JPH11242108A - カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、および液晶表示装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来のカラーフィルターにおいては、表面の平
坦性が不十分であり、液晶表示装置において、カラーフ
ィルターの表面の凹凸に基づく表示不良が発生する場合
があった。この点を改良し、液晶表示装置の表示不良発
生を防止するのに好適なカラーフィルターの製造方法を
提供する。 【解決手段】少なくとも光透過性基板、ブラックマトリ
クス、３原色からなる着色層、オーバーコートからなる
カラーフィルターの製造方法において、該着色層を研磨
してから該オーバーコートを形成する工程を含むことを
特徴とするカラーフィルターの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルター
の製造方法、カラーフィルター、液晶表示装置に関する
ものであるが、特に、高い平坦性を有するカラーフィル
ターの製造方法、および、該製造方法により製造した平
坦性に優れたカラーフィルター、さらに、該カラーフィ
ルターを使用した液晶表示装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、液晶素子に色分解用カラーフィル
ターを組み合わせたカラー液晶表示素子が多々提案され
ている。ここで、カラーフィルターとは、光透過性基板
上に形成された赤、緑、青の３原色の画素を一絵素とし
た多数の絵素から構成され、各画素間には、表示コント
ラストを高めるために、一定の幅をもつ遮光領域（ブラ
ックマトリクス）が設けられているものであり、必要に
応じて、オーバーコートや透明電極を配しているものも
ある。オーバーコートには、カラーフィルターの表面を
平坦化する能力（平坦化特性）、下層を構成する光透過
性基板、画素、および、ブラックマトリクスとの接着
性、上層を構成する透明電極などとの接着性、液晶セル
を構成するための封止剤との接着性、画素不純物成分の
遮断性、平滑性、耐光性、耐湿熱性、耐溶剤性、耐薬品
性、耐熱性、および液晶セルを製造する際の基板貼り合
わせ工程における耐圧性、強靱性等の幅広い特性が要求
される。

【０００３】とくに、液晶表示装置に、高視野角化、高
速応答化などの高性能化が要求される場合には、カラー
フィルターの平坦性が重要となるため、オーバーコート
の平坦化特性の向上が望まれる。

【０００４】このようなオーバーコートとして、従来、
シロキサンポリマー、シリコーンポリイミド、エポキシ
樹脂、アクリル樹脂等が使用されてきた。

【０００５】シロキサンポリマーのひとつであるポリア
ルキルシルセスキオキサンとしては、たとえば特開昭６
３−２４１０７６号公報、特開平３−１２６６１２号公
報、特開平３−１８８１７９号公報等に示されるように
広く知られている。また、シリコーンポリイミドについ
ては特開昭６１−１０３９２７号公報や特開昭６３−２
９１９２２号公報等に示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
オーバーコートにおいては、平坦化特性が不十分であ
り、液晶表示装置において、カラーフィルターの表面の
凹凸に基づく表示不良が発生する場合があった。

【０００７】本発明はかかる従来技術の欠点を改良し、
液晶表示装置の表示不良発生を防止するのに好適なカラ
ーフィルターの製造方法、および該製造方法により製造
した平坦性に優れたカラーフィルター、該カラーフィル
ターを使用した液晶表示装置を提供せんとすることを目
的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】前記課題を達成するた
め、本発明は次のような構成をとる。

【０００９】本発明のカラーフィルターの製造方法は、
少なくとも光透過性基板、ブラックマトリクス、３原色
からなる着色層、オーバーコートからなるカラーフィル
ターの製造方法において、該着色層を研磨してから該オ
ーバーコートを形成する工程を含むことを特徴とするも
のである。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明者は、カラーフィルターの
平坦性を向上させるためには、オーバーコートを塗布す
る前に、着色層を研磨すること、すなわち、着色層の一
部を研磨してからオーバーコートを塗布することが有効
であることを見いだした。

【００１１】このことを図１を用いて説明する。

【００１２】図１は、本発明のカラーフィルターの断面
図であり、光透過性基板（１）上にパターン状に形成さ
れたブラックマトリクス（２）、該ブラックマトリクス
の存在しない開口部に形成された着色層（３）、およ
び、該着色層上に形成されたオーバーコート（４）から
なるカラーフィルターを示している。ここで、着色層
（２）は、一部、研磨されており、その上にオーバーコ
ートが塗布されているため、平坦性に優れたカラーフィ
ルターが得られている。

