KR20020065101A - 액정디스플레이패널 검사장치의 패널수평반송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 액정디스플레이패널 검사장치의 패널수평반송장치에 관한 것이다.

수평구조로 배치되는 피검사물체공급부 및 검사부와, 상기 피검사물체공급부로부터 피검사물체를 수수하여 상기 검사부로 로딩·언로딩시키는 반송장치를 포함하며, 상기 반송장치는 상기 피검사물체공급부 및 검사부에 걸쳐 상기 피검사물체의 세로길이 방향측으로 소정의 간격을 두고 배치됨과 동시에 다단으로 배치되는 2쌍의 가이드레일과, 상기 각 가이드레일을 따라 서로 이격되게 수평 이동되도록 설치되는 이송아암과, 상기 각 이송아암의 상·하단측에 연결되어 상기 각 가이드레일을 따라 이동함으로써 각 이송아암을 수평 이송시키는 복수개의 이송체와, 상기 이송아암의 상·하단측 중 어느 한 측에 연결된 이송체와 결합되어 그 이송체를 이동가능케 구동시키는 복수개의 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

이와 같이 구성함에 따라 피검사물체인 액정패널의 로딩 및 언로딩 작업을 동시에 행하게 되어 그 만큼 텍트(tact) 타임을 줄임으로써 정해진 시간 내에서 패널 검사 양을 증대시킬 수 있는 이점이 있다.

Description

액정디스플레이패널 검사장치의 패널수평반송장치{Panel Sending Apparatus of Liquid Crystal Display Panel Inspection System}

본 발명은 액정디스플레이패널을 프로빙(probing)방식에 의해 목시 점등 검사를 하기 위한 액정디스플레이패널 검사장치에 관한 것으로서, 특히, 액정패널의 반송장치의 구조를 2중 구조로 개선하여 액정패널의 로딩 및 언로딩작업을 동시에행하도록 하는 액정디스플레이패널검사장치의 패널수평반송장치에 관한 것이다.

일반적으로, 액정패널의 라인의 단선검사와, 색상검사를 위해 프로브유니트를 이용하여 점등검사를 행하게 되고, 그 외 현미경을 이용하여 육안검사를 행하게 된다.

이와 같은 목적으로 행해지는 액정패널검사장치는 액정패널을 공급하는 액정패널공급부를 마련하고, 실제 검사가 이루어지는 검사부를 마련하며, 상기 액정패널공급부로부터 액정패널을 공급하고 그 공급되는 액정패널을 검사부로 로딩 언로딩시키기 위해 반송장치가 설치된다.

본 발명의 목적은 패널수평반송장치를 상하 2조의 이송아암을 채용하여 패널의 로딩(loading)과 언로딩(unloading)을 동시에 행하도록 함으로써 하이 스루풋(High Throughput)을 실현하도록 하는 액정디스플레이패널검사장치의 패널수평반송장치를 제공하는 데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 수평구조로 배치되는 피검사물체공급부 및 검사부와, 상기 피검사물체공급부로부터 피검사물체를 수수하여 상기 검사부로 로딩·언로딩시키는 반송장치를 포함하며, 상기 반송장치는 상기 피검사물체공급부 및 검사부에 걸쳐 상기 피검사물체의 세로길이 방향측으로 소정의 간격을 두고 배치됨과 동시에 다단으로 배치되는 2쌍의 가이드레일과, 상기 각 가이드레일을 따라 서로 이격되게 수평 이동되도록 설치되는 이송아암과, 상기 각 이송아암의 상·하단측에 연결되어 상기 각 가이드레일을 따라 이동함으로써 각 이송아암을 수평 이송시키는 복수개의 이송체와, 상기 이송아암의 상·하단측 중 어느 한 측에 연결된 이송체와 결합되어 그 이송체를 이동가능케 구동시키는 복수개의 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

