KR100404226B1 - 웨이퍼용 접착 필름 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼용 접착 필름에서 커버의 측면 가장자리의 일부가 필름과 분리되지 않고 필름과 일체로 진행하여 필름에 장력이 가해지더라도 측면 가장자리가 보강되어 장력에 의한 필름의 주름을 최대한 방지할 수 있는 웨이퍼용 접착 필름을 제공한다.

본 발명은 웨이퍼 표면을 보호하기 위한 필름(2)과, 상기 필름의 배면에 부착되어 있다가 웨이퍼에 라미네이팅하기 전 롤러에 의해 분리되는 커버(40)를 포함하는 웨이퍼용 접착 필름에 있어서, 상기 필름(2)의 양측 가장자리에는 장력지지부(44)가 구비된 구성으로 이루어진다.

상기 장력지지부(44)는 커버(40)의 일부인 것을 특징으로 한다.

Description

웨이퍼용 접착 필름{Adhesive Film for Wafer}

본 발명은 웨이퍼용 접착 필름에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 웨이퍼를 연삭하기전 웨이퍼의 전면을 보호하는 접착 필름에 관한 것이다.

이하, 웨이퍼용 접착 필름이라 함은 실제 웨이퍼에 접착되는 필름과 상기 필름을 지지하며 보호하기 위해 이면에 부착되어 있는 커버를 포함하는 것을 의미한다.

일반적으로, 반도체 제조 공정시 웨이퍼상에 전기적 회로를 형성시키는 Fab (Fabrication) 공정의 마지막 단계에서는 웨이퍼를 원하는 두께로 가공하여 패키지 공정시 본딩되는 칩의 방열성을 향상시키기 위해 웨이퍼 뒷면에 대한 연삭을 실시하게 된다.

이때, 웨이퍼 전면에는 웨이퍼 뒷면 연삭시 발생하는 전면의 오염 및 긁힘을 막기 위해 보호용 필름이 부착된다.

도 1 은 종래 웨이퍼용 접착 필름을 도시한 사시도이고, 도 2 는 상기 웨이퍼용 접착 필름이 웨이퍼 표면에 접착되는 상태를 개략적으로 도시한 사시도이다.

도 1을 참조하면, 상기 종래의 웨이퍼용 접착 필름은 일면에는 필름(2)이 부착되어 있고, 타면에는 상기 필름(2)을 보호하는 커버(4)가 형성되어 상기 커버(4)와 필름(2)이 합치된 구성으로 이루어져 있다.

상기 웨이퍼용 접착 필름의 하단부에서 보듯이 필름(2)은 웨이퍼에 라미네이팅시 커버(4)와 분리될 수 있는 구조로 되어 있다.

도 2에서 보면, 상기 웨이퍼용 접착 필름은 두 개의 분리롤러(6a)(6b) 사이로 삽입된 후 배출시에는 필름(2)과 커버(4)가 서로 분리된다. 상기 커버(4)는 제 2 분리롤러(6b)측으로 배출되고 제 1 분리롤러(6a)측으로 배출된 필름(2)은 소정거리 이격된 인장롤러(8)에 의해 지지되어 인출된다.

상기 제 1 분리롤러(6a)와 인장롤러(8)사이에서 상기 필름(2)은 평탄성을 유지하기 위해 상당한 장력을 받는다. 이와 같이 필름(2)에 장력을 주는 이유는 필름(2)의 하부에 위치하는 웨이퍼(10)에 상기 필름(2)을 라미네이션할 때 표면 주름으로 인해 불규칙한 필름 라미네이션을 방지하기 위함이다.

웨이퍼(10)는 도면에서 보는 바와 같이 통상 원형으로 형성되는 바, 테이블(12)위에 적치된 웨이퍼(10)가 테이블(12)과 함께 상승하여 상기 필름(2)과 웨이퍼(10)가 접촉한 후 약 150℃~180℃의 온도하에서 상기 필름(2)은 웨이퍼(10)에 라미네이션되며, 상기 웨이퍼(10)의 외주에 해당하는 부분을 커팅하여 제 1 분리롤러(6a)와 인장롤러(8) 사이의 필름에서 필름 라미네이션 된 웨이퍼(10)를 분리해낸다.

이때 인장롤러(8)와 제 1 분리롤러(6a)사이의 필름(2)은 각각의 롤러 방향으로 인장력을 받게 되므로 박막의 필름 재질상 롤러에 지지되어 있지 않은 필름의 측면은 상기 인장력에 대응하여 양측면 대향방향, 즉 단변 중심 방향으로 수축력이 작용한다.