【００１３】一方、図２は従来のカラーフィルターの断
面図であり、図１と同様の構成のカラーフィルターであ
るが、着色層が研磨されていないため、平坦性は不良で
ある。

【００１４】ここで、着色層の研磨する部分は、カラー
フィルターの平坦性を向上するために、開口部における
着色層膜厚の最小値に０．３μｍを加えた厚みを越える
部分とすることが好ましい。研磨する部分が、この厚み
より少ないと、カラーフィルターの平坦性が不十分とな
り、また、多いと、研磨精度の問題により、開口部内に
研磨傷などが発生し、液晶表示装置の表示不良の原因と
なる。

【００１５】また、研磨する位置については、着色層が
盛り上がる部分であるブラックマトリクスと着色層の重
なった部分とすることが好ましい。

【００１６】研磨の方法については、一般にＣＭＰ（Ｃ
ｈｅｍｉｃａｌ Ｍｅｃｈａｎｉｃaｌ Ｐｏｌｉｓｈ
ｉｎｇ）と呼ばれる方法、すなわち、微粒子などの研磨
剤と研磨パッド、研磨布、あるいは、研磨テープなどを
組み合わせた研磨装置を使用した方法により行われる
が、これらに限定されない。

【００１７】本発明におけるカラーフィルターは、光透
過性基板上に、ブラックマトリクス、３原色からなる着
色層、および、オーバーコートから構成されたもの、あ
るいは、光透過性基板上に、ブラックマトリクス、３原
色からなる着色層、ブラックマトリクス上の一部に３原
色からなる着色層の積層により形成された複数個のドッ
ト状スペーサー、および、オーバーコートから構成され
たもののことであり、着色層を研磨することにより、良
好な平坦性を得ることができる。

【００１８】また、本発明におけるカラーフィルターに
は、オーバーコート上に透明電極が設けられていてもよ
い。

【００１９】ここで、光透過性基板は、通常、ガラス基
板が使用される。

【００２０】また、ドット状スペーサーは、液晶表示装
置製造工程上のスペーサー散布を不要にするものであ
り、歩留まり向上に大きく寄与する。

【００２１】ブラックマトリクスは画素間の遮光領域で
あり、液晶表示装置のコントラスト向上などの役割を果
たすものであるが、微細なパターンからなる金属薄膜よ
り形成されることが多い。金属としては、Ｃｒ、Ｎｉ、
Ａｌなどが使用される。金属薄膜の形成方法としては、
スパッタ法や真空蒸着法などが広く用いられている。ま
た、微細なパターンについては、金属薄膜上に、フォト
リソグラフィ法によりフォトレジストのパターンを形成
した後、このレジストパターンをエッチングマスクとし
て金属薄膜のエッチングを行うことにより得られる。

【００２２】ところが、金属薄膜により形成されたブラ
ックマトリクスは、製造コストが高く、カラーフィルタ
ーそのものの価格を引き上げる原因となっている。さら
に、ブラックマトリクス用金属薄膜として一般的に用い
られているＣｒは、反射率が高いため、外光の強い場所
ではＣｒの反射光により表示品位が著しく低下するとい
う問題をもつ。また、ブラックマトリクスの反射率を低
減するために、Ｃｒと光透過性基板の間に酸化クロムの
層を設ける方法が提案されているが、製造コストの面か
らみて、好ましくない。

【００２３】そのため、ブラックマトリクスとしては、
遮光剤を樹脂中に分散した樹脂ブラックマトリクスを使
用することが好ましい。

【００２４】樹脂ブラックマトリクスに使用される遮光
剤としては、カーボンブラックや、酸化チタン、四酸化
鉄などの金属酸化物粉や、金属硫化物粉や、金属粉の他
に、赤、青、緑色の顔料混合物などを用いることができ
る。この中でも、とくにカーボンブラックは、遮光性に
優れており、好ましい。

【００２５】遮光剤としてカーボンブラックを使用する
場合、色調を無彩色とするため、カーボンブラックの補
色の顔料を混合することが好ましい。補色用の顔料とし
ては、青色顔料、および、紫色顔料を、それぞれ単独
で、あるいは、両者を混合して使用することができる。

