KR100983856B1

KR100983856B1 - 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법 및 그에 의해 가공된유리 기판

Info

Publication number: KR100983856B1
Application number: KR1020060035714A
Authority: KR
Inventors: 도모히로 니시야마
Original assignee: 니시야마 스테인레스 케미컬 가부시키가이샤
Priority date: 2006-01-25
Filing date: 2006-04-20
Publication date: 2010-09-28
Also published as: TWI380085B; SG134202A1; CN101007710A; HK1112449A1; TW200728837A; KR20070078034A; JP2007197236A; CN101007710B

Abstract

본 발명에 따른 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법은, 플랫 패널 디스플레이용의 유리 기판을 플루오르화수소산을 함유하는 수용액으로 화학 연마하는 연마 공정(ST2)과, 연마 공정에서 화학 연마된 후의 유리 기판 중 최대 직경이 50 ㎛ 내지 2000 ㎛인 오목부 흠집의 유무를 검사하여 오목부 흠집을 갖는 불량 유리 기판을 추출하는 검사 공정(ST3)과, 검사 공정에서 추출된 불량 유리 기판에 대해서 오목부 흠집에 제1 도포제를 도포하는 제1 도포 공정(ST11)과, 제1 도포 공정을 마친 유리 기판에 대해서 오목부 흠집으로부터 넘쳐 나올 때까지 제2 도포제를 도포하는 제2 도포 공정(ST12)과, 도포된 제2 도포제를 경화시키는 경화 공정(ST14)과, 경화 공정 후 오목부 흠집으로부터 융기하고 있는 제2 도포제만을 제거하여 평탄화하는 평탄화 공정(ST16)을 포함한다. 본 발명에 따르면, 고품질의 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판을 높은 수율로 제조할 수 있다.

Description

디스플레이용 유리 기판의 제조 방법 및 그에 의해 가공된 유리 기판{METHOD FOR MANUFACTURING GLASS SUBSTRATE FOR DISPLAY AND GLASS SUBSTRATE}

도 1은 액정 디스플레이의 구체적인 제조 순서를 나타내는 흐름도.

도 2는 액정 디스플레이의 표시 패널의 단면 구조를 도시한 도면.

도 3은 접합 유리 기판을 나타낸 개략도.

도 4는 작업 순서를 설명하는 개략도.

도 5는 변경된 제조 순서를 나타내는 흐름도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1, 2 : 유리 기판

10A, 10B : 편광막

GL : 접합 유리 기판

본 발명은 플랫 패널 디스플레이를 구성하는 유리 기판의 제조 방법에 관한 것으로, 특히 고품질의 유리 기판을 높은 수율로 제조할 수 있는 제조 방법에 관한 것이다.

플랫 패널 디스플레이(이하 FPD로 칭함)는 CRT 디스플레이의 브라운관과 같이 볼록한 부분을 갖는 표시 장치와 대비되는 용어로, 깊이가 적어 공간이 절약되고, 또한 표시 패널에 볼록한 부분이 없는 점에 큰 특징이 있으며, 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이, 유기 EL 디스플레이 등이 실용화되어 있다. FPD 중 특히 액정 디스플레이는 텔레비전 수상기뿐만 아니라 휴대 전화기나 컴퓨터 기기 등의 표시 장치로서도 널리 보급되어 있다.

도 2는 액정 디스플레이의 표시 패널(PN)에 대해서 일반적인 단면 구조를 예시한 것으로, 1쌍의 유리 기판(1, 2)을 접합하고 그 사이에 액정(LC)을 봉입하여 구성되어 있다.

제1 유리 기판(1)의 내면측에는 블랙 매트릭스(3)로 구분되어 컬러 필터(4)가 배치되고, 이들을 덮는 오버코트(5), 투명 전극(6A) 및 배향막(7A)이 이 순서대로 적층되어 있다. 제2 유리 기판(2)의 내면측에는 박막 트랜지스터(8)와 투명 전극(6B)이 배치되고 배향막(7B)이 더 적층되어 있다.

