JPH09289244A

JPH09289244A - 基板整列装置

Info

Publication number: JPH09289244A
Application number: JP8100410A
Authority: JP
Inventors: Tatsuhiko Inada; 龍彦稲田
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1996-04-22
Filing date: 1996-04-22
Publication date: 1997-11-04

Abstract

(57)【要約】【課題】サイズが大きい基板や薄い基板に対しても基
板の損傷やパーティクルの発生なく容易に整列させる。【解決手段】カセット内に収納された基板１３の下方
にローラ２７などのコロ部材を挿入し、基板１３をロー
ラ２７で受けて持ち上げ、この状態で基板１３をその両
側から整列当たり部材２８で挾み込んで押圧すること
で、基板１３を所定の整列位置に移動させるので、基板
１３の下面はローラ２７のころがり摩擦を受けており、
サイズが大きい基板や薄い基板に対しても基板１３の損
傷やパーティクルの発生がなく、より少ない摩擦係数で
容易に整列移動可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体基板
製造装置や液晶表示基板製造装置などに用いられ、カセ
ット内に収納された多数の基板を整列させる基板整列装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、基板搬送装置によって基板をカセ
ットから取り出すときに、カセットの支柱と基板の端面
とが接触してパーティクルの発生を引き起こしたり、カ
セットの支柱と基板の端面とが当たって基板が取り出せ
なかったり、基板を破損したりしていた。これを解決す
るために、カセット内に収納された多数の基板を、その
両側から所定の整列部材でシリンダを駆動源として挾み
込んで整列させる基板整列装置が提案されている。

【０００３】図９は従来の基板整列装置の構成を示して
おり、（ａ）はその正面図、（ｂ）はその平面図であ
る。

【０００４】図９（ａ）および図９（ｂ）において、多
数の角形基板１を水平に積層して収容するカセット２の
両側面に形成された整列用開口部２ａにそれぞれ対向し
て配設される一対のガイド部材３，４が設けられてい
る。これら一対のガイド部材３，４はそれぞれ、シリン
ダ５，６に駆動されて案内ガイド７，８に沿った水平方
向に進退移動する。一方のシリンダ５によるガイド部材
３の進退移動に伴って、これに設けた一対の垂直方向に
延びるリブ状の当たりガイド３ａは、カセット２の右側
の整列用開口部２ａ内に進退移動する構成である。ま
た、他方のシリンダ６によるガイド部材４の進退移動に
伴って、これに設けた一対の垂直方向に延びるリブ状の
当たりガイド４ａは、カセット２の左側の整列用開口部
２ａ内に進退移動する構成である。

【０００５】上記構成により、以下、その動作を説明す
る。図１０は図９の基板整列装置の基板整列時の状態を
示しており、（ａ）はその正面図、（ｂ）はその平面図
である。

【０００６】図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示すよ
うに、図９（ａ）および図９（ｂ）の状態のガイド部材
３，４をそれぞれ、シリンダ５，６の駆動によりカセッ
ト２の左右両側面の整列用開口部２ａ，２ａに向けて案
内ガイド７，８に沿って前進させ、各ガイド部材３，４
にそれぞれ設けられた各当たりガイド３ａ，４ａで、カ
セット２内の基板１の対向する両辺を両側から挾み込ん
で押圧する。これにより、垂直方向に積層配設された複
数の角形基板１のカセット２中における水平位置を揃え
て整列させることができる。

【０００７】このようにして、カセット２の位置決め後
には、基板１の水平取り出し方向に対して直角な方向
に、カセット２の支柱と基板１の端面との間にほぼ均等
な隙間が開くように基板を整列させることができる。そ
の後、多数の基板１が収納されたカセット２から例えば
基板処理手段に基板１を１枚づつ基板搬送装置（図示せ
ず）によって基板１の損傷などがなく容易に排出するこ
とができる。また、基板処理手段による基板処理の後に
は、処理された基板１を基板搬送装置（図示せず）によ
ってこの基板整列装置のカセット２内に収納することに
なる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】近年、半導体製造装置
や液晶表示製造装置などで処理される基板は、大型で薄
くなる傾向があるが、上記従来の基板整列装置の構成で
は、サイズが大きい基板や薄い基板、特にサイズが大き
くて薄い基板に対して、容易に適応することができない
という問題があった。

