KR100896021B1 - 광학주사장치 - Google Patents

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KR100896021B1
KR100896021B1 KR1020027016542A KR20027016542A KR100896021B1 KR 100896021 B1 KR100896021 B1 KR 100896021B1 KR 1020027016542 A KR1020027016542 A KR 1020027016542A KR 20027016542 A KR20027016542 A KR 20027016542A KR 100896021 B1 KR100896021 B1 KR 100896021B1
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베르나르두스에이치.더블유. 헨드릭스
드브리에스요리트이.
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코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
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Abstract

서로 다른 제 1 파장 λ1, 제 2 파장 λ2 및 제 3 파장 λ3를 각각 갖는 방사선을 사용하여 제 1, 제 2 및 제 3 형태의 광 기록매체를 주사하는 광학주사장치가 제공된다. 이 장치는, 상기 방사선의 빔을 방출하는 방사원과, 광 기록매체들 중의 선택된 기록매체 상에 빔을 집광하는 대물계와, 빔의 경로에 배치되고, 서로 다른 높이의 복수의 위상부재들을 포함하며, 빔에 광경로들의 비주기적 단차 프로파일을 형성하는 위상 구조를 구비하고, 상기 단차 프로파일이, 제 1 파장 λ1에서의 평탄한 파면과, 제 2 파장 λ2에서의 구면수차 파면과, 제 3 파장 λ3에서의 평탄 또는 구면수차 파면과 근접한 것을 특징으로 한다.
Figure R1020027016542
광학주사장치, 대물렌즈, 위상부재, 단차 프로파일, 구면수차

Description

광학주사장치{OPTICAL SCANNING DEVICE}
본 발명은 광학 대물렌즈를 구비한 광학주사장치에 관한 것이다. 본 발명의 한가지 특정한 실시예는, 콤팩트 디스크(CD)들, 종래의 디지털 다기능 디스크(DVD)들과 소위 차세대 DVD들 등과 같은 3가지 서로 다른 형태의 광 기록매체로부터 데이터를 판독할 수 있는 광학주사장치에 관한 것이다.
이들 소위 차세대 DVD들은, 종래의 DVD들로부터 데이터를 판독 또는 기록하는데 사용된 적색 레이저 다이오드보다 상당히 짧은 파장의 빛을 방출하는 청색 레이저 다이오드의 출현에 따라 최근에 제안되었다. 청색 레이저 다이오드의 파장이 더 일반적으로 사용되는 적색 레이저 다이오드의 파장보다 짧기 때문에, 청색 레이저 다이오드는 DVD 상에 더 작은 스폿을 형성할 수 있으므로, 차세대 DVD의 트랙이 종래의 DVD의 트랙보다 더 작은 스폿을 형성할 수 있는데, 이는 한편으로 이들 차세대 DVD들이 종래의 DVD들보다 더 큰 저장용량을 가질 수 있다는 것을 의미하며, 일반적으로 저장용량에 있어서 적어도 2배의 증가가 얻어질 수 있다.
당업계에서는 일반적으로 불리는 것과 같이, 본 명세서에서도 종래의 DVD와 차세대 DVD들을 각각 레드-DVD와 블루-DVD로 칭한다.
사용자가 특정한 형태의 광 기록매체로부터 데이터를 판독하거나 데이터를 기록하기 위해 다양한 다른 장치를 구매할 필요성을 방지하기 위해서는, 한 개의 광학주사장치가, 예를 들면 서로 다른 포맷들을 갖는 다수의 광 기록매체로부터 데이터를 재생할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
그러나, 주로 이들 서로 다른 포맷의 기록매체들과 관련된 주사장치들이 변화하는 특성을 갖기 때문에, 이와 같은 훌륭한 목표는 생각하는 것 만큼 달성하기가 쉽지는 않다.
예를 들면, 특히 CD-A(CD-audio), CD-ROM(CD-read only memory) 및 CD-R(CD-recordable) 등의 CD들이 존재하며, 이들 CD들은 약 780nm의 레이저 파장과 0.45의 개구수(NA)를 사용하여 주사되도록 설계된다. 이에 반해, 레드-DVD들은 660nm 범위의 레이저 파장에서 주사되도록 설계되고, 블루-DVD들은 405nm 범위의 레이저 파장에서 주사되도록 설계된다. DVD들을 판독하기 위해서는, 0.6의 NA가 일반적으로 사용되는 한편, DVD에 기록하기 위해서는 0.65의 NA가 일반적으로 필요하다.
복잡한 인자는, 특정한 파장에서 판독하도록 설계된 디스크들이 다른 파장에서 항상 판독가능하지는 않다는 것이다. 이것의 일례로는, 785nm의 파장에서 높은 변조를 얻기 위해 기록 적층체에 특수한 염료가 도포된 CD-R을 들 수 있다. 660nm의 파장에서는, 디스크로부터 발생된 신호의 변조가 염료의 파장 감도로 인해 매우 작아져서, 이와 같은 파장에서의 판독이 가능하지 않게 된다. 반면에, 더 높은 데이터 용량을 갖는 새로운 시스템을 도입할 때에는, 시장에서 높은 지지율을 얻기 위해서는, 새로운 판독 및 기록 장치가 기존의 기록매체와 하위 호환가능한 것이 중요하다. 따라서, DVD 시스템은 모든 기존의 CD 형태를 판독할 수 있도록 하기 위해 785nm 레이저와 660nm 레이저를 포함해야만 한다. 청색 레이저를 사용하여 660nm에 대해 설계된 DVD 이중층 디스크를 판독할 때에도 이와 유사한 내용이 성립된다. 결과적으로, 모든 CD 및 DVD 레드/블루를 판독할 수 있는 시스템은 785nm 레이저, 660nm 레이저와 405nm 레이저를 포함해야 한다.
또한, DVD들과 CD들은 일반적으로 디스크의 데이터 보유층에 대한 보호층으로서의 역할을 하는 투명층의 두께가 다르며, 그 결과 기록매체의 입사면으로부터의 데이터 층의 깊이가 기록매체 형태마다 다르다. 예를 들면, DVD들에 대한 데이터 층 깊이는 약 0.6mm인 반면에, CD들에 대한 데이터 층 깊이는 약 1.2mm이다. 보호층을 가로지르는 방사빔에 의해 발생되는 구면수차는 일반적으로 광학주사장치의 대물렌즈에서 보상된다.
서로 다른 매체에 대한 이들 서로 다른 특성들로 인해, 예를 들면 다른 형태의 기록매체에 대해 최적화된 광학주사장치를 사용하여 한 개의 기록매체로부터 데이터를 판독하려고 할 때 문제가 일어날 수 있다. 예를 들면, 한가지 형태의 기록매체가 다른 기록매체에 대해 최적화된 대물렌즈를 사용하여 판독될 때, 다량의 구면수차와 무시할 수 없는 양의 구면색수차(spherochromatism)가 발생될 수 있다. 이 장치는, 각각의 파장에 대해 1개씩 3개의 대물렌즈를 구비할 수도 있다. 그러나, 이와 같은 해결책은 비교적 비용이 많이 들게 된다.
