KR100801252B1 - 패턴형성방법 및 패턴형성장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 미세 패턴을 저비용으로 형성할 수 있는 패턴형성방법 및 패턴형성장치이다. 표면에 인쇄패턴이 형성되고, 적어도 인쇄패턴이 형성된 표면을 실리콘처리한 부재와, 이 부재의 인쇄패턴을 형성한 표면의 일면에 수지를 공급하는 수지공급수단과, 부재에 공급된 수지를 피인쇄체에 전사하기 위하여 이 피인쇄체를 지지하는 지지 수단을 가진다. 실리콘처리란, 부재의 표면에 실리콘 고무, 실리콘수지 또는 실리콘 시트를 배치하는 것으로, 부재의 형상은 예를 들면 원주형상이다.

Description

패턴형성방법 및 패턴형성장치{PATTERN FORMING METHOD AND PATTERN FORMING DEVICE}
본 발명은 인쇄방법 및 인쇄장치에 관한 것으로, 특히 미세 패턴을 최소 공정수로 형성하는 패턴형성방법 및 패턴형성장치에 관한 것이다.
종래, 평판 및 볼록판 옵셋 인쇄기의 기본구성으로서, 블랭킷 통, 오목판 또는 볼록판 및 잉크공급수단으로 구성되는 인쇄장치가 제안되어 있다. 또 그것을 사용한 패턴형성방법도 제안되어 있다.
또한 일본국 특개평11-58921호 공보에 나타내는 바와 같이 발잉크성을 가지는 블랭킷 통에 형성된 잉크 베타면으로부터 볼록판을 사용하여 불필요한 부분을 제거하고 패턴을 형성하는 방법 및 그것을 위한 장치가 제안되어 있다.
이들 종래기술은 모두 볼록 또는 오목의 인쇄판을 거쳐 블랭킷 통에 잉크 패턴형성하는 방법으로, 피인쇄체에 인쇄되기까지 다수회에 걸쳐 잉크를 전사하지 않으면 안된다. 따라서 피인쇄체에 인쇄되기까지 잉크의 패턴형상 또는 표면형상을 유지하는 것이 곤란하다. 그 때문에 예를 들면 원형상의 볼록부 또는 오목부를 세밀 충전 배치한 바와 같은 미세한 형상이나 미소한 선폭 ·피치의 선형상 패턴을 형성하는 것이 가장 곤란하다.
또, 장치의 구성이 복잡할 뿐만 아니라, 공정수가 많기 때문에 고비용이었다.
또한 이 종래기술에서는 확산 반사판에 사용되는 바와 같은 원형상의 볼록부 또는 오목부의 경사각 분포가 비대칭인 패턴 등을 형성할 수 없다는 과제도 있었다.
본 발명의 목적은 미세 패턴을 형성 가능한 패턴형성방법 및 그 제조장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 다른 목적은, 미세 패턴의 형성을 행함과 동시에, 그 형상제어가 가능한 패턴형성방법 및 그 제조장치를 제공하는 것에 있다.
본 발명의 일 실시형태에 관한 패턴형성방법에서는 표면에 인쇄패턴이 형성되고, 적어도 인쇄패턴이 형성된 표면을 실리콘처리한 부재 위의 일면에 수지를 형성(배치)하고, 이 부재의 위에 형성한 수지를, 피인쇄체상에 전사한다.
또, 이 실리콘처리란, 부재의 표면에 실리콘을 코팅, 또는 부재의 표면에 실리콘 고무, 실리콘 수지 또는 실리콘 시트를 배치하는 것이다.
또, 부재에 대한 수지형성은, 수지의 두께가 거의 균일하게 되도록 행하여진다.
본 발명의 다른 실시형태에 관한 패턴형성장치는, 표면에 인쇄패턴이 형성되고, 적어도 인쇄패턴이 형성된 표면을 실리콘처리한 부재와, 이 부재의 인쇄패턴을 형성한 표면의 일면에 수지를 공급하는 수지공급수단과, 이 부재에 공급된 수지를 피인쇄체에 전사하기 위하여 피인쇄체를 지지하는 지지수단을 가진다.
또, 실리콘처리란, 부재의 표면에 실리콘을 코팅, 또는 부재의 표면에 실리콘 고무, 실리콘 수지 또는 실리콘 시트를 배치하는 것이다.
또, 이 부재는 원주형상이어도 좋고, 평판형상이어도 좋다.
또 수지공급수단은, 부재의 표면의 일면에 거의 균일한 두께가 되도록 수지를 공급한다.
또한 수지공급수단은, 수지공급구로부터 부재에 수지를 공급한다. 이 수지공급구에는 실리콘처리가 실시되어 있다.
수지공급수단으로서는, 다이 코터, 와이어 바코터, 블레이드 코터 또는 키스 코터 등을 고려할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시형태에 관한 패턴형성장치는, 인쇄판 기능과 판 분리기능을 가지는 블랭킷 통와, 이 블랭킷 통에 잉크 베타를 형성 ·공급하는 수단과, 피인쇄체를 지지하는 지지수단을 가진다.
또, 이 블랭킷 통은, 표면에 실리콘, 실리콘 고무, 실리콘 수지 또는 실리콘 시트를 구비한다.
또, 이 블랭킷 통의 표면에 장착된 실리콘 고무, 실리콘 수지 또는 실리콘 시트는 인쇄패턴을 가진다.
본 발명의 패턴형성방법 및 패턴형성장치는, 감광성 수지패턴이나 착색 잉크 패턴 인쇄를 비롯하여 유기일렉트로·루미네센트 디스플레이용 발광층이나 박막 트랜지스터용 유기반도체 등의 미세한 패턴형성이나 반사형 액정표시장치에 사용되는 확산 반사판의 요철패턴과 같이 단면형상제어를 필요로 하는 것 등, 어느 패턴형성에도 유효하다.
또한 본 발명의 패턴형성방법으로 확산 반사판용 요철 수지층을 형성하는 경우 등은 블랭킷 표면에 형성한 수지 도포면을 모두 피인쇄체에 전사하기(이하, 전면 전사법이라 함) 때문에 불필요한 수지의 잔류가 발생하지 않는다. 따라서 잔류수지를 제거하기 위한 기구가 불필요하게 되어 장치의 소형화, 저가격화가 도모되는 효과도 있다.
한편, 본 발명의 패턴형성방법으로 투명전극을 패터닝하기 위한 감광성 수지를 인쇄하는 경우는, 블랭킷상에 형성된 요철패턴의 볼록부상의 감광성 수지만을 피인쇄체에 전사하는 소위, 부분전사(이하, 부분전사법이라 함)이기 때문에 정밀도가 높은 패턴형성을 행하기 위하여 오목부의 깊이를 볼록부상에 형성되는 감광성 수지층의 두께보다도 크게 하면 보다 적합하다.
또, 본 발명의 부분전사 패턴형성방법에 있어서는, 블랭킷상에 수지 도포면을 직접 형성하지 않고, 실리콘처리를 실시한 고분자 필름상에 수지 도포면을 형성하고, 그곳으로부터 요철패턴을 구비한 실리콘 블랭킷의 볼록부에만 수지 도포면을 형성하여 피인쇄체에 전사한다. 따라서 상기한 확산 반사판의 형성과 마찬가지로 불필요한 잔류 수지층이 발생하지 않기 때문에, 장치의 소형화, 저가격화가 도모되는 효과가 있다.
또한 블랭킷 통을 가지고, 패터닝된 수지 또는 잉크를 일단 블랭킷에 옮겨 패턴인쇄를 행하는 인쇄장치에 있어서는, 블랭킷에 인쇄판 기능과 수지 또는 잉크 등을 벗겨내기 쉽게 하기 위한 판분리 기능을 구비한다.
또, 본 발명의 전면 전사법에서는 블랭킷상에 수지 또는 잉크 등의 도포면을 직접 형성함으로써 공정수의 삭감 및 장치의 간략화가 도모되는 효과가 있다.
또한 본 발명의 부분 전사법에서는 블랭킷상에 수지 또는 잉크 등을 직접 형성하지 않고, 판분리 기능을 가지는 부재상에 수지 또는 잉크 도포면을 형성하고, 그 도포면으로부터 블랭킷 표면에 형성된 볼록 패턴부상에 수지 또는 잉크 도포면을 이행시켜 피인쇄체상에 전사한다. 따라서 블랭킷에 불필요한 수지 또는 잉크 등을 남기는 일이 없어 패턴 재현성이 높다.
도 1은 본 발명의 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷면에 수지나 잉크를 직접 형성하는 장치구성을 나타내는 실시예 1의 모식 단면도,
도 2는 본 발명의 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷면에 수지나 잉크를 직접 형성하는 장치구성을 나타내는 실시예 2의 모식 단면도,
도 3은 본 발명의 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷면에 수지나 잉크를 직접 형성하는 장치구성을 나타내는 실시예 3의 모식 단면도,
도 4는 본 발명의 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷면에 수지나 잉크를 간접 형성하는 장치구성을 나타내는 실시예 4의 모식 단면도,
도 5는 본 발명의 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷면에 수지나 잉크를 간접 형성하는 장치구성을 나타내는 실시예 5의 모식 단면도,
도 6은 본 발명의 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷면에 수지나 잉크를 간접 형성하는 장치구성을 나타내는 실시예 6의 모식 단면도,
도 7은 본 발명의 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷면에 수지나 잉크를 직접 형성하는 연속 필름 대응장치의 구성을 나타내는 실시예 7의 모식 단면도,
도 8은 본 발명의 패턴형성법에서 사용한 반사표시 또는 반사 및 투과표시 겸용의 확산 반사판용 블랭킷에 형성되는 요철패턴의 일 실시예를 나타내는 도,
도 9는 본 발명의 패턴형성법에서 사용한 반사표시 또는 반사 및 투과표시 겸용의 확산 반사판용 블랭킷형성법의 실시예를 나타내는 도,
도 10은 본 발명의 패턴형성법에서 사용한 반사 및 투과표시 겸용의 확산 반사판용 블랭킷에 형성되는 요철패턴의 다른 실시예를 나타내는 도,
도 11은 본 발명의 패턴형성법에서 사용한 반사 및 투과표시 겸용의 확산 반사판의 블랭킷형성법의 일 실시예를 나타내는 도,
도 12는 본 발명의 패턴형성법을 사용한 투명전극형성법의 일 실시예를 나타내는 단면도,
도 13은 본 발명의 패턴형성법을 사용한 반사형 액정표시장치용 전극기판의 일 실시예를 나타내는 단면도,
도 14는 본 발명의 패턴형성법을 사용한 반사형 액정표시소자의 일 실시예를 나타내는 단면도,
도 15는 본 발명의 패턴형성법을 사용한 반사형 액정표시장치의 일 실시예를 나타내는 단면도,
도 16은 본 발명의 패턴형성법을 사용한 반사형 액정표시장치의 광학특성을 평가한 광학계의 일 실시예를 나타내는 도,
도 17은 본 발명의 패턴형성법을 사용한 반사형 액정표시장치의 광학특성의 일례를 나타내는 도,
도 18은 본 발명의 패턴형성법을 사용한 프론트 라이트용 도광체형성법의 일 실시예를 나타내는 단면도,
도 19는 본 발명의 패턴형성법을 사용한 프린트 배선판형성법의 일 실시예를 나타내는 단면도이다.
본 발명의 특징의 하나는, 피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료(예를 들면, 수지)를 인쇄할 때에 사용하는 부재(예를 들면 평판, 또는 원주형상의 부재 등)에 인쇄판 기능과 판분리 기능의 양쪽의 기능을 가지게 한 것에 있다.
표면에 소정의 패턴을 형성한 부재의 위에 인쇄대상이 되는 수지를 일면에 균일한 두께가 되도록 공급하고, 이 패턴을 형성한 부재에 의해 형성된 패턴을 실시한 수지를 예를 들면 유리기판과 같은 피인쇄체에 인쇄(혹은 전사)함으로써 피인쇄체의 위에 패턴을 형성한다는 것이 인쇄판 기능이다. 또한 이 패턴은 인쇄를 하고자 할 때에 자유롭게 결정할 수 있는 것으로, 예를 들면 고분자 공중합체 등으로 발현되는 상 분리패턴으로 이루어지는 끈형상의 랜덤한 요철패턴(요철피치 : 3 내지 12㎛, 요철단차 : 0.1 내지 0.8㎛)을 소정의 패턴으로 하는 것도 물론 가능하다. 구체적인 패턴예로서는 반사형 액정표시장치에 사용되는 내장 확산 반사판의 요철 수지패턴을 들 수 있다. 이 패턴은 고분자 공중합체 등으로 발현되는 상 분리패턴과 같은 끈형상의 연속적인 요철이 길이방향에 대하여 직각방향의 단면형상의 경사각 분포가 거의 좌우대칭이고, 또한 각 방향에 있어서 상기 끈형상 요철의 길이방향에 대하여 직각인 방향의 길이성분의 총합이 거의 같아지도록 배치한 미소한 요철면을 구비한 수지패턴을 형성하는 방법으로서 가장 적합하고, 그 장치구성이 간단할 뿐만 아니라 피인쇄체에 대한 전사만으로 패턴형성할 수 있기 때문에 형상 재현성이 높다는 특징도 있다.
