッタ装置(9) が閉じているときには、可動ビ
ーム(39)は両切欠き(42)(43)間を通るようになってお
り、シール材(44)の働きにより、加熱炉(1) 内に異物が
侵入しないようになされている。また、各隔壁(5) の連
通口(8) のシャッタ装置(11)のシャッタ(11a) の下端に
は可動ビーム(39)の嵌まる切欠き(45)が形成されてい
る。
【００２０】後退位置にある可動ビーム(39)における可
動ラック(34)の前進位置と対応する部分に、搬入用ラッ
ク(46)が設けられている。搬入用ラック(46)も熱処理用
ラック(19)と同様な構造であり、可動ビーム(39)に固定
された上下方向に伸びるフレーム(47)と、フレーム(47)
に上下方向に間隔をおいて多段状に設けられ、かつ同一
水平面内で前後方向に間隔をおいて配された左右方向に
長い複数、たとえば２つのフィンガ(49)よりなる複数の
被処理物支持棚(48)とからなる。可動ビーム(39)が後退
位置でかつ下降位置にあるときの搬入用ラック(46)の各
被処理物支持棚(48)は、前進位置にある可動ラック(34)
の各被処理物支持棚(36)よりも若干下方の位置にある。
また、後退位置にある搬入用ラック(46)の各被処理物支
持棚(48)のフィンガ(49)は、前進位置にある可動ラック
(34)の各被処理物支持棚(36)のフィンガ(37)の前後方向
外側に位置しているとともに、両ラック(34)(46)のフィ
ンガ(37)(49)の長さはそれぞれほぼ等しく、かつ両ラッ
ク(34)(46)のフレーム(35)(47)間の左右方向の間隔はフ
ィンガ(37)(49)の長さよりも大きくなっており、これに
より搬入用ラック(46)が上下動するさいに、フィンガ(3
7)(49)どうしが干渉しないようになされている。また、
可動ビーム(39)が前進位置でかつ下降位置にあるときの
搬入用ラック(46)の各被処理物支持棚(48)は、後端の熱
処理用ラック(19)の各被処理物支持棚(22)よりも若干下
方の位置にあるとともに、前進位置にある搬入用ラック
(46)が上下動するさいに、熱処理用ラック(19)のフィン
ガ(23)と搬入用ラック(46)のフィンガ(49)とが干渉しな
いようになされている。
動ラック(34)の前進位置と対応する部分に、搬入用ラッ
ク(46)が設けられている。搬入用ラック(46)も熱処理用
ラック(19)と同様な構造であり、可動ビーム(39)に固定
された上下方向に伸びるフレーム(47)と、フレーム(47)
に上下方向に間隔をおいて多段状に設けられ、かつ同一
水平面内で前後方向に間隔をおいて配された左右方向に
長い複数、たとえば２つのフィンガ(49)よりなる複数の
被処理物支持棚(48)とからなる。可動ビーム(39)が後退
位置でかつ下降位置にあるときの搬入用ラック(46)の各
被処理物支持棚(48)は、前進位置にある可動ラック(34)
の各被処理物支持棚(36)よりも若干下方の位置にある。
また、後退位置にある搬入用ラック(46)の各被処理物支
持棚(48)のフィンガ(49)は、前進位置にある可動ラック
(34)の各被処理物支持棚(36)のフィンガ(37)の前後方向
外側に位置しているとともに、両ラック(34)(46)のフィ
ンガ(37)(49)の長さはそれぞれほぼ等しく、かつ両ラッ
ク(34)(46)のフレーム(35)(47)間の左右方向の間隔はフ
ィンガ(37)(49)の長さよりも大きくなっており、これに
より搬入用ラック(46)が上下動するさいに、フィンガ(3
7)(49)どうしが干渉しないようになされている。また、
可動ビーム(39)が前進位置でかつ下降位置にあるときの
搬入用ラック(46)の各被処理物支持棚(48)は、後端の熱
処理用ラック(19)の各被処理物支持棚(22)よりも若干下
方の位置にあるとともに、前進位置にある搬入用ラック
(46)が上下動するさいに、熱処理用ラック(19)のフィン
ガ(23)と搬入用ラック(46)のフィンガ(49)とが干渉しな
いようになされている。
【００２１】後退位置にある可動ビーム(39)における最
も前側の熱処理用ラック(19)と対応する部分に、搬出用
ラック(51)が設けられている。搬出用ラック(51)の構造
は搬入用ラック(46)と同じであり、可動ビーム(39)に固
定されたフレーム(52)と、フレーム(52)に多段状に設け
られ、かつ同一水平面内に位置する複数のフィンガ(54)
よりなる複数の被処理物支持棚(53)とからなる。可動ビ
ーム(39)が後退位置でかつ下降位置にあるときの搬出用
ラック(51)の各被処理物支持棚(53)は、熱処理用ラック
(19)の各被処理物支持棚(22)よりも若干下方の位置にあ
る。また、可動ビーム(39)が前進位置でかつ下降位置に
あるときの搬出用ラック(51)の各被処理物支持棚(53)
は、後側固定ラック(24)の各被処理物支持棚(28)よりも
若干下方の位置にある。さらに、搬入用ラック(46)の場
合と同様に、後退位置および前進位置で搬出用ラック(5
1)が上下動するさいに、そのフィンガ(54)は、熱処理用
ラック(19)のフィンガ(23)および後側固定ラック(24)の
フィンガ(31)と干渉しないようになされている。
も前側の熱処理用ラック(19)と対応する部分に、搬出用
ラック(51)が設けられている。搬出用ラック(51)の構造
は搬入用ラック(46)と同じであり、可動ビーム(39)に固
定されたフレーム(52)と、フレーム(52)に多段状に設け
られ、かつ同一水平面内に位置する複数のフィンガ(54)
