KR101143138B1 - 부품 공급용 플레이트 수용체 및 부품 공급 장치 - Google Patents

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Abstract

복수의 부품(2)이 배치된 복수의 부품 공급용 플레이트(6)를 단(段)으로 적층해서 수용하는 부품 공급용 플레이트 수용체(50)에 있어서, 각각의 지지 안내부(50b) 중에서, 각각의 쌍의 조(組)를 형성하는 상기 각각의 지지 안내부를, 다른 쌍의 조를 형성하는 상기 각각의 지지 안내부로부터 식별 가능하고, 상기 플레이트 공급 방향에서 육안 인식 가능하게, 상기 방향에 있어서의 상기 각각의 지지 안내부의 단부 또는 그 근방에 배치된 식별 마크부(114)를 형성한다.

Description

부품 공급용 플레이트 수용체 및 부품 공급 장치{PLATE STORING BODY FOR SUPPLYING COMPONENT AND COMPONENT SUPPLYING APPARATUS}
본 발명은, 기판에 실장(實裝)되는 복수의 부품을 공급 가능하게 배치하는 복수의 부품 공급용 플레이트(plate)를, 복수 단(段)으로 적층해서 수용 가능하며, 상기 수용된 부품 공급용 플레이트를 그 표면을 따르는 방향인 플레이트 공급 방향에 이동시킴으로써, 상기 배치된 각각의 부품을 공급 가능하게 상기 부품 공급용 플레이트가 취출(取出)되는 부품 공급용 플레이트 수용체(혹은 플레이트 수용 유닛) 및 부품 공급 장치에 관한 것이다.
종래에, 이 종류의 부품 공급용 플레이트 수용체는, 예를 들면, 매거진 카세트(magazine cassette)라고 하며, 부품 실장을 위한 부품의 공급을 실행하는 부품 공급 장치에서 이용되고 있다. 이러한 매거진 카세트에는, 기판에 실장되는 부품 중 복수의 웨이퍼(wafer) 공급 부품이 배치된 웨이퍼를 탑재하는 웨이퍼 공급용 플레이트, 또는, 복수의 트레이(tray) 공급 부품이 배치된 부품 공급 트레이를 탑재하는 트레이 공급용 플레이트 중의 어느 한쪽이 선택적으로 수용된다. 또한, 이렇게 각각의 플레이트가 수용된 상태의 매거진 카세트가, 부품 공급 장치에 장비됨으로써, 상기 부품 공급 장치에 있어서, 상기 매거진 카세트로부터, 상기 웨이퍼 공 급용 플레이트 또는 상기 트레이 공급용 플레이트가 취출되어, 상기 각각의 웨이퍼 공급 부품 또는 상기 트레이 공급 부품의 부품 실장을 위한 공급이 실행되고 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조).
또한, 이러한 매거진 카세트에 있어서는, 대략 수평 지지 자세를 유지하면서 각각의 플레이트의 서로 대향하는 각각의 단부(端部)를 지지함과 더불어, 상기 지지된 상태의 상기 각각의 플레이트를 미끄럼 이동 가능하게 하는 1쌍의 복수 조(組)의 지지 안내부의 일례인 각각의 홈부가 형성되어 있다. 이렇게 매거진 카세트에 있어서, 각각의 홈부가 형성되어 있음으로써, 다수의 플레이트를 상하 방향에 적층해서 효율적으로 수용하면서, 선택된 플레이트를, 상기 각각의 홈부를 따라 미끄럼 이동시킴으로써, 상기 매거진 카세트로부터 상기 선택된 플레이트를 꺼내는 것이 가능하게 되어 있다.
(특허 문헌 1)
일본국 특개2000-91385호 공보
(발명이 해결하려고 하는 과제)
최근에, 부품 실장에 있어서의 생산성의 효율화가 더욱 강하게 요구되고 있으며, 부품 공급의 효율화를 위해서, 매거진 카세트에 있어서의 각각의 플레이트의 박형화나 각각의 홈부의 설치 간격의 협소화가 도모되어, 1대의 매거진 카세트에 적층 수용되는 플레이트 매수의 증대화가 도모되고 있다.
또한, 이러한 부품 실장에 있어서는, 상기 생산성의 효율화를 도모하면서, 미소화(微小化)된 부품을 기판에 고정밀도로 실장하는 것도 요구되며, 이러한 요구에 부응하기 위해서, 매거진 카세트로부터의 확실한 플레이트의 공급, 즉, 확실한 부품 공급의 실시가 요구되고 있다.
그러나, 이러한 부품 공급 장치로, 매거진 카세트로부터 플레이트를 유지해서 꺼낼 때에 있어서는, 예를 들면, 플레이트가 대략 원반상(圓盤狀)의 형상을 구비하고 있음으로써, 도 42의 모식도에 나타낸 바와 같이, 매거진 카세트(750) 내에 있어서, 플레이트(706)가, 플레이트 취출(取出) 방향 C에 대하여 경사진 자세로 수용되어 있는 경우가 있으며, 이러한 경우에 있어서는, 플레이트(706)의 둘레부와 매거진 카세트(750)의 홈부(750b)와의 접촉(혹은 충돌)이 발생하고, 플레이트(706)의 흔들림이 발생하는 경우가 있다.
특히, 플레이트(706)가, 그 상면(上面)에 복수의 트레이 공급 부품을 탑재하는 트레이 공급 플레이트인 경우에 있어서는, 상기 흔들림의 발생에 의해, 상기 탑재되어 있는 각각의 트레이 공급 부품이 트레이 공급 플레이트로부터 비산(飛散)하는 경우가 있으며, 이러한 경우에 있어서는 확실한 부품 공급이 저해되어서, 효율적인 부품 공급을 실행할 수 없다고 하는 문제가 있다. 또한, 작업자에 있어서, 매거진 카세트(750)에 각각의 플레이트(706)를 수용할 때에, 각각의 플레이트(706)의 상기 자세를 확인한다면, 이러한 문제 발생의 가능성을 저감(低減)하는 것도 가능하다고 생각되지만, 상기 확인을 위해서 작업 시간을 필요로 하는 것은, 각각의 플레이트(706)의 수용에 요하는 시간을 증대시키는 것으로 되고, 도리어 부품 공급의 효율화를 저해하는 것으로 되어버린다.
또한, 매거진 카세트(750)에 있어서, 각각의 홈부(750b) 간격의 협피치화는, 작업자에 의한 매거진 카세트(750)에의 각각의 플레이트(706)의 수용 시에, 도 43의 모식 설명도에 나타낸 바와 같이, 서로 대향하는 쌍인 조의 홈부(750b)에의 플레이트(706)의 지지 수용을 곤란하게 하고, 매거진 카세트(750)에 있어서, 플레이트(706)를 수평 지지 자세로 수용시키는 것이 곤란(즉, 경사 삽입 상태)하게 될 경우가 있다. 이러한 경우에 있어서는, 매거진 카세트(750)로부터의 상기 플레이트(706)의 취출 작업에 장해가 생기게 되어, 확실하고 또한 효율적인 부품 공급이 저해되게 된다.
또한, 상술한 바와 같이 매거진 카세트(750)에 있어서, 플레이트(706)가 경사진 지지 자세로 수용되고, 이 상태에서 플레이트(706)의 취출이 실행되는 경우에 있어서는, 확실한 취출을 실행하는 것이 곤란할 뿐만 아니라, 플레이트(706)의 각각의 단부를 지지하는 각각의 홈부(750b)와, 이 홈부와의 접촉에 의한 마찰 저항이, 정상적인 지지 자세로 수용되어 있는 경우에 비해서 커지고, 이것에 의해 플레이트(706)의 단부 혹은 홈부(750b)가 깎아져서, 절삭분이 발생하는 것으로 된다. 이러한 경우에 있어서는, 이 발생한 절삭분이 부품의 표면 등에 부착되어, 고정밀도인 부품 실장을 위한 확실한 부품 공급이 저해되는 경우가 있다고 하는 문제도 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 상기 문제를 해결함에 있어, 복수의 부품이 배치된 복수의 부품 공급용 플레이트를 단(段)으로 적층해서 수용하는 부품 공급용 플레이트 수용체에 있어서, 부품 공급용 플레이트의 수용 자세에 기인하는 제문제(諸問題)를 해결하고, 상기 수용되어 있는 각각의 플레이트의 취출을 확실하고, 또한 효율적으로 실행할 수 있는 부품 공급용 플레이트 수용체 및 부품 공급 장치를 제공하는 것에 있다.
(과제를 해결하기 위한 수단)
상기 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 이하와 같이 구성한다.
본 발명의 제1특징에 의하면, 기판에 실장되는 복수의 부품을 공급 가능하게 배치하는 복수의 부품 공급용 플레이트의 서로 대향하는 단부(端部)를 지지함으로써, 대략 수평 지지 자세로 상기 각각의 플레이트를, 상기 플레이트의 표면을 따르는 하나의 방향인 플레이트 공급 방향을 따라서 이동 안내 가능하게 지지하는 복수의 쌍의 조(組)를 형성하는 지지 안내부와,
상기 각각의 지지 안내부 중에서, 상기 각각의 쌍의 조를 형성하는 상기 각각의 지지 안내부를, 다른 쌍의 조를 형성하는 상기 각각의 지지 안내부로부터 식별 가능하고, 상기 플레이트 공급 방향에서 육안 인식 가능하게, 상기 방향에 있어서의 상기 각각의 지지 안내부의 단부 또는 그 근방에 배치된 식별 마크부를 구비하고,
상기 각각의 식별 마크부에 의해 식별된 상기 각각의 쌍의 조의 지지 안내부에 상기 플레이트의 단부를 지지시켜서, 상기 각각의 플레이트를 복수 단으로 적층해서 수용 가능하고, 이 수용된 부품 공급용 플레이트를 상기 각각의 지지 안내부에 의해 안내하면서 상기 플레이트 공급 방향을 따라 이동시킴으로써, 상기 플레이트에 배치된 상기 각각의 부품 공급을 위해서 상기 부품 공급용 플레이트를 취출 가능하게 하는 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제2특징에 의하면, 상기 각각의 플레이트의 교환이 실행되는 플레이트 교환용 개구부를 구비하고,
상기 각각의 식별 마크부는 상기 플레이트 교환용 개구부에서 육안 인식 가능하게 배치되는 제1특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제3특징에 의하면, 상기 각각의 식별 마크부는, 상기 각각의 지지 안내부의 상기 단부 또는 그 근방의 형상의 일부가 가공되어서 형성되는 제1특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제4특징에 의하면, 상기 식별 마크부가 배치된 상기 1쌍의 조의 지지 안내부와, 이 식별 마크부가 배치되지 않은 상기 1쌍의 지지 안내부가, 상하 방향에 번갈아 배치되는 제1특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제5특징에 의하면, 상기 각각의 지지 안내부의 조 사이에 배치되어, 상기 각각의 플레이트와 걸려 맞추어짐으로써, 상기 플레이트 공급 방향에 있어서의 상기 각각의 플레이트의 지지 자세를 안내하는 복수의 자세 안내부를 추가로 구비하는 제1특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제6특징에 의하면, 개폐 가능한 상기 각각의 플레이트 교환용의 문부를 갖추고, 상기 각각의 자세 안내부는 상기 문부의 내측에 구비되는 제5특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제7특징에 의하면, 상기 문부의 개폐를 검출하는 개폐 검출 센서를 구비하는 제6특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제8특징에 의하면, 상기 수용되는 각각의 플레이트에 있어서의 상기 각각의 지지 안내부와의 접촉 부분에, 활면부(滑面部)가 형성되어 있는 제1특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제9특징에 의하면, 상기 각각의 플레이트의 상기 이동 방향과 대략 직교하는 방향에 있어서의 상기 각각의 조의 지지 안내부에의 상기 각각의 플레이트의 삽입 위치와, 상기 각각의 조의 지지 안내부에 의한 지지 위치와의 사이의 위치 편차를 보정 가능하게, 상기 각각의 조의 지지 안내부의 삽입 단부에, 상기 이동 방향에 대한 경사부가 형성되어 있는 제1특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제10특징에 의하면, 상기 각각의 플레이트와 상기 각각의 지지 안내부와의 상호 접촉 표면에 있어서의 각각의 경도(硬度)가, 상기 각각의 플레이트보다도 상기 각각의 지지 안내부가 낮게 되도록, 상기 각각의 접촉 표면이 형성되는 제8특징 또는 제9특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제11특징에 의하면, 상기 각각의 플레이트와 상기 각각의 지지 안내부와의 상호 접촉 표면에 있어서의 각각의 경도가, 상기 각각의 지지 안내부보다도 상기 각각의 플레이트가 낮게 되도록, 상기 각각의 접촉 표면이 형성되는 제8특징 또는 제9특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제12특징에 의하면, 상기 각각의 지지 안내부는, 상기 각각의 플레이트의 단부를 지지하면서, 이 단부의 표면을 따라 회전 가능한 롤러부를 구비하는 제8특징 또는 제9특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제13특징에 의하면, 상기 부품 공급용 플레이트 수용체의 지지를 실행하는 기초대에의 지지 면에, 이 지지 위치를 고정하는 복수의 고정부를 구비하고, 적어도 1개의 상기 고정부가, 도전성 재료로 형성되어, 접지 단자부(端子部)로서의 기능을 갖는 제1특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제14특징에 의하면, 상기 각각의 부품 공급용 플레이트는, 상기 각각의 부품으로서 복수의 웨이퍼 공급 부품이 배치된 웨이퍼를 탑재하는 웨이퍼 공급용 플레이트, 또는 상기 각각의 부품으로서 복수의 트레이 공급 부품이 배치된 부품 공급 트레이를 탑재하는 트레이 공급용 플레이트이며,
상기 웨이퍼 공급용 플레이트 및 상기 트레이 공급용 플레이트가, 혼재해서 단으로 적층 수용되는 제1특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제15특징에 의하면, 제14특징에 기재한 상기 부품 공급용 플레이트 수용체와,
상기 각각의 플레이트 중 어느 하나의 상기 플레이트를 선택적으로 배치시켜서 유지하고, 상기 웨이퍼로부터 웨이퍼 공급 부품을, 또는, 상기 부품 공급 트레이로부터 상기 트레이 공급 부품을 공급 가능한 상태로 되게 하는 플레이트 배치 장치와,
상기 플레이트를 해제 가능하게 유지하여, 상기 플레이트 수납부로부터 꺼냄과 더불어, 상기 플레이트 배치 장치에 유지 가능하게 이동시키는 플레이트 이동 장치를 구비하는 부품 공급 장치를 제공한다.
본 발명의 제16특징에 의하면, 기판에 실장되는 복수의 부품을 공급 가능하게 배치하는 복수의 부품 공급용 플레이트의 서로 대향하는 단부를 지지함으로써, 대략 수평 지지 자세로 상기 각각의 플레이트를, 상기 플레이트의 표면을 따르는 하나의 방향인 플레이트 공급 방향을 따라서 이동 안내 가능하게 지지하는 복수의 쌍의 조를 형성하는 지지 안내부와,
상기 각각의 지지 안내부의 조 사이에 배치되어, 상기 각각의 플레이트와 걸려 맞추어짐으로써, 상기 플레이트 공급 방향에 있어서의 상기 각각의 플레이트의 지지 자세를 안내하는 복수의 자세 안내부를 구비하고,
상기 각각의 자세 안내부에 의해 상기 각각의 플레이트의 지지 자세를 안내하면서, 상기 각각의 쌍의 조의 지지 안내부에 상기 플레이트의 단부를 지지시켜서, 상기 각각의 플레이트를 복수 단으로 적층해서 수용 가능하며, 이 수용된 부품 공급용 플레이트를 상기 각각의 지지 안내부에 의해 안내하면서 상기 플레이트 공급 방향을 따라 이동시킴으로써, 이 플레이트에 배치된 상기 각각의 부품 공급을 위해서 상기 부품 공급용 플레이트를 취출 가능하게 하는 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제17특징에 의하면, 상기 각각의 플레이트 교환을 위해 개폐 가능한 문부를 갖추고, 상기 각각의 자세 안내부는 상기 문부의 내측에 구비되는 제16특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
본 발명의 제18특징에 의하면, 상기 문부의 개폐를 검출하는 개폐 검출 센서를 구비하는 제17특징에 기재한 부품 공급용 플레이트 수용체를 제공한다.
(발명의 효과)
본 발명의 상기 제1특징에 의하면, 부품 공급용 플레이트 수용체에 있어서, 각각의 플레이트를 대략 수평 지지 자세로 지지하는 각각의 지지 안내부 중에서, 쌍의 조를 형성하는 상기 각각의 지지 안내부를, 그 상단 및 하단에 있어서 다른 쌍의 조를 형성하는 상기 각각의 지지 안내부로부터 식별 가능한 복수의 식별 마크부가 구비되어 있음으로써, 작업자가 상기 플레이트를 이 플레이트 수용체 내에 수용할 때 등에 있어서, 이 플레이트를 경사 삽입 수용해버리는 것을, 시각적으로 확실하게 방지할 수 있다.
