JP2003215574A - 反射型液晶表示装置 - Google Patents

反射型液晶表示装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 反射型液晶表示装置に関し、反射板からの反
射光に指向性を持たせながらも、ぎらつき感を無くす。 【解決手段】 基板1上に形成した所定の膜厚を有する
感光性樹脂5の少なくとも厚さ方向または面内方向に熱
的変形特性の分布を持たせた後、熱処理によって感光性
樹脂5表面に皺状凹凸形状6を形成し、皺状凹凸形状6
上に光反射膜7を形成した反射板の感光性樹脂5の下に
方位または形状の少なくとも一方が異なる2つ以上の線
状の凹凸パターン要素2,3を該同一の凹凸パターン要
素2,3が連続して3つ以上繰り返されないように配置
するとともに、皺状凹凸形状6を前記凹凸パターン要素
2,3の配置に沿うように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は反射型液晶表示装置
に関するものであり、特に、反射型液晶表示装置におけ
る拡散反射板の表面に形成する皺状凹凸形状を方向性を
もって形成するための構成に特徴のある反射型液晶表示
装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、各種の情報処理端末における画像
表示手段として、カラー液晶表示装置が用いられている
が、そのなかでも反射型液晶表示装置はバックライトを
使用しないため、薄型、軽量および低消費電力が可能で
あるという特長がある。
【0003】この様な、反射型液晶表示装置は、大きく
分けて、光シャッター層、色付け層、及び、光反射層の
3層から構成されるが、周囲光を効率良く利用して明る
い表示を得ることが最も重要である。
【0004】これらの3つの層の中でも、特に、光反射
層は光の利用効率だけでなく視角特性等にも大きな影響
を与えるので、光反射層の最適化が明るい反射型液晶表
示装置を実現する上で最も重要となり、近年、明るい光
反射層を得る検討がなされているので、ここで、図11
及び図12を参照して従来の反射型液晶表示装置を説明
する。
【0005】図11参照 図11は、従来の反射型液晶表示装置の概略的断面図で
あり、TFT32を形成したTFT基板31側に複数の
凹凸を面内に散りばめて構成した拡散反射板33を設
け、このTFT基板31と、カラーフィルタ35を介し
て透明電極36を設けた対向基板34とを対向させ、両
者の間に液晶を注入して液晶層37とすることによっ
て、反射型液晶表示装置の基本構造が構成されている
(必要ならば、特開平11−295750号公報参
照)。
【0006】次に、図12を参照して、拡散反射板の製
造方法の一例(必要ならば、特開平9−258218号
公報参照)を説明する。 図12(a)参照 まず、ガラス基板41上にレジストを塗布してレジスト
層42を形成したのち、フォトマスク43を介して紫外
線44を照射することによって、所定領域に対応する領
域を露光する。
【0007】図12(b)参照 次いで、フォトマスク43を除去したのち、レジスト層
42を現像することによって、レジストパターン45を
形成する。 図12(c)参照 次いで、レジストパターン45をベーク処理して、レジ
ストをリフローすることよって凸状のレジストパターン
46に変換する。
【0008】図12(d)参照 次いで、全面に金属膜を蒸着して、反射膜47とするこ
とによって拡散反射体を形成していた。この様な拡散反
射板においては、凹凸の密度、径、振幅、形、傾斜角等
を制御することで光の利用効率を高めることができ、様
々な検討がなされている。
【0009】しかし、上述のフォトリソグラフィを用い
た方法ではプロセスが煩雑であり、露光量、現像時間、
ベーク温度等のプロセス条件により形状が変化すること
で反射特性が大きく変化し、製造プロセスのマージンが
非常に狭い問題があった。
【0010】そこで、本発明者等は、新しい拡散反射板
の製造方法を提案しているので(必要ならば、特願20
01−101755号参照)、図13を参照して説明す