よりなる複数の被処理物支持棚(53)とからなる。可動ビ
ーム(39)が後退位置でかつ下降位置にあるときの搬出用
ラック(51)の各被処理物支持棚(53)は、熱処理用ラック
(19)の各被処理物支持棚(22)よりも若干下方の位置にあ
る。また、可動ビーム(39)が前進位置でかつ下降位置に
あるときの搬出用ラック(51)の各被処理物支持棚(53)
は、後側固定ラック(24)の各被処理物支持棚(28)よりも
若干下方の位置にある。さらに、搬入用ラック(46)の場
合と同様に、後退位置および前進位置で搬出用ラック(5
1)が上下動するさいに、そのフィンガ(54)は、熱処理用
ラック(19)のフィンガ(23)および後側固定ラック(24)の
フィンガ(31)と干渉しないようになされている。
【００２２】後退位置にある可動ビーム(39)における熱
処理室(2)(3)内の熱処理用ラック(19)と対応する部分
に、それぞれ搬送用ラック(55)が設けられている。搬送
用ラック(55)の構造は搬入用ラック(46)と同じであり、
可動ビーム(39)に固定されたフレーム(56)と、フレーム
(56)に多段状に設けられ、かつ同一水平面内に位置する
複数のフィンガ(58)よりなる複数の被処理物支持棚(57)
とからなる。可動ビーム(39)が下降位置にあるときの搬
送用ラック(55)の各被処理物支持棚(57)は、熱処理用ラ
ック(19)の各被処理物支持棚(22)よりも若干下方の位置
にある。さらに、搬入用ラック(46)の場合と同様に、後
退位置および前進位置で搬送用ラック(55)が上下動する
さいに、そのフィンガ(58)は、熱処理用ラック(19)のフ
ィンガ(23)と干渉しないようになされている。
処理室(2)(3)内の熱処理用ラック(19)と対応する部分
に、それぞれ搬送用ラック(55)が設けられている。搬送
用ラック(55)の構造は搬入用ラック(46)と同じであり、
可動ビーム(39)に固定されたフレーム(56)と、フレーム
(56)に多段状に設けられ、かつ同一水平面内に位置する
複数のフィンガ(58)よりなる複数の被処理物支持棚(57)
とからなる。可動ビーム(39)が下降位置にあるときの搬
送用ラック(55)の各被処理物支持棚(57)は、熱処理用ラ
ック(19)の各被処理物支持棚(22)よりも若干下方の位置
にある。さらに、搬入用ラック(46)の場合と同様に、後
退位置および前進位置で搬送用ラック(55)が上下動する
さいに、そのフィンガ(58)は、熱処理用ラック(19)のフ
ィンガ(23)と干渉しないようになされている。
【００２３】搬入用ラック(46)、搬出用ラック(51)およ
び搬送用ラック(55)により第２のラックグループが構成
されている。そして、第１ラックグループと第２ラック
グループとにより、熱処理すべき板状被処理物(W) を加
熱炉(1) 内に搬入するとともに加熱炉(1) 内を前方に搬
送し、しかも熱処理の施された板状被処理物(W) を加熱
炉(1) 外に搬出する搬送装置が形成されている。
び搬送用ラック(55)により第２のラックグループが構成
されている。そして、第１ラックグループと第２ラック
グループとにより、熱処理すべき板状被処理物(W) を加
熱炉(1) 内に搬入するとともに加熱炉(1) 内を前方に搬
送し、しかも熱処理の施された板状被処理物(W) を加熱
炉(1) 外に搬出する搬送装置が形成されている。
【００２４】後退位置にある可動ビーム(39)における後
側固定ラック(24)と対応する部分に、後側固定ラック(2
4)から前側固定ラック(25)に被処理物(W) を移し替える
移載用ラック(59)が設けられている。移載用ラック(59)
の構造も搬入用ラック(46)と同じであり、可動ビーム(3
9)に固定されたフレーム(61)と、フレーム(61)に多段状
に設けられ、かつ同一水平面内に位置する複数のフィン
ガ(63)よりなる複数の被処理物支持棚(62)とからなる。
可動ビーム(39)が後退位置でかつ下降位置にあるときの
移載用ラック(59)の各被処理物支持棚(62)は、後側固定
ラック(24)の各被処理物支持棚(28)よりも若干下方の位
置にある。また、可動ビーム(39)が前進位置でかつ下降
位置にあるときの移載用ラック(59)の各被処理物支持棚
(62)は、前側固定ラック(25)の各被処理物支持棚(29)よ
りも若干下方の位置にある。さらに、搬入用ラック(46)
の場合と同様に、後退位置および前進位置で移載用ラッ
ク(59)が上下動するさいに、そのフィンガ(63)は後側固
定ラック(24)のフィンガ(31)および前側固定ラック(25)
のフィンガ(32)と干渉しないようになされている。
側固定ラック(24)と対応する部分に、後側固定ラック(2
4)から前側固定ラック(25)に被処理物(W) を移し替える
移載用ラック(59)が設けられている。移載用ラック(59)
の構造も搬入用ラック(46)と同じであり、可動ビーム(3
9)に固定されたフレーム(61)と、フレーム(61)に多段状
に設けられ、かつ同一水平面内に位置する複数のフィン
ガ(63)よりなる複数の被処理物支持棚(62)とからなる。
可動ビーム(39)が後退位置でかつ下降位置にあるときの
移載用ラック(59)の各被処理物支持棚(62)は、後側固定
ラック(24)の各被処理物支持棚(28)よりも若干下方の位
置にある。また、可動ビーム(39)が前進位置でかつ下降
位置にあるときの移載用ラック(59)の各被処理物支持棚
(62)は、前側固定ラック(25)の各被処理物支持棚(29)よ
