JPH085829A - 液晶表示素子用カラーフィルタ - Google Patents

液晶表示素子用カラーフィルタ

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JPH085829A
JPH085829A JP13886894A JP13886894A JPH085829A JP H085829 A JPH085829 A JP H085829A JP 13886894 A JP13886894 A JP 13886894A JP 13886894 A JP13886894 A JP 13886894A JP H085829 A JPH085829 A JP H085829A
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JP
Japan
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color filter
liquid crystal
crystal display
light
display device
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Application number
JP13886894A
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English (en)
Inventor
Keijiro Inoue
敬二郎 井上
Fumio Tomita
文雄 冨田
Tetsuya Goto
哲哉 後藤
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Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【構成】光透過性基板上に、遮光剤を樹脂中に分散させ
てなるブラックマトリックス、画素、保護膜をこの順に
積層せしめてなる液晶表示素子用カラーフィルタにおい
て、該ブラックマトリックスは、波長430〜640n
mの可視光域において膜厚1μmあたりの光学濃度が
2.3以上の遮光性を有しており、該保護膜の膜厚が2
0μm以下でかつ保護膜上での表面段差が0.5μm以
下であることを特徴とする液晶表示素子用カラーフィル
タ。 【効果】遮光剤を樹脂中に分散させてなる遮光性に優れ
たブラックマトリックスを有し、保護膜上で表面段差が
0.5μm以下のカラーフィルタにすることによって、
表示品位の優れた液晶表示素子が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、液晶表示素子に使用さ
れるカラーフィルタに関するものであり、さらに詳しく
は、表示特性に優れたカラーフィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、液晶表示素子用カラーフィルタ
は、光透過性基板上に形成された赤、緑、青の三原色の
画素を一絵素として多数の絵素から構成されている。そ
して、各画素間には、表示コントラストを高めるために
一定の幅を持つ遮光領域(画面上では、一般に黒色に見
えることから、ブラックマトリックスと称されている)
が設けられている。
【0003】従来のカラーフィルタは、予めフォトリソ
グラフィ法で作製されたブラックマトリックスを利用し
ており、微細なパターンからなる金属薄膜により形成さ
れることが多い。このブラックマトリックスに用いられ
ている金属としては、Cr、Ni、Al等があり、その
形成方法としては、スパッタ法や真空蒸着法などの真空
薄膜形成法が広く用いられている。次に、微細なパター
ンを形成するために、通常フォトリソグラフィ法により
フォトレジストのパターンを形成した後、このレジスト
パターンをエッチングマスクとして金属薄膜のエッチン
グを行なう。この工程により、フォトレジストの微細パ
ターンと一致する金属薄膜の微細パターンを形成するこ
とができる。
【0004】また、画素を形成する方法としては、フォ
トリソグラフィ法を用いて形成した可染媒体を染色する
方法、感光性の顔料分散組成物を用いる方法、非感光性
の顔料分散組成物をエッチングする方法、パターニング
した電極を利用した電着法などの他に、低コストの製造
方法として印刷法やインクジェット法で着色部分を形成
する方法もある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところが、金属薄膜に
より形成されたブラックマトリックスは、金属薄膜を形
成する工程での製造コストが高く、カラーフィルタその
ものの価格を引き上げる原因になっている。さらに、ブ
ラックマトリックス用の金属薄膜として一般に用いられ
ているCrは反射率が高いため、外光の強い場所ではC
r面からの反射光も強く、特に透過型のディスプレーに
カラーフィルタを組み込んだ場合には、表示品位を著し
く損ねるという問題があった。ブラックマトリックスの
反射率を低くさせるために、Crと光透過性基板間に酸
化クロムのような層を設ける方法が提案されているが、
ブラックマトリックスの製造コストはさらに増加するこ
とになり、コストダウンの点からは好ましくない。
【0006】このため、例えば遮光剤によって着色され
た樹脂をパターニング化してブラックマトリックスを形
成した後、画素を形成してカラーフィルタを製造する方
法が提案されている(特開平2−239204号公報
等)。遮光剤としては、主に遮光性の高いカーボンブラ
ックが用いられているが、金属薄膜と比べると、まだ十
分な遮光性が得られてはいない。そのため、液晶表示に
おいて、バックライト光がブラックマトリックス通して
表示面に漏れてくるという問題があった。しかも、カー
ボンブラックの透過光は着色しており、その着色した光
が漏れてくるため、特に黒色や輝度の低い色を表示した
場合、所望の色が表示できないという問題があった。遮
光性を向上させるためにはブラックマトリックスの膜厚
を厚くすればよいが、今度は、カラーフィルタ表面の平
坦性が低下して、画質が低下するという新たな問題が発
生する。
【0007】本発明は、かかる技術の諸欠点に鑑み、創
案されたもので、その目的とするところは、液晶表示素