る。 図13(a)参照 まず、TFT基板51上に感光性樹脂層52を形成した
のち、紫外線53を照射し、感光性樹脂層52の厚さ方
向または面内方向に収縮率等の熱的変形特性の分布を持
たせる。
【0011】図13(b)参照 次いで、熱処理を施すことによって感光性樹脂層52の
表面に皺状凹凸形状54を形成する。 図13(c)参照 次いで、全面に金属層を蒸着することによって、皺状凹
凸形状54の上に反射膜55を形成するものである。
【0012】この本発明者等が提案した方法によれば、
マスクパターンによる露光や現像といったフォトリソグ
ラフィの工程を必要としないため、プロセスが大幅に簡
略化されるため、安定かつ高い反射率を実現できる反射
電極を形成することが可能になった。
【0013】しかし、この方式で発生する皺状凹凸形状
54はランダムな方向に発生するので、これを制御する
ために感光性樹脂層52の下にパターンを形成する方法
も合わせて提案している。
【0014】図14(a)乃至(e)参照 図14(a)乃至(e)は、皺状凹凸形状54の方向性
を制御するために感光性樹脂層52の下に形成した凹凸
パターンの形状を示す平面図であり、各凹凸パターンは
TFT形成時のバスライン等の成膜・パターニング工程
を利用して形成するものであり、これにより特定の皺状
凹凸形状54を形成することが可能となり、反射光に指
向性を持たせることができた。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】しかし、指向性を持た
せた反射板を用いた反射型液晶表示装置はギラツキが激
しく、紙と比較して非常に表示が見づらいという問題が
ある。
【0016】したがって、本発明は、反射板からの反射
光に指向性を持たせながらも、ギラツキ感を無くすこと
を目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】図1は本発明の原理的構
成の説明図であり、この図1を参照して本発明における
課題を解決するための手段を説明するが、図1(a)は
凹凸パターンを示す平面図であり、また、図1(b)は
断面図である。 図1(a)及び(b)参照 上記の課題を解決するために、本発明は、基板1上に形
成した所定の膜厚を有する感光性樹脂5の少なくとも厚
さ方向または面内方向に熱的変形特性の分布を持たせた
後、熱処理によって感光性樹脂5表面に皺状凹凸形状6
を形成し、皺状凹凸形状6上に光反射膜7を形成してこ
れを反射板として用いた反射型液晶表示装置において、
感光性樹脂5の下に方位または形状の少なくとも一方が
異なる2つ以上の線状の凹凸パターン要素2,3が該同
一の凹凸パターン要素2,3が連続して3つ以上繰り返
されないように配置されるとともに、皺状凹凸形状6が
前記凹凸パターン要素2,3の配置に沿うことを特徴と
する。
【0018】この様にマクロでみれば規則的ではある
が、ミクロには不規則なパターンからなる凹凸パターン
を基板1上に設けることによって、感光性樹脂5層の熱
収縮に伴って表面に形成される皺状凹凸形状6を凹凸パ
ターンに沿うように形成することができ、それによっ
て、反射光に指向性を持たせることができるとともに、
ギラツキ感を低減することができる。なお、この場合、
皺状凹凸形状6は凹凸パターン要素2,3の配置に厳密
に沿っている必要はなく、反射光に指向性を持たせるこ
とができるとともに、ギラツキ感を低減する効果が得ら
れる限りは多少ずれていても問題はない。
【0019】また、この場合、2つ以上の線状の凹凸パ
ターン要素2,3が組み合わされて繰り返しパターン要
素2,3を構成し、前記繰り返しパターン要素2,3を
繰り返すことによって全体の凹凸パターンを形成するこ
とが望ましく、それによって、凹凸パターンの設計工程
が簡素化される。
【0020】また、この場合の皺状凹凸形状6の平均傾
斜角の標準偏差を、反射板の面内で2°以下にすること
が望ましく、それによって、ギラツキ感を確実に低減す
ることができる。
【0021】また、この様な凹凸パターンをTFT等の
アクティブ素子を設けたアクティブマトリクス型液晶表
示装置に形成する場合には、補助容量配線CS 等のアク
