JP5696612B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
前記ローディング室内にて給気口から排気口に向けて清浄気体による横方向の気流を形成すると共に前記排気口に吸い込まれた気体を前記給気口に戻すように構成された気体循環機構と、
前記給気口に設けられ、前記ローディング室内の温度変化に応じて前記給気口から供給された前記清浄気体が流れる向きを調整することにより、前記気流についてローディング室の下部側の通気流量に対する上部側の通気流量の流量比率を調整する気流調整機構と、を備え、
前記気流調整機構は、
熱処理後の基板を保持した基板保持具がアンロード位置に待機し、当該熱処理後の基板の受け渡しが開始される前の第1の時間帯においては、ローディング室の下部側の通気流量よりもローディング室の上部側の通気流量の方が大きくなり、
前記基板保持具に対して基板の受け渡しを行う第2の時間帯においては、前記第1の時間帯に比べて前記ローディング室の上部側の通気流量が少なくなり、且つローディング室の下部側の通気流量が多くなり、
前記第1の時間帯及び前記第2の時間帯において、前記基板保持具に設けられる基板の保持領域の上端から下端に至るまで当該基板保持具に保持される基板の面方向に沿った気流を形成するように動作することを特徴とする。
(1)前記気流調整機構は、各々水平方向に伸びると共に上下方向に複数配列される羽板を備えたルーバーにより構成され、羽板の上下方向の傾きを変えることにより流量比率が調整される。
(2)前記羽板の少なくとも1枚はバイメタルからなり、ローディング室内の温度変化に応じて前記傾きが変わるように変形する自律変形羽板として構成されることを特徴とする。
(3)前記ルーバーは、前記自律変形羽板と、前記温度変化に応じてその傾きが変わらない非変形羽板と、自律変形羽板の変形に応じて非変形羽板の傾きを変えるために自律変形羽板と非変形羽板とを接続する接続部と、からなることを特徴とする。
前記接続部がローディング室内の温度変化に応じて変形することにより、羽板の傾きが変わる。
(5)前記羽板の代わりに筒状部材が設けられる。
以下に本発明の実施形態に係る縦型熱処理装置1についてその横断平面図、縦断側面図である図1、図2を夫々参照しながら説明する。図中11は装置1の筐体であり、この筐体11内には、基板であるウエハWを収納したキャリアCが装置に対して搬入、搬出されるための搬入搬出領域S1と、キャリアC内のウエハを搬送して後述の熱処理炉内に搬入するためのローディング室であるローディングエリアS2と、が設けられている。搬入搬出領域S1とローディングエリアS2とは隔壁12により仕切られており、搬入搬出領域S1は大気雰囲気とされ、清浄乾燥気体(パーティクル及び有機成分が搬入搬出領域S1よりも少なく、露点−60℃以下の空気)雰囲気とされている。
続いて第2の実施形態について説明する。この第2の実施形態はルーバー7の代わりにルーバー75が設けられる。ルーバー75におけるルーバー7との差異点を説明すると、ルーバー75では上記の羽板73及び接続部74を設けず、図12に示すように上下方向に変形板72を配置して構成される。各変形板72は第1の実施形態と同様にバイメタルにより構成され、その基端側が支持部71に固定されている。そして、ウエハボート25とウエハ搬送機構41との間でウエハWを受け渡すときには、その周囲温度が低いため変形板72は図中に鎖線で示すように水平に構成されて、フィルタユニット5の気体供給部51から供給されるエアを水平にガイドする。ウエハボート25がアンロードされたときには、その周囲温度が高いため、変形板72は図中に実線で示すようにその先端が基端よりも上方に向かい、フィルタユニット5からのエアを斜め上方にガイドする。
図13を参照しながら第3の実施形態について説明する。この第3の実施形態においては、フィルタユニット5の気体供給部51の手前側を覆うように開口部の形成部である立て板81が設けられており、この立て板81には、複数の横長の下側開口部をなすスリット82が上下方向に間隔をおいて形成されている。この立て板81の後方側には前記スリット82を開閉するためのシャッタ83が設けられており、シャッタ83には複数の横長のスリット84が上下方向に間隔をおいて形成されている。図13の例では、シャッタ83と立て板81とを同様の形状に示している。シャッタ83の上方には変形板85が設けられている。変形板85は、第1の実施形態の変形板72と同様にバイメタルにより構成されており、その基端側がフィルタユニット5に対して固定されている。この変形板85にはワイヤー86を介して前記シャッタ83が接続されており、変形板85の変形によりシャッタ83が昇降する。