子に組み込んだ場合に優れた画質を表示できるカラーフ
ィルタを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】かかる本発明の目的は、
光透過性基板上に、遮光剤を樹脂中に分散させてなるブ
ラックマトリックス、画素、保護膜をこの順に積層せし
めてなる液晶表示素子用カラーフィルタにおいて、該ブ
ラックマトリックスは、波長430〜640nmの可視
光域において膜厚1μmあたりの光学濃度が2.3以上
の遮光性を有しており、該保護膜の膜厚が20μm以下
でかつ保護膜上での表面段差が0.5μm以下であるこ
とを特徴とする液晶表示素子用カラーフィルタにより達
成できる。以下、詳細に説明する。
【0009】本発明の液晶表示素子用カラーフィルタ
は、光透過性基板上に、遮光剤を樹脂中に分散させてな
るブラックマトリックス、画素、保護膜をこの順に積層
せしめてなる。
【0010】まず最初に、本発明に用いられる光透過性
基板としては、特に限定されるものではなく、石英ガラ
ス、ホウケイ酸ガラス、表面をシリカコートしたソーダ
ライムガラスなどの無機ガラス類、有機プラスチックの
フィルムまたはシートなどが好ましく用いられる。
【0011】次に、光透過性基板上に遮光剤を樹脂中に
分散させてなるブラックマトリックスを形成する。ブラ
ックマトリックスは、波長430〜640nmの可視光
域において膜厚1μmあたりの光学濃度が2.3以上の
遮光性を有している。より好ましくは3.1以上、さら
に好ましくは4.0以上である。さらに、該保護膜の膜
厚が20μm以下でかつ保護膜上での表面段差が0.5
μm以下であることが必要である。以下、波長430〜
640nmの可視光域において膜厚1μmあたりの光学
濃度を遮光性と定義する。遮光性を向上させるために
は、遮光剤の分散および分散安定性を向上させるのが重
要である。
【0012】ブラックマトリックスの膜厚としては、保
護膜上での表面段差を0.5μm以下にするため、1μ
m未満にするのが好ましく、より好ましくは0.75μ
m以下、さらに好ましくは0.5μm以下である。ブラ
ックマトリックスの膜厚を薄くするほど、保護膜上での
表面段差が小さくなり好ましい。下限としては特に限定
されないが、ブラックマトリックスの強度、パターンの
寸法精度などの点から0.3μm以上が好ましい。
【0013】ブラックマトリックス用の樹脂としては、
特に限定されず、種々のものを用いることができる。例
えば、エポキシ系樹脂、アクリル系、ポリアミドイミド
を含むポリイミド系樹脂、ウレタン系樹脂、ポリエステ
ル系樹脂、ポリビニル系樹脂、ゼラチン等染色可能な動
物性タンパク樹脂などの感光性または非感光性の材料を
用いることができる。しかし、画素や保護膜に用いる樹
脂よりも高い耐熱性を有するのが好ましく、250℃以
上の耐熱性を有する樹脂が好ましい。また、遮光性を向
上させるため着色している樹脂が好ましいことから、こ
れらの中でもポリイミド樹脂が特に好ましい。ポリイミ
ド樹脂としては、特に限定されないが、通常一般式
(1)で表わされる構造単位を主成分とするポリイミド
前駆体(n=1〜2)を、加熱もしくは適当な触媒によ
ってイミド化するものが好適に用いられ、ポリイミド前
駆体溶液中にカーボンブラック等の遮光剤を分散した黒
色ペーストを塗布してブラックマトリックスを形成せし
めるのが好ましい。
【0014】
【化1】 上記一般式(1)中、R1 は少なくとも2個以上の炭素
原子を有する3価または4価の有機基である。耐熱性の
面から、R1 は環状炭化水素、芳香族環又は芳香族複素
環を含有し、かつ、炭素数6〜30の3価または4価の
基が好ましい。R1 の例として、フェニル基、ビフェニ
ル基、ターフェニル基、ナフタレン基、ペリレン基、ジ
フェニルエーテル基、ジフェニルスルホン基、ジフェニ
ルプロパン基、ベンゾフェノン基、ビフェニルトリフル
オロプロパン基、シクロブチル基、シクロペンチル基な
どが挙げられるが、これらに限定されない。
【0015】R2 は少なくとも2個以上のい炭素原子を
有する2価の有機基であるが、耐熱性の面から、R2
環状炭化水素、芳香族環又は芳香族複素環を含有し、か
つ炭素数6〜30の2価の基が好ましい。R2 の例とし
て、フェニル基、ビフェニル基、ターフェニル基、ナフ
タレン基、ペリレン基、ジフェニルエーテル基、ジフェ
ニルスルホン基、ジフェニルプロパン基、ベンゾフェノ
ン基、ビフェニルトリフルオロプロパン基、ジフェニル
メタン基、ジシクロヘキシルメタン基などが挙げられる
が、これらに限定されない。
【0016】構造単位(1)を主成分とするポリマは、
1 、R2 がこれらのうち各々1種から構成されていて
も良いし、各々2種以上から構成される共重合体であつ
てもよい。さらに、基板との接着性を向上させるため
に、耐熱性を低下させない範囲でジアミン成分として、
シロキサン構造を有するビス(3−アミノプロピル)テ
トラメチルジシロキサンを共重合するのが好ましい。
【0017】構造単位(1)を主成分とするポリマの具
体的な例として、ピロメリット酸二無水物、3,3´,
4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、
3,3´,4,4´−ビフェニルトリフルフォロプロパ
ンテトラカルボン酸二無水物、3,3´,4、4´−ビ
フェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、2,3,
5−トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物などか
らなる群から選ばれた1種以上のカルボン酸二無水物
と、パラフェニレンジアミン、3,3´−ジアミノジフ
ェニルエーテル、4,4´−ジアミノジフェニルエーテ
ル、3,4´ジアミノジフェニルエーテル、3,3´−
ジアミノジフェニルスルホン、4,4´−ジアミノジフ
ェニルスルホン、4,4´−ジアミノジシクロヘキシル
メタン、4,4´−ジアミノジフェニメタンなどの群か
ら選ばれた1種以上のジアミンから合成されたポリイミ
ド前駆体が挙げられるが、これらに限定されない。これ
らのポリイミド前駆体は公知の方法すなわち、テトラカ
ルボン酸二無水物とジアミンを選択的に組み合わせ、溶