이와 같은 미세한 선형상의 패턴뿐만 아니라, 단면형상이 반원, 반원통형상 또는 삼각 등 단면형상을 제어한 미세하고 미소한 요철면을 구비한 형상(패턴)으로 하는 것도 물론 가능하다.
또, 패턴을 형성한 수지를 피인쇄체에 인쇄할 때에 벗겨지기 쉽게 함으로써 양호하게 피인쇄체의 위에 수지의 패턴을 인쇄한다는 것이 판분리 기능이다. 이 벗겨지기 쉽게 하기 위한 구체적인 수단으로서는 피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료를 인쇄할 때에 사용하는 부재의 표면에 실리콘을 배치한다. 여기서의 배치란, 표면을 실리콘 코팅하거나, 또 표면에 실리콘 고무 시트 또는 실리콘 수지 시트를 장착한다는 것을 생각할 수 있다. 물론 평판 또는 원주형상 등의 부재를 준비하여 예를 들면 요철상의 패턴을 형성한 실리콘을 조합시켜 피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료를 인쇄할 때에 사용하는 부재로 하여도 좋다.
피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료를 인쇄할 때에 사용하는 부재에 인쇄판 기능과 판분리 기능을 가지게 함으로써 수지 또는 잉크 등의 도포면을 형성함 과 동시에 수지 또는 잉크 등에 블랭킷상의 패턴을 전사할 수 있기 때문에, 피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료를 인쇄할 때에 사용하는 부재상의 수지 또는 잉크 등의 도포면을 전사하는 공정만의 최소 공정수로, 또한 피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료를 인쇄할 때에 사용하는 부재로부터 수지 또는 잉크 등이 떨어질 때에 실처럼 늘어지는 현상을 발생시키지 않기 때문에, 피인쇄체에 전사되는 요철패턴의 표면이 매끄럽게 되어 양호한 미세 패턴이 형성 가능하다. 예를 들면 이 패턴형성방법으로 반사판의 요철형상을 형성하는 경우에는 뛰어난 반사특성을 나타내는 확산 반사판용 요철 수지층을 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 미소하고 또한 저단차의 요철을 가지는 고성능의 내장 확산 반사판을 제공할 수 있다.
본 발명의 패턴형성방법을 반사형 액정표시장치에 내장하는 확산 반사판의 패턴인 요철형상의 형상을 인쇄대상이 되는 재료로서 수지를 사용하여 형성하는 경우를 예로 설명한다. 그 구체적인 패턴형성법은 다음과 같다.
즉, 본 발명의 특징인 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 부재(예를 들면 원주형상의 형상을 한 블랭킷)의 표면에, 피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료 인 수지를 일면에 균일한 두께가 되도록 형성하고, 예를 들면 유리기판이나 필름기판과 같은 피인쇄체상에 패턴 형성한 수지를 인쇄(환언하면, 전사)한다. 또한 블랭킷 표면에 형성된 인쇄패턴은 예를 들면 끈형상의 랜덤한 요철패턴이며, 요철 피치가 3 내지 12㎛이고, 요철 단차가 0.1 내지 0.8㎛ 이다.
또, 피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료를 인쇄할 때에 사용하는 부재에, 수지를 공급할 때에도 이 수지공급수단으로부터 공급되는 수지를 수지공급수단 으로부터 벗겨지기 쉽게 하는 것도 중요하다.
구체적으로는 이 수지공급수단의 수지공급구인 헤드부에 실리콘 고무, 실리콘 수지 또는 실리콘 코팅처리를 실시하여 수지의 헤드 벗겨냄을 좋게 한다. 수지공급수단으로서는, 다이 코터나, 와이어 바 코터, 키스 코터 등을 생각할 수 있고, 다이 코터의 경우에는 수지공급구인 헤드부에 실리콘, 실리콘 고무 또는 실리콘 수지 코팅처리를 실시한 구성, 와이어 바 코터의 경우에는, 와이어 바 표면에 실리콘 고무, 실리콘 수지 코팅 또는 실리콘 코팅처리를 실시하여 수지의 와이어 바 벗겨냄을 좋게 한 구성, 키스 코터의 경우에는, 표면을 실리콘 고무, 실리콘 수지 코팅 또는 실리콘 코팅처리를 실시한 그라비아롤을 거쳐 벨트형상 실리콘 시트에 수지 도포면을 형성한 구성이다.
피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료를 인쇄할 때에 사용하는 부재에 판분리 기능 또는 수지공급 유닛에 판분리 기능을 가지게 함으로써 수지 또는 잉크 등의 재료에 실처럼 늘어지는 현상을 발생시키지 않고 피인쇄체에 전사할 수 있다. 따라서 단지, 표면 평활성이 뛰어난 컬러 필터를 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 포토리소그래픽법으로 형성되는 확산 반사판용 요철 수지층과 같이 형상제어가 필요한 패턴도 저비용으로 형성할 수 있다.
수지공급 유닛의 수지의 공급구가 되는 다이 코터, 와이어 바, 블레이드 및 연속주행 기재에 이와 같은 판분리 기능을 가지게 함으로써 실처럼 늘어지는 현상을 발생시키지 않고 블랭킷 표면에 수지 또는 잉크 등의 도포면을 형성할 수 있기 때문에 박막으로부터 두꺼운 막까지 미세 패턴을 형성할 수 있다.
피인쇄체의 위에 인쇄되어 원하는 패턴상에 스패터법 등에 의해 반사층(알루미늄, 알루미늄합금, 은, 은합금 등의 박막, 막 두께 : 100 내지 300nm)을 형성함으로써 내장 확산 반사판이 완성된다.
또한 본 실시예에서 사용한 수지는 아크릴계, 멜라민에폭시계, 폴리에스테르멜라민계이나, 용도에 따라 재료는 선택되는 것으로 본 실시예에 한정되는 것이 아니다.
또, 본 발명의 패턴형성방법은 사용하는 재료에 대하여 인쇄적성을 필요로 하지 않기 때문에, 모든 재료가 사용대상이 될 수 있다.
또한, 이와 같은 이유로부터 본 발명은 포토리소그래픽법에서 사용되는 감광성 수지도 대상이 되어, 현재 미세 패턴형성방법의 주류인 포토리소그래픽법의 대용법이 될 수 있는 특징도 가진다.
본 발명의 인쇄판 기능을 구비한 피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료를 인쇄할 때에 사용하는 부재를 사용한 패턴형성방법에 의하면, 이 부재의 패턴상에 수지 또는 잉크 등의 도포면을 형성하는 공정에 있어서, 동시에 수지 또는 잉크 등에 패턴을 형성할 수 있기 때문에, 패턴 형성된 수지 또는 잉크 등을 피인쇄체에 인쇄하는 공정만(수지 또는 잉크 등의 전사횟수가 1회)으로, 또한 피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료를 인쇄할 때에 사용하는 부재에는 수지 또는 잉크 등이 벗겨지기 쉽게 하기 위한 판분리 기능(판분리 기능)를 구비하고 있기 때문에 미세한 패턴이어도 형상 재현성이 좋고, 포토리소그래픽법으로 형성된 패턴과 비교하여도 손색이 없는 패턴을 얻을 수 있다.
또, 본 발명의 패턴형성방법에 의하면, 피인쇄체상에 수지패턴을 1 공정으로 전사할 수 있기 때문에, 액정 표시장치용 투명전극, 금속 반사막이나 프린트 배선판, 플렉시블 ·프린트 배선판(이하, FPC라 칭함)용의 구리박 등, 현재 포토리소그래픽법으로 패터닝되어 있는 것을 간단하고, 고정밀도로 또한 저비용으로 패턴형성을 할 수 있다.
또한 본 발명에 의하면, 실리콘 고무 시트, 실리콘 시트, 표면에 실리콘 또는 실리콘 수지를 코팅한 스테인레스 등의 요철패턴이 형성된 금속 시트 또는 요철패턴이 형성된 실리콘 시트 등을 블랭킷에 둘러 감는 것만으로 인쇄판 기능과 판분리 기능을 부여할 수 있기 때문에, 포토리소그래픽법에서는 포토마스크 비용이 비용상승으로 이어지기 때문에 곤란하게 되어 있는 소량, 다품종의 패턴형성에도 대응할 수 있다.
다시 또, 본 발명에 의하면, 피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료를 인쇄할 때에 사용하는 부재의 표면에 수지 또는 잉크 등의 도포면을 형성하는 공정에서, 동시에 피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료를 인쇄할 때에 사용하는 부재상에 공급된 수지에 패턴을 형성할 수 있기 때문에, 피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료를 인쇄할 때에 사용하는 부재상의 수지 또는 잉크 등을 피인쇄체에 전사하는 것만으로 패턴형성이 완료된다. 따라서 간이한 구조, 또한 공간절약으로 저가격의 패턴형성장치를 제공할 수 있다.
또, 본 발명의 패턴형성방법에 의하면, 사용하는 수지 또는 잉크 등에 대하여 인쇄적성을 필요로 하지 않기 때문에, 사용재료가 한정되지 않는다.
또한 본 발명에 의하면, 판분리 기능을 가지는 피인쇄체에 대하여 인쇄대상이 되는 재료를 인쇄할 때에 사용하는 부재를 사용하기 때문에 수지나 잉크 등의 판 벗겨냄이 좋기 때문에, 지금까지 피인쇄체로서 사용할 수 없었던 수지필름이나 수지시트에 대한 수지 또는 잉크 등의 인쇄가 가능하게 된다.
다음에, 본 발명의 실시에 적합한 확산 반사판용 요철 수지층의 형성방법 및 장치에 대하여 실시예에 의해 구체적으로 설명한다. 본 발명에서는 휴대전화 등에 탑재되어 있는 반사형 또는 반투과형 컬러 액정 표시장치용 내장 확산 반사판의 형성방법 및 그 장치를 주로 설명한다.
단, 본 발명은 인쇄법을 사용한 신규의 패턴형성방법에 관한 것으로, 본 발명의 응용은 다방면에 걸쳐, 특히 액정 관련의 패턴형성에 관한 용도에 한정되는 것은 아니다.
본 발명에 의한 인쇄판 기능 및 판분리 기능을 구비한 패턴형성법은, 사용하는 수지 또는 잉크 등의 도포면을 블랭킷에 형성함과 동시에, 블랭킷 표면에 형성된 패턴을 재료 도포면에 전사하기 때문에, 블랭킷 표면에 형성된 수지 또는 잉크 등의 도포면을 피인쇄체에 전사하는 것만으로 패턴형성을 행할 수 있는 것으로, 수지 또는 잉크 등의 전사횟수가 1회로서 짧은 공정으로 작성 가능하다. 또한 실처럼 늘어지는 현상을 발생시키지 않고 피인쇄체에 전사되기 때문에 형상 재현성이 우수하다.
또, 본 발명에 의하면 단면형상의 제어가 필요한 패턴형성을 용이하게 행할 수 있을 뿐만 아니라 유리기판으로부터 고분자 시트까지 피인쇄 재료를 고르지 않 고 패턴형성을 할 수 있다.
또한 본 발명에 의한 인쇄기는 가대, 수지 또는 잉크 등의 도포면형성 유닛,판기능을 구비한 블랭킷으로 이루어지는 패턴형성 유닛 및 인쇄유닛으로 구성하였기 때문에, 장치가 소형이 될 뿐만 아니라, 포토리소그래피법과 동등한 품질이 얻어지는 저가격의 패턴형성장치를 제공할 수 있다.