또한, 이러한 상기 각각의 식별 마크부가, 상기 플레이트 수용체에 있어서의 플레이트 공급 방향에서 상기 작업자가 육안 인식 가능하게, 상기 방향에 있어서의 상기 각각의 지지 안내부의 단부 또는 그 근방에 배치되어 있음으로써, 이 작업자에 의한 시각적인 식별을 구체적으로 실현할 수 있다.
따라서, 이러한 경사 삽입 수용의 발생을 미연(未然)에 방지할 수 있고, 확실한 상기 플레이트의 공급을 실현할 수 있어, 효율적인 부품 공급을 실현할 수 있다. 또한, 경사 삽입 수용이 실행된 상기 플레이트가 꺼내질 경우에 생기는 절삭분의 발생을 확실하게 방지할 수 있어, 청정화 환경에 있어서의 상기 부품 공급의 실현을 통해서, 고정밀도 부품 실장에 더욱 적합한 부품 공급을 실행할 수 있다.
본 발명의 상기 제2특징에 의하면, 상기 플레이트 수용체가, 상기 각각의 플레이트의 교환이 실행되는 플레이트 교환용 개구부를 구비하고, 상기 각각의 식별 마크부가 이 플레이트 교환용 개구부로부터 육안 인식 가능하게 배치되어 있음으로써, 상기 플레이트 수용체에의 상기 각각의 플레이트의 교환 작업을 실행하는 작업자가, 상기 수용되는 각각의 플레이트의 지지 자세와, 상기 각각의 식별 마크부와의 배치 관계에 의해, 시각적으로 이 지지 자세의 이상(異常) 유무를 육안 인식할 수 있어, 상기 플레이트 수용체에 상기 각각의 플레이트를 대략 수평 지지 자세로 확실하게 수용할 수 있다.
본 발명의 상기 제3특징에 의하면, 상기 각각의 식별 마크부가, 상기 각각의 지지 안내부의 상기 단부의 형상의 일부를 가공하는 것으로 형성되어 있음으로써, 예를 들면, 시일(seal)이나 도장(塗裝)을 시행하는 것 등에 의해 모양적인 마크부를 형성하는 경우보다도, 용이하게 상기 각각의 식별 마크부를 형성할 수 있다.
본 발명의 상기 제4특징에 의하면, 상기 각각의 식별 마크부가, 상기 각각의 지지 안내부의 조에 있어서, 번갈아 형성되어 있음으로써, 상기 각각의 지지 안내부가 협소화된 간격 피치로 형성되어 있는 경우이어도, 그 식별성을 더욱 높일 수 있어, 상기 각각의 플레이트의 지지 자세를 확실하게 인식할 수 있다.
또한, 본 발명의 그 밖의 특징에 의하면, 상기 플레이트 수납체가, 상기 각각의 지지 안내부의 조 사이에 배치되어, 상기 각각의 플레이트와 걸려 맞추어짐으로써, 상기 각각의 플레이트의 상기 플레이트 공급 방향에 있어서의 지지 자세, 즉 수평 방향의 지지 자세를 안내하는 복수의 자세 안내부를 추가로 구비함으로써, 상기 플레이트 수납체에의 상기 플레이트의 수납 자세를 정상적인 상태로 유지할 수 있어, 상기 플레이트 수납체에 대한 상기 각각의 플레이트의 수납 및 취출을 원활하게 실행할 수 있다.
또한, 이러한 상기 각각의 자세 안내부가, 상기 플레이트 수납체의 문부의 내측에 구비되는 것에 의해, 상기 문의 폐지(閉止)를 실행함으로써, 상기 각각의 플레이트와 상기 자세 안내부를 걸어 맞출 수 있어, 상기 수평 방향의 자세를 정상적인 상태로 할 수 있다.
또한, 상기 문부의 개폐를 검출하는 개폐 검출 센서를 추가로 구비함으로써, 이 개폐 검출 센서에 의해 상기 문의 폐지가 검출되었을 경우에만, 상기 각각의 플레이트가 정상적인 자세로 수납된 것으로 판단할 수 있어, 상기 플레이트의 수납 자세를 효율적으로 관리할 수 있다.
또한, 상기 각각의 플레이트에 있어서의 상기 각각의 지지 안내부와의 접촉 부분이, 상기 활면부를 구비하고 있음으로써, 상기 접촉 부분에 생기는 마찰력을 저감할 수 있어, 이 접촉 마모에 의해 절삭분 등이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 이러한 절삭분의 발생은, 부품 공급 장치에 있어서의 유지 보수성을 저하시킴과 더불어, 각각의 부품의 기판 등에 대한 실장 면을 오염시키는 등의 기능적 문제도 발생하는 경우가 있기 때문에, 이러한 문제의 발생 빈도를 현저하게 저감할 수 있다. 예를 들면, 상기 각각의 플레이트 중 웨이퍼 공급용 플레이트와, 그 중량이 비교적 무겁고, 상기 절삭분의 발생을 일으킬 우려가 있는 상기 트레이 공급용 플레이트를, 혼재해서 공급하는 경우에 있어서도, 부품 공급 장치에 있어서의 유지 보수성의 향상을 도모할 수 있어, 효율적인 부품 공급을 실현할 수 있다.
또한, 각각의 조의 지지 안내부의 삽입 단부에, 상기 이동 방향에 대한 경사부가 형성되어 있음으로써, 상기 각각의 플레이트의 삽입 위치와, 상기 각각의 지지 안내부에 의한 지지 위치 사이의 위치 편차를 보정할 수 있어, 상기 플레이트 수납부에의 확실하고, 또한 안정적인 상기 각각의 플레이트의 수납을 실현할 수 있다. 또한, 이러한 상기 경사부의 형성은, 상기 각각의 지지 안내부를 따른 상기 플레이트의 삽입 이동을 원활하게 할 수 있어, 상기 절삭분의 발생량을 저감하는 것에도 기여할 수 있다.
또한, 상기 각각의 플레이트를 상기 각각의 지지 안내부와의 상호 접촉 표면에 있어서의 경도가, 상기 각각의 플레이트보다도 상기 각각의 지지 안내부를 낮게 하도록, 상기 각각의 지지 안내부가 형성됨으로써, 상호 접촉에 의한 절삭분의 발생량을 저감할 수 있다.
또한, 반대로, 상기 각각의 경도가, 상기 각각의 지지 안내부보다도 상기 각각의 플레이트를 낮게 하도록, 상기 각각의 플레이트가 형성되는 것이라도 마찬가지의 효과를 얻을 수 있음과 더불어, 범용성이 요구되는 상기 플레이트 수납체의 형성 재료를 표준 규격인 채로 할 수 있다.
본 발명의 이들 및 다른 목적과 특징은, 첨부된 도면에 관한 바람직한 실시형태에 관련한 다음의 기술로부터 명확하게 된다.
도 1은, 본 발명의 제1실시형태에 의한 전자부품 실장 장치의 사시도.
도 2는, 도 1의 전자부품 실장 장치가 구비하는 부품 공급 장치의 확대 반투과(半透過) 사시도.
도 3은, 부품 공급 장치의 리프터(lifter) 장치에 있어서의 매거진 카세트의 반투과 사시도.
도 4는, 부품 공급 장치에서 취급되는 웨이퍼 공급용 플레이트의 사시도.
도 5는, 부품 공급 장치에서 취급되는 트레이 공급용 플레이트의 사시도.
도 6은, 리프터 장치에 있어서의 카세트 승강부의 사시도.
도 7은, 부품 공급 장치의 플레이트 배치 장치의 사시도.
도 8은, 플레이트 배치 장치에 웨이퍼 공급용 플레이트가 배치된 상태의 단면도.
도 9는, 플레이트 배치 장치에 트레이 공급용 플레이트가 배치된 상태의 단면도.
도 10은, 플레이트 배치 장치의 부분 확대 사시도.
도 11은, 플레이트 배치 장치에 있어서의 중간 스토퍼(stopper) 구동부의 모식 설명도.
도 12는, 부품 공급 장치에 있어서의 플레이트 이동 장치의 사시도.
도 13은, 매거진 카세트의 모식 측면도이며, 대략 수평 지지 자세로 플레이트가 지지되어 있는 상태를 나타내는 도면.
도 14는, 매거진 카세트의 모식 측면도이며, 경사 삽입 상태의 지지 자세로 플레이트가 지지되어 있는 상태를 나타내는 도면.
도 15는, 매거진 카세트의 측벽부(側壁部)의 단면을 나타내는 모식도.
도 16은, 도 15의 매거진 카세트에 있어서, 이 측벽부가 2층 구조로 형성되어 있는 상태를 나타내는 도면.
도 17은, 매거진 카세트의 측벽부의 단면을 나타내는 모식도이며, 홈상 형상을 갖는 식별 마크부가 형성되어 있는 상태를 나타내는 도면.
도 18은, 도 17의 매거진 카세트에 있어서, 이 측벽부가 2층 구조로 형성되어 있는 상태를 나타내는 도면.
도 19는, 매거진 카세트의 모식 사시도이며, 각각의 측벽부의 외주면(外周面)에 식별 마크부가 형성되어 있는 상태를 나타내는 도면.
도 20A는, 도 13의 매거진 카세트에 있어서의 각각의 측벽부의 단면을 나타내는 도면으로서, 좌측 측벽부의 단면을 나타내 도면.
도 20B는, 도 13의 매거진 카세트에 있어서의 각각의 측벽부의 단면을 나타내는 도면으로서, 우측 측벽부의 단면을 나타내는 도면.
도 21은, 본 발명의 제2실시형태에 의한 부품 공급 장치의 확대 반투과 사시도.
도 22는, 부품 공급 장치가 구비하는 매거진 카세트의 측벽부의 단면도.
도 23A는, 매거진 카세트의 홈부의 측면도.
도 23B는, 매거진 카세트의 홈부의 정면도.
도 24는, 트레이 공급 플레이트의 외관 사시도.
도 25는, 도 24의 트레이 공급 플레이트가 홈부에 의해 지지된 상태를 나타내는 모식 단면도.
도 26은, 상기 제2실시형태의 변형예에 의한 홈부의 형태를 나타내는 부분 단면도이며, 롤러부를 구비하는 홈부의 형태를 나타내는 도면.
도 27은, 플레이트 압압체(押壓體)에 롤러부가 구비된 상태의 부분 단면도.
도 28은, 상기 제2실시형태의 변형예에 의한 트레이 공급 플레이트의 사시도.
도 29는, 도 28의 트레이 공급 플레이트의 측면도.
도 30은, 본 발명의 제3실시형태에 의한 매거진 카세트의 모식적인 측면도.
도 31은, 도 30의 매거진 카세트에 수납된 플레이트가 꺼내지는 상태를 나타내는 모식 설명도.
도 32는, 도 30의 매거진 카세트가 구비하는 자세 안내부의 확대 평면도.
도 33은, 도 30의 매거진 카세트의 플레이트 취출 방향 측에서 본 측면도.
도 34는, 도 33의 매거진 카세트의 V-V선 단면도.
도 35는, 상기 제3실시형태의 변형예에 의한 매거진 카세트의 구성을 설명하기 위한 비교 대상의 매거진 카세트의 모식 사시도.
도 36은, 상기 제3실시형태의 변형예에 의한 매거진 카세트의 모식 사시도.
도 37은, 도 36의 매거진 카세트의 구성을 나타내는 단면도적인 모식도.
도 38A는, 매거진 카세트의 본체에 있어서의 개폐 커버부용의 각각의 개구 단부의 좌측 단부를 나타내는 도면.
도 38B는, 매거진 카세트의 본체에 있어서의 개폐 커버부용의 각각의 개구 단부의 우측 단부를 나타내는 도면.
도 39는, 플레이트 교환 작업 공정의 순서를 나타내는 흐름도.
도 40은, 매거진 카세트의 저부(底部)를 나타내는 도면.
도 41은, 상기 제2실시형태의 식별 마크부가 형성된 상기 제3실시형태의 매거진 카세트의 모식도.
도 42는, 종래의 매거진 카세트의 모식 설명도이며, 플레이트 취출 방향에 대하여 수평 방향으로 플레이트가 경사진 상태에서, 이 플레이트가 꺼내져 있는 상태를 나타내는 도면.
도 43은, 종래의 매거진 카세트에 비스듬한 자세로 플레이트가 수용된 상태를 나타내는 모식 설명도.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
2: 전자부품 2w: 웨이퍼 공급 부품
2t: 트레이 공급 부품 4: 부품 공급 장치
5: 실장부 6: 플레이트
6w: 웨이퍼 공급용 플레이트 6t: 트레이 공급용 플레이트
7: 웨이퍼 8: 웨이퍼 시트(wafer seat)
9: 웨이퍼 링(wafer ring) 10: 리프터 장치
12: 플레이트 배치 장치 40: 플레이트 이동 장치
50: 매거진 카세트 51: 카세트 승강부
52: 기초대 57: 부품 공급 트레이
58: 트레이 탑재부 59: 트레이 링
101: 전자부품 실장 장치 114, 124, 134: 식별 마크부
C: 플레이트 취출 방향
본 발명의 설명을 계속하기 전에, 첨부 도면에 있어서 동일한 부품에 대해서는 동일한 참조 부호를 첨부하고 있다.
이하에, 본 발명에 의한 실시형태를 도면에 근거해서 상세히 설명한다.
(제1실시형태)
본 발명의 제1실시형태에 의한 부품 공급 장치의 일례인 부품 공급 장치(4)를 구비하고, 이 부품 공급 장치(4)로부터 공급된 부품을 기판에 실장하는 부품 실장 장치의 일례(一例)인 전자부품 실장 장치(101)의 사시도를 도 1에 나타낸다. 부품 공급 장치(4)에 대한 상세한 구조나 동작의 설명을 실행하기에 앞서, 이러한 부품 공급 장치(4)를 구비하는 전자부품 실장 장치(101)의 전체적인 구성 및 동작에 대한 설명을, 도 1을 이용해서 실행한다.
(전자부품 실장 장치에 대해서)
도 1에 나타낸 바와 같이, 전자부품 실장 장치(101)는, 부품의 일례인 칩(chip) 부품이나 베어 IC 칩(bare IC chip) 등의 전자부품(2)을 기판에 실장하는 실장 동작을 실행하는 장치이며, 대별해서, 복수의 전자부품(2)을 공급 가능하게 수용하는 부품 공급 장치(4)와, 이 부품 공급 장치(4)로부터 공급되는 각각의 전자부품(2)을 기판에 실장하는 실장 동작을 실행하는 실장부(5)를 구비하고 있다.
도 1에 나타내는 부품 공급 장치(4)에 있어서는, 기판에 실장되는 다수의 전 자부품(2) 중 웨이퍼 공급 부품(2w)(부품의 일례)이 복수 배치된 웨이퍼를 그 상면에 탑재하는 웨이퍼 공급용 플레이트와, 상기 다수의 전자부품(2) 중 트레이 공급 부품(2t)(부품의 일례)이 격자 상태로 배열되어서 수용 배치된 부품 공급 트레이를 그 상면에 복수 탑재하는 트레이 공급용 플레이트를 혼재해서 상기 각각의 플레이트를 선택적으로 공급 가능하게 수납하고 있는 플레이트 수납부의 일례인 리프터 장치(10)가, 부품 공급 장치(4)의 도시한 Y축 방향 앞쪽에 설치되어 있다. 또한, 이후의 설명에 있어서, 상기 웨이퍼 공급용 플레이트 또는 상기 트레이 공급용 플레이트를 한정해서 이용하지 않을 경우에는, 상기 각각의 플레이트(부품 공급용 플레이트의 일례)로서 기재하는 것으로 하고, 또한, 웨이퍼 공급 부품(2w) 또는 트레이 공급 부품(2t)을 한정해서 이용하지 않을 경우에는, 전자부품(2)(부품의 일례)으로서 기재하는 것으로 한다. 또한, 상기 각각의 플레이트 등의 구성의 설명에 대해서는, 후술하는 것으로 한다. 또한, 웨이퍼 공급 부품(2w)으로서는, 주로 웨이퍼가 다이싱(dicing)됨으로써 형성되는 베어 IC 칩 등이 있으며, 또한, 트레이 공급 부품(2t)으로서는, 상기 베어 IC 칩 및 상기 베어 IC 칩 이외의 IC 칩(예를 들면, 패키지가 실시된 IC 칩 등)이나 칩 부품 등이 있다.
또한, 부품 공급 장치(4)에는, 리프터 장치(10)로부터 선택적으로 공급되는 상기 각각의 플레이트를 배치하고, 각각에서 전자부품(2)을 취출 가능한 상태로 되게 하는 플레이트 배치 장치(12)가 구비되어 있다. 또한, 리프터 장치(10)로부터 상기 웨이퍼 공급용 플레이트가 공급되어서, 플레이트 배치 장치(12)에 배치되는 경우에는, 플레이트 배치 장치(12)에 있어서, 상기 웨이퍼 공급용 플레이트에 탑재 되어 있는 웨이퍼에 대하여 익스팬드(expand) 동작이 실시된다.