도 1은 액정패널 검사장치의 일 예를 도시한 전체사시도,

도 2는 본 발명의 일 실시 예에 의한 패널수평반송장치의 구성을 도시한 평면도,

도 3은 상기 도 2의 패널수평반송장치의 구성을 측면에서 도시한 측면도,

도 4는 상기 도 2의 반송장치의 구동수단의 구성을 도시한 분리사시도,

도 5는 상기 도 1에 도시된 서브테이블의 구조를 확대해서 도시한 확대사시도,

도 6은 상기 도 5의 서브테이블을 분리해서 도시한 분리사시도,

도 7은 도 5의 화살표 A를 따라 바라본 상태를 도시한 측면도,

도 8은 도 5의 화살표 B를 따라 바라본 상태를 도시한 측면도,

도 9는 본 발명의 일 실시 예에 의한 현미경유닛 이송수단의 구성을 도시한 평면도,

도10은 상기 도 9의 구성을 분리해서 도시한 일부 분리 사시도,

도 11은 상기 도 10에 도시된 수직이송수단(L표시부)를 분리해서 도시한 분리사시도,

도 12는 상기 도 10에 도시된 수직이송수단(R표시부)를 분리해서 도시한 분리사시도,

도 13은 상기 도 10에 도시된 수평이송수단의 구성을 분리해서 도시한 분리사시도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

100 : 피검사물체(액정패널)검사장치101 : 본체

200 : 액정패널공급부310 : 검사테이블

400 : 현미경유닛이송수단410 : 현미경유닛

600 : 반송장치601~604 : 가이드레일

611,612 : 제1,2이송아암611a,612a : 사각틀부재

611a′,612a′: 가이드611b,612b : 이동블럭

621~624 : 이송체613 : 그리퍼

700 : 구동수단701,702 : 풀리

703 : 타이밍벨트721 : 모터

이하, 첨부도면 도 1내지 도 13을 참조로 하여 본 발명의 구성 및 작용에 대해서 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 의한 패널수평반송장치가 적용된 액정디스플레이 패널검사장치의 구성을 개략적으로 도시한 사시도이다.

상기 도면에 도시된 바와 같이 액정디스플레이패널 검사장치(100)는 그 전면측이 소정의 각도 예컨대 60°로 기울어지게 형성된 본체(101)가 마련되며, 그 본체(101)의 내부에는 피검사물체(이하, 액정패널이라 칭함)가 공급되는 피검사물체공급부(이하 액정패널공급부(200)라 칭함)와, 상기 액정패널공급부(200)에 공급되는 액정패널을 로딩시켜 저면에 마련된 광원)(미도시)을 조명함으로써 제조공정 상 발생하는 액정패널의 얼룩이나, 액정패널의 데이터라인과 게이트라인의 단선상태와 색상 등을 검사하는 검사부(300)로 이루어진다.

상기 검사부(300)에는 그 내부에 광원(미도시)을 조명함으로써, 그 상면에 로딩되는 액정패널의 목시 검사를 가능토록 하는 검사테이블(310)이 마련되며, 그 검사테이블(310)의 둘레에는 상기 검사테이블(310)에 로딩된 액정패널의 이상부분을 미세하게 체크하거나, 가동 초기 시 프로브유니트(미도시)의 프로브블록과 액정패널의 패드 얼라인먼트를 위한 현미경유닛(410)이 현미경이송수단(400)에 의해 수평 또는 수직 이동가능케 설치된다.

상기 액정패널공급부(200)에는 공급되는 액정패널을 2단 형태에 맞게 선택적으로 대기시키는 서브테이블(500)이 마련되며, 상기 서브테이블(500)에 대기중인 액정패널은 반송장치(600)에 의해 상기 검사테이블(310)로 로딩되며, 그 반송장치(600)에 의해 다시 상기 검사테이블(310)로부터 언로딩되어 액정패널공급부(200)로 원 위치하도록 구성된다.

한편, 상기 본체(101)의 일측에는 액정디스플레이검사장치(100)의 운전을 온·오프시키는 스위치역할을 수행하고, 또는 상기 검사테이블(310)에 로딩 된 액정패널의 얼라인먼트 상황을 표시해주는 컴퓨터(105)가 마련된다.

상기 검사테이블(310)의 주변에는 상기 검사테이블(310)에 로딩되는 액정패널을 진공 흡착시킬 수 있도록 진공홀(미도시)이 구성되며, 상기 검사테이블(310)은 도시되지 않은 이송수단에 의해 X,Y,Z축 방향의 직선이동은 물론 소정의 각도(θ°)로 회전시킬 수 있게 구성되어 액정패널을 최적의 검사 위치로 얼라인먼트(Alignment)할 수 있게 구성된다.