りも若干下方の位置にある。さらに、搬入用ラック(46)
の場合と同様に、後退位置および前進位置で移載用ラッ
ク(59)が上下動するさいに、そのフィンガ(63)は後側固
定ラック(24)のフィンガ(31)および前側固定ラック(25)
のフィンガ(32)と干渉しないようになされている。
【００２５】熱処理用ラック(19)以外のすべてのラック
(24)(25)(34)(46)(51)(55)(59)のフレーム(26)(27)(35)
(47)(52)(56)(61)およびフィンガ(31)(32)(37)(49)(54)
(58)(63)も、それぞれたとえばステンレス鋼により形成
されている。
(24)(25)(34)(46)(51)(55)(59)のフレーム(26)(27)(35)
(47)(52)(56)(61)およびフィンガ(31)(32)(37)(49)(54)
(58)(63)も、それぞれたとえばステンレス鋼により形成
されている。
【００２６】板状被処理物(W) の熱処理は次のようにし
て行なわれる。
て行なわれる。
【００２７】まず、図示しない移載手段により、前工程
を経た板状被処理物(W) は後退位置にある可動ラック(3
4)の各被処理物支持棚(36)上に載せられる。ついで、可
動ラック(34)は前進位置まで移動し、ここで待機させら
れる。可動ラック(34)が前進位置に来るまでの間、可動
ビーム(39)は後退位置でかつ下降位置にある。また、加
熱炉(1) の被処理物入口(6) および同出口(7) 、ならび
に各隔壁(5) の連通口(8) はそれぞれシャッタ装置(9)
(11) により閉じられている。可動ラック(34)が前進位
置に来ると、まず加熱炉(1) の被処理物入口(6) および
同出口(7) 、ならびに各隔壁(5) の連通口(8) のシャッ
タ装置(9)(11) が開かれる。ついで、駆動装置(41)によ
り可動ビーム(39)が上昇させられ、これにより搬入用ラ
ック(46)が、その被処理物支持棚(48)が可動ラック(34)
のすぐ上の被処理物支持棚(36)の上方に来るまで上昇さ
せられ、板状被処理物(W) が搬入用ラック(46)の被処理
物支持棚(48)上に載せ替えられる。ついで、駆動装置(4
1)により可動ビーム(39)が前進させられ、搬入用ラック
(46)が後端の熱処理室(2) 内の熱処理用ラック(19)の位
置まで移動させられ、搬入用ラック(46)の各被処理物支
持棚(48)が熱処理用ラック(19)の各被処理物支持棚(22)
の上方に来る。ついで、駆動装置(41)により可動ビーム
(39)が下降させられることにより、搬入用ラック(46)が
その各被処理物支持棚(48)が熱処理用ラック(19)の被処
理物支持棚(22)のすぐ下方に来るまで下降させられ、板
状被処理物(W) が熱処理用ラック(19)の被処理物支持棚
(22)上に載せ替えられる。搬入用ラック(46)により可動
ラック(34)から熱処理用ラック(19)に板状被処理物(W)
が移し替えられるのと同時に、搬送用ラック(55)により
熱処理用ラック(19)どうしの間で板状被処理物(W) が移
し替えられる。ついで、駆動装置(41)により可動ビーム
(39)が後退させられて元の位置に戻る。その後、加熱炉
(1) の被処理物入口(6) および同出口(7) 、ならびに各
隔壁(5) の連通口(8) がそれぞれシャッタ装置(9)(11)
により閉鎖され、ヒータ(16)で加熱された高温雰囲気シ
ロッコファン(15)により各熱処理室(2)(3)(4) における
各循環路(12)に循環させられ、ＨＥＰＡフィルタ(18)よ
り清浄化された高温雰囲気が熱風として板状被処理物
(W) に吹き付けられ、これにより熱処理室(2)(3)(4) 内
の板状被処理物(W) に適当な熱処理が施される。
を経た板状被処理物(W) は後退位置にある可動ラック(3
4)の各被処理物支持棚(36)上に載せられる。ついで、可
動ラック(34)は前進位置まで移動し、ここで待機させら
れる。可動ラック(34)が前進位置に来るまでの間、可動
ビーム(39)は後退位置でかつ下降位置にある。また、加
熱炉(1) の被処理物入口(6) および同出口(7) 、ならび
に各隔壁(5) の連通口(8) はそれぞれシャッタ装置(9)
(11) により閉じられている。可動ラック(34)が前進位
置に来ると、まず加熱炉(1) の被処理物入口(6) および
同出口(7) 、ならびに各隔壁(5) の連通口(8) のシャッ
タ装置(9)(11) が開かれる。ついで、駆動装置(41)によ
り可動ビーム(39)が上昇させられ、これにより搬入用ラ
ック(46)が、その被処理物支持棚(48)が可動ラック(34)
のすぐ上の被処理物支持棚(36)の上方に来るまで上昇さ
せられ、板状被処理物(W) が搬入用ラック(46)の被処理
物支持棚(48)上に載せ替えられる。ついで、駆動装置(4
1)により可動ビーム(39)が前進させられ、搬入用ラック
(46)が後端の熱処理室(2) 内の熱処理用ラック(19)の位
置まで移動させられ、搬入用ラック(46)の各被処理物支
持棚(48)が熱処理用ラック(19)の各被処理物支持棚(22)
の上方に来る。ついで、駆動装置(41)により可動ビーム
(39)が下降させられることにより、搬入用ラック(46)が
その各被処理物支持棚(48)が熱処理用ラック(19)の被処
理物支持棚(22)のすぐ下方に来るまで下降させられ、板
状被処理物(W) が熱処理用ラック(19)の被処理物支持棚