도 2의 구조의 표시 패널(PN)을 제조한다면, 대향하는 배향막(7A, 7B) 사이에 복수의 스페이서(9)를 배치한 상태에서 제1 유리 기판(1)과 제2 유리 기판(2)을 접합하여, 두께 3 내지 6 ㎛ 정도의 액정 봉입 영역을 확보한다. 그 후, 진공 흡인법에 의해 액정 봉입 영역에 액정(LC)을 주입하고, 마지막으로 1쌍의 유리 기판(1, 2)의 외표면에 편광막(10A, 10B)을 점착하는 것이 일반적이다.

다만, 최근에는 유리 기판(1, 2)을 극한까지 박형화하는 제조 방법도 채용되고 있다. 구체적으로는 복수의 표시 패널 영역(PN…PN)을 마련한 제1 유리 기판과 제2 유리 기판(GL1, GL2)을 접합하고, 접합 유리 기판(GL)의 외주를 엄중히 봉하여 막은 상태에서 접합 유리 기판(GL)을 플루오르화수소산을 포함한 수용액에 침지시켜 화학 연마하여 박형화하고 있다(도 3 참조). 이 화학 연마 방법에 따르면, 복수 매의 표시 패널(PN…PN)을 통합하여 제조할 수 있을 뿐 아니라, 기계 연마에 비해 화학 연마쪽이 처리 속도가 빠르기 때문에 생산성이 우수하다고 하는 이점이 있다. 또한, 접합 유리 기판(GL)을 한계까지 박형화할 수 있기 때문에 표시 패널(PN)의 박형화와 경량화의 더 큰 요구에도 응할 수 있다.

이러한 화학 연마 처리를 마친 접합 유리 기판(GL)은 그 후 각 표시 패널(PN)의 영역마다 절단 분리되어, 액정의 봉입 처리나 편광막의 점착 처리로 이행된다. 또한, 편광막을 마련하지 않은 표시 패널(PN)도 존재한다.

상기한 바와 같이 화학 연마 처리를 수반하는 제조 방법에 따르면, 효율적으로 접합 유리 기판(GL)을 한계까지 박형화할 수 있지만, 더 개선하여야 할 과제도 존재한다.

우선, 화학 연마에 의해 유리 기판을 박형화하면, 유리 기판에 잠재하고 있던 매우 미소한 흠집이나 변질 부분이 화학 연마에 의해 표면화되는 경우가 있었다(이하, 이것을 에칭 흠집이라고 함). 이러한 에칭 흠집은 화학 연마를 더 진행시키면 자연스럽게 소멸하지만, 거기까지 연마량을 늘릴 수 없는 경우에는 눈으로 확인 가능한 흠집으로서 남게 된다. 구체적으로는 유리 기판에 정면으로 마주보는 평면에서 보아 그 최대 직경이 50 내지 2000 ㎛ 정도의 것이 잔존할 가능성이 있 다. 또한, 이 흠집은 잠재적인 흠집이 에칭되는 결과, 대략 원형이나 대략 타원형의 비교적 매끄러운 오목부 흠집으로 되어 있다.

또한, 화학 연마 처리를 마친 단계에서는 오목부 흠집이 없더라도, 그 후의 절단 작업 등에 있어서 금이 가는 등의 새로운 오목부 흠집이 발생할 가능성도 있었다(이하, 이것을 비에칭 흠집이라고 함). 이 비에칭 흠집은 에칭 처리를 거치지 않기 때문에 둥글거나 매끄러운 부분이 없으며, 또한 오목부 흠집의 내부도 미소한 요철면을 갖고 있다.

