KR102518697B1

KR102518697B1 - 반송 장치 및 적층체의 제조 방법

Info

Publication number: KR102518697B1
Application number: KR1020180046737A
Authority: KR
Inventors: 츠카사 호리구치; 슈조 마츠모토; 히로후미 이노우에
Original assignee: 스미또모 가가꾸 가부시키가이샤
Priority date: 2017-04-26
Filing date: 2018-04-23
Publication date: 2023-04-05
Also published as: CN108792739A; JP7012572B2; CN108792739B; JP2018185506A; KR20180120096A

Abstract

본 발명은 매엽 시트형 부재의 위치 맞춤을 용이하게 또한 고정밀도로 행할 수 있는 반송 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
이 과제는 매엽 시트형 부재를 배치하는 제1 부재와, 매엽 시트형 부재를 배치하여 위치 조정하는 얼라인먼트 스테이지와, 매엽 시트형 부재를 배치하여 반송하기 위한 제1 벨트형 부재와, 제1 부재에 배치된 매엽 시트형 부재를 흡인하고, 얼라인먼트 스테이지에 배치하는 제1 이재기로서, 매엽 시트형 부재를 흡인력에 의해 유지하면서, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재에 작용시킬 수 있는 제1 이재기와, 얼라인먼트 스테이지에 배치된 매엽 시트형 부재의 위치 정보를 확인하는 위치 확인 장치와, 매엽 시트형 부재의 위치 데이터에 기초하여, 매엽 시트형 부재를 위치 조정하는 제어부와, 얼라인먼트 스테이지에 배치되어 위치 조정된 매엽 시트형 부재를 제1 벨트형 부재 상으로 이동시켜 제1 벨트형 부재에 배치하는 제2 이재기를 포함하는 반송 장치에 의해 해결된다.

Description

반송 장치 및 적층체의 제조 방법{CONVEYANCE DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING LAMINATE}

본 발명은 매엽 시트형 부재를 반송하기 위한 반송 장치 및 적층체의 제조 방법에 관한 것이다.

매엽 시트형 부재는 흡착 부재, 프린트 배선 기판 및 광학 부재 등, 여러 분야에서 사용되고 있다. 예컨대, 프린트 배선 기판 및 광학 부재 등의 정밀기기에 이용하는 매엽 시트형 부재에 있어서는, 매엽 시트형 부재의 적층, 접합 시에, 위치 맞춤을 행할 필요가 있다.

또한, 최근에 있어서는, 박형의 매엽 시트형 부재가 다용되고 있고, 박형의 매엽 시트형 부재는, 특히 주름, 컬이 생기기 쉽다. 매엽 시트형 부재에 주름, 컬 등이 생기면, 위치 맞춤의 정밀도를 높이는 것이 곤란해질 뿐만 아니라, 작업 효율이 나빠져, 제품의 수율에 악영향이 생길 우려가 있다.

예컨대, 특허문헌 1(일본 특허 공개 제2012-242750호 공보)에는, 광학 필름 등의 얇은 시트형의 것을, 기포 및 이물이 들어가지 않고, 휘어짐 및 주름을 발생시키는 일없이, 기판 상에 첩부할 수 있는 필름 첩부 장치가 개시되어 있다.

특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2012-242750호 공보

특허문헌 1에 개시된 필름 첩부 장치는, 예컨대 필름의 유지 부재끼리를 격리함으로써 필름에 장력을 생기게 한다. 또한, 특허문헌 1은 유지 부재로서, 예컨대 정전 척, 진공 흡착력을 이용하는 것이 개시되어 있다.

그러나, 정전 척은 시트형 부재가 평탄하지 않으면 피흡착물을 안정적으로 유지할 수 없는 경우가 있다. 예컨대, 주름, 휘어짐이 생긴 시트형 부재는, 안정적으로 유지할 수 없는 경우가 있으며, 주름이 생기기 쉬운 박형의 시트형 부재 등에는, 정전 척은 알맞지 않은 경우가 있다.

또한, 진공 흡착력을 이용하면, 진공 장치를 요하는 등 장치가 복잡해진다. 더구나, 시트형 부재의 단부까지는 충분한 흡착력을 얻을 수 없어 기포가 생기기 쉬운 경우도 있다. 또한, 시트형 부재에 대한 흡착력이 강해지는 경향이 있어, 박형의 시트형 부재 등에의 사용에는 알맞지 않은 경우가 있다.

여기서, 프린트 배선 기판 및 광학 부재 등의 정밀 기기에 이용하는 매엽 시트형 부재에 있어서는, 전술한 바와 같이, 매엽 시트형 부재의 적층 및 접합 시에 위치 맞춤을 행할 필요가 있으므로, 위치 맞춤의 정밀도를 높여, 보다 효율적으로 위치 맞춤을 행하는 것이 요구되고 있다.

또한, 전술한 바와 같이, 최근에 있어서는, 매엽 시트형 부재의 두께가 얇아지고 있다. 예컨대, 광학 적층체에 이용하는 매엽 시트형 부재에 있어서는, 두께가 50∼300 ㎛인 것이 있어, 컬 및 주름이 생기기 쉬워지고, 매엽 시트형 부재의 위치 맞춤을 용이하게 행할 수 없으며, 더구나, 매엽 시트형 부재의 각도, 위치 맞춤의 정밀도를 낼 수 없는 경우가 있다.

따라서, 본 발명은 매엽 시트형 부재를 평탄한 상태로 반송할 수 있고, 또한 매엽 시트형 부재에의 주름, 컬의 발생을 억제할 수 있고, 매엽 시트형 부재를 신장할 수 있어, 매엽 시트형 부재에 존재할 수 있는 주름을 펼 수 있고, 매엽 시트형 부재의 위치 맞춤을 용이하게 행하며, 더구나, 고정밀도로 위치 맞춤을 행할 수 있는 반송 장치를 제공한다. 또한, 본 발명은 이러한 반송 장치를 이용하여 매엽 시트형 부재를 반송하는 것을 포함하는 적층체의 제조 방법을 제공한다.

본 발명은 이하를 포함한다.

[1] 매엽 시트형 부재를 반송하기 위한 반송 장치로서,

매엽 시트형 부재를 배치하는 제1 부재와,

매엽 시트형 부재를 배치하여 위치 조정하기 위한 얼라인먼트 스테이지와,

매엽 시트형 부재를 배치하여 제1 반송 방향으로 반송하기 위한 제1 벨트형 부재와,

제1 부재에 배치된 매엽 시트형 부재에 대하여 그 상면측으로부터 흡인하고,매엽 시트형 부재를 흡인력에 의해 유지한 상태로 얼라인먼트 스테이지 상으로 이동시키고, 흡인 정지함으로써 매엽 시트형 부재를 얼라인먼트 스테이지에 배치하는 제1 이재기로서, 매엽 시트형 부재를 흡인력에 의해 유지하면서, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재에 작용시킬 수 있는 제1 이재기와,

얼라인먼트 스테이지에 배치된 매엽 시트형 부재의 위치 정보를 확인하는 위치 확인 장치와,

위치 확인 장치에 의해 생성된 매엽 시트형 부재의 위치 데이터에 기초하여, 상기 매엽 시트형 부재를 배치한 얼라인먼트 스테이지의 움직임을 제어하고, 이에 의해 매엽 시트형 부재를 위치 조정하는 제어부와,

얼라인먼트 스테이지에 배치되어 위치 조정된 매엽 시트형 부재에 대하여 그 상면측으로부터 흡인하고,매엽 시트형 부재를 흡인력에 의해 유지한 상태로 제1 벨트형 부재 상으로 이동시키고, 흡인 정지함으로써 매엽 시트형 부재를 제1 벨트형 부재에 배치하는 제2 이재기

를 포함하는 반송 장치.

