KR100352691B1 - 냉각방법,냉각장치및처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (26)
- 피처리기판을 처리하는 장치로서,상기 피처리기판을 냉각하는 냉각유니트를 포함하는 제 1 처리유니트 그룹과,상기 피처리기판에 소정의 처리를 실시하는 처리유니트를 포함하는 제 2 처리유니트 그룹과,상기 제 1 처리유니트 그룹과 상기 제 2 처리유니트 그룹의 사이에 설치되어 상기 피처리기판을 지지하는 지지체와,상기 지지체에 지지된 상기 피처리기판을 냉각하는 냉각수단을 구비하는 처리장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 피처리기판을 상기 냉각유니트로 반입하는 반입수단과,상기 반입수단에 의해 반입되는 상기 피처리기판을 냉각하는 수단을 더 구비하는 처리장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 지지체에 지지된 피처리기판에 이온화 가스를 분출하는 이오나이저를 더 구비하는 처리장치.
- 제 3 항에 있어서, 상기 이오나이저가, 냉각된 기체를 분출하는 것인 처리장치.
- 제 4 항에 있어서, 상기 기체가, 불활성가스인 처리장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 냉각수단이, 상기 지지체 내에 배치된 냉각소자를 가지는 처리장치.
- 제 6 항에 있어서, 상기 냉각소자가 펠티어소자인 처리장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 냉각수단이,상기 지지체 내에 배치된 냉각소자와,상기 지지체 내에 설치된 배관과,상기 배관 내에서 냉각수를 순환시키는 수단을 구비하는 처리장치.
- 피처리기판을 처리하는 장치로서,상기 피처리기판을 냉각하기 위한 냉각유니트를 포함하는 제 1 처리유니트 그룹과,상기 피처리기판을 미리 정해진 처리로 제공하기 위한 제 2 처리유니트 그룹과,상기 제 1 처리유니트 그룹과 상기 제 2 처리유니트 그룹의 사이에 설치되어 상기 피처리기판을 지지하는 지지체와,상기 지지체에 의해 지지된 피처리기판을 냉각하기 위한 냉각수단과,상기 피처리기판을 상기 냉각유니트로 반송하기 위한 반송수단과,상기 반송수단에 의해 반송된 피처리기판을 냉각하기 위한 냉각수단을 구비하는 처리장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 피처리기판이 상기 지지체와 상기 냉각유니트의 사이를 상기 반송수단에 의해 반송되는 동안에 상기 피처리기판을 냉각하기 위한 냉각수단을 더욱 구비하는 처리장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 피처리기판이 반도체 또는 절연성재료로 구성되고,상기 장치가, 이온화가스를 상기 지지체에 의해 지지된 피처리기판상에 분출하기 위한 이오나이저를 더욱 구비하는 처리장치.
- 제 11 항에 있어서, 상기 이오나이저가 냉각가스를 분출하는 처리장치.
- 제 12 항에 있어서, 상기 가스가 불활성가스인 처리장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 냉각수단이, 상기 지지체에 배치된 냉각소자를 구비하고 있는 처리장치.
- 제 14 항에 있어서, 상기 냉각소자가 펠티어소자인 처리장치.
- 제 9 항에 있어서, 상기 냉각수단이,상기 지지체에 배치된 냉각소자와,상기 지지체에 설치된 배관내의 냉각수를 순환시키는 수단을 구비하고 있는 처리장치.
- 피처리기판이 일시적으로 그 위에 놓여지는 사이에 상기 피처리기판을 냉각하기 위한 쿨링 플레이트로서, 피처리기판을 냉각하기 위한 냉각유니트를 포함하는 제 1 처리유니트 그룹과, 상기 피처리기판을 미리 정해진 처리에 제공하는 제 2 처리유니트 그룹 사이의 중계부에 배치되고,복수개 배치된 펠티어소자를 포함하고 상기 쿨링 플레이트 및 상부 플레이트의 위에 놓여지는 피처리기판을 냉각하기 위해 매설된 수배관을 가지는 상부 플레이트와,상기 상부 플레이트의 하부표면에 결합되어 상기 펠티어소자를 냉각하기 위해 매설된 수배관을 포함하는 하부 플레이트를 구비하는 쿨링 플레이트.
