KR20120071764A - 오토포커싱장치 - Google Patents

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KR20120071764A
KR20120071764A KR1020100133443A KR20100133443A KR20120071764A KR 20120071764 A KR20120071764 A KR 20120071764A KR 1020100133443 A KR1020100133443 A KR 1020100133443A KR 20100133443 A KR20100133443 A KR 20100133443A KR 20120071764 A KR20120071764 A KR 20120071764A
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Abstract

본 발명은 피이송물의 위치가 변동되더라도 신속한 포커싱이 이루어짐과 동시에 정확한 포커싱에 의한 검사신뢰성을 대폭적으로 증대시킬 수 있는 오토포커싱장치에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 이송라인(L) 상의 피이송물(W)에 광원을 조사한 후에 이 광원에 의한 반사광을 검출하여 자동적으로 초점을 조절하도록 된 오토포커싱장치에 있어서; 조사거리에 따라 수렴 또는 확산되어 라인광 또는 일정 단면적을 갖는 면적광을 형성하도록 라인형태의 레이저빔을 조사하는 광원조사부(31)와; 상기 광원조사부(31)에 의한 광경로 상에 위치되어 확산 조사되는 면적광을 평행면적광으로 변환하도록 된 평행광렌즈(33)와; 이 평행광렌즈(33)의 전단 또는 후단에 구비되어 광원의 일부를 차단하도록 된 광차단부재(34)와; 상기 평행광렌즈(33)에 의한 평행면적광이 통과되도록 구비되어 상기 피이송물(W)을 포커싱하도록 된 대물렌즈부(35)와; 상기 피이송물(W)에 의한 반사광의 제1 광경로 상에 배치된 포커싱검출부(36)와; 상기 피이송물(W)에 의한 반사광의 제2 광경로 상에 배치된 카메라부(37)와; 상기 대물렌즈부(35)와 포커싱검출부(36) 또는 카메라부(37) 사이에 개재되어 광원의 진행경로를 변경하거나 광원을 통과하도록 된 미러부(38)와; 상기 포커싱검출부(36) 또는 카메라부(37)에 의한 감지신호 또는 이미지에 따라 상기 대물렌즈부(35)의 포커싱을 조절하도록 제어하는 컨트롤러(39)를 포함하여 이루어지는 오토포커싱장치가 제공된다.

Description

오토포커싱장치{Auto focusing apparatus}
본 발명은 오토포커싱장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 피이송물의 위치가 변동되더라도 신속한 포커싱이 이루어짐과 동시에 정확한 포커싱에 의한 검사신뢰성을 대폭적으로 증대시킬 수 있는 오토포커싱장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD나 PDP패널, 글래스, 필름, 웨이퍼 또는 기판 등(이하 "피이송물"이라 함)의 제조공정 중에 피이송물의 표면상에 발생된 스크래치 또는 이물질을 검사하거나 패널의 평탄도나 회로패턴 등을 검사하기 위해 카메라와 그에 부가되는 광학모듈을 포함하는 오토포커싱장치를 사용하게 된다.
이러한 종래의 오토포커싱장치 일례를 도시된 도면에 의해 설명하면 다음과 같다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 오토포커싱장치는 대개 피이송물(W)이 고속으로 이동되는 이송라인(L) 상에 구비되는 것으로, 레이저빔과 같은 광원을 조사하도록 된 광원조사부(11)가 구비되고, 이 광원조사부(11)에 의한 광원은 프리즘(12)을 거쳐 적어도 하나의 볼록렌즈를 포함하는 렌즈조립체(13)로 입사되며, 이 렌즈조립체(13)를 통과한 입사광은 상기 피이송물(W)의 표면에서 반사되어 다시 상기 렌즈조립체(13)를 통과하여 그 상부에 구비된 광학부재(14)를 통과 또는 반사되게 된다.
이때에, 상기 광학부재(14)는 빛의 일부는 통과시킴과 동시에 일부를 반사시키도록 된 하프미러나 이에 동등한 기능을 가진 광학요소로 구성된 것이고, 이러한 광학부재(14)를 통과한 빛은 카메라(15)에 포착되어 상기 피이송물(W)에 대한 촬영이 이루어지게 되며, 또한 상기 광학부재(14)에 의해 반사된 빛은 그 광경로상에 위치된 광원검출센서(16)로 입사되어 그에 의해 설정된 기준점으로부터 검출된 이미지 스폿의 벗어난 정도를 감지하도록 되어 있다.