(실시예1)
본 발명의 패턴형성법을 사용한 확산 반사판용 요철 수지층 형성장치의 일 실시예를 도 1에 나타낸다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이 본 발명의 패턴형성장치는 크게 구별하면 고정 프레임(10), 랜덤하고 다수의 미소한 요철패턴을 가지는 실리콘 블랭킷(22)을 장착한 블랭킷 통(21)으로 이루어지는 수지패턴형성 유닛 (20), 표면을 실리콘 수지(33) 또는 실리콘 고무(33)로 도포한 헤드(31a)와 수지 저장수단(32)을 가지는 다이 코터로 이루어지는 수지공급 유닛(30), 인쇄정반(41)과 피인쇄체인 유리기판(42)으로 이루어지는 인쇄유닛(40)으로 구성하였다.
본 발명의 장치구성을 상세하게 설명하면 고정 프레임(10)에 수지공급 유닛(30) 및 인쇄유닛(40)을 설치하고, 다시 랜덤한 미소 요철이 형성된 실리콘 블랭킷(22)을 구비한 회전 및 상하이동의 기구를 가지는 블랭킷 통(21)을 구비한 수지패턴형성 유닛(20)이 인쇄유닛(40)상을 이동하기 위한 가동 프레임(24)을 고정 프레임(10)상에 설치한 구성이다.
본 장치의 동작은 먼저,
1) 수지공급 유닛(30)상에서 블랭킷 통(21)을 정지시키고, 블랭킷 통(21) 표 면에 요철을 구비한 실리콘 블랭킷(22)과 다이 코터 헤드 (31a) 사이의 거리를 다이 코터 헤드(31a)를 이동시켜 실리콘 블랭킷(21) 표면에 형성하는 수지(32) 두께에 따른 간극을 유지하고, 다이 코터 헤드(31a)로부터 소정 막 두께의 수지(32)를 보냄과 동시에 블랭킷 통(21)을 회전시켜 요철을 가지는 블랭킷(22) 표면에 수지 (32) 도포면을 형성하고, 다음에
2) 블랭킷 통(21)을 인쇄정반(41)과 피인쇄체인 유리기판(42)으로 이루어지는 인쇄유닛(40)상으로 이동시켜 피인쇄체인 유리기판(42)에 접촉시키고 전동시켜 블랭킷(22)상의 요철패턴이 형성된 수지(23)를 유리기판(42)에 전사하는 최소 공정수(수지패턴을 1 공정으로 피인쇄체에 전사)로 확산 반사판용 요철층 형성이 완료된다.
본 실시예에서 사용한 수지(32)는 감광성을 가지지 않은 투명한 아크릴계, 에폭시계 수지와 이들 수지에 착색 안료를 분산한 불투명한 것의 2종류를 사용하였다. 본 실시예에서 하나의 화소 내에 반사부와 투과부의 양쪽을 구비한 부분 투과형에 대응하는 투명한 수지뿐만 아니라 아크릴계, 에폭시계 수지에 착색 안료를 분산한 수지를 사용하여 요철 수지층을 형성한 이유는, 이 착색시킨 요철 수지층상에 형성되는 반사층을 패터닝함으로써 착색시킨 요철 수지층이 차광층의 기능을 하는 구조에도 적응할 수 있는 기능을 부여한 것으로, 이 경우에 분산시키는 안료는 검정색 안료가 바람직하다.
또, 본 실시예에서는 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)으로서 랜덤하고 다수의 미소한 요철을 가지는 실리콘 블랭킷(22)을 사용하였으나, 랜덤하 고 다수의 미소한 요철을 가지는 실리콘 시트를 블랭킷 통(21)에 장착한 것을 사용하여도 동등한 결과가 얻어졌다.
또한 랜덤한 요철패턴으로서는, 고분자 블록 공중합 등으로 발현되는 상 분리패턴을 사용하였다. 본 실시예에서 사용한 상 분리 요철패턴은 요철의 피치(산 - 산 또는 골-골의 피치)가 1 내지 12 미크론, 요철의 단차가 0.1 내지 0.8 미크론, 요철 막 두께가 0.5 내지 3.0 미크론이고, 보다 바람직하게는 요철의 피치(산-산 또는 골-골의 피치)가 3 내지 8 미크론, 요철의 단차가 0.2 내지 0.6 미크론, 요철 막 두께가 1.0 내지 2.0 미크론이다.
단, 본 실시예에서는 끈형상의 상 분리 요철패턴을 사용하였으나, 다수가 원형이고 미소한 요철이 랜덤하게 배치된 패턴을 구비한 실리콘 블랭킷(22) 또는 실리콘 시트를 블랭킷 통(21)에 장착한 경우에도 동등한 결과가 얻어졌다.
본 실시예의 응용예로서, 보다 정밀도가 높은 수지 도포면을 형성하기 위하여 다이 코터로 이루어지는 수지 도포 유닛(30)에 있어서, 다이 코터 헤드(31)의 토출구 주변을 실리콘 수지(33), 실리콘 고무(33) 또는 실리콘(33) 등으로 표면처리한 것도 검토하였다. 그 결과, 다이 코터 헤드(31)로부터의 수지(32)의 벗겨냄이 향상되어 실처럼 늘어지는 현상의 발생을 방지할 수 있어, 수지(32)의 막 두께 불균일의 발생을 방지할 수 있음을 확인할 수 있었다.
또한, 본 실시예를 응용하면 블랙 매트릭스(차광층)와 컬러필터(빨강, 초록및 파랑)로 요철층을 형성하고, 그 위에 반투과 반사층 또는 부분 투과 반사층과 블랙 매트릭스와 컬러필터(빨강, 초록및 파랑)를 적층시킴으로써, 투과와 반사표시 에 있어서 거의 동일한 색을 표시할 수 있는 구조의 반사 ·투과 겸용의 컬러 액정 표시장치도 가능하게 된다.
본 발명의 패턴형성법에 의하여 확산 반사판용 요철층을 형성하면, 실질적으로는 블랭킷상에 형성된 수지패턴을 피인쇄체인 유리기판에 인쇄하는 1 공정만으로 유리기판상에 수지에 의한 요철패턴을 형성할 수 있기 때문에, 저비용으로 요철형상이 제어된 고성능 내장 확산 반사판을 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 저가격으로 밝은 반사형 또는 반사 ·투과 겸용형의 액정표시장치를 제공할 수 있다.
또한 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 지금까지 인쇄가 곤란하게 되어 있던 고분자필름의 피인쇄체의 경우에도 사용하는 수지에 대하여 인쇄적성을 필요로 하지 않기 때문에 정밀도가 높은 패턴을 형성할 수 있다.
또, 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 롤형상의 연속 필름을 사용할 수 있는 패턴형성장치를 용이하게 만들 수 있기 때문에, 현재 주류인 매엽법으로 유리기판에 인쇄하는 방법에 비하면 대폭적인 생산성 향상을 기대할 수 있다.
(실시예 2)
본 발명의 패턴형성법을 사용한 확산 반사판용 요철 수지층 형성장치의 다른 실시예를 도 2에 나타낸다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이, 본 실시예의 기본구성은 고정 프레임(10), 패턴형성 유닛(20), 수지공급 유닛(30), 인쇄유닛(40)으로이루어지고, 상기한 실시예 1과 기본적으로는 장치구성 및 전사원리는 동일하나, 실시예 1과 다른 점은 수지공급 유닛(30)으로서 와이어 바 코터를 사용한 점이다.
본 실시예에 있어서의 패턴형성장치는, 고정 프레임(10)에 와이어 바(31b)와 수지공급수단(32)으로 이루어지는 와이어 바 코터에 의한 수지공급 유닛(30)과 인쇄정반(41)과 피인쇄체인 유리기판(42)으로 이루어지는 인쇄유닛(40)을 구비하고, 고정 프레임(10)상에는 와이어 바 코터로 이루어지는 수지공급 유닛(30) 및 인쇄유닛(40)상을 이동하기 위한 가동 프레임(24)에 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)을 장착한 블랭킷 통(21)을 구비하였다.
본 장치의 동작은, 먼저
1) 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)을 장착한 블랭킷 통(21)을 와이어 바 코터로 이루어지는 수지공급 유닛(30)상에서 정지,
2) 블랭킷 통(21) 표면의 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)에 와이어 바(31)를 접촉시켜 함께 회전시키고, 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22) 표면에 소정의 두께의 수지 도포면(23)을 형성,
3) 블랭킷 통(21)을 인쇄유닛(40)의 인쇄정반(41)상으로 이동시켜 피인쇄체 인 유리기판(42)에 접촉시키고 전동시켜 블랭킷(22)상의 요철패턴이 형성된 수지 (23)를 유리기판(42)에 전사하는, 실질적으로는 요철패턴이 형성된 수지(23)를 피인쇄체인 유리기판(42)에 전사하는 공정, 이 1 공정만으로 유리기판(42)상에 확산 반사판용 요철 수지층을 형성할 수 있다.
또, 본 실시예의 응용으로서, 와이어 바 코터로 이루어지는 수지공급 유닛(30)의 와이어 바(31)를 실리콘 수지, 실리콘 고무 또는 실리콘 등으로 표면처리한 것을 사용한 검토를 행하였다. 그 결과, 와이어 바(31) 표면으로부터의 수지벗겨냄을 향상시킬 수 있어, 막 두께 변동이 작은 수지 도포면을 블랭킷 표면에 형 성할 수 있음을 확인할 수 있었다.
본 실시예에서 사용한 수지는 감광성을 가지지 않은 투명한 아크릴계, 에폭시계 수지와 이들 수지에 착색안료를 분산한 불투명한 수지의 2종류를 사용하였다. 본 실시예에서 하나의 화소 내에 반사부와 투과부의 양쪽을 구비한 부분 투과형에 대응하는 투명한 아크릴계, 에폭시계 수지뿐만 아니라 그들 수지에 착색안료를 분산한 수지를 사용하여 요철 수지층을 형성한 이유는, 이 요철 수지층상에 형성되는 반사층을 패터닝하여 요철 수지층에 차광층의 기능을 시키는 구조에도 대응할 수 있게 하기 위함이다.
또, 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷으로서는, 랜덤한 요철패턴을 구비한 실리콘 시트 또는 실리콘 고무를 블랭킷 통에 장착한 것을 사용하였다.
또한 실리콘 블랭킷에 형성하는 랜덤한 요철패턴으로서는, 고분자 공중합체 등으로 발현되는 끈형상의 상 분리패턴을 사용하였다. 본 실시예에서 사용한 끈형상의 상 분리 요철패턴은, 요철의 피치(산 - 산 또는 골 - 골의 피치)가 1 내지 12 미크론, 요철의 단차가 0.1 내지 0.8 미크론, 요철 막 두께가 0.5 내지 3.0 미크론이며, 보다 바람직하게는 요철의 피치(산 - 산 또는 골 - 골의 피치)가 3 내지 8 미크론, 요철의 단차가 0.2 내지 0.6 미크론, 요철 막 두께가 1.0 내지 2.0 미크론이다.
단, 본 실시예에서는 끈형상의 상 분리 요철패턴을 사용하였으나, 다수가 원형이고 미소한 요철이 랜덤하게 배치된 패턴을 구비한 실리콘 블랭킷(22) 또는 실리콘 시트를 블랭킷 통(21)에 장착한 경우에도 동등한 결과가 얻어졌다.
또, 본 실시예의 응용예로서, 보다 정밀도가 높은 수지 도포면을 형성하기 위하여 와이어 바 코터로 이루어지는 수지공급 유닛(30)에 있어서, 와이어 바(31)의 표면을 실리콘 수지 또는 실리콘 고무 등으로 처리한 것을 사용한 검토도 행하였다. 그 결과, 와이어 바(31)로부터의 수지(32) 벗겨냄이 향상하여 실처럼 늘어지는 현상의 발생을 방지할 수 있고, 수지(23)의 막 두께 불균일의 발생을 방지할 수 있음을 확인할 수 있었다.
또한 본 실시예를 응용하면, 블랙 매트릭스(차광층)와 컬러필터(빨강, 초록및 파랑)로 요철층을 형성하고, 그 위에 반투과 반사층 또는 부분투과 반사층과 블랙 매트릭스와 컬러필터(빨강, 초록및 파랑)를 적층시킴으로써, 투과와 반사표시에 있어서 거의 동일한 색을 표시할 수 있는 구조의 반사 ·투과 겸용의 컬러 액정표시장치도 가능하게 된다.
본 발명의 패턴형성법에 의해 확산 반사판용 요철층을 형성하면, 실질적으로는 블랭킷상에 형성된 수지패턴을 피인쇄체인 유리기판에 인쇄하는 1 공정만으로 유리기판상에 수지에 의한 요철패턴을 형성할 수 있기 때문에, 저비용으로 요철형상이 제어된 고성능 내장 확산 반사판을 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 저가격으로 밝은 반사형 또는 반사 ·투과 겸용형의 액정표시장치를 제공할 수 있다.
