KR101138561B1 - 캐리어 상에 고정된 전자 구성요소를 캡슐화 물질로 캡슐화하기 위한 캡슐화장치 및 캡슐화방법 - Google Patents

캐리어 상에 고정된 전자 구성요소를 캡슐화 물질로 캡슐화하기 위한 캡슐화장치 및 캡슐화방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 캐리어(carrier) 상에서 고정된 반도체와 같은 전자 구성요소(electronic component)를 캡슐화 물질로 캡슐화하기 위한 장치(device for encapsulating)로서, 상기 장치는 캐리어 상에서 닫힐 때, 몰드 부분들(mould parts)이 하나 이상의 몰드 공동(mould cavity)을 규정하기 위한 위치를 차지하는 캡슐화 위치(encapsulating position), 및 몰드 부분들이 캡슐화 위치에서보다 서로로부터 더 먼 거리에 위치되는 개방된 위치(opened position) 사이에서 서로에게 상대적으로 옮겨질 수 있는 2개의 상호 작용하는 몰드부분(two co-acting parts), 및 상기 몰드 공동 상으로 연결되는 캡슐화 물질(encapsulating material)을 위한 공급 수단(feed means)을 포함한다. 본 발명은 또한 캐리어 상에 고정된 전자 구성요소를 캡슐화 물질로 캡슐화하기 위한 방법에 관한 것이다.

Description

캐리어 상에 고정된 전자 구성요소를 캡슐화 물질로 캡슐화하기 위한 캡슐화장치 및 캡슐화방법{DEVICE AND METHOD FOR ENCAPSULATING WITH ENCAPSULATING MATERIAL AN ELECTRONIC COMPONENT FIXED ON A CARRIER}
본 발명은 청구항 제 1 항의 전문에 따르는 전자 구성요소(electronic component)를 캡슐화 하기 위한 장치에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 캐리어(carrier)에 고정된, 특히 반도체와 같은 전자 구성요소를 캡슐화 물질로 캡슐화하기 위한 방법에 관한 것이다.
캐리어에 고정되는 전자 구성요소를 캡슐화 하는 것은 큰 스케일에, 특히 반도체의 생산에서 적용되는 기술이다. 더 많은 강조들이 캐리어 상의 저연 또는 무 연 납땜 물질(low-lead or lead-free soldering material)의 사용에 부여되며, 그것은 환경 영향이 더 적으나, 납을 함유하는 납땜 물질보다 더 높은 온도에서 처리되어야 하는 결점을 갖는다. 이것은 캡슐화 물질이 납땜 물질로부터 떼어지는 위치에서의 결점이다. 여기서 하나의 해결방법은 상기 캐리어가 캡슐화 물질이 없도록 유지되어야 하는 장소에서 분리 소자(separating element)를 통하여 캡슐화(encapsulation)를 공급하는 것이다. 그와 같은 기술은 다른 것들 중에서 국제 특허출원 PCT/NL00/00458로부터 알려져 있다. 이와 같은 공개된 방법에서 기술되는 방법 및 장치는 캡슐화 장치(encapsulating device)의 몰드 부분들 사이에 옮겨질 수 있는 홀더 부재(holder member)로 만들어지며, 캐리어의 변부(edge)는 상기 몰드 부분들 중 하나를 향하도록 추진될 수 있고, 여기서 캡슐화 물질의 공급은 상기 홀더 부재의 전면에 걸쳐서 일어난다. 그러므로 제안된 기술은 효과적으로 작용하지만, 복잡한 구조의 장치를 요구한다. 플런저 하우징(plunger housing)(슬리브(sleeve)) 상의 하중(load) 때문에, 그것은 충분히 단단한 형태를 취해야 하고, 그러므로 옮김 메커니즘(displacing mechanism)이 또한 적합하게 되어야 한다. 또한 캐리어가 상기 캡슐화 장치의 밖에서 이용될 수 있는 위치에 상기 홀더 부재가 캡슐화 프로세스 이후에 옮겨질 때, 이와 같은 접합의 손실이 바람직하지 않는 장소에서 상기 캐리어 상으로 연결되는 캡슐화 물질 및 캐리어 접합(adhesion)이 손실(층균열(delamination))될 가능성이 실제로 있다. 추가적인 결점은 종래 기술 장치가 상기 플런저 하우징의 한 측부상에 캡슐화 구성요소들에 위하여 이용될 수 있다.