이와 같은 종래의 오토포커싱장치는 상기 광원검출센서(16)에 의해 검출된 스폿형태의 이미지가 그 설정된 기준점으로부터 벗어난 정도를 감지하면 이를 도시되지 않은 컨트롤러에 의해 상기 렌즈조립체(13)의 피이송물(W)에 대한 포커싱을 자동적으로 맞추도록 되어 있으며, 또한 상기 카메라(15)에 의해 촬영된 이미지가 선명하지 않은 경우에 역시 상기 컨트롤러에 의해 상기 렌즈조립체(13)에 대한 오토포커싱을 행하도록 된 것이다.
하지만, 이러한 종래의 오토포커싱장치에 의하면, 상기 광원조사부(11)에 의해 조사되는 광원이 스폿형태의 레이저빔을 사용하도록 구성된 것으로, 이러한 스폿형태의 광원(이하"점광원"이라 함)을 사용하는 경우에는 상기 피이송물의 표면에 스폿형태로 포커싱이 형성되며, 이러한 점광원은 그 크기가 상대적으로 작아서 상기 피이송물(W)의 표면상에 슬릿이나 요철 등과 같은 스크래치 등에 의해 빛이 산란 또는 흡수되는 문제점이 발생될 뿐만 아니라 이에 의해 상기 광원검출센서(16)에 의해 정상적인 레이저스폿을 얻을 수 없게 되어 작동상의 문제점이 있는 것이다.
또한 전술된 바와 같은 점광원은 포커싱영역이 매우 좁으므로 상기 피이송물(W)의 위치변동에 따른 상기 광원검출센서(16)에 의해 수신되는 스폿이미지의 변위가 매우 클 뿐만 아니라 그에 따라 고속으로 이동되는 피이송물(W)에 대한 상기 렌즈조립체(13)의 오토포커싱에 시간이 많이 소요되거나 상 자체의 위치를 찾지 못하는 경우가 발생하여 신속하고 정확한 포커싱이 어려운 단점이 있는 것이다.
본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 포커싱영역을 확대하도록 구비될 뿐만 아니라 피검사물의 위치변동에 따른 검출된 이미지의 변위를 최소화도록 구비되어 신속한 포커싱이 이루어짐과 동시에 정확한 포커싱에 의한 검사신뢰성을 대폭적으로 증대시킬 수 있는 오토포커싱장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 특징에 따르면, 이송라인(L) 상의 피이송물(W)에 광원을 조사한 후에 이 광원에 의한 반사광을 검출하여 자동적으로 초점을 조절하도록 된 오토포커싱장치에 있어서;
조사거리에 따라 수렴 또는 확산되어 라인광 또는 일정 단면적을 갖는 면적광을 형성하도록 라인형태의 레이저빔을 조사하는 광원조사부(31)와;
상기 광원조사부(31)에 의한 광경로 상에 위치되어 확산 조사되는 면적광을 평행면적광으로 변환하도록 된 평행광렌즈(33)와;
이 평행광렌즈(33)의 전단 또는 후단에 구비되어 광원의 일부를 차단하도록 된 광차단부재(34)와;
상기 평행광렌즈(33)에 의한 평행면적광이 통과되도록 구비되어 상기 피이송물(W)을 포커싱하도록 된 대물렌즈부(35)와;
상기 피이송물(W)에 의한 반사광의 제1 광경로 상에 배치된 포커싱검출부(36)와;
상기 피이송물(W)에 의한 반사광의 제2 광경로 상에 배치된 카메라부(37)와;
상기 대물렌즈부(35)와 포커싱검출부(36) 또는 카메라부(37) 사이에 개재되어 광원의 진행경로를 변경하거나 광원을 통과하도록 된 미러부(38)와;
상기 포커싱검출부(36) 또는 카메라부(37)에 의한 감지신호 또는 이미지에 따라 상기 대물렌즈부(35)의 포커싱을 조절하도록 제어하는 컨트롤러(39)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토포커싱장치가 제공된다.