媒中で反応させることにより合成される。
【0018】また、通常、ポリイミド前駆体の分子末端
を封止し、重合を停止するために無水マレイン酸等のジ
カルボン酸無水物を添加する。しかし、ポリイミド樹脂
の分子末端がアミン基である方が、遮光剤の分散性が向
上し、より好ましい効果が得られる。分子末端がアミン
基である割合は、好ましくは50%以上、より好ましく
は80%以上、さらに好ましくは90%以上である。ポ
リイミド樹脂の分子末端をアミン基にするためには、ポ
リイミド前駆体の合成時に、テトラカルボン酸二無水物
のモル数に対してジアミンのモル数をやや多くするよう
にして、溶媒中で反応させることが好ましい。具体的に
は、ジアミン100モルに対して、テトラカルボン酸二
無水物を好ましくは100〜90モル、より好ましくは
98〜93モル、さらに好ましくは97〜95モルにす
る。
【0019】これらポリイミド樹脂の中でも、特に、可
視光域の波長での光吸収の高いものの方がブラックマト
リックスの遮光性も高くなり、より好ましい。すなわ
ち、膜厚2μmのポリイミド膜において、XYZ表色系
における原刺激Yが96以下のポリイミド樹脂を用いる
のが好ましく、より好ましくは90以下、さらに好まし
くは80以下である。これらの値は、波長400〜70
0nmの可視光でのポリイミド膜の光線透過率スペクト
ルを測定することにより計算できる。具体的には、例え
ばテトラカルボン酸二無水物としては、酸二無水物残基
の電子吸引性が高い程好ましく、ベンゾフェノン基のよ
うなケトンタイプのもの、ジフェニルエーテル基のよう
なエーテルタイプのもの、フェニル基を有するもの、ジ
フェニルスルホン基のようなスルホン基を有するものな
ど好ましい。例えば、ピロメリット酸二無水物、3,3
´,4,4´−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水
物、3,3′,4,4′−ビフェニルテトラカルボン酸
2無水物などである。ジアミンとしてはジアミン残基の
電子供与性が強い程好ましく、ビフェニル基、p−,p
−置換またはm−,p−置換構造のジアミノジフェニル
エーテル、メチレンジアニリン、ナフタレン基、ペリレ
ン基などを有するものが好ましく、4、4´、または
3、4´ジアミノジフェニルエーテル、パラフェニレン
ジアミンなどである。また、これらの芳香族環にニトロ
基が置換された構造を有するのも好ましい。
【0020】ブラックマトリックス用の遮光剤として
は、カーボンブラック、酸化チタン、四酸化鉄などの金
属酸化物粉、金属硫化物粉、金属粉の他に、赤、青、緑
色の顔料の混合物などを用いることができる。この中で
も、特にカーボンブラックは遮光性が優れており、特に
好ましい。カーボンブラックは、チャネルブラック、ロ
ーラーブラック、ディスクブラックと呼ばれているコン
タクト法で製造されたもの、ガスファーネストブラッ
ク、オイルファーネストブラックと呼ばれているファー
ネスト法で製造されたもの、サーマルブラック、アセチ
レンブラックと呼ばれているサーマル法で製造されたも
のなどを用いることがきるが、特にチャネルブラック、
ガスファーネストブラック、オイルファーネストブラッ
クが好ましい。
【0021】ブラックマトリックスの遮光性を向上させ
るためには、粒径の小さいカーボンブラックを用いるの
が好ましく、平均1次粒径が5〜50nmが好ましい。
カーボンブラック粉の構造は、微細なカーボンブラック
が凝集してカーボンブラックの二次粒子を形成してお
り、この粒子径の平均を平均二次粒径とすると、平均二
次粒径が小さくなるよう微分散させることが好ましい。
平均二次粒径としては、6〜75nmが好ましく、より
好ましくは7〜50nm、さらに好ましくは8〜30n
mである。これより大きければ十分な遮光性が得られず
好ましくない。平均二次粒径の求め方としては、透過型
電子顕微鏡等でカーボンブラックを観測し、JISR6
002に準じて平均粒径を求める。
【0022】このような粒径の小さいカーボンブラック
は、主として茶系統の色調を有する。このようなカーボ
ンブラックに対して補色の顔料を混合させ、無彩色にす
るのが好ましい。ブラックマトリックスがポリイミド樹
脂中に、カーボンブラックと該カーボンブラックに対し
て補色の顔料からなる遮光剤を分散させてなるのが好ま
しい。茶色の補色としては、青、または紫系の色であ
る。補色用の顔料としては、青色顔料または紫色顔料、
青色顔料と紫色顔料の混合物を用いることができる。青
色顔料と紫色顔料の混合物を用いた場合は、カーボンブ
ラックに対して補色となるように、これら顔料の比率、
量を適宜決めながら用いるのが好ましい。ただし、着色
したポリイミド樹脂を用いる場合は、ポリイミド樹脂と
カーボンブラックの混色に対して補色の顔料を用いる。
【0023】遮光剤として、カーボンブラックとカーボ
ンブラックに対して補色の顔料を用いた場合は、高い遮
光性を得るために、遮光剤中にしめるカーボンブラック
の割合を50重量%以上にするのが好ましく、より好ま
しくは60重量%以上、さらに好ましくは70重量%以
上である。
【0024】代表的な顔料の具体的な例をカラーインデ
ィクス(CI)ナンバーで示す。青色顔料の例としては
ピグメントブルー15、15:1、15:2、15:
3、15:4、15:6、16、21、22、60、6
4などが挙げられるが、特にピグメントブルー15、1
5:1、15:2、15:6が好ましい。紫色顔料の例
としてはピグメントバイオレット19、23、29、3
1、32、33,36、37、39、43、50などが
挙げられるが、特にピグメントバイオレット23、3
1、33、43、50が好ましい。
【0025】これ以外にも、緑色顔料、黄色顔料、オレ
ンジ色顔料なども適宜添加しても構わないが、遮光剤中
にしめる割合としては10重量%以下が好ましい。これ
以上にするとブラックマトリックスの膜厚あたりの遮光
性が低下して好ましくない。
【0026】黒色ペースト溶媒としては、通常、N−メ
チル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミ
ド、N,N−ジメチルホルムアミドなどのアミド系極性
溶媒、ラクトン系極性溶媒などが好適に使用される。遮