[2] 제1 이재기가, 주위 분위기를 흡인 가능하고, 또한 매엽 시트형 부재와 접촉하는 패드부를 갖는 복수의 흡인 패드로서, 소정의 면 내에서 외측으로 서로 확장 이동 가능한 흡인 패드를 포함하는 것인, [1]에 기재된 반송 장치.

[3] 제2 이재기가, 주위 분위기를 흡인 가능하고, 또한 매엽 시트형 부재와 접촉하는 패드부를 갖는 복수의 흡인 패드를 포함하는 것인, [1] 또는 [2]에 기재된 반송 장치.

[4] 제1 이재기와 제2 이재기가 별개 또는 공통의 이재기인, [1] 내지 [3] 중 어느 하나에 기재된 반송 장치.

[5] 위치 확인 장치가, 얼라인먼트 스테이지에 배치된 매엽 시트형 부재를 촬상하여, 매엽 시트형 부재의 위치 데이터를 생성하는 것인, [1] 내지 [4] 중 어느 하나에 기재된 반송 장치.

[6] 제어부가, 촬상 장치에 의해 생성된 매엽 시트형 부재의 화상 데이터로부터 매엽 시트형 부재의 단부를 인식하고, 상기 단부에 기초하여, 매엽 시트형 부재를 배치한 얼라인먼트 스테이지의 움직임을 제어하는 것인, [1] 내지 [5] 중 어느 하나에 기재된 반송 장치.

[7] 제어부에 의해 제어되는 얼라인먼트 스테이지의 움직임이, 수평면 내에서의 평행 이동 및/또는 회전을 포함하는 것인, [1] 내지 [6] 중 어느 하나에 기재된 반송 장치.

[8] 제1 부재가, 매엽 시트형 부재를 배치하여 얼라인먼트 스테이지 방향으로 반송하기 위한 제2 벨트형 부재인, [1] 내지 [7] 중 어느 하나에 기재된 반송 장치.

[9] 제1 매엽 시트형 부재와 제2 매엽 시트형 부재를 갖는 적층체의 제조 방법으로서,

[1] 내지 [8] 중 어느 하나에 기재된 반송 장치를 이용하여 제1 매엽 시트형 부재를 반송하는 것, 및

상기 제1 매엽 시트형 부재와 제2 매엽 시트형 부재를 접합하는 것

을 포함하는 적층체의 제조 방법.

[10] 매엽 시트형 부재와 장척형 부재를 갖는 적층체의 제조 방법으로서,

[1] 내지 [8] 중 어느 하나에 기재된 반송 장치를 이용하여 매엽 시트형 부재를 반송하는 것, 및

상기 매엽 시트형 부재와 장척형 부재를 접합하는 것

을 포함하는 적층체의 제조 방법.

본 발명은 매엽 시트형 부재를 평탄한 상태로 반송할 수 있고, 또한 매엽 시트형 부재에의 주름의 발생을 억제할 수 있고, 매엽 시트형 부재에 존재할 수 있는 주름을 펼 수 있는 반송 장치로서, 매엽 시트형 부재의 각도, 위치 맞춤을 용이하게 그리고 고정밀도로 행할 수 있다.

도 1은 본 발명의 반송 장치의 개략을 나타내는 측면도이다.
도 2는 본 발명의 반송 장치의 개략을 나타내는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일양태에 있어서의 반송 장치의 개략을 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 이재기와 매엽 시트형 부재의 관계를 나타내는 개략 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일양태에 있어서, 이재기에 있어서의 흡인 패드와 매엽 시트형 부재의 관계를 나타내는 개략 평면도이다.

본 발명에 따르면, 매엽 시트형 부재를 반송하기 위한 반송 장치로서,

매엽 시트형 부재를 배치하는 제1 부재와,

제1 부재에 배치된 매엽 시트형 부재에 대하여 그 상면측으로부터 흡인하고,매엽 시트형 부재를 흡인력에 의해 유지한 상태로 얼라인먼트 스테이지 상으로 이동시키고, 흡인 정지함으로써 매엽 시트형 부재를 얼라인먼트 스테이지에 배치하는 제1 이재기로서, 매엽 시트형 부재를 흡인력에 의해 유지하면서, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재에 작용시켜 얻는 제1 이재기와,

를 포함하는 반송 장치가 제공된다.

이하, 본 발명에 따른, 매엽 시트형 부재를 반송하기 위한 반송 장치에 대해서, 도면을 참조하면서 설명한다.

도 1은 본 발명의 일양태에 있어서의 반송 장치의 개략을 나타내는 측면도이다. 도 2는 본 발명의 일양태에 있어서의 반송 장치의 개략을 나타내는 평면도이다. 도 3은 어떤 양태에 있어서의 반송 장치의 개략을 나타내는 평면도이다.

도 1 및 도 2에 있어서, 도면 부호 1은 반송 장치, 10은 매엽 시트형 부재, 21은 제1 부재, 30은 얼라인먼트 스테이지, 41은 제1 벨트형 부재, 51은 제1 이재기, 52는 제2 이재기, 60은 위치 확인 장치, 70은 제어부, 71은 크로스 롤러링(도 2), 파선은 매엽 시트형 부재의 이동 방향의 일례이고, 예컨대 반송 장치(1)는, 파선의 화살표 방향 및 반대 방향을 따라 이동할 수 있다. 얼라인먼트 스테이지(30)에 있어서의 양 화살표는, 얼라인먼트 스테이지의 가동 방향의 일례이고, 이재기(51 및 52)에 있어서의 양 화살표는 이재기의 가동 방향의 일례이다.

또한, 도 3에 있어서, 도 1에 대해서 설명한 부호에 더하여, 부호 22는 제2 벨트형 부재이다.

본 발명의 반송 장치(1)는 제어부(70)를 가지고, 상기 제어부(70)는, 예컨대 얼라인먼트 스테이지(30)에 내장되어도 좋다.

(매엽 시트형 부재)

본 발명의 반송 장치에 있어서 반송할 수 있는 매엽 시트형 부재(10)는, 예컨대 흡착 부재, 프린트 배선 기판 및 광학 부재 등을 들 수 있으며, 얇고, 컬, 주름 등이 생기기 쉬운 부재에 대하여 적합하게 이용할 수 있다. 어떤 양태에 있어서는, 매엽 시트형 부재는, 광학 부재이며, 예컨대 두께 50∼500 ㎛의 것이다. 매엽 시트형 부재의 치수는, 예컨대 폭 30 ㎝∼150 ㎝, 길이 30 ㎝∼300 ㎝이다.

광학 부재는, 예컨대 위상차 필름, 편광 필름, 반사 방지 필름, 시야각 향상 필름, 휘도 향상 필름 등에서 선택되는 적어도 하나의 광학 필름을 가질 수 있다. 광학 부재는 이들 광학 필름의 단층 구조여도 좋고, 상기와 같은 광학 필름을 포함하는, 복수의 필름을 적층한 복층 구조여도 좋다.