본 발명의 다른 특징에 따르면, 상기 광원조사부(31)와 평행광렌즈(33) 사이에는 상기 광원조사부(31)에 의해 조사되는 광원을 집광하도록 된 반원형 단면을 갖는 막대형상의 반실린더렌즈(32)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 오토포커싱장치가 제공된다.
본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 상기 대물렌즈부(35)는 서로 다른 배율을 갖는 복수의 대물렌즈(41~43)가 창작된 터릿(40)이 구비된 것을 특징으로 하는 오토포커싱장치가 제공된다.
이상에서와 같이 본 발명에 의하면, 광원조사부(31)에 의한 광원이 점광원이 아닌 라인 또는 면형태의 광원을 조사하도록 구비됨으로써, 상기 대물렌즈부(35)에 의해 상기 피이송물(W) 상에 형성되는 포커싱이 점형태가 아닌 라인 또는 면형태의 포커싱영역을 형성하게 되며, 이에 의해 상기 피이송물(W)에 대한 포커싱이 용이할 뿐만 아니라 상기 피이송물(W)의 표면상에 슬릿이나 요철과 같은 스크래치나 이물질 등에 의한 빛의 산란 또는 흡수에 의해서도 방해됨이 없이 원활한 포커싱이 가능한 장점이 있는 것이다.
또한 본 발명은 상기 광원조사부(31)에 의한 광원을 평행광렌즈(33)에 의해 평행면적광으로 변환하도록 구비되고, 이 평행광렌즈(33)의 전단 또는 후단에는 광원의 일부를 차단하도록 광차단부재(34)가 구비됨으로써, 피이송물(W)의 위치변동에 따른 포커싱검출부(34)에 의한 이미지를 구별이 용이하도록 서로 다른 형상으로 검출하여 상기 대물렌즈부(35)의 포커싱 조절이 용이하여 신속하면서도 정확한 포커싱이 가능한 장점이 있다.
도 1은 종래의 오토포커싱장치 일례를 도시한 개념도
도 2는 본 발명의 일실시예를 도시한 개념도
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 구성을 도시한 단면도
상술한 본 발명의 목적, 특징들 및 장점은 다음의 상세한 설명을 통하여 보다 분명해질 것이다. 이하, 첨부된 도면에 의거하여 설명하면 다음과 같다.
도 2와 도 3은 본 발명의 바람직한 일실시예를 도시한 개념도와 단면도를 나타낸 것으로, 도 2의 (a)는 후술되는 광원조사부(31)의 광원이 피이송물(W)에 입사되는 입사경로를 나타낸 것이고, 도 2의 (b)는 상기 피이송물(W)로부터 반사된 광원의 반사경로를 나타낸 것이다.
도 2와 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 오토포커싱장치는 이송라인(L) 상에서 고속으로 이송되는 피이송물(W)에 광원을 조사한 후에, 이 광원에 의한 반사광을 검출하여 상기 피이송물(W)에 대한 포커싱을 자동적으로 조절하도록 된 것으로, 소정의 길이와 두께를 갖는 슬릿을 통해 라인형태의 레이저빔을 조사하도록 광원조사부(31)가 구비되는데, 이때에 상기 광원조사부(31)는 길이에 비해 두께(대략 길이의 1/1000배 정도)가 현저히 작은 라인형태의 레이저빔을 조사하도록 구비됨과 동시에 내부에 구비된 렌즈 등에 의해 일정 조사거리에서 광원이 수렴하여 라인광 형태의 포커싱이 이루어지고, 이후에 라인광이 확산하여 조사거리가 멀어짐에 따라 점차 확대되는 단면적을 갖는 면적광을 이루도록 구비되어 있다.
이러한 광원조사부(31)에 의해 조사된 광원의 광경로 상에는 면적광을 수광하여 평행면적광 형태의 광원을 조사하도록 된 평행광렌즈(33)가 구비되는데, 이 평행광렌즈(33)는 대략 원통형상의 단관체 형상으로 구비된 통상의 튜브렌즈로 구비되는 것이 바람직하며, 이러한 평행광렌즈(33)는 상기 광원조사부(31)에 의해 조사된 광원을 수광하도록 위치되어 확산되는 면적광으로 일부가 통과되면서 소정의 조사거리에 걸쳐 일정한 원형단면을 갖는 광원인 평행면적광을 형성하게 된다.