그런데, 이러한 유리 기판상의 오목부 흠집은 검사 공정에서 검출되지만, 오목부 흠집을 갖는 유리 기판을 폐기하는 것은, 고가의 표시 패널을 폐기하는 것과 동일하여 생산 효율이 매우 나쁘다. 한편, 오목부 흠집을 갖는 유리 기판을 그대로 사용하면 표시 화면의 화질을 열화시키며, 특히 표시 화면을 주의하여 응시하는 휴대 전화기나 퍼스널 컴퓨터의 표시 패널로서는 치명적인 결함이 된다. 또한, 화학 연마 후에 표면화되는 흠집의 대부분은 화학 연마 이전에는 잠재화되어 있기 때문에, 화학 연마 이전의 품질 관리만으로는 유효하게 대처할 수 없다. 그 때문에, 어떠한 방법에 의해 오목부 흠집을 수복하여 양품의 유리 기판으로 복귀시키는 것이 강하게 요구된다.

이러한 경우, 유리 기판을 다시 기계적으로 연마하는 것을 우선 생각할 수 있지만, 유리 기판이 이미 극한까지 박형화되어 있는 데다가, 접합시킨 1쌍의 유리 기판 사이에 스페이서가 배치되어 있기 때문에, 연마 속도를 높일 수 없어 작업 효율이 매우 나쁘다고 하는 문제가 있다. 덧붙여 말하면, 유리 기판의 한 면을 30 ㎛ 더 기계 연마하는데 통상 60분 정도의 작업 시간이 필요하다. 더구나, 그와 같이 천천히 시간을 들여 연마하더라도 연마 과정에서 20% 정도의 유리 기판을 파손시켜 양품으로 복귀되는 비율은 높지 않다.

한편, 오목부 흠집을 적절한 충전제(접착제)로 매립하는 것도 생각할 수 있다. 그러나, 비에칭 흠집이면 유리 기판에 충전제를 밀착시키는 것이 비교적 용이하지만, 에칭 흠집의 경우에는 화학 연마의 과정에서 흠집의 가장자리가 넓어져 있기 때문에, 통상의 충전제로서는 유리 기판과의 밀착성이 불충분하다. 예컨대, 편광막의 점착 작업에 있어서, 다시 붙임 작업이 필요한 경우에는, 흠집의 가장자리가 넓어졌기 때문에 용이하게 박리될 우려가 있다. 또한, 오목부 흠집을 매립한 충전제는, 그 주위의 유리와 동일시될 정도로 평활한 표면으로 마무리해야 하지만, 연삭 등에 의한 마무리 작업에 따라 충전제가 박리할 우려도 있다.

이상의 문제점은 액정 디스플레이만의 고유한 것이 아니라 그 밖의 FPD에서도 마찬가지로 문제가 된다. 그래서, 본 발명은 고품질의 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판을 높은 수율로 제조할 수 있는 제조 방법, 및 고품질의 유리 기판을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위해서 본 발명에 따른 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법은, 플랫 패널 디스플레이용의 유리 기판을 플루오르화수소산을 함유하는 수용액으로 화학 연마하는 연마 공정과, 상기 연마 공정에서 화학 연마된 후의 유리 기판 중 최대 직경이 50 ㎛ 내지 2000 ㎛인 오목부 흠집의 유무를 검사하여 상기 오목부 흠집을 갖는 불량 유리 기판을 추출하는 검사 공정과, 상기 검사 공정에서 추출된 불량 유리 기판에 대해서 상기 오목부 흠집에 제1 도포제를 도포하는 제1 도포 공정과, 상기 제1 도포 공정을 마친 유리 기판에 대해서 상기 오목부 흠집으로부터 넘쳐 나올 때까지 제2 도포제를 도포하는 제2 도포 공정과, 도포된 제2 도포제를 경화시키는 경화 공정과, 상기 경화 공정 후 상기 오목부 흠집으로부터 융기하고 있는 제2 도포제만을 제거하여 평탄화하는 평탄화 공정을 구비하여 구성되어 있다.

