JP2004191984A - 液晶表示装置用カラーフィルタ基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係る製造方法は、絶縁基板上にブラックマトリクスを形成する段階と;上記基板上にカラー転写フィルムを密着させる段階と;上記カラー転写フィルム上にレーザヘッドを位置させる段階と;上記カラー転写フィルムに対しレーザスキャニングを反復して行う段階と;上記ブラックマトリクス内に定義されたカラーフィルタパターン領域にカラーフィルタパターンが残るように、上記カラー転写フィルムを除去する段階と;そして上記カラーフィルタパターンの表面を研磨して上記カラーフィルタパターンの表面を平坦化する段階とを含むものである。
【選択図】図7D
Description
図1Aに図示したように、絶縁基板(10)上に金属物質又は樹脂を基板全面に蒸着(塗布)した後、フォトリソグラフィ法を通してブラックマトリクス(Black Matrix ;以下BMと称する)(15)を形成する。上記BM(15)は、アレー基板上の画素電極以外の部分で液晶分子の非正常的作用により発生する光漏れ現象を防止し、薄膜トランジスタのチヤネル部に光が入射するのを遮断するためのものである。
図2Aに図示したように、絶縁基板(30)上に金属物質又は樹脂を全面に蒸着又は塗布した後、フォトリソグラフィ工程を進行してBM(35)を形成する。
図示したように、多数個のレーザピクセル(52)からなるレーザヘッド(50)は、上記レーザピクセル(52)のオン(ON)、オフ(OFF)を反復しながら横方向に基板(30)より一定間隔離隔してスキャニングをするが、第1横方向スキャニング後、上記レーザヘッド(50)の幅だけ縦方向に移動して第2スキャニングをする。この時、上記第1スキャニング及び第2スキャニングの境界にスキャニング跡(55)が残るようになるが、上記スキャニング跡が画素(P)内のカラーフィルタパターン(45)上に形成される。
上記レーザヘッドは複数個のレーザピクセルを含み、上記レーザピクセルのそれぞれはスキャニング方向に垂直な約5μm乃至約20μmの長さとスキャニング方向に平行な約3μmの幅を有することができる。
以下、添附した図面を参照して本発明の実施例に従う熱転写法によるカラーフィルタ基板の製造方法について説明する。
レーザピクセル(162)は、長さ(L)が5μm乃至20μmであり、幅(W)は3μm乃至5μmの大きさを有する。上記レーザピクセルの大きさは、より大きい大きさを有するものもあるが、レーザピクセル自体のパワー等を考慮して上記大きさ範囲内でレーザヘッドを構成して使用される。本発明の実施例では、20μmx3μm大きさのレーザピクセル(162)を224個連結したレーザヘッド(160)を使用する。従ってレーザヘッド(160)に構成されたレーザピクセル(162)の全体の大きさは4480μmx3μmになり、上記レーザヘッド(160)を利用してレーザスキャニングを行う場合、スキャニング幅は4480μm程度になる。
105:BM
125:カラーフィルタパターン層
130:スキャニング跡
150:研磨機の研磨部
Claims (11)
- 絶縁基板上にブラックマトリクスを形成する段階と;上記基板上にカラー転写フィルムを密着させる段階と;上記カラー転写フィルム上にレーザヘッドを位置させる段階と;上記カラー転写フィルムに対しレーザスキャニングを反復する段階と;上記ブラックマトリクス内に定義されたカラーフィルタパターン領域に、カラーフィルタパターンが残るように上記カラー転写フィルムを除去する段階と;そして上記カラーフィルタパターンの表面を研磨して上記カラーフィルタパターンの表面を平坦化する段階とを含むことを特徴とする液晶表示装置のカラーフィルタ基板製造方法。
- 上記カラーフィルタパターンの表面を研磨する段階は、化学的機械的研磨方法を通して遂行されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置のカラーフィルタ基板製造方法。
- 上記カラーフィルタの表面を研磨する研磨機は、基板の全体を研磨することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置のカラーフィルタ基板製造方法。
- 上記カラーフィルタの表面を研磨する研磨機は、基板の一部を選択的に研磨することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置のカラーフィルタ基板製造方法。
- n番目(nは自然数)スキャニング領域と(n-1)番目スキャニング領域との間の境界は上記カラーフィルタパターン上に位置することを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置のカラーフィルタ基板製造方法。
- 上記カラーフィルタパターンの表面を研磨する段階以前に、上記カラーフィルタパターンを硬化させる段階を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置のカラーフィルタ基板製造方法。
- 上記カラーフィルタパターン上部に共通電極を形成する段階を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置のカラーフィルタ基板製造方法。
- 上記カラーフィルタパターンは、上記ブラックマトリクス上部に形成されることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置のカラーフィルタ基板製造方法。
- 上記レーザヘッドは複数個のレーザピクセルを含むことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置のカラーフィルタ基板製造方法。
- 上記レーザピクセルのそれぞれは、スキャニング方向に垂直な約5μm乃至約20μmの長さを有することを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装置のカラーフィルタ基板製造方法。
- 上記レーザピクセルのそれぞれは、スキャニング方向に平行な約3μmの幅を有することを特徴とする請求項9に記載の液晶表示装置のカラーフィルタ基板製造方法。
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---|---|---|---|---|
US8273423B2 (en) * | 2004-09-29 | 2012-09-25 | Sharp Kabushiki Kaisha | Color filter substrate, liquid crystal display device, production method of color filter substrate, production method of liquid crystal display device |
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US5981112A (en) * | 1997-01-24 | 1999-11-09 | Eastman Kodak Company | Method of making color filter arrays |
US6242140B1 (en) * | 1997-05-23 | 2001-06-05 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Method for manufacturing color filter |
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JPH1195019A (ja) * | 1997-09-25 | 1999-04-09 | Canon Inc | カラーフィルタ支持基板の再生方法 |
JPH11242108A (ja) * | 1998-02-24 | 1999-09-07 | Toray Ind Inc | カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、および液晶表示装置 |
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US6929827B2 (en) * | 2000-09-27 | 2005-08-16 | Dainippon Ink And Chemicals, Inc. | Method of producing color filter |
KR100469561B1 (ko) * | 2002-12-24 | 2005-02-02 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 액정표시장치용 컬러필터 기판 제조 방법 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010525407A (ja) * | 2007-04-26 | 2010-07-22 | コダック グラフィック コミュニケーションズ カナダ カンパニー | 複数の走査による特徴の撮像 |
JP2011503637A (ja) * | 2007-09-25 | 2011-01-27 | コダック グラフィック コミュニケーションズ カナダ カンパニー | 各種速度での双方向画像形成 |
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