KR100769804B1 - 띠 형상 워크의 노광 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 요철이 발생하여 워크 스테이지에 흡착되기 힘든 워크에 대하여 리크를 방지하면서 워크 스테이지 상에 흡착 유지되고, 워크의 흡착을 확실하게 검출할 수 있도록 하는 것에 관한다.

워크 스테이지(10)를, 워크(W)가 노광되는 영역이 재치되는 제1 스테이지(10a)와, 띠 형상 워크(W)의 반송 방향 상류측과 하류측에 설치되고, 노광되는 영역 외의 부분이 재치되는 제2 스테이지(10b)로 구성한다. 제1, 2 스테이지(10a, 10b)에 각각 형성된 제1 구멍군(13a)과 제2 구멍군(13b)에, 각각 별개의 진공 공급계(16a, 16b)를 접속하고, 진공 공급계(16a)에 워크의 흡착을 검출하는 진공 센서(14)를 설치한다. 그리고, 제2 구멍군(13b)에서 워크(W)가 노광되는 영역 외의 부분을 흡인하여, 워크(W)가 노광되는 영역의 주변부에서의 주름의 발생을 방지하여, 리크를 발생시키지 않으면서 워크(W)가 노광되는 영역을 흡착한다.

Description

띠 형상 워크의 노광 장치{EXPOSURE APPARATUS FOR BAND-SHAPED WORK}

도 1은 본 발명의 실시예의 워크 스테이지의 구성을 도시하는 도면(단면도)이다.

도 2는 도 1에 도시하는 워크 스테이지를 상방으로부터 본 도면이다.

도 3은 워크 누름 기구의 구성예를 도시하는 도면이다.

도 4는 워크 누름 기구의 동작을 설명하는 도면이다.

도 5는 띠 형상 워크의 노광 장치의 일례를 도시하는 도면이다.

도 6은 주름이나 휘어짐에 의한 요철이 발생하고 있는 띠 형상 워크의 일례를 도시하는 도면이다.

도 7은 종래의 워크 스테이지의 구성(단면도)을 도시하는 도면이다.

도 8은 종래의 워크 스테이지에서 워크 누름 기구에 의해 워크의 에지 부분을 압착한 상태를 도시하는 도면이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 워크 스테이지 10a : 제1 스테이지(노광 스테이지)

10b : 제2 스테이지(보조 스테이지) 11a, 11b : 진공 공급실

12a, 12b : 진공 펌프 13a : 제1 구멍군

13b : 제2 구멍군 14 : 진공 센서

15a, 15b : 전자 밸브 16a : 제1 진공 공급계

16b : 제2 진공 공급계 20 : 워크 누름 기구

21 : 워크 누름부 22 : 워크 누름부 구동부

23 : L자 부재 24 : 에어 실린더

30 : 제어부

본 발명은 장척의 필름 회로 기판(띠 형상 워크) 상에, 마스크를 통해 광을 조사하고, 마스크에 형성된 회로 등의 마스크 패턴을 전사하는, 띠 형상 워크의 노광 장치에 관한 것으로서, 특히, 띠 형상 워크의 노광 장치에서의 워크를 흡착 유지하는 워크 스테이지에 관한 것이다.

액정 등의 디스플레이 패널, 휴대 전화, 디지털 카메라, IC 카드 등에서는, 두께 25㎛∼125㎛ 정도의 폴리에스테르나 폴리이미드 등의 수지 필름 상에 집적 회로를 실장한 필름 회로 기판이 이용되고 있다.

필름 회로 기판은, 그 제조 공정에서는 예컨대 폭 250mm, 두께 100㎛, 길이 수백 m의 띠 형상의 워크이며, 통상적으로 릴에 감겨져 있다.

또, 필름 회로 기판은 상기의 수지 필름 상에 도전체(예컨대 구리박)가 접착되어 있다. 필름 회로 기판의 제조는, 레지스트를 도포하는 공정, 원하는 회로 패턴을 전사하는 노광 공정, 레지스트의 현상 공정, 불필요한 도전체를 제거하는 에 칭 공정 등을, 예컨대 4회에서 5회 반복함으로써 행해진다.

