KR100376343B1

KR100376343B1 - 자기헤드

Info

Publication number: KR100376343B1
Application number: KR10-2000-0008498A
Authority: KR
Inventors: 혼다겐지
Original assignee: 알프스 덴키 가부시키가이샤
Priority date: 1999-03-02
Filing date: 2000-02-22
Publication date: 2003-03-15
Also published as: KR20000062592A; US6330132B1; JP3532439B2; JP2000251217A

Abstract

슬라이더의 측단면상에 헤드소자와 도통하는 범프와, 평활한 보호막표면 및 보호막으로부터 노출한 상기 범프의 접속부의 표면을 덮는 패드를 가지며, 도전패턴과 상기 패드를 접합하는 접합부재는, 상기 패드의 상기 보호막 표면상에 형성된 본딩영역에서 접합되므로, 상기 범프의 접속부의 형상에 영향을 받지 않고 확실한 접합이 가능하여, 접합불량이 없는 신뢰성이 높은 자기헤드를 제공할 수 있다.

Description

자기헤드 {magnetic head}

본 발명은 박막자기헤드 등에 있어서의 헤드소자에서 인출된 리드선과 헤드소자와 전기신호를 주고받는 도전부재의 접합강도를 높이고 또한 그 신뢰성을 향상시킨 자기헤드에 관한 것이다.

도 9 에 나타내는 바와 같이 하드자기디스크장치에 사용되는 자기헤드의 플렉서 (2) 는 선단부가 대략 ㄷ 자형상으로 절결되어 설편 (2a) 이 형성되어 있음과 동시에 플렉서 (2) 의 폴리이미드수지로 피복된 표면에는 금도금이 실시된 동으로 이루어지는 4 개의 도전패턴 (3) 이 형성되어 있다.

도전패턴 (3) 의 폭이 넓게 형성된 일단부 (3a) 는 설편 (2a) 에 병설되어 있다.

또한, 플렉서 (2) 의 설편 (2a) 상에는 직육면체의 슬라이더 (1) 가 저면 (1b) 과 접착하여 고정되어 있으며, 이 때 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 가 슬라이더 (1) 의 측단면 (1a) 과 대향하도록 되어 있다.

도 10 및 도 11 에 나타내는 바와 같이 슬라이더 (1) 의 측단면 (1a) 은 자기기록매체에 기록 및/또는 재생을 실시하기 위한 헤드소자 (7) 와, 헤드소자 (7) 에서 인출된 기록용과 재생용 각각 2 개의 총 4 개의 리드선 (8) 을 갖고 있다. 각각의 리드선 (8) 의 단부 (8a) 는 폭이 넓어져서 플렉서 (2) 의 표면 근방까지 미치는 직사각형상으로 형성되어 있다. 또한, 4 개의 리드선 (8) 의 단부 (8a) 는 플렉서 (2) 표면에 형성된 4 개의 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 와 각각 1 대 1로 상대하도록 근접해서 배치되어 있다.

도 11 에 나타내는 바와 같이 리드선 (8) 의 단부 (8a) 상에 니켈 등으로 이루어지는 범프 (10) 가 설치되어 있고, 범프 (10) 는 리드선 (8) 의 단부 (8a) 에 거의 내접하는 저면을 갖는 원주상의 지지부 (10a) 와 지지부 (10a) 의 선단에서 넓어진 우산부 (傘部) (10b) 로 구성되어 있다.

범프 (10) 의 우산부 (10b) 는 대략 반구형상의 정부 (頂部) 를 절결한 형상이며, 우산부 (10b) 중앙의 원형영역이 범프 (10) 의 접속부 (10d) 로 된다.

또한, 범프 (10) 의 접속부 (10d) 는 가장자리에 경사부 (10f) 를 가지며 우산부 (10b) 의 곡면부 (10e) 에서 들어간 상태로 되어 있다.