続いて図15を参照しながら第4の実施形態について説明する。既述のようにフィルタユニット5の気体供給部51は筐体とフィルタとを備えている。図15では前記筐体を91、前記フィルタを92とし、筐体91にローディングエリアS2の奥側に向かって開口した多数の孔を93としている。この第4の実施形態では筐体91の天井板(蓋部材)94がバイメタルにより構成されており、気流調整機構をなす。この天井板94は、その基端側(ローディングエリアS2の手前側であり、図中右側)が気体供給流路52に固定されている。ローディングエリアS2の上部側の温度が低いときには、この図15に示すように天井板94は水平な形状であり、その先端側が筐体91の側壁に密着し、筐体91の天井が閉鎖されるため、気体供給部51に供給されたエアは筐体91の各孔93から水平に供給される。
第5の実施形態について図17及び図18を参照しながら説明する。この実施形態では、支持部71と角型の筒部96とコイル97とが設けられ、図17に示すように筒部96は第2の実施形態の変形板72と同様に支持部71の上下方向に多数設けられている。図17では1つしか示していないが、支持部71は2つ設けられ、筒部96を挟んでいる。支持部71と筒部96とはコイル97を介して接続されており、コイル97の一端側が支持部71に、コイル97の他端側が支持部71に夫々接続される。コイル97はバイメタルにより構成されており、その周囲温度が変化するとコイル97の一端側に対してコイル97の他端側はコイル97の軸回りに回転するように移動する。
続いて、本発明の知見を得るに至った評価試験について説明する。ローディングエリアS2内に設定した9箇所の測定ポイントに温度センサを設け、第1の実施形態で説明したようにウエハWを搬入してから搬出するまでの各測定ポイントの温度変化を調べた。前記ローディングエリアS2はルーバー7が設けられないことを除いては第1の実施形態に示した構成と同一である。測定ポイントの位置としては、仕切り板54からの高さが夫々1350mmの位置(上段位置とする)、850mmの位置(中段位置とする)、350mmの位置(下段位置とする)とし、これらの各高さ位置において左右方向(図1中Y方向)に3箇所ずつ設定している。
S2 ローディングエリア
30 昇降ステージ
31 ボートエレベータ
41 ウエハ搬送機構
5 フィルタユニット
53 通気室
57 ファン
7 ルーバー
71 支持部
72 変形板
73 羽板
Claims (6)
- ローディング室にて基板搬送機構により基板保持具に対して基板の受け渡しを行い、複数の基板が棚状に保持された当該基板保持具をアンロード位置から上昇させて縦型の熱処理炉内に搬入し、基板に対して熱処理を行う熱処理装置において、
前記ローディング室内にて給気口から排気口に向けて清浄気体による横方向の気流を形成すると共に前記排気口に吸い込まれた気体を前記給気口に戻すように構成された気体循環機構と、
前記給気口に設けられ、前記ローディング室内の温度変化に応じて前記給気口から供給された前記清浄気体が流れる向きを調整することにより、前記気流についてローディング室の下部側の通気流量に対する上部側の通気流量の流量比率を調整する気流調整機構と、を備え、
前記気流調整機構は、
熱処理後の基板を保持した基板保持具がアンロード位置に待機し、当該熱処理後の基板の受け渡しが開始される前の第1の時間帯においては、ローディング室の下部側の通気流量よりもローディング室の上部側の通気流量の方が大きくなり、
前記基板保持具に対して基板の受け渡しを行う第2の時間帯においては、前記第1の時間帯に比べて前記ローディング室の上部側の通気流量が少なくなり、且つローディング室の下部側の通気流量が多くなり、
前記第1の時間帯及び前記第2の時間帯において、前記基板保持具に設けられる基板の保持領域の上端から下端に至るまで当該基板保持具に保持される基板の面方向に沿った気流を形成するように動作することを特徴とする熱処理装置。 - 前記気流調整機構は、各々水平方向に伸びると共に上下方向に複数配列される羽板を備えたルーバーにより構成され、羽板の上下方向の傾きを変えることにより流量比率が調整されることを特徴とする請求項1記載の熱処理装置。
- 前記羽板の少なくとも1枚はバイメタルからなり、ローディング室内の温度変化に応じて前記傾きが変わるように変形する自律変形羽板として構成されることを特徴とする請求項2記載の熱処理装置。
- 前記ルーバーは、前記自律変形羽板と、前記温度変化に応じてその傾きが変わらない非変形羽板と、自律変形羽板の変形に応じて非変形羽板の傾きを変えるために自律変形羽板と非変形羽板とを接続する接続部と、からなることを特徴とする請求項3記載の熱処理装置。
- 前記各羽板はバイメタルからなる接続部を介して、この羽板を支持する支持部に設けられ、
前記接続部がローディング室内の温度変化に応じて変形することにより、羽板の傾きが変わることを特徴とする2ないし4のいずれか一つに記載の熱処理装置。 - 前記羽板の代わりに筒状部材が設けられることを特徴とする請求項2ないし5のいずれか一つに記載の熱処理装置。
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