이에 따라 제 1 분리롤러(6a)와 인장롤러(8)사이에서 필름(2)은 도면의 화살표 방향으로 장력이 작용하게 되어 상기 필름이 웨이퍼에 라미네이팅될 때 평탄성을 유지하지 못하고 장력 작용 방향으로 주름(2a)이 발생하여 웨이퍼 라미네이팅 후 미세한 물결무늬가 발생하는 문제점이 있다.

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 웨이퍼용 접착 필름에서 커버의 측면 가장자리의 일부가 필름과 분리되지 않고 필름과 일체로 진행하여 필름에 장력이 가해지더라도 측면 가장자리가 보강되어 장력에 의한 필름의 주름을 최대한 방지할 수 있는 웨이퍼용 접착 필름을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

도 1 은 종래 웨이퍼용 접착 필름을 도시한 사시도.

도 2 는 종래 웨이퍼용 접착 필름을 이용하여 웨이퍼에 라미네이팅하는 공정을 도시한 상태도.

도 3 은 본 발명에 의한 웨이퍼용 접착 필름의 바람직한 일실시예를 도시한 사시도.

도 4 는 본 발명에 의한 웨이퍼용 접착 필름을 이용하여 웨이퍼에 라미네이팅하는 공정을 도시한 상태도.

도 5 는 본 발명에 의한 웨이퍼용 접착 필름의 다른 실시예를 도시한 사시도.

** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **

2: 필름 6a: 제 1 분리롤러

6b: 제 2 분리롤러 8: 인장롤러

10: 웨이퍼 40: 커버

42: 커버의 분리부 44: 장력지지부

44a: 보강부

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 웨이퍼 표면을 보호하기 위한 필름과, 상기 필름의 접착성을 보호하기 위하여 부착되데 분리 가능한 커버로 이루어지는 웨이퍼용 접착 필름에 있어서, 상기 필름의 양측 가장자리에는 장력지지부가 형성된 구성으로 이루어진다.

상기 장력지지부는 상기 커버의 일부분인 것을 특징으로 한다.

상기 장력지지부의 두께는 적어도 필름 두께보다 두꺼운 것을 특징으로 한다.

상기 장력지지부의 경도는 적어도 필름보다 높은 것을 특징으로 한다.

본 발명의 구성에 대하여 첨부한 도면을 참조하면서 보다 상세하게 설명한다. 참고로 본 발명의 설명에 앞서 종래 기술과 일치하는 부분에 대해서는 종래 도면 부호를 그대로 인용하기로 한다.

도 3 은 본 발명에 의한 웨이퍼용 접착 필름을 도시한 사시도이다.

도면에서 보는 바와 같이, 상기 웨이퍼용 접착 필름의 일면에는 필름(2)이 구비되고, 상기 필름(2)의 배면에는 필름을 보호하면서 필름과 분리가 용이하도록 커버(40)가 부착되어 있다.

상기 커버(40)는 도 3의 하단부에서 보는바와 같이 필름(2)과 분리가능하도록 임시부착되어 있는 분리부(42)와, 필름(2)과 분리되지 않고 일체로 부착되어 있는 장력지지부(44)로 구성된다.

상기 장력지지부(44)는 분리부(42)와 같이 필름(2)과 분리될 수 있으나 공정상에서 분리시키지 않고 필름(2)과 일체로 진행시킴이 바람직하다. 상기 분리부(42)는 필름(2)의 중앙에 해당하는 위치에 형성됨이 바람직하며, 장력지지부(44)는 필름(2)의 가장자리에 해당하는 위치에 형성됨이 바람직하다.

도 4 에는 본 발명에 의한 웨이퍼용 접착 필름을 이용하여 웨이퍼에 필름을 라미네이팅하는 상태를 도시하였다.

도면을 참조하면, 상기 웨이퍼용 접착 필름은 두 개의 분리롤러(6a)(6b) 사이로 삽입되고 제 1 분리롤러(6a)를 따라 필름(2) 및 커버(40)의 장력지지부(44)가 배출되고, 제 2 분리롤러(6b)를 따라서는 커버의 분리부(42)가 배출된다.

상기 필름(2)이 배출되는 방향과 커버(40)가 배출되는 방향은 서로 역방향이다.

전술한 바와 같이, 커버(40)는 분리부(42)와 장력지지부(44)로 이루어져 있는데, 상기 분리부(42)는 제 2 분리롤러(6b)에 감겨 배출되고, 장력지지부(44)는제 1 분리롤러(6a)를 따라 필름(2)과 함께 배출된다.