알루미나로 이루어지는 보호막 (9) 은 측단면 (1a) 상에서 헤드소자 (7), 리드선 (8) 및 범프 (10) 의 지주부 (10a) 와 곡면부 (10e) 의 표면을 덮으며 평평하게 형성되어 있는데, 범프 (10) 의 접속부 (10d) 표면은 보호막 (9) 을 통해 노출되어 있으며, 보호막 (9) 과의 경계에 경사부 (10f) 를 가지며 보호막 (9) 표면에서 들어간 상태로 되어 있다.

보호막 (9) 을 통해 노출된 범프 (10) 의 접속부 (10d) 는 플렉서 (2) 의 표면 근방까지 이른다.

그리고 상기와 같은 범프 (10) 의 우산부 (10b) 의 형상은, 범프 (10) 의 전체를 덮고 있던 보호막 (9) 을 연마하여 범프 (10) 의 접속부 (10d) 를 노출시키는 연마공정에서 대략 반구형상이었던 범프 (10) 의 우산부 (10b) 의 정부가 보호막 (9) 과 함께 깍인 것이다.

또한 연마공정에 있어서, 니켈 등 금속으로 이루어지는 범프 (10) 는 알루미나의 보호막 (9) 보다 부드럽기 때문에 깍기 쉬우므로, 보호막 (9) 을 통해 노출된 범프 (10) 의 접속부 (10d) 는 보호막 (9) 과의 경계에 경사부 (10f) 를 가지며 보호막 (9) 에서 들어가도록 이루어진다.

금 등의 박막으로 이루어지는 4 개의 직사각형상의 패드 (11) 는 각각 보호막 (9) 을 통해 노출된 4 개의 범프 (10) 의 접속부 (10d) 의 표면을 덮고, 플렉서 (2) 표면의 4 개의 도전패턴 (3) 의 종단부 (3a) 와 각각 1 대 1 로 상대하도록 근접해서 배치되어 있다.

이 때, 패드 (11) 는 범프 (10) 의 접속부 (10d) 의 표면을 덮는 오목부 (11a) 와 범프 (10) 의 접속부 (10d) 에서 보호막 (9) 으로 경사부 (10f) 를 따라 올라앉는 경사부 (11f) 를 갖고 있다.

범프 (10) 의 접속부 (10d) 는 플렉서 (2) 의 표면이 근접해 있기 때문에, 패드 (11) 의 오목부 (11a) 및 경사부 (11f) 는 플렉서 (2) 표면에 형성된 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 근방에도 존재하고 있다.

슬라이더 (1) 의 측단면 (1a) 과 플렉서 (2) 의 표면이 교차하는 각부 (12) 에 있어서, 금 등의 대략 볼형상의 접합부재 (13) 가 패드 (11) 의 오목부 (11a) 와 도전패턴 (3) 의 종단부 (3a) 양측에 접촉한 상태로 접합되어 패드 (11) 와 도전패턴 (3) 이 접속되어 있다. 대략 볼형상의 접합부재 (13) 의 표면에는 잔부 (13a) 가 돌출한 상태로 남아 있다.

또한, 도 12, 도 13 에 나타내는 바와 같이 접합부재를 와이어 (15) 로 하여, 와이어 (15) 의 단부 (15a) 가 패드 (11) 의 오목부 (11a), 타단부 (15b) 가 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 와 접합되어 패드 (11) 와 도전패턴 (3) 을 접속한 종래예도 있다.

상기 자기헤드는 슬라이더 (1) 의 표면이 자기디스크의 자기기록면에 대향하도록 이루어져 있으며, 하드자기디스크의 동작시에 플렉서 (2) 에 고정된 슬라이더 (1) 가 자기디스크의 자기기록면상을 소정 간격으로 부상한다. 그리고, 헤드소자 (7) 는 리드선 (8) 에서 범프 (10), 범프 (10) 와 패드를 통해 접합부재로 접속된 도전패턴 (3) 에 의해 외부회로와 도통하고 있으며, 헤드소자 (7) 에서 외부회로에 이르는 전로의 전기신호에 의해 자기디스크에 자기기록 및 재생을 실시하도록 이루어져 있다.