【０００９】即ち、上記のようなサイズが大きくて薄い
基板を整列しようとした場合、カセット内において基板
の保持部間が多少撓んだりしており、整列のために基板
の両側から押圧しても、基板とその基板を載せて保持し
ている保持部との間の摩擦抵抗が大きく、基板自体が動
かずに整列させることができない場合もある。この場合
に、基板の両側からさらに押圧しても基板はさらに撓む
だけで整列すべく移動せず、基板にストレスがかかって
基板が破損する虞れもあった。

【００１０】また、このような場合に、たとえ基板が動
いて整列できたとしても基板とその基板を載せて保持し
ている保持部との間が擦られて基板が傷付いたり、パー
ティクル発生の原因になっていた。

【００１１】本発明は、上記問題を解決するもので、サ
イズが大きい基板や薄い基板に対しても基板の損傷やパ
ーティクルの発生なく容易に整列させることができる基
板整列装置を提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明の基板整列装置
は、下面端部を支持部材により支持されてカセット内に
収納された基板を両側から押圧して所定位置に整列させ
る基板整列装置において、前記支持部材により支持され
た基板の下面端部に当接すると共に、前記支持部材の基
板に対する摩擦係数より小さい摩擦係数を有する当接部
材と、前記基板の端面を押圧する押圧部材と、前記下面
端部の下方位置と前記当接部材を下面端部に当接させた
状態で前記基板を支持部材から持ち上げて離間させる上
方位置との間で、前記当接部材を昇降させる当接部材昇
降手段と、前記上方位置において基板が当接部材により
持ち上げられた状態で、前記押圧部材を基板の内側へ向
かう方向に基板が所定位置に整列される整列位置まで移
動させる押圧部材移動手段とを備えたことを特徴とする
ものである。

【００１３】この構成により、カセット内に収納された
基板の下方に当接部材を挿入し、基板をこの当接部材で
受けて持ち上げ、この状態で基板をその両側から押圧部
材で挾み込んで押圧することで、基板を所定の整列位置
に移動させるので、基板の下面はより小さい摩擦係数の
下で、サイズが大きい基板や薄い基板に対しても基板の
損傷やパーティクルの発生がなく容易に整列移動可能と
なる。

【００１４】また、好ましくは、本発明の基板整列装置
における当接部材および押圧部材をカセットの外側位置
と内側位置との間で進退させる進退手段を有する。

【００１５】この構成により、当接部材および押圧部材
をカセットの外側に移動させることにより、カセットに
対して基板を給排するときに、基板やその給排手段と当
接部材または押圧部材とが干渉することがない。

【００１６】さらに、好ましくは、本発明の基板整列装
置における当接部材および押圧部材が一体的に構成され
ている。

【００１７】この構成により、それぞれ別々に設けるよ
りも一体的に設ける方が構成が簡単である。

【００１８】さらに、好ましくは、本発明の基板整列装
置における当接部材は、前記上方位置において前記下面
端部をころがり可能なコロ部材である。

【００１９】この構成により、小さい摩擦係数が容易に
得られる。

【００２０】さらに、好ましくは、本発明の基板整列装
置におけるカセットに複数の基板が収納され、前記当接
部材および押圧部材が前記複数の基板毎にそれぞれ設け
られ、前記当接部材昇降手段が前記複数の当接部材をそ
れぞれ同時に昇降させると共に、前記押圧部材移動手段
が前記複数の押圧部材をそれぞれ同時に移動させる。

【００２１】この構成により、複数の基板を同時に整列
可能である。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。

【００２３】図１は本発明の一実施形態における基板整
列装置の構成を示す正面図であり、図２は図１の基板整
列装置の側面図である。なお、図１においては、左右の
シリンダ機構やリニアガイド機構などの各機構部材は同
じものが用いられており、説明を容易にするために左側
にはシリンダ機構の接続構成を示し、右側にはリニアガ
イド機構の構成を示しており、さらに、これらの下部に
位置するカム軸支部分は断面で示している。