(22)上に載せ替えられる。搬入用ラック(46)により可動
ラック(34)から熱処理用ラック(19)に板状被処理物(W)
が移し替えられるのと同時に、搬送用ラック(55)により
熱処理用ラック(19)どうしの間で板状被処理物(W) が移
し替えられる。ついで、駆動装置(41)により可動ビーム
(39)が後退させられて元の位置に戻る。その後、加熱炉
(1) の被処理物入口(6) および同出口(7) 、ならびに各
隔壁(5) の連通口(8) がそれぞれシャッタ装置(9)(11)
により閉鎖され、ヒータ(16)で加熱された高温雰囲気シ
ロッコファン(15)により各熱処理室(2)(3)(4) における
各循環路(12)に循環させられ、ＨＥＰＡフィルタ(18)よ
り清浄化された高温雰囲気が熱風として板状被処理物
(W) に吹き付けられ、これにより熱処理室(2)(3)(4) 内
の板状被処理物(W) に適当な熱処理が施される。
【００２８】上記において、搬入用ラック(46)により可
動ラック(34)から熱処理用ラック(19)に板状被処理物
(W) が移し替えられるのと同時に、搬出用ラック(51)に
より後端の熱処理室(4) 内の熱処理用ラック(19)から後
側固定ラック(24)に板状被処理物(W) が移し替えられ、
さらに移載用ラック(59)により後側固定ラック(24)から
前側固定ラック(25)に板状被処理物(W) が移し替えられ
る。また、搬入用ラック(46)が熱処理用ラック(19)に板
状被処理物(W) を移し替えている間に、可動ラック(34)
は後退し、移載装置によりその被処理物支持棚(36)に板
状被処理物(W) が載せられ、その後再度前進して前進位
置に来る。このような動作を繰返すことにより、多数の
被処理物(W) に連続的に熱処理が施される。
動ラック(34)から熱処理用ラック(19)に板状被処理物
(W) が移し替えられるのと同時に、搬出用ラック(51)に
より後端の熱処理室(4) 内の熱処理用ラック(19)から後
側固定ラック(24)に板状被処理物(W) が移し替えられ、
さらに移載用ラック(59)により後側固定ラック(24)から
前側固定ラック(25)に板状被処理物(W) が移し替えられ
る。また、搬入用ラック(46)が熱処理用ラック(19)に板
状被処理物(W) を移し替えている間に、可動ラック(34)
は後退し、移載装置によりその被処理物支持棚(36)に板
状被処理物(W) が載せられ、その後再度前進して前進位
置に来る。このような動作を繰返すことにより、多数の
被処理物(W) に連続的に熱処理が施される。
【００２９】上記実施形態においては、各熱処理室(2)
(3)(4) 内における板状被処理物(W)の熱処理時には、搬
出用ラック(51)は熱処理室(4) 内にあるので、搬出用ラ
ック(51)は熱処理用ラック(19)および搬送用ラック(55)
と同じく加熱される。そして、搬出用ラック(51)は、次
回の熱処理時までには、後側固定ラック(24)の被処理物
支持棚(28)に被処理物(W) を移し替えるために炉(1) 外
に出るだけであるので、その温度はさほど低下しない。
したがって、次回の熱処理時における加熱効率が優れた
ものになる。
(3)(4) 内における板状被処理物(W)の熱処理時には、搬
出用ラック(51)は熱処理室(4) 内にあるので、搬出用ラ
ック(51)は熱処理用ラック(19)および搬送用ラック(55)
と同じく加熱される。そして、搬出用ラック(51)は、次
回の熱処理時までには、後側固定ラック(24)の被処理物
支持棚(28)に被処理物(W) を移し替えるために炉(1) 外
に出るだけであるので、その温度はさほど低下しない。
したがって、次回の熱処理時における加熱効率が優れた
ものになる。
【００３０】上記実施形態においては、すべてのフィン
ガ(23)(31)(32)(37)(49)(54)(58)(63)がそれぞれステン
レス鋼製であるが、これらはセラミックス製であっても
よい。この場合、フィンガ(23)(31)(32)(37)(49)(54)(5
8)(63)が金属製であるときに発生するおそれのある板状
被処理物(W) の金属汚染が防止される。
ガ(23)(31)(32)(37)(49)(54)(58)(63)がそれぞれステン
レス鋼製であるが、これらはセラミックス製であっても
よい。この場合、フィンガ(23)(31)(32)(37)(49)(54)(5
8)(63)が金属製であるときに発生するおそれのある板状
被処理物(W) の金属汚染が防止される。
【００３１】また、上記実施例においては、熱処理用ラ
ック(19)のフィンガ(23)の上面に突起(64)が形成されて
いるので、板状被処理物(W) とフィンガ(23)との接触面
積が小さくなり、フィンガ(23)と板状被処理物(W) との
間の伝熱量が少なくなる。したがって、板状被処理物
(W) における突起(64)への接触部と非接触部との熱処理
時の温度差が極めて小さくなり、板状被処理物(W) 全体
の温度が均一になる。しかしながら、フィンガ(23)の上
面に必ずしも突起(64)を形成しておく必要はない。
ック(19)のフィンガ(23)の上面に突起(64)が形成されて
いるので、板状被処理物(W) とフィンガ(23)との接触面
積が小さくなり、フィンガ(23)と板状被処理物(W) との
間の伝熱量が少なくなる。したがって、板状被処理物
(W) における突起(64)への接触部と非接触部との熱処理
時の温度差が極めて小さくなり、板状被処理物(W) 全体