각 공정에서는, 필름 회로 기판이 릴로부터 권출되어, 처리 가공되고, 다시 릴에 권취된다. 이하 필름 회로 기판을 띠 형상 워크라고 부른다.

도 5에 띠 형상 워크의 노광 장치의 일례를 도시한다.

띠 형상 워크(W)(이하, 간단하게 워크(W)라고도 한다)는, 워크(W)를 보호하는 스페이서와 중첩하여 권출 롤(1)에 롤 형상으로 감겨있다. 권출 롤(1)로부터 인출 시에, 스페이서는 스페이서 권취 롤(1a)에 권취된다.

권출 롤(1)로부터 나온 띠 형상 워크(W)는, 늘어짐부(A1), 중간 가이드 롤(R2)을 지나 인코더 롤(R3)과 누름 롤(R3')에 의해 협지된다. 인코더 롤(R3)은 워크 반송 시에 후술하는 반송 롤에서 슬립이 발생하고 있지 않은지를 확인하기 위한 롤이다.

권출 롤(1)로부터 인출된 띠 형상 워크(W)는, 노광부(3)를 지나, 반송 롤(R4)과 누름 롤(R4')에 의해 협지된다. 띠 형상 워크(W)는 반송 롤(R4)이 회전함으로써 설정된 소정량이 반송되어, 노광부(3)의 워크 스테이지(10) 상으로 전송된다.

노광부(3) 상에는, 램프(4a)와 집광경(4b)으로 구성되는 광 조사부(4)와, 마스크 패턴을 갖는 마스크(M)와, 투영 렌즈(5)가 설치되어 있다. 또, 워크 스테이지(10)는 워크 스테이지 구동 기구(6) 상에 장착되어 있고, 상하, 좌우 방향으로 구동 가능한 동시에, 워크 스테이지 면에 수직인 축을 중심으로 하여 회전 가능하다.

노광부(3)에서, 띠 형상 워크(W)는, 노광되는 영역의 이면측이, 워크 스테이지(10)의 표면에 진공 흡착 등의 유지 수단에 의해 유지된다. 이것은, 투영 렌즈(5)에 의해 투영되는 마스크 패턴의 결상(結像) 위치에, 워크(W)가 노광하는 영역을 고정하고, 노광 중에 워크(W)가 광축 방향 또는 반송 방향으로 이동하는 것을 방지하기 위함이다.

그 후, 워크 스테이지 구동 기구(6)를 구동하여, 회로 등의 마스크 패턴을 형성한 마스크(M)와 워크(W)의 노광 영역을 위치 맞춤한다. 위치 맞춤을 종료한 후, 광 조사부(4)로부터 방사되는 노광 광이 마스크(M), 투영 렌즈(5)를 통해 워크(W)에 조사되고, 마스크 패턴이 워크(W)에 전사된다.

노광이 종료되면, 띠 형상 워크(W)는 반송 롤(R4)과 누름 롤(R4')에 의해 협지되고, 다음 노광 영역이 워크 스테이지(10) 상에 오도록 반송되어 노광된다.

이렇게 하여 띠 형상 워크(W)는 순차 노광되고, 가이드 롤(R5), 늘어짐부(A2)를 지나 권취롤(2)에 권취된다. 이 때, 스페이서 권출 롤(2a)로부터 스페이서가 송출되어, 노광이 된 띠 형상 워크(W)는, 스페이서와 함께 권취롤(2)에 권취된다.

그러나, 상기 띠 형상 워크(W)에는, TAB 테입처럼, 폴리이미드 등의 수지 필름에 구리박 등의 금속 박이 접착되어 있는 것이 있다. 구리박의 접착은, 열이나 압력을 가하여 행하여지므로, 구리박과 유기 화합물 필름과의 열 팽창 계수의 차이 등에 의해, 폭 방향으로 휘어짐이 발생하는 경우가 있다.

또, 전(前)공정에서, 띠 형상 워크(W)를, 워크 주변부에 형성되어 있는 퍼포 레이션 홀의 피치에 따른 돌기를 갖는 스프로킷 롤러에 의해서 반송하면, 퍼포레이션 홀 부근의 필름에 늘어남이나 변형이 발생되는 경우가 있다.