또한, 부품 공급 장치(4)에는, 플레이트 배치 장치(12) 상에 선택적으로 배치된 상기 플레이트 상에 탑재되어 있는 상기 웨이퍼 혹은 상기 부품 공급 트레이로부터 전자부품(2)을 개별적으로 흡착 보유하고, 실장부(5)를 향해서 도시한 X축 방향을 따라 이동시킴과 더불어, 상기 흡착 보유한 전자부품(2)을 상하 방향으로 반전시키는 반전 헤드 장치(14)가 구비되어 있다. 또한, 이러한 반전 헤드 장치(14)를 부품 공급 장치(4)가 구비하고 있는 경우 대신에, 부품 공급 장치(4)와는 별도 구성의 장치로서, 부품 공급 장치(4)와 함께, 전자부품 실장 장치(101)에 구비되어 있는 경우이어도 좋다.
또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 실장부(5)에는, 전자부품(2)을 흡착 보유해서 기판에 실장하는 실장 헤드부(20)가 구비되어 있다. 또한, 서로 도시한 X축 방향을 따라서 배치된 위치로서, 반전 헤드 장치(14)에 의해 보유된 전자부품(2)이 실장 헤드부(20)에 수도(受渡) 가능한 위치인 부품 공급 위치와, 기판에 대한 전자부품(2)의 실장 동작이 실행되는 기판 실장 영역과의 사이에서, 실장 헤드부(20)를 지지하면서, 도시한 X축 방향을 따라 진퇴(進退) 이동시키는 이동 장치의 일례인 X축 로봇(22)이, 추가로 실장부(5)에 구비되어 있다.
또한, 실장 헤드부(20)는, 보이스 코일 모터(voice coil motor) 등의 이동 수단으로 승강 구동 가능하며, 또한, 흡착 보유한 전자부품(2)을 통하여, 압압(押壓) 에너지나 초음파 진동 에너지나 열 에너지 등의 접합 에너지를, 전자부품(2)과 기판의 접합부에 부여할 수 있도록 구성된 유지부(도시하지 않음)를 구비하고 있 어, 전자부품(2)을 기판에 대하여 가압하면서 상기 접합 에너지를 부여하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, X축 로봇(22)은, 예를 들면, 볼 나사 축부와 이 볼 나사 축부에 나사 결합된 너트부를 이용한 이동 기구(도시하지 않음)가 구비되어 있다.
또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 실장 헤드부(20) 및 X축 로봇(22)의 아래쪽에 있어서의 실장부(5)의 기초대(24) 상에는, 기판을 도시한 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동 가능하고, 또한, 실장 헤드부(20)에 대한 기판 상에 있어서의 전자부품(2)이 실장되는 위치의 위치 결정을 실행하는 XY 테이블(26)이 배치되어 있다. 이 XY 테이블(26)은, 도시한 X축 방향과 Y축 방향의 각각에, 예를 들면 서보 모터로 이동 구동함과 더불어, 리니어 스케일을 이용해서 풀 클로즈(full close) 제어로 위치 결정하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 이 XY 테이블(26)의 상면에는, 기판을 해제 가능하게 유지해서 고정하는 기판 유지대(28)가 설치되어 있다. 또한, 도 1에 있어서, X축 방향과 Y축 방향은, 기판의 표면을 따르는 방향이며, 또한, 서로 직교하는 방향이다.
또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 전자부품 실장 장치(101)에는, 기초대(24)의 상면에 있어서의 도시한 Y축 방향 앞쪽의 단부에 있어서, 도시한 X축 방향 좌향(左向)의 방향인 기판 반송 방향 B를 따라 기판을 반송하고, 기판 유지대(28)에의 기판의 공급 및 기판 유지대(28)로부터의 기판의 배출을 실행하는 기판 반송 장치(30)가 구비되어 있다. 기판 반송 장치(30)는, 전자부품 실장 장치(101)의 도시한 X축 방향 우측의 단부로부터 XY 테이블(26) 상의 기판 유지대(28)까지, 기판을 반송해서 공급하는 로더(loader)부의 일례인 로더(32)와, 기판 유지대(28)로부터 전자부품 실장 장치(101)의 도시한 X축 방향 좌측의 단부까지, 기판을 반송해서 배출하는 언로더(unloader)부의 일례인 언로더(34)를 구비하고 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서는, 전자부품 실장 장치(101)에 있어서의 XY 테이블(26)이, 기판 반송 장치(30)가 구비하는 기판 유지 이동 장치와 겸용되어 있는 예로 되어 있다. 또한, XY 테이블(26)과 기판 지지대(28)가, 기판의 상기 이동 및 유지를 실행하는 기판 유지 이동 장치의 일례로 되어 있다. 또한, 이렇게 겸용되어 있는 경우 대신에, 전자부품 실장 장치(101)에 있어서의 XY 테이블(26)과는 별도로, 기판 유지 이동 장치가 기판 반송 장치(30)에 구비되어 있는 경우이어도 좋다.
또한, 도 1에 나타내는 전자부품 실장 장치(101)는, 이 구성의 설명의 편의를 고려하여, 기초대(24) 상면 전체를 덮고 있는 케이싱 커버가 떼어진 상태의 사시도로 되어 있다.
이어서, 이러한 구성을 갖는 전자부품 실장 장치(101)에 있어서의 전자부품(2)의 기판에의 실장 동작에 대해서 설명한다.
도 1의 전자부품 실장 장치(101)에 있어서, 기초대(24) 상에 있어서의 로더(32) 및 언로더(34)의 사이에 위치하도록, 기판 유지대(28)가 XY 테이블(26)에 의해 이동된다. 이와 함께, 전자부품 실장 장치(101)에서 각각의 전자부품(2)의 실장이 실행되어야 할 기판이, 예를 들면, 전자부품 실장 장치(101)에 인접하는 다른 장치 등으로부터 기판 반송 장치(30)의 로더(32)에 공급되고, 로더(32)에서 기판 반송 방향 B로 기판이 반송되어서, 이 기판이 기판 유지대(28)에 공급되어 유지된다. 그 후, XY 테이블(26)이 도시한 X축 방향 또는 Y축 방향으로 이동되어서, 기판이 상기 기판 실장 영역으로 이동된다.
한편, 부품 공급 장치(4)에서, 리프터 장치(10)에 수납되어 있는 각각의 플레이트로부터 1장의 플레이트가 선택되어서 꺼내져, 플레이트 배치 장치(12)에 배치된다. 그 후, 상기 배치된 플레이트로부터 전자부품(2)이 반전 헤드 장치(14)에 의해 흡착 보유되어서 꺼내짐과 더불어, 이 전자부품(2)이, 반전되어서 상기 부품 공급 위치까지 이동된다. 또한, 실장부(5)에서 실장 헤드부(20)가, X축 로봇(22)에 의해, 상기 부품 공급 위치까지 이동되어서, 반전 헤드 장치(14)로부터 실장 헤드부(20)에 전자부품(2)이 수도된다. 그 후, 상기 수도된 전자부품(2)을 흡착 보유한 상태의 실장 헤드부(20)가, X축 로봇(22)에 의해, 상기 기판 실장 영역의 위쪽으로 이동된다.
그 후, 실장 헤드부(20)에 의해 흡착 보유되어 있는 전자부품(2)과, 기판 유지대(28)에 의해 유지되어 있는 기판에 있어서의 전자부품(3)이 실장되어야 할 위치와의 위치 맞춤이, XY 테이블(26)의 이동에 의해 실행된다. 이 위치 맞춤 후, 실장 헤드부(20)의 승강 동작 등이 실행되고, 전자부품(2)의 기판에의 실장 동작이 실행된다. 복수의 전자부품(2)의 상기 실장 동작이 실행되는 경우에 있어서는, 상기 각각의 동작이 반복해서 실행됨으로써, 각각의 전자부품(2)의 실장 동작이 실행된다.
그 후, 각각의 전자부품(2)의 상기 실장 동작이 종료되면, 각각의 전자부품(2)이 실장된 상태의 기판이, 기판 유지대(28)와 함께, XY 테이블(26)에 의해, 로더(32)와 언로더(34)와의 상기 사이의 위치까지 이동되어서, 기판 유지대(28)로부터 기판이 언로더(34)에 수도되고, 언로더(34)에서 기판이 기판 반송 방향 B를 따라 반송되어서, 전자부품 실장 장치(101)로부터 기판이 배출된다. 상기 배출된 기판은, 예를 들면, 전자부품 실장 장치(101)에 인접해서 설치되어 있는 상기 부품 실장의 다음 처리 등을 실행하는 다른 장치에 공급되거나, 부품 실장이 완료된 기판으로서 기판 수납 장치 등에 수납되거나 한다.
이렇게 해서, 전자부품 실장 장치(101)에 있어서, 각각의 전자부품(2)의 기판에의 실장 동작이 실행된다. 또한, 각각의 전자부품(2)이 실장된 기판이 언로더(34)에 의해 배출된 후, 새로운 다른 기판이 로더(32)에 의해 공급됨으로써, 순차적으로 공급되는 각각의 기판에 대하여 각각의 전자부품(2)의 실장이 실행된다.
(부품 공급 장치에 대해서)
이어서, 이러한 구성 및 부품 실장 동작을 실행하는 전자부품 실장 장치(101)가 구비하는 부품 공급 장치(4)의 상세한 구성에 대해서, 특히, 리프터 장치(10) 및 플레이트 배치 장치(12)와 이들에 관련되는 구성을 중심으로 설명한다. 또한, 이러한 부품 공급 장치(4)에 있어서의 리프터 장치(10) 및 플레이트 배치 장치(12)의 반투과 사시도를 도 2에 나타낸다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 부품 공급 장치(4)는, 상술한 리프터 장치(10)와 플레이트 배치 장치(12)에 추가해서, 또한, 리프터 장치(10)에 수납되어 있는 각각의 플레이트를 유지해서 꺼내고, 플레이트 배치 장치(12)에 배치하도록, 상기 플레이트의 이동을 실행하는 플레이트 이동 장치(40)를 구비하고 있다. 또한, 플레이트 이동 장치(40)는, 플레이트 배치 장치(12)에 배치된 플레이트를 유지해서, 다시 리프터 장치(10)에 수납하도록, 상기 플레이트의 이동을 실행하는 것이 가능하게 되어 있다.
우선, 리프터 장치(10)는, 복수의 상기 웨이퍼 공급용 플레이트 및 복수의 상기 트레이 공급용 플레이트를 혼재해서, 상하 방향에 적층적으로 수납하는 상자체상의 형상을 갖는 부품 공급용 플레이트 수용체(혹은 플레이트 수용 유닛)의 일례인 매거진 카세트(50)와, 이 매거진 카세트(50)를 지지함과 더불어, 매거진 카세트(50)의 승강 동작을 실행하고, 매거진 카세트(50)에 수납되어 있는 상기 각각의 플레이트 중 1장의 플레이트를, 플레이트 이동 장치(40)에 의해 취출 가능한 승강 높이 위치에 위치시키는 수납체 승강부의 일례인 카세트 승강부(51)와, 카세트 승강부(51)를 부착할 수 있고, 또한, 카세트 승강부(51)에 의한 매거진 카세트(50)의 승강 동작을 안내 가능한 기초대(52)를 구비하고 있다.
여기서, 매거진 카세트(50)의 확대 사시도(반투과 사시도)를 도 3에 나타낸다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 매거진 카세트(50)에 있어서는, 도시한 C 방향이 플레이트 배치 장치(12)에의 상기 각각의 플레이트의 취출 방향(이후, 플레이트 취출 방향 C라고 함)으로 되어 있다. 또한, 매거진 카세트(50)는, 플레이트 취출 방향 C와 직교하는 방향에 있어서, 서로 대향하도록 측벽부(50a)가 각각 설치되어 있으며, 각각의 측벽부(50a)의 서로 대향하는 측면에 있어서, 플레이트 취출 방향을 따라 복수의 홈부(50b)가 형성되어 있다. 상기 각각의 플레이트(이후, 플레이트(6)라고 함)는, 그 상호 대향하는 양단부에 있어서, 각각의 측벽부(50a)의 홈부(50b)와 걸려 맞추어짐으로써, 매거진 카세트(50)에 유지되어서 수납되어 있다. 또한, 각각의 측벽부(50a)에 있어서 각각의 홈부(50b)는 일정한 간격 피치로 형성되어 있으며, 각각의 홈부(50b)에 걸려 맞추어져서 유지된 상태에서, 플레이트(6)는 그 표면이 대략 수평 상태로 되어 있다. 또한, 각각의 플레이트(6)는, 각각의 홈부(50b)의 형성 방향을 따라 안내되면서, 플레이트 취출 방향을 따라서 진퇴 이동(즉, 미끄럼 이동) 가능한 상태로 되어 있다. 또한, 매거진 카세트(50)에 있어서는, 수납되어 있는 각각의 플레이트(6)의 취출이 실행되기 때문에, 상기 취출의 장해가 되지 않도록, 플레이트 취출 방향 C 측에는 측벽부가 설치되어 있지 않고, 상시 개방된 상태로 되어 있다. 또한, 도 3에 있어서는, 도시한 위쪽에 수납되어 있는 플레이트(6)가 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)이고, 도시한 아래쪽에 수납되어 있는 플레이트(6)가 트레이 공급용 플레이트(6t)이다.
이어서, 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)의 사시도를 도 4에, 트레이 공급용 플레이트(6t)의 사시도를 도 5에 나타내고, 각각의 플레이트 구조에 대해서 설명한다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)는, 직선상(直線狀)의 부분과 곡선상(曲線狀)의 부분이 조합된 외주 부분을 갖는 대략 원반상(圓盤狀)의 형상을 갖추고 있다. 또한, 플레이트 취출 방향 C를 사이에 두고 서로 대향되는 각각의 단부는, 매거진 카세트(50)의 각각의 홈부(50b)와 걸려지는 것이 고려되어서, 상기 직선상의 외주 부분으로 되어 있다. 또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 웨이퍼 공급 플레이트(6w)는, 신축성을 갖는 시트(sheet)로서, 다이싱이 실시된 웨이퍼(7)가 그 상면에 첩착(貼着)되어서 탑재된 웨이퍼 시트(8)와, 환상(環狀) 플레이트로서, 그 환상의 내측에 웨이퍼(7)가 위치되도록, 웨이퍼 시트(8)를 그 외주 단부 근방에서 유지하는 웨이퍼 링(9)을 구비하고 있다. 이렇게 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)가 형성되어 있음으로써, 웨이퍼 시트(8)를 방사상(放射狀)으로 연신(延伸)시킴으로써, 격자 상태로 배치되어 있는 각각의 웨이퍼 공급 부품(2w)의 배치 위치도 방사상으로 연신시킬 수 있어, 소위 익스팬드(expand)를 실행하는 것이 가능하게 되어 있다.
한편, 도 5에 나타낸 바와 같이, 트레이 공급용 플레이트(6t)는, 상술한 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)와 마찬가지의 외경(外徑), 형상을 갖추고 있다. 이것에 의해, 공통의 매거진 카세트(50)에, 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)와 트레이 공급용 플레이트(6t)를 혼재해서 수납하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 도 5에 나타낸 바와 같이, 트레이 공급용 플레이트(6t)는, 웨이퍼 링(9)과 대략 동일한 외주 형상을 가짐과 더불어, 대략 정방형 형상의 내주 구멍부를 갖는 환상(環狀) 플레이트인 트레이 링(59)과, 이 트레이 링(59)의 상기 내주 구멍 부분에 부착되어 형성되고, 복수의 부품 공급 트레이(57)를 착탈(着脫) 가능하게 탑재하는 트레이 탑재부(58)를 구비하고 있다. 트레이 탑재부(58)는, 트레이 링(59)의 표면보다도 1단 낮아지도록 형성되어 있으며, 부품 공급 트레이(57)가 탑재되었을 경우에, 그 부품 공급 트레이(57)에 수납되어 있는 각각의 트레이 공급 부품(2t)의 상면 높이 위치가, 트레이 링(59)의 표면 높이 위치와 대략 동일하게 되도록 형성되어 있다. 이렇게 형성되어 있음으로써, 트레이 공급용 플레이트(6t)에 있어서의 트레이 공급 부품(2t)의 높이 위치를, 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)에 있어서의 웨이퍼 공급 부품(2w)의 높이 위치와 대략 동일한 높이 위치로 되어 있다. 또한, 도 5에 있어서는, 대략 정방형 형상의 평면 형상을 갖는 4개의 부품 공급 트레이(57)가 2열(列)로 배열되어서, 트레이 탑재부(58)에 탑재되어 있다. 또한, 트레이 탑재부(58)가 트레이 링(59)과 별도로 형성되어서, 트레이 링(59)의 내측에 부착되는 경우 대신에, 트레이 탑재부(58)가 트레이 링(59)과 일체적으로 형성되는 경우이어도 좋다. 또한, 도 5에 나타낸 바와 같이, 트레이 공급용 플레이트(6t)에 있어서의 트레이 링(59)의 플레이트 취출 방향 C 측의 단부 근방 위치가, 플레이트 이동 장치(40)에 의한 트레이 공급용 플레이트(6t)의 유지 위치로 되어 있으며, 또한, 이 부분에는, 트레이 공급용 플레이트(6t)를 식별하기 위한 식별 구멍(56)이 형성되어 있다. 또한, 도 4의 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)에 있어서도, 이 부분이 상기 유지 위치로 되어 있지만, 상기 식별을 위한 식별 구멍(56)은 설치되어 있지 않다. 후술하는 바와 같이, 식별 구멍(56)의 유무의 상위(相違)에 의해, 트레이 공급용 플레이트(6t)와 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)를 식별하기 위해서이다.