볼형상의 접합부재 (13) 를 사용한 패드 (11) 와 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 의 접합공정은, 도 14 에 나타내는 바와 같이 우선 본딩용 캐필러리 (16) 에서 인출된 금의 세선 (17) 의 선단을 방전에 의해 용해하여 볼형상의 접합부재 (13) 를 형성한다. 그리고, 접합부재 (13) 를 패드 (11) 의 오목부 (11a) 와 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 의 표면 양측에 접촉시킨 상태에서 접합부재 (13) 에 초음파진동을 부여하여 접합부재 (13) 를 패드 (11) 와 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 양측에 초음파접합한다.

이 때 종래의 자기헤드에 있어서는, 패드 (11) 가 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 근방에 오목부 (11a) 를 갖고 있기 때문에, 볼형상의 접합부재 (13) 의 크기에 따라서는 도 15 에 나타내는 바와 같이 접합부재 (13) 가 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 와 패드 (11) 의 경사부 (11f) 의 각부에 접합될 가능성이 있으며, 그럼으로써 접합부재 (13) 와 패드 (11) 의 접촉불량이 발생한다는 문제가 있다.

또한, 도 16 에 나타내는 바와 같이 볼형상의 접합부재 (13) 가 패드 (11) 의 경사부 (11f) 를 따라 구르면, 접합부재 (13) 가 패드 (11) 측으로 기울어져서 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 에서 부상하기 때문에, 볼형상의 접합부재 (13) 와 도전패턴 (3) 의 접촉불량이 일어나는 문제가 있다.

도 12, 도 13 에 나타내는 바와 같이 패드 (11) 와 도전패턴 (3) 을 접합하는 접합부재가 와이어 (15) 인 경우, 우선 와이어 (15) 의 선단측 (15a) 을 패드 (11) 의 오목부 (11a) 에 맞닿게 하고 와이어 (15) 에 초음파진동을 부여하여 와이어 (15) 의 선단측 (15a) 과 패드 (11) 의 오목부 (11a) 를 접합한다. 이어서, 와이어 (15) 에 절곡부 (15c) 를 형성한 후, 와이어 (15) 의 타단측 (15b) 을 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 에 맞닿게 하고 와이어 (15) 에 초음파진동을 부여하여 와이어 (15) 의 타단부측 (15b) 과 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 를 접합한다.

이 때 종래의 자기헤드에 있어서는, 도 17 에 나타내는 바와 같이 패드 (11) 가 경사부 (11f) 를 갖고 있기 때문에, 와이어 (15) 의 선단측 (15a) 이 패드 (11) 의 경사부 (11f) 의 각부에 부딪혀서 와이어 (15) 의 선단측 (15a) 이 패드 (11) 에서 부상하므로 와이어 (15) 와 패드 (11) 의 접합면적이 작아 패드 (11) 와 와이어 (15) 의 접합불량이 일어난다.

도 1 은 본 발명의 자기헤드의 전체도.

도 2 는 본 발명의 자기헤드의 선단부분의 확대사시도.

도 3 은 본 발명의 자기헤드의 슬라이더의 측벽면의 평면도.

도 4 는 도 3 의 4-4 선에서의 단면도.

도 5 는 본 발명의 자기헤드의 다른 실시형태에서의 슬라이더의 측벽면의 평면도.

도 6 은 도 5 의 6-6 선에서의 단면도.

도 7 은 본 발명의 접합공정을 나타내는 설명도.

도 8 은 본 발명의 자기헤드의 범프와 패드의 제작방법을 나타내는 설명도.

도 9 는 종래의 자기헤드의 선단부분의 확대사시도.

도 10 은 종래의 자기헤드의 슬라이더의 측벽면의 평면도.

도 11 은 도 10 의 11-11 선에서의 단면도.

도 12 는 종래의 자기헤드의 다른 형태에서의 슬라이더의 측벽면의 평면도.

도 13 은 도 12 의 13-13 선에서의 단면도.