본 발명의 반송 장치이면, 예컨대 두께 120 ㎛ 이하의 시트형 부재 및 두께 120 ㎛ 이하의 다층 구조를 갖는 부재와 같이, 컬, 주름, 꺾임 등이 생기기 쉬운 구성의 (적층)부재에 대하여, 안정된 반송이 가능하다. 예컨대, 편광 필름을 갖는 다층 구조의 시트형 부재 등이어도, 이러한 현저한 효과를 얻을 수 있다.

(제1 부재)

매엽 시트형 부재(10)를 배치하는 제1 부재(21)는, 예컨대 스토커 등, 매엽 시트형 부재(10)를 복수층 적층하여 배치할 수 있는 것이어도 좋고, 벨트형 부재 등이어도 좋다.

어떤 양태에 있어서, 제1 부재(21)는, 매엽 시트형 부재(10)를 배치하여 얼라인먼트 스테이지 방향으로 반송하기 위한 제2 벨트형 부재(22)일 수 있다(예컨대, 도 3 참조).

이와 같이, 제1 부재(21), 예컨대 제2 벨트형 부재(22)는, 제1 벨트형 부재(41)보다 상류측에 배치된다.

제2 벨트형 부재(22)가 매엽 시트형 부재(10)를 반송하는 경우, 제1 벨트형 부재(41)에 있어서의 매엽 시트형 부재(10)를 반송하는 방향과 평행이 되도록, 제2 벨트형 부재의 반송 방향을 마련하여도 좋다.

어떤 양태에 있어서는, 매엽 시트형 부재의 광학축 등에 따라, 제1 벨트형 부재(41)에 있어서의 매엽 시트형 부재(10)를 반송하는 방향에 대하여 임의의 방향, 예컨대 제1 벨트형 부재(41)의 반송 방향에 대하여 15°∼90°의 각도로 교차하도록, 제2 벨트형 부재(22)의 반송 방향을 마련하여도 좋다.

어떤 양태에 있어서는, 제2 벨트형 부재(22)의 반송 방향은, 제1 벨트형 부재(41)에 있어서의 매엽 시트형 부재(10)를 반송하는 방향에 대하여 수직이 되도록(90°의 각도로 교차하도록) 마련하여도 좋다.

본 발명의 반송 장치이면, 임의의 각도로 제2 벨트형 부재(22)의 반송 방향을 마련한 경우에 있어서도, 매엽 시트형 부재(10)의 위치 맞춤을 고정밀도로 행할 수 있다. 예컨대, 광학축을 갖는 매엽 시트형 부재(10)여도, 본 발명의 반송 장치는, 연속적으로 매엽 시트형 부재(10)를 반송할 수 있으므로, 시트 신장, 예컨대 매엽 시트형 부재(10)의 주름, 뒤틀림을 제거할 수 있어, 보다 고정밀도로 매엽 시트형 부재(10)의 각도, 위치 맞춤을 행할 수 있다. 더구나, 매엽 시트형 부재(10)의 위치 맞춤으로부터 제1 벨트형 부재(41)로 매엽 시트형 부재(10)를 반송하기까지의 시간을 단축 가능하다.

(제1 이재기)

본 발명의 반송 장치는 제1 이재기(51)를 갖는다. 이 제1 이재기(51)는, 제1 부재(21)에 배치된 매엽 시트형 부재(10)에 대하여 그 상면측으로부터 흡인하고,매엽 시트형 부재(10)를 흡인력에 의해 유지한 상태로 얼라인먼트 스테이지(30) 상으로 이동시키고, 흡인 정지함으로써 매엽 시트형 부재(10)를 개방하여, 얼라인먼트 스테이지(30)에 배치한다. 제1 이재기(51)는, 매엽 시트형 부재를 흡인력에 의해 유지하면서, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재에 작용시킬 수 있다.

본 발명에 있어서의 이재기(51)는, 매엽 시트형 부재를 균일한 힘으로 신장하여, 반송할 수 있다.

어떤 양태에 있어서, 제1 이재기(51)는, 반송하는 매엽 시트형 부재(10)의 상면에 대치하는 위치로부터, 매엽 시트형 부재(10)를 흡인한다. 예컨대, 두께 300 ㎛ 정도의 매엽 시트형 부재(10)의 경우, 매엽 시트형 부재(10)를 평탄한 상태로 흡인하기 위해, 제1 이재기(51)와 매엽 시트형 부재(10)의 간격을 0∼5 ㎜의 범위로 설정하여, 매엽 시트형 부재(10)를 흡인할 수 있다. 이러한 위치로부터 흡인을 행함으로써, 보다 효과적으로 매엽 시트형 부재를 평탄한 상태로 반송할 수 있어, 주름의 발생을 억제할 수 있다.

또한, 매엽 시트형 부재(10)를 흡인력으로 유지하는 경우, 매엽 시트형 부재(10)의 두께가 50∼500 ㎛인 경우, 흡인력은 0.1∼50 ㎪의 범위, 예컨대 1∼20 ㎪의 범위 내이다. 이러한 범위 내의 흡인력으로, 주위 분위기를 흡인함으로써, 매엽 시트형 부재(10)를 흡인할 수 있고, 매엽 시트형 부재(10)의 파손을 억제할 수 있고, 주름, 컬 등의 발생도 억제할 수 있다. 또한, 박형의 매엽 시트형 부재(10)에 있어서도, 효율적으로 반송할 수 있다.

제1 이재기(51)는, 매엽 시트형 부재(10)를 흡인력에 의해 유지하면서, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재(10)에 작용시킬 수 있다.

제1 이재기(51)는, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재(10)에 작용시킴으로써, 매엽 시트형 부재(10)의 주름을 펴고, 매엽 시트형 부재(10)의 뒤틀림을 제거할 수 있어, 평탄화를 행할 수 있다. 또한, 반송 중에 매엽 시트형 부재(10)가 컬하는 것, 축 방향, 예컨대 광학축이 어긋난 상태로 반송되는 것을 억제할 수 있기 때문에, 매엽 시트형 부재(10)의 위치 맞춤을 보다 고정밀도로, 단시간에 행할 수 있다.

어떤 양태에 있어서는, 제1 이재기(51)는, 매엽 시트형 부재(10)의 임의의 위치, 예컨대 각 변을 따른 위치, 중심부 등에 있어서, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재(10)에 작용시킬 수 있다. 예컨대, 매엽 시트형 부재에 느슨함이 생기는 것을 억제하기 위해, 매엽 시트형 부재(10)의 4개 코너에 더하여, 예컨대 각 변을 따르는 임의의 위치, 매엽 시트형 부재(10) 중심부 등에 있어서, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재(10)에 작용시킬 수 있다.

이와 같이, 매엽 시트형 부재(10)의 임의의 위치에서, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재(10)에 작용시킬 수 있기 때문에, 반송하는 매엽 시트형 부재(10)의 두께 등에 따라, 매엽 시트형 부재(10)의 시트 신장을 효과적으로 행할 수 있다. 어떤 양태에 있어서는, 매엽 시트형 부재(10)의 4개 코너와, 각 변의 중심 부근에, 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재에 작용시킬 수 있다. 또한, 반송하는 매엽 시트형 부재(10)에 따라, 외측으로 확장하는 힘을 작용시키는 위치를 적절하게 조정할 수 있다.