ティブ素子或いは配線を構成する電極材料によって形成
することが望ましく、それによって、凹凸パターン要素
2,3の製造工程と電極パターンの形成工程を兼ねるこ
とができるので、製造工程が簡素化される。
【0022】また、この様な凹凸パターンをカラー液晶
表示装置に形成する場合には、波長が長くなるほど液晶
層の屈折率が小さくなるため、RGB毎に異なった凹凸
パターンとすることが望ましく、特に、基本パターン4
における凹凸パターン要素2,3の配列方向に沿った傾
斜を、長波長画素において短波長画素より大きくするこ
とが望ましく、それによって、反射光の角度特性を各画
素において均一化することができる。
【0023】
【発明の実施の形態】ここで、図2乃至図7を参照し
て、本発明の第1の実施の形態の反射型液晶表示装置を
説明する。 図2(a)参照 図2(a)は、凹凸パターンを示す概略的平面図であ
り、透明ガラスからなる基板11上に、厚さが、例え
ば、100nmのITOからなる互いに異なった方位を
有する4つの凹凸パターン要素12〜15を配置して繰
り返しパターン16を形成し、この繰り返しパターン1
6を図において右側方向に繰り返すことによって全体の
凹凸パターンを形成する。
【0024】なお、各凹凸パターン要素12〜15の一
例を挙げると、長さa,bは、例えば、a=b=10μ
m、幅eはe=3μm、また、凹凸パターン要素12,
14の傾斜角cは、c=15°、また、凹凸パターン要
素13,15の傾斜角dは、d=45°である。
【0025】次いで、図示は省略するものの、上記の図
12と同様の工程によって、まず、レジストAFP−7
50(クラリアント・ジャパン社製商品名)を、厚さ
が、例えば、2μmになるように塗布したのち、90℃
で20分間のプリベークを行い、レジスト層内の溶媒を
除去する。
【0026】次いで、全面に紫外線を2600mJ/c
2 照射して、レジスト層に熱的変形特性の分布を持た
せた後、200℃で60分間のベークを行ってレジスト
層の表面に皺状凹凸形状を発生させ、次いで、全面に厚
さが、例えば、200nmのAl膜を蒸着して反射膜を
形成することによって、本発明の第1の実施の形態の拡
散反射板が完成する。
【0027】図2(b)参照 図2(b)は、上記の本発明の第1の実施の形態の拡散
反射板(サンプル1)の表面の反射膜の顕微鏡像を模写
したものであり、滑らかな曲線状パターンからなる規則
正しい表面パターンが見られ、特段のギラツキは見られ
なかった。
【0028】次に、図3を参照して、より規則的なパタ
ーンを配置したサンプル2と、ITOをパターニングし
ないサンプル3からなる比較例を説明するが、パターン
が異なるだけで製造工程自体は第1の実施の形態と全く
同様である。 図3(a)参照 図3(a)は、図2(a)に示した各凹凸パターン要素
12〜15を規則正しく配列した繰り返しパターン17
からなるものであり、各凹凸パターン要素12〜15自
体の構成a〜eは上記の第1の実施の形態と全く同様で
ある。
【0029】図3(b)参照 図3(b)は、図3(a)のサンプル2の拡散反射板の
表面の反射膜の顕微鏡像を模写したものであり、この場
合、方位が異なる直線パターン領域からなる規則正しい
表面パターンが見られ、かなりのギラツキが感じられ
た。
【0030】図3(c)参照 図3(c)は、ITOをパターニングしないサンプル3
の拡散反射板の表面の反射膜の顕微鏡像を模写したもの
であり、この場合にはレジスト層表面のランダムな皺状
凹凸形状に対応してランダムなパターンが見られ、特段
のギラツキは見られなかった。
【0031】この様に、本発明の第1の実施の形態にお
いては、ある凹凸パターン要素の周囲に方位が異なる他
の凹凸パターン要素を配置させることで曲線状のパター
ンが得られることがわかった。
【0032】図4(a)参照 図4(a)は、本発明の第1の実施の形態の拡散反射板
の反射率の方位角依存性を示す図であり、上述のサンプ
ル2及びサンプル3の反射率の方位角依存性も合わせて
示してある。
【0033】本発明の第1の実施の形態においては、方
位45°〜135°の範囲内に反射光が集光し、しか
