JP2013168417A - 基板搬送方法および基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】平面状に整列配置された複数個のチップを樹脂でモールドして成型したウエハを、加熱剥離性を有する粘着層を片側に備えた両面粘着テープを介して支持板に貼り合わせてワークとする。当該ワークに所望の処理後、支持板分離装置で当該支持板を分離するために、第1テーブル上でワークを加熱する。両面粘着テープから分離された後のウエハの樹脂が軟化状態にあるその前面の外周部分を吸着ヘッドで吸着保持して搬送する。当該搬送過程で、ウエハ裏面の変位に応じて吸着ヘッド内の気圧を調整する。
【選択図】図17
Description
すなわち、基板を搬送する基板搬送方法であって、
前記基板は、平面状に整列配置された複数個のチップを樹脂でモールドして成型した基板であり、
搬出位置で樹脂が加熱状態にある基板を箱形の吸着ヘッドで吸着保持して搬入位置に搬送する過程で、樹脂からチップの露出した面側の当該露出面を外れた基板の外周部分を吸着ヘッドで吸着保持し、
前記基板によって密閉された吸着ヘッド内に加熱された気体を供給または当該吸引ヘッド内から気体を吸引し、当該吸着ヘッド内を加圧または減圧調整しながら基板を平坦に維持して所定の搬入位置まで搬送することを特徴とする。
前記樹脂が所定の温度に低下したときに搬送位置に受け渡す。
前記基板は、平面状に整列配置された複数個のチップを樹脂でモールドして成型した基板であり、
前記樹脂からチップの露出した面側の当該露出面を外れた基板の外周部分を吸着保持する箱形の吸着ヘッドを備えた搬送機構と、
前記基板によって密閉された吸着ヘッド内に気体を供給または吸着ヘッド内から当該気体を吸引する気体圧縮機と、
前記気体圧縮機から供給される気体を加熱する加熱器と、
前記吸着ヘッドで吸着保持された基板裏面の変位を検出する検出器と、
前記吸着ヘッドで基板を吸着して搬送する過程で、基板裏面の変位を検出器により検出し、当該検出結果に応じて気体圧縮機の加圧または負圧駆動を切り替え操作し、気体の供給量または吸引量の少なくともいずれかを調整する制御部と、
を備えたことを特徴とする。
前記制御部は、温度センサにより測定された実測値と予め決めた温度の基準値を比較し、求まる偏差に応じて加熱器を操作し、温度調整された気体を吸着ヘッド内に供給することが好ましい。
1a … ベアチップ
1b … 樹脂
2 … 支持板
3 … 両面粘着テープ
10 … 予備加熱テーブル
11 … 第3基板搬送装置
12 … 支持板分離機構
13 … テープ剥離機構
21 … 第1テーブル
22 … 第2テーブル
23 … ウエハ搬送機構
24a、24b … ヒータ
25a、25b … 温度センサ
27a、27b … ピン
41 … 吸着溝
42 … 第1圧縮機構
44 … 第2圧縮機構
45 … 温度センサ
49 … 変位センサ
W … ワーク
Claims (6)
- 基板を搬送する基板搬送方法であって、
前記基板は、平面状に整列配置された複数個のチップを樹脂でモールドして成型した基板であり、
搬出位置で樹脂が加熱状態にある基板を箱形の吸着ヘッドで吸着保持して搬入位置に搬送する過程で、樹脂からチップの露出した面側の当該露出面を外れた基板の外周部分を吸着ヘッドで吸着保持し、
前記基板によって密閉された吸着ヘッド内に加熱された気体を供給または当該吸引ヘッド内から気体を吸引し、当該吸着ヘッド内を加圧または減圧調整しながら基板を平坦に維持して所定の搬入位置まで搬送する
ことを特徴とする基板搬送方法。 - 請求項1に記載の基板搬送方法において、
前記吸着ヘッド内の加圧は、搬出位置の設定温度と搬入位置の設定温度の間の温度に設定した気体を供給し、
前記樹脂が所定の温度に低下したときに搬送位置に受け渡す
ことを特徴とする基板搬送方法。 - 請求項2に記載の基板搬送方法において、
前記加圧または減圧調整は、搬送過程で基板面の変位を検出器で検出し、当該検出結果に応じて気体の供給量または吸引量の少なくともいずれかを調整する
ことを特徴とする基板搬送方法。 - 請求項2または請求項3に記載の基板搬送方法において、
前記基板の搬送過程で、吸着ヘッド内の温度を検出し、当該検出結果に応じて供給する気体の温度を調整する
ことを特徴とする基板搬送方法。 - 基板を搬送する基板搬送装置であって、
前記基板は、平面状に整列配置された複数個のチップを樹脂でモールドして成型した基板であり、
前記樹脂からチップの露出した面側の当該露出面を外れた基板の外周部分を吸着保持する箱形の吸着ヘッドを備えた搬送機構と、
前記基板によって密閉された吸着ヘッド内に気体を供給または吸着ヘッド内から当該気体を吸引する気体圧縮機と、
前記気体圧縮機から供給される気体を加熱する加熱器と、
前記吸着ヘッドで吸着保持された基板裏面の変位を検出する検出器と、
前記吸着ヘッドで基板を吸着して搬送する過程で、基板裏面の変位を検出器により検出し、当該検出結果に応じて気体圧縮機の加圧または負圧駆動を切り替え操作し、気体の供給量または吸引量の少なくともいずれかを調整する制御部と、
を備えたことを特徴とする基板搬送装置。 - 請求項5に記載の基板搬送装置において、
前記基板で密閉された吸着ヘッド内の温度を検出する温度センサを備え、
前記制御部は、温度センサにより測定された実測値と予め決めた温度の基準値を比較し、求まる偏差に応じて加熱器を操作し、温度調整された気体を吸着ヘッド内に供給する
ことを特徴とする基板搬送装置。
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