도 14 는 종래의 자기헤드의 접합공정을 나타내는 설명도.

도 15 는 종래의 자기헤드의 패드와 접합부재의 접합상태의 일례를 나타내는설명도.

도 16 은 종래의 자기헤드의 패드와 접합부재의 접합상태의 일례를 나타내는 설명도.

도 17 은 종래의 자기헤드의 다른 형태에 있어서의 패드와 접합부재의 접합상태의 일례를 나타내는 설명도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

1 : 슬라이더 1a : 측단면 1b : 저면

2 : 플렉서 2a : 설편 3 : 도전패턴

3a : 일단부 3b : 타단부 4 : 로드빔

5 : 마운트 6 : 플렉시블 케이블 7 : 헤드소자

8 : 리드선 8a : 단부 9 : 보호막

10 : 범프 10a : 지주부 10b : 우산부 (傘部)

10d : 접속부 10e : 곡면부 10f : 경사부

11 : 패드 11a : 오목부 11b : 단차부

11c : 본딩영역 11f : 경사부 12 : 각부 (角部)

13 : 접합부재 13a : 잔부 14 : 레지스트막

14a : 창부 15 : 와이어 15a : 선단측

15b : 타단측 15c : 절곡부 16 : 캐필러리

17 : 세선

상기 과제를 해결하는 제 1 수단으로서 본 발명의 자기헤드는, 자기기록매체에 기록 및/또는 재생을 실시하기 위한 헤드소자와 상기 헤드소자와 전기적으로 도통하는 금속으로 이루어지는 범프가 형성된 슬라이더의 측단면은, 상기 범프의 접속부가 노출된 상태에서 절연체로 이루어지는 보호막에 덮여 있고, 상기 보호막의 표면과 상기 범프의 접속부의 표면을 덮는 금속막으로 이루어지는 패드는 외부회로와 도통하기 위한 도전패턴에 접합부재를 통해 접합되어 있고, 상기 접합부재는 상기 패드의 상기 보호막 표면상에 형성된 본딩영역내에서 접합되어 있는 구조로 하였다.

상기 과제를 해결하는 제 2 수단으로서 본 발명의 자기헤드는, 상기 슬라이더와 상기 도전패턴은 플렉서상에서 상기 도전패턴의 일단부가 상기 슬라이더의 측단면과 대향하도록 배치되어 있고, 상기 접합부재는 상기 패드의 본딩영역의 대략 중앙부와 상기 도전패턴의 일단부 양측에 접하는 대략 볼형상인 구조로 하였다.

상기 과제를 해결하는 제 3 수단으로서 본 발명의 자기헤드는, 상기 슬라이더와 상기 도전패턴은 플렉서상에서 상기 도전패턴의 일단부가 상기 슬라이더의 측단면과 대향하도록 배치되어 있고, 상기 접합부재는 와이어로서, 그 선단측이 상기 패드의 본딩영역에 접합되고, 타단측이 상기 도전패턴에 접합되어 있는 구조로 하였다.

상기 과제를 해결하는 제 4 수단으로서 본 발명의 자기헤드는, 상기 패드의 상기 도전패턴에 대한 높이의 적어도 상기 도전패턴측 절반은 본딩영역으로 되어 있는 구조로 하였다.

발명의 실시형태

도 1 에 나타내는 바와 같이 하드자기디스크장치에 사용되는 자기헤드의 전체구성은, 스테인리스로 이루어지는 탄성을 갖는 로드빔 (4) 과, 로드빔 (4) 의 후단에 고정된 스테인리스제 마운트 (5) 와, 마운트 (5) 에 부착되어 로드빔 (4) 의 후방으로 인출되는 플렉시블 케이블 (6) 과, 로드빔 (4) 의 선단과 후단에 걸쳐 개재하며, 가요성을 갖는 스테인리스 박판으로 이루어지는 플렉서 (2) 를 갖고 있다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 플렉서 (2) 는 선단부가 대략 ㄷ 자형상으로 절결되어 설편 (2a) 이 형성되어 있음과 동시에 플렉서 (2) 의 폴리이미드수지로 피복된 표면에는 금도금이 실시된 동으로 이루어지는 4 개의 도전패턴 (3) 이 형성되어 있다.