따라서, 서로 다른 파장의 레이저 방사선을 사용하여 다양한 서로 다른 광 기록매체를 주사하기 위한 한 개의 광학 대물렌즈를 갖는 장치를 제공하는 것이 매우 바람직할 것이다.
이와 같은 목적을 위해, 이전에는, 예를 들면, WO 99/57720에는, 서로 다른 파장의 레이저 방사선을 사용하는 한편, 동일한 대물렌즈를 사용하여, 레드-DVD들과 CD들로부터 데이터를 판독할 수 있는 시스템을 제공하는 것이 제안된 바 있다. 이 문헌에는, 2개의 굴절 비구면 또는 1개의 비구면과 회절부재를 구비한 1개의 굴절 구면을 갖는 몰딩된 플라스틱 대물렌즈를 사용하는 시스템이 기재되어 있다. 이 렌즈는, 서로 다른 두께의 2개의 디스크 포맷에 의해 발생된 서로 다른 구면수차 뿐만 아니라, 서로 다른 판독 파장에 의해 발생된 색수차를 교정할 수 있다.
Katayama, Komatsu 및 Yamanaka는, 그들의 Applied Optics 논문 "Dual-Wavelength optical head with a wavelength selective filter for 0.6 and 1.2mm thick substrate optical disks"(참조: Applied optics, Volume 38, No. 17 dated 10 June 1999, page 3778)에 기재된 다른 시스템을 설계하였다. 이 시스템은, 레이저 광원과 대물렌즈들 사이에 배치되고, 빛의 파장이 변할 때 필터를 투과한 빛의 위상 분포를 변화시키는 파장 선택 필터를 구비한다. 이 필터는, 대물렌즈 직경보다 작은 직경을 갖는 원의 내부 영역 및 외부 영역에 각각 형성된 동심원의 위상 필터 패턴과 간섭 필터 패턴을 구비한다. 간섭 필터 패턴은 650nm의 빛을 투과시키고 780nm의 빛을 반사시킨다. 이것은, 650nm의 빛에 대한 NA가 대물렌즈의 최대 NA(즉, 약 0.6)과 동일한 반면에, 780nm의 빛에 대한 NA가 원의 직경에 의해 결정되며 약 0.45라는 것을 의미한다. 위상 필터 패턴은, 인접한 단차들이 서로 다른 높이를 갖는 산화 실리콘 단차 구조를 구비한다. 이들 단차의 특정한 높이들은, 투과된 650nm의 빛의 위상 분포가 필터에 의해 영향을 받지 않고, 투과된 780nm의 빛의 위상 분포가 변경되어 그렇지 않았더라면 발생될 수 있는 구면수차 및 구면색수 차를 보상하도록 선정된다. 이와 유사한 방법이, Tokyo 2000에서 개최된 Optical Design and Fabrication 회의의 회보에 출판된 Hendriks, de Vries and Urbach의 논문 page 325-328의 "Application of non-periodic phase structures in optical systems"에 기재되어 있다. 이 문헌에도, 최저의 구역 분포를 결정하기 위한 방법이 제시되었다.
이들 각각의 이전에 개시된 시스템들은 2가지 서로 다른 광학매체들이 2가지 관련된 서로 다른 파장으로 조사되는 상황에 대한 해결책을 제공하기는 하지만, 이들은 관련된 서로 다른 파장의 빛을 사용하여 2가지보다 많은 서로 다른 형태의 기록매체를 조사 및 주사하는 것이 필요한 상황에서는 도움이 되지 않는다.
결국, 본 발명의 목적은, 예를 들면, 2개보다 많은 파장을 갖는 방사선을 사용하여 2개보다 많은 서로 다른 형태의 광 기록매체를 주사하는 광학주사장치를 제공함으로써, 이들 문제점을 해소하는데 있다.
본 발명의 일면에 따르면, 서로 다른 제 1 파장 λ1, 제 2 파장 λ2 및 제 3 파장 λ3를 각각 갖는 방사선을 사용하여 제 1, 제 2 및 제 3 형태의 광 기록매체를 주사하며, 상기 방사선의 빔을 방출하는 방사원과, 광 기록매체들 중의 선택된 기록매체 상에 빔을 집광하는 대물계와, 빔의 경로에 배치되고, 서로 다른 높이의 복수의 위상부재들을 포함하며, 빔에 광경로들의 비주기적 단차 프로파일을 형성하는 위상 구조를 구비한 광학주사장치에 있어서, 상기 단차 프로파일은, 제 1 파장 λ1에서의 평탄한 파면, 제 2 파장 λ2에서의 구면수차 파면 및, 제 3 파장 λ3에서의 평탄 또는 구면수차 파면과 근접한(approximate) 것을 특징으로 하는 광학주사장치가 제공된다.
이와 같은 배치에 의해, 복수의 서로 다른 방사선 파장을 사용하여 광학매체들을 주사할 수 있는데, 이것은 한편으로 다수의 서로 다른 형태의 광 기록매체를 주사하는 단일 장치를 제공할 수 있다는 것을 의미한다.
이와 관련하여, 본 명세서에서 사용된 용어 "평탄한(flat)"은, 파면의 모듈로(modulo) 2π를 취한 후에, 결과적으로 얻어지는 파면이 일정하며, 이에 따라 비주기적 위상 구조만이 일정한 위상 오프셋을 도입한다는 것을 의미한다. 용어 "평탄한"은 파면이 제로 위상 변화를 나타낸다는 것을 반드시 의미하지는 않는다. 본 발명의 제 2 국면은, 서로 다른 제 1 파장 λ1, 제 2 파장 λ2 및 제 3 파장 λ3 를 각각 갖는 방사빔을 사용하여 제 1, 제 2 및 제 3 형태의 광 기록매체를 주사하는 광학장치에 사용되며,
빔의 경로에 배치되고, 서로 다른 높이의 복수의 위상부재들을 포함하며, 빔에 광경로들의 비주기적 단차 프로파일을 형성하는 위상 구조를 구비한 렌즈에 있어서,
상기 단차 프로파일은, 제 1 파장 λ1에서의 평탄한 파면, 제 2 파장 λ2에서의 구면수차 파면 및, 제 3 파장 λ3에서의 평탄 또는 구면수차 파면과 근접한 것을 특징으로 하는 렌즈에 관한 것이다.
각각의 뒤따르는 종속항에 이들 국면 각각의 다양한 바람직한 실시예가 기술 되어 있다,
본 발명의 또 다른 국면은, 제 1 파장 λ1, 제 2 파장 λ2 및 제 3 파장 λ3를 각각 갖는 방사선을 사용하여 레드-DVD들, CD들 및 블루-DVD들을 주사하며, 대물렌즈의 일면에 형성된 위상 구조를 구비하고, 상기 위상 구조는 상기 방사빔에 위상 변화를 도입하기 위한 복수의 위상부재들로 구성되고, 상기 위상부재들은 렌즈의 직경을 가로 질러 다음과 같은 단차 높이들을 갖는 단차 프로파일로 배치되는 광학주사장치에 관한 것이다: 14.040㎛, 5.850㎛. -2.340㎛, 5.850㎛ 및 14.040㎛, 이때 λ1은 660nm이고, λ2는 780nm이며, λ3는 405nm이다.