또한 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 지금까지 인쇄가 곤란하게 되어 있던 고분자 필름의 피인쇄체의 경우에도 사용하는 수지에 대하여 인쇄적성을 필요로 하지 않기 때문에 정밀도가 높은 패턴을 형성할 수 있다.
또, 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 롤형상의 연속필름을 사용할 수 있는 패턴형성장치가 용이하게 만들어지기 때문에 현재 주류인 매엽법으로 유리기판에 인쇄하는 방법에 비하면 대폭적인 생산성 향상을 기대할 수 있다.
(실시예 3)
본 발명의 패턴형성법을 사용한 확산 반사판용 요철 수지층 형성장치의 다른 실시예를 도 3에 나타낸다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이 본 실시예의 기본구성은 고정 프레임(10), 패턴형성 ·전사유닛(20), 수지공급 유닛(30), 인쇄유닛 (40)으로 이루어지고, 상기한 실시예 1, 2와 동일한 전사원리 및 장치구성은 거의 동일하나, 실시예 1, 2와 다른 점은 수지공급 유닛(30)으로서 블레이드(31c)를 사용한 점이다.
본 실시예의 패턴형성장치는, 고정 프레임(10)에 수지 도포면 형성 정반 (34), 실리콘 시트(표면이 실리콘 처리된 금속판 또는 유리기판 등)(35a), 선단부를 실리콘 수지(33) 또는 실리콘 고무(33) 등으로 처리한 블레이드(31c), 수지저장수단(도시 생략)으로 이루어지는 수지공급 유닛(30)과 인쇄정반(41)과 피인쇄체인 유리기판(42)으로 이루어지는 인쇄유닛(40)을 장착하고, 다시 고정 프레임(10)상에는 수지 도포면 형성 정반(34) 및 인쇄유닛(40)상을 이동하기 위한 가동 프레임 (24)에 인쇄판 기능과 판분리 기능을 가지는 블랭킷(22)을 장착한 블랭킷 통(21)을 구비하였다.
본 실시예의 패턴형성장치의 동작은, 먼저
1) 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)을 장착한 블랭킷 통(21)을 수지 도포면 형성 정반(31)상에서 정지,
2) 블랭킷 통(21) 표면의 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)을 선단부를 실리콘 수지(33) 또는 실리콘 고무(33) 등으로 처리한 블레이드(31c)를 사용하여 수지 도포면(32)이 형성된 실리콘 시트면에 접촉시키면서 회전시켜, 인쇄판 기능과 판분리 기능을 가지는 블랭킷(22) 표면에 소정의 두께의 수지 도포면 (23)을 형성,
3) 블랭킷 통(21)을 인쇄정반(41) 위로 이동시켜 피인쇄체인 유리기판(42)에 접촉시키고 전동시켜 블랭킷(22)상의 요철패턴이 전사된 수지(23)를 유리기판(42)에 전사하는 최소 공정수로 확산 반사판용 요철 수지층 형성이 완료된다.
또, 블레이드(31c) 표면에 실리콘 수지(33) 또는 실리콘 고무(33) 등을 코팅함으로써 블레이드(31c)로부터의 수지 벗겨냄을 향상시킬 수 있기 때문에, 블랭킷 (22) 표면에의 수지 도포면의 막 두께를 균일하고, 또한 정밀도 좋게 형성할 수 있다.
본 실시예에서 사용한 수지(32)는 감광성을 가지지 않은 투명한 아크릴계, 에폭시계 수지와 이들 수지에 착색안료를 분산한 불투명한 것의 2종류를 사용하였다. 본 실시예에서 하나의 화소 내에 반사부와 투과부의 양쪽을 구비한 부분 투과형에 대응하는 투명한 수지뿐만 아니라 아크릴계, 에폭시계 수지에 착색안료를 분산한 수지를 사용하여 요철 수지층을 형성한 이유는, 이 착색시킨 요철 수지층상에 형성되는 반사층을 패터닝함으로써 착색시킨 요철 수지층이 차광층의 기능을 하는 구조에도 적응할 수 있는 기능을 부여한 것으로, 이 경우에 분산시키는 안료는 검정색 안료가 바람직하다.
또, 본 실시예에서는 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)으로서 랜덤하고 다수의 미소한 요철을 가지는 실리콘 블랭킷(22)을 사용하였으나, 랜덤하고 다수의 미소한 요철을 가지는 실리콘 시트를 블랭킷 통(21)에 장착한 것을 사용하여도 동등한 결과가 얻어졌다.
또한 랜덤한 요철패턴으로서는, 고분자 블록 공중합 등으로 발현되는 상 분리패턴을 사용하였다. 본 실시예에서 사용한 상 분리 요철패턴은, 요철의 피치(산 - 산 또는 골 - 골의 피치)가 1 내지 12 미크론, 요철의 단차가 0.1 내지 0.8 미크론, 요철 막 두께가 0.5 내지 3.0 미크론이고, 보다 바람직하게는 요철의 피치(산 - 산 또는 골 - 골의 피치)가 3 내지 8 미크론, 요철의 단차가 0.2 내지 0.6 미크론, 요철 막 두께가 1.0 내지 2.0 미크론이다.
단, 본 실시예에서는 끈형상의 상 분리 요철패턴을 사용하였으나, 다수가 원형이고 미소한 요철이 랜덤하게 배치된 패턴을 구비한 실리콘 블랭킷(22) 또는 실리콘 시트를 블랭킷 통(21)에 장착한 경우에도 동등한 결과가 얻어졌다.
본 실시예의 응용예로서, 보다 정밀도가 높은 수지 도포면을 형성하기 위하여 블레이드로 이루어지는 수지공급 유닛(30)에 있어서, 블레이드(31c)의 선단부 주변을 실리콘 수지(33) 또는 실리콘 고무(33) 등으로 표면처리한 것도 검토하였다. 그 결과, 블레이드(31c)로부터의 수지(32) 벗겨냄이 향상되어 실처럼 늘어지는 현상의 발생이 방지할 수 있어, 수지(32)의 막 두께 불균일의 발생을 방지할 수 있음을 확인할 수 있었다.
또한 본 실시예를 응용하면, 블랙 매트릭스(차광층)와 컬러필터(빨강, 초록 및 파랑)로 요철층을 형성하고, 그 위에 반투과 반사층 또는 부분투과 반사층과 블랙 매트릭스와 컬러필터(빨강, 초록 및 파랑)를 적층시킴으로써, 투과와 반사표시에 있어서 거의 동일한 색을 표시할 수 있는 구조의 반사 ·투과 겸용의 컬러 액정표시장치도 가능하게 된다.
본 발명의 패턴형성법에 의해 확산 반사판용 요철층을 형성하면, 실질적으로는 블랭킷상에 형성된 수지패턴을 피인쇄체인 유리기판에 인쇄하는 1 공정만으로 유리기판상에 수지에 의한 요철패턴을 형성할 수 있기 때문에, 저비용으로 요철형상이 제어된 고성능 내장 확산 반사판을 형성할 수 있을 뿐만 아니라 저가격으로 밝은 반사형 또는 반사 ·투과 겸용형의 액정표시장치를 제공할 수 있다.
또한 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 지금까지 인쇄가 곤란하게 되어 있던 고분자 필름의 피인쇄체의 경우에도 사용하는 수지에 대하여 인쇄적성을 필요로 하지 않기 때문에 정밀도가 높은 패턴을 형성할 수 있다.
또 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 롤형상의 연속 필름을 사용할 수 있는 패턴형성장치가 용이하게 만들어지기 때문에, 현재 주류인 매엽법으로 유리기판에 인쇄하는 방법에 비하면 대폭적인 생산성 향상을 기대할 수 있다.
(실시예 4)
본 발명의 확산 반사판용 요철 수지층의 형성에 사용한 장치 구성의 다른 실시예를 도 4에 나타낸다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이 본 실시예의 기본구성은 고정 프레임(10), 패턴형성 ·전사유닛(20), 간접형 수지공급 유닛(30), 인쇄유닛(40)으로 이루어지고, 상기한 실시예 1, 2 및 3과 전사원리 및 장치구성은 거의 동일하나, 실시예 1, 2 및 3과 다른 점은 수지공급 유닛(30)으로서 간접 코트법을 사용한 점이다.
본 실시예의 패턴형성장치는, 고정 프레임(10)에 2개의 전장 롤(36)과 롤형상 실리콘 시트(35)(또는 실리콘 수지 ·실리콘 고무 ·실리콘 등으로 표면처리가 실시된 스테인레스 등의 금속 시트)를 구비한 다이 코터를 베이스로 한 간접형 수지공급 유닛(30)과 인쇄정반(41)과 피인쇄체인 유리기판(42)으로 이루어지는 인쇄유닛(40)을 장착하고, 다시 고정 프레임(10)상에는 패턴형성 ·전사유닛(20) 및 인쇄유닛(40)상을 이동하기 위한 가동 프레임(24)에 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)을 장착한 블랭킷 통(21)을 구비하였다.
본 장치의 동작은, 먼저
1) 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)을 장착한 블랭킷 통(21)을 수지공급 유닛(30)상에서 정지,
2) 수지공급 유닛(30)의 판분리 기능을 가지는 링형상의 실리콘 시트(35b)상에 형성된 수지 도포면(32a)의 표면에, 블랭킷 통(21) 표면의 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)을 접촉시켜 함께 회전 및 주행시키고, 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22) 표면에 소정의 두께의 수지 도포면(23)을 형성,
3) 블랭킷(22)을 인쇄정반(41)상으로 이동시켜 피인쇄체인 유리기판(42)에 접촉시키고 전동시켜 블랭킷(22)상의 요철패턴이 형성된 수지(23)를 유리기판에 전사한다. 따라서 최소 공정수로 확산 반사판용 요철 수지층 형성이 완료된다.
또한 본 실시예에서는 전장 롤에 의해 연속주행 또는 간헐주행시키는 기재로 서 링형상으로 한 실리콘 시트(35b)를 사용하였으나, 표면에 실리콘 수지, 실리콘 고무 또는 실리콘 등을 코팅한 링형상의 스테인레스 등의 금속 시트를 사용하여도 연속주행 또는 간헐 주행체가 되는 기재로부터의 수지 벗겨냄을 향상시킬 수 있기 때문에 블랭킷 표면에의 수지 도포면의 막 두께를 균일하고, 또한 정밀도 좋게 형성할 수 있다.
본 실시예에서 사용한 수지(32)는 감광성을 가지지 않은 투명한 아크릴계, 에폭시계 수지와 이들 수지에 착색안료를 분산한 불투명한 것의 2종류를 사용하였다. 본 실시예에서 하나의 화소 내에 반사부와 투과부의 양쪽을 구비한 부분 투과형에 대응하는 투명한 수지뿐만 아니라 아크릴계, 에폭시계 수지에 착색안료를 분산한 수지를 사용하여 요철 수지층을 형성한 이유는, 이 착색시킨 요철 수지층상에 형성되는 반사층을 패터닝함으로써 착색시킨 요철 수지층이 차광층의 기능을 하는 구조에도 적응할 수 있는 기능을 부여한 것으로, 이 경우에 분산시키는 안료는 검정색 안료가 바람직하다.
또, 본 실시예에서는 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)으로서 랜덤하고 다수의 미소한 요철을 가지는 실리콘 블랭킷(22)을 사용하였으나, 랜덤하고 다수의 미소한 요철을 가지는 실리콘 시트를 블랭킷 통(21)에 장착한 것을 사용하여도 동등한 결과가 얻어졌다.
또한 랜덤한 요철패턴으로서는, 고분자 블록 공중합 등으로 발현되는 상 분리패턴을 사용하였다. 본 실시예에서 사용한 상 분리 요철패턴은, 요철의 피치(산 - 산 또는 골 - 골의 피치)가 1 내지 12 미크론, 요철의 단차가 0.1 내지 0.8 미크 론, 요철 막 두께가 0.5 내지 3.0 미크론이며, 보다 바람직하게는 요철의 피치(산 - 산 또는 골 - 골의 피치)가 3 내지 8 미크론, 요철의 단차가 0.2 내지 0.6 미크론, 요철 막 두께가 1.0 내지 2.0 미크론이다.