예컨대, 매엽 시트형 부재(10)의 4개 코너에 더하여, 매엽 시트형 부재의 두께, 물성 등에 따라, 복수의 흡착 패드를 이용하여, 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재에 작용시킴으로써, 매우 박형(예컨대, 두께 120 ㎛ 이하)의 매엽 시트형 부재라도, 주름, 휨, 접힘을 방지할 수 있다.

예컨대, 매엽 시트형 부재(10)의 4개 코너에 더하여, 복수의 흡착 패드를 이용함으로써, 주름을 편 상태로 흡착 유지한 매엽 시트형 부재(10)를 반송하여, 매엽 시트형 부재(10)를 얼라인먼트 스테이지(30)의 면 내에서 평탄하게 배치할 수 있다.

이러한 양태로 매엽 시트형 부재를 반송하면, 예컨대 매우 박형의 매엽 시트형 부재여도, 주름, 휨, 접힘을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 고속으로 매엽 시트형 부재의 반송 및 배치를 행할 수 있어, 작업 효율을 크게 향상시킬 수 있다.

어떤 양태에 있어서, 매엽 시트형 부재(10)에 작용시키는 외측으로 확장하는 힘은, 매엽 시트형 부재(10)에 비틀림, 느슨함, 주름이 생기지 않는 크기를 나타낸다. 예컨대, 후술하는 바와 같이, 제1 이재기(51)가 흡인 패드를 갖는 경우, 매엽 시트형 부재(10)의 상태에 따라, 흡인 패드마다 확장시키는 힘을 상위시켜도 좋고, 같은 정도의 힘이 작용하도록, 흡인 패드에 있어서의 흡인력을 조정하여도 좋다. 예컨대, 광학축을 갖는 매엽 시트형 부재(10)를 반송하는 경우, 휨이 생기지 않도록 매엽 시트형 부재(10)를 반송할 수 있다.

제1 이재기(51)는, 제1 부재(21)에 배치된 매엽 시트형 부재(10)에 대하여 그 상면측으로부터 흡인하고,매엽 시트형 부재(10)를 흡인력에 의해 유지한 상태로 얼라인먼트 스테이지(30) 상으로 이동시킨다. 어떤 양태에 있어서는, 제1 이재기(51)는, 주위 분위기를 흡인 가능하고, 또한 매엽 시트형 부재(10)와 접촉하는 패드부를 갖는 복수의 흡인 패드로서, 소정의 면 내에서 외측으로 서로 확장 이동 가능한 흡인 패드를 포함한다.

예컨대, 도 4는 본 발명의 일양태에 있어서의, 이재기와 매엽 시트형 부재의 관계를 나타내는 개략 측면도이고, 도 5는 본 발명의 일양태에 있어서의, 이재기측에서 관찰한, 흡인 패드와 매엽 시트형 부재의 관계를 나타내는 개략 평면도이다.

도 4 및 도 5에 있어서, 부호 51은 제1 이재기(52는 제2 이재기)이고, 부호 81은 흡인 패드이고, 도 5에 있어서의 화살표는, 외측으로 확장하는 힘을 나타낸다.

어떤 양태에 있어서, 예컨대 도 5에 나타내는 바와 같이, 외측으로 확장하는 힘을, 흡인 패드의 부위마다 변화시켜도 좋다. 이에 의해, 보다 효과적으로 매엽 시트형 부재를 신장할 수 있어, 주름, 뒤틀림을 제거할 수 있다.

흡인 패드(81)를 가짐으로써, 매엽 시트형 부재(10)를 흡인력에 의해 유지하면서, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재(10)에 효과적으로 작용시킬 수 있다. 또한, 예컨대 박형의 매엽 시트형 부재(10)를 흡인하여 유지하는 동안, 매엽 시트형 부재(10)의 파손, 컬의 발생, 비틀림을 억제할 수 있다. 또한, 복수개의 흡인 패드를 가짐으로써, 흡인 패드마다 흡인력을 변화시킬 수 있어, 예컨대 주름이 생긴 부위에 대하여 중점적으로 외측으로 확장하는 힘을 작용시킬 수 있다. 또한, 매엽 시트형 부재(10)를 보다 평탄한 상태로 반송할 수 있다.

어떤 양태에 있어서, 제1 이재기(51)가 패드부, 예컨대 흡인 패드(81)를 가짐으로써, 본 발명의 반송 장치는, 보다 효과적으로 매엽 시트형 부재(10)를 평탄한 상태로 반송할 수 있고, 또한 매엽 시트형 부재에의 주름, 컬의 발생을 억제할 수 있고, 매엽 시트형 부재를 신장할 수 있어, 매엽 시트형 부재(10)에 존재할 수 있는 주름을 펼 수 있다. 얼라인먼트 스테이지에 반송할 때에, 이러한 효과를 얻을 수 있기 때문에, 본 발명에 따른 얼라인먼트 스테이지를 이용하여, 매엽 시트형 부재의 위치 맞춤을 용이하게 행할 수 있고, 더구나, 고정밀도로 위치 맞춤을 행할 수 있다.

이러한 양태에 있어서도, 상기 범위 내의 흡인력을 적용할 수 있다.

흡인 패드의 형상은 특별히 한정되지 않는다. 예컨대, 흡인 패드의 흡인부에 있어서의 형상은, 직사각형, 타원형, 원형 등이 있고, 흡인력을 균등하게 부여하여 안정된 유지력을 보다 효과적으로 유지할 수 있기 때문에, 예컨대 원형이다.

이러한 양태에 있어서, 흡인 패드의 흡인부의 치수는, 예컨대 5∼80 ㎜의 직경을 갖는다.

흡인 패드의 소재는, 예컨대 가요성을 갖는 소재이며, 가요성 부재는, 매엽 시트형 부재를 파손시키는 일없이, 효과적으로 주름을 펼 수 있다. 예컨대, 니트릴 고무, 실리콘 고무, 천연 고무 및 불소 고무 등을 포함하는 흡인 패드이다.

어떤 양태에 있어서는, 제1 이재기(51)는, 예컨대 수평면 내에서의 평행 이동 및/또는 회전할 수 있다. 예컨대, 제1 부재로부터 얼라인먼트 스테이지(30)로 매엽 시트형 부재(10)를 반송할 때에, 미리 제1 벨트형 부재(41)의 반송 방향을 따르도록, 축 방향, 예컨대 광학축 방향을 수정한 매엽 시트형 부재(10)를, 얼라인먼트 스테이지(30)에 배치하여도 좋다. 이에 의해, 얼라인먼트 스테이지에 있어서의 위치 조정을 보다 효율적으로 행할 수 있다.

(얼라인먼트 스테이지)

본 발명의 반송 장치(1)는, 매엽 시트형 부재(10)를 배치하여 위치 조정하기 위한 얼라인먼트 스테이지(30)를 갖는다. 또한, 얼라인먼트 스테이지(30)에 배치된 매엽 시트형 부재(10)의 위치 정보를 확인하는 위치 확인 장치(60)와, 위치 확인 장치(60)에 의해 생성된 매엽 시트형 부재(10)의 위치 데이터에 기초하여, 상기 매엽 시트형 부재(10)를 배치한 얼라인먼트 스테이지(30)의 움직임을 제어하고, 이에 의해 매엽 시트형 부재(10)를 위치 조정하는 제어부(70)를 갖는다.