도전패턴 (3) 의 폭이 넓게 형성된 일단부 (3a) 는 설편 (2a) 에 병설되어 있으며, 한편 타단부 (3b) 는 플렉서 (2) 의 후단부에서 플렉시블 케이블 (6) 의 배선패턴 (도시생략) 과 접속하고 있다.

그리고, 도 2 에 있어서 플렉서 (2) 에 형성된 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 와 슬라이더 (1) 의 측단면 (1a) 은 반드시 수직이 아니어도 되며, 임의의 각도로 형성되어 있어도 된다.

또한, 도 2 및 도 3 에 나타내는 바와 같이 플렉서 (2) 에 저면 (1b) 이 접착된 슬라이더 (1) 의 측단면 (1a) 은 자기기록매체에 기록 및/또는 재생을 실시하기 위한 헤드소자 (7) 와, 헤드소자 (7) 에서 인출된 기록용과 재생용 각각 2 개의 총 4 개의 리드선 (8) 을 갖고 있다. 각각의 리드선 (8) 의 단부 (8a) 는 플렉서 (2) 표면에서 충분이 떨어진 영역에서 대략 직사각형상으로 형성되어 4 개의 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 와 1 대 1 로 상대하도록 병설되어 있다.

그리고, 도 4 에 나타내는 바와 같이 각각의 리드선 (8) 의 단부 (8a) 상에는 니켈 등으로 이루어지는 범프 (10) 가 설치되어 있다. 범프 (10) 는 종래보다 소형으로 되는데 형상은 동일하며, 리드선 (8) 의 단부 (8a) 에 거의 내접하는 저면을 갖는 원주상의 지주부 (10a) 와 지주부 (10a) 의 선단에서 넓어진 우산부 (10b) 로 구성되어 있다.

범프 (10) 의 우산부 (10b) 는 대략 반구형상의 정부를 절결한 형상이며, 우산부 (10b) 중앙의 원형영역이 범프 (10) 의 접속부 (10d) 로 된다.

보호막 (9) 을 통해 노출된 범프 (10) 의 접속부 (10d) 는 플렉서 (2) 의 표면에서 충분히 떨어져서 존재하고 있다.

그리고 상기와 같은 범프 (10) 의 우산부 (10b) 의 형상은, 범프 (10) 의 전체를 덮고 있던 보호막 (9) 을 연마하여 범프 (10) 의 접속부 (10d) 를 노출시키는 연마공정에서 대략 반구형상이었던 범프 (10) 의 우산부 (10b) 의 정부가 보호막 (9) 과 함께 깍여진 것이다.

또한 연마공정에 있어서, 니켈 등 금속으로 이루어지는 범프 (10) 는 알루미나의 보호막 (9) 보다 부드럽기 때문에 깍기 쉬우므로, 보호막 (9) 을 통해 노출된 범프 (10) 의 접속부 (10d) 는 보호막 (9) 과의 경계에 경사부 (10f) 를 가지며 보호막 (9) 에서 들어가도록 이루어진다. 범프제조방법은 하기에 상세하게 설명한다.

금 등의 박막으로 이루어지는 4 개의 직사각형상의 패드 (11) 는, 플렉서 (2) 의 표면에서 충분히 떨어진 영역에서 각각 보호막 (9) 을 통해 노출된 4 개의 범프 (10) 의 접속부 (10d) 를 덮고, 범프 (10) 의 접속부 (10d) 주변 가장자리의 경사부 (10f) 를 따라 보호막 (9) 의 상면으로 올라앉아 보호막 (9) 의 표면을 플렉서 (2) 의 근방까지 연출되어 형성되어 있다.