여기에서 상기 광원조사부(31)와 평행광렌즈(33) 사이의 광경로 상에는 상기 광원조사부(31)에 의한 광원을 집광하도록 반실린더렌즈(32)가 더 구비되는 것이 바람직하며, 이러한 반실린더렌즈(32)는 대략적으로 반원형 단면을 갖는 막대형상을 이루는 것으로, 상기 광원조사부(31) 측에 편평한 면이 위치되어 상기 라인광조사부(31)에 의한 광원이 입사되어 전방의 반원곡면을 통과하면서 확산되는 라인광 또는 면적광을 확산정도를 줄여 집광된 상태의 라인광 또는 면적광을 상기 평행광렌즈(33) 측으로 조사하도록 되어 있다. 그러므로 이러한 반실린더렌즈(32)가 더 구비된 경우에는 후술되는 대물렌즈부(35)를 통과하는 광량을 증대시켜 피이송물(W)에 대한 보다 선명한 이미지를 얻을 수 있게 된다.
한편, 상기 평행광렌즈(33)에 의해 형성된 평행면적광은 일정 단면적으로 갖는 면적광 형태로 상기 피이송물(W)을 포커싱하도록 된 대물렌즈부(35)에 입사되어 상기 피이송물(W) 표면에 라인 또는 소정의 면적으로 포커싱영역을 형성하게 되며, 상기 피이송물(W)에 의한 반사광은 다시 상기 대물렌즈부(35)를 통과하여 후술되는 포커싱검출부(36) 또는 카메라부(37)에 입사되어 상기 피이송물(W)에 대한 이미지를 형성하게 된다.
이때에, 상기 포커싱검출부(36)는 상기 피이송물(W)에 의한 반사광의 제1 광경로 상에 배치되고, 상기 카메라부(37)는 상기 피이송물(W)에 의한 반사광의 제2 광경로 상에 배치되는데, 이를 위해 상기 대물렌즈부(35)와 포커싱검출부(36) 또는 카메라부(37) 사이에는 반사광의 진행경로를 변경하거나 광원을 통과하도록 된 미러부(38)가 구비되어 있으며, 상기 미러부(38)는 입사된 광원의 일부를 반사시킴과 동시에 다른 일부를 통과시키도록 된 부분반사 특성을 갖는 하프미러 또는 이와 동등한 기능을 가진 광학요소를 구비되는 것이 바람직하다.
또한 이와 같은 미러부(38)에서 부분적으로 반사된 반사광은 상기 포커싱검출부(36)로 입사되어 포커싱 상태에 대한 검출이 이루어지고, 또한 상기 미러부(38)를 그대로 통과한 반사광은 상기 카메라부(39)에 포착되어 상기 피이송물(W)에 대한 이미지 촬영이 이루어지게 된다.
이때에, 상기 포커싱검출부(36)에 의해 검출된 이미지는 라인 또는 소정의 면적으로 갖는 원형이나 타원형 형태를 취하게 되는데, 상기 대물렌즈부(35)와 피이송물(W) 간의 포커싱이 맞는 경우에는 기준 위치에 라인형태로 나타나고, 포커싱이 맞지 않은 경우에는 기준 위치에서 벗어나 원형이나 타원형 형태로 나타나며, 포커싱이 맞지 않는 경우에는 후술되는 컨트롤러(39)(도 3에 도시됨)에 의해 검출된 이미지가 라인형태를 취하도록 상기 대물렌즈부(35)를 조절하여 오토포커싱을 제어하게 된다.
여기에서, 상기 평행광렌즈(33)의 전방에는 상기 반실린더렌즈(32)를 통과한 면적광의 일부를 차단하도록 광차단부재(34)가 구비되는데, 이 광차단부재(34)는 원통형상의 평행광렌즈(33)의 일부를 차단하도록 반원형 형태로 된 판형상으로 구비되며, 이 광차단부재(40)는 상기 평행광렌즈(33)에 의해 반원형 형태의 면적광을 상기 대물렌즈부(35)에 입사시키도록 구비된 것이다.
