JP5908744B2 - 露光描画装置、プログラム及び露光描画方法 - Google Patents
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Description
+ΔFD=+Δt−(+Δt)/n
−ΔFD=−Δt−(−Δt)/n
Claims (11)
- 被露光基板を吸着して固定する第1固定部と、
前記被露光基板の端部を狭持して固定する第2固定部と、
前記被露光基板を露光することにより回路パターンを描画する露光部と、
前記被露光基板が前記第1固定部によって固定された際の吸着圧力を計測する圧力計測部と、
前記第1固定部によって前記被露光基板を固定した状態で、前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した後前記第2固定部による固定を解除した際の前記圧力計測部によって計測された吸着圧力が予め定められた閾値以上の場合に、前記第1固定部による前記被露光基板の固定を維持しかつ前記第2固定部による固定を解除した状態で前記露光部により前記被露光基板に対する露光を行うように制御する制御手段と、
を備えた露光描画装置。 - 前記制御手段は、前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した状態で前記圧力計測部によって計測された吸着圧力が前記閾値以上でかつ前記第2固定部による固定を解除した際の前記圧力計測部によって計測された吸着圧力が前記閾値未満の場合に、前記第1固定部による前記被露光基板の固定を維持しかつ前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した状態で前記露光部により前記被露光基板に対する露光を行うように制御する
請求項1記載の露光描画装置。 - 前記被露光基板の被露光面の高さを計測する高さ計測手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した状態で前記圧力計測部によって計測された吸着圧力が前記閾値未満の場合に、前記第2固定部による前記被露光基板の固定を解除した状態で前記高さ計測部によって計測された前記高さが予め定められた範囲内の場合に、前記第1固定部による前記被露光基板の固定を維持しかつ前記第2固定部による固定を解除した状態で前記露光部により前記被露光基板に対する露光を行うように制御する
請求項1または2記載の露光描画装置。 - 前記制御手段は、前記第1固定部によって前記被露光基板を固定した状態で、前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した後前記第2固定部による固定を解除した際の前記高さ計測部によって計測された高さが前記範囲内の場合に、前記第1固定部による前記被露光基板の固定を維持しかつ前記第2固定部による固定を解除した状態で前記露光部により前記被露光基板に対する露光を行うように制御する
請求項3記載の露光描画装置。 - 被露光基板を吸着して固定する第1固定部と、
前記被露光基板の端部を狭持して固定する第2固定部と、
前記被露光基板を露光することにより回路パターンを描画する露光部と、
前記被露光基板が前記第1固定部によって固定された際の吸着圧力を計測する圧力計測部と、
前記被露光基板の被露光面の高さを計測する高さ計測手段と、
前記第1固定部によって前記被露光基板を固定した状態で前記圧力計測部によって計測された吸着圧力が予め定められた閾値未満の場合に、前記第1固定部によって前記被露光基板を固定した状態で、前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した後前記第2固定部による固定を解除した際の前記高さ計測部によって計測された高さが予め定められた範囲内の場合に、前記第1固定部による前記被露光基板の固定を維持しかつ前記第2固定部による固定を解除した状態で前記露光部により前記被露光基板に対する露光を行うように制御する制御手段と、
を備えた露光描画装置。 - 前記制御手段は、前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した状態で前記高さ計測部によって計測された高さが前記範囲内でかつ前記第2固定部による固定を解除した際の前記高さ計測部によって計測された高さが前記範囲外の場合に、前記第1固定部による前記被露光基板の固定を維持しかつ前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した状態で前記露光部により前記被露光基板に対する露光を行うように制御する
請求項4または5記載の露光描画装置。 - 前記制御手段は、前記第2固定部によって前記被露光基板が固定された状態で前記高さ計測部によって計測された高さの変位量が前記範囲内に含まれる場合に、前記被露光基板の被露光面が前記範囲内に位置するように前記被露光基板の高さを調整して前記露光部により前記被露光基板に対する露光を行うように制御する
請求項3乃至6の何れか1項記載の露光描画装置。 - コンピュータを、
被露光基板を吸着して固定する第1固定部と、前記被露光基板の端部を狭持して固定する第2固定部と、前記第1固定部によって固定された前記被露光基板を露光することにより回路パターンを描画する露光部と、前記被露光基板が前記第1固定部によって固定された際の吸着圧力を計測する圧力計測部とを有する露光描画装置において実行されるプログラムであって、
前記第1固定部によって前記被露光基板を固定した状態で、前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した後前記第2固定部による固定を解除した際の前記圧力計測部によって吸着圧力を計測する第1制御手段と、
前記第1制御手段によって計測された吸着圧力が予め定められた閾値以上の場合に、前記第1固定部による前記被露光基板の固定を維持しかつ前記第2固定部による固定を解除した状態で前記露光部により前記被露光基板に対する露光を行う第2制御手段
として機能させるためのプログラム。 - 前記第1制御手段は、前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した状態でも前記圧力計測部によって吸着圧力を計測し、
前記第2制御手段は、前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した状態で前記圧力計測部によって計測された吸着圧力が前記閾値以上でかつ前記第2固定部による固定を解除した際の前記圧力計測部によって計測された吸着圧力が前記閾値未満の場合に、前記第1固定部による前記被露光基板の固定を維持しかつ前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した状態で前記露光部により前記被露光基板に対する露光を行う
請求項8記載のプログラム。 - 被露光基板を吸着して固定する第1固定部と、前記被露光基板の端部を狭持して固定する第2固定部と、前記第1固定部によって固定された前記被露光基板を露光することにより回路パターンを描画する露光部と、前記被露光基板が前記第1固定部によって固定された際の吸着圧力を計測する圧力計測部とを有する露光描画装置における露光描画方法であって、
前記第1固定部によって前記被露光基板を固定した状態で、前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した後前記第2固定部による固定を解除した際の前記圧力計測部によって吸着圧力を計測する第1制御ステップと、
前記第1制御ステップにて前記圧力計測部によって計測された吸着圧力が予め定められた閾値以上の場合に、前記第1固定部による前記被露光基板の固定を維持しかつ前記第2固定部による固定を解除した状態で前記露光部により前記被露光基板に対する露光を行う第2制御ステップ
を備えた露光描画方法。 - 前記第1制御ステップにて、前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した状態でも前記圧力計測部によって吸着圧力を計測し、
前記第2制御ステップにて、前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した状態で前記圧力計測部によって計測された吸着圧力が前記閾値以上でかつ前記第2固定部による固定を解除した際の前記圧力計測部によって計測された吸着圧力が前記閾値未満の場合に、前記第1固定部による前記被露光基板の固定を維持しかつ前記第2固定部によって前記被露光基板を固定した状態で前記露光部により前記被露光基板に対する露光を行う
請求項10記載の露光描画方法。
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