이와 같은 띠 형상 워크에서, 상기한 바와 같이 노광 공정, 현상 공정, 에칭 공정이 반복되면, 휘어짐이나 주름이 커지고, 도 6에 도시한 바와 같이, 띠 형상 워크(W)의 퍼포레이션 홀(PH) 부근의 필름에 요철이 생겨, 예컨대 미역과 같이 전체에 주름이 생긴 상태가 되는 경우가 있다.

상기한 바와 같이, 노광에 있어서, 띠 형상 워크(W)는 평면의 워크 스테이지(10) 상에 진공 흡착 등의 유지 수단으로부터 유지된다. 워크 스테이지(10) 상에 띠 형상 워크(W)가 유지된 것을, 워크 스테이지(10)에 공급되는 진공의 압력에 의해 검출한다.

도 7에, 종래의 워크 스테이지(10)의 개략 구성을 도시하고, 동일 도면에 의해 상기 유지 수단에 관해서 설명한다. 또한, 동일 도면은 띠 형상 워크의 폭 방향(띠 형상 워크 반송 방향에 직교하는 방향)에서 본 단면도이다.

도 7에 도시한 바와 같이, 워크 스테이지(10)의 내부에는 진공 공급실(11)이 설치되어 있고, 진공 공급실(11)에는, 전자(電磁) 밸브(15)를 통해서, 진공 펌프(12)로부터의 진공 공급계가 접속되어 있다.

워크 스테이지(10)의 표면에는 다수의 진공 흡착 구멍(13)이 형성되어 있고, 진공 흡착 구멍(13)에는, 진공 공급실(11)을 통해 진공이 공급되며, 워크(W)가 워크 스테이지(10)의 표면에 흡착 유지된다.

진공 공급계에는 진공의 압력을 검출하는 진공 센서(14)가 설치되어 있고, 워크(W)의 흡착을 검출한다. 즉, 워크 스테이지(10) 표면에 워크(W)가 흡착되지 않을 때에는, 진공 공급실(11)에 진공을 공급하여도 진공 흡착 구멍(13)으로부터 대기가 흡인되므로, 진공 공급계는 거의 감압되지 않고, 압력은 대기압에 여전히 가깝다.

그러나, 워크 스테이지(10) 표면에 워크(W)가 흡착되면, 진공 흡착 구멍(13)으로부터의 대기의 흡인이 없어지므로 진공 공급계가 감압된다. 따라서 압력이 하강한다.

진공 센서(14)는 상기 진공 공급계의 압력을 검출하고, 이 압력이 설정된 임계치 압력보다도 낮은 경우에는 ON 신호를, 높은 경우에는 OFF 신호를, 노광 장치의 제어부(30)로 전송한다. 제어부(30)는, ON 신호가 입력되면, 워크 스테이지(10) 표면에 워크(W)가 흡착되었다고 인식하여, 노광 장치가 노광을 위한 다음 동작, 예컨대 마스크(M)와 워크(W)의 위치 맞춤 동작이나 실제의 노광 동작으로 옮겨진다.

마스크(M)의 패턴이 해상도가 좋게 워크(W)의 표면에 결상하도록, 워크 스테이지(10)의 표면 위치는 미리 상기 워크 스테이지 구동 기구(6)에 의해, 소정 위치로 설정되어 있다.

그러나, 띠 형상 워크(W)에, 도 6과 같이, 주름이나 휘어짐에 의한 요철이 발생하면, 워크(W)가 워크 스테이지(10)에 흡착될 때에 워크(W)가 흡착되는 영역(노광되는 영역)의 주변부에서 워크(W)와 워크 스테이지(10) 간에 틈새가 생기고, 이 틈새에서 도 7에 도시한 바와 같이 진공이 리크한다.

리크가 생기면 진공 공급계는 감압되지 않으며, 진공 센서(14)는 ON 신호를 출력하지 않는다. 따라서, 워크 스테이지(10) 표면에 워크(W)가 존재함에도 불구하고, 제어부(30)는 워크(W)의 흡착을 인식할 수 없으며, 흡착 에러가 되므로, 장치가 노광을 위한 다음 동작으로 옮겨 갈 수 없게 된다.