【００２６】遮光剤として、カーボンブラックとカーボ
ンブラックに対して補色の顔料を用いた場合には、高い
遮光性を得るために、遮光剤中にしめるカーボンブラッ
クの割合を、５０重量％以上にするのが好ましく、より
好ましくは６０重量％以上、さらに好ましくは７０重量
％以上である。

【００２７】カーボンブラックの補色として使用する代
表的な顔料の例をカラーインデックスナンバーで示す。
青色顔料の例としては、ピグメントブルー１５、１５：
１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、
２１、２２、６０、６４などが挙げられるが、とくにピ
グメントブルー１５、１５：１、１５：２、１５：６が
好ましい。紫色顔料の例としては、ピグメントバイオレ
ット１９、２３、２９、３１、３２、３３、３６、３
７、３９、４３、５０などが挙げられるが、とくに、ピ
グメントバイオレット２３、３１、３３、４３、５０が
好ましい。

【００２８】これ以外にも、緑色顔料、黄色顔料、オレ
ンジ色顔料なども適宜添加しても構わないが、遮光剤中
にしめる割合としては、１０重量％以下が好ましい。こ
れ以上にすると、ブラック・マトリクスの膜厚あたりの
遮光性が低下しやすくなり好ましくない。

【００２９】樹脂ブラックマトリクスに使用される樹脂
としては、アクリル系、エポキシ系などの透明樹脂を使
用することができるが、塗膜の耐熱性、耐光性、耐溶剤
性からみて、ポリマーとしては、ポリアミック酸を使用
することが好ましい。

【００３０】ポリアミック酸は、テトラカルボン酸二無
水物とジアミンを反応させることにより得ることができ
る。

【００３１】ポリアミック酸の合成には、テトラカルボ
ン酸二無水物として、たとえば、脂肪族系または脂環式
系のものを用いることができ、その具体的な例として、
１，２，３，４−シクロブタンテトラカルボン酸二無水
物、１，２，３，４−シクロペンタンテトラカルボン酸
二無水物、１，２，３，５−シクロペンタンテトラカル
ボン酸二無水物、１，２，４，５−ビシクロヘキセンテ
トラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−シクロヘキ
サンテトラカルボン酸二無水物、１，３，３ａ，４，
５，９ｂ−ヘキサヒドロ−５−（テトラヒドロ−２，５
−ジオキソ−３−フラニル）−ナフト［１，２−Ｃ］フ
ラン−１，３−ジオンなどが挙げられる。また、芳香族
系のものを用いると、耐熱性の良好な膜に変換しうるポ
リアミック酸を得ることができ、その具体的な例とし
て、３，３´，４，４´−ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸二無水物、ピロメリット酸二無水物、３，４，９，
１０−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、３，３´，
４，４´−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水
物、４，４´−オキシジフタル酸無水物、３，３´，
４，４´−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、１，
２，５，６−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、
３，３”，４，４”−パラターフェニルテトラカルボン
酸二無水物、３，３”，４，４”−メタターフェニルテ
トラカルボン酸二無水物が挙げられる。また、フッ素系
のものを用いると、短波長領域での透明性が良好な膜に
変換しうるポリアミック酸を得ることができ、その具体
的な例として、４，４´−（ヘキサフルオロイソプロピ
リデン）ジフタル酸無水物などが挙げられる。なお、本
発明は、これらに限定されずにテトラカルボン酸二無水
物が１種または２種以上用いられる。