또한, 도 6에 나타낸 바와 같이, 리프터 장치(10)에 있어서의 카세트 승강부(51)는, 그 상면에 매거진 카세트(50)를 배치시켜서 지지하는 카세트 지지대(51a)가 구비되어 있다. 여기서 리프터 장치(10)에서 취급되는 매거진 카세트(50)에는, 복수 종류의 크기의 것이 있으며, 예를 들면, 크기가 6인치인 것, 8인치인 것, 또는, 12인치인 것이 있다. 이러한 각각의 매거진 카세트(50)의 크기의 상위를 검출하기 위해서, 카세트 지지대(51a)의 상면에는, 각각의 평면적인 크기의 상위를 검출하는 것을 가지고, 배치된 매거진 카세트(50)의 크기를 검출할 수 있는 6인치 카세트 검출 센서(53a), 8인치 카세트 검출 센서(53b), 및 12인치 카세트 검출 센서(53c)가 각각 설치되어 있다.
이어서, 플레이트 배치 장치(12)의 반투과 사시도를 도 7에 나타낸다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 플레이트 배치 장치(12)는, 배치되는 플레이트(6)를 그 외주부 근방에 있어서의 하면 측에서 지지 가능하고, 또한, 그 지지 높이 위치가 가변하는 복수의 탄성 지지 부재의 일례인 플레이트 지지부(60)와, 이러한 플레이트 지지부(60)에 의해 지지된 플레이트(6)를, 각각의 플레이트 지지부(60)의 상단과의 사이에 끼우도록, 그 상기 외주부 근방에 있어서의 상면 측에서 압압하여, 이 플레이트(6)의 지지 위치의 유지를 실행하는 플레이트 압압체(61)와, 이 플레이트 압압체(61)의 승강 동작을 실행하는 압압체 승강부(62)를 구비하고 있다.
또한, 도 7에 나타낸 바와 같이, 플레이트 압압체(61)는, 반원상(半圓狀)의 노치(notch) 부분을 구비하고, 이 노치 부분이 서로 동일 평면상에서 대향하도록 배치된 대칭 형상을 갖는 1쌍의 판상체(板狀體)로 되어 있다. 또한, 이렇게 상기 반원상의 노치 부분이 형성되어 있기 때문에, 각각의 플레이트 압압체(61)는, 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)의 웨이퍼 링(9)의 상면에만, 그 하면이 맞닿아져서 압압하는 것이 가능하게 되어 있으며, 또한 트레이 공급용 플레이트(6t)의 트레이 링(59)의 상면에만, 그 하면이 맞닿아져서 압압하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 플레이트 배치 장치(12)에 있어서는, 예를 들면, 4개의 플레이트 지지부(60)가 설치되어 있으며, 각각의 플레이트 지지부(60)는, 각각의 플레이트 압압체(61)의 웨이 퍼 링(9) 또는 트레이 링(59)을 압압하는 부분의 아래쪽에 배치되어 있다. 이것에 의해, 각각의 플레이트 지지부(60)에 의해, 웨이퍼 링(9) 또는 트레이 링(59)을 각각의 하면 측에서 지지하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 각각의 플레이트 지지부(60)는, 그 상부에 배치되는 웨이퍼 링(9) 또는 트레이 링(59)의 외주를 따라, 대략 균등한 간격으로 배치되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 도 7에 나타낸 바와 같이, 플레이트 배치 장치(12)는, 각각의 플레이트 지지부(60)가 배치되어 있는 원주 위 근방에 있어서의 도시한 Y축 방향 좌측에 있어서, 그 상단 측의 선단부(先端部)에, 테이퍼(taper) 형상의 경사 단부를 갖고, 이 경사 단부에 있어서 플레이트(6)의 단부가 맞닿아지는 별도의 탄성 지지 부재의 일례인 테이퍼 지지부(65)를 구비하고 있다.
또한, 플레이트 배치 장치(12)는, 웨이퍼 링(9)이 각각의 플레이트 지지부(60)에 지지된 상태의 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)에 있어서, 웨이퍼(7)의 외주와 웨이퍼 링(9)의 내주와의 사이에 있어서의 웨이퍼 시트(8)의 하면에 맞닿음 가능한 환상의 맞닿음 부분을 그 상단에 구비하는 익스팬드 부재(63)와, 이 익스팬드 부재(63)를 그 상면에서 고정해서 지지하는 배치 프레임(64)을 구비하고 있다. 또한, 플레이트 배치 장치(12)에 있어서는, 2개의 압압체 승강부(62)가, 배치 프레임(64)에 부착되어서 구비되어 있으며, 도 7에 있어서, 배치 프레임(64)의 도시한 X축 방향에 있어서의 각각의 측면에 부착되어 있다. 또한, 각각의 압압체 승강부(62)로부터, 각각의 플레이트 압압체(61)의 승강 동작이 일체적으로 실행되는 것으로 되어 있다.
이어서, 이러한 구성의 플레이트 배치 장치(12)에 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)가 배치된 상태인 이 배치 부분의 확대 단면도를 도 8에, 트레이 공급용 플레이트(6t)가 배치된 상태인 이 배치 부분의 확대 단면도를 도 9에 나타낸다.
우선, 도 8에 나타낸 바와 같이, 환상 형상을 갖는 익스팬드 부재(63)는, 하부에 외주 방향을 향해서 형성된 플랜지부(63b)를 구비하고 있으며, 각각의 플레이트 지지부(60) 및 테이퍼 지지부(65)는, 이 플랜지부(63b)에 승강 가능하게 부착되어 있다. 플레이트 지지부(60)는, 그 상부 선단에 평평상(平平狀) 또는 완만한 융기상(隆起狀)의 형상을 갖는 지지 단부(60a)를 구비하는 축상(軸狀)의 지지 핀(pin)(60b)과, 플랜지부(63b)에 대하여 이 지지 핀(60b)을 상시 위쪽으로 힘을 가하도록, 지지 핀(60b)의 외주에 배치된 가세(加勢) 스프링(60c)을 구비하고 있다. 또한, 이 가세 스프링(60c)에 의한 지지 핀(60b)의 위쪽에의 가세에 있어서의 상한(上限) 위치는 기계적으로 제한되어 있다. 또한, 도 8에 있어서는, 플레이트 지지부(60)는, 익스팬드 부재(63)의 플랜지부(63b)에 부착 부재(66)를 통해서 부착되어 있으며, 이 부착 부재(66)에 형성되어 있는 핀 구멍부(66a)의 내주면을 따라, 지지 핀(60b)의 승강이 안내 가능하게 되어 있다. 따라서, 지지 단부(60a)에 아래쪽을 향해서 외력이 가해짐으로써, 가세 스프링(60c)이 단축되어서 지지 핀(60b)이, 핀 구멍부(66a)의 내주면을 따라 하강되고, 상기 외력(外力)이 약화되거나 혹은 해제됨으로써, 단축되어 있었던 가세 스프링(60c)이 신장되어서 지지 핀(60b)이, 핀 구멍부(66a)의 내주면을 따라 상승하게 된다.
또한, 테이퍼 지지부(65)도, 그 상단 부분의 형상을 제외하고는, 각각의 플레이트 지지부(60)와 마찬가지의 사고 방식에 근거하는 기구를 구비하고 있으며, 도 7, 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 지지 핀(65b), 가세 스프링(65c), 부착 부재(67), 및 핀 구멍부(67a)를 구비하고 있다. 또한, 그 상단 부분은, 테이퍼 형상을 갖는 경사 단부(65a)로 되어 있으며, 이 경사 단부(65a)의 경사면에 웨이퍼 링(9)의 외주 단부가 맞닿아짐으로써, 이 각도 저항을 이용해서, 웨이퍼 링(9)의 표면을 따르는 방향에 있어서의 지지 위치를 유지하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 도 7, 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 테이퍼 지지부(65)에는, 지지 핀(65b)의 승강을 안내하는 안내부(65d)가 구비되어 있다. 또한, 도 8에 나타낸 바와 같이, 익스팬드 부재(63)는 그 상부에 환상의 선단부(63a)가 형성되어 있으며, 이 선단부(63a)가 웨이퍼(7)의 외주부와 웨이퍼 링(9)의 내주부의 사이에 있어서의 웨이퍼 시트(8)의 하면에 맞닿음 가능하게 되어 있다.
이러한 구성에 있어서, 각각의 플레이트 압압체(61)의 하면과 각각의 플레이트 지지부(60)의 사이에 끼워져 지지된 상태의 웨이퍼 링(9)을, 압압체 승강부(62)에 의한 각각의 플레이트 압압체(61)의 하강 동작에 의해 하강시킴으로써, 익스팬드 부재(63)의 선단부(63a)를 웨이퍼 시트(8)의 하면에 맞닿게 하면서, 이 맞닿음 위치를 지점으로 해서, 웨이퍼 링(9)의 하강과 함께, 웨이퍼 시트(8)를 방사상으로 연신시킬 수 있다. 이것에 의해, 웨이퍼 시트(8)의 상면에 첩착(貼着)되어 있는 각각의 웨이퍼 공급 부품(2w)의 배치 위치도 방사상으로 연신되어서, 소위 웨이퍼(7)의 익스팬드를 실행할 수 있다. 또한, 도 7에 나타낸 바와 같이, 배치 프레임(64)의 상면에 있어서의 각각의 플레이트 압압체(61)의 아래쪽에는, 하강되는 각각의 플레이트 압압체(61)의 하면과 맞닿아짐으로써, 그 하강의 하한(下限) 위치를 규제할 수 있는 복수의 익스팬드 하한 스토퍼(68)가 부착되어 있으며, 이렇게 하한 위치가 규제됨으로써, 이 익스팬드에 있어서의 웨이퍼 시트(8)의 연신 범위를 규제 가능하게 하고 있다.
이어서, 도 9는 상술한 바와 같은 구성을 갖는 플레이트 배치 장치(12)에, 트레이 공급용 플레이트(6t)가 배치된 상태를 나타내고 있다. 도 9에 나타낸 바와 같이, 각각의 플레이트 압압체(61)와, 각각의 플레이트 지지부(60)의 지지 단부(60a)의 사이에서, 트레이 링(59)을 끼우도록 해서, 트레이 공급용 플레이트(6t)가 지지되어 있다. 또한, 테이퍼 지지부(65)의 경사 단부(65a)의 경사면에 트레이 링(59)의 외주 단부가 맞닿아져 있음으로써, 각도 저항에 의해 트레이 링(59)의 그 표면을 따르는 방향의 지지 위치가 유지되어 있다. 또한, 트레이 링(59)보다도 1단 내려간 높이 위치에 위치되어 있는 트레이 탑재부(58)는 환상의 익스팬드 부재(63)의 내측에 배치되어 있다. 또한, 이 트레이 공급용 플레이트(6t)의 유지 상태에 있어서, 익스팬드 부재(63)의 선단부(63a)와, 그 위쪽에 위치되어 있는 트레이 링(59)의 하면과의 사이에는, 서로 접촉하지 않는 간극(間隙)이 확보되어 있다. 이것에 의해, 선단부(63a)가 트레이 링(59)에 접촉함으로써, 이 선단부(63a)가 상처입는 것을 방지하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 이러한 상기 간극의 확보는, 각각의 플레이트 압압체(61)의 하강 위치가, 다른 부재에 의해 규제됨으로써 실행되고 있다. 이 규제 방법에 대해서, 도 10에 나타내는 플레이트 배치 장치(12)의 부분 확대 사시도를 이용해서 설명한다.
도 10에 나타낸 바와 같이, 플레이트 배치 장치(12)의 배치 프레임(64)의 상면에 있어서의 도시한 앞의 단부 근방에는, 각각의 플레이트 압압체(61)의 상기 하강 위치를 규제하는 규제부의 일례인 중간 스토퍼 구동부(69)가 구비되어 있다. 이 중간 스토퍼 구동부(69)는, 배치 프레임(64)의 상면에 있어서의 도시한 왼쪽 앞 측 단부 근방에 배치된 맞닿음부의 일례인 중간 스토퍼(69a)와, 이 중간 스토퍼(69a)를 이 단부를 따라 이동시키는 맞닿음부 이동 기구의 일례인 스토퍼 이동부(69b)를 구비하고 있다. 또한, 이 스토퍼 이동부(69b)는, 예를 들면, 압축 공기의 급배기를 가지고 상하 방향으로 구동 가능한 실린더와 그 실린더에 부착되어서, 중간 스토퍼(69a)에 이 실린더의 구동을 기계적으로 전달하는 링크 기구에 의해 구성되어 있다. 여기서, 이 중간 스토퍼 구동부(69)의 동작을 설명하는 모식 설명도를 도 11에 나타낸다.
도 11에 나타낸 바와 같이, 플레이트 압압체(61)의 하부에 규제 핀(61a)이 설치되어 있다. 이 규제 핀(61a)은 플레이트 압압체(61)의 하강에 의해, 그 하단에서 중간 스토퍼(69a)의 상단과 맞닿음 가능하게 배치되어 있다. 한편, 스토퍼 이동부(69b)는, 배치 프레임(64)의 상면을 따라, 규제 핀(61a)의 아래쪽의 위치이며, 중간 스토퍼(69a)가 규제 핀(61a)과 맞닿음 가능한 맞닿음 위치와, 규제 핀(61a)이 하강되어도, 중간 스토퍼(69a)가 규제 핀(61a)과의 맞닿음을 퇴피(退避)할 수 있는 퇴피 위치와의 사이에서, 중간 스토퍼(69a)를 진퇴 이동시키는 것이 가능하게 되어 있다. 따라서, 중간 스토퍼(69a)를 상기 퇴피 위치에 위치시킨 상태에서, 각각의 플레이트 압압체(61)를 하강시킴으로써, 도 8에 나타내는 웨이퍼 공급용 플레이 트(6w)의 상태를 이룰 수 있으며, 또한, 중간 스토퍼(69a)를 상기 맞닿음 위치에 위치시킨 상태에서, 각각의 플레이트 압압체(61)를 하강시킴으로써, 중간 스토퍼(69a)와 규제 핀(61a)을 맞닿게 해서, 각각의 플레이트 압압체(61)의 하강 위치를 규제하여, 도 9에 나타내는 트레이 공급용 플레이트(6t)의 상태를 이룰 수 있다. 즉, 중간 스토퍼(69a)와 규제 핀(61a)이 맞닿아진 상태에서, 도 9에 나타낸 바와 같이, 트레이 링(59)과 익스팬드 부재(63)의 선단부(63a)와의 사이에 상기 간극이 확보되도록 되어 있다. 또한, 플레이트 배치 장치(12)에 있어서, 각각의 플레이트 압압체(61)의 하강에 있어서의 하한 위치를 규제 가능하게, 개별적으로 중간 스토퍼 구동부(69)가 각각 설치되어 있어, 각각의 중간 스토퍼 구동부(69)는 서로 동기되어서 구동된다.
이어서, 플레이트 이동 장치(40)의 사시도를 도 12에 나타낸다. 도 12에 나타낸 바와 같이, 플레이트(6)를 해제 가능하게 유지하는 유지부의 일례인 척(chuck)부(41)와, 척부(41)가 그 선단에 부착된 평면적으로 대략 L자 형상을 갖는 암(arm) 기구(42)와, 암 기구(42)를 도시한 Y축 방향으로 진퇴 이동시키는 유지부 이동부의 일례인 이동부(44)를 구비하고 있다. 이동부(44)는, 도시한 Y축 방향에 배치된 볼 나사 축부(44a)와, 볼 나사 축부(44a)에 나사 결합된 너트부(44b)와, 볼 나사 축부의 일단에 고정되어서, 볼 나사 축부(44a)를 그 축심 주변으로 회전시킴으로써, 너트부(44b)를 도시한 Y축 방향으로 진퇴 이동시키는 이동 모터(44c)를 구비하고 있다. 또한, 암 기구(42)의 척부가 부착되어 있지 않은 측의 단부는 LM 블록(43a)에 고정되어 있으며, LM 블록(43a)은 도시한 Y축 방향에 배치된 LM 레일(43b)을 따라, 암 기구(42)의 이동을 안내 가능하게 되어 있음과 더불어, LM 블록(43a)이 너트부(44b)에 고정되어서, 너트부(44b)와 함께 이동됨으로써, 암 기구(42)의 상기 이동이 가능하게 되어 있다.
또한, 도 12에 나타낸 바와 같이, 척부(41)에 인접하여, 플레이트(6)의 단부 형상에 근거해서, 유지된 플레이트(6)가 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)인지, 또는, 트레이 공급용 플레이트(6t)인지를 식별하는 플레이트 식별부의 일례인 플레이트 식별 센서(41b)가 암 기구(42)에 부착되어 있다. 이 플레이트 식별 센서(41b)는, 도 4에 있어서의 웨이퍼 링(9)에 형성되어 있지 않고, 도 5에 있어서의 트레이 링(59)에 형성되어 있는 식별 구멍(56)의 유무를, 투과형 센서를 이용해서 식별하는 것으로, 상기 플레이트(6)의 식별을 실행하고 있다. 또한, 척부(41)를 사이에 끼워서 플레이트 식별 센서(41b)와 반대 측에는, 척부(41)가 플레이트(6)를 유지하고 있는가 아닌가의 여부를 검출하는 플레이트 유무 검출 센서(41a)가 암 기구(42)에 부착되어 있다. 이 플레이트 유무 검출 센서(41a)는 투과형 센서를 이용해서, 웨이퍼 링(9) 또는 트레이 링(59)의 단부에 의해 센서의 광(光)의 차광(遮光)이 검출되는가 아닌가로, 상기 플레이트(6)의 유무를 검출하고 있다. 또한, 플레이트 식별 센서(41b)의 식별 결과에 근거하여, 플레이트 배치 장치(12)에 있어서의 중간 스토퍼 구동부(69)에 의한 중간 스토퍼(69a)의 이동 위치가 결정된다.