본 발명의 또 다른 국면은, 제 1 파장 λ1, 제 2 파장 λ2 및 제 3 파장 λ3를 각각 갖는 방사선을 사용하여 레드-DVD들, CD들 및 블루-DVD들을 주사하는 광학주사장치에 사용되며, 대물렌즈의 일면에 형성된 위상 구조를 구비하고, 상기 위상 구조는 상기 방사빔에 위상 변화를 도입하기 위한 복수의 위상부재들로 구성되고, 상기 위상부재들은 렌즈의 직경을 가로 질러 다음과 같은 단차 높이들을 갖는 단차 프로파일로 배치되는 대물렌즈에 관한 것이다: 14.040㎛, 5.850㎛. -2.340㎛, 5.850㎛ 및 14.040㎛, 이때 λ1은 660nm이고, λ2는 780nm이며, λ3는 405nm이다.
이하, 본 발명의 실시예를 다음의 첨부도면을 참조하여 더욱 더 상세히 설명한다:
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 광 기록매체 주사장치의 구성요소를 나 타낸 개략도이고,
도 2는 도 1의 주사장치에 사용되는 대물렌즈의 개략도이며,
도 3은 도 2의 대물렌즈의 개략적인 정면도이고,
도 4는 도 3의 A---A선에 따른 단면도이다. 좌측의 제 1 단차는 도 3의 중앙에서 시작된다.
이하에서 설명되는 본 발명의 예시적인 실시예는, CD들, 레드-DVD들 및 블루-DVD들을 주사하는 시스템에 사용되는 위상 구조를 참조한다. 그러나, 이와 같은 설명은 단지 예시적으로, 본 발명의 사상은 3개보다 많은 매체를 주사할 수 있는 장치의 구성에도 적용될 수 있다는 점에 주목하기 바란다. 그 결과, 이하의 설명은 여하한 방식으로도 본 발명의 범주를 제한하는 것으로 해석되어서는 않된다.
도 1은 광 기록매체(1)를 주사하는 후술하는 실시예에 따란 장치에 공통적인 구성요소의 개략도이다. 본 실시예에서 기록매체(1)는 일례로 후술하는 광 디스크이다.
광 디스크(1)는 투명층(2)을 구비하고, 이 투명층의 일면에는 적어도 한 개의 정보층(3)이 배치된다. 투명층의 반대측에 있는 정보층의 면은 보호층(4)에 의해 외부의 영향으로부터 보호된다. 장치를 마주보는 투명층의 면은 디스크 입사면(5)이다. 투명층(2)은 정보층 또는 정보층들에 대한 기계적 지지를 제공함으로써 광 디스크에 대해 지지체로서의 역할을 한다. 이와 달리, 투명층(2)은 정보층(3)을 보호하는 유일한 기능을 갖는 한편, 기계적 지지는 정보층의 타면에 잇는 층, 예를 들면 보호층(4), 또는 최상위의 정보층에 연결된 다른 정보층 및 투명층에 의해 제공될 수도 있다.
정보는, 도 1에는 도시되지 않은 거의 평행하거나, 동심원을 이루거나 나선형의 트랙들로 배치된 광학적으로 검출가능한 복수의 마크의 형태로 광 디스크의 정보층(3), 또는 정보층들 내부에 저장된다. 이들 마크들은, 예를 들면 그것의 주변부와 다른 반사계수 또는 자화방향을 갖는 피트들 또는 영역들의 형태, 또는 이들 형태의 조합을 갖는 광학적으로 판독가능한 형태를 지닐 수 있다.
주사장치는, 렌즈계를 향하여 발산하는 방사빔(7)으로 제 1, 제 2 및 제 3 파장의 방사선을 방출하는 조정가능한 반도체 레이저 또는 3개의 별개의 반도체 레이저를 구비한 방사원(6)을 포함한다. 렌즈계는 광축(13)을 따라 배치된 시준렌즈(9)와 대물렌즈(10)를 구비한다. 시준렌즈(9)는 방사원(6)으로부터 방출된 발산하는 빔(7)을 거의 평행광으로 변환된 빔(15)으로 변환한다. 대물렌즈(10)는, 도면에 패턴(11)으로 나타내고 나중에 더욱 상세히 설명하는 위상부재(또는 위상 구조)를 구비한다. 대물렌즈(10)는, 입사하는 평행광의 방사빔(15)을 선택된 NA를 갖고 정보층(3) 상의 스폿(18)에 이르는 집광 빔(14)으로 변환한다. 검출계(16), 제 2 시준렌즈(19) 및 빔 스플리터(8)는, 데이터 신호와, 대물렌즈(10)의 축방향 위치를 기계적으로 조정하는데 사용되는 초점오차신호를 검출하기 위해 설치된다.
도 1에 도시된 위상 격자(11)는, 방사원을 향하는 대물렌즈(10)의 면(본 명세서에서는 렌즈의 입사면으로 칭한다), 또는 이와 달리 렌즈(10)의 다른 면(본 명세서에서는 렌즈의 출사면으로 칭한다)에 배치될 수 있다.
도 2는 전술한 주사장치에 사용되는 대물렌즈(10)의 개략도이다. 주사장치는, 제 1 개구수에서 제 1 파장의 레이저 방사선(21)을 사용하여 제 1 정보층 깊이를 갖는 광 기록매체를 주사할 수 있다. 더구나, 이 장치는, 동일한 광학 대물렌즈(10)를 사용하여 제 2 개구수에서 제 2 및 제 3 파장의 레이저 방사선(23)으로 제 2 정보층 깊이를 갖는 기록매체를 주사할 수 있다. 레드-DVD 포맷의 디스크는 예를 들면 620 내지 700nm의 제 1 파장 λ1, 바람직하게는 λ1=660nm의 레이저 방사선을 사용하여 주사될 수 있다. 레드-DVD를 판독하기 위해서는 약 0.6의 개구수가 사용되고, 레드-DVD에 기록하기 위해서는, 0.6보다 큰 NA, 예를 들면 0.65의 NA가 적용된다. CD 포맷의 기록매체들은, 0.5보다 작은, 바람직하게는 0.45의 개구수를 사용하여, 예를 들면 740 내지 820nm의 제 2 파장 λ2, 바람직하게는 λ2=785nm의 레이저 방사빔으로 주사된다. 블루-DVD 포맷의 디스크들은 예를 들면 365 내지 445nm의 제 3 파장 λ3, 바람직하게는 λ3=405nm의 레이저 방사선을 사용하여 주사될 수 있다.
대물렌즈(10) 상의 위상 구조(11)는, 레드-DVD 또는 블루-DVD와 CD 매체 각각의 투명층들의 두께 31 및 33의 차이에 의해 발생되는 구면수차를 보상하도록 배치된다. 이 구조는 마찬가지로 구면색수차와 색수차를 교정한다. 효과적으로, 위상 구조(11)는, 그것을 통과하는 빛에, 예를 들면 정보층 깊이의 변화에 의해 발생된 구면수차를 보상하는 양의 파면편차를 도입하도록 설계된다.