【００２４】図１および図２において、ベース部材１１
上に立設された支柱部材１２上には、角形のガラス基板
などの複数の基板１３が水平方向に積層されて収納され
たカセット１４が設けられている。このカセット１４の
両側面に形成された整列用開口部１５Ｌ，１５Ｒにそれ
ぞれ対向して一対の整列部材１６Ｌ，１６Ｒが配設され
ている。これらの一対の整列部材１６Ｌ，１６Ｒはそれ
ぞれ、進退手段としての開口部挿入用のエアーシリンダ
１７Ｌ，１７Ｒに駆動されて左右駆動案内軸受であるリ
ニアガイド１８Ｌ，１８Ｒに沿った水平方向に進退移動
可能に構成されている。これらのエアーシリンダ１７
Ｌ，１７Ｒの駆動軸にそれぞれ、押圧部材移動手段とし
ての基板整列用のエアーシリンダ１９Ｌ，１９Ｒの駆動
軸がそれぞれ連結されている。このエアーシリンダ１９
Ｌ，１９Ｒは、上方位置において基板１３がローラ２７
により持ち上げられた状態で、整列当たり部材２８を基
板１３の内側へ向かう方向に基板１３が所定位置に整列
される整列位置まで移動させる。これらの整列部材１６
Ｌ，１６Ｒ、エアーシリンダ１７Ｌ，１７Ｒ、リニアガ
イド１８Ｌ，１８Ｒおよびエアーシリンダ１９Ｌ，１９
Ｒなどにより、一対の整列部材１６Ｌ，１６Ｒにて基板
１３を両側より挾み込んで基板１３を整列させる基板整
列部２０が構成されており、この基板整列部２０を基板
１３とともに昇降させる基板昇降部２１が基板整列部２
０の下方位置に配設されている。

【００２５】この基板整列部２０の整列部材１６Ｌ，１
６Ｒはそれぞれ、カセット１４の整列用開口部１５Ｌ，
１５Ｒに対向配設された整列プレート２２の左右両端部
に整列フレーム２３がねじなどで固定されて上下方向に
配設されている。この整列フレーム２３は、図３および
図４に示すように、支柱部材２４の一方面側にリフトフ
レーム２５が基板１３の積層ピッチと同一ピッチになる
ように上下方向に複数個、片持ち支持されて設けられて
いる。このリフトフレーム２５の先端部分の凹部には、
ローラ軸２６に固定されたコロ部材などの当接部材とし
てのローラ２７がリフトフレーム２５の上面より出た状
態でローラ軸２６とともに回転自在に組み込まれてい
る。図５に示すようにこれらのローラ２７上に基板１３
が載せられた状態で基板１３の下面がころがり摩擦を受
けることになるが、このころがり摩擦がより少なく、か
つ基板１３の損傷やパーティクルの発生がないようにポ
リテトラフロロエチレン（ＰＴＦＥ）などのフッ素樹脂
材料を用いている。また、これらのリフトフレーム２５
を両側から挾むように、支柱部材２４上に、基板１３の
端面を押圧する押圧部材としてのポリクロロトリフロロ
エチレン（ＰＣＴＦＥ）などのフッ素樹脂製（例えばＰ
ＣＴＦＥ）の整列当たり部材２８が上下方向に設けられ
ている。この整列当たり部材２８の一方面は基板１３の
積層ピッチと同一ピッチになるように上下方向に複数個
の凹部２８ａが形成されている。この凹部２８ａの形状
は、下側がテーパ状で上側が直角状に形成されており、
この下側のテーパ部に連接された平面部２８ｂで基板１
３の端部を押圧する構成である。