또한, 도 12에 나타낸 바와 같이, 암 기구(42)는, 척부(41)를 도시한 X축 방향에 있어서의 요동을 기계적으로 수속(收束)시키면서, 그 X축 방향에 있어서의 위치의 센터링(centering)을 자동적으로 실행하는 X축 방향 센터링부(42a)를 구비하고 있다. 또한, 이러한 센터링 기구는, 도시한 X축 방향에 한정되는 것이 아니고, 도시한 Y축 방향에 있어서의 센터링이 실행되는 것이어도 좋다. 또한, 암 기구(42)는, 도시한 Y축 방향 안쪽 측에 암 기구(42)가 다른 구성 부재에 간섭(충돌)한 것을 검출 가능한 충돌 검출 센서(42b)를 구비하고 있다. 이 충돌 센서(42b)에 의해 상기 충돌이 검출되었을 경우에는, 이동부(44)의 이동을 정지시켜서, 이 충돌에 의한 장치의 고장이나 유지하고 있는 각각의 전자부품(2)의 파손 등의 방지를 도모하고 있다.
(부품 공급 장치의 동작에 대해서)
이어서, 이러한 구성을 갖는 부품 공급 장치(4)에 있어서의 매거진 카세트(50)로부터 각각의 플레이트(6)를 꺼내, 플레이트 배치 장치(12)에 각각의 전자부품(2)을 취출 가능하게 배치할 때까지의 동작에 대해서 설명한다.
우선, 도 2에 있어서, 리프터 장치(10)의 카세트 승강부(51)에 의해 매거진 카세트(50)를 상승 또는 하강시켜서, 매거진 카세트(50)로부터 꺼내져야 할 플레이트(6)를, 플레이트 이동 장치(40)의 척부(41)의 높이 위치에 위치시킨다. 이와 함께, 플레이트 배치 장치(12)에 있어서 압압체 승강부(62)에 의해 각각의 플레이트 압압체(61)를 그 승강의 상한 위치에 상승시켜서 정지시킨다. 또한, 이때, 메커니컬 록 밸브(mechanical lock valve)(70)의 스위치부(70a)가 맞닿음 막대(78)에 의해 압압되어, 스위치부(70a)가 들어간 상태로 되어 있으며, 유지용의 압축 공기가 압압체 승강부(62)의 각각의 실린더부(71)에 공급되어서, 각각의 플레이트 압압체(61)의 승강 위치가 상기 승강의 상한 위치에서 유지된 상태로 되어 있다.
이어서, 플레이트 이동 장치(40)에 있어서의 이동부(44)에 의해 암 기구(44)가 도 2의 도시한 Y축 방향 좌향으로 이동되어서, 척부(41)가 매거진 카세트(50) 내로 이동된다. 그 후, 매거진 카세트(50)로부터 꺼내져야 할 플레이트(6)의 외주 단부 근방이, 척부(41)에 인접해서 설치되어 있는 플레이트 유무 식별 검출 센서(41a)에 의해 검출되면, 이 외주부 근방이 척부(41)에 의해 유지된다. 이와 함께, 척부(41)에 인접해서 설치되어 있는 플레이트 식별 센서(41b)에 의해, 이 유지된 플레이트(6)가, 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)인지, 또는, 트레이 공급용 플레이트(6t)인지가 식별된다. 그 후, 이동부(44)에 의한 암 기구(42)의 도시한 Y축 방향 우향(右向)의 이동이 개시되어서, 상기 보유된 플레이트(6)가 매거진 카세트(50)의 각각의 홈부(50b)를 따라 이동되어서 꺼내진다.
그 후, 척부(41)에 의해 유지된 플레이트(6)가, 플레이트 배치 장치(12)의 각각의 플레이트 압압체(61)와 각각의 플레이트 지지부(60)의 사이를 통과하도록 이동되어서, 각각의 플레이트 지지부(60)에 의해 플레이트(6)가 지지 가능하게 되는 위치에 위치되어서 정지된다. 그 후, 압압체 승강부(62)에 의해 각각의 플레이트 압압체(61)가 하강되어서, 플레이트(6) 외주 부분의 상면을 아래쪽으로 밀어 내림과 더불어, 상기 외주 부분의 하면을 각각의 플레이트 지지부(60)의 상단에 맞닿게 해서, 각각의 플레이트 압압체(61)와 각각의 플레이트 지지부(60)로 사이에 끼우도록 해서 플레이트(6)가 유지된다. 이와 함께, 척부(41)에 의한 플레이트의 유지가 해제되어서, 이동부(44)에 의해 암 기구(42)가 도 2의 도시한 Y축 방향 우측으로 이동되어서, 척부(41)와 플레이트(6)의 평면적인 위치 간섭이 없어지는 위치에서 정지된다.
한편, 플레이트 식별 센서(41b)에 의한 플레이트(6) 종류의 식별 결과를 받아서, 중간 스토퍼 구동부(69)에 의해 중간 스토퍼(69a)의 이동 위치가 결정된다. 우선, 이 플레이트(6)가, 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)인 경우에 있어서는, 중간 스토퍼(69a)가 상기 퇴피 위치에 이동되어서, 각각의 규제 핀(61a)과 중간 스토퍼(69a)의 맞닿음이 퇴피된 상태로 된다. 그 후, 각각의 플레이트 압압체(61)가 더욱 하강되어서, 각각의 플레이트 지지부(60)가 밀어 내려져서, 익스팬드 부재(63)의 선단부(63a)를 지점으로 해서, 웨이퍼 시트(8)의 연신이 실행되어, 익스팬드가 실행된다. 또한, 하강되어 있는 각각의 플레이트 압압체(61)는, 각각의 익스팬드 하한 스토퍼(68)에 맞닿아져서 그 하강에 있어서의 하한 위치가 규제되고, 이 상태에서 각각의 플레이트 압압체(61)의 하강이 정지된다. 이러한 상태에 있어서, 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)로부터, 각각의 웨이퍼 공급 부품(2w)의 취출 공급이 가능하게 되며, 웨이퍼 시트(8)의 아래쪽에서, 각각의 웨이퍼 공급 부품(2w)을 밀어 올리고, 밀어 올려진 웨이퍼 공급 부품(2w)을 반전 헤드 장치(14)로 유지해 꺼냄으로써, 각각의 웨이퍼 공급 부품(2w)의 취출이 실행된다.
한편, 이 플레이트(6)가, 트레이 공급용 플레이트(6t)인 경우에 있어서는, 중간 스토퍼(69a)가 상기 맞닿음 위치에 이동되어서, 각각의 규제 핀(61a)과 중간 스토퍼(69a)의 맞닿음이 가능한 상태로 된다. 그 후, 각각의 플레이트 압압체(61)가 더욱 하강되어서, 각각의 플레이트 지지부(60)가 밀어 내려지지만, 각각의 규제 핀(61a)과 각각의 중간 스토퍼(69a)가 맞닿아져서, 각각의 플레이트 압압체(61)의 하강 위치가 규제된 상태로 된다. 이 상태에 있어서, 도 9에 나타낸 바와 같이, 트레이 링(59)의 하면과, 익스팬드 부재(63)의 선단부(63a)와의 사이에 서로 맞닿지 않는 간극이 확보된 상태로 된다. 또한, 이러한 상태로 되면, 각각의 플레이트 압압체(61)의 하강이 정지되어서, 트레이 공급용 플레이트(6t)로부터, 각각의 트레이 공급 부품(2t)이 취출 가능한 상태로 된다. 이러한 상태에 있어서, 반전 헤드 장치(14)에 의해, 트레이 탑재부(58)에 탑재된 각각의 부품 공급 트레이(57)로부터 각각의 트레이 공급 부품(2t)의 유지에 의한 취출이 실행된다.
또한, 상술한 바와 같이 웨이퍼 공급용 플레이트(6w) 또는 트레이 공급용 플레이트(6t)로부터 각각의 전자부품(2)의 취출이 실행된 후, 각각의 플레이트(6)가 상술한 순서의 역으로, 플레이트 이동 장치(40)에 의해 매거진 카세트(50)에 이동되어서 수납된다.
(매거진 카세트의 상세한 구조에 대해서)
이어서, 이러한 부품 공급 장치(4)에 있어서, 각각의 플레이트(6)를 단으로 적층해서 수용하는 매거진 카세트(50)의 구성에 있어서의 추가적인 연구에 대해서, 이하에 설명한다.
이러한 매거진 카세트(50)에 있어서는, 상기에 설명한 바와 같이, 복수의 플레이트(6)(웨이퍼 공급용 플레이트(6w) 또는 트레이 공급용 플레이트(6t))가, 쌍의 조를 형성하는 각각의 홈부(50b)에 의해 지지되어서, 대략 수평 지지 자세를 유지하면서, 취출 가능하게 수용되는 것으로 된다. 한편, 이러한 매거진 카세트(50)에 있어서는, 플레이트(6)의 수용 효율을 높이고, 효율적인 부품 공급의 달성을 도모하기 위해서, 각각의 측벽부(50a)에 있어서의 각각의 홈부(50b)의 형성 간격 피치는 가능한 한 협소화되어 있다. 이렇게 각각의 홈부(50b)의 형성 간격 피치가 단순히 협소화되는 것만으로는, 매거진 카세트(50)에의 각각의 플레이트(6)의 수용 작업 시에, 작업자에 의한 플레이트(6)의 수용 작업 실수, 예를 들면, 쌍의 조 이외의 각각의 홈부(50b)에 의해 수용된 플레이트(6)를 지지시키는(소위, 경사 삽입 상태) 경우가 생길 수 있고, 또한, 이러한 경우이어도, 이 지지 자세가 상기 경사 삽입 상태인 것을, 작업자가 인식하는 것이 곤란하다고 하는 문제가 생길 수 있다. 이러한 문제의 발생을 방지하는 연구에 대해서, 이하에 설명한다.
우선, 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 매거진 카세트(50)에 있어서는, 그 내부와 외부와의 액세스(access) 가능한 부분으로서, 플레이트 취출 방향 C를 따르는 각각의 방향에, 개구부가 형성되어 있다. 구체적으로는, 매거진 카세트(50)에 있어서, 플레이트 취출 방향 C의 전향(前向) 측에는(즉, 플레이트 배치 장치(12) 측에는), 수용되어 있는 각각의 플레이트(6)가, 부품 공급을 위해서 꺼내지고, 또한 그 후 수용하기 위해서 액세스되는 플레이트 공급용 개구부(111)가 형성되어 있으며, 또한, 플레이트 취출 방향 C의 후향(後向) 측에는, 작업자 등에 의한 각각의 플레이트(6)의 수용, 혹은 부품 공급이 완료된 플레이트(6)의 교환을 위해서 액세스되는 플레이트 교환용 개구부(112)가 형성되어 있다. 또한, 플레이트 공급용 개구부(111) 및 플레이트 교환용 개구부(112)는, 플레이트 취출 방향 C에 있어서의 각각의 측벽부(50a)의 단부 사이에 형성되어 있으며, 또한, 각각의 측벽부(50a)에 있어서는, 각각의 홈부(50b)가 각각의 단부의 근방까지 연장되도록 형성되어 있다.
여기서, 매거진 카세트(50)를 플레이트 교환용 개구부(112)에서 본 상태를 나타내는 모식도를 도 13에 나타낸다. 도 13에 나타낸 바와 같이, 매거진 카세트(50)의 플레이트 교환용 개구부(112)에 있어서의 각각의 측벽부(50a)의 단면(端面)(113)에는, 서로 쌍의 조를 형성하는 각각의 홈부(50b)를, 다른 홈부(50b)와 시각적으로 식별 가능한 복수의 식별 마크부(114)가 형성되어 있다.
구체적으로는, 상기 쌍의 조를 형성하는 각각의 홈부(50b)의 바로 근방에 있어서의 각각의 측벽부(50a)의 단면(113)에, 예를 들면, 절삭 가공에 의해 구멍이 형성됨으로써, 각각의 식별 마크부(114)가 형성되어 있다. 또한, 각각의 홈부(50b)에 있어서는, 1단(段) 간격으로 식별 마크부(114)가 형성되어 있으며, 이렇게 1단 간격으로 형성함으로써, 쌍의 조를 형성하는 각각의 홈부(50b)를, 그 1개 위의 단(段)의 조 및 그 1개 아래의 단의 조를 형성하는 각각의 홈부(50b)와 명확하게 구별하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 도 13에 나타내는 모식도를 구체적으로 하는 매거진 카세트(50)의 플레이트 교환용 개구부(112)에 있어서의 부분적인 측면도를 도 20A 및 도 20B에 나타낸다.
이렇게, 매거진 카세트(50)에 있어서, 작업자에 의해 각각의 플레이트(6)의 수용 작업 및 교환 작업이 실행되는 플레이트 교환용 개구부(112)에 있어서의 각각의 측벽부(50a)의 단면에, 각각의 식별 마크부(114)가 형성되어 있음으로써, 이 작업을 할 때에, 작업자가 용이하게 각각의 식별 마크부(114)를 육안 인식할 수 있고, 이 육안 인식에 의해, 쌍의 조를 형성하는 각각의 홈부(50b)를 그 1개 상하 단의 조를 형성하는 각각의 식별 마크부(114)와 명확하게 구별할 수 있다. 따라서, 도 13에 나타낸 바와 같이, 매거진 카세트(50)에 있어서, 플레이트(6)를 대략 수평 지지 자세로 확실하게 수용할 수 있다.
또한, 작업자가, 매거진 카세트(50)에의 플레이트(6)의 수용 시에 각각의 식별 마크부(114)를 육안 인식하지 않는 경우로서, 도 14에 나타낸 바와 같이, 플레이트(6)가 경사 삽입 상태로 수용된 경우가 생겨도, 이 수용 후에 작업자가 각각의 식별 마크부(114)와 수용된 플레이트(6)를 육안 인식함으로써, 이 경사 삽입 상태의 지지 자세를 용이하고, 또한 신속하게 인식할 수 있다. 이러한 상태가 인식됨으로써, 매거진 카세트(50)에 수용되어 있는 각각의 플레이트(6)의 공급이 개시되기 전에, 플레이트(6)의 지지 자세를 수정할 수 있어, 확실한 부품 공급을 실현할 수 있다.
또한, 각각의 식별 마크부(114)는, 각각의 홈부(50b)의 조에 대해서, 1단 간격으로 형성되어 있지만, 모든 단에 대해서 형성할 경우에는, 각각의 식별 마크부(114)의 식별 기능을 담보하기 위해서는, 개별로 그 형상 등을 다르게 할 필요가 있기 때문이다. 또한, 2단 이상 간격으로 형성할 경우와 비교해서, 1단 간격으로 형성하는 경우의 쪽이, 더욱 높은 식별 기능을 갖고 있다고 생각되지만, 각각의 식별 마크부(114)의 설치 간격에 대해서는, 각각의 홈부(50b)의 설치 간격 피치를 고려해서 결정하는 것이 바람직하다.
또한, 이러한 각각의 식별 마크부(114)를, 측벽부(50a)의 단면(113)에 펀 칭(punching) 가공에 의해 형상적인 마크로서 형성함으로써, 예를 들면, 식별 번호를 표시한 시일 등을 단면(113)에 붙이는 경우와 비교해서, 그 형성 작업을 더욱 간단한 것으로 할 수 있다.
또한, 이러한 각각의 식별 마크부(114)의 형태는, 도 15에 나타낸 바와 같이, 측벽부(50a)의 단면(113)에 펀칭 가공에 의해 형성되는 경우에만 한정되는 것은 아니다. 이러한 경우 대신에, 예를 들면, 도 17에 나타낸 바와 같이, 측벽부(50a)의 외주면에, 홈 형상의 복수의 식별 마크부(124)가 형성되는 경우이어도 좋다. 이렇게 홈 형상으로 형성되는 경우에 있어서는, 예를 들면, 압출 성형에 의해 형성할 수 있고, 측벽부(50a)와 일체적으로 형성할 수 있기 때문에, 각각의 식별 마크부(124)를 형성하기 위해서 부가적인 작업을 필요로 하는 일이 없어, 효율적으로 각각의 식별 마크부(124)를 형성할 수 있다.
또한, 도 19에 나타낸 바와 같이, 각각의 측벽부(50a)의 측면에 펀칭 가공함으로써, 각각의 식별 마크부(134)를 형성할 수도 있다.