본 발명의 본 실시예에서는, 한 개의 대물부재를 사용한 서로 다른 포맷의 디스크들 상에의 판독 및 기록을 무한-공역(infinite-conjugate) 모드에서 하이브리드 렌즈를 사용하여 달성한다. 이와 같은 하이브리드 렌즈는, 예를 들면 리소그래피 공정이나 다이아몬드 세공에 의해, 굴절 렌즈의 표면들 중 한 개의 표면에 위상 프로파일을 적용함으로써 형성될 수 있다.
대물렌즈(11)는 볼록-볼록 렌즈로서 도시되어 있지만, 평-볼록이나 볼록-오목 렌즈 등의 다른 렌즈부재 형태로 사용될 수 있다. 본 실시예에 있어서 대물계는 단일 렌즈이지만, 이것은 2개 이상의 렌즈부재를 포함하는 복합 렌즈일 수도 있다. 대물렌즈(10)는, 예를 들면 굴절 대물렌즈 부재와 평면 대물렌즈 부재를 포함할 수 있다. 또한, 위상부재 또는 위상 구조는, 대물계 내부의 광학부재, 또는 대물계와 분리되어, 예를 들면 1/4 파장판 또는 빔 스플리터를 구비하거나, 이들 위에 설치될 수도 있다.
도 3은 위상 구조를 나타낸 대물렌즈(10)의 개략적인 정면도이다. 원형의 구조에는 렌즈의 중심을 향해 점진적으로 증가하는 폭을 갖는 동축을 이루는 환형 링 형태의 패턴부재들이 적용된 것을 알 수 있다. 각각의 패턴부재는 소위 위상부재의 구역(zone)을 정의한다. 무한-공역 방식으로 다수의 파장에 대해 렌즈의 동작을 가능하게 하기 위해서는, 렌즈가 각각의 파장에 대해 서로 다른 양의 구면수차(즉, 서로 다른 양의 파면편차)를 발생하여, 예를 들면 디스크 두께의 차이에서 발생되는 수차들을 교정한다.
서로 다른 구면수차의 발생은, 구조의 구역들이 서로 다른 높이를 갖도록 위상 구조를 배치함으로써 달성되며, 이들 높이는 렌즈를 통과하는 빔 내부에 위상차 가 도입되도록 선택된다 - 주어진 파장에 적용되는 이 특정한 위상차는 전술한 형태의 다양한 악영향을 상쇄하도록 선택된다.
이와 관련하여, 본 발명의 실시예에서 채용된 위상 구조는 비주기적 패턴을 가지므로, 회절 차수를 형성하지 않는다는 것을 지적하는 것이 중요하다. 이것의 결과로써, 후술하는 위상 구조는 회절격자가 나타낼 수 있는 형태의 고유의 손실을 나타내지 않는다.
적절한 위상 구조를 설계하는데 있어서 첫 번째 단계는, 한 개의 파장을 "설계 파장"으로 선택하고, 이 파장에 대해 광학계를 최적화하는 것이다. 이것은, 렌즈(10)에 적용된 임의의 위상 구조가 그것을 통과하는 설계 파장의 빔에 영향을 미치지 않아야 한다는 것을 의미한다. 따라서, 이것은 거의 평탄한 파면을 제공해야 한다. 즉, 위상 구조는 상수에 대략 2π 라디안의 배수를 더한 값과 동일한 위상 변화를 도입해야만 한다. 본 명세서 사용된 용어 "배수"는 음의 정수 0 및 1을 포함하는 임의의 정수를 포함하는 것으로 해석되어야 한다는 점에 주목하기 바란다.
공지된 것과 같이, 빔이 높이 h의 단차를 통과할 때 파장 λ1의 빔에 도입된 위상 변화 φ는 다음과 같이 표시될 수 있다:
Figure 112002040282529-pct00001
이때, nλ1은 파장 λ1의 빛에 대한 단차의 굴절률이고, n0는 단차에 들어가지 전의 이전에 위치한 매체의 굴절률이다(이전 매체가 공기이면 n0=1이다).
전술한 것과 같이, 설계 파장에 대해, φ는 (위상 구조가 설계 파장의 빛에 아무런 영향을 미치지 않도록) 2π 또는 그것의 정수배이어야만 한다.
φ를 2π와 같다고 하면 수식 (1)은 h에 대해 재정렬되어, 파장 λ1에서 2π의 위상 변화를 일으키는 단차의 높이 h1이 주어진다:
Figure 112002040282529-pct00002
h2(λ2에서 2π의 위상 변화를 제공하는데 필요한 단차의 높이)와 h3(λ 3에서 2π의 위상 변화를 제공하는데 필요한 단차의 높이)에 대해 이와 유사한 수식이 유도될 수 있다.
Figure 112002040282529-pct00003
이때, 높이 h1을 갖는 단차가 그것을 통과하는 파장 λ2 및 λ3의 빛에 어떤 위상 변화를 미치는지를 고려해보자. 수식 (1)로부터, 다음과 같이 쓸 수 있다:
Figure 112002040282529-pct00004
수식 (2)로부터 h1을 치환하면:
Figure 112002040282529-pct00005
다음에, (수식 (2) 및 (3)으로부터) 수식 (7)의 λ1 및 λ2을 치환하면:
Figure 112002040282529-pct00006
Figure 112002040282529-pct00007
φλ3에 대해 이와 유사한 수식이 유도될 수 있다:
Figure 112002040282529-pct00008
따라서, 파장 λ1의 방사선에 대해 2π의 위상 변화를 도입하는 높이 h1의 단차는 제 2 및 제 3 파장의 방사선에 대해 각각 2π(h1/h2) 및 2π(h1/h 3)를 도입하게 된다는 것을 알 수 있다.
단차 높이 h1의 배수, m에서는, 수식 (9) 및 (10)으로부터, 제 2 및 제 3 파장에서의 위상 차이가 각각 2πm(h1/h2) 및 2πm(h1/h3)와 같이 변하는 것을 알 수 있다.
그러나, (h1/h2)와 (h1/h3)는 유리수에 근사할 수 있기 때문에, 단차 높이 h1 의 배수들은 다른 2개의 파장에서 제한된 수의 거의 다른 위상 단차만을 발생하게 된다 - 서로 다른 단차들의 수는 결과적으로 얻어진 위상 변화 φ가 적어도 대략 2π의 정수배가 될 때까지 유리수 (h1/h2) 또는 (h1/h3)가 가산될 수 있는 횟수와 동일하다.
p2를 λ2에 대한 서로 다른 단차의 수라 하고 p3를 λ3에 대한 서로 다른 단차의 수라고 하자.
p2와 p3가 서로 다르기 때문에, 단순히 높이 h1의 서로 다른 정수배 m을 선택함으로써, λ2 및 λ3에 대한 위상 단차들의 서로 다른 조합이 선택될 수 있다. 즉, 본 발명의 발명내용에 따르면, 설계 파장에서 2π의 위상 차이와 이와 다른 파장에서 전술한 개별적인 위상 차이들의 임의의 조합을 도입하는 위상 구조가 형성될 수 있다.