본 발명의 목적은 종래 기술에 비하여 단순화되고, 현존하는 장점들이 단순화된 기술과 결합하여 유지될 수 있는 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명은 상기 목적을 위하여 청구항 제 1 항에 따르는 장치를 제공한다. 본 발명은 구조적으로 단순한 장치를 제공한다. 비록 옮길 수 있는 구성요소가 돌출 변부로 몰드 부분 내에서 수용되어야 하지만, 상기 구성요소는 캡슐화 물질과 접촉하지 말아야 하기 때문에 종래 기술에 따르는 몰드 부분 내 옮길 수 있는 구성요소보다 덜 중요하다. 결합된 몰드 부분에 상기 옮겨질 수 있는 서포트의 연결은 자유 중간 공간(free intermediate space)을 가질 수 있다. 상기 옮겨질 수 있는 서포트는 이와 같은 단계(상기 캡슐화 물질이 보드(board) 상으로 흐르는 위치에서 또는 루트(route)가 유체 단계에서 상기 캡슐화 물질에 의해 덮히는 동안 이전에)에서 어떤 역할도 하지 않는다. 서로 다른 캐리어 두께에서의 가능한 변화에 대한 보상은 제안된 구조(proposed construction)에 의해서 가능하다. 금속 리드 프레임(lead frame), 합성수지 및/또는 다른 물질들 중 세라믹 합성 리드 프레임뿐만 아니라 더 얇은 박편(thinner foil)의 리드 프레임도 또한 상기 발명에 따른 장치에 의해서 처리되어질 수 있다. 종래 기술과 비교되는 또 하나의 매우 적당한 장점은 바람직하지 않은 층균열(delamination)의 가능성이 상당히 감소될 수 있다는 것이다. 본 발명의 또 다른 장점은 상기 서포트를 둘러싸는 상기 몰드 부분의 측부는 상기 몰드 부분의 정지 부분이고 정지 위치이기 때문에 최근 종래 기술과 대조하여 이는 매우 안정한 위치 형성되므로 상기 돌출 변부로 가압되기(urged to) 이전에 상기 몰드 부부 내 상기 캐리어의 위치 형성을 가능하게 하는 점이다. 언급된 정지 측부를 갖는 본 구조는 다양한 측부로부터 캐리어의 적재(loading), 위치 형성(positioning) 및 하적(off loading)을 가능하게 한다. 예를 들어 상기 몰드 부분의 접촉 측부로부터 캐리어를 내부로 또는 외부로 운반하는 것이 가능하다. 상기 경우에 있어 상기 돌출 변부 아래 부분적으로 캐리어를 이동하기 위하여 특별한 움직임(extra movement)이 캐리어에게 주어진다. 또한, 대안적으로 상기 몰드 부분의 접촉 측부에 대해 평행하게 캐리어를 내부로 또는 외부로 이동하는 것이 가능하다. 이는 최종 위치 형성에 대한 특별한 움직임을 불필요하게(superfluous) 형성하는, 상기 돌출 변부 이하에서 직접 상기 몰드 부분 내부 또는 외부로 상기 캐리어를 슬라이딩(sliding) 형성하는 것을 의미한다.
바람직한 변형에서, 상기 돌출 변부는 몰드 부분과 조합되는 물질 스트립(material strip)에 의해 규정되며, 이와 같은 물질 스트립은 상기 몰드 부분에 의하여 선호적으로 자유롭게 조합되어진다. 그와 같은 스트립 물질은 간단하고 매우 제한된 가격에서 제조될 수 있다. 떼어질 수 있는 변형(releasable variant)에서, 위어(wear), 손상 또는 몰드의 변환(change-over)의 경우에, (예를 들면, 서로 다른 제품을 처리하기 위한)물질 스트립 또는 (상기 몰드 부분에 다수의 스트립 물질이 제공될 때의)물질 스트립들은 교체될 수 있다. 물질 스트립이 몰드 부분에 고정될 필요는 없지만, 몰드 부분 및 물질 스트립의 상대적인 위치와의 분리된 배치는 이미 충분한 형태의 상호 연결(mutual connection)을 제공한다. 상기 물질 스트립은 다수의 측부 상에서 돌출 변부를 형성할 수 있으며, 여기서 캐리어들은 다수의 측부 상에서(예를 들면 물질 스트립의 2개의 맞은편 측부들 상에서) 동시에 배치되고 주입되어질 수 있다.