【００２６】また、この基板整列部２０の駆動源として
のエアーシリンダ１７Ｌ，１７Ｒはそれぞれ、図６にも
示すように整列フレームベース２９Ｌ，２９Ｒ上に立設
されたプレート３０に水平に固定されて設けられてい
る。このエアーシリンダ１７Ｌ，１７Ｒの駆動軸はそれ
ぞれ、両端にＵ字形の切欠きを有する連結プレート３１
の一方の切欠きにナットなどで固定されている。これら
の左右の連結プレート３１の他方の切欠きにはそれぞ
れ、基板整列用のエアーシリンダ１９Ｌ，１９Ｒの駆動
軸の先端部がナットなどで固定されている。また、この
エアーシリンダ１９Ｌ，１９Ｒはそれぞれ、互いに対向
した各整列プレート２２の下方端部にそれぞれ固定され
て配設されている。したがって、これらのエアーシリン
ダ１７Ｌおよびエアーシリンダ１９Ｌと、エアーシリン
ダ１７Ｒおよびエアーシリンダ１９Ｒとにより、対向す
る左右の整列プレート２２および整列フレーム２３を、
開口部挿入と基板整列の２ストローク、水平方向に互い
に接近または離間自在に移動するように構成されてい
る。つまり、エアーシリンダ１７Ｌは、エアーシリンダ
１７Ｌに対して、エアーシリンダ１９Ｌ、連結プレート
３１および整列プレート２２を一体的に往復移動させ、
また、エアーシリンダ１７Ｒは、エアーシリンダ１７Ｒ
に対して、エアーシリンダ１９Ｒ、連結プレート３１お
よび整列プレート２２を一体的に往復移動させる。ま
た、エアーシリンダ１９Ｌは、連結プレート３１に対し
て、エアーシリンダ１９Ｌおよび整列プレート２２を一
体的に往復移動させ、また、エアーシリンダ１９Ｒは、
連結プレート３１に対して、エアーシリンダ１９Ｒおよ
び整列プレート２２を一体的に往復移動させる。なお、
図１の状態はエアーシリンダ１７Ｌ，１７Ｒの駆動軸が
短縮状態で、エアーシリンダ１９Ｌ，１９Ｒの駆動軸が
伸長状態の基板整列状態である。また、図６の状態はエ
アーシリンダ１７Ｌ，１７Ｒの駆動軸が伸長状態で、エ
アーシリンダ１９Ｌ，１９Ｒの駆動軸が短縮状態の待機
状態である。

【００２７】さらに、基板整列部２０のリニアガイド１
８Ｌ，１８Ｒはそれぞれ、左右の各整列フレームベース
２９Ｌ，２９Ｒの両端縁上にそれぞれエアーシリンダ１
７Ｌ，１７Ｒの駆動方向に設けられたリニアレール３２
Ｌ，３２Ｒと、このリニアレール３２Ｌ，３２Ｒと嵌合
する凹部よりなる駆動案内軸受部３３とで構成されてい
る。リニアガイド１８Ｌ，１８Ｒにそれぞれ平行に設け
られる一対の駆動案内軸受部３３の上端縁部はそれぞれ
整列プレート２２の両端部下側にねじなどでそれぞれ固
定されている。

【００２８】さらに、上記基板昇降部２１には、図１お
よび図２に示すように左右の各整列フレームベース２９
Ｌ，２９Ｒを昇降させる上下駆動用カム３４Ｌ，３４Ｒ
と、これらの上下駆動用カム３４Ｌ，３４Ｒを回動させ
る駆動源としてのエアーシリンダ３５と、左右の各整列
フレームベース２９Ｌ，２９Ｒの昇降を上下方向に案内
するリニアガイド３６とがそれぞれ設けられている。こ
のエアーシリンダ３５などの当接部材昇降手段は、基板
１３の下面端部の下方位置とローラ２７をその下面端部
に当接させた状態で基板１３を支持部材としてのヒダ部
３９から持ち上げて離間させる上方位置との間で、ロー
ラ２７を上昇または下降させる。

【００２９】これらの左右一対の上下駆動用カム３４
Ｌ，３４Ｒはそれぞれ、各整列フレームベース２９Ｌ，
２９Ｒの下面にカムとして作用するアール状に形成され
た一端部が屈曲されており、その屈曲部にアーム部３４
ａが連設されているとともに軸支部が設けられている。
これらの各アーム部の下方端部はそれぞれ連結ステー３
７の両端部にそれぞれ連結されている。この連結ステー
３７は、その長手方向を回転軸として一対の上下駆動用
カム３４Ｌ，３４Ｒの各アーム部３４ａが回動自在なよ
うに軸支されている。この左右連結ステー３７の中央部
にはエアーシリンダ３５の駆動軸が、左右連結ステー３
７の長手方向を回転軸として回動自在に連結されてい
る。このエアーシリンダ３５は、ベース部材１１より下
方部にその一端が回動自在に軸支されて設けられてお
り、このエアーシリンダ３５の駆動軸の駆動により連結
ステー３７さらに各アーム部３４ａを介して一対の上下
駆動用カム３４Ｌ，３４Ｒのアール部で各整列フレーム
ベース２９Ｌ，２９Ｒの下面をそれぞれ押圧して昇降さ
せる構成である。