이와 같이 광차단부재(34)가 구비된 경우에는 상기 포커싱검출부(36)에 의해 검출된 이미지가 라인 또는 반원형 형태를 취하게 되는데, 전술된 바와 같이 피이송물(W)이 상기 대물렌즈부(35)에 대해 기준 거리에서 포커싱(F0)이 이루어진 경우에는 상기 포커싱검출부(36)에 의해 기준 위치에 라인 형태의 이미지(I0)가 나타나고, 포커싱이 이루어지지 않은 경우에서는 피이송물(W)이 상기 대물렌즈부(35)에 대해 기준 거리에 비해 짧은 거리에 위치(F1)된 경우에 상기 포커싱검출부(36)에 의해 기준 위치에서 벗어나 반원형태의 이미지(I1)가 나타나며, 또한 피이송물(W)이 상기 대물렌즈부(35)에 대해 기준 거리에 비해 먼 거리에 위치(F2)된 경우에 상기 포커싱검출부(36)에 의해 기준 위치에서 벗어나 반원형태의 이미지(I2)가 나타나게 된다.
이처럼 광차단부재(34)가 구비되면 포커싱이 이루어지지 않은 경우에 원형이나 타원형이 아닌 반원 형태의 이미지가 나타나게 될 뿐만 아니라 포커싱 거리에 따라 반원이미지가 좌우 또는 상하로 반전되어 나타나므로, 피이송물의 위치변동이 기준 포커싱거리에 비해 가까운 거리 또는 먼 거리에 있는지를 신속하게 판단할 수 있게 된다.
반면에 전술된 바와 같이 상기 광차단부재(34)가 구비되지 않은 경우에는 포커싱거리가 짧은 경우나 긴 경우에 관계없이 상기 포커싱검출부(36)에 의해 동일한 형상의 원형 또는 타원형으로 이미지가 검출되는데, 이는 피이송물(W)의 위치가 기준 포커싱 거리에서 가까운 거리에 있는지 또는 먼 거리에 있는지를 판단할 수 없어 상기 대물렌즈부(35)를 상하로 이동하여 포커싱 위치를 찾음으로 인해 포커싱 속도가 느려지게 된다.
이와 같은 본 발명에 대한 보다 상세한 구성을 도 3을 더하여 설명하면 다음과 같다. 도시된 바와 같이, 내부에 각각 챔버가 형성된 제1 하우징(20)과 제2 하우징(21)이 연통공(22)에 의해 연통되도록 구비되는데, 상기 제1 하우징(20)에는 일측에 상기 반실린더렌즈(32)가 경통(23)에 의해 수직방향으로 결합되고, 상기 광원조사부(31)는 상기 경통(23)에 일체로 구비되어 상기 반실린더렌즈(32)에 광원을 조사하도록 구비되거나 또는 상기 경통(23)에 이격된 상태로 구비되게 된다.
또한 상기 제1 하우징(20) 내부에는 상기 반실린더렌즈(32)에 대해 직교하도록 수평방향으로 위치된 상기 평행광렌즈(33)와 이 평행광렌즈(33)의 전방에 결합된 광차단부재(34)가 내장되고, 또한 상기 제1 하우징(20)의 내부 일측에는 상기 반실린더렌즈(32)에 의한 광원을 상기 평행광렌즈(33)로 전반사시키기 위한 반사경(24)이 구비되어 있다.
또한 상기 제1 하우징(20)과 제2 하우징(21)에는 상기 평행광렌즈(33)의 전방에 위치되도록 미러부(38)가 내장되는데, 상기 미러부(38)는 상기 제1 하우징(20)에 내장되는 제1 하프미러(38a)와, 상기 제2 하우징(21)에 수직방향으로 배치되는 제2 및 제3 하프미러(38b,38c)로 이루어져 있다.
또한 상기 제2 하우징(21)에는 하단부에 상기 대물렌즈부(35)가 구비되고, 하단 측면에 외부광이 유입되도록 된 광유입구(25)가 구비되며, 상기 카메라부(37)는 상기 대물렌즈부(35)에 대향되도록 상기 제2 하우징(21)의 상단에 결합되며, 상기 포커싱검출부(36)는 상기 제1 하프미러(38a)에 대응되도록 상기 제1 하우징(20)에 결합되는데, 이 포커싱검출부(36)는 메모리가 내장된 카메라 형태로 구비되어 있다.