본 발명의 반송 장치에 있어서는, 제1 이재기(51)에 의해 반송된 매엽 시트형 부재(10), 예컨대 시트 신장이 된 매엽 시트형 부재(10)의 위치 맞춤을, 얼라인먼트 스테이지(30)로 행할 수 있다. 제1 이재기(51)에 의해, 매엽 시트형 부재(10)가 시트 신장된 상태로 반송되기 때문에, 예컨대 박형의 매엽 시트형 부재(10)의 각도, 위치 맞춤을, 얼라인먼트 스테이지(30)에 있어서 보다 고정밀도로 행할 수 있다.

또한, 매엽 시트형 부재(10)를 얼라인먼트 스테이지(30) 상에 배치하여 위치 맞춤을 행할 수 있기 때문에, 박형의 매엽 시트형 부재(10)여도, 안정된 상태로 위치 맞춤을 행할 수 있기 때문에, 고정밀도로 각도, 위치 맞춤을 행할 수 있다.

어떤 양태에 있어서는, 얼라인먼트 스테이지(30)는, 매엽 시트형 부재(10)에 대하여 그 하면측으로부터 흡인하고,매엽 시트형 부재를 흡인력에 의해 얼라인먼트 스테이지 상에 유지하는 복수의 흡인 구멍을 구비한다. 흡인 구멍을 이용하여, 매엽 시트형 부재(10)를 흡인력에 의해 얼라인먼트 스테이지(30) 상에 유지함으로써, 제어부(70)에 의해 매엽 시트형 부재의 배치 위치를 미수정하는 동안에, 매엽 시트형 부재(10)가 어긋나는 것을 억제할 수 있고, 또한 주름, 컬, 꺾임 등의 발생을 억제할 수 있다.

흡인력은, 제1 이재기(51)로부터 얼라인먼트 스테이지(30)에 매엽 시트형 부재(10)가 배치된 후, 매엽 시트형 부재(10)의 배치 위치를 미수정하는 동안에 작용하여도 좋다. 또한, 제2 이재기(52)를 통해 매엽 시트형 부재(10)가 반송될 때까지, 흡인력은 작용하여도 좋다.

얼라인먼트 스테이지(30)에 있어서의 흡인력은, 예컨대 0.01∼50 ㎪이고, 어떤 양태에서는 0.1∼20 ㎪이다. 이러한 범위에서 흡인력을 설정함으로써, 이재기(51, 52)와 얼라인먼트 스테이지(30) 사이에서, 매엽 시트형 부재(10)의 이동을 효율적으로 행할 수 있고, 또한 매엽 시트형 부재(10)의 컬, 주름, 꺾임 등의 발생을 보다 효과적으로 억제할 수 있다.

또한, 얼라인먼트 스테이지(30)는, 제1 이재기(51)와 마찬가지로, 매엽 시트형 부재(10)를 흡인력에 의해 유지하면서, 매엽 시트형 부재 상에 생긴 주름, 컬 또는 뒤틀림을 제거하도록, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재(10)에 작용시켜도 좋다. 흡인력에 의한 외측으로 확장하는 힘은, 얼라인먼트 스테이지 상에 배치되는 복수의 흡인 구멍에 있어서, 얼라인먼트 스테이지(30)의 수평면 내에 있어서의 매엽 시트형 부재(10)의 배치 장소에 따라, 그 흡인의 타이밍을 바꿈으로써 발생시킬 수 있다. 예컨대, 매엽 시트형 부재(10)의 중앙부에 위치하는 흡인 구멍으로부터 먼저 흡인하고, 다른 흡인 구멍으로부터의 흡인을 매엽 시트형 부재(10)의 외주부를 향하여 순차 실시함으로써, 매엽 시트형 부재(10)에 대하여 외측으로 확장하도록 힘을 생기게 할 수 있다. 이에 의해, 더욱 양호하게 그리고 보다 효과적으로 매엽 시트형 부재(10)에 생긴 주름, 컬 또는 뒤틀림을 제거할 수 있다.

본 발명에 따른 얼라인먼트 스테이지(30)는, 이하의 위치 확인 장치(60)와 제어부(70)에 의해, 매엽 시트형 부재(10)의 각도, 위치 맞춤을 고정밀도로 행할 수 있다.

(위치 확인 장치)

위치 확인 장치(60)는, 얼라인먼트 스테이지(30)에 배치된 매엽 시트형 부재(10)의 위치 정보를 확인하는 장치이다.

예컨대, 도 1에 나타내는 바와 같이, 위치 확인 장치(60)는, 얼라인먼트 스테이지(30)에 배치된 매엽 시트형 부재(10)의 위치 정보를 확인할 수 있는 임의의 위치에 배치할 수 있고, 또한 위치 정보를 확인하는 수단에 따라, 임의의 위치에 배치할 수 있다.

예컨대, 반송하는 매엽 시트형 부재의 종류, 구조에 따라, 위치 확인 장치(60)의 위치 확인 수단을 선택할 수 있다. 또한, 요구되는 각도, 위치 맞춤의 정밀도에 따라, 본 발명의 반송 장치는, 복수의 위치 확인 장치(60)를 가져도 좋다.

어떤 양태에 있어서는, 얼라인먼트 스테이지(30)에 배치된 매엽 시트형 부재(10)의 위치 정보를 확인하는 위치 확인 장치(60)는, 예컨대 얼라인먼트 스테이지(30)에 배치된 매엽 시트형 부재(10)를 촬상하여, 매엽 시트형 부재(10)의 위치 데이터, 예컨대 화상 데이터를 생성함으로써, 위치 확인한다.

위치 확인 장치(60)는, 매엽 시트형 부재(10)의 단부, 예컨대 단부변의 위치 정보를 확인할 수 있다.

어떤 양태에 있어서는, 매엽 시트형 부재(10)에 있어서의 적어도 한 변의 위치를 확인하여도 좋고, 매엽 시트형 부재의 축 배치 등에 따라, 축 방향을 따르는 적어도 한 변의 위치를 확인하여도 좋고, 적어도 인접하는 두 변의 위치를 확인하여도 좋다.

또한, 매엽 시트형 부재의 코너부 중 적어도 하나의 위치 정보를 확인하여도 좋다. 어떤 양태에 있어서는, 위치 확인 장치(60)는, 예컨대 적어도 매엽 시트형 부재(10)에 있어서의 2개 코너부의 위치, 예컨대 매엽 시트형 부재(10)의 대각선 상에 위치하는 코너부의 위치를 확인함으로써, 보다 고정밀도로 위치 정보를 취득할 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 있어서는, 위치 확인 장치(60)를 이용하여, 매엽 시트형 부재(10)의 위치 정보를 확인함으로써, 매엽 시트형 부재(10)의 각도, 위치 맞춤을 고정밀도로 행할 수 있고, 예컨대 축 방향을 고정밀도로 맞출 수 있다.

또한, 본 발명의 반송 장치에 있어서는, 제1 이재기(51)에 의해 매엽 시트형 부재(10)를 반송하고, 본 발명에 따른 얼라인먼트 스테이지(30)를 가짐으로써, 매엽 시트형 부재(10)에 얼라인먼트 마크를 붙이지 않아도 각도, 위치 맞춤을 고정밀도로 행할 수 있다. 이 때문에, 예컨대 적층체의 제조에 요하는 공정을 간략화할 수 있어, 택트 타임을 감소시킬 수 있다. 물론, 소망에 의해, 매엽 시트형 부재(10)에 얼라인먼트 마크를 붙여도 좋다.