또한, 도 16에 나타낸 바와 같이, 각각의 플레이트(6)와 접촉되는 각각의 홈부(50b)는, 이 접촉에 의한 절삭분의 발생을 저감하는 것이 가능하도록, 예를 들면 수지로서 일체적으로 형성하고, 측벽부(50a) 자체는 알루미늄으로 형성할 수도 있다. 또한, 이러한 형성 재료의 선정은, 도 18이나 도 19에 나타내는 매거진 카세트에도 적용할 수 있다.
(실시형태에 의한 효과)
상기 제1실시형태에 의하면, 이하와 같은 여러 가지의 효과를 얻을 수 있다.
우선, 각각의 플레이트(6)를 수용하는 매거진 카세트(50)에 있어서, 작업자에 의한 작업 측의 개구부인 플레이트 교환용 개구부(112)의 주위에 위치되는 각각의 측벽부(50a)의 단면(113)에, 쌍의 조를 형성하는 각각의 홈부(50b)를, 그 상단(上段) 및 하단(下段)의 홈부(50b)와 시각적으로 식별 가능한 식별 마크부(114)가 형성되어 있음으로써, 작업자에 의한 매거진 카세트(50)에의 플레이트(6)의 수용 작업 시에, 경사 삽입 상태인 지지 자세로 수용되는 것에 대하여, 주의를 환기할 수 있어, 각각의 플레이트(6)를 정상적인 지지 자세로 수용할 수 있다.
이렇게 각각의 플레이트(6)가 정상적인 지지 자세로 수용되는 것은, 그 후에 실행되는 매거진 카세트(50)로부터의 플레이트(6)의 취출 동작을 원활하고, 또한 확실하게 실행할 수 있어, 효율적이고 또한 확실한 부품 공급을 실현할 수 있다. 또한, 경사 삽입 상태의 지지 자세인 채로 상기 취출이 실행되는 경우에 있어서는, 접촉하는 각각의 홈부(50b)와 플레이트(6)의 단부와의 접촉 저항이 증대함으로써, 절삭분이 발생하게 되지만, 각각의 플레이트(6)가 대략 수평 지지 자세로 수용되어 있음으로써, 이러한 문제의 발생을 방지할 수 있어, 더욱 고정밀도이고 또한 확실한 부품 실장을 위한 부품 공급을 실현할 수 있다.
또한, 각각의 식별 마크부(114, 124, 및 134)가, 시일이나 도장 등의 모양에 의한 것이 아니고, 형상 가공에 의한 형상적인 마크부임으로써, 이들 식별 마크부(114) 등의 형성 작업을 더욱 간단한 것으로 할 수 있다.
또한, 이러한 매거진 카세트(50)를 이용해서 부품 공급이 실행되는 부품 공급 장치(4)의 플레이트 배치 장치(12)에 있어서의 각각의 플레이트 압압체(61)의 하강 위치를 중간 스토퍼 구동부(69)에 의해 선택적으로 규제할 수 있기 때문에, 플레이트 배치 장치(12)에 배치되는 플레이트(6)의 종류에 따라서, 상기 하강 위치의 규제를 실행함으로써, 트레이 공급용 플레이트(6t)의 유지를 확실하게 실행할 수 있고, 또한, 상기 하강 위치의 규제를 해제함으로써, 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)를 확실하게 유지하면서, 웨이퍼 시트(8)의 연신을 실행해서 익스팬드를 실행할 수 있다. 따라서, 배치 공급되는 플레이트(6)의 종류에 따라서, 적절한 유지 동작이나 익스팬드 동작을 선택적으로, 또한 자동적으로 실행할 수 있어, 부품 공급을 효율적으로 실행하는 것을 가능하게 할 수 있다.
또한, 상기 플레이트(6) 종류의 식별은, 매거진 카세트(50)에 혼재되어 있는 각각의 플레이트(6)를 플레이트 이동 장치(40)에 의해 꺼낼 때에, 플레이트(6)의 단부를 파지(把持)하는 척부(41)에 인접해서 구비되어 있는 플레이트 식별 센서(41b)를 이용해서 실행할 수 있다. 구체적으로는, 플레이트(6)의 단부에, 트레이 공급용 플레이트(6t)의 경우에만 식별 구멍(56)을 설치하고, 이 식별 구멍(56)의 유무를 플레이트 식별 센서(41b)에 의해 식별함으로써, 상기 플레이트(6) 종류의 식별을 실행할 수 있다. 또한, 이 식별 결과에 근거하여 중간 스토퍼 구동부(69)에 의한 중간 스토퍼(69a)의 이동 위치를 결정함으로써, 각각의 플레이트 압압체(61)의 하강 위치의 규제를 선택적으로 실행할 수 있다.
또한, 웨이퍼 공급용 플레이트(6w)의 웨이퍼 시트(8)에 맞닿아짐으로써 익스팬드를 실행하는 익스팬드 부재(63)의 선단부(63a)가, 트레이 공급용 플레이트(6t)의 하면에 접촉하지 않도록, 상기 각각의 플레이트 압압체(61)의 하강 위치가 규제 되어 있기 때문에, 익스팬드 부재(63)의 선단부가 상처를 받는 것을 방지할 수 있다.
또한, 플레이트 배치 장치(12)에 있어서는, 그 지지 높이 위치가 가변 가능하게 된 복수의 플레이트 지지부(60)를 구비하고 있음으로써, 각각의 플레이트(6)의 외주부 근방에 있어서 각각의 플레이트(6)를 지지할 수 있음과 더불어, 각각의 플레이트 압압체(61)의 승강 동작에 맞추어, 상기 지지를 실행하면서 그 지지 높이 위치를 자유롭게 가변할 수 있어, 상술한 효과를 달성하는 것이 가능하게 되어 있다.
또한, 그 선단에 경사 단부(65a)를 갖는 테이퍼 지지부(65)가 구비되어 있음으로써, 이 경사 단부(65a)에 플레이트(6)의 단부를 맞닿게 해서, 각도 저항에 의해 플레이트(6)의 표면을 따르는 방향의 지지 위치의 유지를 실행할 수 있어, 확실하고 또한 정확한 유지가 가능하게 된다.
(제2실시형태)
또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니고, 그 외 여러 가지의 형태로 실시할 수 있다. 예를 들면, 본 발명의 제2실시형태에 의한 부품 공급 장치에 대해서, 이하에 설명한다. 또한, 본 제2실시형태의 부품 공급 장치는, 상기 제1실시형태의 부품 공급 장치(4)와, 이하에 나타내는 부분적인 구성이 상이하지만 그 기본적인 구성은 공통되기 때문에, 이후 설명의 이해를 용이한 것으로 하는 것을 목적으로 해서, 상기 제1실시형태의 부품 공급 장치(4)와 마찬가지의 구성 부분에는, 동일한 참조 번호를 첨부하고 있다.
도 21에 나타내는 부품 공급 장치(204)에 있어서, 리프터 장치(10)에는, 복수의 상기 웨이퍼 공급용 플레이트 및 복수의 상기 트레이 공급용 플레이트를 혼재해서 수납하는 매거진 카세트(250)가 구비되어 있다. 이 매거진 카세트(250)는, 상기 제1실시형태와 마찬가지로, 플레이트 취출 방향 C와 직교하는 방향에 있어서, 서로 대향하도록 측벽부(250a)가 각각 설치되어 있으며, 각각의 서로 대향하는 측면에 있어서, 플레이트 취출 방향 C를 따라, 복수의 홈부(250b)가 형성되어 있다. 또한, 각각의 플레이트는, 그 서로 대향하는 양단부에 있어서, 각각의 측벽부(250a)의 서로 대향해서 배치된 각각의 조의 홈부(250b)와 걸어 맞추어 지지됨으로써, 매거진 카세트(250)에 유지되어서 수납되어 있으며, 이들 각각의 홈부(250b)가, 지지 안내부의 일례로 되어 있다. 또한, 각각의 측벽부(250a)에 있어서 각각의 홈부(250b)는 일정한 간격 피치로 형성되어 있으며, 각각의 홈부(250b)에 걸어 맞추어져서 유지된 상태에서, 각각의 플레이트는 그 표면이 대략 수평 상태로 되어 있다. 또한, 각각의 플레이트는, 상기 서로 대향하는 조의 홈부(250b)의 형성 방향을 따라 안내되면서, 플레이트 취출 방향 C를 따라 진퇴 이동(즉, 미끄럼 이동) 가능한 상태로 되어 있다.
또한, 여기서, 이 매거진 카세트(250)의 측벽부(250a)의 부분 단면도를 도 22에 나타낸다. 도 22에 나타낸 바와 같이, 측벽부(250a)는, 금속 재료인 알루미늄제의 플레이트(250c)에, 열가소성 수지인 듀라콘(등록 상표, DURACON: POM: 폴리옥시메틸렌(Polyoxymethylene))을 이용해서 일체적으로 형성된 각각의 홈부(250b)가 고정된 구조를 갖추고 있다. 이 듀라콘은, 트레이 링(59)이나 웨이퍼 링(9)의 형성 재료인 스테인리스 재료(예를 들면, JIS 규격: SUS304)보다도 그 표면 경도가 낮고, 부드러운 재료라고 하는 특징을 가지고 있기 때문에, 각각의 홈부(250b)와 플레이트(6)가, 서로 각각의 접촉 표면에서 접촉되는 경우이어도, 이 접촉 마모에 의한 절삭분 등의 발생량을 저감시킬 수 있다. 또한, 열가소성 수지 재료가 이용되고 있음으로써, 복수의 요철부가 연속되는 구조인 각각의 홈부(250b)를 용이하게 형성하는 것이 가능하게 된다. 또한, 이러한 각각의 홈부(250b)와 트레이 링(59) 등의 형성 재료의 조합은, 상기 조합에 한정되는 것은 아니다. 트레이 링(59)의 형성 재료에 대하여, 각각의 홈부(250b)의 형성 재료의 경도가 낮으면 좋고, 이러한 조건인 것에 있어서 기타 여러 가지 조합을 채용하는 것이 가능하다.
또한, 이러한 홈부(250b)에 있어서의 트레이 링(59)이나 웨이퍼 링(9)과 접촉되는 표면에, 예를 들면, 터프램(TUFRAM) 도금 처리를 시행함으로써, 트레이 링(59)이나 웨이퍼 링(9)과의 접촉 부분에 있어서의 마찰을 더욱 저감할 수 있어, 이들의 미끄럼 운동성을 향상시킬 수 있다.
또한, 이러한 각각의 홈부(250b)의 더욱 상세한 구조를 나타내는 하나의 홈부(250b)의 측면도를 도 23A에 나타내고, 그 정면도를 도 23B에 나타낸다. 또한, 각각의 홈부(250b)는 일체적으로 형성되어 있지만, 이하에 있어서의 홈부(250b)의 구조 설명의 이해를 용이하게 하기 위해서, 도 23A 및 도 23B에 있어서는, 그 상기 하나의 홈부(250b)를 잘라내서 표시한 도면으로 하고 있다.
도 23A에 나타낸 바와 같이, 홈부(250b)에 있어서의 플레이트 취출 방향 C 측의 단부, 즉, 각각의 플레이트(6)의 삽입 단부(250d)에는, 플레이트 취출 방향 C 에 대하여, 근소하게 경사진 면인 경사면(활면부의 일례임)이 형성되어 있다. 또한, 도 23B에 나타낸 바와 같이, 이 경사면은, 플레이트 취출 방향 C에 대하여, 플레이트(6)의 대략 표면에 직교하는 방향인 도시한 하향(下向)으로 경사진 하부 측 경사면(250e)과, 플레이트(6)의 대략 표면을 따르는 방향인 도시한 좌향(左向)으로 경사진 측부(側部) 측 경사면(250f)에 의해 구성되어 있다.
이렇게 각각의 홈부(250b)의 삽입 단부(250d)에 있어서, 하부 측 경사면(250e) 및 측부 측 경사면(250f)이 형성되어 있음으로써, 도시한 플레이트 취출 방향 C와 반대 방향으로, 플레이트(6)를 삽입하는 경우이어도, 플레이트(6)의 단부와, 이 플레이트(6)를 지지 안내하는 각각의 홈부(250b)의 삽입 단부(250d)와의 접촉에 의한 마찰을 경감할 수 있어, 원활한 플레이트(6)의 삽입을 실현할 수 있다. 또한, 이 플레이트(6)를 삽입할 때에, 플레이트 취출 방향 C와 직교하는 방향에 있어서, 각각의 홈부(250b)에 의한 플레이트(6)의 지지 위치와, 각각의 홈부(250b)에의 플레이트(6)의 삽입 위치와의 사이에 위치 편차가 생기는 경우이어도, 하부 측 경사면(250e)과 측부 측 경사면(250f)에 의해 플레이트(6)를 안내하면서 삽입하여, 상기 위치 편차를 보정할 수 있다고 하는 효과도 있다.
이어서, 도 24에, 트레이 공급 플레이트(6t)의 외관 사시도를 나타낸다. 도 24에 나타내는 트레이 공급 플레이트(6t)의 트레이 링(59)의 플레이트 취출 방향 C를 따라 서로 대향하는 단부(직선적으로 형성된 단부)와 부분 원호 형상의 단부와의 4개소의 연결 부분(R)에 있어서는, 그 하면 단부의 각부분(角部分)이 깎아져서 매끄러운 곡선에 의해 구성되는 활면부(59a)로 되어 있다. 이러한 각각의 연결 부 분(R)은, 매거진 카세트(250)의 각각의 조의 홈부(250b)와의 접촉 부분이기 때문에, 도 25에 나타낸 바와 같이, 각각의 홈부(250b)에 지지된 상태에서, 플레이트 취출 방향 C를 따라, 트레이 공급 플레이트(6t)가 진퇴 이동되는 경우이어도, 각각의 활면부(59a)와 홈부(250b) 사이의 마찰력을 저감할 수 있다. 따라서, 매거진 카세트(250)에 대한 각각의 트레이 공급 플레이트(6t)의 삽입 또는 취출 시에, 트레이 공급 플레이트(6t)와 각각의 홈부(250b)와의 접촉 마모에 의한 절삭분 등의 발생량을 저감할 수 있다. 또한, 이러한 트레이 공급 플레이트(6t)에 있어서의 활면부(59a)의 형성은, 그 중량이, 웨이퍼 공급 플레이트(6w)에 비해서 무겁다고 하는 특징을 갖는 트레이 공급 플레이트(6t)에 적용하는 것이 유효하지만, 웨이퍼 공급 플레이트(6w)에 대하여도 각각의 활면부를 형성하여, 절삭분의 발생량을 더욱 저감시키는 경우이어도 좋다.
또한, 매거진 카세트(250)의 각각의 홈부(250b)에 있어서, 도 26에 나타낸 바와 같이, 각각의 플레이트(6)를 지지함과 더불어, 그 플레이트 취출 방향 C를 따라 이동을 안내하는 회전 부재의 일례인 복수의 롤러부(250g)가 구비되어 있는 경우이어도 좋다. 이러한 각각의 롤러부(250g)가 구비되어 있음으로써, 각각의 플레이트(6)와 홈부(250b) 사이의 접촉에 의한 마찰력을 현저하게 저감할 수 있어, 상기 접촉에 의한 절삭분 등의 발생을 억제할 수 있다. 또한, 도 27에 나타낸 바와 같이, 이러한 각각의 롤러부(261a)는, 각각의 플레이트(6)가 삽입 배치되는 플레이트 배치 장치(212)의 플레이트 압압체(261)의 하면에 있어서, 각각의 플레이트(6)를 지지하도록 구비되는 경우이어도 좋다. 이러한 경우에 있어서는, 매거진 카세트(250)뿐만 아니라, 플레이트 배치 장치(212)에 있어서도, 각각의 플레이트(6)의 접촉 마모에 의한 절삭분 등의 발생량을 저감시키는 것이 가능하게 된다.
여기서, 매거진 카세트(250)의 측벽부(250a)에 있어서, 알루미늄제의 플레이트(250c)에, 열가소성 수지인 듀라콘을 이용해서 각각의 홈부(250b)가 형성되고, 트레이 링(59)이나 웨이퍼 링(9)이 스테인리스 재료에 의해 형성되어 있는 경우 대신에, 그 밖의 재료에 의해 형성되는 경우에 대해서 설명한다.
상술한 바와 같이, 각각의 홈부(250b)를 수지로 형성함으로써, 각각의 플레이트(6)와의 접촉에 의한 절삭분 등의 발생량을 저감시킬 수 있지만, 부품 실장의 현장에 있어서는, 매거진 카세트(250)의 범용성을 고려하여, 매거진 카세트(250)를 될 수 있는 한 표준 규격으로 하고 싶다고 하는 요망도 많다. 이러한 경우에 있어서는, 반대로, 매거진 카세트(250)에 있어서의 각각의 홈부(250b)의 형성 재료보다도, 각각의 플레이트(6)의 형성 재료를 표면 경도가 낮아지도록, 상기 각각의 형성 재료의 선정을 실행함으로써, 상기 효과와 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.
