JP5426416B2 - 基板搬送装置、基板搬送方法および撮像装置 - Google Patents
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Description
搬送装置5において、搬送の始点には上流側プーリ9が、また搬送の終点には下流側プーリ10が、それぞれベアリング等の図示しない支持機構によって水平方向の回転軸まわりで回転自在に設けられている。上流側プーリ9と下流側プーリ10とは、どちらもモータ等の駆動源を持たないフリーローラであり、この両者の間には、基板2が載置される搬送用のベルト8が搬送する方向に沿って掛け渡されている。ベルト8上において基板2が載置される位置には、その基板2の形状に合わせて複数の吸着穴8a(詳細は後述する)が形成されている。以後の説明において、ベルト8のうち、上流側プーリ9と下流側プーリ10の上側に位置する部分を上側ベルト8と呼び、下側に位置する部分を下側ベルト8と呼ぶ。
2、2a,2b,2c 基板
5 搬送装置
6 クリーナー
7 カメラ
8 ベルト
8a 吸着穴
11 吸着台
12 真空ボックス
12a 吸着孔
15 近接離間機構
16 直線移動機構
19 移動台
20 ボールネジ機構
150 エアシリンダ
Claims (6)
- 吸着穴が形成され、被搬送物の搬送方向に沿って掛け渡されたベルトと、
平坦な吸引面を有し、当該吸引面を前記ベルトに向けて配置された吸着台と、
前記吸着台と前記ベルトとを相対的に近接離間させる近接離間機構と、
前記吸着台を搬送方向に移動させる移動機構と、
を備え、
前記近接離間機構により前記吸着台と前記ベルトとを近接させ前記吸着台により吸引した状態で前記移動機構により前記吸着台を前記搬送方向に移動することで、前記ベルトおよび前記ベルト上の前記被搬送物を前記吸着台と一体として前記搬送方向に移動することを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項1記載の基板搬送装置において、前記吸着台を移動方向に案内する案内機構をさらに備えたことを特徴とする基板搬送装置。
- 請求項1または2に記載の基板搬送装置において、前記吸着台の前記ベルト側には、吸着孔が形成された吸引室が設けられ、該吸引室は吸引手段に接続されていることを特徴とする基板搬送装置。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の基板搬送装置において、前記吸着台の表面は、通気性のある多孔質部材により構成されることを特徴とする基板搬送装置。
- 吸着穴が形成されたベルトに被搬送物を載置する工程と、
当該ベルトの裏面から吸着機構により吸引して前記ベルトと前記ベルト上の前記被搬送物とを吸着する工程と、
前記吸着機構を搬送方向に駆動することにより、前記ベルトおよび前記ベルト上の前記被搬送物を前記吸着機構と一体として前記搬送方向に移動する工程と、
前記吸着機構による吸引を解除する工程と、
を備えたことを特徴とする基板搬送方法。 - 請求項1乃至4のいずれかに記載の基板搬送装置と、
前記基板搬送装置により搬送される基板の表面を撮像する撮像機構と、
を備えたことを特徴とする撮像装置。
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