も、ほぼ均一の明るさが実現されていることが理解され
る。一方、サンプル2の場合には、方位45°、75
°、105°、及び、135°に鋭いピークが見られ
る。また、サンプル3の場合には、方位に依存しない反
射特性が得られている。
【0034】図4(b)参照 図4(b)は、上記の反射率の測定方法を示す図であ
り、作製した各サンプルの反射膜に対向するように、厚
さが、例えば、100nmのITOを形成した0.7m
m厚のガラス基板を対向させ、両者の間にイマージョン
オイル(屈折率1.52)を注入した状態で、各方位角
φについて、入射角30°の平行光を入射させて、0°
方向に設けたディテクタで反射光の強度を測定した。
【0035】次に、図4(a)における反射特性の原因
を調べるために反射膜の表面形状を測定したので、図5
を参照して説明する。 図5(a)参照 図5(a)は、各サンプルにおけるMRS粗さの方位角
依存性を示す図であり、本発明の第1の実施の形態にお
いては、方位45〜135°の範囲で、約9°の高い傾
斜が得られていることがわかった。
【0036】それに対し、サンプル2においては、鋭い
ピークの反射光が得られた方位のみに大きな傾斜が存在
するのがわかる。一方、ITOをパターニングしないサ
ンプル3においては、全ての方位においてほぼ8°の高
い傾斜が見られた。
【0037】したがって、本発明の第1の実施の形態の
様に、ある凹凸パターン要素の周囲に方位が異なる他の
凹凸パターン要素を配置させることでRMS粗さの方位
依存性を緩和し、しかも特定の方位角範囲にだけ大きな
傾斜を持たせることができた。
【0038】図5(b)及び(c)参照 図5(b)及び(c)は、上述のRMS粗さの測定方法
の説明図であり、図5(b)に示す測定しようとする方
位φについて、表面を段差計等で測定すると図5(c)
に示すような曲線が得られる。この曲線における測定点
A(xa ,ya ,za )とその隣の測定点B(xb ,y
b ,zb )とを結ぶ直線の傾斜角θABを、複数(n箇
所)の測定箇所について求め、これらの2乗平均をRM
S粗さを定義した。即ち、 RMS粗さ={(1/n)×ΣθAB 2 1/2 となる。
【0039】次に、問題となるギラツキの原因を調べた
ので図6を参照して説明する。なお、ギラツキ度は、心
理物理量として、白紙と鏡とを参照して、 5 :金属的な強いぎらつきを感じる 4 :強いぎらつき有り 3 :少しぎらつき有り(白っぽい) 2 :わずかにぎらつき有り(白く感じる) 1 :ぎらつき感無し(白い) の5段階評価を行った。
【0040】この様なギラツキ度を上記の各サンプルに
ついて測定してみると、本発明の第1の実施の形態の場
合にはギラツキ度2、サンプル2の場合はギラツキ度
5、サンプル3についてはギラツキ度1であった。
【0041】図6(a)参照 図6(a)は、本発明の第1の実施の形態の場合にギラ
ツキ度が低い理由を表す図であり、図4(a)に示す様
に、第1の実施の形態においては反射光の方位依存が小
さいことから、いずれの反射光もほぼ同じ明るさを持つ
ため、ギラツキ度が小さいと考えられる。
【0042】図6(b)参照 図6(b)は、サンプル2においてギラツキ度が高い理
由を表す図であり、図4(a)に示す様に、サンプル2
では反射光の方位依存が激しいために、特定の条件を満
たす反射光は非常に明るいがその条件を満たさない反射
光は非常に明るさが乏しく、場所により反射光の明暗が
激しくなり、ギラツキ度が大きくなると考えられる。
【0043】そこで、各種の凹凸パターンを用いて反射
膜を作製し、表面のRMS粗さを測定して反射膜内のR
MS粗さのばらつき(標準偏差)を調べたので、図7を
参照して説明する。 図7参照 図7は、ギラツキ度とRMS粗さの標準偏差の相関関係
を示す図であり、RMS粗さの標準偏差が大きいほどギ
ラツキ度が大きくなることがわかり、標準偏差を2°以
下に抑えると、ぎらつき度が3以下になり、ほとんどぎ
らつきを感じないことがわかる。
【0044】以上、説明したように、本発明の第1の実
施の形態においては、ある凹凸パターン要素の周囲に方