【００３２】また、ジアミンとして、たとえば、脂肪族
系または脂環式系のものを用いることができ、その具体
的な例として、１，３−ジアミノシクロヘキサン、１，
４−ジアミノシクロヘキサン、４，４´−ジアミノ−
３，３´−ジメチルジシクロヘキシルメタン、４，４´
−ジア。ミノ−３，３´−ジメチルジシクロヘキシルな
どが挙げられる。また、芳香族系のものを用いると、耐
熱性の良好な膜に変換しうるポリアミック酸を得ること
ができ、その具体的な例として、４，４´−ジアミノジ
フェニルエーテル、３，４´−ジアミノジフェニルエー
テル、４，４´−ジアミノジフェニルメタン、３，３´
−ジアミノジフェニルメタン、４，４´−ジアミノジフ
ェニルスルホン、３，３´−ジアミノジフェニルスルホ
ン、４，４´−ジアミノジフェニルサルファイド、ｍ−
フェニレンジアミン、ｐ−フェニレンジアミン、２，４
−ジアミノトルエン、２，５−ジアミノトルエン、２，
６−ジアミノトルエン、ベンジジン、３，３´−ジメチ
ルベンジジン、３，３´−ジメトキシベンジジン、ｏ−
トリジン、４，４”−ジアミノターフェニル、１，５−
ジアミノナフタレン、３，３´−ジメチル−４，４´−
ジアミノジフェニルメタン、４，４´−ビス（４−アミ
ノフェノキシ）ビフェニル、２，２−ビス［４−（４−
アミノフェノキシ）フェニル］プロパン、ビス［４−
（４−アミノフェノキシ）フェニル］エ−テル、ビス
［４−（４−アミノフェノキシ）フェニル］スルホン、
ビス［４−（３−アミノフェノキシ）フェニル］スルホ
ンなどが挙げられる。また、フッ素系のものを用いる
と、短波長領域での透明性が良好な膜に変換しうるポリ
アミック酸を得ることができ、その具体的な例として、
２，２−ビス［４−（４−アミノフェノキシ）フェニ
ル］ヘキサフルオロプロパンなどが挙げられる。

【００３３】また、ジアミンの一部として、シロキサン
ジアミンを用いると、無機基板との接着性を良好にする
ことができる。シロキサンジアミンは、通常、全ジアミ
ン中の１〜２０モル％量用いる。シロキサンジアミンの
量が少なすぎれば接着性向上効果が発揮されにくく、多
すぎれば耐熱性が低下しやすくなる。シロキサンジアミ
ンの具体例としては、ビス−３−（アミノプロピル）テ
トラメチルシロキサンなどが挙げられる。本発明は、こ
れに限定されずにジアミンが１種または２種以上用いら
れる。

【００３４】ポリアミック酸の合成は、極性有機溶媒中
でテトラカルボン酸二無水物とジアミンを混合して反応
させることにより行うのが一般的である。この時、ジア
ミンとテトラカルボン酸二無水物の混合比により、得ら
れるポリアミック酸の重合度を調節することができる。

【００３５】このほか、テトラカルボン酸ジクロライド
とジアミンを極性有機溶媒中で反応させて、その後、塩
酸と溶媒を除去することによってポリアミック酸を得る
など、ポリアミック酸を得るには種々の方法がある。

【００３６】このようにして得られる樹脂ブラックマト
リクスは、遮光性を確保するために、１μｍ程度の膜厚
が必要である。したがって、樹脂ブラックマトリクスを
使用したカラーフィルターにおいては、樹脂ブラックマ
トリクスの膜厚に基づくカラーフィルター表面段差を低
減し、平坦性を向上させるため、オーバーコートが必要
となる場合がある。このような場合、着色層を研磨して
からオーバーコートを形成することにより、平坦性の良
好なカラーフィルターを得ることができる。

【００３７】一方、３原色の着色層については、色素を
樹脂中に分散したものを用いることができる。顔料は３
原色を表すために適当なものを組み合わせて使用するこ
とができる。使用できる色素としては、赤、橙、黄、
緑、青、紫などの顔料や染料が挙げられるが、これらに
限定されない。また、樹脂としては、アクリル系、エポ
キシ系などの透明樹脂を使用することができるが、塗膜
の耐熱性、耐光性、耐溶剤性からみて、ポリマとして
は、ポリアミック酸を使用することが好ましい。

【００３８】本発明に用いられるオーバーコートとして
は、オルガノポリシロキサン、シリコーンポリイミド、
エポキシ樹脂、アクリル樹脂などを使用できる。

【００３９】また、透明電極は、通常、インジウム・錫
酸化物（ＩＴＯ）が使用される。透明電極は、液晶を駆
動させるために必要なものであるが、横電界駆動の表示
方式の液晶表示装置では、透明電極はカラーフィルター
側には必要でないため、透明電極を設けないカラーフィ
ルターが使用される。