단, 본 실시예에서는 끈형상의 상 분리 요철패턴을 사용하였으나, 다수가 원형이고 미소한 요철이 랜덤하게 배치된 패턴을 구비한 실리콘 블랭킷(22) 또는 실리콘 시트를 블랭킷 통(21)에 장착한 경우에도 동등한 결과가 얻어졌다.
본 실시예의 응용예로서, 보다 정밀도가 높은 수지 도포면을 형성하기 위하여 다이 코터로 이루어지는 수지공급 유닛(30)에 있어서, 다이 코터 헤드(31a)의 토출구 주변을 실리콘 수지(33) 또는 실리콘 고무(33) 등으로 표면처리한 것도 검토하였다. 그 결과, 다이 코터 헤드(31a)로부터의 수지(32) 벗겨냄이 향상되어 실처럼 늘어지는 현상의 발생을 방지할 수 있어, 수지(32)의 막 두께 불균일의 발생을 방지할 수 있음을 확인할 수 있었다.
동일한 원리에 의하여 링형상의 실리콘 시트(35b)상에 형성된 수지 도포면 (32a)을 실처럼 늘어지는 현상을 일으키지 않고 블랭킷(22) 표면에 균일한 막 두께의 수지 도포면(23)을 형성할 수 있다.
또한 본 실시예를 응용하면, 블랙 매트릭스(차광층)와 컬러필터(빨강, 초록및 파랑)로 요철층을 형성하고, 그 위에 반투과 반사층 또는 부분투과 반사층과 블랙 매트릭스와 컬러필터(빨강, 초록 및 파랑)를 적층시킴으로써, 투과와 반사표시에 있어서 거의 동일한 색을 표시할 수 있는 구조의 반사 ·투과 겸용의 컬러 액정 표시장치도 가능하게 된다.
본 발명의 패턴형성법에 의해 확산 반사판용 요철층을 형성하면, 실질적으로는 블랭킷상에 형성된 수지패턴을 피인쇄체인 유리기판에 인쇄하는 1 공정만으로 유리기판상에 수지에 의한 요철패턴을 형성할 수 있다. 따라서 저비용으로 요철형상이 제어된 고성능 내장 확산 반사판을 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 저가격으로 밝은 반사형 또는 반사 ·투과 겸용형의 액정표시장치를 제공할 수 있다.
또한 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 지금까지 인쇄가 곤란하게 되어 있던 고분자 필름의 피인쇄체의 경우에도 사용하는 수지에 대하여 인쇄적성을 필요로 하지 않기 때문에 정밀도가 높은 패턴을 형성할 수 있다.
또, 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 롤형상의 연속 필름을 사용할 수 있는 패턴형성장치가 용이하게 만들어지기 때문에, 현재 주류인 매엽법으로 유리기판에 인쇄하는 방법에 비하면 대폭적인 생산성 향상을 기대할 수 있다.
(실시예 5)
본 발명의 확산 반사판용 요철 수지층의 형성에 사용한 장치 구성의 다른 실시예를 도 5에 나타낸다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이, 본 실시예의 기본구성은 고정 프레임(10), 패턴형성 ·전사유닛(20), 수지공급 유닛(30), 인쇄유닛(40)으로 이루어지고, 상기한 실시예 1, 2, 3 및 4과 전사원리 및 장치 구성은 거의 동일하나, 실시예 1, 2 및 3과 다른 점은 수지공급 유닛(30)으로서 간접 코트법을 사용한 점이고, 실시예 4와 다른 점은 수지공급 유닛으로서 그라비아 코터를 사용한 점이다.
본 실시예의 패턴형성장치는, 고정 프레임(10)에 2개의 전장 롤(36)과 링형 상 실리콘 시트(35b)(또는 실리콘 수지 ·실리콘 고무 ·실리콘 등으로 표면처리가 실시된 스테인레스 등의 금속 시트)를 구비한 그라비아 코터를 베이스로 한 간접형수지공급 유닛(30)과 인쇄정반(41)과 피인쇄체인 유리기판(42)으로 이루어지는 인쇄유닛(40)을 장착하고, 다시 고정 프레임(10)상에는 패턴형성 ·전사유닛(20) 및 인쇄유닛(40)상을 이동하기 위한 가동 프레임(24)에 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)을 장착한 블랭킷 통(21)을 구비하였다.
본 장치의 동작은, 먼저
1) 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)을 장착한 블랭킷 통(21)을 수지 도포 유닛(30)상에서 정지,
2) 수지공급 유닛(30)의 판분리 기능을 가지는 실리콘 시트(35b)상에 형성된 수지 도포면(32a)의 표면에, 상기 블랭킷 통(21) 표면의 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)을 접촉시켜 함께 회전 및 주행시키고, 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22) 표면에 소정의 두께의 수지 도포면(23)을 형성,
3) 블랭킷(22)을 인쇄정반(41)상으로 이동시켜 피인쇄체인 유리기판(42)에 접촉시키고 전동시켜 블랭킷(22)상의 요철패턴이 형성된 수지(23)를 유리기판에 전사하는 최소 공정수로 확산 반사판용 요철 수지층 형성이 완료된다.
또한 본 실시예에서는 전장 롤(36)에 의해 연속주행 또는 간헐주행시키는 기재로서 링형상으로 한 실리콘 시트(35b)를 사용하였으나, 표면에 실리콘 수지, 실리콘 고무 또는 실리콘 등을 코팅한 링형상의 스테인레스 등의 금속 시트를 사용하여도 연속주행 또는 간헐 주행체가 되는 기재로부터의 수지 벗겨냄을 향상시킬 수 있기 때문에, 블랭킷 표면에의 수지 도포면(23)의 막 두께를 균일하고 또한 정밀도좋게 형성할 수 있다.
본 실시예에서 사용한 수지(32)는 감광성을 가지지 않은 투명한 아크릴계, 에폭시계 수지와 이들 수지에 착색안료를 분산한 불투명한 것의 2종류 사용하였다. 본 실시예에서 하나의 화소 내에 반사부와 투과부의 양쪽을 구비한 부분 투과형에 대응하는 투명한 수지뿐만 아니라, 아크릴계, 에폭시계 수지에 착색안료를 분산한 수지를 사용하여 요철 수지층을 형성한 이유는, 이 착색시킨 요철 수지층상에 형성되는 반사층을 패터닝함으로써 착색시킨 요철 수지층이 차광층의 기능을 하는 구조에도 적응할 수 있는 기능을 부여한 것으로, 이 경우에 분산시키는 안료는 검정색 안료가 바람직하다.
또, 본 실시예에서는 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)으로서 랜덤하고 다수의 미소한 요철을 가지는 실리콘 블랭킷(22)을 사용하였으나, 랜덤하고 다수의 미소한 요철을 가지는 실리콘 시트를 블랭킷 통(21)에 장착한 것을 사용하여도 동등한 결과가 얻어졌다.
또한 랜덤한 요철패턴으로서는, 고분자 블록 공중합 등으로 발현되는 상 분리패턴을 사용하였다. 본 실시예에서 사용한 상 분리 요철패턴은 요철의 피치(산 - 산 또는 골 - 골의 피치)가 1 내지 12 미크론, 요철의 단차가 0.1 내지 0.8 미크론, 요철 막 두께가 0.5 내지 3.0 미크론이며, 보다 바람직하게는 요철의 피치(산 - 산 또는 골 - 골의 피치)가 3 내지 8 미크론, 요철의 단차가 0.2 내지 0.6 미크론, 요철 막 두께가 1.0 내지 2.0 미크론이다.
단, 본 실시예에서는 끈형상의 상 분리 요철패턴을 사용하였으나, 다수가 원형이고 미소한 요철이 랜덤하게 배치된 패턴을 구비한 실리콘 블랭킷(22) 또는 실리콘 시트를 블랭킷 통(21)에 장착한 경우에도 동등한 결과가 얻어졌다.
본 실시예의 응용예로서, 보다 정밀도가 높은 수지 도포면을 형성하기 위하여 그라비아 롤(37)을 구비한 그라비아 코터로 이루어지는 수지공급 유닛(30)에 있어서, 그라비아 롤(37)의 표면을 실리콘 수지(33) 또는 실리콘 고무(33) 등으로 표면처리한 것도 검토하였다. 그 결과, 그라비아 롤(37)로부터의 수지(32a) 벗겨짐이 향상되어 실처럼 늘어지는 현상의 발생을 방지할 수 있어, 링형상 실리콘 시트(35b)상에 형성되는 수지(32a) 및 블랭킷(22)상에 형성되는 수지(23)의 막 두께 불균일의 발생을 방지할 수 있음을 확인할 수 있었다.
또한 본 실시예를 응용하면, 블랙 매트릭스(차광층)와 컬러필터(빨강, 초록및 파랑)로 요철층을 형성하고, 그 위에 반투과 반사층 또는 부분투과 반사층과 블랙 매트릭스와 컬러필터(빨강, 초록및 파랑)을 적층시킴으로써 투과와 반사표시에 있어서 거의 동일한 색을 표시할 수 있는 구조의 반사 ·투과 겸용의 컬러 액정표시장치도 가능하게 된다.
본 발명의 패턴형성법에 의하여 확산 반사판용 요철층을 형성하면, 실질적으로는 블랭킷상에 형성된 수지패턴을 피인쇄체인 유리기판에 인쇄하는 1 공정만으로 유리기판상에 수지에 의한 요철패턴을 형성할 수 있다. 따라서 저비용으로 요철형상이 제어된 고성능 내장 확산 반사판을 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 저가격으로 밝은 반사형 또는 반사 ·투과 겸용형의 액정표시장치를 제공할 수 있다.
또한 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 지금까지 인쇄가 곤란하게 되어 있던 고분자 필름의 피인쇄체의 경우에도 사용하는 수지에 대하여 인쇄적성을 필요로 하지 않기 때문에 정밀도가 높은 패턴을 형성할 수 있다.
또, 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 롤형상의 연속 필름을 사용할 수 있는 패턴형성장치가 용이하게 만들어지기 때문에 현재 주류인 매엽법으로 유리기판에 인쇄하는 방법에 비하면 대폭적인 생산성 향상을 기대할 수 있다.
(실시예 6)
본 발명의 확산 반사판용 요철 수지층의 형성에 사용한 장치 구성의 다른 실시예를 도 6에 나타낸다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이 본 실시예의 기본구성은, 고정 프레임(10), 패턴형성 ·전사유닛(20), 수지공급유닛(30), 인쇄유닛(40)으로 이루어진다. 상기한 실시예 1, 2, 3, 4 및 5와 전사원리 및 장치 구성은 거의 동일하다. 실시예 1, 2 및 3과 다른 점은, 수지공급 유닛(30)으로서 간접 코트법을 사용한 것에 있고, 실시예 4 및 5와 다른 점은, 수지공급유닛(30)으로서 롤형상의 연속시트(35c)(실리콘 시트)를 사용하는 다이 코터를 사용한 것에 있다.
본 실시예의 패턴형성장치는, 고정 프레임(10)에 2개의 전장 롤(36), 이송롤(38) 및 권취롤(39)과 실리콘 시트(35c)(또는 실리콘 수지 ·실리콘 고무 등으로 표면처리가 실시된 스테인레스 등의 금속시트)를 구비한 다이 코터를 베이스로 한 간접형 수지공급유닛(30)과 인쇄정반(41)과 피인쇄체인 유리기판(42)으로 이루어지는 인쇄유닛(40)을 장착하고, 다시 고정 프레임(10)상에는 패턴형성 ·전사유닛(20) 및 인쇄유닛(40)상을 이동하기 위한 가동 프레임(24)에 인쇄판 기능과 판 분리 기능을 구비한 블랭킷(22)을 장착한 블랭킷 통(21)을 구비하였다.
본 장치의 동작은, 먼저
1) 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)을 장착한 블랭킷 통(21)을 수지공급유닛(30)상에서 정지,
2) 수지공급유닛(30)의 판분리 기능을 가지는 실리콘 시트(35)상에 형성된 수지 도포면(32a)의 표면에, 블랭킷 통(21) 표면의 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)을 접촉시켜 함께 회전 및 주행시키고, 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22) 표면에 소정 두께의 수지 도포면(23)을 형성,
3) 블랭킷(22)을 인쇄정반(41)상으로 이동시켜 피인쇄체인 유리기판(42)에 접촉시키고 전동시켜 블랭킷(22)상의 요철패턴이 형성된 수지(23)를 유리기판에 전사하는 최소 공정수로 확산 반사판용 요철 수지층 형성이 완료된다.