光剤にカーボンブラックを用いた場合は、カーボンブラ
ックの分散効果を高めるためには、少なくともアミド系
極性溶媒を含む方ことがが好ましい。さらには、アミド
系極性溶媒が主成分もしくはアミド系極性溶媒単独から
なる溶媒を用いるのがより好ましい。ここで、アミド系
極性溶媒が主成分である溶媒とは、n種類の溶媒からな
る混合溶媒の場合、(1/n)×100重量%よりも多
く含むことを言う。例えば2成分系の溶媒の場合、アミ
ド系極性溶媒が50重量%より多く含有されていること
をいい、3成分系の溶媒の場合、アミド系極性溶媒が3
3重量%より多く含有されていることをいう。一方、補
色の顔料の分散効果を高めるためには、少なくともラク
トン系極性溶媒を含むことが好ましい。さらには、ラク
トン類が主成分もしくはラクトン類単独からなる溶媒を
用いるのがより好ましい。特に、分散剤としてロジン樹
脂酸を用いた場合、有効に作用し、分散性が向上する。
ラクトン類とは、脂肪族環状エステルで炭素数3〜12
の化合物をいい、具体的な例として、β−プロピオラク
トン、γ−ブチロラクトン、γ−バレロラクトン、δ−
バレロラクトン、γ−カプロラクトン、ε−カプロラク
トンなどが挙げられるが、特にポリイミド前駆体の溶解
性の点で、γ−ブチロラクトンが好ましい。このため、
遮光剤としてカーボンブラックと補色の顔料を用いた場
合、アミド系極性溶媒とラクトン系極性溶媒の混合溶媒
にするのがより好ましい。これら以外の溶媒としては、
メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、メチルカルビト
ール、エチルカルビトール、エチルラクテートなど蒸発
速度のより速い溶媒を全溶媒中5〜30重量%混合させ
るのが好ましい。
【0027】カーボンブラックやカーボンブラックに対
して補色の顔料等の遮光剤を分散させる方法としては、
例えば、ポリイミド前駆体溶液中に遮光剤や分散剤等を
混合させた後、三本ロール、サンドグラインダー、ボー
ルミル等の分散機中で分散させる方法などがあるが、カ
ーボンブラックやカーボンブラックに対して補色の顔料
をそれぞれ単独で分散させた後、これらを混合させる方
法がより好ましい。また、分散中におけるポリイミド前
駆体間の反応、遮光剤とポリイミド前駆体の反応による
粘度上昇、ゲル化等の防止のため、まず溶媒中に遮光剤
を混合して、前分散を行なわせた後、ポリイミド前駆体
を後から添加させ、本分散させる方法がより好ましい。
また、遮光剤を微分散させるために、分散強度、分散時
間等は、適宜調整するのが好ましい。
【0028】黒色ペーストには、分散性向上を目的に種
々の添加剤を加えることができる。例えば、補色用の顔
料の分散剤としては、ロジン樹脂酸が好ましく、顔料に
対して0.1〜50重量%添加するのが好ましい。ロジ
ン樹脂酸とは、Palustricacid ,Abieticacid ,Dehydr
oabieticacid,Neoabieticacid,Pimaricacid ,Sandar
acopimaricacid,Isopimaricacid,Elliotionicacid ,
Dyhydroagathicacidなどの樹脂酸の単体もしくはこれら
の混合物である。また、これらの水素添加物も好ましく
用いることができる。この中でも、特にAbieticacid が
好ましく用いられる。これらのロジン樹脂酸は、ブラッ
クマトリックスの中にも残るものである。これ以外に
も、塗布性やレベリング性向上を目的に種々の添加剤を
加えることができる。
【0029】黒色ペーストのレオロジー特性としては、
Cassonの流動方程式による降伏値が0.1dyn
e/cm2 以下であることが好ましく、より好ましくは
0.01dyne/cm2 以下、さらに好ましくは0.
001dyne/cm2 以下である。降伏値がこれより
も大きくなると、分散性が悪くなり、遮光剤の凝集等が
起こり、ブラックマトリックスの遮光性が低下したりす
るので、好ましくない。S=ずり速度、D=ずり応力、
τ0 =降伏値、μ0 =Casson粘度とすると、流動
方程式は式1で表わされ、降伏値はD1/2 に対するS
1/2 のグラフにおけるS1/2 軸の切片の2乗で求められ
る。
【0030】
【数1】 粘度は、塗布方式にあわせて適宜調製されるが、5〜1
000cPが好ましく、より好ましくは8〜150c
P、さらに好ましくは10〜100cPである。
【0031】次に、ブラックマトリックスを形成する方
法の1例を示す。まず最初に、ポリイミド前駆体溶液中
にカーボンブラック等の遮光剤を分散した黒色ペースト
を接着層上に塗布する。塗布方法は、ディップ塗布、ロ
ールコータ、ホエラー、スピナーなどの回転塗布法が好
的に用いられる。この後、熱風オーブン、ホットプレー
ト等により乾燥し、セミキュアする。セミキュア条件
は、用いたポリイミド前駆体の種類や塗布量によって若
干異なるが、通常100〜180℃で1〜60分加熱す
るのが一般的である。非感光性のポリイミド前駆体を用
いた場合は、この後フォトレジストを塗布し、プリベー
クし、光学マスクを用いて露光後、現像する。現像液と
しては、NaOH、KOH等の無機アルカリ水溶液やテ
トラメチルアンモニウムヒドロキシドのような有機アミ
ン水溶液を用い、デップ、シャワー、パドル法等で現像
する。この様にして、レジストの現像とブラックマトリ
ックスのパターン化を連続して行なった後、レジストを
剥離する。剥離液としては、ノボラック系のレジストを
用いた場合、アセトン等のケトン類、エチルセルソルブ
等のセルソルブ類、セルソルブアセテート類などを用い
て、デップ、シャワー、パドル法等で剥離する。なお、
ブラックマトリックス間には通常20〜200μm程度
の開口部が設けられており、後工程でこのスペースに画
素が形成される。
【0032】次に、複数色の画素をブラックマトリック
スの開口部に形成する。通常、画素は、ブラックマトリ
ックスに開口部に位置合わせさせて設ける。このアライ
メント精度は、露光機や現像条件によって異なるが、大
体2〜10μmであるため、アライメント精度以上の画
素がブラックマトリックス部に重なるように設けられ
る。通常、各画素の画素の色は、赤、青、緑の3色であ
り、着色剤によって着色された樹脂が用いられる。画素