の温度が均一になる。しかしながら、フィンガ(23)の上
面に必ずしも突起(64)を形成しておく必要はない。
【００３２】さらに、上記実施形態において、熱処理用
ラック(19)のフィンガ(23)をステンレス鋼管製としてそ
の内部を雰囲気通路としておき、フィンガ(23)の突起(6
4)の先端に雰囲気吹出口を形成しておいてもよい。この
場合、板状被処理物(W) を非接触状態で支持することが
可能になり、板状被処理物(W) は一層均一に加熱される
ことになる。
ラック(19)のフィンガ(23)をステンレス鋼管製としてそ
の内部を雰囲気通路としておき、フィンガ(23)の突起(6
4)の先端に雰囲気吹出口を形成しておいてもよい。この
場合、板状被処理物(W) を非接触状態で支持することが
可能になり、板状被処理物(W) は一層均一に加熱される
ことになる。
【００３３】図７はこの発明の他の実施の形態を示す。
【００３４】この場合、搬入用ラック(46)、搬出用ラッ
ク(51)、搬送用ラック(55)および移載用ラック(59)のフ
レーム(47)(52)(56)(61)が固定されている可動ビーム(7
0)は、前後方向にのみ移動自在となされている。また、
熱処理用ラック(19)、後側固定ラック(24)および前側固
定ラック(25)のフレーム(21)(26)(27)は、加熱炉(1)を
前後方向に貫通するように配置された上下方向にのみ移
動自在の上下可動ビーム(71)に固定されている。前後可
動ビーム(70)および上下可動ビーム(71)は、それぞれ詳
しくは図示しない公知の駆動装置(72)(73)により駆動さ
れるようになっている。上下可動ビーム(71)は各熱処理
室(2)(3)(4) の右側下端部を貫通するようになってい
る。加熱炉(1) の被処理物入口(6) および同出口(7) の
シャッタ装置(9) の上下シャッタ(9a)(9b)には、シャッ
タ装置(9) が閉じているときに上下可動ビーム(71)が挿
通する貫通孔を形成する切欠き（図示略）が形成され、
この切欠きの内周面にシール材が貼着されている。そし
て、シャッタ装置(9) が閉じているときには、上下可動
ビーム(71)は両切欠き間を通るようになっており、シー
ル材の働きにより、加熱炉(1) 内に異物が侵入しないよ
うになされている。また、各隔壁(5) の連通口(8) のシ
ャッタ装置(11)のシャッタ(11a) の下端にも上下可動ビ
ーム(71)の嵌まる切欠き（図示略）が形成されている。
ク(51)、搬送用ラック(55)および移載用ラック(59)のフ
レーム(47)(52)(56)(61)が固定されている可動ビーム(7
0)は、前後方向にのみ移動自在となされている。また、
熱処理用ラック(19)、後側固定ラック(24)および前側固
定ラック(25)のフレーム(21)(26)(27)は、加熱炉(1)を
前後方向に貫通するように配置された上下方向にのみ移
動自在の上下可動ビーム(71)に固定されている。前後可
動ビーム(70)および上下可動ビーム(71)は、それぞれ詳
しくは図示しない公知の駆動装置(72)(73)により駆動さ
れるようになっている。上下可動ビーム(71)は各熱処理
室(2)(3)(4) の右側下端部を貫通するようになってい
る。加熱炉(1) の被処理物入口(6) および同出口(7) の
シャッタ装置(9) の上下シャッタ(9a)(9b)には、シャッ
タ装置(9) が閉じているときに上下可動ビーム(71)が挿
通する貫通孔を形成する切欠き（図示略）が形成され、
この切欠きの内周面にシール材が貼着されている。そし
て、シャッタ装置(9) が閉じているときには、上下可動
ビーム(71)は両切欠き間を通るようになっており、シー
ル材の働きにより、加熱炉(1) 内に異物が侵入しないよ
うになされている。また、各隔壁(5) の連通口(8) のシ
ャッタ装置(11)のシャッタ(11a) の下端にも上下可動ビ
ーム(71)の嵌まる切欠き（図示略）が形成されている。
【００３５】可動ラック(34)が設けられている支持部材
(38)は、前後方向だけではなく、上下方向にも移動自在
となっている。
(38)は、前後方向だけではなく、上下方向にも移動自在
となっている。
【００３６】このような構成において、たとえば搬入用
ラック(46)による前進位置にある可動ラック(34)から後
端熱処理室(2) の熱処理用ラック(19)への板状被処理物
(W)の搬入は、次のようにして行なわれる。すなわち、
上下可動ビーム(71)が下降させられ、これにより可動ラ
ック(34)が、その被処理物支持棚(36)が搬入用ラック(4
6)のすぐ下の被処理物支持棚(48)の下方に来るまで下降
させられ、板状被処理物(W) が搬入用ラック(46)の被処
理物支持棚(48)上に載せ替えられる。ついで、駆動装置
(72)により可動ビーム(70)が前進させられ、搬入用ラッ
ク(46)が後端の熱処理室(2) 内の熱処理用ラック(19)の
位置まで移動させられて搬入用ラック(46)の各被処理物
支持棚(48)が熱処理用ラック(19)の各被処理物支持棚(2
2)の上方に来る。ついで、上下可動ビーム(71)が上昇さ
せられることにより、熱処理用ラック(19)がその各被処
理物支持棚(22)が搬入用ラック(46)の被処理物支持棚(4
8)のすぐ上方に来るまで上昇させられ、板状被処理物
(W) が熱処理用ラック(19)の被処理物支持棚(22)上に載
せ替えられる。ついで、駆動装置(72)により可動ビーム
(70)が後退させられて元の位置に戻る。こうして、可動