레드-DVD들, 블루-DVD들과 CD들로부터 데이터를 판독하는 장치의 특정한 예를 고려하면, 빛의 3개의 별개의 파장과 한 개의 대물렌즈를 사용하여 2가지 서로 다른 매체 각각으로부터 데이터 판독이 달성될 수 있도록 하는 위상 구조에 대한 적절한 단차 높이를 산출할 수 있다.
전술한 것과 같이, 레드-DVD들은 파장 660nm의 빛을 사용하여 판독된다. 따라서, 본 실시예에 있어서 설계 파장 λ1=660nm가 되고, 이와 같은 파장에서, 위상 구조를 통과하는 빛에 2π의 위상차의 정수배를 위상 구조가 도입하는 것에 필요하 다. CD들로부터 데이터를 판독하기 위해 제 2 파장 λ2는 785nm이고, 블루-DVD들로부터 데이터를 판독하기 위해 제 3 파장 λ3는 405nm이다. 위상 구조(11)가 디아크릴(diacryl)로 이루어진 경우에는, nλ1=1.564, nλ2=1.559 및 nλ3=1.594이다. n0≒1로 가정하면, 수식 (2), (3) 및 (4)를 사용하여 단차 높이 h1, h2 및 h3가 각각 1.170㎛, 1.404㎛ 및 0.682㎛인 것을 산출할 수 있다.
수식 (9) 및 (10)으로부터, 파장 λ2 및 λ3의 빔에 높이 h1의 단차에 의해 도입된 위상 차이는 λ2에 대해 2π(0.833) 라디안이고 λ3에 대해 2π(1.716) 라디안이라는 것을 산출할 수 있다. 0.8333≒5/6이고 1.716≒12/7이므로, p2=6이고 p3=7이다. 이와 같은 데이터를 단차 높이 h1의 배수 m에 대해 표로 만들면, 다음과 같이 표를 구성할 수 있다:
[표 1]
높이 mh1의 단차에 의해 도입된 λ2 및 λ3에서의 위상 차이
m 위상 φλ2(mod2π) 라디안 위상 φλ3(mod2π) 라디안
-2 -1 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 2.094 1.047 0.000 5.235 4.188 3.142 2.094 1.047 0.000 5.235 4.188 3.142 2.094 1.047 0.000 3.575 1.787 0.000 4.496 2.709 0.921 5.417 3.630 1.843 0.055 4.551 2.764 0.977 5.472 3.685

표 1로부터, p2는 6이고 p3는 7과 같다는 것을 알 수 있으며(열 φ2 및 φ3의 볼드체와 이탤릭체로 표시된 수치를 참조할 것), 별개의 위상 단차로 구성된 각각의 세트가 단차 높이 h1의 배수 m의 범위가 증가되면서 무한히 반복된다는 것을 알 수 있다. 예를 들면, φ2는 m=1로부터 m=6으로 커진 다음, m=7로부터 m=12로 반복된다. 마찬가지로, φ3는 m=4로부터 m=10으로 커진 다음, m=11에서 m=17로 반복된다(미도시).
p2와 p3가 다르기 때문에, 단차 높이 h1의 적당한 배수 m을 간단히 선택함으로써, λ1 및 λ2에 대한 별개의 위상 단차들의 모든 조합이 선택을 위해 사용될 수 있다.
일반적으로는, 다음에 예시되는 것과 같이 파장 λ1에서 단차 높이 hi에 대해 거의 서로 다른 위상 단차를 갖는 수치 pi에 대한 수식을 결정할 수 있다.
h1을 파장 λ1에서 2π의 위상 단차를 도입하는 위상 구조의 높이로 정의하고, 마찬가지로 hi를 다른 파장 λi에서 2π의 위상 단차를 도입하는 구조의 높이로 정의한다. 이에 따르면, λi에 대응하는 높이 hi에 대한 거의 다른 위상 단차의 수치 pi를 찾기 위해, 비율 h1/hi를 연분수(Continued Fraction) CFi 로 표시한다. 일반적으로, 연분수(CF)는 다음과 같이 정의된다:
Figure 112002040282529-pct00009
이와 같은 마지막 수식은 CF에 대한 또 다른 수식이다(예를 들면, "handbook of mathematical functions", by M. Abramowitz and I.A. Stefun(Dover Publications, New York, 1970)의 19 페이지를 참조할 것).
수치 bk가 정수일 때에는, CF가 항상 수렴한다. 그 결과, 이와 같은 CF를 m차 차수로 잘라낸 것(truncation)을 다음과 같이 기재되는 CFm으로 정의할 수 있다:
Figure 112002040282529-pct00010
이때, Am과 Bm은 다음과 같이 정의되는 정수이다.
Figure 112002040282529-pct00011
예를 들면,
Figure 112002040282529-pct00012
계수 bk는 다음과 같이 결정될 수 있다.
Figure 112002040282529-pct00013
라 하면, 다음과 같아진다.
Figure 112002040282529-pct00014
이때, Int[]는 a0의 정수 부분을 취한다는 것을 의미한다(예를 들면, Int[3.253]=3이다).
따라서,
a1 = a0 - b0
로 정의하고,
Figure 112002040282529-pct00015
라 하면,
Figure 112002040282529-pct00016
과 같아지며, CFm이 유일하게 정의된다. 수치 pi를 찾기 위해서는, k의 정수값에 대해, CFk i가 다음 관계를 처음으로 만족하도록 하는 h1/hi에 대응하는 CFk i를 결정해야만 한다.
Figure 112002040282529-pct00017
따라서, 유리수 근사는 다음과 같아지며,
Figure 112002040282529-pct00018
이것으로부터, λ1에 대응하는 높이 hi에 대한 서로 다른 위상 단차들의 수 pi 는 다음과 같이 주어진다는 것을 알 수 있다:
Figure 112002040282529-pct00019
이것은 다음과 같이 기재될 수 있다:
Figure 112002040282529-pct00020
m이 정수인 mh1의 단차 높이를 취하면, 파장 λi에서 도입된 위상 변화는 다음과 같이 주어진다:
Figure 112002040282529-pct00021
높이 (m+pi)hi를 고려하면, 높이 mh1일 때와 동일한 위상이 예측된다. 이것을 다음과 같이 나타낼 수 있다:
Ak는 정수이기 때문에, 단차 높이들 mh1 및 (m+pi)h1에 의해 도입된 위상 모듈로 2π는 거의 동일하다.
위상 구조(10)가 디아크릴로 제조된 경우를 고려하면, nλ1=1.564이고, nλ2=1.559이며, nλ3=1.594이다. no=1이라고 가정하면, 수식 (2), (3) 및 (4)를 사용하여 단차 높이들 h1, h2 및 h3가 각각 1.170㎛, 1.404㎛ 및 0.682㎛인 것을 계산할 수 있다.