진공 센서(14)에 의해 워크(W)의 흡착을 검출하기 위해서는, 워크(W)가 흡착되는 영역(노광되는 영역)의 주변부로부터의 리크를 방지하면 된다.

띠 형상 워크(W)의 폭 방향 양측(퍼포레이션 홀이 형성되는 에지의 부분)으로부터의 리크를 방지하는 방법으로서, 예컨대, 워크의 주변부를 워크 스테이지에 기계적으로 압착하는 방법이 제안되어 있다(특허문헌 1 참조). 퍼포레이션 홀이 형성되는 에지 부분은, 노광되는 영역 외이므로, 기계적으로 압착하여도 문제가 없다.

또, 특허문헌 2에는, 휘어짐이나 주름을 발생시키지 않고, 워크를 워크 스테이지에 진공 흡착시키기 위해, 워크 스테이지 상의 노광 영역 내에 형성된 진공 흡착 구멍을 다수의 구멍군으로 구분하여, 각 구멍군을 각각 상이한 연통실에 접속하고, 각 연통실을 순차 진공 흡인하는 방법이 제안되어 있다.

(특허문헌 1)일본국 특개평 3-282473호 공보

(특허문헌 2)일본국 특허 제2804151호 공보

그러나, 상기 도 6에 도시한 바와 같이 휘어짐이나 주름이 커져, 띠 형상 워크(W)의 에지 부분 전체에 요철이 생긴 상태이면, 상기 특허문헌 1에 기재된 바와 같이, 워크(W)의 에지 부분을 워크 스테이지(10)에 압착하여도 에지 부분의 주름이 띠 형상 워크의 길이 방향으로 나오게 되므로, 상기 도 7에 도시한 바와 같이, 주름이 생긴 채로 스테이지에 흡인되어 리크가 생긴다.

또, 도 8의 반송 방향으로부터의 단면도에 도시하는 바와 같이, 상기 특허문헌 1에 기재되는 워크 누름부(21)에 의해, 워크(W)의 에지 부분을 워크 스테이지(10)에 압착하여도, 주름으로 되어 있는 이외의 부분은, 워크 스테이지(10)에 달라붙지만, 주름 부분은 워크 스테이지(10)에 대하여 뜬 상태가 되어, 이 부분에서 리크가 생긴다.

이 길이 방향으로 생긴 주름은, 워크 스테이지에 공급하는 진공 양을 크게하여도 없어지지 않으므로, 리크를 멈출 수 없었다.

또, 띠 형상 워크(W)의 길이 방향에 관해서는, 패턴이 형성되는 영역이며, 기계적으로 압착하면, 형성된 패턴에 상처가 나거나 먼지가 부착하는 등, 불량의 원인이 되는 경우가 있다. 따라서, 기계적으로 워크를 압착하는 수단을 취할 수 없게 된다.

한편, 상기 특허문헌 2에 기재되는 바와 같이, 워크 스테이지 상의 노광 영역 내에 형성된 진공 흡착 구멍을 다수의 구멍군으로 구분하여, 각 구멍군을 순차 진공 흡인하는 방법을 이용하는 것도 생각할 수 있지만, 상기 도 6에 도시한 바와 같은 요철이 생긴 띠 형상 워크에 대해서는, 효과를 기대할 수 없다.

즉, 워크 스테이지의 노광 영역 내에 형성된 구멍군을 순차 진공 흡인하면, 노광 영역의 중심 부분은 워크 스테이지에 흡착되지만, 노광 영역의 주변 부분에는 상기 도 7에 도시한 바와 같이 주름이 남아, 주름 부분은 워크 스테이지에 대하여 뜬 상태가 되어, 이 부분으로부터 리크가 생긴다.

이 때문에, 상기 진공 센서(14)는, ON 신호를 출력하지 않고, 상기한 바와 같이, 장치는 노광을 위한 다음 동작으로 옮겨 갈 수 없게 된다.