그것의 실시예에 의존하면서, 옮겨질 수 있는 서포트는 캐리어의 부분을 위한 수용 공간의 측부를 형성한다. 상기 캐리어는 옮겨질 수 있는 서포트 상에 모두 위치되고, 이와 같은 서포트는 상기 돌출 변부 및 상기 서포트 사이의 캐리어를 고정시킬 목적을 위해 돌출 변부 아래의 위치로 보통 연장될 것이다.
상기 장치에는 또한 옮겨질 수 있는 서포트의 방향으로 상기 캐리어를 옮기기 위한 릴리스 수단들(release means)이 더욱 선호적으로 제공된다. 캡슐화 물질의 공급(feeding) 및 경화(curing) 이후에, 이와 같은 릴리스 수단들은 (적어도 옮겨질 수 있는 서포트 및 돌출 변부 사이의 상대적인 거리가 증가될 때) 캡슐화 물질의 경화된 러너(cured runner)가 돌출 변부로부터 상기 캐리어로 전환되는 위치(position of transition)에서 부서질 수 있도록 상기 돌출 변부에 상대적으로 상기 캐리어를 옮길 수 있다. 러너의 파손(디게이팅(degating))이 몰드 내에서 일어날 수 있기 때문에, 상기 캡슐화 물질은 예를 들면 “고무 단계(rubber phase)"에 있을 수 있으며, 그것은 분리(separation)를 위한 장점이 될 수 있다. 또한 상기 러너를 분리하기 위한 추가적인 장치(디게이터(degator))는 필요치 않게 되며, 상기 몰드 및 디게이터와 같은 것 사이의 전달장치를 포함한다. 택일적인 것은 2개의 단계에서 캡슐화된 제품을 디게이트 하는 것이다. 제1 디게이트 단계에서 더 두꺼운 러너들은 예를 들면 몰드 내에서 릴리스 될 수 있으며, 제 2 단계에서 더 작은 서브러너들(subrunners)이 몰드 밖으로 릴리스 될 수 있다.
바람직한 실시 예에서, 상기 릴리스 수단들은 바이어스(bias) 하에서 이동을 위한 제 2 몰드 부분에 배열되는 하나 이상의 압력 소자(pressure element)에 의해 형성된다. 이와 같은 압력 소자는, 함께 닫히게 되는 몰드 부분의 상태에서, 상기 압력 소자가 캐리어의 공백(clear)에 놓여지는 위치로 압력 소자를 강제하는 제어 부재(control member)에 연결될 수 있다. 그와 같은 릴리스 수단은 어떤 분리된 드라이브(separate drive)를 요구하지 않는다. 이것은 상기 몰드 부분에 분리되어 움직이는 것이 상기 릴리스 수단을 활성화하기 때문이다. 상기 릴리스 수단은 상기 캐리어 상으로 주입된 캡슐화 부분(적어도 부분적으로 경화 캡슐화 물질에 의해 형성됨) 또는 상기 캐리어 상에서 의도된 위치로 요구에 따라 맞물릴 수 있다.
옮겨질 수 있는 서포트를 위한 드라이브 수단들에는 상기 캐리어 상의 서포트에 의해 발휘되는 바이어스를 최대화하기 위한 압력 제한기(pressure limiter)가 선호적으로 제공된다. 그러므로 상기 서포트 및 상기 돌출 변부 사이의 캐리어의 고정력(clamping force)은 캐리어의 두께(변화)에 관계없이 정확하게 제어될 수 있다. 돌출 변부에 상기 캐리어의 부적당한 연결의 가능성 및 지나친 고정력을 적용함으로써 캐리어의 손상 가능성은 여기서 최소화될 수 있다.