본 발명에서는 경화 상태의 제2 도포제가 오목부 흠집을 매립하는 충전제로서 기능한다. 따라서, 제1 도포제는 필요 최소한의 도포량으로 제한하는 한편, 제2 도포제는 오목부 흠집으로부터 넘쳐 나올 때까지 도포된다. 도포된 제2 도포제는 경화시에 수축하지만, 이 수축 상태에서도 오목부 홈으로부터 융기하는 것과 같은 충분한 양의 제2 도포제가 도포된다. 또한, 제1 도포제나 제2 도포제는 경화 상태에서의 굴절율이나 투과율이 유리 기판의 그것과 거의 동일해지는 것이 선택된다.

경화 상태에서 융기하고 있는 제2 도포제는 평탄화 공정에서 제거되어 평탄화된다. 그 때문에 유리 기판과 동일한 경면으로 마무리할 수 있어 접합 유리 기판은 양품으로 수복되게 된다. 평탄화 작업에서는 스크레이퍼 등을 이용하여 불필요한 제2 도포제를 인위적으로 긁어내거나, 혹은 전동 기구의 절삭날에 의해 제2 도포제만을 절삭하는 것이 바람직하다. 다만, 전자에 비해 후자 쪽이 완성된 면의 평탄성이 우수하다.

또한, 스크레이퍼를 사용하는 경우는 그 날 끝 전체로부터 유리 기판에 0.7 내지 1.0 kg 정도의 하중을 가하고, 유리 기판에 대하여 약 25 내지 35°경사시킨 스크레이퍼를 밀어냄으로써 제2 도포제를 깎아내야 한다. 한편, 전동 기구를 사용하는 경우는 유리 기판에 0.2 kg 이하의 절삭 하중을 가하고, 유리 기판에 대하여 전동 기구를 30 내지 40°경사시켜 자기 앞으로 당김으로써 유리 기판을 흠지게 하는 일 없이 제2 도포제를 절삭해야 한다.

본 발명에서는 화학 연마 후의 유리 기판의 오목부 흠집이 너무 지나치면 발명의 효과가 반감하기 때문에, 오목부 흠집의 최대 직경이 2000 ㎛ 이하가 되도록 관리하는 것이 바람직하다. 구체적으로는 (a) 화학 연마 전의 유리 기판을 기계적으로 소정 두께만큼 연마하여 잠재 흠집을 제거하는 방책 및/또는 (b) 유리 기판의 화학 연마량을 제한하는 방책을 채용하는 것이 효과적이다. 한편, 최대 직경이 50 ㎛ 미만인 오목부 흠집은 현실적인 폐해가 없기 때문에 방치하더라도 좋다. 또한, 본 발명에서 문제로 하는 오목부 흠집은 화학 연마 전에서부터 유리 기판에 존재하고 있던 미소한 흠집이 화학 연마에 의해 넓어진 에칭 흠집뿐만 아니라, 화학 연마 후의 작업에 의해 비로소 발생된 비에칭 흠집도 포함된다.

또한, 본 발명의 화학 연마에서는 조성이 다른 2종류의 연마액을 준비하고, 최초에 제1 연마액으로 유리 기판을 1 ㎛/초 이상의 속도로서 고속 연마하며, 그 후 제2 연마액으로 0.5 ㎛ 내지 20 ㎛/분의 속도로서 천천히 연마하는 것도 효과적이다. 이러한 연마 방법을 채용하면, 화학 연마에 의한 오목부 흠집(에칭 흠집)의 최대 직경을 100 내지 300 ㎛(최적으로는 100 내지 200 ㎛) 미만으로 억제할 수 있 다.

제1 연마액은 플루오르화수소산 및 황산을 함유하는 수용액이며, 제1 연마액 중에서의 플루오르화수소산의 농도는 10 내지 30 중량%이면 좋고, 바람직하게는 15 내지 28 중량%, 더욱 바람직하게는 17 내지 25 중량%이다. 또한, 제1 연마액 중에서의 황산의 농도는 20 내지 50 중량%이면 좋고, 바람직하게는 30 내지 45 중량%, 더욱 바람직하게는 35 내지 42 중량%이다. 제1 연마액을 유리판 표면에 접촉시키는 시간은 바람직하게는 1분 이내이다. 앞서 설명한 바와 같이 제1 연마액에 의한 연마 속도는 1 ㎛/초 이상이지만, 바람직하게는 3 내지 10 ㎛/초, 더욱 바람직하게는 5 내지 8 ㎛/초로 해야 한다.