구체적으로는, 도 28의 플레이트, 예를 들면, 트레이 공급 플레이트(306t)의 외관 사시도에 나타낸 바와 같이, 트레이 링(359)의 플레이트 취출 방향 C를 따라 서로 대향하는 단부(359b)를, 수지, 예를 들면 PEEK 수지로서 형성한다. 또한, 도 28에 있어서의 플레이트 취출 방향 C에서 본 매거진 카세트의 각각의 홈부(350b)에 지지된 상태의 트레이 공급 플레이트(306t)의 측면도(일부 단면 포함)에 나타낸 바와 같이, 각각의 홈부(350b)는, 알루미늄으로 형성되어 있다. 또한, 도 29에 나타낸 바와 같이, 트레이 링(359)의 본체부(359a)는, 예를 들면, 알루미늄판으로 형성 되어 있으며, 이 본체부(359a)에 있어서의 각각의 단부가 절곡되어서 단부(段部)(359c)가 형성되고, 각각의 단부(359c)에 PEEK 수지로 형성된 판이, 예를 들면 나사 멈춤으로 부착됨으로써, 각각의 단부(端部)(359b)가 형성되어 있다.
이렇게 트레이 링(359)의 단부(359b) 및 매거진 카세트의 각각의 홈부(350b)가 구성됨으로써, 범용성이 요구되는 매거진 카세트를 특수한 규격으로 하는 일 없이, 상호 접촉 마모에 의한 절삭분 등의 발생량을 저감시킬 수 있다. 또한, 트레이 링(359)의 단부(359b)의 표면, 혹은, 매거진 카세트의 각각의 홈부(350b)의 표면에 있어서, 간이적인 표면 처리를 시행하는 경우이어도 좋다.
상기 제2실시형태에 의하면, 웨이퍼 공급 플레이트(6w)보다도, 그 중량이 무겁다고 하는 특징을 갖는 트레이 공급 플레이트(6t)를, 매거진 카세트(250)에 삽입해서 수납시킬 경우, 혹은 매거진 카세트(250)로부터 꺼내는 경우에 있어서도, 각각의 홈부(250b)와 플레이트(6)가 접촉 이동되어도, 그 미끄럼 운동 마모에 의한 절삭분의 발생량을 현저하게 저감시킬 수 있다.
또한, 트레이 공급 플레이트(6t)는, 웨이퍼 공급 플레이트(6w)와 달리, 다수 종류의 부품을 1장의 트레이 공급 플레이트(6t)에 혼재해서 수납 가능한 구성으로 되어 있기 때문에, 어느 종류의 부품의 취출이 완료될 때마다, 이 트레이 공급 플레이트(6t)를 매거진 카세트(250)에 수납하고, 그 후, 수납된 트레이 공급 플레이트(6t)로부터 다른 부품을 꺼낼 경우에는, 매거진 카세트(250)로부터 다시 꺼낸다고 하는, 매거진 카세트(250)에 대한 출납 빈도가 많다고 하는 특징도 구비하고 있다. 이렇게 출납 빈도가 많은 경우이어도, 상기 절삭분의 발생 억제 대책이 시행되어 있기 때문에, 이 절삭분 발생에 의한 구동 고장의 발생이나 유지 보수성의 저하 등의 병발(倂發)을 방지할 수 있어, 웨이퍼 공급 플레이트(6w)와 트레이 공급 플레이트(6t)가 혼재된 부품 공급 장치에 있어서, 유지 보수성의 향상을 도모하고, 효율적인 부품 공급을 실현할 수 있다.
(제3실시형태)
이어서, 본 발명의 제3실시형태에 의한 부품 공급 장치에 대해서, 이하에 설명한다. 본 제3실시형태의 부품 공급 장치는, 상기 제1실시형태의 부품 공급 장치(4)와, 이하에 나타내는 부분적인 구성이 상이하지만, 그 기본적인 구성은 공통되기 때문에, 이후 설명의 이해를 용이하게 하는 것을 목적으로 해서, 상기 제1실시형태의 부품 공급 장치(4)와 마찬가지의 구성 부분에는, 동일한 참조 번호를 첨부하고 있다.
본 제3실시형태에 의한 부품 공급 장치가 구비하는 매거진 카세트(450)를 플레이트 취출 방향 C를 정면 측으로 해서, 이 정면 측에서 본 매거진 카세트(450)의 모식 설명도를 도 30에 나타낸다.
도 30에 나타낸 바와 같이, 매거진 카세트(450)에 있어서의 각각의 측벽부(450a)의 내측에는, 서로 대향해서 배치된 다수의 홈부(450b)가 형성되어 있으며, 서로 대향하는 각각의 조의 홈부(450b)에 플레이트(6)의 각각의 단부가 지지됨으로써, 대략 수평 자세를 유지하면서 이 플레이트(6)를 수용하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 매거진 카세트(450)에 있어서의 도시한 안쪽 측에도 안쪽 벽부(450c)가 설치되어 있으며, 이 안쪽 벽부(450c)에는, 플레이트(6)의 단부와 걸려 맞추어짐으로써, 플레이트(6)의 수평 자세와, 플레이트 취출 방향 C에 대한 수평 방향의 자세를 정상적인 자세로 유지하는 것을 가능하게 하는 자세 안내부(490)가 구비되어 있다.
더욱 구체적으로 설명하면, 상기 제1실시형태에 있어서는 상세하게는 설명하지 않았지만, 도 5에 나타낸 바와 같이, 트레이 공급 플레이트(6t)에 있어서의 플레이트 취출 방향 C와 반대 측의 단부(즉, 트레이 링(59)의 단부)의 하면에는, 자세 안내부(490)와 걸어 맞춤 가능한 자세 안내 블록(59a)이 형성되어 있다.
여기서, 이 트레이 공급 플레이트(6t)에 구비된 자세 안내 블록(59a)과, 매거진 카세트(450)의 안쪽 벽부(450c)에 구비된 자세 안내부(490)와의 상호 걸어 맞춤 상태의 확대 평면도를 도 32에 나타낸다. 또한, 매거진 카세트(450)에 있어서의 도 30과 동일한 방향의 상세한 정면도를 도 33에 나타내고, 도 33의 매거진 카세트(450)에 있어서의 V-V 화살표에서 본 단면도를 도 34에 나타낸다.
도 33 및 도 34에 나타낸 바와 같이, 매거진 카세트(450)의 안쪽 벽면(450c)의 대략 중앙 부근에는, 각각의 홈부(450b)의 형성 간격 피치와 동일한 간격 피치로, 복수의 자세 안내부(490)가, 상하 방향에 일렬로 배열되어서 구비되어 있다. 또한, 도 32에 나타낸 바와 같이, 자세 안내부(490)는, 절곡된 상태인 2개의 핀 형상 부재(491)가, 서로 대향하고, 또한 소정의 간격이 유지되도록, 예를 들면, 안쪽 벽면(450c)에 나사 멈춤 등에 의해 부착됨으로써 형성되어 있다. 또한, 상기 각각의 핀 형상 부재(491)의 상기 소정의 간격은, 안쪽 벽부(450c)의 근방에 있어서, 트레이 공급 플레이트(6t)의 자세 안내 블록(59a)의 형성 폭과 대략 동일한 치수로 되어 있으며, 안쪽 벽부(450c)로부터 떨어짐에 따라서, 상기 간격이 넓어지도록 형성되어 있다.
이렇게 매거진 카세트(450)에 있어서 각각의 자세 안내부(490)가 구비되고, 각각의 트레이 공급 플레이트(6t)에 자세 안내 블록(59a)이 구비되어 있음으로써, 매거진 카세트(450)의 서로 대향하는 조의 홈부(450b)에, 그 서로 대향하는 단부가 지지된 상태의 트레이 공급 플레이트(6t)를, 또한, 도 32에 나타낸 바와 같이, 자세 안내 블록(59a)과 자세 안내부(490)를 걸어 맞추게 함으로써, 트레이 공급 플레이트(6t)를 플레이트 취출 방향 C에 대하여 수평 방향으로 정상적인 자세로 유지할 수 있고, 또한, 각각의 홈부(450b)에 의한 지지 자세를 수평 자세로 유지할 수 있다. 특히, 자세 안내부(490)에 있어서의 각각의 핀 형상 부재(491)의 간격이, 도 32에 나타낸 바와 같이 테이퍼 형상으로 형성되어 있음으로써, 자세 안내 블록(59a)과 자세 안내부(490)와의 걸어 맞춤을 용이한 것으로 할 수 있음과 더불어, 플레이트 취출 방향 C에 대하여 수평 방향에 경사진 트레이 공급 플레이트(6t)의 자세를, 이 걸어 맞춤 과정에서 보정하면서 걸어 맞추는 것이 가능하게 된다. 또한, 이렇게 매거진 카세트(450)에 있어서, 트레이 공급용 플레이트(6t)의 지지 자세의 경사를 검출 가능한 자세 안내부(490)가 구비되어 있는 경우에 있어서는, 매거진 카세트(450)에 식별 마크부가 구비되어 있지 않은 경우이어도 좋다.
이렇게 매거진 카세트(450)에 수용된 각각의 플레이트(6)의 지지 자세가 정상적인 상태로 유지되어 있음으로써, 도 31의 모식도에 나타낸 바와 같이, 매거진 카세트(450)로부터의 각각의 플레이트(6)의 취출을 원활하게 실행할 수 있어, 트레 이 공급 플레이트(6t)로부터의 부품(2)의 튀어나옴이 발생하는 것도 방지할 수 있다. 따라서, 매거진 카세트(450)에 수용되어 있는 각각의 플레이트(6)에의 랜덤 액세스를 효율적으로 실행할 수 있어, 효율적인 부품 공급을 실현할 수 있다.
또한, 상기 설명에 있어서는, 플레이트(6)가 트레이 공급 플레이트(6t)인 경우에 대하여 대표해서 설명했지만, 웨이퍼 공급 플레이트(6w)에 대해서도 마찬가지의 구성을 채용할 수 있다.
또한, 이러한 웨이퍼 공급 플레이트(6w)나 트레이 공급 플레이트(6t)가 수용되는 매거진 카세트(450)에 있어서는, 매거진 카세트(450)의 대전(帶電)에 의한 각각의 부품(2)에의 영향이 염려되는 것이 생각된다. 예를 들면, 그 대전량은, 보통 400V～600V 정도가 된다. 또한, 도 40에 나타낸 바와 같이, 매거진 카세트(450)의 저부(底部)에는, 매거진 카세트(450)와 기초대(52)를 연결(고정)하기 위한 연결 블록(471)(고정부의 일례)이, 예를 들면 3개 구비되어 있다. 이러한 대전에 의한 부품에의 영향을 방지하기 위해서, 예를 들면, 3개의 연결 블록(471) 중 적어도 1개의 연결 블록(471)을, 도전성 재료로 형성함으로써, 접지 단자부로서의 기능을 갖추게 해서 매거진 카세트(450)를 접지할 수 있으며, 그 대전량을 몇 볼트(V) 정도, 예를 들면 2V 정도까지 저감할 수 있다.
상기 설명에 있어서는, 매거진 카세트(450)의 안쪽 벽면(450c)에, 자세 안내부(490)가 형성되는 경우에 대해서 설명했지만, 본 제3실시형태는 이러한 경우에만 한정되는 것은 아니다. 이러한 경우 대신에, 상술한 자세 안내부(490)의 장비에 의한 효과를 얻으면서, 더욱 작업성을 개선할 수 있는 매거진 카세트에 대해서, 본 제3실시형태의 변형예로서 이하에 설명한다.
다수의 플레이트(6)를 수용하는 매거진 카세트가 이용되는 부품 공급 장치나 부품 실장 장치에 있어서는, 매거진 카세트 내에 수용되어 있는 각각의 플레이트(6)의 교환이나 보급 작업 등을 실행하는 것이 필요하게 된다. 따라서, 효율적인 부품 실장이나 부품 공급에 있어서는, 이러한 매거진 카세트에 대한 플레이트(6)의 교환 작업에 있어서의 작업성을 양호한 것으로 하는 것이 요구된다.
그러나, 도 35의 모식도에 나타내는 바와 같은 종래의 매거진 카세트(500)에 있어서는, 매거진 카세트(500)의 플레이트 취출 방향 C에서 보아서, 안쪽 벽면(500c)이 매거진 카세트(500)의 본체에 고정되어 있어, 각각의 플레이트(6)의 교환 등을 위해서는, 매거진 카세트(500)를 카세트 승강부(51)에 의해 소정의 장소에 위치시켜서, 기초대(52)로부터 매거진 카세트(500)를 떼어내고, 매거진 카세트(500)에 있어서의 플레이트 취출 방향 C 측의 개구부로부터 각각의 플레이트(6)의 교환 작업 등을 실행할 필요가 있다. 또한, 이러한 매거진 카세트는, 그 중량도 대체로 큰 것으로 되는데, 예를 들면, 20～30kg 정도의 중량이 되기 때문에, 이러한 작업자에 의한 매거진 카세트(500)의 탈착 작업은, 작업 효율의 향상을 저해하는 요인이 된다. 또한, 매거진 카세트(500)를 떼어내는 것은, 부품 공급 장치의 가동을 정지시키는 것이 되기도 하여, 이러한 관점에서도, 작업 효율의 향상이 요망되고 있다. 본 변형예는, 이러한 랜덤 액세스에 있어서의 여러 문제를 해결하고, 더욱 나아지는 작업 효율의 향상을 실현하는 것을 목적으로 하고 있다.
우선, 본 변형예에 의한 매거진 카세트(550)의 모식적인 사시도를 도 36에 나타내고, 또한, 이 매거진 카세트(550)의 단면도적인 모식 설명도를 도 37에 나타낸다.
도 36 및 도 37에 나타낸 바와 같이, 매거진 카세트(550)에 있어서는, 플레이트 취출 방향 C에 대하여 안쪽 벽면이, 개폐 가능한 문부의 일례인 개폐 커버부(550c)로 되어 있는 점에 있어서, 상기 제3실시형태의 매거진 카세트(450)와 상이한 구성을 갖추고 있다. 또한, 이 개폐 커버부(550c)의 내측에는, 상기 매거진 카세트(450)의 안쪽 벽면(450c)과 마찬가지로, 각각의 플레이트(6)의 지지 자세를 정상적인 자세로 유지하기 위한 자세 안내부(590)가 구비되어 있다.
이렇게 개폐 커버부(550c)가 설치되어 있음으로써, 매거진 카세트(550)를 기초대(52)로부터 떼어내는 일 없이, 개폐 커버부(550c)를 개방시킴으로써, 각각의 플레이트(6)의 교환 작업을 실행하는 것이 가능하게 된다. 따라서, 이러한 교환 작업에 있어서의 작업성을 현저하게 향상시킬 수 있다. 또한, 개폐 커버부(550c)에 각각의 자세 안내부(590)가 구비되어 있음으로써, 매거진 카세트(550) 내에 각각의 플레이트(6)를 수용한 후, 개폐 커버부(550c)를 폐지(閉止)함으로써, 각각의 플레이트(6)의 자세 안내 블록과 개폐 커버부(550c)의 자세 안내부(590)를 걸어 맞추게 할 수 있으며, 이 걸어 맞춤에 의해 각각의 플레이트(6)의 자세를 정상적으로 유지할 수 있다. 또한, 이러한 개폐 커버부(550c)가 개방됨으로써 나타나는 개구부가 플레이트 교환용 개구부로 되고 있다.
또한, 매거진 카세트(550) 내에 플레이트(6)가 수평 상태가 아니고 경사진 자세로 수용된 경우에는, 자세 안내 블록과 자세 안내부(590)가 서로 걸어 맞추어 질 수 없어, 개폐 커버부(550c)를 완전히 폐지할 수 없게 된다. 이러한 특징을 이용하여, 작업자가 매거진 카세트(550)에 있어서, 각각의 플레이트(6)의 교환 작업을 마친 후, 개폐 커버부(550c)를 폐지할 때에, 완전히 폐지된 것인가 아닌가의 여부를 확인함으로써, 각각의 플레이트(6)가 정상적인 자세로 수용되었는가 아닌가의 여부를 판단하는 것이 가능하게 된다.
또한, 이렇게 작업자가 육안으로 개폐 커버부(550c)의 개폐 상태를 확인하는 경우 대신에, 개폐 커버부(550c)에 개폐 상태를 검출 가능한 개폐 검출 센서(580)를 구비하게 하는 경우이어도 좋다. 예를 들면, 도 36 및 도 37에 나타낸 바와 같이, 개폐 커버부(550c)에 개폐 검출 센서(580)의 피검출부(580a)를 구비해서, 개폐 커버부(550c)가 폐지되었을 때에, 이 피검출부(580a)를 검출 가능하게, 매거진 카세트(550)의 본체 측에 검출부(580b)를 구비하도록 할 수 있다.
이렇게 제어적으로 개폐를 검출함으로써, 작업자의 육안 인식 미스 등을 방지할 수 있어, 확실한 검출을 실행할 수 있음과 더불어, 예를 들면, 이 개폐 검출 센서(580)에 의한 개폐 커버부(550c)의 폐지를 검출하고서야 비로소 부품 공급 장치를 가동시킨다고 하는 인터록(interlock) 회로를 구성할 수도 있다.