수식 (9) 및 (10)으로부터, 파장 λ2 및 λ3의 빔에 높이 h1의 단차에 의해 도입된 위상 차이는 λ2에 대해서는 2π(0.833) 라디안이고 λ3에 대해서는 2π(1.716) 라디안이라는 것을 산출할 수 있다. 비율들 h1/h2=0.833 및 h1/h 3=1.716을 전술한 것과 같이 연분수로 확장하면(표 2 및 3 참조) , 0.833≒5/6이고 1.716≒12/7이며, 이에 따라 p2=6 및 p3=7인 것을 알 수 있다.
[표 2]
h1/h2=0.833
Figure 112002040282529-pct00022

[표 3]
h1/h3=1.716
Figure 112002040282529-pct00023
결론적으로, 다음과 같이 λ1에 대응하는 높이 hi에 대해 서로 다른 위상 단차들의 수 pi를 다음과 같이 표시할 수 있다. 비율 h1/hi를 수식 (11)에 따라 연분수 로 기술하고, 수식 (21)에 기재된 조건이 만족하자마자 분수를 잘래나며, 값 Ak와 Bk를 결정하면, λi에 대한 높이 hi에 대한 서로 다른 위상 단차들의 수는 pi=Bk로 주어진다.
본 실시예에 있어서, 도 2에 도시된 대물렌즈(10)는 평-비구면 부재이다. 대물렌즈(10)는 광축 상에서 2.041mm의 두께와 3.3mm의 입사동 직경을 갖는다. 이 대물렌즈의 렌즈 몸체는 파장 λ1=660nm에서 굴절률 n=1.7682, λ2=785nm에서 n=1.7625와 λ3=405nm에서 n=1.7998을 갖는 LAFN28 쇼트(Schott) 유리로 제조된다. 시준렌즈를 향하는 렌즈 몸체의 볼록 면은 반경 2.28mm를 갖는다. 기록매체를 향하는 대물렌즈의 표면은 평탄하다. 비구면 형태는 유리 몸체 위의 아크릴 박막층으로 구현된다. 래커(lacquer)는 660nm에서 n=1.5640, 785nm에서 n=1.5588 및 405nm에서 n=1.5945를 갖는다. 광축 상에서의 이와 같은 층의 두께는 17 미크론이다. 회전대칭인 비구면 형태는 다음 식으로 주어지며,
Figure 112002040282529-pct00024
이때, z는 밀리미터 단위를 갖는 광축 방향으로의 표면의 위치이고, r은 밀리미터 단위를 갖는 광축까지의 거리이며, Bk는 r의 k승의 계수이다. 계수 B2 내지 B10의 값은 각각 0.239104, 0.0050896354, 8.9127376x10-5, -0.87208131x10-5, -1.8258426x10-6이다. 자유 작업거리(free working distance), 즉 대물렌즈(10)와 디스크 사이의 거리는 λ1=660nm에서 DVD에 대해 1.049mm이고 이 디스크의 커버층 두께는 0.6mm이며, λ2=785nm에서 CD에 대해 이 거리는 0.6952mm이고 이 디스크의 커버층 두께는 1.2mm이며, λ3=405nm에서 DVD에 대해 이 거리는 0.9710mm이고 이 디스크의 커버층 두께는 0.6mm이다. 이 디스크의 커버층 두께는 λ1=660nm에서 굴절률 n1=1.5798, 파장 λ2=785nm에서 n=1.5731 및 파장 λ3=405nm에서 n=1.6188을 갖는 폴리카보네이트로 제조된다. 대물렌즈는, 660nm에서 DVD를 판독하고 405nm에서 DVD 디스크를 판독할 때, 구면색수차가 도입되지 않도록 설계된다. 따라서, 대물렌즈는 이미 DVD 레드 및 블루 판독에 적합하다. 렌즈가 CD 판독에 적합하도록 만들기 위해, 디스크 두께의 차이와 구면색수차에 의해 발생하는 구면수차가 보상되어야만 한다. Katayama, Komatsu 및 Yamanaka에 의해 그들의 Applied Optics 논문 "Dual-Wavelength optical head with a wavelength selective filter for 0.6 and 1.2mm thick substrate optical disks"(참조: Applied optics, Volume 38, No. 17 dated 10 June 1999, page 3778)에 기재되고, Tokyo 2000에서 개최된 Optical Design and Fabrication 회의의 회보에 출판된 Hendriks, de Vries and Urbach의 논문 page 325-328의 "Application of non-periodic phase structures in optical systems"과 유사한 방법을 사용하여, CD의 경우에(즉, 광학매체가 대략 785nm의 파장에서 빛으로 주사될 때) 0.00 라디안, 1.047 라디안 및 2.094 라디안의 상대 위상과, 레드-DVD의 경우에 대략 2π 및 그것의 정수배(표 1 및 표 4 참조)의 상대 위상을 도입하는 3상 단차 구조를 설치함으로써, 레드-DVD/CD 시스템에서의 구면수차 및 구면색수차를 보상할 수 있다.
표 1로부터, CD 파장 λ2에서 수차와 다른 결함을 교정하기 위한 적절한 위상 차이는, 예를 들어 0h1, 5h1 및 4h1 또는 0h1, -1h1 및 -2h1의 단차들을 갖는 위상 구조를 구성함으로써 제공될 수 있다는 것이 명백하다.
그러나, CD들 뿐만 아니라 블루-DVD들을 주사하는 것이 바람직하면, 대물렌즈가 블루-DVD 파장 λ3의 빛을 사용하여 조사되었을 때, CD 파장 λ2에서 주사하기 위해 선택된 단차 높이들이 눈에 띄는 위상 구배를 도입하지 않아야만 한다.
표 1을 다시 참조하면, (예를 들어) 12h1, 5h1 및 -2h1의 단차 높이들을 선택함으로써, CD 파장 λ2에서 0.00, 1.047 및 2.094 라디안의 원하는 위상 차이와, 더구나 블루-DVD 파장 λ3에서 대략 3.6 라디안의 거의 동일한 위상 차이를 도입하게 된다.
블루-DVD 파장에서 눈에 띄는 위상 구배가 존재하지 않으므로, 위상 구조에 의해 발생된 대략적으로 일정한 위상 변화가 블루-DVD들의 주사에 영향을 미치지 않는다.
즉, 12h1, 5h1 및 -2h1의 단차 높이를 갖는 위상 구조를 구성함으로써, CD들, 레드-DVD들 및 블루-DVD들의 주사를 가능하게 하는 대물렌즈를 제공할 수 있다.
이 시점에서, 음의 높이를 갖는 단차를 구성하는 것을 어떻게 할 수 있는지에 대해 언급하고자 한다. -2h1의 단차를 구성하고자 하면, 예를 들어, 렌즈의 전체 표면에 깊이 2h1의 물질 층을 추가하고(이것은 스폿 형성에 영향을 미치지 않는 일정한 파면 오프셋을 일으킨다), 그후 단차를 형성하는 것이 필요한 영역들에 있는 층을 제거할 수 있다.
도 4는 CD들, 레드-DVD들 및 블루-DVD들을 주사할 수 있도록 하는 전술한 것과 같은 위상 구조에 대한 측정값을 나타낸 것이다. 도 4는, 도 3의 A-A선에 따른 확대도시된 개략적 단면도를 제공하며, 표 4에 주어진 것과 같은 단차 높이 분포를 갖는 위상 구조를 나타낸다.