어떤 양태에 있어서, 위치 확인 장치(60)는, 얼라인먼트 스테이지(30)에 배치된 매엽 시트형 부재(10)를 촬상하여, 매엽 시트형 부재(10)의 위치 데이터를 생성한다. 이러한 위치 확인 장치(60)로서, 반도체 소자가 포함된다. 예컨대, CCD 이미지 센서, CMOS 이미지 센서 등, 이러한 이미지 센서를 내장하는, 비디오 카메라, 디지털 카메라, 검출기 등을 들 수 있다.

이러한 위치 확인 장치(60)는, 매엽 시트형 부재(10)와 접촉하는 일없이 위치 확인을 행할 수 있기 때문에, 박형의 매엽 시트형 부재(10)의 파손, 컬, 상처의 발생 등을 방지할 수 있다. 또한, 매엽 시트형 부재(10)에 접촉하는 일없이 위치 확인을 행할 수 있기 때문에, 예컨대 매엽 시트형 부재(10)가 광학 특성을 갖는 경우, 위치 확인 시에 광학 특성을 손상시키는 일이 없다.

본 발명의 반송 장치에 있어서는, 제1 이재기에 의해 반송된 매엽 시트형 부재(10)는, 시트 신장이 된 상태로 얼라인먼트 스테이지(30)에 반송되기 때문에, 이러한 비접촉식의 위치 확인 장치(60)여도, 매엽 시트형 부재의 단부변 등의 위치를 정확하게 확인할 수 있다. 또한, 박형의 매엽 시트형 부재의 각도, 위치 맞춤을, 얼라인먼트 스테이지에 있어서 보다 고정밀도로 행할 수 있다.

어떤 양태에 있어서, 위치 확인 장치(60)는, 물리적으로 매엽 시트형 부재(10)에 프로브를 접촉시키는 프로브 장치여도 좋다. 예컨대, 반송하는 매엽 시트형 부재(10)에 따라, 프로브 장치를 선택할 수 있다. 예컨대, 대상물[매엽 시트형 부재(10)]에 탄력이 있는 경우, 프로브 접촉형의 위치 확인 장치(60)여도 좋다. 또한, 광전 센서를 이용하여, 매엽 시트형 부재(10)의 위치 확인을 행하여도 좋다.

(제어부)

본 발명의 반송 장치(1)는, 위치 확인 장치(60)에 의해, 생성된 매엽 시트형 부재(10)의 위치 데이터에 기초하여, 상기 매엽 시트형 부재(10)를 배치한 얼라인먼트 스테이지(30)의 움직임을 제어하고, 이에 의해 매엽 시트형 부재(10)를 위치 조정하는 제어부를 갖는다.

제어부(70)는, 미리 기록된 기준으로부터, 매엽 시트형 부재(10)의 위치 어긋남을 보정할 수 있다. 미리 기록된 기준은, 목적에 따라 적절하게 설정할 수 있고, 예컨대 단부변의 위치 정보, 적어도 한 변의 위치 정보 등을 기준으로 하여 설정할 수 있다.

예컨대, 제어부(70)에 의해 제어되는 얼라인먼트 스테이지의 움직임은, 수평면 내에서의 평행 이동 및/또는 회전을 포함한다. 예컨대, 크로스 롤러링 등에 의해, 이러한 움직임을 얻을 수 있다.

이러한 움직임을 제어부(70)가 제어함으로써, 본 발명에 따른 얼라인먼트 스테이지(30)에 배치된 매엽 시트형 부재(10)를 보다 고정밀도로 위치 맞춤할 수 있다.

어떤 양태에 있어서, 제어부(70)는, 촬상 장치에 의해 생성된 매엽 시트형 부재(10)의 화상 데이터로부터 매엽 시트형 부재(10)의 단부를 인식하고, 상기 단부에 기초하여, 매엽 시트형 부재(10)를 배치한 얼라인먼트 스테이지(30)의 움직임을 제어한다.

이러한 과정을 거쳐 얼라인먼트 스테이지의 움직임을 제어함으로써, 보다 단시간 또한 고정밀도로, 매엽 시트형 부재(10)의 위치 맞춤을 행할 수 있다. 또한, 매엽 시트형 부재(10)와 접촉하는 일없이 위치 확인 및 위치 맞춤을 행할 수 있기 때문에, 예컨대 박형의 매엽 시트형 부재(10)여도, 매엽 시트형 부재(10)의 파손, 컬, 상처의 발생 등을 방지할 수 있다.

예컨대, 제어부(70)에 있어서는, 매엽 시트형 부재(10)를 임의의 각도, 예컨대 0∼90°의 범위에서 회전시킬 수 있고, 수평 방향의 이동은 0.1∼30 ㎜의 범위 내에서 이동할 수 있다. 이와 같이, 요구되는 양태에 따라 제어부(70)는 매엽 시트형 부재(10)의 각도, 위치를 조정할 수 있다.

어떤 양태에 있어서, 기준이 되는 위치에 대하여, 수평면 내에 있어서의 회전 각도의 어긋남은 0.01∼0.05°의 범위 내, 예컨대 0.03∼0.05°의 범위 내이다. 또한, 기준이 되는 위치에 대하여, 수평 방향에 있어서의 어긋남(XY) 방향은, 0.2∼1.0 ㎜의 범위 내이다. 이와 같이, 높은 정밀도로 매엽 시트형 부재(10)의 각도, 위치를 조정할 수 있다.

(제2 이재기)

본 발명의 반송 장치(1)는, 도 1∼도 3에 나타내는 바와 같이, 제2 이재기(52)를 가져도 좋다. 제2 이재기(52)는, 얼라인먼트 스테이지(30)에 배치되어 위치 조정된 매엽 시트형 부재(10)에 대하여 그 상면측으로부터 흡인하고,매엽 시트형 부재(10)를 흡인력에 의해 유지한 상태로 제1 벨트형 부재 상으로 이동시키고, 흡인 정지함으로써 매엽 시트형 부재(10)를 제1 벨트형 부재(41)에 배치한다.

어떤 양태에 있어서, 제2 이재기(52)는, 반송하는 매엽 시트형 부재(10)의 상면에 대치하는 위치로부터, 매엽 시트형 부재(10)를 흡인한다. 또한, 제2 이재기(52)는, 주위 분위기를 흡인 가능하다. 제2 이재기(52)는, 매엽 시트형 부재(10)를 평탄한 상태로 반송할 수 있어, 주름의 발생을 억제할 수 있다. 또한, 매엽 시트형 부재(10)를 흡인력으로 유지하는 경우, 매엽 시트형 부재(10)의 두께가 50∼500 ㎛인 경우, 흡인력은 0.01∼50 ㎪의 범위, 예컨대 0.1∼20 ㎪의 범위 내이다. 이러한 범위 내의 흡인력으로 흡인함으로써, 매엽 시트형 부재(10)의 파손을 억제할 수 있고, 주름, 컬의 발생도 억제할 수 있다.

제2 이재기(52)에 있어서는, 얼라인먼트 스테이지(30)에 있어서 조정한 축 방향이 어긋나지 않도록, 매엽 시트형 부재(10)를 보다 고정밀도로 반송할 수 있을 필요가 있고, 본 발명의 반송 장치이면, 이러한 요구를 만족시킬 수 있다.

또한, 제1 이재기(51)와 병용하여, 제2 이재기(52)를 가짐으로써, 각각 독립적으로 매엽 시트형 부재(10)를 반송할 수 있기 때문에, 택트 타임을 단축할 수 있다.