は、着色剤によって着色された着色ペーストを光透過性
基板上に塗布して形成するのが好ましい。
【0033】画素に用いられる着色剤としては、有機顔
料、無機顔料、染料などを好適に用いることができ、さ
らに紫外線吸収剤、分散剤、レベリング剤等、種々の添
加剤を添加してもよい。有機顔料としては、フタロシア
ニン系、アジレーキ系、縮合アゾ系、キナクリドン系、
アントラキノン系、ペリレン系、ペリノン系などが好適
に用いられる。また、画素に用いられる樹脂としては、
エポキシ系樹脂、アクリル系、ポリイミド系樹脂、ウレ
タン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ポリビニル系樹脂、
ゼラチン等染色可能な動物性タンパク樹脂などの感光性
または非感光性の材料を用いることができ、着色剤をこ
れらの樹脂中に分散もしくは溶解させて着色するのが好
ましい。感光性樹脂としては、光分解型樹脂、光架橋型
感光性樹脂、光重合型樹脂などのタイプがあり、特に、
エチレン性不飽和結合を有するモノマ、オリゴマ、ポリ
マと、紫外線によってラジカルを発生する開始剤とを主
成分とする感光性組成物、感光性ポリアミック酸液など
が好適に用いられる。また、膜厚としては0.5〜3μ
m程度である。
【0034】着色剤を分散または溶解させる方法として
は、公知の技術を用いることができ、溶媒中に樹脂と着
色剤を混合させ、ボールミル等の分散機中で分散させた
り、撹拌装置によって溶解させ、着色ペーストを得る。
着色ペーストのレオロジー特性としては、Casson
の流動方程式による降伏値が0.1dyne/cm2
下であることが好ましく、より好ましくは0.01dy
ne/cm2 以下、さらに好ましくは0.001dyn
e/cm2 以下である。降伏値がこれよりも大きくなる
と、レベリング性が悪くなるため、保護膜上での表面段
差が大きくなり、好ましくない。
【0035】塗布方法は、ディップ塗布、ロールコー
タ、ホエラー、スピナーなどの回転塗布法が好的に用い
られる。この中でもディップ塗布、ホエラー、スピナー
などの回転塗布法は塗布中に画素形成用溶液の塗布量が
基板上で均一化されるため、画素の膜厚均一性に優れ、
特に好ましい。
【0036】この後、熱風やホットプレート等で乾燥す
ることよって、ブラックマトリックス間に第1色目の着
色層が全面にわたって形成される。通常カラーフィルタ
は複数色の画素からなるので、不必要な部分をフォトリ
ソグラフィ法で除去し、所望の第1色目の画素パターン
を形成する。不必要な部分とは、後工程で形成予定の画
素部や画素以外の光透過性基板の周辺部などである。着
色層が感光性を有する場合は、光学マスクを用いて露光
し、不必要な部分を現像で除去し、画素パターンを形成
する。また、着色層が非感光性の場合は、レジストを塗
布し、光学マスクを用いて露光し、現像した後、パター
ン化されたレジストをマスクとして、不必要な部分をエ
ッチング法で除去した後、レジストを剥離し、画素パタ
ーンを形成する。これを必要な色の画素だけ繰り返し、
複数の色からなる画素を形成し、カラーフィルタを製造
する。
【0037】この後、保護膜を積層する。保護膜として
は、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、ポ
リイミド樹脂などがあり、特に限定されないが、保護膜
の膜厚が20μm以下でかつその時の保護膜上での表面
段差が0.5μm以下である必要がある。保護膜上での
表面段差は、好ましくは0.3μm以下、より好ましく
は0.2μm以下である。ここで言う保護膜上での表面
段差とは、ブラックマトリックス開口部に設けられた画
素部分の最低高さ部分と、隣接するブラックマトリック
ス上に重なった画素上部分での最高高さ部分との高低差
(段差)の最大を言う。
【0038】このため、保護膜としては、平滑化作用に
優れたものが好ましく、シリコーン樹脂成分を含むもの
が好ましい。シリコーン樹脂は、オルガノシランを縮重
合して得られるもので、表面平滑性に特に優れている。
必要に応じてシリコーン成分の他に他の成分を添加して
もよく、例えば、オルガノシランとイミド基を有する化
合物とを縮重合して得られるイミド変性シリコーン樹脂
などがその例であるが、塗布時の平担性、表面硬度、透
明性以外にも、耐熱性、密着性、力学的強度もに優れて
いるため、実用上特に好ましい特性を有する。保護膜の
膜厚としては、20μm以下で、好ましくは10μm以
下、より好ましくは5μm以下、さらに好ましくは3μ
m以下である。これより厚くすると、乾燥斑が発生した
り、クラックが発生したりして好ましくない。下限とし
ては特に限定されないが、0.5μm以上が好ましく、
より好ましくは1μm以上である。
【0039】オルガノシランとしては、メチルトリメト
キシシラン、メチルトリエトキシシラン、フェニルトリ
メトキシシラン、フェニルトリエトキシシラン、ビニー
ルトリメトキシシラン、ビニールトリエトキシシラン、
3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グ
リシドキシプロピルトリエトキシシランなどのトリアル
コキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジ
エトキシシラン、エチルフェニルジトキシシラン、メチ
ルフェニルジメトキシシラン、メチルフェニルジエトキ
シシランなどのジアルコキシシラン、トリメチルメトキ
シシラン、トリエチルエトキシシラン、トリフェニルエ
トキシシランなどのモノアルキルシランなどを挙げるこ
とができる。また、オルガノシランに代えてオルガノシ
ランの加水分解物や部分的縮合物を用いることもでき
る。また、これらのオルガノシランは、1種類ではなく
複数の種類のものを混合して使用することも可能であ
る。使用されるオルガノシランの少なくとも1種類は、
分子量が500以下であることが好ましい。さらに該分
子量は200以下であることが好ましい。使用されるオ
ルガノシランの少なくとも1種類がジアルコキシシラン
もしくはテトラアルコキシシランであることが好まし
い。
【0040】イミド基を有する化合物としては、縮合反
応タイプのポリイミド前駆体などが使用される。例え
ば、テトラカルボン酸2無水物、ビフェニルテトラカル