다음 상기 반송장치(600)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 검사부(300) 및 액정패널공급부(200) 전장에 걸쳐 다단으로 배치되는 2쌍의 가이드레일(601~604)과, 상기 각 가이드레일(601~604)을 따라 서로 이격되게 수평 이동되는 복수개의 제1,2이송아암(611,612)과, 상기 각 제1,2이송아암(611,612)의 상·하단측에 연결되어 상기 각 가이드레일(601~604)을 따라 이동함으로써 각 제1,2이송아암(611,612)을 수평 이송시키는 복수개의 이송체(621~624)와, 상기제1,2이송아암(611,612)의 상·하단측 중 어느 한 측에 연결된 이송체(623,624)와 결합되어 그 이송체(613,614)를 이동가능케 구동시키는 복수개의 구동수단(700)으로 구성된다.

상기 각 제1,2이송아암(611, 612)은 상·하 대칭되게 한 쌍의 가이드(611a′, 612a′)가 마련된 사각틀부재(611a,612a)와, 상기 가이드(611a′,612a′)를 따라 상하 대칭된 형태로 이동가능토록 설치되는 한 쌍의 이동블럭(611b,612b)과, 상기 각 이동블럭(611b,612b)의 내단측에 설치되어 액정패널을 잡는 1쌍의 그리퍼(613)로 구성되며, 상기 이동블럭(611b,612b)은 도시되지 않은 에어실린더에 의해 상·하 대칭된 방향으로 전진되어 상기 그리퍼(613)에 액정패널을 끼움 방식에 의해 그립하도록 구성된다.

상기 구동수단(700)은 도 4에 도시된 바와 같이 상기 각 가이드레일(603,604)의 양·단측에 마련되는 한 쌍의 풀리(701,702)와, 상기 풀리(701,702)에 감겨진 타이밍벨트(703)와, 상기 한 쌍의 풀리(701,702) 중 어느 하나의 풀리(701)에 연결되어 풀리(701)를 회전시키는 모터(721)로 구성된다.

상기 도면에서 풀리(701)는 헤드부재(704)의 내부측에 내장되며, 상기 타이밍벨트(703)는 프로파일(705)의 내부측에 내장된다.

다음 상기 서브테이블(500)은 도 5내지 도 8에 도시된 바와 같이 베이스플레트(510)와, 상기 베이스플레이트(510)의 상측으로 소정의 간격을 두고 마련되는 제1승강테이블(520) 및 제2승강테이블(530)이 마련되며, 상기 1,제2승강테이블(520,530)은 승강수단(540)에 의해 소정의 높이로 승·하강되게 구성된다.

상기 승강수단(540)은 제1승강테이블(520)에 연결되어 상기 제1승강테이블(520)을 소정의 높이로 승·하강시키는 복수개의 제1에어실린더(541)와, 상기 제2승강테이블(530)에 연결되어 상기 제1승강테이블(510) 및 제2승강테이블(530)을 소정의 높이로 승·하강시키는 제2에어실린더(543)로 구성된다.

상기 제1승강테이블(520) 및 제2승강테이블(530)에의 후면에는 그 승·하강동작 시 충격을 완화시켜주는 쇼크 압소버(Shock Absorber)(545)가 마련되고, 또한, 그 승·하강거리를 제한하는 스토퍼(547)가 마련되며, 또한, 그 승·하강동작을 보조 가이드하는 LM(Linear Motion)부시(548)가 마련된다.

상기 제1승강테이블(510)의 양측단 및 상·하단에는 액정패널을 상면에 안착시키는 “ㄴ ”자로 형성된 다수의 패널브라켓(551~555)이 마련되며, 그 패널브라켓(555)은 복수개의 직선이송수단(560,570)에 의해 직선 이동되어 폭 및 높이조절이 가능토록 구성되어 액정패널의 크기에 대응하도록 구성된다.

상기 직선이동수단(560)은 제1승강테이블(520)의 저면에 연결브라켓(561)을 매개로 설치되는 가이드부재(562)와, 상기 가이드부재(562)를 따라 슬라이딩가능케 설치되는 이동부재(563)와, 상기 가이드부재(562)가 설치된 타단면측에 설치되는 스토퍼레일(564)과, 그 저면이 상기 스토퍼레일(564)을 따라 가이드됨과 동시에 상면에 상기 패널브라켓(554,555)을 고정시키는 스토퍼브라켓(565)과, 상기 스토퍼브라켓(565)의 일단측에 설치되어 적정의 위치로 이동된 패널브라켓(554,555)을 고정시키는 고정스크루(566)로 구성된다.