한편, 제2 연마액은 플루오르화수소산을 10 중량% 이하 함유하는 수용액이며, 이 플루오르화수소산에 더하여 무기산 및 계면활성제를 1종 또는 2종 이상 함유시키는 것이 바람직하다. 무기산으로서는 염산, 질산, 황산, 인산 등이 예시되고, 계면활성제로서는 에스테르계, 페놀계, 아미드계, 에테르계, 논이온계, 아민계 등의 계면활성제가 예시된다. 앞서 설명한 바와 같이 제2 연마액에 의한 연마 속도는 0.5 내지 20 ㎛/분이지만, 더욱 적합하게는 0.5 내지 10 ㎛/분이다.

제1 도포제는 특별히 한정되는 것이 아니지만, 바람직하게는 유리 기판과의 밀착성을 향상시키는 프라이머가 사용된다. 에칭 흠집은 화학 연마에 의해 흠집의 가장자리가 넓어져 있어 오목부 흠집을 매립하는 충전제가 쉽게 박리되기 때문에, 특히 프라이머의 사용이 유효하다. 프라이머로서는 바람직하게는 실란 커플링제를 주성분으로서 함유하는 실란계 프라이머가 선택된다.

제2 도포제로서 경화성 수지가 사용되지만, 표시 화면의 왜곡을 방지하기 위해서 경화 후의 굴절율이나 투과율이 유리와 동일한 정도의 메타크릴산 수지나 아크릴산 수지가 적합하게 선택된다. 경화성 수지로서는 열 경화형이나 광 경화형을 생각할 수 있지만 광 경화형이 바람직하고, 특히 자외선 경화형의 접착제가 바람직하다. 이 자외선 경화형의 접착제 중 특히 바람직한 것은 공기의 차폐를 필요로 하는 혐기 경화형이지만, 자외선을 조사하는 것만으로 경화되는 UV 경화형이라도 좋다.

이하, 실시 형태에 기초하여 본 발명을 상세히 설명한다. 도 1의 (a)는 액정 디스플레이의 제조 방법을 나타내는 공정도이며, 도 1의 (b)는 유리 기판의 수복 처리를 상세히 나타낸 흐름도이다.

최종적으로 제조되는 표시 패널(PN)은 도 2와 동일한 구성이지만, 도 1의 접합 공정(ST1)의 단계에서는, 예컨대 730 mm×920 mm의 접합 유리 기판(GL)에 복수 장의 표시 패널(PN…PN)이 반완성 상태로 종횡으로 배치되어 있다(도 3 참조).

즉, 각 표시 패널(PN)은 공정 ST6에서 봉입되는 액정(LC)과, 공정 ST7에서 점착되는 편광막(10A, 10B)을 가지지 않은 반완성 상태이며, 이러한 제1 유리 기판(GL1)과 제2 유리 기판(GL2)이 접합된 후, 그 접합 유리 기판(GL)의 외주가 내산성의 밀봉제에 의해 밀봉되어 있다.

이러한 접합 유리 기판(GL)은 플루오르화수소산을 함유하는 수용액에 침지되어 유리 기판(GL1, GL2)의 외표면이 화학 연마된다(ST2). 접합 유리 기판(GL)의 판 두께는 전체로서 0.6 mm, O.8 mm, 1.0 mm 정도이지만, 각 유리 기판(GL1, GL2) 은 각각 50 ㎛ 내지 300 ㎛(접합 유리 기판 전체로서는 100 내지 600 ㎛) 정도로 연마된다. 이 때, 바람직하게는 상기한 제1 연마액과 제2 연마액을 이 순서로 사용한다.