位が異なる他の凹凸パターン要素を配置させることでR
MS粗さの方位依存性を緩和し、しかも特定の方位角範
囲にだけ大きな傾斜を持たせることができるので、ギラ
ツキを生じることなく、反射光を有効に利用することが
できる。
【0045】次に、図8を参照して、本発明の第1の実
施の形態の反射型液晶表示装置の拡散反射板を形成する
ための凹凸パターンの変形例を説明する。 図8(a)乃至(e)参照 図8(a)乃至(e)は、本発明の第1の実施の形態の
凹凸パターンの変形例を示す平面図であり、反射光に指
向性を持たせるとともに、ギラツキ感を生じさせないパ
ターンの例であり、パターンは直線に限らず、曲線、ジ
グザグ等が可能である。いずれの場合にも、マクロで見
ると規則性を有するものの、ミクロに見た場合には、程
度の問題はあるものの規則性を有さないパターンであ
る。
【0046】次に、図9を参照して、実際の素子配置と
凹凸パターンの配置を示した本発明の第2の実施の形態
を説明する。 図9参照 図9は、本発明の第2の実施の形態のアクティブマトリ
クス型の反射型液晶表示装置の要部平面図であり、アク
ティブ素子としてのTFT21、TFT21に接続する
ゲートバスライン22、データバスライン23、及び、
画素電極24からなる画素において、補助容量電極25
を形成する際に、補助容量電極25を形成するために堆
積させた導電膜をパターニングする際に、方位が互いに
異なる4つの凹凸パターン要素26〜29からなる凹凸
パターンを同時に形成したものである。
【0047】この本発明の第2の実施の形態において
は、補助容量電極25と凹凸パターン要素26〜29と
を同じ工程で形成しているので、プロセス数を増加させ
ずに凹凸パターンを形成でき、それによって、所望の皺
状凹凸形状を得ることが可能になる。
【0048】次に、図10を参照して、カラー反射型液
晶表示装置に関する本発明の第3の実施の形態を説明す
る。 図10(a)乃至(c)参照 図10(a)乃至(c)は、それぞれ本発明の第3の実
施の形態の反射型液晶表示装置のR画素、G画素、及
び、B画素に対応する凹凸パターンの説明図であり、図
10(a)に示すR画素における凹凸パターン要素の配
列方向(図においては垂直方向)に対する傾斜が、図1
0(c)に示すB画素における凹凸パターン要素の配列
方向(図においては垂直方向)に対する傾斜より大きく
なっており、図10(b)に示すG画素においてはその
中間である。
【0049】これは、波長が長くなるほど液晶層の屈折
率が小さくなるため、反射板で反射された光が空気層に
出る際に、スネルの法則によってR、G、Bの順番で射
出角が小さくなって、反射光の角度特性が不均一になる
が、凹凸パターンを上記の様にRGB毎に変えることに
よって反射光の角度特性の波長依存性を補償することが
でき、それによって、全ての画素について反射光の角度
特性を均一化することができる。
【0050】以上、本発明の実施の形態を説明してきた
が、本発明は実施の形態に記載した構成に限られるもの
ではなく、各種の変更が可能である。例えば、上記第2
の実施の形態の説明においては、凹凸パターン要素を補
助容量電極の形成工程を利用して形成しているが、ゲー
トバスライン或いはデータバスライン等の他の配線層の
形成工程を利用して形成しても良いものである。
【0051】また、上記の各実施の形態及び変形例に示
した凹凸パターンは一例であり、示した凹凸パターンに
限られるものではなく、マクロで見た場合に規則性があ
り、それによって、反射光の指向性がえられ、ミクロで
みた場合には不規則であり、それによって、ギラツキ度
を発生させないパターンであれば良い。
【0052】例えば、図8に示した各パターニングにお
いては、各凹凸パターン要素は、配列方向に沿って同じ
凹凸パターン要素が連続していないが、2つ程度は連続
しても良いものである。
【0053】また、上記の各実施の形態においては、各
凹凸パターン要素は同じ形状の基本パターン要素の方位
を変えたものとして形成しているが、基本パターン要素
の形状が互いに異なるようにしても良いものであり、さ
らには、形状と方位の両方が異なる複数の凹凸パターン