또한, 상기 직선이동수단(570)은 제1승강테이블(520)의 저면에 슬라이드브라켓(571)을 매개로 직선 이동가능케 설치됨과 동시에 그 상면에 패널브라켓(551~553)을 고정시키는 슬라이드부재(573)로 구성된다.

상기 슬라이드브라켓(571)은 상기 슬라이드부재(573)의 가이드레일(573a)이 관통되어 슬라이딩되도록 관통홀(571a)이 형성되며, 그 양측에는 상기 가이드레일(573)의 슬라이딩동작을 제한하는 고정스크루(575)가 설치된다.

미설명부호(581)는 액정패널의 유무를 감지하는 센서를 나타내며, 부호(583)는 상기 센서(581)의 신호를 증폭시키는 앰플리파이어를 나타내고, 부호(585)는 제1에어실린더(541)를 고정시키는 고정부재를 나타낸다.

다음 상기 현미경유닛이송수단(400)은 도 9 내지 도 13에 도시된 바와 같이 핸들(411)이 마련된 현미경유닛(410)을 이송시키도록 검사테이블(310)이 마련된 본체(101)의 양측에 설치되는 한 쌍의 수직이송수단(420)과, 상기 수직이송수단(420)의 중앙에 상기 수직이송수단(420)의 수직이동체(후술함)에 연결브라켓(412)를 매개로 연결되는 수평이송수단(450)으로 구성된다.

상기 수직이송수단(420)은 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이 수직가이드레일(421)과, 상기 수직가이드레일(421)을 따라 이동되는 수직이동체(422)와, 상기 수직이동체(422)에 연결브라켓(423a,423b) 및 스프링지그(424)를 매개로 일단이 연결되며 일단이 태엽형태로 감겨져 고정된 탄성부재(425)로 이루어진다.

상기 탄성부재(425)는 상기 검사테이블(310)의 설치각도 예컨대 60°에 대하여 현미경유닛(410)을 포함한 수평이송장치(450)의 자중을 지탱시킬 수 있는 강도를 갖도록 설계된다.

도면에서 미설명부호(426)는 상기 탄성부재(425)를 지탱해주는 받침부재를 나타내고, 부호(427)(428)는 상기 태엽형태로 감겨진 탄성부재(425)를 회전가능케 지지해주는 고정핀 및 고정브라켓을 나타내며, 부호(429)는 상기 수직가이드레일(421)을 고정시키는 베이스플레이트를 나타내며, 부호(430)는 수직커버를 나타내고, 부호(431,432)는 상기 수직커버(430)의 양단을 커버하는 측면커버를 나타낸다.

또한, 상기 한 쌍을 이루는 수직이송수단(420)의 한 측에는 도 11에 도시된 바와 같이 수직이동체(422)에 연결브라켓(423a, 423b)을 매개로 연결된 스프링지그(424)를 미세하게 이동시키도록 리드스크루(436)를 따라 이동하는 이송너트(437)가 상기 스프링지그(424)에 연결된다.

즉, 상기 스프링지그(424)의 전면측에는 상기 이송너트(437)의 단부가 삽입되는 삽입홀(424a)이 마련되어 상기 이송너트(437)가 상기 스프링지그(424)에 끼워맞춤되도록 구성된다.

상기 스프링지그(424)에 결합된 리드스크루(436)의 타단부는 상기 측면커버(431)의 관통홀(431a)을 통해 외부로 돌출되며, 그 단부에는 수직미세조정손잡이(439)가 고정구(438)를 매개로 고정된다.

상기 수직가이드레일(429)의 양단부에는 상기 수직가이드레일(429)를 따라 이동하는 수직이동체(422)의 충격을 완화시키도록 소버브라켓(433)을 매개로 제1소버부재(435)가 설치된다.

다음, 상기 수평이송수단(450)은 도 13에 도시된 바와 같이 수평가이드레일(451)과, 수평가이드레일(451)을 따라 이동하는 수평이동체(452)와, 상기 수평가이드레일(451)의 양·단측에 마련되는 한 쌍의 풀리(453a,453b)와, 상기 풀리(453a,453b)에 감겨진 타이밍벨트(454)와, 상기 벨트브라켓(455,456)을 매개로 상기 타이밍벨트(454)와 수평이동체(452)에 연결되며 일측에 현미경유닛(410)을 연결하는 블록브라켓(457)과, 상기 각 풀리(453a, 453b)에 연결된 수평미세손잡이부(458a, 458b)로 구성된다.