다른 바람직한 변화에서, 상기 장치에는 몰드 부분의 상호 옮김을 위한 몰드 부분 드라이브(mould part drive)가 제공되고, 상기 몰드 부분 드라이브는 상기 몰드 부분들 사이의 거리를 조절하기 위한 제어를 포함한다. 몰드 부분들을 함께 닫은 후에, 상기 몰드 부분들은 제한된 거리로 떨어져서 움직일 수 있으며, 그러므로 다음에서 추가로 명확해지게 될 방법을 가능하게 한다.
또한, 본 발명은 청구항 제 8 항에 따라 캐리어에 고정된, 특히 반도체와 같은 전자 구성요소를 캡슐화 물질로 캡슐화 하기 위한 방법을 제공한다. 상기 방법에 의해 상기 장점은 본 발명에 따르는 상기 장치를 참조하여 전술된 바와 같이 구현될 수 있다.
단계 D)에 따른 액체 캡슐화 물질의 공급은 제1 몰드 부분의 돌출 변부에 의해 적어도 부분적으로 규정된다. 이와 같은 규정은 상기 캡슐화 물질 상의 돌출 변부의 직접적인 규정뿐만 아니라 간접적인 규정(즉, 예를 들면 박편 물질을 통하여)을 의미할 수 있다. 그러나 박편 물질의 적용은 실제적으로 필수적인 것은 아니다.
처리 단계 D) 이후에, 캡슐화 물질은 처리 단계 E) 동안 경화될 것이다. 이것은 캡슐화 물질이 위에 배열되는 캐리어를 위한 방법의 바람직한 변형에서 돌출 변부로부터 상기 캐리어로 안내하는 캡슐화 물질의 경화된 스트립(cured strip)이 옮김에 의해 부서지도록 상기 돌출 변부에 상대적으로 옮겨지는 것을 가능하게 한다. 이와 같은 목적을 위해 상기 캐리어는 상기 캐리어를 지지하는 제 1 몰드 부분의 부분 방향으로 돌출 변부에 상대적으로 옮겨지는 것이 바람직하다. 상기 돌출 변부는 여기서 절단 변부(cutting edge)로서 기능하며, 절단 변부를 따라서 분리가 상기 (부분적으로) 경화된 캡슐화 물질에서 만들어진다. 택일적으로, 캡슐화 물질에서 분리를 가능하게 하기 위하여, 상기 캐리어가 돌출 변부에 상대적으로 회전되는 것이 또한 가능하다.
그 다음에 제 1 및 제 2 몰드 부분들이 분리되어 움직일 때, 캡슐화가 위에 배열되고, 경화된 캡슐화 물질의 남아있는 부분을 가지는 상기 캐리어는 그들이 서로로부터 분리되는 상황에서 제 1 몰드 부분으로부터 제거될 수 있다. 캡슐화 및 디게이팅(degating)은 그러므로 매우 좋은 최종 결과를 갖는 단일한 장치에서 일어났다.
본 발명에 따른 방법의 특별한 실시예 변형에서, C)단계를 처리함에 따라 제1 몰드 부분 상으로 제 2 몰드 부분을 닫은(closing) 후에, 상기 몰드 부분들은 1 내지 50 μm의 거리를 떨어져서 움직이고, 그 이후에 돌출 변부 및 상기 캐리어를 지지하는 제 1 몰드 부분 의 부분 사이의 거리는 상기 캐리어의 부분이 상기 캐리어를 지지하는 제 1 몰드 부분의 부분 및 돌출 변부 사이에서 제어할 수 있는 힘으로 고정되도록 감소되어진다. 이와 같은 바람직한 변형에서, 몰드 부분들의 체결력(closing force)은 상기 방법의 바람직한 변형과 일치하도록 적용되는 민감한 고정의 결과를 위해 더이상 중요하지 않다. 또 다른 장점은 압력에 매우 민감한 캐리어(예를 들면 세라믹 또는 박편 물질과 같은 부드러운 물질)가 또한 주목할 만한 문제점들을 가지지 않고 이와 같은 방식으로 처리될 수 있다는 것이다.
상기 발명은 다음의 도에서 도시되는 본 발명에 따른 장치의 비-제한적인 실시예를 참조하여 더 명확해질 것이다.