[표 4]
단차 높이 분포
(r은 반경방향의 동공 좌표이고, hj는 미크론 단위로 구역 j에 있는 위상 구조의 높이이다)
Figure 112002040282529-pct00025
이와 같은 구조를 사용하면, λ3에서 도입된 rms 파면수차(이것은 렌즈의 전 체 입사 동공에 걸쳐 파면의 평균 광경로 차이, 즉 렌즈에 의해 도입된 수차의 측정값이다)는 17mλ의 범위에 있으며, λ2에서 도입된 rms 파면수차는 43mλ의 범위에 있다는 것이 확인되었다.
rms 파면수차(파장 λ로 측정)가 0.07λ보다 작을 때, 광학 시스템은 "회절 제한된" 것으로 기술되는데, 이것은 렌즈의 결함에 의해 도입된 수차가 회절 효과로 인한 스폿의 폭보다 작다는 것을 의미한다. 주사과정을 교정하기 위해서는, 전체 광학계의 총 rms 파면수차가 0.07λ보다 작아야만 한다. λ2 및 λ3에서의 rms 파면수차가 0.07λ보다 작기 때문에 (그리고, 설계파장 λ1에서 눈에 띄는 수차가 도입되지 않기 때문에), 전술한 시스템은 CD들, 레드-DVD들 및 블루-DVD들을 주사하는데 적합하다.
본 명세서에서는, 제 3 파장에서 위상 구조에 의해 평탄한 파면이 형성되는 경우만을 고려하였지만, 제 3 파장 구면수차가 형성되는 경우로의 확장은 다음과 같이 행해질 수 있다. 제 3 파장에 대해서는, p3개의 서로 다른 위상 단차가 존재한다(참조, 예를 들면 표 1, 3열). 이들 위상 단차들을 보상하기 위해, (제 3 파장에서 디스크의 커버층 두께가 제 1 파장에서의 커버층 두께와 다르거나, 일정한 양의 구면색수차가 존재할 때 도입될 수 있는) 제 3 구성에서의 구면수차의 양은, 레드-DVD 및 블루-DVD의 경우에 대해 평탄한 파면을 도입하면서 CD 구조에 대해 구면수차 교정을 달성하기 위해, 전술한 것과 같은 방식으로 진행된다. 이에 따라, 이 구조는 블루-DVD의 경우에 대해서는 구면수차를 발생하는 한편, 레드-DVD 및 CD의 경 우에 대해서는 평탄한 수차를 도입하도록 설계된다. 따라서, 본 구성은 2가지 위상 구조 설계로 마무리되는데, 한 개는 파장 1 및 3에 영향을 미치지 않으면서 제 2 파장에 대해 원하는 양의 구면수차를 도입하며, 다른 한 개는 파장 1 및 2에 영향을 미치지 않으면서 제 3 파장에 대해 원하는 양의 구면수차를 도입한다. 설계에서의 최종 단계는, 서로의 위에 양 구조를 단순히 가하는 것이다. 결과적인 위상 구조는, 2개의 분리된 구조들 각각의 복수의 위상부재들의 폭이 서로 다를 수 있기 때문에 일반적으로 더 복잡하게 된다.
본 발명은 일반적으로 3개의 관련된 파장의 빛을 사용하여 3가지 다른 형태의 광학 매체로부터 데이터를 판독하고자 하는 경우에 관련되지만, 본 발명의 발명내용은 더 큰 수의 파장에서 데이터를 판독(또는 기록)하고자 하는 시스템에도 적용될 수 있다는 것은 본 발명이 속한 기술분야의 당업자에게 자명하다.
예를 들어, (예를 들면 추가적인 형태의 광학매체에 대해) 제 4 파장 λ4의 빛을 사용하여 매체를 추가적으로 주사하고자 하는 경우에는, 표 1이 비율 h1/h4의 배수들을 포함하는 위상 변화의 네 번째 열 φ4을 포함하도록 확장될 수 있다. λ4가 λ1, λ2 또는 λ3와 다를 수 있기 때문에, 개별적인 위상 단차들의 수도 p2 또는 p3와 다를 수 있다. 그 결과, 적절한 m 값을 단순히 선택함으로써, 위상 변화 φ2, φ3 및 φ4의 모든 조합을 선택하는 것이 가능해지게 된다. 이에 따르면, 예를 들면, 4가지 서로 다른 파장에서 4가지 서로 다른 광학매체로부터 데이터 판독을 가 능하게 하는 위상 구조를 제공할 수 있게 된다.
따라서, 본 발명의 발명내용은, 예를 들면 관련된 서로 다른 파장의 빛을 사용하여 복수의 서로 다른 형태의 광학매체를 주사하는 장치를 제공하는데 적용될 수 있다는 것을 알 수 있다.
상기한 내용으로부터, 본 발명의 범주는 다음과 유사한 위상 구조에도 확장된다는 것은 자명하다:
(a) 제 1 파장 λ1에서 구면수차 파면, 제 2 파장 λ2에서 평탄한 파면 및 제 3 파장 λ3에서 평탄한 파면, 또는
(b) 제 1 파장 λ1에서 구면수차 파면, 제 2 파장 λ2에서 평탄한 파면 및 제 3 파장 λ3에서 구면수차 파면.
이것은 다음과 같이 구면수차를 일으키는 2가지 효과가 존재한다는 사실로부터 일어난다:
(i) 파장의 변화로부터 발생된 굴절률 변화(구면색수차로 불린다)와, (ii) 커버층 두께의 변화(예를 들면, DVD는 대략 0.6mm 두께를 갖는 커버층을 갖는 반면에, CD는 대략 1.2mm 두께의 커버층을 갖는다).
효과 (i)은 보통 효과 (ii)에 비해 작으므로, 그 결과 파장이 변하고 커버층 두께가 변하지 않으면, (DVD-블루, DVD-레드 및 CD 시스템에 대해 전술한 것과 같이) 대물계의 렌즈 설계의 구면색수차를 보상할 수 있다.
커버층 두께가 모두 다르거나 구면색수차가 보상될 수 없는 상황에서도, 위 상 구조 (b)는 여전히 3가지 서로 다른 파장을 사용하여 광 데이터 매체를 판독할 수 있는 시스템을 제공한다.
본 발명의 특정한 실시예를 설명하였지만, 첨부된 청구범위에 기재된 본 발명의 범주 내에서 다양한 변형이 일어날 수 있다는 것은 자명하다.
예를 들면, 전술한 실시예에서는, 위상 구조(11)가 렌즈(10) 상에 설치되어 있지만, 이와 달리 이 위상 구조는 대물렌즈로부터 분리된 광학부재 사이에, 예를 들면 1/4 파장판 또는 빔 스플리터 상에 설치될 수도 있다는 것은 자명하다.