상기 수평가이드레일(451)의 양단에는 수평이동체(452)의 이동에 따른 충격을 완화시켜주는 제2소버부재(459)가 소버브라켓(461)을 매개로 설치된다.

상기 도면에서 부호(463)는 상기 풀리(453a,453b)를 지지하는 지지축을 나타내며, 부호(464, 465)는 상기 지지축(463)을 회전가능케 지지하는 베어링 및 베어링지지브라켓을 나타낸다.

또한, 부호(471)는 상기 수평가이드레일(541)을 고정시키는 베이스플레이트를 나타내며, 부호(473)는 수평커버를 나타내며 상기 수평커버(473)의 양단은 연결브라켓(412)을 매개로 스프링지그(424)에 연결되어 현미경유닛(410)을 포함한 수평이송수단(450)전체가 수직이송수단(420)에 의해 수직 이송되도록 구성된다.

도 12에 도시된 수직이송수단의 구성은 도 11에 도시된 수직이송수단(420)의 구성 중 일부구성을 제외한 나머지 구성과 동일한 구조로 이루어져 있으므로 상기 도 11의 부호와 동일한 부호를 명기하며, 그에 대한 자세한 설명은 생략한다.

다음은 이와 같이 구성된 본 발명의 일 실시 예에 의한 액정디스플레이 패널검사장치의 전체 동작원리에 대해서 설명한다.

먼저, 액정패널을 공급위치로 대기시키는 상태를 도 5내지 도 8을 참조로 하여 설명하면, 검사할 액정패널을 서브테이블(500)의 제1승강테이블(520)에 마련된 각 패널브라켓(551~555)의 상면에 올려놓는다. 이때, 상기 서브테이블(500)은 가동초기의 경우에는 원점위치에 있게 된다.

이와 같이 액정패널을 패널브라켓(551~555)의 상면에 올려놓은 다음 컴퓨터 모니터(105)상 등에 마련되는 공급스위치(미도시)를 누른다. 이때, 상기 제 1승강테이블(520)의 중앙에 마련된 센서(581)에 의해 액정패널의 대기상태를 확인할 수 있게 된다. 그러면, 제1에어실린더(541)가 동작되어 제1승강테이블(520)을 소정의 위치로 상승하여 액정패널을 제1이송아암(611)에 공급시키는 위치로 대기하게 된다.

상기와 같이 제1승강테이블(520)에 의해 액정패널이 대기상태를 이루게 되면, 제1이송아암(611)의 그리퍼(613)가 도시되지 않은 에어실린더에 의해 상하 대칭된 형태로 전진하여 액정패널의 상·하단측을 끼움방식에 의해 잡게 된다.

그 후, 상기 그리퍼(613)의 일측에 마련된 센서(미도시)에 의해 액정패널의 그립상태가 확인되면, 다시 제1에어실린더(541)의 동작에 의해 제1승강테이블(520)은 후진하여 초기상태로 대기하고, 검사부(300)의 검사테이블(310)또한 후진하여 원 초기상태에 대기하게 된다.

이때, 상기 검사테이블(310)의 흡착력이 해제됨과 동시에 제2이송아암(612)의 그리퍼(613)가 다시 동작되어 검사한 액정패널을 잡는 상태를 이루고 있을 것이다.

다음, 상기와 같이 제1승강테이블(520) 및 검사테이블(310)이 후진되어 초기상태를 완료하게 되면, 제1이송아암(611)은 반송장치(600)에 의해 검사부(300)로 이송되고, 상기 검사부(300)측에 있던 제2이송아암(612)은 다시 액정패널공급부(200)측으로 이동되어 도 2의 상태를 이루게 된다.

상기 도 2와 같은 상태로 위치 완료가 되면, 다시 검사테이블(310)이 상승하여 제1이송아암(611)이 잡고 있는 액정패널을 공급받게 되고, 제 2에어실린더(543)의 동작에 의해 제2승강테이블(530)이 상승함에 따라 상기 제2승강테이블(530)에 연결된 제1승강테이블(520)이 상승하게 되어 제2이송아암(612)이 액정패널을 공급받을 위치로 대기하게 된다.