또한 본 실시예에서는 전장 롤(36)에 의해 연속주행 또는 간헐주행시키는 기재로서 롤에 감긴 실리콘 시트로서 S-34(데이진제품)를 사용하였으나, 본 발명은 이 재료에 한정되는 것이 아니라, 수지 또는 잉크 등, 사용하는 재료 벗겨짐이 좋은 것이면, 블랭킷 표면에 형성하는 수지 도포면(23)의 막 두께가 균일하고, 또한 정밀도 좋게 형성할 수 있다. 어느 것이어도 좋다. 표면에 실리콘 수지, 실리콘고무 또는 실리콘 등을 코팅한 벨트형상의 스테인레스 등의 금속 시트를 사용하여도 연속주행 또는 간헐 주행체가 되는 기재로부터의 수지 벗겨짐을 향상시킬 수 있기 때문에, 블랭킷 표면에의 수지 도포면의 막 두께가 균일하고, 또한 정밀도 좋게 형성할 수 있다.
또 상기 실시예에서는 소정량의 수지를 도포하는 다이 코터 헤드(31a)의 위치를 전장 롤(36)상으로 하였으나, 2개의 전장 롤 사이에 배치하여도 동등한 정밀도의 수지 도포면이 얻어진다.
본 실시예에서 사용한 수지(32)는 감광성을 가지지 않은 투명한 아크릴계, 에폭시계 수지와 이들 수지에 착색안료를 분산한 불투명한 것의 2종류를 사용하였다. 본 실시예에서 하나의 화소 내에 반사부와 투과부의 양쪽을 구비한 부분 투과형에 대응하는 투명한 수지뿐만 아니라 아크릴계, 에폭시계 수지에 착색안료를 분산한 수지를 사용하여 요철 수지층을 형성한 이유는, 그 착색시킨 요철 수지층상에 형성되는 반사층을 패터닝함으로써 착색시킨 요철 수지층이 차광층의 기능을 하는 구조에도 적응할 수 있는 기능을 부여한 것으로, 이 경우에 분산시키는 안료는 검정색 안료가 바람직하다.
또, 본 실시예에서는 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)으로서 랜덤하고 다수의 미소한 요철을 가지는 실리콘 블랭킷(22)을 사용하였으나, 랜덤하고 다수의 미소한 요철을 가지는 실리콘 시트를 블랭킷 통(21)에 장착한 것을 사용하여도 동등한 결과가 얻어졌다.
또한 상기 랜덤한 요철패턴으로서는, 고분자 블록 공중합 등으로 발현되는 상 분리패턴을 사용하였다. 본 실시예에서 사용한 상 분리 요철패턴은 요철의 피치(산 - 산 또는 골 - 골의 피치)가 1 내지 12 미크론, 요철의 단차가 0.1 내지 0.8 미크론, 요철 막 두께가 0.5 내지 3.0 미크론이고, 보다 바람직하게는 요철의 피치(산 - 산 또는 골 - 골의 피치)가 3 내지 8 미크론, 요철의 단차가 0.2 내지 0.6 미크론, 요철 막 두께가 1.0 내지 2.0 미크론이다.
단, 본 실시예에서는 끈형상의 상 분리 요철패턴을 사용하였으나, 다수가 원형이고 미소한 요철이 랜덤하게 배치된 패턴을 구비한 실리콘 블랭킷(22) 또는 실리콘 시트를 블랭킷 통(21)에 장착한 경우에도 동등한 결과가 얻어졌다.
본 실시예의 응용예로서 보다 정밀도가 높은 수지 도포면을 형성하기 위하여 다이 코터로 이루어지는 수지공급유닛(30)에 있어서, 다이 코터 헤드(31)의 토출구 주변을 실리콘 수지, 실리콘 고무 또는 실리콘 등으로 표면처리한 것도 검토하였다. 그 결과, 다이 코터 헤드(31)로부터의 수지(32) 벗겨짐이 향상되어 실처럼 늘어지는 현상의 발생을 방지할 수 있어, 수지(32)의 막 두께 불균일의 발생을 방지할 수 있음을 확인할 수 있었다.
또한, 본 실시예를 응용하면 블랙 매트릭스(차광층)와 컬러필터(빨강, 초록 및 파랑)로 요철층을 형성하고, 그 위에 반투과 반사층 또는 부분투과 반사층과 블랙 매트릭스와 컬러필터(빨강, 초록 및 파랑)를 적층시킴으로써 투과와 반사표시에 있어서 거의 동일한 색을 표시할 수 있는 구조의 반사 ·투과 겸용의 컬러 액정표시장치도 가능하게 된다.
본 발명의 패턴형성법에 의해 확산 반사판용 요철층을 형성하면, 실질적으로는 블랭킷상에 형성된 수지패턴을 피인쇄체인 유리기판에 인쇄하는 1 공정만으로 유리기판상에 수지에 의한 요철패턴을 형성할 수 있기 때문에, 저비용으로 요철형상이 제어된 고성능 내장 확산 반사판을 형성할 수 있을 뿐만 아니라, 저가격으로 밝은 반사형 또는 반사 ·투과 겸용형의 액정표시장치를 제공할 수 있다.
또한 본 발명의 패턴형성법에 의하면 지금까지 인쇄가 곤란하게 되어 있던 고분자 필름의 피인쇄체의 경우에도 사용하는 수지에 대하여 인쇄적성을 필요로 하지 않기 때문에 정밀도가 높은 패턴을 형성할 수 있다.
또, 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 롤형상의 연속 필름을 사용할 수 있는 패턴형성장치가 용이하게 만들어지기 때문에, 현재 주류인 매엽법으로 유리기판에 인쇄하는 방법에 비하면 대폭적인 생산성 향상을 기대할 수 있다.
(실시예 7)
본 발명의 확산 반사판용 요철 수지층의 형성에 사용한 장치 구성의 다른 실시예를 도 7에 나타낸다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이, 본 실시예의 기본구성은 고정 프레임(10), 패턴형성 ·전사유닛(20), 수지공급유닛(30), 패턴전사유닛 (40)으로 이루어진다. 상기한 실시예 1, 2, 3, 4, 5 및 6과 전사원리 및 장치구성은 거의 동일하나, 실시예 1, 2, 3, 4, 5 및 6과 다른 점은 인쇄유닛(40)으로 피인쇄체로서 롤형상의 연속 시트를 사용한 것에 있다.
본 실시예의 패턴형성장치는, 고정 프레임(10)에 블랭킷 통(21)에 인쇄판 기능과 판분리 기능을 가지는 블랭킷을 장착한 패턴형성 ·전사유닛(20), 다이 코터로 이루어지는 수지공급유닛(30), 이송롤(38), 권취롤(39) 및 자외선 조사수단(43)과 피인쇄체인 실리콘 시트(35)(또는 실리콘 수지 ·실리콘 고무 등으로 표면처리가 실시된 고분자 시트)로 이루어지는 패턴전사유닛(4O)을 구비하였다.
본 장치의 동작은, 먼저
1) 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)을 장착한 블랭킷 통(21) 의 회전에 연동시키면서 수지공급유닛(30)의 다이 코터 헤드부(31)로부터 소정의 막 두께가 되는 수지량을 토출하여 블랭킷(22)상에 수지 도포면(23)을 형성함과 함께, 동시에 블랭킷(22)에 형성된 요철패턴을 수지 도포면(23)에 전사하고, 연동하여 주행하는 피인쇄체인 플라스틱 시트(35)(폴리설폰계, 폴리에테르설폰계, 폴리에테르이미드계, 폴리에테르케톤계, 폴리카보네이트계, 에폭시계 등)에 회전하면서 전사함과 동시에, 자외선 조사수단(60)에 의해 수지를 경화하여 최소 공정수로 확산 반사판용의 요철 수지층 형성이 완료된다.
또한 본 실시예에서는 이송 롤(38)과 권취롤(39)에 의하여 연속주행 또는 간헐 주행시키는 플라스틱 시트로서 롤에 감긴 폴리설폰계, 폴리에테르설폰계, 폴리에테르이미드계, 폴리에테르케톤계, 폴리카보네이트계, 에폭시계의 것을 사용(폭 : 270 내지 1200mm, 두께 : 100 내지 400㎛, 길이 : 50 내지 400m)하였으나, 본 발명은 이들 재료에 한정되는 것이 아니라, 액정 디스플레이용 기판으로서 사용할 수 있는 것이면 어느 것이든 좋다.
본 실시예에서 사용한 수지(32)는 감광성을 가지지 않은 투명한 아크릴계, 에폭시계 수지와 이들 수지에 착색안료를 분산한 불투명한 것의 2 종류를 사용하였다. 본 실시예에서 하나의 화소 내에 반사부와 투과부의 양쪽을 구비한 부분 투과형에 대응하는 투명한 수지뿐만 아니라, 아크릴계, 에폭시계 수지에 착색안료를 분산한 수지를 사용하여 요철 수지층을 형성한 이유는, 이 착색시킨 요철 수지층상에 형성되는 반사층을 패터닝함으로써 착색시킨 요철 수지층이 차광층의 기능을 하는 구조에도 적응할 수 있는 기능을 부여한 것으로, 이 경우에 분산시키는 안료는 검 정색 안료가 바람직하다.
또, 본 실시예에서는 인쇄판 기능과 판분리 기능을 구비한 블랭킷(22)으로서 랜덤하고 다수의 미소한 요철을 가지는 실리콘 블랭킷(22)을 사용하였으나, 랜덤하고 다수의 미소한 요철을 가지는 실리콘 시트를 블랭킷 통(21)에 장착한 것을 사용하여도 동등한 결과가 얻어졌다.
또한 상기 랜덤한 요철패턴으로서는, 고분자 블록 공중합 등으로 발현되는 상 분리패턴을 사용하였다. 본 실시예에서 사용한 상 분리 요철패턴은, 요철의 피치(산 - 산 또는 골 - 골의 피치)가 1 내지 12 미크론, 요철의 단차가 0.1 내지 0.8 미크론, 요철 막 두께가 0.5 내지 3.0 미크론이며, 보다 바람직하게는 요철의 피치(산 - 산 또는 골 - 골의 피치)가 3 내지 8 미크론, 요철의 단차가 0.2 내지 0.6 미크론, 요철 막 두께가 1.0 내지 2.0 미크론이다.
단, 본 실시예에서는 끈형상의 상 분리 요철패턴을 사용하였으나, 다수가 원형이고 미소한 요철이 랜덤하게 배치된 패턴을 구비한 실리콘 블랭킷(22) 또는 실리콘 시트를 블랭킷 통(21)에 장착한 경우에도 동등한 결과가 얻어졌다.
본 실시예의 응용예로서, 보다 정밀도가 높은 수지 도포면을 형성하기 위하여 다이 코터로 이루어지는 수지공급유닛(30)에 있어서, 다이 코터 헤드(31)의 토출구 주변을 실리콘 수지, 실리콘 고무 또는 실리콘 등으로 표면처리한 것도 검토하였다. 그 결과, 다이 코터 헤드(31)로부터의 수지(32) 벗겨짐이 향상되어 실처럼 늘어지는 현상의 발생을 방지할 수 있어, 수지(32)의 막 두께 불균일의 발생을 방지할 수 있음을 확인할 수 있었다.
또한 본 실시예를 응용하면, 블랙 매트릭스(차광층)와 컬러필터(빨강, 초록및 파랑)로 요철층을 형성하고, 그 위에 반투과 반사층 또는 부분투과 반사층과 블랙 매트릭스와 컬러필터(빨강, 초록 및 파랑)를 적층시킴으로써 투과와 반사표시에 있어서 거의 동일한 색을 표시할 수 있는 구조의 반사 ·투과 겸용의 컬러 액정표시장치도 가능하게 된다.
본 발명의 패턴형성법에 의해 확산 반사판용 요철층을 형성하면, 실질적으로는 블랭킷상에 형성된 수지패턴을 피인쇄체인 유리기판에 인쇄하는 1 공정만으로 유리기판상에 수지에 의한 요철패턴을 형성할 수 있기 때문에, 저비용으로 요철형상이 제어된 고성능 내장 확산 반사판을 형성할 수 있을 뿐만 아니라 저가격으로 밝은 반사형 또는 반사 ·투과 겸용형의 액정표시장치를 제공할 수 있다.
또한 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 지금까지 인쇄가 곤란하게 되어 있던 고분자 필름의 피인쇄체의 경우에도 사용하는 수지에 대하여 인쇄적성을 필요로 하지 않기 때문에 정밀도가 높은 패턴을 형성할 수 있다.