본 발명은 상기 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은, 전체에 요철이 생겨 워크 스테이지에 흡착되기 힘든 띠 형상 워크에 대하여, 패턴이 형성되는 영역을 기계적으로 압착하지 않고, 리크를 방지하면서 워크 스테이지 상에 흡착 유지할 수 있도록 하여, 띠 형상 워크가 워크 스테이지에 흡착된 것을 확실하게 검출할 수 있도록 하는 것이다.

상기 과제를 본 발명에서는 다음과 같이 해결한다.

워크 스테이지에, 워크가 노광되는 영역을 진공 흡착하기 위한 다수의 제1 구멍군에 부가하여, 적어도 워크 반송 방향의 상류측과 하류측에, 상기 노광되는 영역 이외의 영역을 흡인하는 제2 구멍군을 형성한다.

또, 상기 제1 구멍군과 제2 구멍군에, 각각 별개의 진공 공급계를 접속하고, 적어도 제1 구멍군에 공급되는 진공 공급계에 상기 워크의 흡착을 검출하는 센서를 설치한다.

그리고, 워크 스테이지에 워크가 반송되었을 때, 상기 제2 구멍군에서 워크가 노광되는 영역 외의 부분을 흡인하고, 워크가 노광되는 영역의 주변부에서의 주름의 발생을 방지한다. 이것에 의해, 리크가 발생하지 않고 워크가 노광되는 영역을 흡착할 수 있게 된다.

도 1, 도 2에 본 발명의 실시예의 워크 스테이지의 구성을 도시한다. 도 1은 띠 형상 워크의 폭 방향(띠 형상 워크의 반송 방향에 직교하는 방향)에서 본 워크 스테이지의 단면도, 도 2는 워크 스테이지를 상방에서 본 도면이다(동일 도면에서는 후술하는 띠 형상 워크의 에지 부분을 누르는 워크 누름 기구가 생략되어 있다).

또한, 본 실시예의 띠 형상 워크의 노광 장치의 전체 구성은, 상기 도 5에 도시한 것과 동일하고, 상기한 바와 같이, 권출 롤(1)로부터 인출된 띠 형상 워크(W)는, 노광부(3)에 설치된 상기 도 1, 도 2에 도시하는 워크 스테이지(10) 상으로 전송되며, 진공 흡착에 의해 유지된다. 그리고, 위치 맞춤 종료 후에, 마스크 패턴이 띠 형상 워크(W)가 노광되는 영역으로 전사된다. 띠 형상 워크(W)는 순차적으로 상기 워크 스테이지(10)에 반송되어 노광되고, 노광 후에 권취 롤(2)에 권취된다.

도 1, 도 2에 도시하는 바와 같이, 본 실시예의 워크 스테이지(10)는, 노광 시에 띠 형상 워크(W)가 노광되는 영역이 재치되는 제1 스테이지(노광 스테이지)(1Oa)와, 띠 형상 워크(W)의 반송 방향 상류측과 하류측에 설치되고, 노광되는 영역 외의 부분이 재치되는 제2 스테이지(보조 스테이지)(1Ob)로 구성된다.

또한, 제1 스테이지(10a)와 제2 스테이지(10b)는, 동일 평면의 일체의 스테이지로 구성할 수 있고, 제1 스테이지(10a)와 제2 스테이지(10b)는 진공 공급계를 다르게 하는 것 뿐으로, 상방으로부터 본 외관은 동일하다. 또, 제1 스테이지 (10a)에는 띠 형상 워크(W)가 노광되는 영역이 재치되므로, 제1 스테이지(10a)의 크기는 상기 도 7에 도시한 워크 스테이지와 대략 동일하고, 본 실시예의 워크 스테이지(10)는 상기 제2 스테이지(10b) 분만큼, 종래의 워크 스테이지보다 띠 형상 워크(W)의 반송 방향으로 길다.

제1 스테이지(노광 스테이지)(1Oa)의 단면 구조는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 종래의 워크 스테이지와 동일한 구조이다.