ラック(34)から後端熱処理室(2) の熱処理用ラック(19)
への板状被処理物(W) の搬入が行なわれる。搬送用ラッ
ク(55)による熱処理用ラック(19)どうしの間での板状被
処理物(W) の移し替え、搬出用ラック(51)による前端熱
処理室(4) 内の熱処理用ラック(19)から後側固定ラック
(24)への板状被処理物(W) の移し替え、および移載用ラ
ック(59)による後側固定ラック(24)から前側固定ラック
(25)への板状被処理物(W) の移し替えも、これと同様に
して行なわれる。
ラック(46)による前進位置にある可動ラック(34)から後
端熱処理室(2) の熱処理用ラック(19)への板状被処理物
(W)の搬入は、次のようにして行なわれる。すなわち、
上下可動ビーム(71)が下降させられ、これにより可動ラ
ック(34)が、その被処理物支持棚(36)が搬入用ラック(4
6)のすぐ下の被処理物支持棚(48)の下方に来るまで下降
させられ、板状被処理物(W) が搬入用ラック(46)の被処
理物支持棚(48)上に載せ替えられる。ついで、駆動装置
(72)により可動ビーム(70)が前進させられ、搬入用ラッ
ク(46)が後端の熱処理室(2) 内の熱処理用ラック(19)の
位置まで移動させられて搬入用ラック(46)の各被処理物
支持棚(48)が熱処理用ラック(19)の各被処理物支持棚(2
2)の上方に来る。ついで、上下可動ビーム(71)が上昇さ
せられることにより、熱処理用ラック(19)がその各被処
理物支持棚(22)が搬入用ラック(46)の被処理物支持棚(4
8)のすぐ上方に来るまで上昇させられ、板状被処理物
(W) が熱処理用ラック(19)の被処理物支持棚(22)上に載
せ替えられる。ついで、駆動装置(72)により可動ビーム
(70)が後退させられて元の位置に戻る。こうして、可動
ラック(34)から後端熱処理室(2) の熱処理用ラック(19)
への板状被処理物(W) の搬入が行なわれる。搬送用ラッ
ク(55)による熱処理用ラック(19)どうしの間での板状被
処理物(W) の移し替え、搬出用ラック(51)による前端熱
処理室(4) 内の熱処理用ラック(19)から後側固定ラック
(24)への板状被処理物(W) の移し替え、および移載用ラ
ック(59)による後側固定ラック(24)から前側固定ラック
(25)への板状被処理物(W) の移し替えも、これと同様に
して行なわれる。
【００３７】図８は、上記２つの実施形態における搬入
用ラック(46)、搬出用ラック(51)、搬送用ラック(55)お
よび移載用ラック(59)の変形例を示す。図８において、
搬入用ラック(46)、搬出用ラック(51)、搬送用ラック(5
5)および移載用ラック(59)の各被処理物支持棚(48)(53)
(57)(62)の２つのフィンガ(49)(54)(58)(63)に、それぞ
れ前後方向外方に突出しかつ上方に突出した略Ｌ形棒状
の被処理物ずれ防止部材(80)が設けられている。この場
合、ラック(46)(51)(55)(59)が前後方向に移動したさい
の板状被処理物(W) のずれを防止することができる。ま
た、ずれ防止部材としては、略Ｌ形棒状のものに代え
て、前後方向外方に突出しかつ上方に突出した略Ｌ形板
状のものを用いることもできる。
用ラック(46)、搬出用ラック(51)、搬送用ラック(55)お
よび移載用ラック(59)の変形例を示す。図８において、
搬入用ラック(46)、搬出用ラック(51)、搬送用ラック(5
5)および移載用ラック(59)の各被処理物支持棚(48)(53)
(57)(62)の２つのフィンガ(49)(54)(58)(63)に、それぞ
れ前後方向外方に突出しかつ上方に突出した略Ｌ形棒状
の被処理物ずれ防止部材(80)が設けられている。この場
合、ラック(46)(51)(55)(59)が前後方向に移動したさい
の板状被処理物(W) のずれを防止することができる。ま
た、ずれ防止部材としては、略Ｌ形棒状のものに代え
て、前後方向外方に突出しかつ上方に突出した略Ｌ形板
状のものを用いることもできる。
【００３８】図９は、上記２つの実施形態における熱処
理用ラック(19)、固定ラック(24)(25)、可動ラック(3
4)、搬入用ラック(46)、搬出用ラック(51)、搬送用ラッ
ク(55)および移載用ラック(59)の変形例を示す。図９に
おいて、熱処理用ラック(19)、固定ラック(24)(25)およ
び可動ラック(34)の各被処理物支持棚(22)(28)(29)(36)
のフィンガ(23)(31)(32)(37)は、それぞれ先端に向かっ
て上方に傾斜しており、搬入用ラック(46)、搬出用ラッ
ク(51)、搬送用ラック(55)および移載用ラック(59)の各
被処理物支持棚(48)(53)(57)(62)のフィンガ(49)(54)(5
8)(63)は、それぞれ先端に向かって下方に傾斜し、フィ
ンガ(23)(31)(32)(37)と平行になっている。また、これ
らのフィンガ(23)(31)(32)(37)(49)(54)(58)(63)の傾斜
方向の下端部に、それぞれ板状被処理物(W) の落下防止
兼位置決め部材(81)(82)が上方突出状に設けられてい
る。熱処理用ラック(19)、固定ラック(24)(25)および可
動ラック(34)のフィンガ(23)(31)(32)(37)と、搬入用ラ
ック(46)、搬出用ラック(51)、搬送用ラック(55)および
移載用ラック(59)のフィンガ(49)(54)(58)(63)とは、図
９に示すのとは反対方向に傾斜していてもよい。