패드 (11) 의 보호막 표면을 덮는 영역중 범프 (10) 의 접속부 (10d) 보다 플렉서 (2) 의 표면에 가까운 영역을 본딩영역 (11c) 으로 한다. 패드 (11) 는 플렉서 (2) 표면에 형성된 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 측에 충분히 큰 본딩영역 (11c) 을 갖고 있다.

슬라이더 (1) 의 측단면 (1a) 과 플렉서 (2) 의 표면이 교차하는 각부 (角部) (12) 에 있어서, 금 등으로 이루어지는 대략 볼형상의 접합부재 (13) 가 패드 (11) 의 본딩영역 (11c) 과 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 양측에 접촉한 상태에서 접합되어 패드 (11) 와 도전패턴 (3) 이 접속되어 있다. 또한, 대략 볼형상의 접합부재 (13) 의 표면에는 잔부 (13a) 가 돌출한 상태로 남아 있다.

도 5, 도 6 은 접합부재를 와이어 (15) 로 한 본 발명의 다른 실시형태를 나타내며, 금 등으로 이루어지는 와이어 (15) 의 선단측 (15a) 이 패드 (11) 의 본딩영역 (11c) 에 접합되고, 와이어 (15) 의 타단측 (15b) 이 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 에 접합된 것이다.

이어서, 상기 자기헤드의 제조방법중 우선 볼형상인 접합부재 (13) 를 사용하여 패드 (11) 와 도전패턴 (3) 을 접합하는 접합공정에 대하여 설명한다.

도 7 에 나타내는 바와 같이 본딩용 캐필러리 (16) 에서 금의 세선 (17) 을 인출하여 금의 세선 (17) 의 선단을 방전에 의해 용해하여 볼형상의 접합부재 (13) 를 형성한다.

그리고, 슬라이더 (1) 와 도전패턴 (3) 을 갖는 플렉서 (2) 가 지그 (도시생략) 에 의해 고정되어 있는 상태에서 접합부재 (13) 를 패드 (11) 의 본딩영역 (11c) 과 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 의 표면 양측에 접촉시킨다. 계속해서, 캐필러리 (16) 에 의해 접합부재 (13) 에 초음파진동을 부여하여 접합부재 (13) 를 패드 (11) 의 본딩영역 (11c) 과 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 양측에 초음파접합한다.

마지막으로 세선 (17) 을 접합부재 (13) 에서 잘라낸다. 이 때, 잘린 세선 (17) 의 일부가 잔부 (13a) 로 된다.

도 5, 도 6 과 같이 패드 (11) 와 도전패턴 (13) 을 접합하는 접합부재가 와이어 (15) 인 경우, 우선 와이어 (15) 의 선단측 (15a) 을 패드 (11) 의 본딩영역 (11c) 에 맞닿게 하고, 와이어 (15) 에 초음파진동을 부여하여 와이어 (15) 의 선단측 (15a) 과 패드 (11) 의 본딩영역을 접합한다. 이어서, 와이어 (15) 에 절곡부 (15c) 를 형성한 후, 와이어 (15) 의 타단측 (15b) 을 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 에 맞닿게 하고 와이어 (15) 에 초음파진동을 부여하여 와이어 (15) 의 타단부측 (15b) 과 도전패턴 (3) 의 일단부 (3a) 를 접합한다.

이어서, 상기 자기헤드의 제조방법중 특히 범프 (10), 패드 (11) 의 형성방법을 도 8 에서 설명한다.

우선, 슬라이더 (1) 의 측단면 (1a) 에 헤드소자 (7) 와 헤드소자 (7) 에서 인출된 리드선 (8) 을 형성한다. 이 때, 리드선 (8) 은 단부 (8a) 가 후공정에서 플렉서 (2) 에 접착되는 슬라이더 (1) 의 저면 (1b) 에서 충분히 떨어진 위치에서 대략 직사각형상으로 형성되어 있다.

도 8a 에는 슬라이더 (1) 의 측단면에 형성된 리드선 (8) 의 단부 (8a) 의 단면도를 나타낸다.