이 화학 연마 공정에서는 유리 기판(GL1, GL2)의 평탄성을 유지하면서 유리 기판을 박형화해야 한다. 그래서, 연마조의 바닥부로부터 기포를 연속적으로 부상시킴으로써 연마액의 상승류를 발생시키는 것이 바람직하다. 또한, 액조로부터 연마액을 연속적으로 넘쳐 나오게 하여 반응 생성물을 필터로 제거하거나, 혹은 적당한 타이밍에서 연마액의 전부 또는 일부를 교체하는 것이 바람직하다.

다만, 이러한 연마 방법을 채용하더라도 당초부터 유리 기판(GL1, GL2)에 잠재하고 있던 흠집은 유리 기판의 화학 연마에 따라 확대되는 경향이 있으며, 원래의 흠집의 깊이에 따라서는 화학 연마 공정 후에 최대 직경이 50 ㎛ 내지 2000 ㎛인 오목부 흠집으로서 표면화하는 경우가 있다.

이 오목부 흠집은 단독의 대략 원형 또는 대략 타원형이거나, 혹은 연속적인 대략 원형 또는 대략 타원형의 평면 형상을 갖는다. 그러나, 어느 쪽의 경우라도 상기의 적합한 화학 연마 방법을 채용함으로써 최대 직경을 2000 ㎛ 미만으로 할 수 있다. 또한, 이 치수는 유리 기판에 정면으로 마주보는 평면에서 보는 오목부 흠집의 최대 직경이며, 연속한 오목부 흠집의 경우에는 개개의 오목부 흠집에 대한 가상적인 최대 직경이다.

화학 연마 공정(ST2)을 마친 접합 유리 기판(GL)(도 3)은 다음에 절단 분리 공정(ST3)으로 이행된다. 절단 분리 공정에서는 종횡으로 배치된 반완성 상태의 표시 패널(PN…PN)이 개개의 표시 패널(PN) 별로 잘라내어진다. 이 절단 분리 작업을 용이하게 하려면, 화학 연마 공정에 앞서 표시 패널의 경계선(도 3의 파선부)을 따라 기계적인 스크라이브 라인을 마련해 두는 것이 적합하다. 이 경우, 화학 연마 공정(ST2)에서 기계적으로 변질된 스크라이브 라인의 부분이 다른 부분보다 더 에칭되어 홈 형상이 되기 때문에, 절단 분리 공정(ST3)에서 적절한 기계적 하중을 가하는 것만으로 스크라이브 라인에 따라서 표시 패널(PN)을 정확하게 잘라내는 것이 가능해진다. 또한, 에칭 홈이 존재하기 때문에 각 표시 패널(PN)의 분리 절단면도 매끄러운 것이 된다.

이상의 절단 분리 공정(ST3)이 끝나면, 다음에 검사 공정으로 이행한다(ST4). 여기서는 일반적인 양부 판정과는 별도로 반완성 상태의 각 표시 패널(PN)에 대해서 최대 직경이 50 ㎛ 내지 2000 ㎛인 오목부 흠집이 존재하는지의 여부가 판정된다. 그리고, 오목부 흠집이 검출된 표시 패널(PN)은 유리 기판의 수복 공정(ST5)으로 이행된다.

도 1의 (b)에 나타낸 바와 같이 수복 공정에서는 우선 유리 기판의 표면이 에탄올 등으로 세정된다(ST10). 다음에 제1 도포제인 프라이머를 면봉 등에 흡수시키고 오목부 홈에 면봉을 눌러서 대고 문지름으로써 프라이머를 오목부 홈에 부착시킨다(ST11). 또한, 오목부 홈에 면봉을 눌러서 대는 작업 시간은 30초 정도이며, 작업성을 전혀 손상하지 않는다.

계속해서, 제2 도포제인 혐기성의 자외선 경화 수지를 오목부 홈에 도포한다(ST12). 구체적으로는 도포 작업에 마이크로 피펫 등을 사용하며, 오목부 홈으로 부터 넘쳐 나올 때까지 자외선 경화 수지를 도포한다. 또한, 자외선 경화 수지는 경화시에 수축하기 때문에, 수축 상태에서도 유리 기판으로부터 융기할 정도의 충분한 양을 도포한다.