도 1A 는 캡슐화를 위한 구성요소를 가지는 캐리어를 위치시키는(placing) 동안, 본 발명에 따른 도식적으로 표현되는 캡슐화 장치에 대한 단면도.
도 1B 는 적용된 캡슐화 물질의 경화(curing) 동안, 도 1A에서 도시되는 캡슐화 장치의 단면도.
도 1C 는 상기 몰드 부분들의 부분적인 분리된 움직임 이후에, 도 1A 및 1B 에서 도시되는 캡슐화 장치의 단면도.
도 2 는 본 발명에 따른 캡슐화 장치의 구성요소와 같은 떼어질 수 있는 소 자(releasable element)로서 구현되는 돌출 변부의 사시도.
도 1A는, 도시된 위치에 고정된 (소위 플립-플롭(flip-flop)의) 전자 구성요소(electronic components, 5)가 있는 캐리어(carrier, 4)를 허용하기 위해 분리되어 움직이는 상부 몰드 부분(upper mould part, 3) 및 하부 몰드 부분(lower mould part, 2)을 가지는 캡슐화 장치를 도시한다. 또한, 전자구성요소(5)를 위해 주입된 하우징이 제조되는 캡슐화 물질의 펠릿(pellet,6)이 하부 몰드 부분(2)에 배열된다. 또한, 하부 몰드 부분(3)에 대해 캐리어(4)가 기계적이거나 수동으로 배열될 수 있다.
캡슐화 물질의 펠릿(6)이 플런저 하우징(plunger housing, 7) 내에서 배열되고, 옮겨질 수 있는 플런저(displaceable plunger, 8) 상에서 지지된다. 캐리어(4)는 옮겨질 수 있는 서포트(displaceable support,9)상에 배열되어, 하부 몰드 부분(2)의 일부분을 형성하는 물질 스트립(material strip, 10)의 돌출변부(11)가 캐리어(4)의 상부위치에서 부분적으로 돌출한다. 캐리어(4)는 비선형 운동(non-linear movement)에 의해 하부 몰드 부분(2)내에 배열되어야 한다.
제조되는 하우징(housing)의 치수를 결정하는 몰드 공동(mould cavity, 12)이 상부 몰드 부분(3)에 제공된다. 배출기 베드(ejector bed, 14) 상에 장착되는 배출기 핀(ejector pin, 13)이 상부 몰드 부분(3)으로부터 돌출된다. 또한, 도시된 위치에서 어떠한 기능도 갖지 않는 돌출된 추진기(protruding pushers, 15, 15')가 배출기 베드(14)에 제공된다. 여기서, 추진기(15')는, 추진기(15')의 길이가 추진기에 작용하는 힘에 따라 변할 수 있는 구조를 가진다. 도 1A에서, 어떤 힘도 추진기(15')상에 작용하지 않기 때문에, 추진기(15')는 최대 길이를 가진다. 배출기 베드(14)는 압축 스프링(compression springs, 16)이 배출기 핀(13)을 도시된 위치로 추진하도록, 상부 몰드 부분(3) 내의 압축 스프링(16)을 통해 옮겨질 수 있도록 장착된다.
도 1B에서, 몰드부분들(2,3)은 서로를 향해 움직이고, 옮겨질 수 있는 서포트(9)는, 캐리어(4)가 옮겨질 수 있는 서포트(9) 및 캐리어(4) 위로 돌출되는 물질 스트립(10)의 돌출변부(11)사이에 고정되도록, 화살표(P1)를 따라 위쪽으로 이동한다. 하부 몰드 부분(2)내에서 이동할 수 있는 서포트(9)의 맞춤(fit)은 중요(critical)하지 않기 때문에, 서포트는 실질적으로 마찰 저항 없이 옮겨질 수 있다. 몰드부분들(2,3)을 서로 밀폐시키면, 배출기 베드(14)의 추진기(15)가 하부 몰드 부분(2)의 서포트(9)와 접촉하게 되고, 압축 스프링(16)의 바이어스와 반대되는 방향(P2)으로 상부 몰드 부분(3)내에서 배출기 베드(14)가 이동한다. 추진기(15')상의 압력은 추진기(15)에 작용하는 힘에 의해 경감되고, 추진기(15')는 최대 길이를 가진다. 그 결과, 배출기 핀(13)은 더 이상 상부 몰드 부분(3)으로부터 돌출되지 않는 위치로 이동한다.