ボン酸2無水物などとアミノシラン化合物を溶媒中で反
応させることにより、ポリアミド酸溶液すなわち縮合反
応タイプのポリイミド前駆体を得ることができる。テト
ラカルボン酸2無水物、ビフェニルテトラカルボン酸2
無水物の具体例としては、ピロメリット酸2無水物、3,
3',4,4'-ビフェニルテトラカルボン酸2無水物、3,3',
4,4'-ベンゾフェノンテトラカルボン酸2無水物、4,4'-
オキシジフタル酸2無水物を挙げることができる。ア
ミノシラン化合物の具体例としては、3-アミノプロピル
トリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシ
ラン、3-アミノブチルトリメトキシシラン、3-アミノブ
チルトリエトキシシランなどを挙げることができる。イ
ミド基の他にポリイミドの耐熱性を損なわない範囲でア
ミノ基、アミド基、カルボキシル基、スルフォンアミド
基などの各置換基を有していても良い。
【0041】また、保護膜としては、シリコーン樹脂と
シリコーン変成ポリイミド樹脂の2層からなる方がより
好ましい。この場合、保護膜の力学的強度を優先する場
合は、シリコーン樹脂、シリコーン変成ポリイミド樹脂
をこの順で積層するのが好ましく、保護膜の硬度を優先
する場合は、シリコーン変成ポリイミド樹脂、シリコー
ン樹脂をこの順で積層するのが好ましい。シリコーン樹
脂とシリコーン変成ポリイミド樹脂の膜厚の比として
は、シリコーン樹脂の膜厚tsに対してシリコーン変成
ポリイミド樹脂の膜厚tpを、好ましくは0.1<ts
/tp<10、より好ましくは0.5<ts/tp<
5、さらに好ましくは1<ts/tp<3とするのが望
ましい。
【0042】また、シリコーン保護層の塗布性、接着性
などの改善のため、非イオン性界面活性剤やレベリング
剤またはカップリング剤などの接着性付与剤などを加え
ることは適宜許される。
【0043】最後に、必要に応じてITO透明電極およ
びパターニング等を必要に応じて公知の方法により行な
うことができる。
【0044】以下、実施例によって本発明を具体的に説
明するが、本発明はこれらに限定されない。
【0045】
【実施例】
<ポリアミック酸溶液の製造>3,3´,4,4´−ビ
フェニルテトラカルボン酸二無水物 140.9gをN−メチ
ル−2−ピロリドン 775gと共に仕込み、4,4´−ジ
アミノジフェニルエーテル 95.10gおよびビス(3−ア
ミノプロピル)テトラメチルジシロキサン 6.20gを添
加し、60℃で3時間反応させ、粘度600ポアズ(2
5℃)のポリアミック酸溶液を得た。平均重合度は約2
7で、両末端はアミン基を有していた。これを無アルカ
リガラス(日本電気ガラス(株)製、OA−2)基板上
にスピナーで仕上がり膜厚が2μmになるように塗布、
80℃10分熱風乾燥した後、120℃で20分間セミ
キュア、300℃30分間キュアした。このポリイミド
膜の原刺激Yは95であった。また、このポリイミド膜
の窒素雰囲気下における耐熱性は480℃でこれ以上の
温度に加熱すると分解が生じた。
【0046】下記の組成を有するカーボンブラックミル
ベース、青顔料ミルベースをホモジナイザーを用いて、
7000rpm で30分間分散後、それぞれ全量を混合し、ガ
ラスビーズを瀘過により除去して、黒色ペーストを調製
した。黒色ペーストの粘度は37cpであり、降伏値は
6.5×10-4Paであった。遮光剤としては、茶色の
カーボンブラックとその補色顔料として青色顔料を用い
た。
【0047】 カーボンブラックミルベース カーボンブラック(平均1次粒径32nm,平均2次粒径60nm,ファー ネストブラック) 4.6部 ポリイミド前駆体溶液 24.0部 N−メチルピロリドン 61.4部 ガラスビーズ 90.0部 青顔料ミルベース ビグメントブルー15 (リオノールブルーES、東洋インキ製造(株)製) 2.2部 ポリイミド前駆体溶液 24.0部 Abieticacid 0.2部 γ−ブチロラクトン 63.6部 ガラスビーズ 90.0部 無アルカリガラス(日本電気ガラス(株)製、OA−
2)基板上にスピナーで塗布、80℃10分熱風乾燥し
た後、120℃で20分間セミキュアした。この後、ポ
ジ型レジスト(Shipley "Microposit" RC100 30cp )を
スピナーで塗布後、80℃20分乾燥した。キャノン
(株)製露光機PLA−501Fを用い、フォトマスク
を介して露光し、アルカリ現像液(Shipley "Microposi
t" 351)でポジ型レジストの現像およびポリイミド前駆
体のエッチングを同時に行なった後、ポジ型レジストを
メチルセルソルブアセテートで剥離した。さらに、30
0℃30分間キュアした。このようにして、厚み0.9
8μmで、開口部が縦方向240μm、横方向60μm
の格子状ブラックマトリックスを設けた。
【0048】次に、赤、緑、青の顔料として各々Color
Index No.65300 Pigment Red 177で示されるジアントラ
キノン系顔料、Color Index No.74265 Pigment Green 3
6 で示されるフタロシアニングリーン系顔料Color Inde
x No.74160 Pigment Blue 15-4で示されるフタロシアニ
ンブルー系顔料を用意した。下記に示す、ポリイミド前
駆体溶液に上記顔料を各々混合分散させて、赤、緑、青
の3種類の着色ペーストを得た。赤色着色ペーストの降
伏血は1.5×10-2Pa、緑色着色ペーストの降伏値
は3.5×10-5Pa、青色着色ペーストの降伏値は
1.2×10-4Paであった。まず、光透過性のガラス
基板のブラックマトリックス形成面側に緑ペーストを塗
布し、80℃10分熱風乾燥し、120℃で20分間セ
ミキュアした。この後、ポジ型レジスト(Shipley "Mic
roposit" RC100 30cp )をスピナーで塗布後、80℃2
0分乾燥した。マスクを用いて露光し、アルカリ現像液
(Shipley "Microposit" 351)でポジ型レジストの現像
およびポリイミド前駆体のエッチングを同時に行なった
後、ポジ型レジストをメチルセルソルブアセテートで剥
離し、幅約90μmで縦方向にストライプ状の緑色画素