이 실시 형태에서는 혐기성의 자외선 경화 수지를 사용하기 때문에, 공정 ST12에 이어서 차폐 마스크를 제2 도포제 상에 중첩하여 탈기 상태로 한다. 또한, 사용하는 차폐 마스크로서는 자외선 투과성의 PP(폴리프로필렌) 필름이 적합하며, 내부에 기포를 가두지 않도록 차폐 마스크를 중첩시킨다.

이상의 준비 작업이 끝나면, 핸디 UV 조사기를 사용하여 차폐 마스크를 통해서 자외선을 조사한다(ST14). 또한, 자외선 조사량은 오목부 홈의 크기나 깊이에 따라서 변경되지만, 200 mJ 내지 450 mJ의 강도로 3 내지 4분 정도이며, 그 정도의 시간을 필요로 하지 않고 원활히 작업을 끝낼 수 있다.

그 후, 차폐 마스크를 박리한 후(ST15), 평탄화 공정으로 이행한다(ST16). 경화 상태의 제2 도포제는 오목부 홈으로부터 융기하고 있기 때문에, 평탄화 공정에서는 스크레이퍼(20)나 전동 기구인 쉐이버(30)가 사용된다.

스크레이퍼(20)를 사용하는 경우는 그 날 끝 전체로부터 유리 기판(GL)에 0.7 내지 1.0 kg 정도의 하중을 가하고, 유리 기판(GL)에 대하여 약 25 내지 35°경사시킨 스크레이퍼(20)를 밀어냄으로써 융기부(40)를 깎아낸다(도 4의 (a)). 한편, 쉐이버(30)를 사용하는 경우는 유리 기판에 0.2 kg 이하의 절삭 하중을 가하고, 유리 기판(GL)에 대하여 쉐이버(30)를 30 내지 40°경사시켜 자기 앞으로 당김으로써 융기물(40)만을 절삭한다[도 4의 (b)].

이상의 평탄화 작업이 끝나면, 에탄올 등으로 수복 개소의 주위를 세정하여(ST17) 수복 처리를 마친다. 이와 같이 하여 수복된 표시 패널(PN)에는 그 후 액정(LC)이 봉입되고(ST6) 표리면에 편광막(10A, 10B)이 점착된다(ST7). 편광막이 점착됨으로써 수복부는 완전히 은폐된다. 또한, 어떠한 사정으로 편광막을 박리해야 하는 경우에도, 오목부 홈의 내부는 제1 도포제와 제2 도포제에 의한 이층 구조로 되어 있기 때문에, 유리 기판과의 밀착성이 우수하여 제2 도포제가 박리할 우려는 없다.

이상, 도 1에 기초하여 작업 순서를 상세히 설명했지만, 어디까지나 일례를 설명한 것에 지나지 않고, 구체적인 기재 내용은 특히 본 발명을 한정하는 것이 아니다. 예컨대, 혐기 조건이 불필요한 경우에 공정 ST13과 공정 ST15는 생략되는 것은 물론이다.

또한, 제2 도포제의 도포 작업을 반드시 1회로 끝낼 필요는 없다. 예컨대, 최대 직경이 200 내지 300 ㎛을 넘는 것과 같은 비교적 대형의 오목부 홈인 경우에는 도포 작업을 2번으로 나누는 것이 바람직하다.

도 5는 이 경우의 작업 순서를 나타낸 것이며, 제1 도포 작업이 끝난 후 오목부 홈을 거의 채울 정도로 제2 도포제를 도포한다(ST20). 그리고, 필요에 따라서 차폐 마스크로 덮은 상태에서 자외선을 조사한다. 이 경우, 제2 도포제가 젤리형의 경도가 되는 정도의 자외선 조사량과 조사 시간으로 한다. 그 후, 차폐 마스크가 존재하는 경우에는 이것을 박리하는 동시에, 오목부 홈의 주위에 제2 도포제가 존재하는 경우에는 이것을 스크레이퍼 등으로 제거한다.