캐리어(4)를 고정하고, 몰드부분들(2,3)을 서로 밀폐시킨 후에, 플런저(8)는 화살표(P3)를 따라 이동한다. 일반적으로, 상기 플런저의 이동은 캡슐화 물질의 펠릿(6)의 가열(도시되지 않음)과 함께 수행된다. 온도와 압력이 작용할 때 액체가 되는 캡슐화 물질(17)은 다음에 캐리어(4) 상으로 돌출하는 물질 스트립(10)의 돌출변부(11)를 지나 몰드 공동(12)으로 흐른다.
도 1C는 캡슐화 물질(17)이 적어도 부분적으로 경화된 상태를 도시한다. 모듈부분들(2,3)은 제한된 거리이상으로 분리되어 이동하고, 상기 서포트(9)는 아래쪽으로 약간 움직이며, 그 결과 추진기(15)는 화살표(P4)를 따라 상부 몰드 부분(3)내부로 더 적게 상기 배출기 베드(14)를 가압한다. 추진기(15')는 현재 더 짧은 길이를 가진다. 추진기(15')가 압축되는 힘은 이 힘이 압축 스프링(16)에 의해 작용하는 것보다 더 작도록 선택된다. 외부로 움직이는 배출기 핀(13)은 전자 구성요소(5)주위에 주입된 하우징(18)상에 맞물린다. 화살표(P5)를 따라 동시에(또는 먼저) 상기 옮겨질 수 있는 서포트(9)를 아래쪽으로 이동시켜서, 배출기 핀(13)이 캡슐화 물질을 러너(runner)로부터 분리시키는 공간을 형성한다. 그러므로, 몰드부분들의 제한된 개구부(opening)에 의해 경화된 캡슐화 물질을 가진 러너가 디게이팅(degating)된다. 몰드부분들(2,3)이 더욱 떨어져 이동할 때, 캡슐화 물질의 나머지 부분(19) 및 최종 제품(20)이 분리된 상태로 꺼내질 수 있다.
마지막으로, 도 2는 몰드부분(2)(도 1A-1C 참조)에 (떼어질 수 있도록) 고정하기 위한 고정 홀(fixing holes, 22)이 제공되는 물질 스트립(material strip, 21)을 도시한다. 물질 스트립(21)은 캡슐화 물질이 흐를 수 있고, 캡슐화 물질의 펠릿(6)이 위치될 수 있는 개구부(24)에 연결되는 오목한 부분(recessed part, 23)을 갖는다.

Claims (17)

  1. - 몰드 부분들(2, 3)이 밀폐될 때 몰드부분들이 캐리어(4)상에 하나 이상의 몰드 공동(12)을 형성하는 위치를 차지하는 캡슐화 위치(encapsulating position) 및 몰드 부분들(2,3)이 상기 캡슐화 위치에 배열될 때보다 서로로부터 더 먼 거리에 배열되는 개방 위치(opened position)사이에서 서로에 대해 이동하고 상호 작용하는 2개의 몰드부분(2,3) 및
    - 하나 이상의 돌출 변부(11)에 연결되고 캡슐화 물질(encapsulating material, 17)을 공급하기 위한 공급 수단(feed means)을 포함하고, 상기 돌출 변부 아래에 상기 캐리어(4)의 일부분을 수용하기 위한 수용 공간이 배열되며, 캐리어(carrier, 4)상에 고정된 전자 구성요소(5)를 캡슐화 물질로 캡슐화하기 위한 캡슐화장치(1)에 있어서,
    상기 돌출 변부(11)는 상기 몰드부분들 중 한 개의 몰드부분(2)을 가진 정지상태의 조립체를 형성하고, 상기 몰드부분(2)은 상기 캐리어(4)를 위한 서포트(9)를 수용하며, 상기 캐리어(4)가 제어가능한 하중으로 상기 돌출 변부(11)에 대해 가압되도록 상기 서포트는 상기 돌출변부(11)에 대해 이동할 수 있고,
    상기 돌출 변부(11)는 물질 스트립(material strip, 10, 21)에 의해 형성되며, 상기 물질 스트립(10,21)은 몰드 부분(2)과 떨어질 수 있도록 조립되는 것을 특징으로 하는 캡슐화장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 옮겨질 수 있는 서포트(9)는 상기 캐리어(4)의 일부분을 수용하기 위한 수용 공간의 측부를 형성하는 것을 특징으로 하는 캡슐화장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 서포트(9)를 향해 상기 캐리어(4)를 이동시키기 위한 배출기 핀(13)과 배출기베드(14)가 제공되는 것을 특징으로 하는 캡슐화장치.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 배출기 핀(13)은 바이어스(bias) 하에서 이동하도록 제 2 몰드 부분(3)내에 배열되는 것을 특징으로 하는 캡슐화장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 배출기핀(13)은 추진기(15)에 연결되고, 몰드 부분들(2,3)이 서로 밀폐된 상태일 때 상기 추진기(15)는 상기 배출기핀(13)이 캐리어(4)로부터 떨어져(clear) 배열되는 위치로 상기 배출기핀(13)을 가압하는 것을 특징으로 하는 캡슐화장치.