【００４０】本発明の液晶表示装置は、本発明のカラー
フィルターを使用したことを特徴とするものである。本
発明のカラーフィルターを使用することにより、液晶表
示装置においては、カラーフィルター表面の凹凸に基づ
く表示不良の発生を防止することが可能となる。

【００４１】

【実施例】以下に、実施例により、本発明をさらに具体
的に説明するが、本発明はこれらに限定されない。

【００４２】実施例１ 以下の工程によりカラーフィルターを作成した。

【００４３】（樹脂ブラックマトリクス層の作成）温度
計、乾燥窒素導入口、温水・冷却水による加熱・冷却装
置、および、攪拌装置を付した２０Ｌの反応釜に、γ−
ブチロラクトン １６６４４．１ｇ、４，４’−ジアミ
ノジフェニルエーテル ６００．７ｇ（３．０ｍｏ
ｌ）、３，３’−ジアミノジフェニルスルホン ６７
０．２ｇ（２．７ｍｏｌ）、ビス−３−（アミノプロピ
ル）テトラメチルシロキサン ７４．６ｇ（０．３ｍｏ
ｌ）を投入し、釜を３０℃に加熱した。３０分後、３，
３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無
水物 ６４４．４ｇ（２．０ｍｏｌ）、ピロメリット酸
二無水物 ６４１．３ｇ（２．９４ｍｏｌ）、３，
３’，４，４’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物
２９４．２ｇ（１．０ｍｏｌ）を投入し、釜を５８℃
に加熱した。３時間後、無水マレイン酸 １１．８ｇ
（０．１２ｍｏｌ）を添加し、５８℃でさらに１時間加
熱することにより、ポリアミック酸のＮＭＰ溶液（Ａ
１）を得た。

【００４４】カーボンブラック ４．６ｇ、ポリアミッ
ク酸溶液（Ａ１） ２４．０ｇ、Ｎ−メチルピロリドン
６１．４ｇをガラスビーズ ９０ｇとともにホモジナ
イザーを用い、７０００ｒｐｍで３０分間分散処理後、
ガラスビーズを濾過により除去し、カーボンブラックミ
ルベースを得た。

【００４５】また、ピグメントブルー１５：６ ２．２
ｇ、ポリアミック酸溶液（Ａ１）２４．０ｇ、Ｎ−メチ
ルピロリドン ６３．８ｇをガラスビーズ ９０ｇとと
もにホモジナイザーを用い、７０００ｒｐｍで３０分間
分散処理後、ガラスビーズを濾過により除去し、青顔料
ミルベースを得た。

【００４６】得られた両ミルベースを全量混合すること
により、樹脂ブラックマトリクス用ペーストを得た。

【００４７】樹脂ブラックマトリクス用ぺーストを無ア
ルカリガラス基板（厚さ０．７ｍｍ）上にスピンコート
し、５０℃で１０分間、９０℃で１０分間、１１０℃で
２０分間オーブンを用いて空気中で加熱乾燥して、膜厚
１．３μｍのポリイミド前駆体着色膜を得た。この膜上
にポジ型フォトレジスト（東京応化社製ＯＦＰＲ−８０
０）を塗布し、８０℃で２０分間加熱乾燥して膜厚１μ
ｍのレジスト膜を得た。キャノン社製紫外線露光機ＰＬ
Ａ−５０１Ｆを用い、クロム製のフォトマスクを介し
て、波長３６５ｎｍでの強度が５０ｍＪ／ｃｍ²の紫外
線を照射した。露光後、テトラメチルアンモニウムハイ
ドロオキサイドの２．３８ｗｔ％の水溶液からなる現像
液に浸漬し、フォトレジストおよびポリイミド前駆体着
色被膜の現像を同時に行った。エッチング後、不要とな
ったフォトレジスト層をメチルセロソルブアセテートで
剥離した。さらにこのようにして得られたポリイミド前
駆体着色被膜を窒素雰囲気中で３００℃で３０分間熱処
理し、膜厚１．０μｍのポリイミド着色パターン被膜を
得た。