要素を組み合わせて凹凸パターンを形成しても良いもの
である。
【0054】ここで、再び、図1を参照して、改めて本
発明の詳細な特徴を説明する。 図1(a)及び(b)参照 (付記1) 基板1上に形成した所定の膜厚を有する感
光性樹脂5の少なくとも厚さ方向または面内方向に熱的
変形特性の分布を持たせた後、熱処理によって前記感光
性樹脂5表面に皺状凹凸形状6を形成し、前記皺状凹凸
形状6上に光反射膜7を形成してこれを反射板として用
いた反射型液晶表示装置において、前記感光性樹脂5の
下に方位または形状の少なくとも一方が異なる2つ以上
の線状の凹凸パターン要素2,3が該同一の凹凸パター
ン要素2,3が連続して3つ以上繰り返されないように
配置されるとともに、前記皺状凹凸形状6が前記凹凸パ
ターン要素2,3の配置に沿うことを特徴とする反射型
液晶表示装置。 (付記2) 上記2つ以上の線状の凹凸パターン要素
2,3が組み合わされて繰り返し基本パターン4を構成
し、前記繰り返し基本パターン4を繰り返すことによっ
て上記基板1上に凹凸パターンを形成したことを特徴と
する付記1記載の反射型液晶表示装置。 (付記3) 上記皺状凹凸形状6の平均傾斜角の標準偏
差が、上記反射板の面内で2°以下であることを特徴と
する付記1または2に記載の反射型液晶表示装置。 (付記4) 上記基板1が、アクティブ素子を形成した
基板1であり、且つ、上記凹凸パターン要素2,3が前
記アクティブ素子或いは配線を構成する電極材料によっ
て形成されていることを特徴とする付記1乃至3のいず
れか1に記載の反射型液晶表示装置。 (付記5) 上記アクティブ素子が薄膜トランジスタで
あり、且つ、上記電極材料が補助容量電極を形成する電
極材料であることを特徴とする付記4記載の反射型液晶
表示装置。 (付記6) 上記凹凸パターン要素2,3によって構成
される凹凸パターンが、赤色画素、緑色画素、及び、青
色画素毎に互いに異なっていることを特徴とする付記1
乃至5のいずれか1に記載の反射型液晶表示装置。 (付記7) 上記凹凸パターンが複数の凹凸パターン要
素2,3を一方向に配列した基本パターンの繰り返しか
らなるとともに、各基本パターンにおける凹凸パターン
要素2,3の配列方向に対する傾斜が、長波長画素にお
いて短波長画素より大きくなっていることを特徴とする
付記6記載の反射型液晶表示装置。
【0055】
【発明の効果】本発明によれば、感光性樹脂を熱収縮さ
せて表面に皺状凹凸形状を形成する際に、下地にマクロ
で見た場合に規則性があり、且つ、ミクロでみた場合に
は不規則な凹凸パターンを形成しているので、反射光に
指向性を与えるとともに、特定の方向への鋭い反射によ
るギラツキ感を低減することができ、それによって、高
輝度に表示品質に優れた反射型液晶表示装置の実現に寄
与することろが大きい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の原理的構成の説明図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態の説明図である。
【図3】比較例の説明図である。
【図4】本発明の第1の実施の形態の反射板の反射特性
の説明図である。
【図5】本発明の第1の実施の形態の反射板のRMS粗
さの説明図である。
【図6】本発明の第1の実施の形態の反射板の低ギラツ
キ度の原因の説明図である。
【図7】本発明の第1の実施の形態の反射板のギラツキ
度のRMS粗さ依存性の説明図である。
【図8】本発明の第1の実施の形態の凹凸パターンの変
形例の説明図である。
【図9】本発明の第2の実施の形態の反射型液晶表示装
置の説明図である。
【図10】本発明の第3の実施の形態の反射型液晶表示
装置の説明図である。
【図11】従来の反射型液晶表示装置の概略的断面図で
ある。
【図12】従来の拡散反射板の製造工程の説明図であ
る。
【図13】従来の他の拡散反射板の製造工程の説明図で
ある。
【図14】従来の凹凸パターンの説明図である。
【符号の説明】