이때, 상승된 높이는 상기 제 1승강테이블(520)이 단독으로 상승된 높이보다 더 높게 상승하여 제1이송아암(611)의 상단에 배치되는 제2이송아암(612)의 위치에 대응하도록 되는 것은 물론이다.

한편, 상기 검사부(300)측에 마련된 검사테이블(310)은 다시 도시되지 않은 구동수단에 의해 상승되어 제1이송아암(611)으로부터 액정패널을 전달받기 위한 상태로 대기하게 된다.

상기와 같이 검사테이블(310)의 상면에 액정패널을 안착시킬 수 있는 실 작업위치를 이루게 되면, 상기 검사테이블(310)의 주변에 마련된 진공홀을 통하여 진공압이 가해져 액정패널을 고정시킴과 동시에 제1이송아암(611)의 그리퍼(613)의 파악력이 해제된다.

상기와 같이 검사테이블(310)의 상면에 액정패널이 진공 흡착되어 고정되면 도시되지 않은 얼라인 카메라에 의해 액정패널의 위치를 판독한 후 도시되지 않은 구동수단에 의해 다시 검사테이블(310)이 X축, Y축, Z축 이동은 물론 θ회전되어 얼라인먼트 된다.

상술한 내용에 있어, 상기 제 1,2이송아암(611,612)은 모터(721)가 구동함에 따라 그 모터(721)의 구동력이 풀리(701)에 전달되고, 상기 풀리(701)에 외감된 타이밍벨트(703)가 회전함에 따라 상기 타이밍벨트(703)에 연결되어 직선 이동하는 이송체(634,624)가 가이드레일(603,604)을 따라 수평 이동하고, 상기 이송체(623,624)의 타단측에 설치되는 이송체(621,622)가 가이드레일(601,602)을 따라 이동되어 이루어지게 되며, 그 이동방향은 물론 모터(721)의 회전방향에 따라 달라지게 된다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의한 액정패널검사장치의 패널수평반송장치에 의하면, 이송아암을 복수개 마련하고, 그 반송동작을 2단 형태로 이송되도록 구현하여 액정패널을 검사부로 로딩시킴과 동시에 언로딩시키는 과정을 동시에 이루어지도록 함으로써, 텍트 타임(Tact Time : 패널측정종료부터 다음패널 접촉 시 까지의 시간)을 줄일 수 있는 효과를 갖는다.

따라서, 정해진 시간 내에 보다 많은 패널을 검사할 수 있는 하이 스루풋(High Through)를 실현할 수 있다.

Claims (3)

1. 피검사물체공급부;

   상기 피검사물체공급부와 나란하게 수평구조로 마련된 검사부;

   상기 피검사물체공급부로부터 피검사물체를 수수하여 상기 검사부로 로딩·언로딩시키는 반송장치를 포함하며,

   상기 반송장치는 상기 피검사물체공급부 및 검사부에 걸쳐 상기 피검사물체의 세로길이 방향측으로 소정의 간격을 두고 배치됨과 동시에 다단으로 배치되는 2쌍의 가이드레일;

   상기 각 가이드레일을 따라 서로 이격되게 수평 이동되도록 설치되는 이송아암;

   상기 각 이송아암의 상·하단측에 연결되어 상기 각 가이드레일을 따라 이동함으로써 각 이송아암을 수평 이송시키는 복수개의 이송체;

   상기 이송아암의 상·하단측 중 어느 한 측에 연결된 이송체와 결합되어 그 이송체를 이동가능케 구동시키는 복수개의 구동수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 액정디스플레이패널검사장치의 패널수평반송장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 구동수단은 상기 가이드레일의 양·단측에 마련되는 한 쌍의 풀리와,상기 풀리에 감겨진 타이밍벨트와, 상기 한 쌍의 풀리 중 어느 하나의 풀리에 연결되어 풀리를 회전시키는 모터로 구성된 것을 특징으로 하는 액정디스플레이패널 검사장치의 패널수평반송장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 각 이송아암은 상·하 대칭되게 두 쌍의 가이드가 마련된 사각틀부재와,

   상기 가이드를 따라 상하 대칭된 형태로 이동 가능토록 설치되는 한 쌍의 이동블럭과,

   상기 각 이동블럭의 내단측에 설치되어 피검사물체를 잡는 한 쌍의 그리퍼로 구성된 것을 특징으로 하는 액정디스플레이패널 검사장치의 패널수평반송장치.