【００４８】（着色層の作成）次に、赤、緑、青の顔料
として、それぞれ、ピグメントレッド１７７、ピグメン
トグリーン３６、ピグメントブルー１５：６を用意し、
ポリアミック酸溶液（Ａ１）と混合分散し、赤、青、緑
の３種類の着色ペーストを得た。

【００４９】得られた赤ペーストを樹脂ブラックマトリ
クス基板上にスピンコートし、５０℃で１０分間、９０
℃で１０分間、１１０℃で２０分間オーブンを用いて空
気中で加熱乾燥して、開口部での最小膜厚が１．２μｍ
のポリイミド前駆体着色膜を得た。この膜上にポジ型フ
ォトレジスト（東京応化社製ＯＦＰＲ−８００）を塗布
し、８０℃で２０分間加熱乾燥して膜厚１．１μｍのレ
ジスト膜を得た。キャノン社製紫外線露光機ＰＬＡ−５
０１Ｆを用い、クロム製のフォトマスクを介して、波長
３６５ｎｍでの強度が５０ｍＪ／ｃｍ²の紫外線を照射
した。露光後、テトラメチルアンモニウムハイドロオキ
サイドの２．３８ｗｔ％の水溶液からなる現像液に浸漬
し、フォトレジストおよびポリイミド前駆体着色被膜の
現像を同時に行った。エッチング後、不要となったフォ
トレジスト層をメチルセロソルブアセテートで剥離し
た。さらに、このようにして得られたポリイミド前駆体
着色被膜を窒素雰囲気中で３００℃で３０分間熱処理
し、開口部の最小膜厚が１．０μｍのストライプ状のポ
リイミド赤色パターン被膜を得た。

【００５０】その後、同様にして、緑ペースト、青ペー
ストのパターンを形成し、赤、緑、青の３原色を有する
カラーフィルターを得た。

【００５１】（着色層の研磨）着色層をシリカ微粒子と
研磨布からなる研磨装置により研磨した。その結果、開
口部の着色層の最小膜厚（１．０μｍ）に０．２μｍを
加えた値、すなわち、１．２μｍより高い部分の着色層
は、研磨された。

【００５２】（オーバーコート層の作成）γ−アミノプ
ロピルメチルジエトキシシラン １９１．５ｇを３−メ
チル−３−メトキシブタノール ４１４．７ｇおよびγ
−ブチロラクトン ４１４．７ｇの混合液に加えて、３
０℃攪拌下に無水ナジック酸 １６４．０ｇを添加し
た。そのまま２時間攪拌し、ポリナジックイミドシロキ
サン前駆体溶液を得た。

【００５３】得られたポリナジックイミドシロキサン前
駆体溶液を前記カラーフィルターにスピンコートし、１
００℃で５分、２５０℃で３０分加熱することにより、
厚さ１μｍのオーバーコートとした。

【００５４】東京精密（製）サーフコム１５００Ａを用
いて、得られたカラーフィルターの表面形状を観察した
結果、カラーフィルターの面内における段差は、０．０
５μｍであった。

【００５５】（液晶表示装置の作成）さらに、得られた
カラーフィルターを中性洗剤で洗浄した後、ポリイミド
樹脂からなる配向膜を印刷法により塗布し、ホットプレ
ートで２５０℃、１０分間加熱した。膜厚は０．０７μ
ｍであった。この後、カラーフィルター基板をラビング
処理し、シール剤をディスペンス法により塗布、ホット
プレートで９０℃、１０分間加熱した。

【００５６】一方、ガラス上に横電界駆動用のＴＦＴア
レイを形成した基板も同様に洗浄した後、配向膜を塗
布、加熱する。その後、直径５．５μｍの球状スペーサ
ーを散布し、前記カラーフィルター基板と重ね合わせ、
オーブン中で加圧しながら１６０℃で９０分間加熱し
て、シール剤を硬化させる。このセルを１２０℃、１
３．３Ｐａで４時間、続いて、窒素中で０．５時間放置
した後に、再度真空下において液晶注入を行った。液晶
注入は、セルをチャンバーに入れて、室温で１３．３Ｐ
ａまで減圧した後、液晶注入口を液晶に漬けて、窒素を
用いて常圧に戻すことにより行った。液晶注入後、紫外
線硬化樹脂により、液晶注入口を封口した。次に、偏光
板をセルの２枚のガラス基板の外側に貼り付け、セルを
完成させた。さらに、得られたセルをモジュール化し
て、横電界駆動の液晶表示装置を完成させた。得られた
液晶表示装置を観察した結果、表示不良はないことがわ
かった。