또, 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 롤형상의 연속 필름을 사용할 수 있는 패턴형성장치가 용이하게 만들어지기 때문에, 현재 주류인 매엽법으로 유리기판에 인쇄하는 방법에 비하면 대폭적인 생산성 향상을 기대할 수 있다.
(실시예 8)
본 발명의 패턴형성방법에 사용하는 내장 확산 반사판용 블랭킷의 일 실시예를 도 8 내지 도 11에 나타낸다. 상기 도 8은 블랭킷 표면에 형성되는 요철의 패턴을 나타내는 도이고, (a)는 고분자 블록 공중합체 등으로 발현되는 끈형상의 상 분리패턴, (b)는 원형의 상 분리패턴으로 어느 패턴이나 규칙성이 없는 랜덤한 것(방향방향에 대하여 무지향)으로 확산 반사판의 요철로서 적합하다.
또한 상기 도 (a), (b)에 나타내는 패턴의 요철 피치(산 - 산 또는 골 - 골의 피치)는 1 내지 12 미크론, 요철의 단차가 0.1 내지 0.8 미크론, 요철 막 두께가 0.5 내지 3.0 미크론이며, 보다 바람직하게는 요철의 피치(산 - 산 또는 골 - 골의 피치)는 3 내지 8 미크론, 요철의 단차가 0.2 내지 0.6 미크론, 요철 막 두께가 1.0 내지 2.0 미크론으로 저단차로서, 액정 두께의 균일화에는 유효한 확산 반사판이다.
이들 패턴에 의하여 고분자 블록 공중합체의 상 분리현상을 해석하기 위한 Cell-dynamical System Model을 사용한 컴퓨터시뮬레이션에 의하여 창출 및 지향성의 유무 또는 요철 폭의 비율 등, 패턴을 여러가지로 제어할 수 있기 때문에, 확산 반사판으로서의 광산란 특성을 임의로 제어할 수 있는 포토마스크를 제작할 수 있다.
상기 도 9는 상기 포토마스크를 사용한 실리콘 블랭킷의 제작 및 수지패턴형성의 모식도이다. 상기 도(a)는 유리기판(1)상에 형성된 감광성 수지 도포면(2)에 상 분리패턴용 포토마스크(3)를 거쳐 자외선(43)을 조사하는 공정, (b)는 감광성 수지 도포면(2)을 소정의 조건에 의해 현상, 가열하여 소정의 단면형상을 가지는 연속된 미소한 요철 수지층(2a)(도 8 패턴 참조)을 형성하는 공정, (c) 요철 수지층(2a)상에 도전층(도시 생략, 스패터법 등에 의한 도전성 박막 또는 은페이스트 등의 도전 도료)을 형성하고, 전해 도금법에 의해 수지층의 요철패턴을 전사한 니 켈층(5)을 형성하는 공정, (d) 요철패턴이 형성된 니켈층(5)상에 형 프레임 등을 사용하여 실리콘 고무(6)를 충전 ·경화시켜 미소 요철을 가지는 실리콘 블랭킷 (22)을 형성하는 공정, (e) 미소한 요철을 구비한 실리콘 블랭킷(22)상에 수지 도포면(23)을 형성함 과 함께, 동시에 미소한 요철패턴을 수지 도포면(23)에 형성하는 공정, (f) 상기 블랭킷(22)상에 형성된 수지(23)를 피인쇄체인 유리기판(42)에 전사, 경화하여 요철 수지층(23)을 형성하는 공정으로부터 반사형 또는 반투과형 액정 확산 반사판용의 요철 수지층을 형성하는 패턴형성방법이다.
또한 요철 수지층(23)상에는 스패터법 등에 의해 알루미늄, 알루미늄합금, 은 및 은합금 등으로 이루어지는 반사층(막 두께 : 1000 내지 2000Å) 또는 반투과반사층(막 두께 : 100 내지 500Å)을 형성하여 확산 반사판이 완성된다.
본 실시예에서는 감광성 수지(2)로 수지 모형을 제작하여 니켈도금법으로 니켈(5)로 수지 모형을 전사하고, 주입형으로 실리콘 고무(6)로 블랭킷(22)을 제작하여 수지로 이루어지는 요철 수지층(2a)을 유리기판(42)상에 형성하였으나, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니고, 실리콘 수지를 도포한 고분자 시트에 상기 포토마스크를 사용하여 노광 ·현상 및 가열하여 소정의 단면형상을 가지는 연속된 미소한 요철 수지층(2a)(도 8 패턴 참조)을 형성한 것(수지가 벗겨지기 쉽다) 등을 블랭킷 통에 둘러 감아 사용하여도 좋다.
도 10에 하나의 화소가 투과부와 반사부로 이루어지는 투과표시와 반사표시를 겸용하는 확산 반사판용의 포토마스크 패턴이 표시되어 있다. 상기 도(a)는 상기한 끈형상의 상 분리패턴으로 이루어지는 미소 요철을 구비한 반사부(52)와, 반 사층이 없는 투과부(53)로 이루어지는 요철패턴, (b)는 상기한 원형의 상 분리패턴으로 이루어지는 미소 요철을 구비한 반사부(52)와, 반사층이 없는 투과부(53)로 이루어지는 포토마스크 패턴이고, (c)는 (a), (b)에 나타낸 포토마스크를 사용하여 제작한 요철 수지층의 단면구조로서, 유리기판(50)상의 감광성 수지층(51)에 요철부(52)와 평탄부(53)를 형성한 것이다.
또한 본 실시예에서는 투과부(53)에는 요철을 설치하지 않고 평탄하게 하였으나, 본 실시예의 상 분리패턴으로 이루어지는 저단차의 요철이면 투과부(53)에 요철이 있어도 평탄하고 거의 동일한 표시특성이 얻어진다.
또, 본 실시예에서는 포지티브형 감광성 수지를 사용하였으나, 포토마스크의 투과부(도 10의 백색부)와 차광부(도 10의 흑색부)를 반전시킨 포토마스크를 사용하면 네가티브형 감광성 수지라도 동등한 요철 수지층을 형성할 수 있다.
도 11에는 상기한 투과표시와 반사표시를 겸용하는 확산 반사판용 블랭킷제작의 모식 단면도를 나타내었다. 포지티브형 감광성 수지(51)가 도포된 유리기판 (5O)상에, 도 10(a), 도 10(b)에 나타낸 패턴으로 흑백을 반전시킨 포토마스크(54)를 거쳐 자외선(55)을 조사하는 공정(a)과, 소정의 현상 및 가열(멜트법)에 의해 미소한 요철부(52)와 미소한 요철이 없는 평탄부인 투과부(53)를 형성하는 공정(b)과, 요철부인 반사부(52)와 평탄부인 투과부(53)로 이루어지는 요철 수지층(51)상에 바깥 프레임 등을 사용하여 실리콘 고무(56)를 주입 ·경화하는 공정으로부터 실리콘 고무(56)로 이루어지는 미소한 요철부인 반사부(52)와 평탄부인 투과부(53)를 가지는 블랭킷(57)(d)이 완성된다.
또한 본 실시예에서는 실리콘 고무에 의한 블랭킷의 제작법을 나타내었으나, 상기 포토마스크(54)를 사용하여 고분자 시트상에 포지티브형 감광성 실리콘 수지로 투과표시와 반사표시를 겸용하는 확산 반사판용 요철을 직접 형성하여도 좋고, 그 실리콘 수지에 의한 미소한 요철이 형성된 고분자 시트를 블랭킷 통에 둘러 감아 사용하여도 실리콘 고무로 제작한 확산 반사판과 동등한 성능의 것이 얻어진다.
본 실시예에서는 상기 도(e)에 나타내는 바와 같이 실리콘 고무(56)로 이루어지는 상기 블랭킷(57) 또는 실리콘 수지와 고분자 시트로 이루어지는 블랭킷을 블랭킷 통(58)에 장착함으로써 블랭킷에 인쇄판 기능과 판분리 기능을 부여하여, 반사표시 또는 반사 ·투과 겸용 표시용의 고성능 확산 반사판을 저비용으로 제작할 수 있도록 하였다.
(실시예 9)
본 발명의 패턴형성방법을 사용한 반사표시 및 반사 ·투과 겸용 표시용 액정표시장치의 일 실시예를 도 12 내지 도 16에 나타낸다. 상기 도 12는 본 발명의 패턴형성방법을 사용한 투명전극의 전극형성의 원리를 나타내는 모식도이다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이, 실리콘 시트(형식 : S-34, 데이진제품)(35)상에 형성된 감광성 수지(막 두께 : 1 내지 2 미크론)(32)에, 미소한 스트라이프형상 볼록부를 구비한 실리콘 블랭킷(볼록부 폭 : 70 미크론, 볼록부 사이의 간극 : 10 미크론, 볼록부수 : 120 및 160개)(22)을 가압하여 실리콘 시트(35)상의 감광성 수지(32)를 실처럼 늘어지는 현상을 일으키지 않고 상기 실리콘 블랭킷(22)의 볼록부에 대응하는 부분만을 벗겨내는 공정(a), (b) 과, 피인쇄체인 유리기판(42)상의 투명전극층 (59)에 실리콘 블랭킷(22)의 볼록부상에 형성한 상기 감광성 수지 도포면(32)을 실처럼 늘어지는 현상을 일으키지 않고 전사하는 공정(c)과, 감광성 수지층(32)이 형성된 상기투명 전극층(59)을 소정의 조건에 의해 현상한 후, 감광성 수지(32)를 제거하는 공정(d)으로부터 투명전극의 패터닝이 완성된다.
다음에 본 발명의 패턴형성법을 주체로 하여 형성한 확산 반사판상에 컬러 필터를 적층시킨 전극기판의 단면도를 도 13에 나타낸다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이, 이 전극기판은 본 패턴형성법에 의해 검정색 안료로 착색한 아크릴계, 에폭시계 수지 등으로 요철 수지층(23)을 형성하는 공정과, 요철 수지층(23)상에 형성된 반사층(44)의 블랙 매트릭스부에 상당하는 부분의 반사층만을 상기한 감광성 수지 패턴형성법에 의해 제거하는 공정과, 반사층(44)이 제거된 검정색으로 착색된 요철 수지층(23)상에서 인접하는 컬러필터(45a, 45b, 45c)가 접하도록 컬러 필터를 형성하는 공정과, 본 발명의 패턴형성법의 원리를 사용하여 컬러필터(45a, 45b, 45c)상에 평탄화층(46)을 형성하는 공정과, 상기한 감광성 수지 패턴형성법에 의해 평탄화층(46)상의 투명 전극층을 패터닝하는 공정으로부터 만들어진다.
또, 본 실시예에서는 본 발명의 저비용 패턴형성을 사용할 뿐만 아니라, 요철 수지층을 착색함으로써 블랙 매트릭스의 기능을 가지게 하여 검정색 필름형성을 생략함으로써 보다 저비용화가 도모되는 전극구성으로 하였다.
또한 상기 도면에는 컬러필터상에 평탄화층을 배치하였으나, 이 평탄화층 배치의 유무는 사용하는 표시모드 등에 맞추어 적절하게 결정하면 좋다.
본 발명의 패턴형성법을 주체로 하여 제작한 도 13에 나타낸 한쪽의 전극기 판과, 도 12에 나타낸 감광성 수지 패턴의 형성법을 사용하여 제작한 다른쪽의 투명 전극기판을 사용한 초비틀림 네마틱형 액정표시소자(이하, STN 액정표시소자라 함)의 단면구조를 도 14에 나타낸다.
상기 도면에 나타내는 바와 같이, 유리기판(42)상에 검정색 안료가 분산된 요철 수지층(23), 블랙 매트릭스부에 상당하는 부분이 제거된 반사층(44), 반사층이 제거된 부분에서 접하도록 배치된 컬러필터(45a, 45b, 45c), 평탄화층(46), 투명전극(47) 및 배향 제어막(48)이 형성된 한쪽의 전극기판과, 유리기판(60)상에 투명전극(61), 배향 제어막(62)이 형성된 다른쪽의 기판을 소정의 간극이 되도록 스페이서재(63)를 거쳐 대치시키고, 그 간극에 액정(64)을 충전시킨 구성의 액정소자상에 2매의 위상차판(65, 66)과 편광판(67)을 배치하여 이루어지는 STN 액정표시소자를 제작하였다.
또한 도 15에 나타내는 바와 같이 상기한 STN 액정표시소자(68)에 액정구동회로, 전원회로(69) 등을 설치하여 STN 액정표시장치(70)를 제작하였다.