더구나, 본 발명에서는 용어 "근접한" 또는 "근접"이 사용되었지만, 이것은 가능한 근사의 범위를 포괄하는 것으로 의도된 것으로, 이와 같은 정의는, 여하한 경우에도 서로 다른 형태의 광 기록매체를 주사하는 목적을 수행하는 광학주사장치의 작동 실시예를 제공하는데 충분한 근사를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (14)

  1. 서로 다른 제 1 파장 λ1, 제 2 파장 λ2 및 제 3 파장 λ3을 각각 갖는 방사선을 사용하여 제 1, 제 2 및 제 3 형태의 광 기록매체를 주사하는 광학주사장치로서,
    상기 방사선의 빔을 방출하는 방사원과,
    상기 광 기록매체들 중의 선택된 기록매체 상에 빔을 집광하는 대물계와,
    상기 빔의 경로에 배치되고, 서로 다른 높이의 복수의 위상 부재를 포함하며, 상기 빔에 광 경로의 비주기적 단차 프로파일을 형성하는 위상 구조를 구비한 광학주사장치에 있어서,
    상기 단차 프로파일은 상기 제 1 파장 λ1에서의 평탄한 파면, 상기 제 2 파장 λ2에서의 구면수차 파면, 및 상기 제 3 파장 λ3에서의 평탄 또는 구면수차 파면과 근접하고,
    상기 빔의 위상 변화에 대응하는 상기 제 1 파장 λ1에서의 상기 광 경로 간의 길이의 차이는 2π의 배수와 동일하고,
    상기 제 2 파장 λ2에서의 위상 부재의 다른 높이에 대한 서로 다른 위상의 획득가능한 수는 상기 제 3 파장 λ3에서의 위상 부재의 서로 다른 높이에 대한 서로 다른 위상 단차의 획득 가능한 수와 다르고,
    2 및 3과 동일한 i에 대해 파장 λi에서의 서로 다른 위상 단차의 획득가능한 수 Bk는 부등식
    Figure 112008058947218-pct00033
    에 의해 결정되며,
    이때, Ak는 정수이고, k는 상기 부등식과
    Figure 112008058947218-pct00034
    를 만족하는 최소의 양의 정수이고, {b0, b1, …, bk}는 k번째 항에서 잘라내어진 연분수이며, h1, hi는 각각 파장 λ1 및 λi에서 광 경로에 2π 위상 변화를 도입하는 광학부재의 높이이고,
    상기 위상 구조는 λ1에서 다음 식을 만족하는 가장 낮은 위상 단차 Φmin과 가장 높은 위상 단차 Φmax 사이의 차이 값을 나타내며,
    Figure 112008058947218-pct00035
    이때, Bk는 2 및 3과 동일한 i에 대해 파장 λi 중 한 개에서 서로 다른 위상 단차의 최저의 획득가능한 수인 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    ｜λ1-λ2｜, ｜λ2-λ3｜ 및 ｜λ1-λ3｜는 각각 20nm보다 큰 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    ｜λ1-λ2｜, ｜λ2-λ3｜ 및 ｜λ1-λ3｜는 각각 50nm보다 큰 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 위상 구조는 원형이고, 상기 단차 프로파일의 단차는 환형인 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 위상 구조는 상기 대물계의 렌즈의 일면에 형성된 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 위상 구조는 상기 방사원과 상기 대물계 사이에 설치된 광학 판 상에 형성된 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
  11. 제 10항에 있어서,
    상기 광학 판은 1/4 파장판 또는 빔 스플리터를 구비한 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
  12. 서로 다른 제 1 파장 λ1, 제 2 파장 λ2 및 제 3 파장 λ3를 각각 갖는 방사빔을 사용하여 제 1, 제 2 및 제 3 형태의 광 기록매체를 주사하는 광학장치에 사용되는 렌즈로서,
    빔의 경로에 배치되고, 서로 다른 높이의 복수의 위상부재를 포함하며, 빔에 광 경로의 비주기적 단차 프로파일을 형성하는 위상 구조를 구비한 렌즈에 있어서,
    상기 단차 프로파일은, 상기 제 1 파장 λ1에서의 평탄한 파면, 상기 제 2 파장 λ2에서의 구면수차 파면, 및 상기 제 3 파장 λ3에서의 평탄 또는 구면수차 파면과 근접하고,
    상기 빔의 위상 변화에 대응하는 상기 제 1 파장 λ1에서의 상기 광 경로 사이의 길이의 차이는 2π의 배수와 동일하고,
    상기 제 2 파장 λ2에서의 위상 부재의 다른 높이에 대한 서로 다른 위상의 획득가능한 수는 상기 제 3 파장 λ3에서의 위상 부재의 서로 다른 높이에 대한 서로 다른 위상 단차의 획득 가능한 수와 다르고,
    2 및 3과 동일한 i에 대해 파장 λi에서의 서로 다른 위상 단차의 획득가능한 수 Bk는 부등식
    Figure 112008058947218-pct00036
    에 의해 결정되며,
    이때, Ak는 정수이고, k는 상기 부등식과
    Figure 112008058947218-pct00037
    를 만족하는 최소의 양의 정수이고, {b0, b1, …, bk}는 k번째 항에서 잘라내어진 연분수이며, h1, hi는 각각 파장 λ1 및 λi에서 광 경로에 2π 위상 변화를 도입하는 광학부재의 높이이고,
    상기 위상 구조는 λ1에서 다음 식을 만족하는 가장 낮은 위상 단차 Φmin과 가장 높은 위상 단차 Φmax 사이의 차이 값을 나타내며,
    Figure 112008058947218-pct00038
    이때, Bk는 2 및 3과 동일한 i에 대해 파장 λi 중 한 개에서 서로 다른 위상 단차의 최저의 획득가능한 수인 것을 특징으로 하는 렌즈.
  13. 제 1항에 있어서,
    상기 위상 구조는 청구항 제1항에 따른 제1위상 구조와 상기 제1위상 구조상에 배치된 청구항 제1항에 따른 제 2 위상 구조를 포함하고,
    상기 제 1위상 구조의 단차 프로파일은 상기 제 1 파장 λ1에서의 평탄 파면, 상기 제 2 파장 λ2에서의 구면수차 파면, 상기 제 3 파장 λ3에서의 평탄 파면에 근접하고,
    상기 제 2 위상 구조의 단차 프로파일은 상기 제 1 파장 λ1에서의 평탄 파면, 상기 제 2 파장 λ2에서의 평탄 파면, 상기 제 3 파장 λ3에서의 구면수차 파면에 근접하는 것을 특징으로 하는 광학주사장치.
  14. 제 12항에 있어서,
    상기 위상 구조는 청구항 제12항에 따른 제1위상 구조와 상기 제1위상 구조상에 배치된 청구항 제12항에 따른 제 2 위상 구조를 포함하고,
    상기 제 1위상 구조의 단차 프로파일은 상기 제 1 파장 λ1에서의 평탄 파면, 상기 제 2 파장 λ2에서의 구면수차 파면, 상기 제 3 파장 λ3에서의 평탄 파면에 근접하고,
    상기 제 2 위상 구조의 단차 프로파일은 상기 제 1 파장 λ1에서의 평탄 파면, 상기 제 2 파장 λ2에서의 평탄 파면, 상기 제 3 파장 λ3에서의 구면수차 파면에 근접하는 것을 특징으로 하는 렌즈.
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