상기 필름(2)은 웨이퍼(10)에 라미네이팅되기 전 그 평탄성을 유지하기 위하여 또다른 평행롤러인 인장롤러(8)에 감겨있다. 상기 필름(2)의 가장자리에는 소정 폭으로 커버의 일부분인 장력지지부(44)가 부착되어 필름과 동시에 진행된다.

인장롤러(8)와 제 1 분리롤러(6a) 사이에 위치한 필름(2)의 하부에는 테이블 위에 탑재된 웨이퍼(10)가 놓여 있으며, 상기 웨이퍼(10)가 테이블(12)과 함께 상승하여 필름과 웨이퍼가 밀착접촉된 후 150℃~180℃의 온도하에 필름이 웨이퍼 표면에 라미네이팅 된 후 상기 웨이퍼의 원주면을 컷팅한다.

상기 웨이퍼(10)에 라미네이팅 되기 전에 전술한 바와 같이 상기 필름은 그 평탄성을 유지하기 위하여 인장롤러(8)와 제 1 분리롤러(6a) 방향으로 소정의 장력이 발생한다.

이때, 종래 기술에서와 마찬가지로 박막이며, 플렉시블한 필름의 특성상 롤러 방향으로 장력이 가해지면 필름의 단변방향에서는 중심으로 수축력이 작용하게 된다.

본 발명에 관련된 필름에는 그 가장자리에 커버의 일부로서 분리되지 않고 필름(2)과 일체로 진행되는 장력지지부(44)가 부착되어 있으며, 이 장력지지부(44)는 일례로 필름 두께의 적어도 3배 이상이다.

그러므로 인장롤러(8)와 제 1 분리롤러(6a)간에 장력이 작용하더라도, 상기 인장롤러(8)와 제 1 분리롤러(6a)는 축방향 길이가 긴 평행롤러이므로 이 장력에 의해 필름의 단변방향으로는 수축력이 작용한다.

상기 장력지지부(44)는 재질상 필름에 비해 인장성이 거의 없고 경도가 강하am로 필름의 단변 중앙으로 향하는 수축력의 발생을 최대한 억제하게 되고 이로 인해 필름(2)은 그 평탄성을 유지한 채 웨이퍼(10)에 라미네이팅 될 수 있다.

상기 실시예에서는 필름의 장력지지부(44)를 형성함에 있어, 종래 커버(40)의 일부를 활용하였으나, 커버와 별도로 필름의 가장자리에 일체형으로 부착시켜 제조함도 바람직하며, 본 발명이 구현하고자 하는 목적 및 효과면에서도 더욱 향상될 것이라 판단된다.

본 발명의 또다른 실시예로서 도 5에 도시한 바와 같이 상기 필름을 1개의 웨이퍼를 라미네이팅할 수 있는 구간으로 나누되, 보다 효과적으로 장력을 지지할 수 있도록 보강부(44a)를 구비함으로써, 장력지지효과가 향상되게 할 수 있다.

이로 인해 웨이퍼당 부착되는 필름의 소모량을 효과적으로 줄일 수 있게 되어 원가절감 및 생산성 향상을 도모할 수 있다.

상술한 본 발명에 의한 웨이퍼용 접착 필름을 적용함으로써, 종래 웨이퍼에 라미네이팅하기 전 필름에 형성되던 주름을 제거할 수 있고, 보다 향상된 웨이퍼 라이네이션 결과를 얻을 수 있음은 물론이고, 장비내에서의 필름의 이동도 더욱 원활하게 할 수 있다.

웨이퍼의 전면 보호용 필름을 라미네이팅할 때, 커버와 분리되는 필름의 가장자리에 커버의 일부가 필름과 일체로 진행할 수 있도록 인장력 지지부를 형성하여 필름의 단변 중심 방향으로의 수축력을 보완함으로써, 필름 표면에 주름이 발생하는 것을 방지하고, 이로 인해 보다 안정적인 제품 신뢰성을 확보할 수 있다.

또한, 고비용을 필요로 하는 필름의 소모량을 줄일 수 있어 원가절감에도 상당한 효과가 있다.

Claims (3)

1. 웨이퍼 표면을 보호하기 위한 필름과, 상기 필름의 배면에 부착되어 있다가 웨이퍼에 라미네이팅하기 전 롤러에 의해 분리되는 커버를 포함하는 웨이퍼용 접착 필름에 있어서,

   상기 필름의 양측 가장자리에는 장력지지부가 구비된 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 접착 필름.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 장력지지부의 경도 및 강도는 적어도 필름보다 높은 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 접착필름.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 장력지지부는 필름의 중심측으로 돌출된 보강부를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 접착필름.