계속해서, 오목부 홈으로부터 넘쳐 나올 때까지 제2 도포제를 도포하고(ST22), 필요에 따라서 차폐 마스크로 덮은 상태에서 자외선을 조사한다. 이 경우에는 덧칠한 제2 도포제가 완전히 경화할 정도의 자외선 조사량과 조사 시간으로 한다. 따라서, 최초에 도포된 제2 도포제는 더욱 경화되게 되어 밀착 강도가 더욱 개선된다. 그리고, 그 후 도 1의 (b)의 경우와 동일한 평탄화 처리로 이행된다.

이와 같이 제2 도포제를 2번 칠하는 경우에는 도 1의 (b)의 경우 이상의 밀착성을 실현할 수 있기 때문에 유리 기판의 표면에 편광막이 점착되지 않는 경우라도 오목부 홈을 완전히 은폐할 수 있다.

이상 설명한 본 발명에 따르면, 고품질의 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판을 높은 수율로 제조할 수 있다. 즉, 보수 작업에서 유리 기판을 기계 연마하지 않기 때문에 작업 시간이 짧고, 또한 작업 비용도 저렴하다. 더구나, 유리 기판에 손상을 부여하는 일도 없기 때문에 거의 100%의 양품율을 실현할 수 있다.

Claims

플랫 패널 디스플레이용의 유리 기판을, 플루오르화수소산을 함유하는 수용액으로 화학 연마하는 연마 공정과;

상기 연마 공정에서 화학 연마된 유리 기판 중 최대 직경이 50 ㎛ 내지 2000 ㎛인 오목부 흠집의 유무를 검사하여 상기 오목부 흠집을 갖는 불량 유리 기판을 추출하는 검사 공정과;

상기 검사 공정에서 추출된 불량 유리 기판에 대해서 상기 오목부 흠집에 제1 도포제를 도포하는 제1 도포 공정과;

상기 제1 도포 공정을 마친 유리 기판에 대해서 상기 오목부 흠집으로부터 넘쳐 나올 때까지 제2 도포제를 도포하는 제2 도포 공정과;

도포된 제2 도포제를 경화시키는 경화 공정과;

상기 경화 공정 후, 상기 오목부 흠집으로부터 융기하고 있는 제2 도포제만을 제거하여 평탄화하는 평탄화 공정

을 포함하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 평탄화 공정을 거친 유리 기판에 편광막을 점착하는 점착 공정을 더 포함하는 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 유리 기판은 복수의 표시 패널 영역이 종횡으로 마련 된 접합 유리 기판이며,

상기 접합 유리 기판이 각 표시 패널 영역마다 절단 분리되는 절단 공정이 상기 검사 공정에 앞서서 마련되는 것인 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 평탄화 공정에서는 제2 도포제만이 기계적으로 연삭되는 것인 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법.
제1항에 있어서, 제1 도포제는 밀착 향상성을 갖는 프라이머이며, 제2 도포제는 광 경화형의 접착제인 것인 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 경화 공정은 제2 도포제를 투광성의 피복재로 덮어 실행되는 것인 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 제2 도포 공정은

제1 도포 공정을 마친 유리 기판에 대해서 상기 오목부 흠집으로부터 넘쳐 나오지 않을 정도로 제2 도포제를 도포하는 예비 도포 공정과,

상기 제2 도포제가 완전히 경화되기 전에, 상기 오목부 흠집으로부터 제2 도포제가 넘쳐 나올 때까지 제2 도포제를 중복하여 도포하는 중복 도포 공정으로 구분되어 실행되는 것인 플랫 패널 디스플레이용 유리 기판의 제조 방법.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항의 제조 방법에 의해 가공된 유리 기판.
제8항에 기재한 유리 기판을 사용하여 제조된 플랫 패널 디스플레이.