【００５７】比較例１ 着色層を研磨しないこと以外は、実施例１と同様にして
カラーフィルターを作成した。

【００５８】実施例１と同様にして、表面形状を観察し
た結果、段差は０．３０μｍであった。

【００５９】また、得られたカラーフィルターを使用し
て、実施例１と同様にして横電界駆動の液晶表示装置を
作成したが、色ムラなどの表示不良が認められた。

【００６０】実施例２ 実施例１で得られたカラーフィルターに以下の工程で透
明電極を付与した。

【００６１】（透明電極層の作成）スパッタリング法に
より、オーバーコート上にＩＴＯを製膜したところ、膜
厚が１４００オングストロームで、表面抵抗が１５Ω／
□のＩＴＯが得られた。

【００６２】得られたカラーフィルターについて、実施
例１と同様にして、表面形状を観察した結果、段差は
０．０７μｍであった。

【００６３】また、得られたカラーフィルターを使用し
て、縦電界駆動用のＴＦＴ基板を使用した以外、実施例
１と同様の手順により、縦電界駆動の液晶表示装置を作
成したが、表示不良はなかった。

【００６４】実施例３ 実施例１と同様にしてカラーフィルターを作成する際
に、着色層の膜厚をすべて１．８μｍとし、さらに、各
着色層の形成と同時に樹脂ブラックマトリクス上にスペ
ーサーを形成したカラーフィルターを作成した。なお、
形成したスペーサーは３原色が積層された形態をとって
いる。

【００６５】得られたカラーフィルターについて、実施
例１と同様にして、表面形状を観察した結果、段差は
０．０３μｍであった。

【００６６】また、得られたカラーフィルターを使用し
て、スペーサーの散布を取り止める以外、実施例１と同
様の手順により、横電界駆動の液晶表示装置を作成した
が、表示不良はなかった。

【００６７】

【発明の効果】本発明は上述のごとく構成したので、カ
ラーフィルター表面の平坦性を向上させることが可能と
なるカラーフィルターの製造方法を提供することができ
る。また、本発明のカラーフィルターの製造方法により
製造したカラーフィルターを使用することにより、液晶
表示装置における、カラーフィルター表面の凹凸に基づ
く表示不良の発生を防止することが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のカラーフィルターの断面図である。

【図２】従来のカラーフィルターの断面図である。

【符号の説明】

１：光透過性基板 ２：ブラックマトリクス ３：着色層 ４：オーバーコート

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも光透過性基板、ブラックマトリ
   クス、３原色からなる着色層、オーバーコートからなる
   カラーフィルターの製造方法において、該着色層を研磨
   してから該オーバーコートを形成する工程を含むことを
   特徴とするカラーフィルターの製造方法。
2. 【請求項２】開口部における着色層膜厚の最小値に０．
   ３μｍを加えた厚みを越える部分の着色層を研磨するこ
   とを特徴とする請求項１記載のカラーフィルターの製造
   方法。
3. 【請求項３】ブラックマトリクスと着色層の重なった部
   分の着色層を研磨することを特徴とする請求項１または
   ２記載のカラーフィルターの製造方法。
4. 【請求項４】ブラックマトリクス上の一部に３原色から
   なる着色層の積層により形成された複数個のドット状ス
   ペーサーを有することを特徴とする請求項１〜３のいず
   れかに記載のカラーフィルターの製造方法。
5. 【請求項５】透明電極層がオーバーコート上に設けられ
   たことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のカ
   ラーフィルターの製造方法。
6. 【請求項６】ブラックマトリクスが、遮光剤を樹脂中に
   分散したものであることを特徴とする請求項１〜５のい
   ずれかに記載のカラーフィルターの製造方法。
7. 【請求項７】請求項１〜６のいずれかに記載のカラーフ
   ィルターを製造方法により製造したことを特徴とするカ
   ラーフィルター。
8. 【請求項８】請求項７記載のカラーフィルターを使用し
   たことを特徴とする液晶表示装置。