  8. 캐리어(4)상에 고정된 전자 구성요소(5)를 캡슐화 물질(17)로 캡슐화하기 위한 캡슐화방법으로서,
    A) 제 1 몰드 부분(first mould part, 2)에 연결되는 하나 이상의 돌출 변부(11)가 상기 제1 몰드 부분(2) 상에서 지지되는 캐리어(4)의 측부 맞은편에 있는 측부 상에 놓여지도록 제 1 몰드 부분(2) 상에 상기 캐리어(4)를 위치시키는 단계(placing),
    B) 캐리어(4)의 일부분이 상기 캐리어(4)를 지지하는 상기 제 1 몰드 부분(2)의 일부분 및 돌출 변부(11) 사이에서 고정되도록, 상기 캐리어(4)를 지지하는 제 1 몰드 부분(2)의 서포트(9) 및 상기 돌출 변부(11) 사이의 거리를 줄이는 단계(reducing),
    C) 하나 이상의 몰드 공동(12)이 상기 캐리어(4) 상에서 닫히면서 형성되도록 제 1 몰드 부분(2) 상으로 제 2 몰드 부분(3)을 닫는 단계(closing), 및
    D) 상기 몰드 공동(12)으로 액체 캡슐화 물질(17)을 공급하는 단계(feeding)를 포함하는 캡슐화방법에 있어서,
    상기 B)단계동안 상기 서포트(9)는 상기 제 1 몰드 부분(2)내에서 정지상태를 유지하는 상기 돌출 변부(11)를 향해 이동하고, 상기 돌출 변부(11)는 물질 스트립(material strip, 10, 21)에 의해 형성되며, 상기 물질 스트립(10, 21)은 몰드 부분(2)과 떨어질 수 있도록 조립되는 단계를 특징으로 하는 캡슐화방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 캐리어(4)는 상기 돌출 변부(11)에 상대적으로 회전되는 것을 특징으로 하는 캡슐화방법.
  10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서, 제 1 및 제 2 몰드 부분들(2,3)은 떨어져서 이동하고, 캐리어(4)위에 배열된 하우징(18)을 가진 캐리어(4)와 경화된 캡슐화 물질의 나머지 부분(19)이 서로 분리된 상태로 상기 제 1 몰드 부분(2)으로부터 제거되는 것을 특징으로 하는 캡슐화방법.
  11. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서, 처리 단계 C)에 따라 제 1 몰드 부분(2) 상으로 제 2 몰드 부분(3)을 닫은 후에, 상기 몰드 부분들(2, 3)은 1 내지 50 μm의 거리만큼 떨어져서 움직이고, 이후에 돌출 변부(11) 및 캐리어(4)를 지지하는 제 1 몰드 부분(2)의 서포트(9) 사이의 거리는 상기 캐리어(4)의 부분이 상기 돌출 변부(11)와 상기 제 1 몰드 부분(2)의 서포트(9)사이에서 제어가능한 하중으로 클램프 고정되도록 감소되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 캡슐화방법.
  12. 삭제
  13. 삭제
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  16. 삭제
  17. 삭제
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