を幅方向にピッチ300μmとした。さらに、300℃
30分間キュアした。画素層の厚さは1.5μmとし
た。水洗後、同様にして、ストライプ状の赤、青色の画
素を、3色の画素間隔が10μmになるように形成し
た。ブラックマトリックスには、幅方向には左右各20
μm重なりあい、縦方向には上下各60μm重なってい
る。
【0049】次に保護膜を積層した。保護膜としては、
メチルトリメトキシシランに酢酸を加えて加水分解し、
オルガノシラン縮合物を得た。3,3',4,4'-ベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸二無水物と3-アミノプロピルトリエ
トキシシランとをn−メチル−2−ピロリドン溶媒中に
て、モル比で1:2の割合で混合し、反応させてイミド
基を有する縮合物を得た。該オルガノシラン混合物と該
イミド基を有する縮合物及びn−メチル−2−ピロリド
ンとを重量比で5:2:4の割合で混合した組成物を、
赤、青、緑の有機着色層が形成された基体上に塗布、キ
ュアしてポリイミド変性シリコーン重合体からなる厚さ
3.0μmの保護層を得た。
【0050】なお、ブラックマトリックスの遮光性はほ
とんど波長依存性がなく、波長430〜640nmにお
いて、2.5〜2.8(光学濃度/μm)であった。保
護膜上での表面段差は、最大で0.48μmであった。
このカラーフィルタにITO透明電極、配向膜等の加工
を施し、液晶表示素子を設けた。液晶表示素子は表示斑
も無く、画質は良好であった。
【0051】実施例2 実施例1と同様にしてカラーフィルタを得た。ただし、
保護膜としては、メチルトリメトキシシランとフェニル
トリメトキシシランをモル比で1:1で混合し、にリン
酸を加えて加水分解して得た、オルガノシラン縮合物を
スピナーで塗布し、80℃10分熱風乾燥し、250℃
で20分間キュアした。膜厚は2.0μmとした。さら
に実施例1と同じポリイミド変性シリコーン重合体をキ
ュア後1.0μmになるよう塗布し、合計厚さ3.0μ
mの保護層を得た。
【0052】ブラックマトリックスの遮光性はほとんど
波長依存性がなく、波長430〜640nmにおいて、
2.5〜2.8(光学濃度/μm)であった。保護膜上
での表面段差は、最大で0.20μmであった。このカ
ラーフィルタにITO透明電極、配向膜等の加工を施
し、液晶表示素子を設けた。液晶表示素子は表示斑も無
く、画質は良好であった。
【0053】実施例3 下記の組成を有するカーボンブラックミルベース、紫顔
料ミルベース、青顔料ミルベースをそれぞれホモジナイ
ザーを用いて、7000rpm で30分間分散後、それぞれ全
量を混合し、ガラスビーズを瀘過して除去して、黒色ペ
ーストを調製した。黒色ペーストの粘度は40cpであ
り、降伏値は5.8×10-3Paであった。遮光剤とし
ては、茶色のカーボンブラックとその補色顔料として青
色顔料と紫色顔料を用いた。
【0054】 カーボンブラックミルベース カーボンブラック(平均1次粒径32nm,平均2次粒径60nm,ファー ネストブラック) 2.3部 ポリイミド前駆体溶液 8.0部 N−メチルピロリドン 61.2部 ガラスビーズ 71.5部 紫顔料ミルベース ピグメントバイオレット23 (スミトーンファストバイオレット RL−GP、住友化学(株)製) 0.3部 ポリイミド前駆体溶液 1.2部 γ−ブチロラクトン 2.2部 ガラスビーズ 3.7部 青顔料ミルベース ビグメントブルー15 (リオノールブルーES、東洋インキ製造(株)製) 1.1部 Abieticacid 0.1部 ポリイミド前駆体溶液 4.9部 γ−ブチロラクトン 8.8部 ガラスビーズ 14.9部 以下、実施例1と同様にしてカラーフィルタを得た。た
だし、ブラックマトリックスの膜厚は、0.75μmと
した。ブラックマトリックスの遮光性はほとんど波長依
存性がなく、波長430〜640nmにおいて、3.1
〜3.4(光学濃度/μm)であった。また、保護膜上
での表面段差は、最大で0.29μmであった。このカ
ラーフィルタにITO透明電極、配向膜等の加工を施
し、液晶表示素子を設けた。液晶表示素子は表示斑も無
く、画質は良好であった。
【0055】実施例4 下記の組成を有するカーボンブラックミルベース、紫顔
料ミルベース、青顔料ミルベースをそれぞれホモジナイ
ザーを用いて、7000rpm で30分間分散後、それぞれ全
量を混合し、ガラスビーズを瀘過して除去して、黒色ペ
ーストを調製した。黒色ペーストの粘度は50cpであ
り、降伏値は8.6×10-3Paであった。遮光剤とし
ては、茶色のカーボンブラックとその補色顔料として青
色顔料と紫色顔料を用いた。
【0056】 カーボンブラックミルベース カーボンブラック(平均1次粒径32nm,平均2次粒径60nm,ファー ネストブラック) 2.3部 ポリイミド前駆体溶液 6.6部 N−メチルピロリドン 61.2部 ガラスビーズ 71.5部 紫顔料ミルベース ピグメントバイオレット23 (スミトーンファストバイオレット RL−GP、住友化学(株)製) 0.3部 ポリイミド前駆体溶液 1.0部 γ−ブチロラクトン 2.2部 ガラスビーズ 3.7部 青顔料ミルベース ビグメントブルー15 (リオノールブルーES、東洋インキ製造(株)製) 1.1部 Abieticacid 0.1部 ポリイミド前駆体溶液 4.0部 γ−ブチロラクトン 8.8部 ガラスビーズ 14.9部 以下、実施例1と同様にしてカラーフィルタを得た。た
だし、ブラックマトリックスの膜厚は、0.66μmと
した。ブラックマトリックスの遮光性はほとんど波長依
存性がなく、波長430〜640nmにおいて、3.5
〜3.8(光学濃度/μm)であった。また、保護膜上
での表面段差は、最大で0.24μmであった。このカ
ラーフィルタにITO透明電極、配向膜等の加工を施
し、液晶表示素子を設けた。液晶表示素子は表示斑も無
く、画質は良好であった。
【0057】比較例1 下記の組成を有する溶液をホモジナイザーを用いて、70
00rpm で30分間分散後、ガラスビーズを瀘過し、除去
した。遮光剤としてはカーボンブラックのみ用いた。
【0058】 カーボンブラック(平均1次粒径32nm,平均2次粒径60nm,ファー ネストブラック) 4.6部 ポリイミド前駆体溶液 57.2部 N−メチルピロリドン 127.4部 ガラスビーズ 180.0部 実施例1と同様にしてカラーフィルタを得た。ただし、