다음에 본 발명의 패턴형성법을 주체로 하여 제작한 STN 액정표시장치의 광학특성을 측정한 광학계를 도 16에 나타낸다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이 광원(71)으로부터 조사한 입사광(72)에 대하여 확산 반사판을 내장하는 STN 액정표시장치(70)로부터 수직방향으로 출사하는 출사광(73)을 휘도계(74)로 측정하는 광학계이고, 광원(71)의 각도(Φ방향, θ방향)을 여러가지로 바꾸어 측정할 수 있다.
상기한 광학계로 측정한 광학특성의 일례를 도 17에 나타낸다. 상기 도면에 있어서, 본 발명의 패턴형성법을 주체로 하여 제작한 STN 액정표시장치의 광학특성 은 넓은 범위의 각도에서 게인이 높은 특성인 것을 확인할 수 있었다. 또한 게인 (G)은 STN 액정표시장치의 반사휘도(각도 : θ)를 완전 확산 반사판의 반사휘도(각도 : θ)로 나눈 값에 의하여 정의된다.
이상과 같이 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 저비용으로 밝은 STN 액정표시장치를 제공할 수 있다.
또한 본 실시예에서는 STN 액정표시장치를 예로 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 패턴화한 감광성 수지를 피인쇄체에 인쇄하는 방법 및 그 장치에 관한 것으로, 액정표시장치에 한정되지 않는다.
(실시예 10)
본 발명의 패턴형성방법을 사용한 반사형 액정표시장치에 사용되는 프론트 라이트용 도광체의 일 실시예를 도 18에 나타낸다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이 다이 코터에 의한 수지 도포유닛을 사용하여 블랭킷 통(21)에 미소하고 완만한 경사면(폭 : 100 내지 200 미크론)과 급한 경사면(폭 : 10 내지 20 미크론)(또는 소정의 간격을 가지는 미소한 원형의 볼록)을 가지는 실리콘 블랭킷(22)을 장착한 패턴형성 유닛에, 상기 수지 도포유닛의 다이 코터 헤드부(31)로부터 수지(32)(옵스터, JSR제, 굴절율 : 1.36 내지 1.42)를 토출하여 균일한 두께의 수지 도포면(23)을 형성하는 공정(a), (b)과, 블랭킷(22)상에서 완만 ·급경사면을 가지는 패턴이 전사된 수지(23)를, 피인쇄체인 아크릴계 수지로 이루어지는 피전사체인 도광판(42)(판두께 : 1.8mm, 굴절율 : 1.49)의 표면에 전사하는 공정(c)[또는 (e)]로 이루어지는 전반사 조건을 이용한 프론트 라이트용 도광체의 형성방법이다.
본 실시예에서 사용한 수지는 프론트 라이트용 도광체의 굴절율과 거의 동일한 재료이며, 아크릴계에서 감광성을 가지는 것을 사용하였다. 또 블랭킷상에서 패턴형성된 수지를 피인쇄체인 도광체에 접촉시키면서 전사할 때에 도광체의 뒷면으로부터 자외선을 조사하여 수지를 경화시킴으로써 블랭킷상에 형성된 패턴의 전사성을 보다 향상시켰다.
또, 본 실시예에서는 블랭킷상에 형성되는 완만한 경사면(폭 : 100 내지 200 미크론)과 급한 경사면(폭 : 10 내지 20 미크론)으로 이루어지는 패턴형성에 그레이 스케일 마스크(HEBS, 캐니온머테리얼즈사 제품)와 고감도 감광성 수지(형식 : PC-302, JSR 제)를 사용하여 모형이 되는 감광성 수지에 의한 완만 ·급경사면의 형상을 정밀도 좋게 제작하여 광이용 효율의 향상을 도모하였다.
상기한 바와 같이 본 실시예에 의하면 저비용의 고효율 프론트 라이트용 도광체를 제공할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명의 패턴형성방법의 실시예 7을 응용하면, 관찰자가 시인할 수 없는 미세한 요철패턴[예를 들면 고분자 중합체 등으로 발현되는 상 분리현상을 이용한 패턴(도 8 참조), 재료 : 아크릴계 수지[옵스터, JSR제, 굴절율 : 1.36 내지 1.42) 요철피치 : 1.0 내지 12.0 미크론, 요철단차 : 0.1 내지 0.6 미크론)]를 편광판 등의 표면에 형성할 수 있기 때문에, 조명광이 편광판 표면에서 정반사되는 광에 의한 화질 저하를 방지할 수도 있을 뿐만 아니라, 편광판에 글레어처리와 반사 방지막의 기능을 부여하여 라이트 가이드의 표면으로부터의 반사광을 저감시켰기 때문에, 밝고, 콘트라스트가 높은 화상이 얻어지는 반사형 액정표시장치를 제공 할 수 있다.
본 발명의 패턴형성법은 본 실시예에 한정되는 것이 아니라, 사용하는 수지나 잉크 등에 대하여 인쇄적성을 필요로 하지 않기 때문에, 지금까지 곤란하게 되어 있던 고분자 시트상에의 패턴형성을 용이하게 행할 수 있다. 따라서 프리즘시트 및 확산 시트제작에 대한 응용이 적합하고, 모두 저비용, 고성능화가 도모되는 효과가 있다.
(실시예 11)
본 발명의 패턴형성방법을 사용한 프린트배선 기판 형성법의 일 실시예를 도 19에 나타낸다. 상기 도면에 나타내는 바와 같이 실리콘 시트(35)상에 형성된 팔라듐으로 이루어지는 촉매 도포면에, 실리콘 고무로 이루어지는 배선 패턴용 볼록판 블랭킷(22)(패턴 폭 : 70 미크론, 패턴 간극 : 10 미크론, 높이 : 40 미크론)의 볼록부를 접촉시킨 후, 촉매 도포면으로부터 배선용 볼록판 블랭킷(22)을 떼어 낼 때에 볼록부에 대응하는 부분의 촉매를 실처럼 늘어지는 현상을 발생시키지 않고 벗겨내어 팔라듐으로 이루어지는 촉매를 패턴화하는 공정(a), (b)과, 피인쇄체인 유리 ·에폭시계 수지로 이루어지는 프린트배선 기판(42d)상에 블랭킷(22)상의 촉매 패턴(32d)을 실처럼 늘어지는 현상을 발생시키지 않고 전사하는 공정(c)과, 촉매 패턴(32d)이 전사된 프린트배선 기판(42d)을 환원제, 킬레이트제 등을 함유한 무전해 구리도금액 (75)에 침지하여 촉매 패턴(32d)이 인쇄된 부분에만 구리피막 (59)을 형성하는 공정(d), (e)로 완성되는 프린트 배선판의 형성방법이다.
또한 본 실시예에서 사용한 촉매로서는 팔라듐을 사용하였으나, 정밀도 좋게 촉매 패턴부에만 구리이온이 흡착되도록 하기 위한 밑바탕처리를 실시하였다.
지금까지 포토리소그래픽법을 사용한 다수의 복잡한 공정의 무전해 구리도금 공정에 의하여 프린트 배선판을 제작하고 있었으나, 본 발명의 패턴형성법에 의하면, 간단하고 공정수가 적은 인쇄공정이기 때문에, 저비용의 프린트 배선판을 제공할 수 있는 효과가 있다.
또, 본 실시예에서는 감광성이 있는 수지를 용제로 녹인 액형상의 감광성 수지를 사용하지 않고, 촉매에 패턴을 형성할 수 있기 때문에, 환경에 우수한 패턴형성법이다.
또한 본 실시예의 도금기술을 사용한 응용으로서는 고분자 필름, 유리기판, 실리콘 기판상에의 구리는 물론 금, 니켈 등의 배선 패턴형성을 들 수 있다.
본 발명의 패턴형성방법의 응용은 다종 다양하며, 현재 주류인 포토리소그래픽법에 의한 패터닝기술을 비롯하여, 인쇄 ·전사법으로 형성되는 것의 대체기술은 말할 것도 없고, 유기 EL용 발광층, 유기 TFT용 반도체 수지패턴의 형성 등의 차세대 기술에도 응용할 수 있어, 본 발명의 패턴형성법은 상기한 실시예에 한정되지 않는다.
또, 지금까지 곤란하게 되어 왔던 마이크로렌즈 등, 단면형상 제어를 필요로 하는 것의 형성에도 응용할 수 있다.
액정표시장치 관계에서는, 투명전극, 프린트판[플렉시블 프린트 서킷(이하, FPC라 함)을 포함한다]의 패터닝용 레지스트인쇄, 컬러필터(블랙 ·매트릭스포함), 오버코트(평탄화층, 절연측 등), 확산 반사판, 마이크로 렌즈 어레이, 확산 반사판 등에 응용할 수 있다.

Claims (23)

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  14. 표면이 실리콘 처리된 요철판의 오목부 및 볼록부에 수지를 도포하여 수지 도포면을 형성하는 공정과,
    수지 도포면이 형성된 요철판을 인쇄 정반 위에 놓여진 피인쇄체 위로 이동시키는 공정과,
    요철판에 형성된 수지 도포면을 피인쇄체에 접촉시켜 피인쇄체 위에 전이시키는 공정에 의하여 요철판의 오목부와 볼록부의 양쪽의 패턴을 피인쇄체에 형성하는 것을 특징으로 하는 화상 형성방법.
  15. 제 14항에 있어서,
    실리콘 처리된 요철판의 오목부 및 볼록부에 수지를 도포하여 상기 수지 도포면을 다이코터, 와이어바코터, 블레이드 코터 또는 키스코터 중 어느 하나에 의하여 형성하는 것을 특징으로 하는 화상 형성방법.
  16. 표면이 실리콘 처리된 요철판과,
    상기 요철판의 오목부 및 볼록부에 수지를 도포하여 수지 도포면을 형성하는 수단과,
    수지 도포면이 형성된 요철판을 인쇄 정반위에 놓여진 피인쇄체 위로 이동시키는 수단과,
    요철판에 형성된 수지 도포면을 피인쇄체에 접촉시켜 피인쇄체 위에 전이시키는 수단에 의하여 요철판의 오목부와 볼록부의 양쪽의 패턴을 피인쇄체에 형성하는 것을 특징으로하는 화상 형성장치.
  17. 제 16항에 있어서,
    실리콘 처리된 요철판의 오목부 및 볼록부에 수지를 도포하여 상기 수지 도포면을 다이코터, 와이어바코터, 블레이드 코터 또는 키스코터 중 어느 하나의 수단에 의하여 형성하는 것을 특징으로 하는 화상 형성장치.
  18. 표면이 실리콘 처리된 실리콘 처리한 기판에 수지를 도포하여 도포면을 형성하는 공정과,
    상기 도포면에 대하여 소정의 요철형상의 표면이 실리콘 처리된 요철판을 접촉시켜 상기 요철판의 볼록부에 수지를 전이시키는 공정과,
    상기 요철판의 볼록부 위에 형성된 수지 화상을 피인쇄체에 접촉시켜 피인쇄체 표면에 전사하는 공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 화상 형성방법.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 실리콘 처리한 기판의 실리콘 처리면에 형성되는 상기 도포면을 다이코터, 와이어바코터, 블레이드 코터, 키스코터 중 어느 하나에 의하여 형성하는 것을 특징으로 하는 화상 형성방법.
  20. 제 18항에 있어서,
    상기 실리콘 처리한 기판이 실리콘, 실리콘수지, 실리콘고무로 표면 처리된 플라스틱 시트, 금속판, 유리판 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 화상 형성방법.
  21. 표면이 실리콘 처리된 실리콘 처리한 기판에 수지를 도포하여 도포면을 형성하는 수단과,
    상기 도포면에 대하여 소정의 요철형상의 표면이 실리콘 처리된 요철판을 접촉시켜 상기 요철판의 볼록부에 수지를 전이시키는 수단과,
    상기 요철판의 볼록부 위에 형성된 수지 화상을 피인쇄체에 접촉시켜 피인쇄체 표면에 전사하는 수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 화상 형성장치.
  22. 제 21항에 있어서,
    상기 실리콘 처리한 기판의 실리콘 처리면에 도포면을 형성하는 수단이 다이코터, 와이어바코터, 블레이드 코터, 키스코터 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 화상 형성장치.
  23. 제 21항에 있어서,
    상기 실리콘 처리한 기판이 실리콘, 실리콘수지, 실리콘고무로 표면 처리된 플라스틱 시트, 금속판, 유리판 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 화상 형성장치.
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