또한 상기 컨트롤러(39)는 상기 하우징(20,21)의 일측에 위치되어 상기 대물렌즈부(35)와 포커싱검출부(36) 및 카메라부(37) 등에 전기적으로 연결되어 있으며, 상기 대물렌즈부(35)에는 상기 컨트롤러(39)에 의해 오토포커싱이 가능하도록 구동모터가 내장되어 있다. 여기에서 상기 대물렌즈부(35)는 서로 다른 배율로 상기 피이송물(W)에 대한 포커싱이 이루어지도록 터릿(40) 상에 다른 배율을 갖는 복수의 대물렌즈(41~43)가 구비되는 것이 바람직하며, 이러한 경우에는 상기 피이송물(W)에 대한 이미지를 확대하거나 선명하게 검출하여 보다 정확한 검사를 행할 수 있게 된다.
이상에서 설명되지 않은 부호는 상기 포커싱검출부(36)와 카메라부(37)를 하우징(20,21)에 장착시키기 위한 경통(26,27)과 이 경통(26,27)의 단부에 구비되어 상기 피이송물(W)에 의한 반사광을 평행광 형태로 변환하도록 된 튜브렌즈(28,29)를 나타낸 것이며, 이 튜브렌즈(28,29)는 상기 평행광렌즈에 유사한 것이다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.

Claims (3)

  1. 이송라인(L) 상의 피이송물(W)에 광원을 조사한 후에 이 광원에 의한 반사광을 검출하여 자동적으로 초점을 조절하도록 된 오토포커싱장치에 있어서;
    조사거리에 따라 수렴 또는 확산되어 라인광 또는 일정 단면적을 갖는 면적광을 형성하도록 라인형태의 레이저빔을 조사하는 광원조사부(31)와;
    상기 광원조사부(31)에 의한 광경로 상에 위치되어 확산 조사되는 면적광을 평행면적광으로 변환하도록 된 평행광렌즈(33)와;
    이 평행광렌즈(33)의 전단 또는 후단에 구비되어 광원의 일부를 차단하도록 된 광차단부재(34)와;
    상기 평행광렌즈(33)에 의한 평행면적광이 통과되도록 구비되어 상기 피이송물(W)을 포커싱하도록 된 대물렌즈부(35)와;
    상기 피이송물(W)에 의한 반사광의 제1 광경로 상에 배치된 포커싱검출부(36)와;
    상기 피이송물(W)에 의한 반사광의 제2 광경로 상에 배치된 카메라부(37)와;
    상기 대물렌즈부(35)와 포커싱검출부(36) 또는 카메라부(37) 사이에 개재되어 광원의 진행경로를 변경하거나 광원을 통과하도록 된 미러부(38)와;
    상기 포커싱검출부(36) 또는 카메라부(37)에 의한 감지신호 또는 이미지에 따라 상기 대물렌즈부(35)의 포커싱을 조절하도록 제어하는 컨트롤러(39)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 오토포커싱장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 광원조사부(31)와 평행광렌즈(33) 사이에는 상기 광원조사부(31)에 의해 조사되는 광원을 집광하도록 된 반원형 단면을 갖는 막대형상의 반실린더렌즈(32)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 오토포커싱장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 대물렌즈부(35)는 서로 다른 배율을 갖는 복수의 대물렌즈(41~43)가 창작된 터릿(40)이 구비된 것을 특징으로 하는 오토포커싱장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150114199A (ko) 2014-04-01 2015-10-12 유니크 (주) 자동초점거리 조절 기능을 갖는 렌즈 검사장치
KR20160147464A (ko) 2015-06-15 2016-12-23 주식회사 액트로 자동 초점 조절 장치 및 그 방법
KR101857399B1 (ko) * 2017-10-16 2018-06-21 주식회사 이오비스 광학배율 5X로 0.5㎛ Pin-hole 결함 검출 장치

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004333333A (ja) 2003-05-08 2004-11-25 Ryoichi Imanaka Ｄｎａマイクロアレイ基板と読み取り装置
KR100758198B1 (ko) 2006-10-25 2007-09-12 주식회사 힘스 오토포커싱 장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150114199A (ko) 2014-04-01 2015-10-12 유니크 (주) 자동초점거리 조절 기능을 갖는 렌즈 검사장치
KR20160147464A (ko) 2015-06-15 2016-12-23 주식회사 액트로 자동 초점 조절 장치 및 그 방법
KR101857399B1 (ko) * 2017-10-16 2018-06-21 주식회사 이오비스 광학배율 5X로 0.5㎛ Pin-hole 결함 검출 장치

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