【００３０】上記構成により、以下、その動作を説明す
る。図７（ａ）〜（ｃ）および図８（ａ），（ｂ）は図
１の基板整列装置による基板整列動作の各工程を示すリ
フトフレーム２５と基板１３との位置関係を示す図であ
る。

【００３１】まず、図７（ａ）に示すように、カセット
１４の支柱３８に上下方向に所定間隔開けて設けられた
基板保持用のヒダ部３９毎に基板１３が載せられてい
る。この支柱３８の間の整列用開口部で上下の基板１３
間に各リフトフレーム２５が対応するように整列プレー
ト２２および整列フレーム２３が配置されている。この
基板整列前の状態から、図７（ｂ）に示すように、エア
ーシリンダ１７Ｌ，１７Ｒによってその駆動軸を短縮す
ることで、整列用開口部を介して互いに対向する左右の
整列プレート２２および整列フレーム２３を接近させて
各リフトフレーム２５を上下の基板１３間に挿入する。
このとき、左右の整列プレート２２および整列フレーム
２３は、その下部の２本の平行なリニアガイド１８Ｌ，
１８Ｌおよび１８Ｒ，１８Ｒで案内されてスムーズに移
動することになり、この時点では、基板１３の両端部と
整列当たり部材２８の平坦部２８ｂとは接触していない
状態である。

【００３２】次に、エアーシリンダ１７Ｌ，１７Ｒの短
縮動作が終了したことをリミットスイッチなどの検知手
段（図示せず）で検知することで、エアーシリンダ３５
の駆動軸を短縮動作するようにバルブ（図示せず）を切
り換える。このエアーシリンダ３５の駆動軸の短縮駆動
により、左右連結ステー３７がエアーシリンダ３５側に
移動する。この連結ステー３７の移動でその両側の上下
駆動用カム３４Ｌ，３４Ｒの各アーム部３４ａをその軸
支部を中心に回動させ、一対の上下駆動用カム３４Ｌ，
３４Ｒのアール部で、各整列フレームベース２９Ｌ，２
９Ｒの下面をそれぞれ押圧して上昇させる。これによっ
て、左右の整列プレート２２および整列フレーム２３も
上昇して各リフトフレーム２５のローラ２７で基板１３
を受けて一斉に持ち上げることになる。その持ち上げる
寸法は、カセット１４内に積層されて収納された基板１
３間のピッチの半分程度とする。即ち、基板１３を持ち
上げる寸法は、その上側のヒダ部３９に基板１３が接触
しない寸法である必要がある。このとき、基板１３の下
面はローラ２７のころがり摩擦を受けている状態であ
る。

【００３３】さらに、エアーシリンダ３５の短縮動作が
終了したことをリミットスイッチなどの検知手段（図示
せず）で検知することで、エアーシリンダ１９Ｌ，１９
Ｒの駆動軸を伸長動作するようにバルブ（図示せず）を
切り換える。このエアーシリンダ１９Ｌ，１９Ｒの駆動
軸の伸長駆動により、図７（ｃ）の状態から図８（ａ）
の状態にエアーシリンダ１９Ｌ，１９Ｒとともに左右の
整列プレート２２および整列フレーム２３を図７（ｃ）
の矢印Ｂに示すように内側に移動させる。これにより、
基板１３の下面がローラ２７のころがり摩擦を受けた摩
擦係数の少ない状態で基板１３はその両側から整列当た
り部材２８の平坦部２８ｂで挾み込まれてその整列位置
に、基板１３の下面をローラ２７がころがりながら移動
することになる。