내부에는 진공 공급실(11a)이, 또, 표면에는 다수의 진공 흡착 구멍(제1 구멍군)(13a)이 형성되어 있고, 진공 공급실(11a)에는 진공 펌프(12a)로부터의 제1 진공 공급계(16a)가 접속되어 있다. 제1 진공 공급계(16a)에는 워크(W)의 흡착을 검출하는 진공 센서(14)와 제1 스테이지(10a)에 진공을 공급하는 제1 전자 밸브(15a)가 장착되어 있다. 진공 센서(14)는, 상기한 바와 같이 상기 진공 공급계의 압력을 검출하고, 이 압력이 설정된 임계치 압력보다도 낮은 경우에는 ON 신호를, 높은 경우에는 OFF 신호를, 노광 장치의 제어부(30)로 전송한다. 제어부(30)는 ON 신호가 입력되면, 워크 스테이지(10) 표면에 워크(W)가 흡착되었다고 인식하고, 노광 장치는 노광을 위한 다음 동작, 예컨대 마스크(M)와 워크(W)의 위치 맞춤 동작이나 실제의 노광 동작으로 옮겨간다.

제1 스테이지(10a)의 띠 형상 워크 반송 방향의 상류측, 하류측에는, 제2 스테이지(보조 스테이지)(10b)가 설치되어 있다.

제2 스테이지(10b)의 단면 구조도, 제1 스테이지(10a)의 단면 구조와 동일하고, 내부에는 진공 공급실(11b)이, 표면에는 다수의 진공 흡착 구멍(제2 구멍군 )(13b)이 형성되어 있으며, 진공 공급실(11b)에는 진공 펌프(12b)로부터의 제2 진공 공급계(16b)가 접속된다. 제2 진공 공급계(16b)에는 제2 전자 밸브(15b)가 장착되어 있지만 진공 센서를 설치할 필요는 없다.

여기서, 제1 스테이지(10a)에 진공을 공급하는 제1 진공 공급계(16a)와, 제2 스테이지(10b)에 진공을 공급하는 제2 진공 공급계(16b)는, 독립한 별개의 계통이고, 제1 진공 공급계(16a)는 제1 진공 펌프(12a)에 접속되고, 제2 진공 공급계(16b)는 제2 진공 펌프(12b)에 접속되어 있다.

따라서, 제2 진공 공급계(16b)의 압력 변동이 변동하여도, 그것에 따라 제1 진공 공급계(16a)의 압력이 변화하지 않는다.

상기의 「독립한 별개의 계통」이란, 한쪽의 진공 공급계의 압력 변동이, 다른 쪽의 압력에 영향를 주지 않는다는 의미이다. 동일 도면에서는 진공 펌프를 2대 이용하여 완전하게 다른 계통으로 하고 있지만, 예컨대, 공장과 같은 대용량의, 압력 변동이 없는 진공 공급 라인이면 동일한 진공 공급 라인에 접속하여도 문제가 없다.

상기 워크 스테이지(10)의 띠 형상 워크 폭 방향 양측(도 1의 지면 전후 방향)에는, 띠 형상 워크(W)의 폭 방향 양측으로부터의 리크를 방지하기 위해, 상기한 띠 형상 워크의 에지 부분을 누르는 워크 누름 기구(20)가 설치되어 있다.

도 3에 상기 워크 누름 기구의 구성예를 도시한다.

워크 누름 기구(20)는 동일 도면에 도시하는 바와 같이, 워크 스테이지(10)의 양측에 장착된 프레임(25) 상에 설치되고, 띠 형상 워크(W)의 에지 부분을 누르 는 워크 누름부(21)와, 이 워크 누름부(21)를 구동하는 워크 누름부 구동부(22)로 구성된다.

워크 누름부 구동부(22)는 상기 워크 누름부(21)에 연결된 L자 부재(23)와, 이 L자 부재(23)를 구동하는 에어 실린더(24)를 구비한다.

워크 누름부(21)는 상기 워크 누름부 구동부(22)에 의해 구동되고, 동일 도면에 도시하는 바와 같이 띠 형상 워크(W)가 노광되는 영역이 노광 위치까지 반송되어 오면, 띠 형상 워크(W)의 퍼포레이션 홀(PH)이 형성된 에지 부분을 위로부터 압착하여, 워크 스테이지(10)에 압착한다. 또한, 워크(W)에는, 워크(W)의 위치 맞춤을 위한 워크 마크(WAM)가 형성되어 있고, 이 워크 마크(WAM)를 피하기 위해서, 워크 누름부(21)에는 절결부(21a)가 설치되어 있다.