ブラックマトリックスの膜厚は、1.4μmとした。な
お、ブラックマトリックスの遮光性は波長依存性が強
く、波長430〜640nmにおいて、1.6〜2.5
(光学濃度/μm)で、長波長側で遮光性が低下した。
保護膜上での表面段差は、最大で0.60μmであっ
た。このカラーフィルタにITO透明電極、配向膜等の
加工を施し、液晶表示素子を設けた。液晶表示素子は表
示斑が発生し、画質は不良であった。
【0059】比較例2 下記の組成を有する溶液をホモジナイザーを用いて、70
00rpm で30分間分散後、ガラスビーズを瀘過により除
去して、黒色ペーストを調製した。遮光剤としては、
赤、青、緑色の有機顔料を用いた。
【0060】 ビグメントブル−15 (リオノールブルーES、東洋インキ製造(株)製) 21.4部 ピグメントレッド−177 (クロモフタルレッドA2B、チバガイギ製) 42.0部 ピグメントグリーン−36 (シアニングリーン5370、大日精化工業(株)製) 36.7部 ポリイミド前駆体溶液 742.2部 γ−ブチロラクトン 1560.0部 ガラスビーズ 2400.0部 以下、実施例1と同様にしてカラーフィルタを得た。た
だし、ブラックマトリックスの膜厚は、2.5μmとし
た。ブラックマトリックスの遮光性はほとんど波長依存
性がなかったが、波長430〜640nmにおいて、
0.55〜0.89(光学濃度/μm)であった。保護
膜上での表面段差は、最大で1.2μmであった。この
カラーフィルタにITO透明電極、配向膜等の加工を施
し、液晶表示素子を設けた。液晶表示素子は表示斑が発
生し、画質は不良であった。
【0061】
【発明の効果】遮光剤を樹脂中に分散させてなる遮光性
に優れたブラックマトリックスを有し、保護膜上で表面
段差が0.5μm以下のカラーフィルタにすることによ
って、表示品位の優れた液晶表示素子が得られる。

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光透過性基板上に、遮光剤を樹脂中に分散
    させてなるブラックマトリックス、画素、保護膜をこの
    順に積層せしめてなる液晶表示素子用カラーフィルタに
    おいて、該ブラックマトリックスは、波長430〜64
    0nmの可視光域において膜厚1μmあたりの光学濃度
    が2.3以上の遮光性を有しており、該保護膜の膜厚が
    20μm以下でかつ保護膜上での表面段差が0.5μm
    以下であることを特徴とする液晶表示素子用カラーフィ
    ルタ。
  2. 【請求項2】該ブラックマトリックスの膜厚が1μm未
    満であることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子
    用カラーフィルタ。
  3. 【請求項3】該ブラックマトリクッスを構成する樹脂が
    ポリイミドであることを特徴とする請求項1記載の液晶
    表示素子用カラーフィルタ。
  4. 【請求項4】該ポリイミド樹脂の分子末端がアミン基を
    有することを特徴とする請求項3記載の液晶表示素子用
    カラーフィルタ。
  5. 【請求項5】該ポリイミド樹脂が、膜厚2μmのポリイ
    ミド膜において、XYZ表色系における原刺激Yが96
    以下であることを特徴とする請求項3記載の液晶表示素
    子用カラーフィルタ。
  6. 【請求項6】該遮光剤としてカーボンブラックを含有す
    ることを特徴とする請求項1記載の液晶表示素子用カラ
    ーフィルタ。
  7. 【請求項7】該遮光剤が、カーボンブラックと該カーボ
    ンブラックに対して補色の顔料からなることを特徴とす
    る請求項6記載の液晶表示素子用カラーフィルタ。
  8. 【請求項8】該カーボンブラックに対して補色の顔料
    が、青色および/または紫色の有機顔料であることを特
    徴とする請求項7記載の液晶表示素子用カラーフィル
    タ。
  9. 【請求項9】該遮光剤中にしめるカーボンブラックの割
    合が50重量%以上であることを特徴とする請求項6記
    載の液晶表示素子用カラーフィルタ。
  10. 【請求項10】該カーボンブラックの平均2次粒径が6
    〜75nmであることを特徴とする請求項6記載の液晶
    表示素子用カラーフィルタ。
  11. 【請求項11】該ブラックマトリックスがロジン樹脂酸
    を含有することを特徴とする請求項1記載の液晶表示素
    子用カラーフィルタ。
  12. 【請求項12】該ブラックマトリックスが、ポリイミド
    前駆体溶液中に遮光剤を分散せしめた黒色ペーストを光
    透過性基板上に塗布して形成したものであることを特徴
    とする請求項1記載の液晶表示素子用カラーフィルタ。
  13. 【請求項13】該黒色ペースト中の溶媒として、少なく
    ともγ−ブチロラクトンを含むことを特徴とする請求項
    12記載の液晶表示素子用カラーフィルタ。
  14. 【請求項14】該黒色ペーストのCassonの流動方
    程式による降伏値が0.1dyne/cm2 以下である
    ことを特徴とする請求項12記載の液晶表示素子用カラ
    ーフィルタ。
  15. 【請求項15】該画素が、着色剤によって着色された着
    色ペーストを光透過性基板上に塗布して形成されたもの
    であり、該着色ペーストのCassonの流動方程式に
    よる降伏値が0.1dyne/cm2 以下であることを
    特徴とする請求項1記載の液晶表示素子用カラーフィル
    タ。
  16. 【請求項16】該保護膜が、シリコーン樹脂またはシリ
    コーン変成ポリイミド樹脂からなることを特徴とする請
    求項1記載の液晶表示素子用カラーフィルタ。
  17. 【請求項17】該保護膜が、シリコーン樹脂、シリコー
    ン変成ポリイミド樹脂の2層からなることを特徴とする
    請求項16記載の液晶表示素子用カラーフィルタ。
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