또한, 도 37에 나타낸 바와 같이, 카세트 승강부(51)에 의해 매거진 카세트(550)가 수납되어 있는 각각의 플레이트(6)를 교환 가능한 위치, 예를 들면 원점 위치에 위치된 상태에 있어서, 플레이트 이동 장치(40)에 의해 매거진 카세트(550)와의 사이에서 플레이트(6)의 출납이 가능한 플레이트 수용부(570)가, 매거진 카세트(550)의 하부에 설치되어 있다. 이 플레이트 수용부(570)에는, 예를 들면, 1장의 플레이트(6)만이 수용 가능하게 되어 있어, 상기 원점 위치에 위치된 상태의 매거진 카세트(550)에 대하여, 각각의 플레이트(6)의 교환 작업 중에서도, 플레이트 수용부(570)에 수용된 플레이트(6)를, 플레이트 이동 장치(40)에 의해 꺼내서, 부품(2)의 공급을 실행하는 것, 및, 부품(2)의 공급이 실행된 플레이트(6)를 플레이트 수용부(570)에 수용시키는 것이 가능하게 되어 있다.
이러한 플레이트 수용부(570)가 매거진 카세트(550)에 구비되어 있음으로써, 매거진 카세트(550)에 수용되어 있는 각각의 플레이트(6)의 교환 작업을 실행하고 있는 동안에도, 플레이트 수용부(570)에 수용된 플레이트(6)를 이용하여, 부품 공급을 계속해서 실행할 수 있어, 효율적인 부품 공급을 실행할 수 있다.
또한, 도 38A, 도 38B는, 매거진 카세트(550)의 본체부에 있어서의 개폐 커버부(550c)의 개구 단부에 있어서의 각각의 측벽부(550a)의 부분 확대도(좌측, 우측)이지만, 이들에 나타낸 바와 같이, 매거진 카세트(550)의 내부에 구비되어 있는 각각의 홈부(550b)에 있어서의 서로 대향하는 조마다, 예를 들면 식별 마크부의 일례로서 단(段) 번호를 표시할 수도 있다. 이러한 경우에 있어서는, 매거진 카세트(550) 내에 작업자가 각각의 플레이트(6)를 수용하는 경우에, 좌우의 홈부(550b)의 단 수를 틀리는 것을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같은 각각의 구성을 이용한 매거진 카세트(550) 내에 수용되어 있는 각각의 플레이트(6)의 교환 작업을, 플레이트 교환 작업 공정(혹은 부품 공급 작업 공정)으로서, 도 39의 흐름도에 그 순서를 나타낸다.
도 39에 나타낸 바와 같이, 단계 S1에서, 플레이트 교환 작업을 시작한다. 이 작업 개시는, 예를 들면 교환 작업 모드로서, 부품 실장 장치가 구비하는 제어 장치 등을 조작함으로써 실행할 수 있다. 이어서, 단계 S2에서, 매거진 카세트(550)가, 카세트 승강부(51)에 의해 승강되어서, 상기 원점 위치에 위치된다.
그 후, 단계 S3에 있어서, 매거진 카세트(550)의 개폐 커버부(550c)를 개방하여, 각각의 플레이트(6)의 교환 작업을 실행한다. 이때, 플레이트 배치 장치(12)에 있어서, 부품 공급 중인 플레이트(6)가 있는 경우로서, 상기 부품 공급이 완료되었을 경우에는, 이 플레이트(6)는, 플레이트 이동 장치(40)에 의해 플레이트 수용부(570)에 수용시킬 수 있다(단계 S4).
각각의 플레이트(6)의 교환 작업이 완료되면, 단계 S5에 있어서, 각각의 플레이트(6)가 수용된 단 번호의 확인을 실행하여, 경사 자세로 수용되어 있지 않은 것을 확인한다. 그 후, 개폐 커버부(550c)를 폐지하고, 이 폐지를 확인함으로써, 각각의 플레이트(6)가 정상적인 자세로 수용된 것을 확인할 수 있다. 또한, 이 폐지의 확인은, 상술한 바와 같이 개폐 검출 센서(580)를 가지고 실행할 수도 있다. 이것에 의해, 플레이트 교환 작업이 완료된다(단계 S7).
이러한 순서로 상기 플레이트 교환 작업을 실행함으로써, 부품 공급 장치에 의한 부품 공급 작업을 중단시키는 일 없이, 상기 각각의 플레이트의 교환을, 원활하고, 또한 효율적으로 실행할 수 있어, 더욱 효율적인 부품 공급을 실행할 수 있다.
또한, 상술한 매거진 카세트(550)에 있어서는, 쌍의 조를 형성하는 각각의 홈부(550b)를 식별하기 위해서, 단락 번호의 표시를 시행할 경우에 대해서 설명했지만, 이러한 경우 대신에, 도 41에 나타내는 매거진 카세트(650)와 같이, 상기 제1실시형태의 매거진 카세트(50)에서 이용된 각각의 식별 마크부(134)가 이용되는 경우이어도 좋다. 이러한 구성의 선택은, 각각의 식별 마크부의 형성 작업에 필요로 하는 수고를 고려해서 결정할 수 있다.
또한 상기 여러 가지 실시형태 중 임의의 실시형태를 적절히 조합함으로써, 각각이 갖는 효과를 나타내도록 할 수 있다.
본 발명은, 첨부 도면을 참조하면서 바람직한 실시형태에 관련해서 충분히 기재하고 있지만, 이 기술에 숙련한 사람들에 있어서는 여러 가지의 변형이나 수정은 명백하다. 그러한 변형이나 수정은, 첨부한 청구의 범위에 의한 본 발명의 범위로부터 일탈하지 않는 한에 있어서, 그 중에 포함된다고 이해되어야 한다.
2004년 5월 13일에 출원된 일본국 특허 출원 제2004-142984호의 명세서, 도면, 및 특허청구 범위의 개시 내용은, 전체로서 참조되어 본 명세서 속에 포함되는 것이다.

Claims (21)

  1. 기판에 실장되는 복수의 부품(2, 2w, 2t)을 공급 가능하게 배치하는 복수의 부품 공급용 플레이트(6, 6w, 6t)의 서로 대향하는 단부(端部)를 지지함으로써, 수평 지지 자세로 상기 각각의 플레이트를, 상기 플레이트의 표면을 따르는 방향인 플레이트 공급 방향(C)을 따라 이동 안내 가능하게 지지하는 복수의 쌍의 조(組)를 형성하는 지지 안내부(50b, 250b, 450b)와,
    상기 각각의 지지 안내부 중에서, 상기 각각의 쌍의 조를 형성하는 상기 각각의 지지 안내부를, 다른 쌍의 조를 형성하는 상기 각각의 지지 안내부에 대하여 식별 가능하게, 상기 각각의 쌍의 조의 지지 안내부를 고정하는 1쌍의 측벽부(50a)의 측면에 관통 구멍으로서 형성된 복수의 식별 마크부(134)를 구비하고,
    상기 각각의 식별 마크부에 의해 식별된 상기 각각의 쌍의 조의 지지 안내부에 상기 플레이트의 단부를 지지시켜서, 상기 각각의 플레이트를 복수 단(段)으로 적층해서 수용 가능하며, 이 수용된 부품 공급용 플레이트를 상기 각각의 지지 안내부에 의해 안내하면서 상기 플레이트 공급 방향을 따라 이동시킴으로써, 상기 플레이트에 배치된 상기 각각의 부품 공급을 위해서 상기 부품 공급용 플레이트를 취출(取出) 가능하게 하는 부품 공급용 플레이트 수용체.
  2. 기판에 실장되는 복수의 부품(2, 2w, 2t)을 공급 가능하게 배치하는 복수의 부품 공급용 플레이트(6, 6w, 6t)의 서로 대향하는 단부를 지지함으로써, 수평 지지 자세로 상기 각각의 플레이트를, 상기 플레이트의 표면을 따르는 방향인 플레이트 공급 방향(C)을 따라 이동 안내 가능하게 지지하는 복수의 쌍의 조를 형성하는 지지 안내부(50b, 250b, 450b)와,
    상기 각각의 지지 안내부 중에서, 상기 각각의 쌍의 조를 형성하는 상기 각각의 지지 안내부를, 다른 쌍의 조를 형성하는 상기 각각의 지지 안내부에 대하여 식별 가능하게, 상기 각각의 지지 안내부의 측벽부 또는 상기 각각의 쌍의 조의 지지 안내부를 고정하는 1쌍의 측벽부(50a)의 외주면에 있어서 상기 플레이트 공급 방향을 따라 연장되고 또한 상기 측벽부의 단부에서 개방되도록 형성된 복수의 홈 형상의 식별 마크부(124)를 구비하고,
    상기 각각의 식별 마크부에 의해 식별된 상기 각각의 쌍의 조의 지지 안내부에 상기 플레이트의 단부를 지지시켜서, 상기 각각의 플레이트를 복수 단(段)으로 적층해서 수용 가능하며, 이 수용된 부품 공급용 플레이트를 상기 각각의 지지 안내부에 의해 안내하면서 상기 플레이트 공급 방향을 따라 이동시킴으로써, 상기 플레이트에 배치된 상기 각각의 부품 공급을 위해서 상기 부품 공급용 플레이트를 취출(取出) 가능하게 하는 부품 공급용 플레이트 수용체.
  3. 삭제
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 식별 마크부가 배치된 상기 1쌍의 조의 지지 안내부와, 상기 식별 마크부가 배치되지 않은 상기 1쌍의 지지 안내부가, 상하 방향에 번갈아 배치되는 부품 공급용 플레이트 수용체.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 각각의 지지 안내부의 조 사이에 배치되어, 상기 각각의 플레이트와 걸려 맞추어짐으로써, 상기 플레이트 공급 방향에 있어서의 상기 각각의 플레이트의 지지 자세를 안내하는 복수의 자세 안내부(490, 590)를 추가로 구비하는 부품 공급용 플레이트 수용체.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 수용되는 각각의 플레이트에 있어서의 상기 각각의 지지 안내부와의 접촉 부분(R)에, 곡면에 의해 구성되는 활면부(滑面部)(59a)가 형성되어 있는 부품 공급용 플레이트 수용체.
  9. 삭제
  10. 제8항에 있어서,
    상기 각각의 플레이트와 상기 각각의 지지 안내부의 상호 접촉 표면에 있어서의 각각의 경도(硬度)가, 상기 각각의 플레이트보다도 상기 각각의 지지 안내부가 낮게 되도록, 상기 각각의 접촉 표면이 형성되는 부품 공급용 플레이트 수용체.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 각각의 플레이트와 상기 각각의 지지 안내부의 상호 접촉 표면에 있어서의 각각의 경도가, 상기 각각의 지지 안내부보다도 상기 각각의 플레이트의 상기 단부 측이 낮게 되도록, 상기 각각의 접촉 표면이 형성되는 부품 공급용 플레이트 수용체.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 각각의 지지 안내부는, 상기 각각의 플레이트의 단부를 지지하면서, 상기 단부의 표면을 따라 회전 가능한 롤러부(261a)를 구비하는 부품 공급용 플레이트 수용체.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 부품 공급용 플레이트 수용체의 지지를 실행하는 기초대에 대향하는 상기 부품 공급용 플레이트 수용체의 저부(底部)에, 이 지지 위치를 고정하는 복수의 고정부(471)를 구비하고, 적어도 1개의 상기 고정부가, 도전성 재료로 형성되어, 접지 단자부로서의 기능을 갖는 부품 공급용 플레이트 수용체.
  14. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 각각의 부품 공급용 플레이트는, 상기 각각의 부품으로서 복수의 웨이퍼 공급 부품(2w)이 배치된 웨이퍼(7)를 탑재하는 원판 형상의 웨이퍼 공급용 플레이트(6w), 또는 상기 각각의 부품으로서 복수의 트레이 공급 부품(2t)이 배치된 부품 공급 트레이(57)를 탑재하고, 또한 상기 웨이퍼 공급용 플레이트에 대하여 동일한 외주(外周) 형상을 갖는 트레이 공급용 플레이트(6t)이며,
    상기 웨이퍼 공급용 플레이트 및 상기 트레이 공급용 플레이트가, 혼재해서 단으로 적층 수용되는 부품 공급용 플레이트 수용체.
  15. 제14항에 기재한 상기 부품 공급용 플레이트 수용체와,
    상기 각각의 플레이트 중 어느 하나의 상기 플레이트를 선택적으로 배치해서 유지하고, 상기 웨이퍼로부터 웨이퍼 공급 부품을, 또는, 상기 부품 공급 트레이로부터 상기 트레이 공급 부품을 공급 가능한 상태로 하는 플레이트 배치 장치(12)와,
    상기 플레이트를 해제 가능하게 유지하여, 상기 플레이트 수용체로부터 꺼냄과 더불어, 상기 플레이트 배치 장치에 유지 가능하게 이동시키는 플레이트 이동 장치(40)를 구비하는 것을 특징으로 하는 부품 공급 장치.
  16. 기판에 실장되는 복수의 부품(2, 2w, 2t)을 공급 가능하게 배치하는 복수의 부품 공급용 플레이트(6, 6w, 6t)의 서로 대향하는 단부를 지지함으로써, 수평 지지 자세로 상기 각각의 플레이트를, 상기 플레이트의 표면을 따르는 방향인 플레이트 공급 방향(C)을 따라 이동 안내 가능하게 지지하는 복수의 쌍의 조를 형성하는 지지 안내부(50b, 250b, 450b)와,
    상기 각각의 지지 안내부의 조 사이에 배치되어, 상기 각각의 플레이트에 설치된 자세 안내 블록과 걸려 맞추어짐으로써, 상기 플레이트 공급 방향에 있어서의 상기 각각의 플레이트의 지지 자세를, 상기 자세 안내 블록과 걸려 맞추어지는 과정에 있어서 보정하면서 안내하는 1쌍의 걸어 맞춤부로서, 상기 1쌍의 걸어 맞춤부의 간격이 테이퍼 형상으로 형성된 상기 걸어 맞춤부를 갖춘 복수의 자세 안내부(490, 590)를 구비하고,
    상기 각각의 자세 안내부에 의해 상기 각각의 플레이트의 지지 자세를 안내하면서, 상기 각각의 쌍의 조의 지지 안내부에 상기 플레이트의 단부를 지지시켜서, 상기 각각의 플레이트를 복수 단으로 적층해서 수용 가능하며, 이 수용된 부품 공급용 플레이트를 상기 각각의 지지 안내부에 의해 안내하면서 상기 플레이트 공급 방향을 따라 이동시킴으로써, 상기 플레이트에 배치된 상기 각각의 부품 공급을 위해서 상기 부품 공급용 플레이트를 취출 가능하게 하는 부품 공급용 플레이트 수용체.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 각각의 플레이트를 교환하기 위해, 개폐 가능한 문부(550c)를 구비하고, 상기 각각의 자세 안내부를 상기 문부의 내측에 구비하는 부품 공급용 플레이트 수용체.
  18. 삭제
  19. 제16항에 있어서,
    상기 각각의 부품 공급용 플레이트는, 상기 각각의 부품으로서 복수의 웨이퍼 공급 부품(2w)이 배치된 웨이퍼(7)를 탑재하는 원판 형상의 웨이퍼 공급용 플레이트(6w), 및 상기 각각의 부품으로서 복수의 트레이 공급 부품(2t)이 배치된 부품 공급 트레이(57)를 탑재하고, 또한 상기 웨이퍼 공급용 플레이트에 대하여 동일한 외주(外周) 형상을 갖는 트레이 공급용 플레이트(6t)이며,
    상기 플레이트 수용체는, 상기 웨이퍼 공급용 플레이트와 상기 트레이 공급용 플레이트를 혼재해서 수용 가능하며,
    상기 각각의 트레이 공급용 플레이트에 상기 자세 안내 블록이 설치되어, 상기 각각의 자세 안내부는, 상기 각각의 트레이 공급용 플레이트의 상기 자세 안내 블록과 걸려 맞추어짐으로써, 상기 각각의 트레이 공급용 플레이트에 대하여, 상기 자세 안내 블록과 걸려 맞추어지는 과정에 있어서 지지 자세를 보정하면서 안내 가능한 부품 공급용 플레이트 수용체.
  20. 제14항에 있어서,
    상기 트레이 공급용 플레이트(6t)는, 환상(環狀) 플레이트인 트레이 링(tray ring)(59)과, 상기 트레이 링의 상기 환상의 내주(內周) 부분에 설치되어, 복수의 부품 공급 트레이(57)를 착탈(着脫) 가능하게 탑재하는 트레이 탑재부(58)를 구비하고,
    상기 트레이 탑재부는, 상기 트레이 링의 상면보다도 낮은 높이 위치에 설치되어, 상기 트레이 탑재부에 탑재되는 부품 공급 트레이에 수납되는 상기 각각의 트레이 공급 부품의 상면 높이 위치가, 상기 웨이퍼 공급 플레이트에 있어서의 상기 웨이퍼 공급 부품의 높이 위치와 동일한 높이 위치가 되도록, 상기 트레이 공급용 플레이트가 형성되는 부품 공급용 플레이트 수용체.
  21. 제14항에 있어서,
    수용되는 상기 트레이 공급용 플레이트는, 플레이트 취출 방향에 있어서의 그 단부 근방 위치에, 상기 트레이 공급용 플레이트와 상기 웨이퍼 공급 플레이트를 식별 가능하게 검출하기 위한 검출용 식별 마크가 형성되어 있는 부품 공급용 플레이트 수용체.
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