【００３４】さらに、エアーシリンダ１９Ｌ，１９Ｒの
駆動軸の伸長動作が終了したことをリミットスイッチな
どの検知手段（図示せず）で検知することで、エアーシ
リンダ３５を伸長動作するようにバルブ（図示せず）を
切り換える。このエアーシリンダ３５の駆動軸の伸長駆
動により、連結ステー３７がエアーシリンダ３５側とは
反対側に移動する。この連結ステー３７の移動でその両
側の上下駆動用カム３４Ｌ，３４Ｒの各アーム部３４ａ
をその軸支部を中心に回動させ、一対の上下駆動用カム
３４Ｌ，３４Ｒのアール部で、各整列フレームベース２
９Ｌ，２９Ｒの下面をそれぞれ下降させる。これによっ
て、左右の整列プレート２２および整列フレーム２３も
下降して各リフトフレーム２５のローラ２７で受けてい
た基板１３を、基板保持用のヒダ部３９上に載せ変え
る。このとき、エアーシリンダ１９Ｌ，１９Ｒの駆動軸
の伸長は、等距離になるように設定しておけば基板１３
と整列当たり部材２８との間をほとんど０の状態にして
基板１３をセンター位置に整列させることができる。し
たがって、基板１３と整列当たり部材２８とは力が働い
ておらず容易に基板１３をローラ２７上からカセット１
４のヒダ部３９上に載せ換えることができることにな
る。

【００３５】さらに、エアーシリンダ３５の駆動軸の伸
長動作が終了したことをリミットスイッチなどの検知手
段（図示せず）で検知することで、エアーシリンダ１７
Ｌ，１７Ｒを伸長動作するようにバルブ（図示せず）を
切り換えるとともに、エアーシリンダ１９Ｌ，１９Ｒを
短縮動作するようにバルブ（図示せず）を切り換える。
このエアーシリンダ１７Ｌ，１７Ｒの駆動軸の伸長駆動
とエアーシリンダ１９Ｌ，１９Ｒを短縮動作とにより、
整列用開口部を介して互いに対向する左右の整列プレー
ト２２および整列フレーム２３を、図８（ｂ）の矢印Ｃ
に示すように離間させて各リフトフレーム２５を上下の
基板１３の下方部から退出させる。このとき、左右の整
列プレート２２および整列フレーム２３は、その下部の
２本の平行なリニアガイド１８Ｌ，１８Ｌおよび１８
Ｒ，１８Ｒで案内されてスムーズに移動することにな
る。これによって、図７（ａ）に示す待機状態に戻るこ
とになる。

【００３６】このように、カセット内に積層された状態
で収納された基板１３をローラ２７で受けて持ち上げ、
この状態で基板１３はその両側から整列当たり部材２８
の平坦部２８ｂで挾み込れて整列位置に移動するため、
基板１３の下面はローラ２７のころがり摩擦を受けてお
り、サイズが大きい基板や薄い基板に対しても基板の損
傷がなく、基板１３とその受け部との間にパーティクル
の発生がなくなり、より少ない摩擦係数で基板１３を容
易に整列させることができる。

【００３７】なお、上記実施形態では、基板１３を受け
る部分は摩擦係数が少ないころがり摩擦を受けるように
ローラ軸２６およびローラ２７を用いたが、ローラ軸２
６およびローラ２７の代りに鋼球などの球状部材をリフ
トフレーム２５に組み込んでも良い。この場合には、ロ
ーラ軸２６およびローラ２７に比べて平面上のあらゆる
方向に回転可能であり、基板整列時の基板の移動による
摩擦係数をより少なくすることができる。また、基板を
受ける部分はローラや球状部材に限定されず、要は、カ
セットのヒダ部３９の基板１３に対する摩擦係数よりも
小さい摩擦係数を有する部材で構成されていれば、上記
効果を奏することができる。

【００３８】また、上記実施形態では、コロ部材として
のローラ軸２６およびローラ２７と、基板押圧部材とし
ての整列当たり部材２８とは同一フレームに構成した
が、これらを別々に構成して別々に動作するようにする
こともできる。

【００３９】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、基板を受
ける部分の摩擦係数を小さくした状態で基板の整列をし
ているため、基板整列時に基板の整列位置への移動が容
易になり、サイズが大きい基板や薄い基板に対しても基
板の損傷やパーティクルの発生がなく容易に整列させる
ことができる。