그리고, 도 8b 에 나타내는 레지스트막 형성공정에서 측단면 (1a) 표면에 레지스트막 (14) 을 도포하고, 계속해서 포토리소·에칭에 의해 레지스트막 (14) 에 리드선 (8) 의 단부 (8a) 와 거의 내접하는 원형의 창부 (14a) 를 형성한다.

이어서, 도 8c 에 나타내는 범프형성공정에서 레지스트막 (14) 의 창부(14a) 에 있어서 리드선 (8) 의 단부 (8a) 상에 니켈 또는 알루미늄, 동 등을 도금한다. 이 때, 범프 (10) 의 도금막을 레지스트막 (14) 의 창부 (14a) 내에서 솟아오르도록 형성함과 동시에 창부 (14a) 의 주변으로 넓어지도록 형성함으로써 대략 반구형상의 우산부 (10b) 를 형성한다.

또한, 범프 (10) 에 대해서도 리드선 (8) 과 마찬가지로 슬라이더 (1) 의 저면에서 떨어져서 치우쳐 형성되어 있다. 범프 (10) 를 형성한 후에 레지스트막 (14) 을 박리한다.

이어서, 도 8d 에 나타내는 보호막 형성공정에서 스패터 등 진공막형성법에 의해 알루미나 보호막 (9) 을 슬라이더 (1) 의 측단면 (1a) 상에 범프 (10) 전체를 덮도록 형성한다.

그리고, 도 8e 에 나타내는 연마공정에서 보호막 (9) 의 표면을 연마하여 범프 (10) 를 보호막 (9) 을 통해 노출시킴과 동시에 범프 (10) 의 우산부 (10b) 의 반구형상의 정부를 깍아내기 때문에, 범프 (10) 의 우산부 (10b) 의 중앙부에는 원형의 접속부 (10d) 가 형성된다. 이 연마공정에서 니켈 등 금속으로 이루어지는 범프 (10) 는 알루미나의 보호막 (9) 보다 부드럽기 때문에 깍기 쉬우므로, 범프 (10) 의 보호막 (9) 을 통해 노출된 접속부 (10d) 는 보호막 (9) 의 표면보다 들어가서 보호막 (9) 과의 경계에 경사부 (10f) 를 갖는 상태로 되어 있다.

그리고 도 8f 에 나타내는 패드형성공정에서는, 금 등의 도금에 의해 보호막 (9) 을 통해 노출된 범프 (10) 의 접속부 (10d) 를 덮고, 슬라이더 (1) 의 저면 근방에까지 연출된 직사각형상의 패드 (11) 를 형성한다. 이 때, 패드 (11) 의슬라이더 (1) 의 저면 (1b) 측에는 보호막 (9) 의 표면에 형성된 충분히 큰 본딩영역 (11c) 이 형성된다.

상기 자기헤드는 도시하지 않았으나, 마운트 (4) 가 하드자기디스크장치의 구동아암에 부착되어 슬라이더 (1) 의 표면이 자기디스크의 자기기록면에 대향하도록 되어 있으며, 하드자기디스크의 동작시에 있어서 플렉서 (2) 에 고정된 슬라이더 (1) 가 자기디스크의 자기기록면상을 소정 간격으로 부상한다. 그리고, 헤드소자 (7) 는 리드선 (8) 에서 범프 (10), 범프 (10) 와 패드 (11) 를 통해 접합부재로 접속된 도전패턴 (3) 에 의해 외부와 접속하고 있으며, 자기디스크에 자기기록 및 재생을 실시하도록 되어 있다.

본 발명의 자기헤드에 있어서, 슬라이더의 측단면상에 형성되어 헤드소자와 도통하는 범프의 접속부는 상기 슬라이더의 측단면을 덮는 보호막의 평활한 표면을 통해 노출되어 있고, 상기 범프의 접속부와 상기 보호막의 표면을 덮는 금속으로 이루어지는 패드는 접합부재를 통해 외부회로와 도통하기 위한 도전패턴과 접합되어 있으며, 이 때 상기 접합부재는 상기 패드의 보호막 표면상에 형성된 평활한 본딩영역내에 접합되어 있기 때문에, 상기 접합부재와 상기 패드 및 상기 접합부재와 상기 도전패턴은 상기 범프의 접속부의 형상에 영향을 받지 않고 확실하게 접합할 수 있으므로 접합불량이 없는 신뢰성이 높은 자기헤드를 제공할 수 있다.