1 基板 2 凹凸パターン要素 3 凹凸パターン要素 4 繰り返し基本パターン 5 感光性樹脂 6 皺状凹凸形状 7 反射膜 11 基板 12 凹凸パターン要素 13 凹凸パターン要素 14 凹凸パターン要素 15 凹凸パターン要素 16 繰り返しパターン 17 繰り返しパターン 21 TFT 22 ゲートバスライン 23 データバスライン 24 画素電極 25 補助容量電極 26 凹凸パターン要素 27 凹凸パターン要素 31 TFT基板 32 TFT 33 拡散反射板 34 対向基板 35 カラーフィルタ 36 透明電極 37 液晶層 41 ガラス基板 42 レジスト層 43 フォトマスク 44 紫外線 45 レジストパターン 46 レジストパターン 47 反射膜 51 TFT基板 52 感光性樹脂層 53 紫外線 54 皺状凹凸形状 55 反射膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02F 1/1368 G02F 1/1368 G09F 9/00 338 G09F 9/00 338 9/30 338 9/30 338 349 349D 9/35 9/35 (72)発明者 大室 克文 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 Fターム(参考) 2H042 BA03 BA12 BA14 BA20 DA02 DA12 DA14 DB10 DC01 DC02 DE00 2H091 FA02X FA16Y FA31Y FB04 FB08 FC02 FC22 FC23 GA13 KA10 LA16 2H092 GA13 GA16 HA05 JA24 JB05 JB07 MA04 MA09 MA14 MA15 NA01 PA08 PA12 5C094 AA08 AA10 AA12 AA43 AA48 BA03 BA43 CA19 CA24 DA12 EA04 EA06 ED03 FA04 FB01 FB15 GB10 5G435 AA03 AA04 AA17 BB12 BB16 CC09 CC12 FF03 HH03 KK05

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に形成した所定の膜厚を有する感
    光性樹脂の少なくとも厚さ方向または面内方向に熱的変
    形特性の分布を持たせた後、熱処理によって前記感光性
    樹脂表面に皺状凹凸形状を形成し、前記皺状凹凸形状上
    に光反射膜を形成してこれを反射板として用いた反射型
    液晶表示装置において、前記感光性樹脂の下に方位また
    は形状の少なくとも一方が異なる2つ以上の線状の凹凸
    パターン要素が該同一の凹凸パターン要素が連続して3
    つ以上繰り返されないように配置されるとともに、前記
    皺状凹凸形状が前記凹凸パターン要素の配置に沿うこと
    を特徴とする反射型液晶表示装置。
  2. 【請求項2】 上記2つ以上の線状の凹凸パターン要素
    が組み合わされて繰り返し基本パターンを構成し、前記
    繰り返し基本パターンを繰り返すことによって上記基板
    上に凹凸パターンを形成したことを特徴とする請求項1
    記載の反射型液晶表示装置。
  3. 【請求項3】 上記皺状凹凸形状の平均傾斜角の標準偏
    差が、上記反射板の面内で2°以下であることを特徴と
    する請求項1または2に記載の反射型液晶表示装置。
  4. 【請求項4】 上記基板が、アクティブ素子を形成した
    基板であり、且つ、上記凹凸パターン要素が前記アクテ
    ィブ素子或いは配線を構成する電極材料によって形成さ
    れていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1
    項に記載の反射型液晶表示装置。
  5. 【請求項5】 上記凹凸パターン要素によって構成され
    る凹凸パターンが、赤色画素、緑色画素、及び、青色画
    素毎に互いに異なっていることを特徴とする請求項1乃
    至4のいずれか1項に記載の反射型液晶表示装置。
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