어떤 양태에 있어서, 제1 이재기의 흡인력과, 제2 이재기의 흡인력은, 같은 정도일 수 있다.

제2 이재기(52)는, 매엽 시트형 부재(10)를 흡인력에 의해 유지하면서, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재에 작용시켜도 좋다. 어떤 양태에 있어서, 제2 이재기(52)는, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재(10)에 작용시킨다.

이러한 외측으로 확장하는 힘을 작용시킴으로써, 매엽 시트형 부재(10)의 주름 펴기, 평탄화를 행할 수 있고, 또한 반송 중에 매엽 시트형 부재(10)가 컬하는 것을 억제할 수 있기 때문에, 예컨대 이후의 접합 공정을 효율적으로 진행시킬 수 있다. 또한, 얼라인먼트 스테이지(30)에 있어서 행한 각도, 위치 맞춤한 매엽 시트형 부재(10)의 축 방향을 어긋나게 하는 일없이, 반송할 수 있다.

어떤 양태에 있어서는, 제2 이재기(52)는, 매엽 시트형 부재(10)의 4개 코너, 어떤 양태에서는, 매엽 시트형 부재(10)의 임의의 위치, 예컨대 매엽 시트형 부재(10)의 4개 코너에 더하여, 각 변을 따르는 위치, 중심부 등에 있어서도, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재(10)에 작용시킬 수 있다. 이와 같이, 매엽 시트형 부재(10)의 임의의 위치에서 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재(10)에 작용시킬 수 있기 때문에, 반송하는 시트의 상태에 따라, 매엽 시트형 부재(10)의 주름 펴기를 효과적으로 행할 수 있다. 또한, 반송하는 매엽 시트형 부재(10)에 따라, 외측으로 확장하는 힘을 작용시키는 위치를 적절하게 조정할 수 있다. 어떤 양태에 있어서는, 제2 이재기(52)는, 전술한 제1 이재기(51)와 동일한 사양이어도 좋고, 동일한 작용, 효과를 가질 수 있다.

어떤 양태에 있어서, 외측으로 확장하는 힘은, 매엽 시트형 부재(10)에 비틀림, 느슨함, 주름이 생기지 않는 크기로 작용한다. 예컨대, 제2 이재기(52)가 흡인 패드를 갖는 경우, 매엽 시트형 부재(10)의 형태 등에 따라, 흡인 패드마다 확장시키는 힘을 상위시켜도 좋고, 같은 정도의 힘이 작용하도록, 흡인 패드에 있어서의 흡인력을 조정하여도 좋다.

어떤 양태에 있어서는, 제2 이재기(52)는, 주위 분위기를 흡인 가능하고, 또한 매엽 시트형 부재와 접촉하는 패드부를 갖는 복수의 흡인 패드를 포함한다. 예컨대, 소정의 면 내에서 외측으로 서로 확장 이동 가능한 흡인 패드를 포함한다.

흡인 패드를 가짐으로써, 매엽 시트형 부재(10)를 흡인력에 의해 유지하면서, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재(10)에 효과적으로 작용시킬 수 있다. 또한, 예컨대 박형의 매엽 시트형 부재(10)를 흡인하여 유지하는 동안, 매엽 시트형 부재(10)의 파손, 컬의 발생, 비틀림을 억제할 수 있다. 또한, 복수개의 흡인 패드를 가짐으로써, 흡인 패드마다 흡인력을 변화시킬 수 있고, 예컨대 주름이 생긴 부위에 대하여 중점적으로 외측으로 확장하는 힘을 작용시킬 수 있다. 또한, 매엽 시트형 부재(10)를 보다 평탄한 상태로 반송할 수 있다.

어떤 양태에 있어서, 제2 이재기(52)가 패드부, 예컨대 도 4 및 5에서 나타내는 것 같은 흡인 패드(81)를 가짐으로써, 본 발명의 반송 장치는, 보다 효과적으로 매엽 시트형 부재(10)를 평탄한 상태로 반송할 수 있다. 또한, 매엽 시트형 부재에의 주름, 컬의 발생을 억제할 수 있고, 매엽 시트형 부재를 신장할 수 있어, 매엽 시트형 부재(10)에 존재할 수 있는 주름을 펼 수 있다. 예컨대, 얼라인먼트 스테이지(30)로부터 제1 벨트형 부재(41)에 매엽 시트형 부재(10)를 반송할 때에, 이러한 효과가 얻어진다. 이와 같이, 본 발명의 반송 장치이면, 본 발명에 따른 얼라인먼트 스테이지(30)를 이용하여, 매엽 시트형 부재의 위치 맞춤을 행한 후, 얼라인먼트 스테이지(30)에서 얻어진 위치 맞춤의 높은 정밀도를 유지한 상태로, 제1 벨트형 부재(41)에 매엽 시트형 부재(10)를 반송할 수 있다.

흡인 패드의 소재는, 예컨대 가요성을 갖는 소재이며, 가요성 부재임으로써, 매엽 시트형 부재를 파손시키는 일이 없고, 효과적으로 주름을 펼 수 있다. 예컨대, 니트릴 고무, 실리콘 고무, 천연 고무 및 불소 고무 등을 포함하는 흡인 패드이다.

어떤 양태에 있어서, 제1 이재기와 제2 이재기가 별개 또는 공통의 이재기이다. 제1 이재기와 제2 이재기가 별개의 양태에 있어서는, 예컨대 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 본 발명의 반송 장치는, 각각 독립된 제1 이재기(51)와 제2 이재기(52)를 갖는다.

한편, 제1 이재기(51)와 제2 이재기(52)가 공통의 이재기인 양태에 있어서는, 예컨대 도 1에 나타내는 바와 같이, 하나의 이재기가 제1 이재기와 제2 이재기로서 작동한다. 이 양태에 있어서, 예컨대 제1 이재기(51)로서의 반송과, 제2 이재기로서의 반송에서, 흡인력, 회전의 유무 등의 조건에 차이를 마련하는 경우, 각 이재기에 있어서 적절한 흡인력 등을 발휘할 수 있도록, 컴퓨터 제어 등에 의해 각종 조건을 조정할 수 있다.

(제1 벨트형 부재)

본 발명의 반송 장치(1)는, 도 1, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 제1 벨트형 부재(41)를 갖는다. 제1 벨트형 부재(41)는, 얼라인먼트 스테이지(30)로부터 반송된 매엽 시트형 부재(10)를 배치하여, 제1 반송 방향으로 반송한다. 어떤 양태에 있어서, 제1 반송 방향은, 얼라인먼트 스테이지(30)로부터, 다른 공정을 향하여 진행하는 방향이며, 예컨대 접합 롤 방향일 수 있다.

제1 벨트형 부재(41)는, 그 기술분야에 있어서 공지의 것을 이용하여도 좋다.

어떤 양태에 있어서, 제1 벨트형 부재(41)는, 두께 방향으로 관통한 구멍을 복수개 가지고, 제1 벨트형 부재에 대하여, 매엽 시트형 부재가 배치되는 측과 반대측에 배치되는 흡인부를 통해 주위 분위기를 흡인함으로써, 벨트형 부재의 구멍을 통한 흡인력으로 매엽 시트형 부재를 벨트형 부재에 대하여 유지하는 양태이다.