理用ラック(19)、固定ラック(24)(25)、可動ラック(3
4)、搬入用ラック(46)、搬出用ラック(51)、搬送用ラッ
ク(55)および移載用ラック(59)の変形例を示す。図９に
おいて、熱処理用ラック(19)、固定ラック(24)(25)およ
び可動ラック(34)の各被処理物支持棚(22)(28)(29)(36)
のフィンガ(23)(31)(32)(37)は、それぞれ先端に向かっ
て上方に傾斜しており、搬入用ラック(46)、搬出用ラッ
ク(51)、搬送用ラック(55)および移載用ラック(59)の各
被処理物支持棚(48)(53)(57)(62)のフィンガ(49)(54)(5
8)(63)は、それぞれ先端に向かって下方に傾斜し、フィ
ンガ(23)(31)(32)(37)と平行になっている。また、これ
らのフィンガ(23)(31)(32)(37)(49)(54)(58)(63)の傾斜
方向の下端部に、それぞれ板状被処理物(W) の落下防止
兼位置決め部材(81)(82)が上方突出状に設けられてい
る。熱処理用ラック(19)、固定ラック(24)(25)および可
動ラック(34)のフィンガ(23)(31)(32)(37)と、搬入用ラ
ック(46)、搬出用ラック(51)、搬送用ラック(55)および
移載用ラック(59)のフィンガ(49)(54)(58)(63)とは、図
９に示すのとは反対方向に傾斜していてもよい。
【００３９】上記２つの実施形態において、加熱炉(1)
内が隔壁(5) により複数の熱処理室(2)(3)(4) に仕切ら
れているが、これは必ずしも必要としない。
内が隔壁(5) により複数の熱処理室(2)(3)(4) に仕切ら
れているが、これは必ずしも必要としない。
【００４０】
【発明の効果】この発明のいずれの熱処理装置において
も、上述のように、カセットを加熱する必要のある従来
の装置と比べて余分な熱が不要になるので、加熱効率が
向上する。
も、上述のように、カセットを加熱する必要のある従来
の装置と比べて余分な熱が不要になるので、加熱効率が
向上する。
【図１】この発明の熱処理装置の実施形態の全体構成を
示す水平断面図である。
示す水平断面図である。
【図２】図１の部分拡大図である。
【図３】図２とは異なる部分を示す図１の部分拡大図で
ある。
ある。
【図４】この発明の熱処理装置の一部分を拡大して示す
部分省略斜視図である。
部分省略斜視図である。
【図５】図１のＶ−Ｖ線拡大断面図である。
【図６】熱処理用ラックのフィンガの部分を示す拡大図
である。
である。
【図７】この発明の熱処理装置の他の実施形態の全体構
成を示す水平断面図である。
成を示す水平断面図である。
【図８】２つの実施形態における搬入用ラック、搬出用
ラック、搬送用ラックおよび移載用ラックの変形例を示
す斜視図である。
ラック、搬送用ラックおよび移載用ラックの変形例を示
す斜視図である。
【図９】２つの実施形態における熱処理用ラック、固定
ラック、可動ラック、搬入用ラック、搬出用ラック、搬
送用ラックおよび移載用ラックの変形例を示す後方から
見た図である。
ラック、可動ラック、搬入用ラック、搬出用ラック、搬
送用ラックおよび移載用ラックの変形例を示す後方から
見た図である。
(1) 加熱炉
(19) 熱処理用ラック
(22)(48)(53)(57) 被処理物支持棚
(23)(49)(54)(58) フィンガ
(46) 搬入用ラック
(51) 搬出用ラック
(55) 搬送用ラック
(W) 板状被処理物
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平８−271156（ＪＰ，Ａ)
特開 平４−329110（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−198262（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−203364（ＪＰ，Ａ)
実開 平２−145240（ＪＰ，Ｕ)
実開 平６−78794（ＪＰ，Ｕ)
実開 平１−153497（ＪＰ，Ｕ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
F27B 9/24
F27B 9/10
G02F 1/13 101
G02F 1/1333 500
Claims (5)
- 【請求項１】 前後方向にのびる加熱炉と、熱処理すべ
き板状被処理物を加熱炉内に搬入するとともに加熱炉内
を前方に搬送し、しかも熱処理の施された板状被処理物
を加熱炉外に搬出する搬送装置とを備えており、搬送装
置が１または２以上のラックからなる第１ラックグルー
プと、第１ラックグループと対向するように配置され、
かつ第１ラックグループのラックの数よりも多いラック
で構成される第２ラックグループとよりなり、各ラック
グループのラックに、同一平面内で前後方向に間隔をお
いて配置された左右方向に伸びる複数のフィンガよりな
る被処理物支持棚が上下方向に間隔をおいて複数設けら
れ、第１ラックグループと第２ラックグループとが、上
下方向および前後方向に相対的に移動するとともに、上
下方向に相対的に移動したさいに複数の板状被処理物が
２つのグループのラックの被処理物支持棚間で同時に載
せ替えられて両ラックグループのラック間での板状被処
理物の受け渡しが行なわれるようになされ、両ラックグ
ループのラック間での板状被処理物の受け渡しを繰返す
ことにより、板状被処理物が搬送されるようになされて