【００４０】また、基板を受ける部分の摩擦係数を小さ
くし、小さな駆動力で基板の整列移動を可能としている
ため、小さな駆動源を持つエアーシリンダやモータなど
の駆動源を用いることができ、その制御が容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態における基板整列装置の構
成を示す正面図である。

【図２】図１の基板整列装置の側面図である。

【図３】図１の基板整列装置のリフトフレームの要部構
成を示す拡大側面図である。

【図４】図３の整列フレームにおけるＡＡ′線断面図で
ある。

【図５】図３のローラで基板を受けている状態を示すリ
フトフレームの要部断面図である。

【図６】図１の基板整列装置の待機状態におけるシリン
ダ連結構造を示す模式図である。

【図７】（ａ）〜（ｃ）は図１の基板整列装置による基
板整列動作の各工程（その１）を示すリフトフレームと
基板との位置関係を示す図であり、（ａ）は待機状態、
（ｂ）はリフトフレームの基板の下方への挿入状態、
（ｃ）は基板のローラによる持ち上げ状態を示してい
る。

【図８】（ａ），（ｂ）は図１の基板整列装置による基
板整列動作の各工程（その２）を示すリフトフレームと
基板との位置関係を示す図であり、（ａ）は基板整列状
態、（ｂ）はリフトフレームの基板の下方への下降状態
を示している。

【図９】従来の基板整列装置の構成を示しており、
（ａ）はその正面図、（ｂ）はその平面図である。

【図１０】図９の基板整列装置の基板整列時の状態を示
しており、（ａ）はその正面図、（ｂ）はその平面図で
ある。

【符号の説明】

１１ベース部材１２支柱部材１３基板１４カセット１５Ｌ，１５Ｒ整列用開口部１６Ｌ，１６Ｒ整列部材１７Ｌ，１７Ｒ，１９Ｌ，１９Ｒ，３５エアーシリ
ンダ１８Ｌ，１８Ｒ，３６リニアガイド２０基板整列部２１基板昇降部２２整列プレート２３整列フレーム２４支柱部材２５リフトフレーム２６ローラ軸２７ローラ２８整列当たり部材２８ｂ平面部２９Ｌ，２９Ｒ整列フレームベース３０プレート３１連結プレート３２Ｌ，３２Ｒリニアレール３３駆動案内軸受部３４Ｌ，３４Ｒ上下駆動用カム３４ａアーム部３７連結ステー

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】下面端部を支持部材により支持されてカ
セット内に収納された基板を両側から押圧して所定位置
に整列させる基板整列装置において、前記支持部材により支持された基板の下面端部に当接す
ると共に、前記支持部材の基板に対する摩擦係数より小
さい摩擦係数を有する当接部材と、前記基板の端面を押圧する押圧部材と、前記下面端部の下方位置と前記当接部材を下面端部に当
接させた状態で前記基板を支持部材から持ち上げて離間
させる上方位置との間で、前記当接部材を昇降させる当
接部材昇降手段と、前記上方位置において基板が当接部材により持ち上げら
れた状態で、前記押圧部材を基板の内側へ向かう方向に
基板が所定位置に整列される整列位置まで移動させる押
圧部材移動手段とを備えたことを特徴とする基板整列装
置。
【請求項２】前記当接部材および押圧部材をカセット
の外側位置と内側位置との間で進退させる進退手段を有
することを特徴とする請求項１記載の基板整列装置。
【請求項３】前記当接部材および押圧部材が一体的に
構成されていることを特徴とする請求項１または２記載
の基板整列装置。
【請求項４】前記当接部材は、前記上方位置において
前記下面端部をころがり可能なコロ部材であることを特
徴とする請求項１〜３のうちの何れかに記載の基板整列
装置。
【請求項５】前記カセットに複数の基板が収納され、
前記当接部材および押圧部材が前記複数の基板毎にそれ
ぞれ設けられ、前記当接部材昇降手段が前記複数の当接
部材をそれぞれ同時に昇降させると共に、前記押圧部材
移動手段が前記複数の押圧部材をそれぞれ同時に移動さ
せることを特徴とする請求項１〜４のうちの何れかに記
載の基板整列装置。