또한, 플렉서에는 상기 도전패턴의 일단부가 상기 슬라이더의 측단면과 대향하도록 형성되어 있고, 상기 접합부재는 금속으로 이루어지는 대략 볼형상인 경우,상기 접합부재가 상기 본딩영역의 거의 중앙부에 접합되도록 하였기 때문에, 대략 볼형상의 상기 접합부재가 접합되는 부근의 상기 패드는 평활해서 접합공정중에 상기 접합부재가 어긋나는 일 없이 상기 패드에 확실하게 접합할 수 있으므로 접합불량이 없는 신뢰성이 높은 자기헤드를 제공할 수 있다.

또한, 플렉서에는 상기 도전패턴의 일단부가 상기 슬라이더의 측단면과 대향하도록 형성되어 있고, 상기 접합부재가 와이어인 경우, 와이어 (15) 의 선단측이 접합되는 상기 패드의 본딩영역은 평활면이어서 상기 와이어의 선단측이 부상하는 일이 없기 때문에, 와이어로 이루어지는 상기 접합부재를 상기 패드에 확실하게 접합할 수 있으므로 접합불량이 없는 신뢰성이 높은 자기헤드를 제공할 수 있다.

더욱 바람직하게는 상기 패드의 상기 도전패턴에 대한 높이의 적어도 절반까지가 본딩영역이기 때문에, 본딩영역이 넓어 상기 접합부재는 충분한 도통을 얻기 위한 접촉면적을 얻을 수 있으므로 상기 접합부재의 크기를 증대시킬 수 있으며, 또한 상기 접합부재의 위치가 약간 어긋나도 본딩영역내에서 안정되게 접합할 수 있으므로 접합불량이 없는 신뢰성이 높은 자기헤드를 제공할 수 있다.

Claims

자기기록매체에 기록 및/또는 재생을 실시하기 위한 헤드소자와, 상기 헤드소자와 전기적으로 도통하는 금속으로 이루어지는 범프가 형성된 슬라이더의 측단면은, 상기 범프의 접속부가 노출된 상태에서 절연체로 이루어지는 보호막에 덮여 있고, 상기 보호막의 표면과 상기 범프의 접속부의 표면을 덮는 금속막으로 이루어지는 패드는 외부회로와 도통하기 위한 도전패턴에 접합부재를 통해 접합되어 있고, 상기 패드에는 오목부가 형성되어 있고, 상기 접합부재는 상기 패드의 오목부를 제외한 상기 보호막 표면상에 형성된 평활한 본딩영역내에서 접합되어 있는 자기헤드.
제 1 항에 있어서, 상기 슬라이더와 상기 도전패턴은 플렉서상에서 상기 도전패턴의 일단부가 상기 슬라이더의 측단면과 대향하도록 배치되어 있고, 상기 접합부재는 상기 패드의 본딩영역의 대략 중앙부와 상기 도전패턴의 일단부 양측에 접하는 대략 볼형상인 자기헤드.
제 1 항에 있어서, 상기 슬라이더와 상기 도전패턴은 플렉서상에서 상기 도전패턴의 일단부가 상기 슬라이더의 측단면과 대향하도록 배치되어 있고, 상기 접합부재는 와이어로서, 그 선단측이 상기 패드의 본딩영역에 접합되고, 타단측이 상기 도전패턴에 접합되어 있는 자기헤드.
제 2 항에 있어서, 상기 패드의 상기 도전패턴에 대한 높이의 적어도 상기 도전패턴측 절반은 본딩영역으로 되어 있는 자기헤드.