도 4는, 상기 워크 누름 기구(20)의 동작을 설명하는 도면이다. 동일 도면 (a)에 도시하는 바와 같이, 워크(W)의 에지 부분을 누르고 있지 않은 상태에서는, 에어 실린더(24)의 샤프트(24a)가 후퇴하고, 워크 누름부(21)는 워크 스테이지(10)로부터 이간한다.

에어 실린더(24)가 구동되어 샤프트(24a)가 전진하면, 동일 도면 (b)에 도시하는 바와 같이, 샤프트(24a)에 의해 L자 부재(23)가 샤프트(24a)에 의해 눌려져, 축(23a)을 중심으로 회전하고, 워크 누름부(21)가 띠 형상 워크(W)의 에지 부분을 워크 스테이지(10)에 압착한다.

다음에, 띠 형상 워크가, 제1 스테이지(10a)와 제2 스테이지(10b)에 흡착될 때의 동작에 관해서, 상기 도 1∼도 3으로 설명한다.

(1)띠 형상 워크(W)가 워크 스테이지(10) 상에 반송되고, 그 때에 노광을 행하는 영역이 워크 스테이지(10)의 제1 스테이지(10a) 상에 놓인다. 워크의 폭 방향의 에지 부분이, 도 3에 도시한 워크 누름 기구(20)에 의해서, 워크 스테이지(10)에 압착된다.

(2)도 1에 도시하는 제1 전자 밸브(15a)와 제2 전자 밸브(15b)가 동작하여, 제1 스테이지(10a)와 제2 스테이지(10b)에 진공이 공급된다.

(3)워크(W)가 노광되는 영역(의 이면측)이 제1 스테이지(10a)에 흡착된다. 또, 노광 영역에 대하여 워크 길이 방향의 반송 방향 상류측과 하류측의 영역도 제2 스테이지(10b)에 의해서, 도 1의 점선으로 도시하는 상태로부터 동일 도면의 화살표로 도시하는 바와 같이 제2 스테이지(10b) 측에 가까이 끌어당겨진다.

(4)제2 스테이지(10b)에서, 띠 형상 워크(W)는, 리크가 있는 상태로 흡인된다. 이 때의 상태는, 상기 도 8에 도시한 것과 동일한 상태이다. 즉, 도 3에 도시한 워크 누름부(21)에 의해, 워크(W)의 에지 부분을 워크 스테이지(10)에 압착하여도 주름 부분은 워크 스테이지(10)에 대하여 뜬 상태가 되므로, 이 부분에서 리크가 발생되고 있다.

그러나, 제2 스테이지(10b)의 외측에서는, 주름이 다소 남지만, 내측, 즉 노광되는 영역의 방향과 가까워짐에 따라, 제2 스테이지(10b)의 표면을 따라 교정되어 거의 평면이 된다.

(5)이것에 의해, 제1 스테이지(10a)에서 흡착되는 노광되는 영역의, 종래 주름이 발생하여 리크가 발생하던 주변 부분에서, 워크(W)가 평면이 되고, 워크(W)와 제1 스테이지(10a) 간에 틈새가 생기지 않고, 워크(W)는 제1 스테이지(10a)에 리크 없이 흡착된다.

(6)이 때문에, 제1 진공 공급계(16a)는 리크 없이 감압되어 압력이 하강하고, 진공 센서(14)가 ON 신호를 제어부(30)에 출력한다.

제어부(30)는 진공 센서(14)로부터의 신호에 근거하여, 제1 스테이지(10a)에 워크(W)가 노광되는 영역이 흡착되고, 투영 렌즈(5)(상기 도 5 참조)의 결상 위치에서 평면으로 유지한 것을 인식하여, 장치는 노광을 위한 다음 동작, 예컨대 마스크와 워크의 위치 맞춤 동작이나 노광 동작으로 옮겨 갈 수 있다.