- 피처리기판을 냉각하는 방법으로서,(a) 냉각유니트로 반입되는 동안에 상기 피처리기판을 냉각하는 공정과,(b) 상기 냉각된 피처리기판을 상기 냉각유니트 내에서 냉각하는 공정을 구비 하고,상기 공정(a)이, 중계부와 냉각유니트의 바로 앞의 위치 사이를 피처리기판이 반송되는 사이에 피처리기판을 냉각하는 공정인 냉각방법.
- 피처리기판을 냉각하는 방법으로서,(a) 냉각유니트로 반입되는 동안에 상기 피처리기판을 냉각하는 공정과,(b) 상기 냉각된 피처리기판을 상기 냉각유니트 내에서 냉각하는 공정을 구비하고,상기 공정(a)이, 중계부와 냉각유니트의 냉각위치 사이를 피처리기판이 반송되는 사이에 피처리기판을 냉각하는 공정인 냉각방법.
- 피처리기판을 냉각하는 방법으로서,(a) 냉각유니트를 향하여 피처리기판이 반송되는 동안, 상기 피처리기판과 함께 이동하는 냉각수단에 의해 피처리기판을 냉각하는 공정과,(b) 상기 냉각된 피처리기판을 상기 냉각유니트내에서 냉각하는 공정과,(c) 상기 냉각된 피처리기판에 이온화가스를 분출하는 공정을 구비하는 냉각방법.
- 피처리기판을 냉각하는 방법으로서,(a) 상기 피처리기판에 이온화가스를 분출하는 고정과,(b) 냉각유니트내를 향하여 피처리기판이 반송되는 동안, 상기 피처리기판과 함께 이동하는 냉각수단에 의해 피처리기판을 냉각하는 공정과,(c) 상기 냉각된 피처리기판을 상기 냉각유니트내에서 냉각하는 공정을 구비하는 냉각방법.
- 피처리기판을 냉각하는 방법으로서,(a) 이온화가스를 상기 피처리기판에 분출함과 동시에 상기 피처리기판을 지지하는 지지체에 이온화가스를 분출하는 공정과,(b) 냉각유니트를 향하여 피처리기판이 반송되는 동안, 상기 피처리기판과 함께 이동하는 냉각수단에 의해 피처리기판을 냉각하는 공정과,(c) 상기 피처리기판에 이온화가스를 분출함과 동시에 상기 지지체에 이온화가스를 분출하는 공정을 구비하는 냉각방법.
- 피처리기판을 냉각하는 장치로서,상기 피처리기판을 냉각하는 냉각유니트와,상기 피처리기판을 상기 냉각유니트로 반송하는 반송수단과,상기 피처리기판과 함께 이동하는 상기 반송수단에 의해 반송되는 상기 피처리 기판을 냉각하기 위한 냉각수단을 구비하는 냉각장치.
- 제 23 항에 있어서, 상기 반송수단이, 이동가능한 바닥판 및 상기 바닥판상에 배치된 상기 피처리기판을 지지하기 위한 지지체를 구비하고,상기 냉각수단이, 상기 바닥판상에 배치되고 상기 지지체에 의해 지지된 피처리기판상에 가스를 분출하기 위한 수단을 포함하는 냉각장치.
- 제 23 항에 있어서, 상기 지지체가 메인아암이고,상기 냉각수단이,상기 지지체에 의해 지지된 피처리기판에 마주하는 개구부를 가지고, 상기 바닥판내에 배치되어 가스를 분출하기 위한 배관과,냉각된 가스를 상기 가스를 분출하기 위한 배관에 공급하기 위한 가스공급시스템을 구비하는 냉각장치.
- 제 23 항에 있어서, 상기 지지체가 각각 독립하여 구동되는 상부 메인아암과 하부 메인아암을 포함하는 2조의 메인아암으로 이루어지고,상기 냉각수단이,상기 지지체에 의해 지지된 피처리기판에 마주하는 개구부를 가지고, 상기 바닥판내에 배치되어 가스를 분출하기 위한 배관과,냉각된 가스를 상기 가스를 분출하기 위한 배관에 공급하기 위한 가스공급시스템을 구비하는 냉각장치.
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