いる熱処理装置。 - 【請求項２】 加熱炉内が前後方向に並んだ複数の処理
室に区画され、隣接する処理室間の隔壁に、被処理物支
持棚に板状被処理物を載せたラックが通過しうる連通口
が形成され、連通口が開閉自在となされている請求項１
記載の熱処理装置。 - 【請求項３】 第１ラックグループのラックが固定さ
れ、第２ラックグループのラックが上下方向および前後
方向に移動自在である請求項１または２記載の熱処理装
置。 - 【請求項４】 第１ラックグループのラックが上下方向
に移動自在であり、第２ラックグループのラックが前後
方向に移動自在である請求項１または２記載の熱処理装
置。 - 【請求項５】 第２ラックグループのラックにおける被
処理物支持棚の前後両端のフィンガに、それぞれ板状被
処理物の前後方向へのずれを防止するずれ防止部材が設
けられている請求項３または４記載の熱処理装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06847596A JP3484592B2 (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 熱処理装置 |
| KR1019970008182A KR100442018B1 (ko) | 1996-03-25 | 1997-03-12 | 열처리장치 |
| TW086103353A TW338100B (en) | 1996-03-25 | 1997-03-18 | A heating treatment device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06847596A JP3484592B2 (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 熱処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09257371A JPH09257371A (ja) | 1997-10-03 |
| JP3484592B2 true JP3484592B2 (ja) | 2004-01-06 |
Family
ID=13374757
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06847596A Expired - Fee Related JP3484592B2 (ja) | 1996-03-25 | 1996-03-25 | 熱処理装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3484592B2 (ja) |
| KR (1) | KR100442018B1 (ja) |
| TW (1) | TW338100B (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| KR100755428B1 (ko) | 2006-05-26 | 2007-09-04 | 주식회사 케이피씨 | 가열로 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6127485A (ja) * | 1984-07-17 | 1986-02-06 | 中外炉工業株式会社 | 連続式雰囲気熱処理炉 |
| JPH0752068B2 (ja) * | 1991-03-08 | 1995-06-05 | タバイエスペック株式会社 | 加熱装置 |
| JP2697364B2 (ja) * | 1991-04-30 | 1998-01-14 | 株式会社村田製作所 | 熱処理システム |
| JP2608017B2 (ja) * | 1993-03-19 | 1997-05-07 | タバイエスペック株式会社 | 容器式熱処理装置 |
| JP2607209Y2 (ja) * | 1993-04-09 | 2001-05-28 | 光洋サーモシステム株式会社 | 連続加熱装置 |
| JP2820861B2 (ja) * | 1993-06-16 | 1998-11-05 | タバイエスペック株式会社 | 物品熱処理装置 |
-
1996
- 1996-03-25 JP JP06847596A patent/JP3484592B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1997
- 1997-03-12 KR KR1019970008182A patent/KR100442018B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-03-18 TW TW086103353A patent/TW338100B/zh active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW338100B (en) | 1998-08-11 |
| JPH09257371A (ja) | 1997-10-03 |
| KR100442018B1 (ko) | 2004-11-10 |
| KR970066483A (ko) | 1997-10-13 |
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|---|---|---|---|
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