여기서, 제2 스테이지(10b)에서는, 워크(W)에서 발생되는 요철에 의하여 리크가 발생하고, 제2 진공 공급계(16b)는 압력이 하강하지 않거나, 공기의 유입에 의해 변동하기도 한다.

그러나, 상기한 바와 같이, 제1 진공 공급계(16a)와 제2 진공 공급계(16b)는 독립된 별개의 계통이므로, 제1 진공 공급계(16a)는 그 영향을 받지 않으며 감압되고, 진공 센서(14)는 워크(W)가 노광되는 영역이, 제1 워크 스테이지(10a)로 흡착된 것을 정확하게 검출할 수 있게 된다.

또한, 제1 전자 밸브(15a)와 제2 전자 밸브(15b)의 동작 타이밍을 엇갈리게 해도 된다. 즉, 우선 제1 전자 밸브(15a)를 동작시켜, 워크(W)를 제1 스테이지(10a)에 흡착시키고, 이 다음에 제2 전자 밸브(15b)를 동작시켜서, 제2 스테이지(10b)에 의해 워크(W)를 흡인한다.

이와 같이 전자 밸브(15a, 15b)를 동작시키면, 요철이 심한 워크라도, 워크 가 노광 영역으로부터 그 주변부를 향해 흡착된다. 따라서, 노광되는 영역에 주름이 남는 것을 방지할 수 있고, 그 결과, 진공 센서에 의해 유지를 검출할 수 있었다.

또한, 도 1, 도 2에서는, 제1 스테이지(10a)와 제2 스테이지(10b)를 일체 구조로 하였지만, 워크 스테이지와 보조 흡인 스테이지를 별개 구조로 하여도 된다.

본 발명에서는, 이하의 효과를 얻을 수 있다.

(1)워크가 노광되는 영역에 대하여 워크 반송 방향 상류측과 하류측의 노광되는 영역 이외의 영역을, 워크가 노광되는 영역을 흡착하는 제1 구멍군과는 별개의 진공 공급계에 접속된 제2 구멍군에 의해 흡인하므로, 워크가 노광되는 영역의 주변에서는 워크는 주름이 감소하여 평면이 되어, 워크가 노광되는 영역과 워크 스테이지 간에 틈새가 발생하지 않게 된다.

따라서, 워크가 노광되는 영역을 흡착하는 제1 구멍군에서의 리크를 방지할 수 있게 된다.

이 때문에, 휘어짐이나 주름이 커진 워크라도, 상기 제1 구멍군에 접속된 진공 공급계에 설치한 진공 센서에 의해, 워크가 흡착된 것을 확실하게 검출할 수 있으므로, 노광을 위한 다음 동작으로 옮겨 가는 것이 가능하게 된다.

또한, 상기 제2 구멍군이 형성된 노광되는 영역 이외의 영역에서는, 리크가 발생되지만, 워크가 노광되는 영역을 흡착하는 제1 구멍군과는 별개의 진공 공급계가 접속되어 있으므로, 제1 구멍군에 접속된 진공 공급계는, 그 리크의 영향으로 압력이 상승되지 않고, 워크의 흡착을 정확하게 인식할 수 있게 된다.

(2)워크의 패턴이 형성되는 영역을 기계적으로 압착하지 않으므로, 패턴에 상처를 내거나 먼지를 부착시키지 않는다.

Claims (1)

1. 띠 형상 워크를 간헐적으로 반송하고,

   상기 반송된 워크를, 스테이지에 진공 흡착하여 노광하는 띠 형상 워크의 노광 장치에 있어서,

   상기 스테이지에는, 상기 워크가 노광되는 영역을 진공 흡착하기 위한 다수의 제1 구멍군에 부가하여, 적어도 워크 반송 방향의 상류측과 하류측에, 상기 노광되는 영역 이외의 영역을 흡인하는 제2 구멍군이 형성되고,

   상기 제1 구멍군과 제2 구멍군에는, 각각 별개의 진공 공급계가 접속되고,

   적어도 제1 구멍군에 공급되는 진공 공급계에는, 상기 워크의 흡착을 검출하는 센서가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 띠 형상 워크의 노광 장치.

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