제1 벨트형 부재(41)에 있어서의 흡인력은, 매엽 시트형 부재 중 적어도 2개의 영역에 있어서 흡인력이 상위하는 것 같은 범위로 설정하여도 좋다. 예컨대, 흡인력은 0.01∼50 ㎪의 범위 내여도 좋고, 상류측으로부터 하류측을 향하여, 0.02∼50 ㎪의 범위 내에서 흡인력이 변화하여도 좋다.

(적층체의 제조 방법)

본 발명의 별도의 양태에 따르면, 제1 매엽 시트형 부재와 제2 매엽 시트형 부재를 갖는 적층체의 제조 방법으로서, 상기 본 발명에 따른 반송 장치를 이용하여, 제1 매엽 시트형 부재를 반송하는 것 및 상기 제1 매엽 시트형 부재와 제2 매엽 시트형 부재를 접합하는 것을 포함하는 적층체의 제조 방법이 제공된다.

별도의 양태에 있어서는, 매엽 시트형 부재와 장척형 부재를 갖는 적층체의 제조 방법으로서, 상기 본 발명에 따른 반송 장치를 이용하여, 매엽 시트형 부재를 반송하는 것 및 상기 매엽 시트형 부재와 장척형 부재를 접합하는 것을 포함하는 적층체의 제조 방법이 제공된다.

제1 매엽 시트형 부재를, 본 발명의 반송 장치를 이용하여 반송함으로써, 제1 매엽 시트형 부재를 신장한 상태로 반송할 수 있어, 주름을 펴고, 평탄하게 할 수 있다. 또한, 제1 매엽 시트형 부재의 컬 등에 영향을 받는 일없이, 각도, 위치 맞춤을 행할 수 있어, 제1 매엽 시트형 부재와, 제2 매엽 시트형 부재의 접합을 고정밀도로 행할 수 있다.

어떤 양태에 있어서는, 제2 매엽 시트형 부재 및 장척형 부재는, 특별히 한정되지 않고, 예컨대 세퍼레이트 필름, 보호 필름, 광학 부재일 수 있다.

본 발명의 제조 방법에 따르면, 박형(예컨대, 두께 50∼300 ㎛)의 매엽 시트형 부재를, 높은 정밀도로 각도, 위치 맞춤을 행할 수 있고, 접합할 수 있기 때문에, 갖고 있는 기능을 발휘할 수 있고, 수율이 좋은 적층체를 제조할 수 있다.

본 발명은 매엽 시트형 부재를 신장할 수 있어, 평탄한 상태로 반송할 수 있고, 매엽 시트형 부재의 위치 맞춤을 용이하게 그리고 고정밀도로 행할 수 있는 반송 장치를 제공한다. 또한, 본 발명의 반송 장치는, 매엽 시트형 부재에의 주름의 발생, 컬의 발생을 억제할 수 있고, 매엽 시트형 부재에 존재하는 주름을 펼 수 있는 반송 장치이다. 또한, 본 발명은 이러한 반송 장치를 이용하여 매엽 시트형 부재를 반송하는 것을 포함하는 적층체의 제조 방법을 제공한다.

1: 반송 장치
10: 매엽 시트형 부재
21: 제1 부재
22: 제2 벨트형 부재
30: 얼라인먼트 스테이지
41: 제1 벨트형 부재
51: 제1 이재기
52: 제2 이재기
60: 위치 확인 장치
70: 제어부
71: 크로스 롤러링
81: 흡인 패드

Claims

매엽 시트형 부재를 반송하기 위한 반송 장치로서,
매엽 시트형 부재를 배치하는 제1 부재와,
매엽 시트형 부재를 배치하여 위치 조정하기 위한 얼라인먼트 스테이지와,
매엽 시트형 부재를 배치하여 제1 반송 방향으로 반송하기 위한 제1 벨트형 부재와,
제1 부재에 배치된 매엽 시트형 부재에 대하여 그 상면측으로부터 흡인하고, 매엽 시트형 부재를 흡인력에 의해 유지한 상태로 얼라인먼트 스테이지 상으로 이동시키고, 흡인 정지함으로써 매엽 시트형 부재를 얼라인먼트 스테이지에 배치하는 제1 이재기로서, 매엽 시트형 부재를 흡인력에 의해 유지하면서, 그 면 내에서 외측으로 확장하는 힘을 매엽 시트형 부재에 작용시킬 수 있는 제1 이재기와,
얼라인먼트 스테이지에 배치된 매엽 시트형 부재의 위치 정보를 확인하는 위치 확인 장치와,
위치 확인 장치에 의해 생성된 매엽 시트형 부재의 위치 데이터에 기초하여, 상기 매엽 시트형 부재를 배치한 얼라인먼트 스테이지의 움직임을 제어하고, 이에 의해 매엽 시트형 부재를 위치 조정하는 제어부와,
얼라인먼트 스테이지에 배치되어 위치 조정된 매엽 시트형 부재에 대하여 그 상면측으로부터 흡인하고, 매엽 시트형 부재를 흡인력에 의해 유지한 상태로 제1 벨트형 부재 상으로 이동시키고, 흡인 정지함으로써 매엽 시트형 부재를 제1 벨트형 부재에 배치하는 제2 이재기
를 포함하고,
제1 이재기가, 주위 분위기를 흡인 가능하고, 또한 매엽 시트형 부재와 접촉하는 패드부를 갖는 복수의 흡인 패드로서, 소정의 면 내에서 외측으로 서로 확장 이동 가능한 흡인 패드를 포함하는 것인 반송 장치.
삭제
제1항에 있어서,
제2 이재기가, 주위 분위기를 흡인 가능하고, 또한 매엽 시트형 부재와 접촉하는 패드부를 갖는 복수의 흡인 패드를 포함하는 것인 반송 장치.
제1항에 있어서,
제1 이재기와 제2 이재기가 별개 또는 공통의 이재기인 반송 장치.
제1항에 있어서,
위치 확인 장치가, 얼라인먼트 스테이지에 배치된 매엽 시트형 부재를 촬상하여, 매엽 시트형 부재의 위치 데이터를 생성하는 것인 반송 장치.
제1항에 있어서,
제어부가, 촬상 장치에 의해 생성된 매엽 시트형 부재의 화상 데이터로부터 매엽 시트형 부재의 단부를 인식하고, 상기 단부에 기초하여, 매엽 시트형 부재를 배치한 얼라인먼트 스테이지의 움직임을 제어하는 것인 반송 장치.
제1항에 있어서,
제어부에 의해 제어되는 얼라인먼트 스테이지의 움직임이, 수평면 내에서의 평행 이동, 수평면 내에서의 회전 또는 둘 다를 포함하는 것인 반송 장치.
제1항에 있어서,
제1 부재가, 매엽 시트형 부재를 배치하여 얼라인먼트 스테이지 방향으로 반송하기 위한 제2 벨트형 부재인 반송 장치.
제1 매엽 시트형 부재와 제2 매엽 시트형 부재를 갖는 적층체의 제조 방법으로서,
제1항에 기재된 반송 장치를 이용하여 제1 매엽 시트형 부재를 반송하는 것, 및
상기 제1 매엽 시트형 부재와 제2 매엽 시트형 부재를 접합하는 것
을 포함하는 적층체의 제조 방법.
매엽 시트형 부재와 장척형 부재를 갖는 적층체의 제조 방법으로서,
제1항에 기재된 반송 장치를 이용하여 매엽 시트형 부재를 반송하는 것, 및
상기 매엽 시트형 부재와 장척형 부재를 접합하는 것
을 포함하는 적층체의 제조 방법.